JPS61207902A - 多座標タツチセンサ - Google Patents

多座標タツチセンサ

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JPS61207902A
JPS61207902A JP61049581A JP4958186A JPS61207902A JP S61207902 A JPS61207902 A JP S61207902A JP 61049581 A JP61049581 A JP 61049581A JP 4958186 A JP4958186 A JP 4958186A JP S61207902 A JPS61207902 A JP S61207902A
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JP
Japan
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touch sensor
sphere
cylinder body
coordinate
touch
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JP61049581A
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English (en)
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JPH0460527B2 (ja
Inventor
クルト・フアイヒテインゲル
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Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
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Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/002Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
    • G01B11/005Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
    • G01B11/007Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines feeler heads therefor

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、複数の座標方向に偏位可能な少なくとも1つ
の検出ビンを有し、ビンは戻し力によってその零位置を
特定する支承部に押圧され、支承部は溝の表面範囲と球
体の表面範囲との共働によって形成され、そして球体は
支承個所としての溝と共に、タッチピンに同心に、タッ
チピンに対して垂直な平面内に均等に分配されており、
そして少なくとも3つの支承個所が存在している、多座
標タッチセンサに関する。
多数の測定及び送信する多座標タッチセンサが公知であ
る。二つの実施例ではタッチピンが任意の方向への偏位
の後に再びその特定の零位置に戻ることが特に重要であ
る。従ってタッチセンサハウジングに対するタッチピン
の支承部を特別に有利に形成する種々の研究が行われた
技術レベル 西独国特許公開公報2841424には3点支持を有す
る測定ヘッドが記載されている。タッチセンサハウジン
グ底には3つのV溝が星形に配設されている。測定皿に
は3つのビンが球面と固着されている。測定皿はばねに
よってタッチセンサハウジング底の方向に圧縮され、そ
してビンは所属のV溝中で確定した位置を占め、その位
置においてビンはタッチピンの偏位の後に再び元に戻さ
れる。
更に欧州特許出願明細書ff−A2−D 088596
  から同様に3つの支承個所を備えた支承装置が公知
である。同様に支承個所は一平面内で均等に周囲に分配
されている。タッチセンサハウジング底には3つの球が
配設されており、球は組立のためにタッチピンの方向に
移動可能である。
測定皿中の3つの対抗軸受は相違した形態である。対抗
軸受は穴の形の回動阻止部として形成されている。第2
の対抗軸受けV溝を有し、■溝は測定皿の中心点に対し
て確定的に整直されている。第三の対抗軸受は測定皿に
対して平行かつ圧着ばねの分力に対して垂直な平らな支
台である。
一般に測定力の異なるかつこれと関連して撓みに制約さ
れた測定値の差は(種々のタッチ方向における)多数の
支承個所の増加によって減少される。しかし支承個所の
数の増大では公知のタッチセンサ系でははめあい支承個
所の製造コストが著しく高騰し、かつシステムが静的に
過剰になるという危険性がある。
従って支承個所の相異なる実施形態によって欧州特許出
願EP−A2−D 088596による技術レベルでは
静的過剰も不足をも回避することが研究された。
相異なる実施形態の支承個所は、3つ以上の支承個所が
創造される場合に記載の両システムで必要である。それ
によって加工物へのタッチ球の抑圧の際に各タッチ方向
に従って種々の優先的方向への偏位(偏位の方向性)が
現われるという欠点を有するが高い零点安定性は創造さ
れる。
解決すべき課題 本発明の課題は多座標タッチセンサをタッチセンサのハ
ウジング固定の部分に対する可動部分の位置を調整なし
に高精度に確定し、そして特定されかつ一定のタッチ条
件が全てのタッチ方向において保証されるようにするこ
とである。
更に本発明によって高精度の構成部分が使用される必要
もなしに同様に形成された支承個所の精度かつ簡単な組
立が図られる。
課題解決の手段 上記課題は本発明によれば支承個所のうちの少なくとも
2つが次のような特徴; a)球体は一平面内から移動不可能に組付けられている
こと、 b)球体に付設された溝はシリンダ体内に格納され、シ
リンダ体はその固有の軸線のまわシに回転されかつ軸方
向に移動され、それによって所属の球体に適合されるこ
と、 C)シリンダ体は球体に適合後、移動不能に固定されて
いることの組合せを有することによって解決される。
本発明の作用及び効果 本発明による構成は偏位後その都度その零位置へのタッ
チピンの良好な戻シ精度が確保されるという保証を提供
する。一平面内で測定皿の周囲に亘って均等に同種の支
承個所を配列したことによって、各タッチ方向において
タッチ球の偏位についての方向性が回避され、従って測
定の再現性がタッチ方向とは無関係に安全にされる。
本発明による支承部分の有利な組立は簡単かつ高精度で
実施可能であり、その際支承システムの静的な過不足は
排除される。
本発明による多座標タッチセンサの他の優先的な詳細は
実施態様項に記載されている。
実施例 第1図には多座標タッチセンサの全体構造が明らかにさ
れている。このタッチセンサは測定系のための送信セン
ナとして実施される。軸1によってセンサが図示しない
測定又は工作機械のスピンドルに装着されることができ
る。タッチピン2の偏位は全ての方向に可能である。シ
ール3はタッチセンサハウジング4とタッチピン2との
間の中間空間を閉鎖する。薄板保護部5は熱い切屑によ
るシール3の損傷を阻止するが、タッチピン2にその零
位置から限られた偏位を行わせる自由空間6をのこす。
タッチピン2の偏位の測定のための検出機構?、 8.
9は所定の偏位量になるとタッチ信号を光用される。検
出器7.8.9はタッチセンサハウジング4内に固定さ
れた光学センサと同様に前記ハウジングに向けられた固
定した差動光電要素8とから成る。両要素7,8の光軸
にはレンズ系9が可動タッチピン2に固定されている。
測定皿10はタッチピン2と固着されており、タッチピ
ンはタッチ球11の端に座着されている。測定皿10の
面はばね12によってタッチセンサハウジング4と接触
している。対抗面はタッチセンサハウジング底13を備
えた測定皿10の支承部の一部分である。この支承部は
正確につくられなければならない、そのわけは静的過不
足は測定誤差を生じさせるからである。
工作物へのタッチ過程の間、測定皿10はばね12によ
って工作物へのタッチ球11の接触圧に対抗作用してい
る個所に保持され、そしてこの力が所定の値を下まわっ
た場合でも測定皿10が支承部において旋回され又は持
上げられることを阻止する。測定皿10がタッチセンサ
ハウジング底18に向ってばね12によシ保持される限
シ、測定皿10とタッチセンサハウジング4は自由度O
のユニットを形成する。偏位の後ばね12は測定皿10
をタッチセンサハウジング13に向って戻すように附勢
される。
多点軸受として実施される支承部は本発明によれば測定
皿10の周囲に均等に分配されかつ測定皿10に固定係
止されている、一平面内に配設された球体14から成る
。各球体14の固定溝の孔15は接着剤16の供給と場
合によっては損傷された球体14の突出しのために役立
つ。16個の球14の各々には対抗軸受として一つのシ
リンダ体17が付設されている。この15個のシリンダ
体17は球14に付設された端にV溝18を備えている
。シリンダ体は測定皿10の回動阻止のための中空シリ
ンダ19の形に形成されている。
シリンダ体17はその縦軸線が零位置にあるタッチピン
2の縦軸線に対して平行になるように向けられている。
各球14が所属のV溝18中に位置するために、各シリ
ンダ体17はその縦軸線のまわシに回動可能に支承され
、並びにその縦軸線の方向に移動可能である。
タッチセンサハウジング4と測定皿10の組立の際に球
中心点がV溝18の底と一致しない場合(第3a図)、
シリンダ体17は固有の縦軸線のまわりに回動されて、
球14に適合される(第3b図)。
シリンダ体17の比較的簡単に実施可能な調整の後、シ
リンダ体はタッチセンサハウジング底13と固着され、
好ましくは接着される。それによって各軸受個所はタッ
チセンサハウジング4中に固定して配設されたシリンダ
体17のV溝の表面範囲と球14の上面範囲との共働に
よって形成される。
球14に対するシリンダ体17の■溝18の正確かつ簡
単な整向は組立の際後に測定運転の際にタッチセンサハ
ウジング底13中のシリンダ体17が固定されるべき接
着剤の硬化の前にシリンダ体17が図示しない振動装置
によって自動的に、迅速かつ完全に整向されることによ
って達成される。振動装置はばね機構を有し、ばね機構
はシリンダ体17を2方向において調整する。高周波の
振動振巾の減少によってシリンダ体17が接着剤の硬度
の増大に従って更にその固有の軸線のまわりで安定した
位置に回転することを確保する。
シリンダ体は必ずしもタッチセンサハウジング底の構成
部分である必要はなく、測定皿に組込まれることもでき
る。更に図示の他、軸受要素の一対及び次の変形が与え
られる。球面を有するピンとV溝のシリンダ体。
第1図及び第2図においてシリンダ体17の1つは測定
皿10の回動阻止のための中空シリンダ19として形成
されている。しかしこの回動阻止は球面凹み又はピラミ
ッド形凹みとしても実施されることができる。
本発明によって構成された多数の軸受個所では回動阻止
部は省略されることもできる、そのわけは組立の際にv
 肴腎sを有するシリンダ体17が、続いての組立の際
に測定皿10の回動の阻止部として作用するように相互
に回動されるという可能性が支承個所の増大に従って増
大するからである。
しかし図示しない有利な構造的変形はタッチ球の方向に
おける同様な傾きをもったシリンダ体がタッチセンサハ
ウジング底に固定されることにある。
シリンダ体の傾きが各シリンダ体の縦軸線がタッチ球の
中心点を通るとみなされることは特別に有利である。こ
の機構は任意のタッチ方向でタッピンの大きな偏位があ
る場合でも軸受個所に対するタッチ球の限定された力分
配を保証する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明によるタッチセンサの軸断面図、第2図
は測定皿を外した第1図の■−■平面の断面図、そして
第3a図及び第3b図は支承部調整の原理を示す。 図中符号 14  球体 17   シリンダ体 18溝

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)複数の座標方向に偏位可能な少なくとも1つの検
    出ピンを有し、ピンは戻し力によつてその零位置を特定
    する支承部に押圧され、 支承部は溝の表面範囲と球体の表面範囲との共働によつ
    て形成され、そして球体は支承個所としての溝と共に、
    タッチピンに同心に、タッチピンに対して垂直な平面内
    に均等に分配されており、そして少なくとも3つの支承
    個所が存在している、 多座標タッチセンサにおいて、 前記支承個所のうちの少なくとも2つが次のような特徴
    ; a)球体(14)は一平面内から移動不可能に組付けら
    れていること、 b)球体(14)に付設された溝(18)はシリンダ体
    (17)内に格納され、シリンダ体はその固有の軸線の
    まわりに回転されかつ軸方向に移動され、それによつて
    所属の球体(14)に適合されること、 c)シリンダ体(17)は球体(14)に適合後、移動
    不能に固定されていることの組合せを有することを特徴
    とする多座標タッチセンサ。
  2. (2)球体(14)は測定皿(10)に固定されており
    、シリンダ体(17)はタッチセンサハウジング底(1
    3)に配設されている、特許請求の範囲第1項記載の多
    座標タッチセンサ。
  3. (3)少なくとも1つの支承個所回動阻止部として形成
    されている、特許請求の範囲第1項記載の多座標タッチ
    センサ。
  4. (4)シリンダ体(17)の溝はV溝(18)である、
    特許請求の範囲第1項記載の多座標タッチセンサ。
  5. (5)タッチセンサハウジング底(13)中に格納され
    たシリンダ体(17)の縦軸線はタッチ球(11)の方
    向においてタッチピン(2)の縦軸線と鋭角をなし、特
    にシリンダ体(17)の縦軸線はタッチ球(11)の中
    心を通る、特許請求の範囲第1項記載の多座標タッチサ
    ンサ。
  6. (6)組立の際の球体(14)へのシリンダ体(17)
    の適合が振動装置によつて行われる、特許請求の範囲第
    1項記載の多座標タッチセンサ。
  7. (7)球体(14)がタッチセンサハウジング底(13
    )に固定されており、シリンダ体(17)は測定皿(1
    0)の構成部分である、特許請求の範囲第1項記載の多
    座標タッチセンサ。
  8. (8)シリンダ体(17)の縦軸線がタッチピン(2)
    の縦軸線に対して平行である、特許請求の範囲第1項記
    載の多座標タッチセンサ。
JP61049581A 1985-03-08 1986-03-08 多座標タツチセンサ Granted JPS61207902A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

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DE3508396.4 1985-03-08
DE3508396A DE3508396C1 (de) 1985-03-08 1985-03-08 Mehrkoordinaten-Tastkopf

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61207902A true JPS61207902A (ja) 1986-09-16
JPH0460527B2 JPH0460527B2 (ja) 1992-09-28

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ID=6264680

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EP (1) EP0197243B1 (ja)
JP (1) JPS61207902A (ja)
AT (1) ATE39285T1 (ja)
DE (2) DE3508396C1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05248848A (ja) * 1991-07-26 1993-09-28 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 多座標接触ヘッド

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3706767A1 (de) * 1987-03-02 1988-09-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Mehrkoordinaten-tastkopf
GB2208934B (en) * 1987-08-24 1991-05-15 Mitutoyo Corp Surface contour measuring tracer
US5215496A (en) * 1989-06-27 1993-06-01 The United States Of America As Represented By The Secretary Of Agriculture Automated excision of undesirable material and production of starting material for restructured meat
EP0415579A1 (en) * 1989-08-30 1991-03-06 Renishaw plc Touch probe
US5253428A (en) * 1990-02-23 1993-10-19 Renishaw Plc Touch probe
US5491904A (en) * 1990-02-23 1996-02-20 Mcmurtry; David R. Touch probe
GB9004117D0 (en) * 1990-02-23 1990-04-18 Renishaw Plc Touch probe
DE4325744C1 (de) * 1993-07-31 1994-12-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Mehrkoordinaten-Tastkopf
DE4325743C1 (de) * 1993-07-31 1994-09-08 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Mehrkoordinaten-Tastkopf
IT1264744B1 (it) * 1993-12-01 1996-10-04 Marposs Spa "sonda di tastaggio"
DE4341192C1 (de) * 1993-12-03 1995-05-24 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Mehrkoordinaten-Tastkopf
JPH08509299A (ja) * 1994-02-18 1996-10-01 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー 測定プローブ
EP0731333B1 (de) 1995-03-10 2001-01-31 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Mehrkoordinaten-Tastkopf mit gleichen Auslenkungen
DE69617148T3 (de) * 1995-09-25 2005-11-10 Mitutoyo Corp., Kawasaki Fühlerprobe
IT1299954B1 (it) * 1998-04-06 2000-04-04 Marposs Spa Sonda a rilevamento di contatto.
JP3359006B2 (ja) * 1999-06-18 2002-12-24 株式会社ミツトヨ 着座機構
WO2001044751A1 (en) * 1999-12-15 2001-06-21 Peter Bryan Webster Position sensor
DE10260816B4 (de) * 2002-12-23 2007-04-12 Hegenscheidt-Mfd Gmbh & Co. Kg Messeinrichtung zum Messen der Rundheit eines Eisenbahnrades
US7562593B2 (en) * 2005-10-06 2009-07-21 The Boeing Company Apparatus and methods for adjustably supporting probes
US20070089549A1 (en) * 2005-10-06 2007-04-26 The Boeing Company Apparatus and methods for adjustably supporting probes
CN104567607A (zh) * 2015-01-08 2015-04-29 江苏天宏机械工业有限公司 一种轮毂内径检测头旋转调整机架
CN110017803B (zh) * 2019-03-29 2021-02-26 太原理工大学 一种revo测头b轴零位误差标定方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4136458A (en) * 1976-10-01 1979-01-30 The Bendix Corporation Bi-axial probe
CH628137A5 (fr) * 1977-09-27 1982-02-15 Meseltron Sa Procede de mesure a l'aide d'une tete de mesure d'une machine a mesurer et tete de mesure pour la mise en oeuvre de ce procede.
SU1025994A1 (ru) * 1981-01-05 1983-06-30 Всесоюзный Научно-Исследовательский И Конструкторский Институт Средств Измерения В Машиностроении Измерительна головка
JPS57152663A (en) * 1981-03-18 1982-09-21 Mitsubishi Electric Corp Micro-wave electric-discharge light source device
EP0088596B1 (en) * 1982-03-05 1988-10-19 Sony Magnescale Incorporation Apparatus for determining the location of the surface of a solid object

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05248848A (ja) * 1991-07-26 1993-09-28 Dr Johannes Heidenhain Gmbh 多座標接触ヘッド

Also Published As

Publication number Publication date
DE3661446D1 (en) 1989-01-19
US4763421A (en) 1988-08-16
ATE39285T1 (de) 1988-12-15
EP0197243B1 (de) 1988-12-14
DE3508396C1 (de) 1985-09-12
EP0197243A1 (de) 1986-10-15
JPH0460527B2 (ja) 1992-09-28

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