JPS6126601B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPS6126601B2
JPS6126601B2 JP55028573A JP2857380A JPS6126601B2 JP S6126601 B2 JPS6126601 B2 JP S6126601B2 JP 55028573 A JP55028573 A JP 55028573A JP 2857380 A JP2857380 A JP 2857380A JP S6126601 B2 JPS6126601 B2 JP S6126601B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
target
optical axis
translational
axis
rotational
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP55028573A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS55126804A (en
Inventor
Shii Kurutsu Yose
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Cummins Inc
Original Assignee
Cummins Engine Co Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Cummins Engine Co Inc filed Critical Cummins Engine Co Inc
Publication of JPS55126804A publication Critical patent/JPS55126804A/ja
Publication of JPS6126601B2 publication Critical patent/JPS6126601B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/10—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void
    • G01J1/20—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void intensity of the measured or reference value being varied to equalise their effects at the detectors, e.g. by varying incidence angle
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
    • G01B11/272—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/74—Systems using reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. IFF, i.e. identification of friend or foe

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は物品のまたは物品の部分の並進方向
および回転方向の位置を光学的に測定する光学的
位置測定装置に関するものである。特に、ここに
開示されている装置はエンジンブロツク内のクラ
ンクシヤフトおよびシヤフト等の製造物の機械加
工された部分の整合を測定することができるよう
に設計されている。
レーザ技術の発達に伴ない、高度に正確な光整
合システムが実用化されてきた。これらのシステ
ムと同様、このようなシステムを補なう種々の要
素も振動、衝撃、金属クリープ、および温度膨張
および収縮を受け、これらは全て装置によつてな
される測定の不正確性に通じる。装置の光学要素
によつて生じる不正確性を回避するため複雑な光
学システムを使用する種々の技術が提案されてい
る。例えば、米国特許第3522859号明細書には一
対の面の相対位置を測定するための装置が記載さ
れ、測定装置の光学エレメントの支持構造の位置
においてミラーの不正確性すなわち変化の影響を
除去するため特別の光学エレメントが使用されて
いる。記載されている目的には有効であるが、こ
の種の装置は製造コストが高く、かつ横方向およ
び回転方向の位置すなわち整合情報が望まれるい
くつかの場合には適していない。
米国特許第3323408号明細書に記載されている
光学整合システムはコリメーターの後方に取り付
けられた光源を含み、これは光線を基準位置から
物品に取り付けるに適した反射ターゲツトに投射
し、物品の位置が測定される。記載されているタ
ーゲツトは横方向の変位の情報を復帰光線に与え
る第１反射エレメントと角度変化の情報を第２復
帰光線に与える第２反射エレメントとを含む。復
帰光線は光源およびコリーメーターによつて形成
される投射光線内に配置された光線スプリツター
によつてとらえられ、光感知エレメントに向けら
れる。この種の装置では、第１光学エレメントに
よつて形成される復帰光線がもつ横方向変位の情
報の正確さは第１光学エレメントの正確さに関係
する。反射ターゲツトと基準位置の間の距離が増
加すると、復帰光線の分岐の因をなす光学エレメ
ントのあらゆる欠陥が増幅される。反射ターゲツ
トと基準位置の間の距離が変化する場合、測定の
誤差を再校正することなく修正するのはきわめて
困難になる。この距離の変化は製造物の機械加工
された面の整合が光学的に試験され、製造物がコ
ンベア上を光学的試験位置を通つて移動する場合
に特に問題である。
米国特許第3790276号明細書には光線を基準位
置から遠隔光電センサーに投射することによつて
変位を感知することは周知である旨の記載があ
る。この種の装置はしかしながら角度および横方
向変位の両方の情報を発生させるための光電地列
ときわめて複雑なデイジタル電子処理回路が要求
される。いくらか簡単な回路が米国特許第
3470377号明細書に示され、この明細書には遠隔
反射エレメントの縦振れおよび横振れを検出する
ため投射される復帰光線を形成するように構成さ
れた光感知列を使用した光学位置感知装置が記載
されている。
要するに、従来は便利なかつ高度に正確な比較
的簡単な光電整合試験装置がなかつたものであ
る。
この発明の主な目的は、前述した従来の欠点を
克服することにある。特にこの発明の目的は反射
ターゲツトを物品の部分に位置決めし、光線を基
準位置からターゲツトに伝達し、システムの基準
に対する物品の部分の並進及び回転方向の位置を
光学的に測定するための装置を提供することにあ
る。
この発明の他の目的は基準光線からの反射ター
ゲツトの横方向の変位を指示する電気信号を発生
する光電手段と、基準光線の一部を基準光線源に
近接して位置決めされた光センサーに復帰させ、
反射ターゲツトの角度位置に関する情報を提供す
るための反射面とを含む光整合システムのための
反射ターゲツトを提供することにある。
この発明の他の目的は種々の大きさ及び形状の
機械加工面に位置決めするに適した単一の反射タ
ーゲツトを含み、これによつて光整合試験装置の
適用性を大きく改良した正確性の高い簡単な光整
合試験装置を提供することにある。
この発明の目的は、複数のアダプタスリーブの
一つに位置決めするための前述したタイプの反射
ターゲツトを含み、スリーブはほぼ対応した大き
さの孔内に配置するに適し、これによつて反射タ
ーゲツトが配置される各孔の中心軸の整合性を試
験できるようにした光整合試験装置を提供するこ
とにある。
以下、この発明の実施例を図面について詳細に
説明する。
第１図を参照すると、この発明に従つて設計さ
れた光電整合システムの部分断面図が示され、こ
れは光線６を遠隔反射ターゲツト８に向かつて投
射させるための光ヘツド組立体４を含み、ターゲ
ツト８は整合が試験される物品（図示せず）の部
分に取り付けられ、接触するに適している。光ヘ
ツド組立体４は安定サポート（図示せず）に取り
付けられたときに、システムの基準を形成するた
めのハウジンング１０の形のベース手段を含む。
ハウジンング１０はその位置を下方の安定サポー
トに対し調節するための構造を持つものであつて
もよく、装置が一つの位置で連続的に使用するよ
うに設計されている場合には、サポートに永久的
に取り付けるに適したものであつてもよい。後述
するように、ハウジンング１０はボーリング盤の
スピンドルヘツドなどの機械工具内にハウジンン
グを支持することを可能にする取付構造を含むも
のであつてもよい。
光線６を形成するため、ハウジンング１０は光
源１２を含み、これはレーザー又は市販されてい
る光検出器によつて検出することができる波長の
光を発生する特性を持つた他のタイプの光源であ
つてもよい。光源１２によつて発生される光はコ
リメーテイングレンズ組立体１４を通過し、比較
的狭い高度に平行になつた光線６になり、これは
ハウジンング１０から孔１８を通つて出る前に、
光線スプリツタを通過する。
前述したように、反射ターゲツト８は整合性が
試験される面に取り付けられ、接触する。この目
的を達成するため、反射ターゲツト８はハウジン
ング２０の基準軸に直角に配置された光検出器２
２を含むハウジンング２０を有する。普通はハウ
ジンング２０はその基準軸が光線６の軸にあらま
し整合されるように位置決めされる。部分的に被
覆されたミラー２４が光線６と交差するようハウ
ジンング２０内に取り付けられ、光線６の一部か
ら復帰光線２６が形成される。部分的に銀で被覆
されたミラー２４は、ハウジンング２０の基準軸
に正確に直角に配置されているため、復帰ビーム
２６の中心軸と投射光線６の中心軸が形成する角
度の大きさおよび方向は投射光線６の中心軸に対
するハウジンング２０の基準軸の回転位置を指示
する。
部分的に銀で被覆されたミラー２４は、投射光
線６の残りの部分がミラーを通過し、光検出器２
２に衝突することを可能にする。後述するよう
に、光検出器２２はそれに衝突する光線の横方向
位置、すなわち並進位置を光検出器の面の中心点
に対して測定することができる種類のものであ
る。したがつて、光検出器２２は光ヘツド組立体
４及び投射光線６によつて形成される基準位置に
対する反射ターゲツト８の並進位置を指示する電
気信号を発生することができる。同時に反射ター
ゲツト８は光ヘツド組立体４によつて形成される
システムの基準に対する反射ターゲツト８の回転
位置を指示する復帰光線２６の形の光信号を発生
する作用をする。望ましくない反射を除去するた
め、プレーンガラス２５をミラー２４の前方にお
いてハウジンング２０内にハウジンング２０の中
心軸に直角な面に対し、鋭角をもつて取り付けて
もよい。
光スプリツタ１６は、光線２６を光線３０によ
つて示されている通路に沿つて光検出器２８に進
ませるように構成される。光源の強度の変化を補
い、かつ周囲光の干渉を除くため、基準光検出器
３２を使用して光線スプリツタ１６によつて形成
される基準光線３４を受けけるようにしてもよ
い。信号とノイズの比率の付加的な改良は、後述
するように光線６を予め設定された一定の周期を
もつて遮断するように取り付けられた光チヨツパ
ー３６を使用することによつて達成される。
第２ａ及び２ｂ図を参照すると、反射ターゲツ
ト８は種々の大きさの機械加工された孔内に反射
ターゲツトを取り付けるためのアダブタと組み合
わせて使用される。特に第２ａ図は反射ターゲツ
ト８のハウジンングを収容し、取り付けるための
手段を形成する内孔４２を有するスリーブ４０を
含むアダプタ３８を示す。スリーブ４０の外面４
４は円筒状であり、ハウジンング１０の中心軸４
６の周りに同心に配置される。軸４６は光検出器
２２の中心を通る。面４４の径は、スリーブ４０
を製造物（図示せず）に形成された機械加工孔内
に適合させることができる大きさである。放射方
向のフランジ４８はアダプタ３８の一部を形成
し、スリーブ４０を整合性が試験される孔内に位
置決めするために使用される。アダプタ３８は反
射ターゲツト８の中心軸４６を試験される孔の中
心軸に同心に位置決めする作用をする。
第２ｂ図はアダプタ３８′の他の実施例の断面
図であり、アダプタのスリーブ部分５０はさらに
大きい直径の円筒状の外面５２を有し、反射ター
ゲツト８を補充径の機械加工孔内に位置決めする
ことができる。反射ターゲツト８はアダプタを使
用することによつてどのような大きさの孔内にも
取り付けることができる。アダプタの内側は、反
射ターゲツトを収容することができる形状を持
ち、外側はアダプタを支持するように構成された
物品の部分に対し、予め設定された関係をもつて
反射ターゲツトを位置決めすることができる形状
を持つ。
第３図を参照すると、第１図、第２ａ図及び第
２ｂ図に示されている整合システムを適用する状
態が示され、エンジンブロツク５４が点線によつ
て示されている。光ヘツド組立体４は三つの位置
決めストツパ５６に対し一定の関係をもつて位置
決めされ、ストツパ５６はエンジンブロツクに係
合し、エンジンブロツクのベース部分を水平面Ｘ
内に配置する。光ヘツド組立体４は、一対のスト
ツパ５８に対しても予め設定された一定の関係を
もつて位置決めされ、ストツパ５８はエンジンブ
ロツク５４を垂直面Ｙに対し位置決めするように
配置される。エンジンブロツク５４は、矢印６０
によつて示されている方向に、コンベアに沿つて
移動することができ、エンジンブロツク５４をス
トツパ５６及び５８に係合させることができる。
適正に位置決めされると、光線６の軸はエンジン
ブロツクに機械加工された複数孔６２の中心軸内
にあらまし整合される。孔６２はエンジンのクラ
ンクシヤフト（図示せず）を支持するものであ
る。第２ｂ図に示されている種類のアダプタを使
用することによつて、反射ターゲツト８は第３図
に示されているようなどのような孔６２にも位置
決めすることができる。前述したように、反射タ
ーゲツトは光線６の中心軸に直角な一対の軸に対
する縦振れ及び横振れに関する情報を含む復帰光
線の光信号を提供する。縦振れ及び横振れ情報
は、光ヘツド組立体４の光検出器によつて読み取
られる。反射ターゲツト８は光ヘツド組立体４に
よつて形成される基準軸に対する反射ターゲツト
８の中心軸の横方向の位置を指示する電気信号を
リード６４に与える。
各クランクシヤフトの孔６２の整合が試験され
た後、エンジンブロツク５４と光ヘツド組立体４
の相対位置が変えられ、光線の軸は各カムシヤフ
ト孔６６の所望の位置に一致せしめられる。この
軸は線６８によつて第３図に示されている。この
調節はボーリング盤のスピンドルに組立体４が取
り付えられているシステムでは、単にボーリング
スピンドルの位置を変えることによつて行われ
る。この方法で位置決めされるときは、孔６２に
使用されている大きさよりも小さい大きさのアダ
プタが、反射ターゲツト８に関係して使用され、
反射ターゲツトは各カムシヤフト孔６６内に位置
決めされる。このようなアダプタは第２ａ図に示
されている形をとることができ、スリーブ４０の
外径はカムシヤフト孔６６の径を補なう。
第４図はエンジンブロツク５４に形成された孔
６２及び６６に対するストツパ５６及び５８の相
対位置を示すものである。第４図によつて明らか
なように、ストツパ５６はエンジンブロツクを水
平面Ｘに対して位置決めするように構成され、ス
トツパ５８はエンジンブロツク５４を垂直面Ｙに
対して位置決めするのに使用される。
第５図は第１ないし４図に示されているタイプ
の光電整合システムの光ヘツド組立体によつて形
成される基準位置に対する反射ターゲツトの回転
及び並進位置をデジタル表示するための回路を示
すものである。特に反射ターゲツト８内に取り付
けられた光検出器２２は、四つのリードを有する
ソリツドステート光検出器の形のものでもよく、
四つのリードは検出器の中心から等距離の点で接
続され、検出器の外周の周りに等角度間隔を置い
て配置されている。光検出器の材料は一定の波長
帯内に露呈されると、その抵抗を変える特性を持
つ。したがつて各リード間の相対抵抗は二つの直
角軸Ｘ及びＹに沿つて測定される光検出器の面に
衝突する光線の中心の位置を測定する。線７０な
いし７６に受けられるアナログ信号は、普通の
AD変換器によつてデジタルの形に変えられ、相
対値は普通の読取り専用記憶装置８２内に貯えら
れたプログラムに従つてマイクロプロセツサ８０
によつて処理することができる。前述したよう
に、基準光検出器３２を光ヘツド組立体４内に使
用して、AD変換器８７を通るリード８４に信号
を発生させ、これをマイクロプロセツサに使用し
て周囲光の影響及び光源１２によつて生じる光の
強度の変化を除去することができる。これに代え
て、基準光検出器３２からの出力をアナログの形
で光源１２の動力源に接続されたフイードバツク
ループに使用し、光源からの出力を一定に維持す
ることもできる。光チヨツパー３６をマイクロプ
ロセツサ８０に接続し、信号を発生させ、これに
よつてマイクロセツサは光検出器２２及び光検出
器２８からの出力のサンプリングを光チヨツパー
３６によつて生ずる投射光線６の遮断と同期させ
ることができる。
光ヘツド組立体４内に取り付けられた光検出器
２８は、光検出器２２と同様のタイプのものであ
つてもよく、光検出器２８をAC変換器９４に接
続するための四つのリード８６，８８，９０及び
９０を含み、変換器９４はマイクロプロセツサ８
０に接続され、光検出器２８の面の中心に対する
復帰光線部分３０の衝突点に関する信号を発生す
る。第１図に示されている装置の幾何学構成から
明らかなように、検出器２８は投射光線６の中心
軸と直角な、かつ第１図の面に横たわる第１回転
軸に対する反射ターゲツト８の角度位置を指示す
ることができる。光検出器２８は投射光線６の中
心軸に直角な、かつ第１図の面に直角な軸に対す
る反射ターゲツト８の角度回転を表示する信号を
発生することもできる。このような角度の値は普
通は縦振れ及び横振れと呼ばれている。
マイクロプロセツサ８０は、読取り専用記憶装
置８２によつてプログラムされ、検出器２２及び
２８からの信号を処理し、その結果をデジタル信
号の形で表示ドライバー９６に送る。ドライバー
９６はデジタル表示部９８，１００，１０２及び
１０４に接続され、反射ターゲツト８の縦振れ及
び横振れ回転変位及びＸ及びＹ並進変位がそれぞ
れ表示される。
前述した光電整合システムは種々のものに適用
することができ、特に製造物の機械加工が許容製
造公差内にあることを確かめる種々の点検処理に
使用される。第３図に示されている点検適用に加
えて、この発明の装置はボーリング盤の工具に使
用することができ、光ヘツド組立体４は工具のボ
ーリングスピンドル内に取り付けられ、反射ター
ゲツトは工作物に形成された孔内に配置される。
この構成は機械工具の検査及び相互関係の維持を
可能にする。この整合システムは機械工具に係合
させるものとして使用することもできる。その他
の適用とし、整合システムを安定プラツトホーム
のサーボ機構又は直径測定システムに使用するこ
とが考えられる。
以上説明したように、この発明はシステム基準
位置を規定するベース手段１０に光線形成手段１
２を取り付け、システム基準位置に対し予め設定
された関係をもつ光軸に沿つて光線を形成し、投
射する。そして、物品に取り付けられたターゲツ
ト手段８から光線の一部分をベース手段１０に復
帰させ、ベース手段１０の回転方向位置感知手段
２８にその光線の一部分を受けさせ、ターゲツト
手段８の回転方向位置を指示する電気信号を生じ
させる。さらに、ターゲツト手段８の並進方向位
置感知手段２２に光線の他部分を受けさせ、ター
ゲツト手段８の並進方向位置を指示する電気信号
を生じさせるようにしたから、ターゲツト手段８
を取り付けた物品の部分の並進方向および回転方
向位置をそれぞれ測定することができる。
また、この発明は、ベース手段１０に対し間隔
をおいてターゲツト手段８を物品に取り付ける。
そして、ターゲツト手段８から光線の一部分をベ
ース手段１０に復帰させ、回転方向位置感知手段
２８をベース手段１０に設け、並進方向位置感知
手段２２をターゲツト手段８に設けたから、互い
に間隔をおいた位置で回転方向位置感知手段２８
および並進方向位置感知手段２２から電気信号を
取り出すことができ、各感知手段２８，２２の電
気信号の干渉が生じるおそれはない。したがつ
て、ターゲツト手段８を取り付けた物品の並進方
向および回転方向位置を的確に測定することがで
きる また、この発明の装置のターゲツト手段８に設
ける必要があるのは、並進方向位置感知手段２２
だけである。回転方向位置感知手段２８など、そ
の他の構成要素をターゲツト手段８に設ける必要
はない。したがつて、ターゲツト手段８の製造コ
ストを低くすることができる。普通、ターゲツト
手段８については、これを種々の物品に取り付け
る必要があり、ターゲツト手段８が破損する可能
性は大きい。ターゲツト手段８が破損すると、こ
れを交換する必要がある。この発明は、ターゲツ
ト手段８の交換コストを低くすることができ、維
持コストを低くすることができる。また、単一の
ベース手段１０および光線形成手段１２に対し複
数のターゲツト手段８を使用し、各ターゲツト手
段８をそれぞれ物品に取り付けることも考えられ
る。この場合は、ターゲツト手段８の単位コスト
を低くすることができ、全体のコストを低くする
ことができる。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明に従つて構成された光電整合
システムの一部断面図、第２ａ図は第１図に示さ
れたいる光電整合システムに使用する反射ターゲ
ツトを孔内に位置決めするためのアダプタ内に取
り付けた状態を示す断面図、第２ｂ図は第２ａ図
の反射ターゲツトを第２ａ図のアダプタが配置さ
れる孔よりも大きい内径の孔内に位置決めするた
めのアダプタ内に取り付けた状態を示す断面図、
第３図は第１図の光電整合システムを適用してエ
ンジンブロツクに形成された孔の整合を試験する
状態を示す斜視図、第４図は第３図に示されてい
るエンジンブロツクの端面図、第５図は第１図の
光電整合システムを使用して回転および並進情報
を感知し表示するための電気回路の回路図であ
る。 ６……光線、８……反射ターゲツト、１２……
光源、１４……コリメーテイングレンズ組立体、
１６……光線スプリツター、２２，２８，３２…
…光検出器、２４……ミラー、２６……復帰光
線、３６……光チヨツパー、３８，３８′……ア
ダプタ、４０……スリーブ、５４……エンジンブ
ロツク、５６，５８……ストツパー、６２，６６
……孔、７８，８７，９４……AD変換器、８０
……マイクロプロセツサ、８２……読取専用記憶
装置、９６……ドライバー、９８，１００，１０
２，１０４……デジタル表示器。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ システム基準位置に対する物品の部分の並進
    方向および回転方向位置を光学的に測定するため
    の装置であつて、 (a) 安定サポートに取り付けられたときシステム
    基準位置を規定するベース手段１０と、 (b) 前記ベース手段１０に取り付けられ、前記シ
    ステム基準位置に対し予め設定された関係をも
    つ光軸に沿つて光線を形成し、投射する光線形
    成手段１２と (c) 前記ベース手段１０に対し間隔をおいて前記
    物品に取り付けることができるよう構成された
    ターゲツト手段８とを備え、前記ターゲツト手
    段８は前記光線の一部分を前記ベース手段に復
    帰させるための手段２４、および前記光線の他
    の部分から前記システム基準位置に対する前記
    ターゲツト手段の並進方向位置を指示する電気
    信号を生じさせるための並進方向位置感知手段
    ２２を有し、さらに、 (d) 前記ベース手段１０に取り付けられ、前記光
    線の一部分を受け、前記ターゲツトの回転方向
    位置を指示する電気信号を生じさせる回転方向
    位置感知手段２８とからなる光学的位置測定装
    置。 ２ 前記ターゲツト手段８は投射された光線の一
    部分を前記光軸に対し角度をなす反射光軸に沿つ
    て反射させ、前記角度によつて一対の直交軸に対
    する前記ターゲツト手段の回転方向位置を指示
    し、前記光線の残りの部分が前記光軸に沿つて前
    記並進方向位置感知手段に投射されることを可能
    にするための部分反射手段２４を有し、前記並進
    方向位置感知手段２２は光検出器を有し、前記部
    分反射手段は前記光軸に沿つて前記光検出器２２
    の前方に、かつ前記光軸と直角の面内に位置決め
    され、部分的に銀で被覆されたミラーを有する特
    許請求の範囲第１項に記載の装置。 ３ 光線スプリツタ手段１６が前記光線内の位置
    で前記ベース手段に取り付けられ、前記光線スプ
    リツタ手段１６は光線が前記光軸に沿つて投射さ
    れることを可能にし、かつ前記光線の一部分を前
    記反射光軸に沿つて前記回転方向位置感知手段２
    ８に反射させ、さらに前記光線を予め設定された
    周期をもつて遮断するための光チヨツパー手段３
    ６が前記ベース手段に取り付けられ、前記信号の
    処理と前記光チヨツパー手段の遮断周期を同期さ
    せることによつて前記回転方向および並進方向位
    置感知手段からの信号に対するノイスと信号の比
    を改良するための弁別回路が前記回転方向および
    並進方向位置感知手段に接続されている特許請求
    の範囲第２項に記載の装置。 ４ 物品に形成された異なつた大きさのターゲツ
    ト収容円形孔の整合を測定するための装置であつ
    て、前記ターゲツト手段は最も小さい円形孔の直
    径よりも小さい外径および予め設定されたターゲ
    ツト軸を有するターゲツトハウジングを含み、前
    記ターゲツト手段は複数のアダプタスリーブを有
    し、前記各アダプタスリーブは前記ターゲツトハ
    ウジングを前記スリーブ内に取り付けるための手
    段および前記円形孔内に位置決めされる形状の外
    面を有し、前記ターゲツト軸を前記アダプタスリ
    ーブが配置される孔の軸に対し予め設定された関
    係をもつて固定するようにした特許請求の範囲第
    ３項に記載の装置。
JP2857380A 1979-03-05 1980-03-05 Photoelectric target for optical matching system Granted JPS55126804A (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/017,434 US4243877A (en) 1979-03-05 1979-03-05 Electro-optical target for an optical alignment system

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS55126804A JPS55126804A (en) 1980-10-01
JPS6126601B2 true JPS6126601B2 (ja) 1986-06-21

Family

ID=21782566

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2857380A Granted JPS55126804A (en) 1979-03-05 1980-03-05 Photoelectric target for optical matching system

Country Status (7)

Country Link
US (1) US4243877A (ja)
JP (1) JPS55126804A (ja)
KR (1) KR830001843B1 (ja)
BR (1) BR8001292A (ja)
GB (1) GB2049335B (ja)
IN (1) IN152646B (ja)
MX (1) MX147361A (ja)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4636626A (en) * 1983-01-14 1987-01-13 Nippon Kogaku K.K. Apparatus for aligning mask and wafer used in semiconductor circuit element fabrication
US4547662A (en) * 1983-03-16 1985-10-15 United Technologies Corporation Noninterference optical error sensing system
JPS60237307A (ja) * 1984-05-11 1985-11-26 Yokogawa Hewlett Packard Ltd レ−ザ測長器
US4679940A (en) * 1984-08-01 1987-07-14 Hamar M R Control system for a continuous cell target readout in a laser measurement system
US4690563A (en) * 1985-08-16 1987-09-01 Grumman Aerospace Corporation Hole centration gage
WO1989000675A1 (en) * 1985-08-16 1989-01-26 Grumman Aerospace Corporation Hole centration gage
US4738531A (en) * 1986-01-23 1988-04-19 Westinghouse Electric Corp. Distributed antenna array location apparatus
US5060632A (en) * 1989-09-05 1991-10-29 Olympus Optical Co., Ltd. Endoscope apparatus
US5302835A (en) * 1993-03-22 1994-04-12 Imra America, Inc. Light detection system having a polarization plane rotating means and a polarizing beamsplitter
US5513000A (en) * 1993-07-26 1996-04-30 Princeton Scientific Instruments Inc. Autocollimator
US5517016A (en) * 1994-03-31 1996-05-14 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Lasercom system architecture with reduced complexity
FR2769085B1 (fr) * 1997-09-26 1999-12-03 Thomson Csf Dispositif de reglage de l'alignement d'un radar pour automobiles
US6788726B2 (en) * 2002-02-26 2004-09-07 New Focus, Inc. External cavity laser with high spectral purity output
DE10239940A1 (de) * 2002-08-30 2004-03-25 Sick Ag Lichtschranke oder Lichtgitter
DE102004020406A1 (de) * 2004-04-23 2005-11-10 Prüftechnik Dieter Busch AG Messvorrichtung und Verfahren zum Ermitteln der Geradheit hohlzylindrischer oder hohlkegeliger Körper bzw. deren Orientierung relativ zueinander
DE502006002535D1 (de) * 2005-03-04 2009-02-26 Busch Dieter & Co Prueftech Verfahren zum Ausrichten von Maschinen oder Maschinenteilen
US20080189072A1 (en) * 2007-02-01 2008-08-07 Nescom Inc. High resolution encoder within a swivel
US20110133726A1 (en) * 2009-12-09 2011-06-09 Alexander Ballantyne Precision alignment system
CN105737765A (zh) * 2016-04-06 2016-07-06 合肥工业大学 基于半导体激光器组件的四自由度光学测头
DE102017202652A1 (de) * 2017-02-20 2018-08-23 Siemens Aktiengesellschaft Vorrichtung und Verfahren zur Kalibrierung mittels projizierter Muster

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3323408A (en) * 1962-09-04 1967-06-06 Bishop Robert Edward Optical alignment system
US3470377A (en) * 1966-11-04 1969-09-30 Texas Instruments Inc Two-axis automatic autocollimator
GB1196781A (en) * 1967-01-26 1970-07-01 Thring Advanced Developments L Walking Machine.
US3603691A (en) * 1969-07-25 1971-09-07 Lockheed Aircraft Corp Laser control for automatic alignment of structures
US3790276A (en) * 1971-04-07 1974-02-05 Us Navy Direct measurement of ship body distortion using a laser beam
US4105339A (en) * 1977-01-24 1978-08-08 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Azimuth monitoring system

Also Published As

Publication number Publication date
IN152646B (ja) 1984-03-03
KR830001843B1 (ko) 1983-09-14
JPS55126804A (en) 1980-10-01
US4243877A (en) 1981-01-06
GB2049335A (en) 1980-12-17
MX147361A (es) 1982-11-22
BR8001292A (pt) 1980-11-04
GB2049335B (en) 1983-06-15
KR830002219A (ko) 1983-05-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6126601B2 (ja)
KR102005626B1 (ko) 스핀들의 자유도 오차를 검측하는 광학식 검측 장치 및 그 방법
JP2779242B2 (ja) 光電子工学式角度測定システム
US4897536A (en) Optical axis displacement sensor with cylindrical lens means
US4651283A (en) Installation for determining the spatial coordinates of a point on a piece, in particular for controlling a plant such as a welding plant for the car bodies of motor vehicles
US4714339A (en) Three and five axis laser tracking systems
EP1086354B1 (en) Surface sensing device with optical sensor
US5325177A (en) Optical, interferometric hole gauge
US4982103A (en) Process and apparatus for the non-contact measurement of the geometric contours of a part
JP5784150B2 (ja) 表面を高精度で測定する方法及び装置
JPH03501052A (ja) 座標測定機用校正システム
JP2001503133A (ja) ５−軸／６−軸レーザ測定システム
JPS5984107A (ja) 静的軸合せ方法及び装置及び軸合せ監視方法及び装置
JP2018116058A (ja) 少なくとも１つの長さ測定量を測定する測定装置及び方法
US4346994A (en) Secondary alignment target for an electro-optical alignment measuring system
US6674521B1 (en) Optical method and system for rapidly measuring relative angular alignment of flat surfaces
CN109579782B (zh) 一种高精度大工作距自准直三维角度测量装置与方法
EP0215656B1 (en) Optical measurement apparatus
CN109579778B (zh) 一种基于双波长分光自准直三维角度测量装置与方法
US4115008A (en) Displacement measuring apparatus
CN112325777B (zh) 一种测量转轴六自由度几何误差的光学测量装置
CN110057288B (zh) 光学旋转抛物面基准件阵列中心距离的标定方法
CN209541665U (zh) 光学旋转抛物面基准件阵列中心距离的标定装置
US5359418A (en) Photometric grinder and lathe gauge
JPH04268433A (ja) 非球面レンズ偏心測定装置