JPH0460527B2 - - Google Patents
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- JPH0460527B2 JPH0460527B2 JP61049581A JP4958186A JPH0460527B2 JP H0460527 B2 JPH0460527 B2 JP H0460527B2 JP 61049581 A JP61049581 A JP 61049581A JP 4958186 A JP4958186 A JP 4958186A JP H0460527 B2 JPH0460527 B2 JP H0460527B2
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- JP
- Japan
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- touch sensor
- cylinder body
- touch
- sphere
- coordinate
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- 230000001154 acute effect Effects 0.000 claims 1
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 abstract 5
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 abstract 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
- G01B11/005—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
- G01B11/007—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines feeler heads therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、複数の座標方向に偏位可能な少なく
とも1つの検出ピンを有し、ピンは戻し力によつ
てその零位置を特定する支承部に押圧され、支承
部は溝の表面範囲と球体の表面範囲との共働によ
つて形成され、そして球体は支承個所としての溝
と共に、タツチピンに同心に、タツチピンに対し
て垂直な平面内に均等に分配されており、そして
少なくとも3つの支承個所が存在している、多座
標タツチセンサに関する。
とも1つの検出ピンを有し、ピンは戻し力によつ
てその零位置を特定する支承部に押圧され、支承
部は溝の表面範囲と球体の表面範囲との共働によ
つて形成され、そして球体は支承個所としての溝
と共に、タツチピンに同心に、タツチピンに対し
て垂直な平面内に均等に分配されており、そして
少なくとも3つの支承個所が存在している、多座
標タツチセンサに関する。
多数の測定及び送信する多座標タツチセンサが
公知である。二つの実施例ではタツチピンが任意
の方向への偏位の後に再びその特定の零位置に戻
ることが特に重要である。従つてタツチセンサハ
ウジングに対するタツチピンの支承部を特別に有
利に形成する種々の研究が行われた。
公知である。二つの実施例ではタツチピンが任意
の方向への偏位の後に再びその特定の零位置に戻
ることが特に重要である。従つてタツチセンサハ
ウジングに対するタツチピンの支承部を特別に有
利に形成する種々の研究が行われた。
技術レベル
西独国特許公開公報284124には3点支持を有す
る測定ヘツドが記載されている。タツチセンサハ
ウジング底には3つのV溝が星形に配設されてい
る。測定皿には3つのピンが球面と固着されてい
る。測定皿はばねによつてタツチセンサハウジン
グ底の方向に圧縮され、そしてピンは所属のV溝
中で確定した位置を占め、その位置においてピン
はタツチピンの偏位の後に再び元に戻される。
る測定ヘツドが記載されている。タツチセンサハ
ウジング底には3つのV溝が星形に配設されてい
る。測定皿には3つのピンが球面と固着されてい
る。測定皿はばねによつてタツチセンサハウジン
グ底の方向に圧縮され、そしてピンは所属のV溝
中で確定した位置を占め、その位置においてピン
はタツチピンの偏位の後に再び元に戻される。
更に欧州特許出願明細書EP−A2−D088596か
ら同様に3つの支承個所を備えた支承装置が公知
である。同様に支承個所は一平面内で均等に周囲
に分配されている。タツチセンサハウジング底に
は3つの球が配設されており、球は組立のために
タツチピンの方向に移動可能である。測定皿中の
3つの対抗軸受は相違した形態である。対抗軸受
は穴の形の回動阻止部として形成されている。第
2の対抗軸受はV溝を有し、V溝は測定皿の中心
点に対して確定的に整直されている。第三の対抗
軸受は測定皿に対して平行かつ圧着ばねの分力に
対して垂直な平らな支台である。
ら同様に3つの支承個所を備えた支承装置が公知
である。同様に支承個所は一平面内で均等に周囲
に分配されている。タツチセンサハウジング底に
は3つの球が配設されており、球は組立のために
タツチピンの方向に移動可能である。測定皿中の
3つの対抗軸受は相違した形態である。対抗軸受
は穴の形の回動阻止部として形成されている。第
2の対抗軸受はV溝を有し、V溝は測定皿の中心
点に対して確定的に整直されている。第三の対抗
軸受は測定皿に対して平行かつ圧着ばねの分力に
対して垂直な平らな支台である。
一般に測定力の異なるかつこれと関連して撓み
に制約された測定値の差は(種々のタツチ方向に
おける)多数の支承個所の増加によつて減少され
る。しかし支承個所の数の増大では公知のタツチ
センサ系でははめあい支承個所の製造コストが著
しく高騰し、かつシステむが静的に過剰になると
いう危険性がある。
に制約された測定値の差は(種々のタツチ方向に
おける)多数の支承個所の増加によつて減少され
る。しかし支承個所の数の増大では公知のタツチ
センサ系でははめあい支承個所の製造コストが著
しく高騰し、かつシステむが静的に過剰になると
いう危険性がある。
従つて支承個所の相違なる実施形態によつて欧
州特許出願EP−A2−D088596による技術レベル
では静的過剰も不足をも回避することが研究され
た。
州特許出願EP−A2−D088596による技術レベル
では静的過剰も不足をも回避することが研究され
た。
相異なる実施形態の支承個所は、3つ以上の支
承個所が創造される場合に記載の両システムで必
要である。それによつて加工物へのタツチ球の押
圧の際に各タツチ方向に従つて種々の優先的方向
への偏位(偏位の方向性)が現われるという欠点
を有するが高い零点安定性は創造される。
承個所が創造される場合に記載の両システムで必
要である。それによつて加工物へのタツチ球の押
圧の際に各タツチ方向に従つて種々の優先的方向
への偏位(偏位の方向性)が現われるという欠点
を有するが高い零点安定性は創造される。
解決すべき問題点
本発明の課題は多座標タツチセンサをタツチセ
ンサのハウジング固定の部分に対する可動部分の
位置を調整なしに高精度に確定し、そして特定さ
れかつ一定のタツチ条件が全てのタツチ方向にお
いて保証されるようにすることである。
ンサのハウジング固定の部分に対する可動部分の
位置を調整なしに高精度に確定し、そして特定さ
れかつ一定のタツチ条件が全てのタツチ方向にお
いて保証されるようにすることである。
更に本発明によつて高精度の構成部分が使用さ
れる必要もなしに同様に形成された支承個所の精
度かつ簡単な組立が図られる。
れる必要もなしに同様に形成された支承個所の精
度かつ簡単な組立が図られる。
課題解決の手段
上記課題は本発明によれば支承個所のうちの少
なくとも2つが次のような特徴; (a) 球体は常に一平面内に保持されるように組付
けられていることと、 (b) 球体に受ける溝はシリンダ体に形成されてお
り、シリンダ体はその固有の軸線のまわりに回
転されかつ軸方向に移動され、それによつて球
体に適合されていること、 (c) シリンダ体は球体に適合後、移動不可能に固
定されていることとの組合せを有することによ
つて解決される。
なくとも2つが次のような特徴; (a) 球体は常に一平面内に保持されるように組付
けられていることと、 (b) 球体に受ける溝はシリンダ体に形成されてお
り、シリンダ体はその固有の軸線のまわりに回
転されかつ軸方向に移動され、それによつて球
体に適合されていること、 (c) シリンダ体は球体に適合後、移動不可能に固
定されていることとの組合せを有することによ
つて解決される。
本発明の作用及び効果
本発明による構成は偏位後その都度その零位置
へのタツチピンの良好な戻り精度が確保されると
いう保証を提供する。一平面内で測定皿の周囲に
亘つて均等に同種の支承個所を配列したことによ
つて、各タツチ方向においてタツチ球の偏位につ
いての方向性が回避され、従つて測定の再現性が
タツチ方向とは無関係に安全にされる。
へのタツチピンの良好な戻り精度が確保されると
いう保証を提供する。一平面内で測定皿の周囲に
亘つて均等に同種の支承個所を配列したことによ
つて、各タツチ方向においてタツチ球の偏位につ
いての方向性が回避され、従つて測定の再現性が
タツチ方向とは無関係に安全にされる。
本発明による支承部分の有利な組立は簡単かつ
高精度で実施可能であり、その際支承システムの
静的な過不足は排除される。
高精度で実施可能であり、その際支承システムの
静的な過不足は排除される。
本発明による多座標タツチセンサの他の優先的
な詳細は実施態様項に記載されている。
な詳細は実施態様項に記載されている。
実施例
第1図には多座標タツチセンサの全体構造が明
らかにされている。このタツチセンサは測定系の
ための送信センサとして実施される。軸1によつ
てセンサが図示しない測定又は工作機械のスピン
ドルに装着されることができる。タツチピン2の
偏位は全ての方向に可能である。シール3はタツ
チセンサハウジング4とタツチピン2との間の中
間空間を閉鎖する。薄板保護部5は熱い切屑によ
るシール3の損傷を阻止するが、タツチピン2に
その零位置から限られた偏位を行わせる自由空間
6をのこす。
らかにされている。このタツチセンサは測定系の
ための送信センサとして実施される。軸1によつ
てセンサが図示しない測定又は工作機械のスピン
ドルに装着されることができる。タツチピン2の
偏位は全ての方向に可能である。シール3はタツ
チセンサハウジング4とタツチピン2との間の中
間空間を閉鎖する。薄板保護部5は熱い切屑によ
るシール3の損傷を阻止するが、タツチピン2に
その零位置から限られた偏位を行わせる自由空間
6をのこす。
タツチピン3の偏位の測定のための検出機構
7,8,9は所定の偏位量になるとタツチ信号を
発し、タツチ信号は工作機械の制御のために又は
多座標測定機の測定値引渡しの時点の決定のため
に使用される。検出器7,8,9はタツチセンサ
ハウジング4内に固定された光学センサと同様に
前記ハウジングに向けられた固定した差動光電要
素8とから成る。両要素7,8の光軸にはレンズ
系9が可動タツチピン2に固定されている。
7,8,9は所定の偏位量になるとタツチ信号を
発し、タツチ信号は工作機械の制御のために又は
多座標測定機の測定値引渡しの時点の決定のため
に使用される。検出器7,8,9はタツチセンサ
ハウジング4内に固定された光学センサと同様に
前記ハウジングに向けられた固定した差動光電要
素8とから成る。両要素7,8の光軸にはレンズ
系9が可動タツチピン2に固定されている。
測定皿10はタツチピン2と固着されており、
タツチピンはタツチ球11の端に座着されてい
る。測定皿10の面はばね12によつてタツチセ
ンサハウジング4と接触している。対抗面はタツ
チセンサハウジング底13を備えた測定皿10の
支承部の一部分である。この支承部は正確につく
られなければならない、そのわけは静的過不足は
測定誤差を生じさせるからである。
タツチピンはタツチ球11の端に座着されてい
る。測定皿10の面はばね12によつてタツチセ
ンサハウジング4と接触している。対抗面はタツ
チセンサハウジング底13を備えた測定皿10の
支承部の一部分である。この支承部は正確につく
られなければならない、そのわけは静的過不足は
測定誤差を生じさせるからである。
工作物へのタツチ過程の間、測定皿10はばね
12によつて工作物へのタツチ球11の接触圧に
対抗作用している個所に保持され、そしてこの力
が所定の値を下まわつた場合でも測定皿10が支
承部において旋回され又は持上げられることを阻
止する。測定皿10がタツチセンサハウジング底
13に向つてばね12により保持される限り、測
定皿10とタツチセンサハウジング4は自由度0
のユニツトを形成する。偏位の後ばね12は測定
皿10をタツチセンサハウジング13に向つて戻
すように附勢される。
12によつて工作物へのタツチ球11の接触圧に
対抗作用している個所に保持され、そしてこの力
が所定の値を下まわつた場合でも測定皿10が支
承部において旋回され又は持上げられることを阻
止する。測定皿10がタツチセンサハウジング底
13に向つてばね12により保持される限り、測
定皿10とタツチセンサハウジング4は自由度0
のユニツトを形成する。偏位の後ばね12は測定
皿10をタツチセンサハウジング13に向つて戻
すように附勢される。
多点軸受として実施される支承部は本発明によ
れば測定皿10の周囲に均等に分配されかつ測定
皿10に固定係止されている、一平面内に配設さ
れた球体14から成る。各球体14の固定溝の孔
15は接着剤16の供給と場合によつては損傷さ
れた球体14の突出しのために役立つ。16個の球
14の各々を対抗軸受として各々1つのシリンダ
体が受けている。この中の15個のシリンダ体17
は球14に面した端にV溝18を備えている。残
つた1つのシリンダ体17は測定皿10の回転阻
止のための中空シリンダ19の形に形成されてい
る。シリンダ体17はその縦軸線が零位置にある
タツチピン2の縦軸線に対して平行になるように
向けられている。各球14が所属のV溝18中に
位置するために、各シリンダ体17はその縦軸線
のまわりに回動可能に支承され、並びにその縦軸
線の方向に移動可能である。
れば測定皿10の周囲に均等に分配されかつ測定
皿10に固定係止されている、一平面内に配設さ
れた球体14から成る。各球体14の固定溝の孔
15は接着剤16の供給と場合によつては損傷さ
れた球体14の突出しのために役立つ。16個の球
14の各々を対抗軸受として各々1つのシリンダ
体が受けている。この中の15個のシリンダ体17
は球14に面した端にV溝18を備えている。残
つた1つのシリンダ体17は測定皿10の回転阻
止のための中空シリンダ19の形に形成されてい
る。シリンダ体17はその縦軸線が零位置にある
タツチピン2の縦軸線に対して平行になるように
向けられている。各球14が所属のV溝18中に
位置するために、各シリンダ体17はその縦軸線
のまわりに回動可能に支承され、並びにその縦軸
線の方向に移動可能である。
タツチセンサハウジング4と測定皿10の組立
の際に球中心線がV溝18の底と一致しない場合
(第3a図)、シリンダ体17は固有の縦軸線のま
わりに回動されて、球14に適合される(第3b
図)。
の際に球中心線がV溝18の底と一致しない場合
(第3a図)、シリンダ体17は固有の縦軸線のま
わりに回動されて、球14に適合される(第3b
図)。
シリンダ体17の比較的簡単に実施可能な調整
の後、シリンダ体はタツチセンサハウジング底1
3と固着され、好ましくは接着される。それによ
つて各軸受個所はタツチセンサハウジング4中に
固定して配設されたシリンダ体17のV溝の表面
範囲と球14の上面範囲との共働によつて形成さ
れる。
の後、シリンダ体はタツチセンサハウジング底1
3と固着され、好ましくは接着される。それによ
つて各軸受個所はタツチセンサハウジング4中に
固定して配設されたシリンダ体17のV溝の表面
範囲と球14の上面範囲との共働によつて形成さ
れる。
球14に対するシリンダ体17のV溝18の正
確かつ簡単な整向は組立ての際後に測定運転の際
にタツチセンサハウジング底13中のシリンダ体
17が固定されるべき接着剤の硬化の前にシリン
ダ体17が図示しない振動装置によつて自動的
に、迅速かつ完全に整向されることによつて達成
される。振動装置はばね機構を有し、ばね機構は
シリンダ体17をZ方向において調整する。高周
波の振動振巾の減少によつてシリンダ体17が接
着剤の硬度の増大に従つて更にその固有の軸線の
まわりで安定した位置に回転することを確保す
る。
確かつ簡単な整向は組立ての際後に測定運転の際
にタツチセンサハウジング底13中のシリンダ体
17が固定されるべき接着剤の硬化の前にシリン
ダ体17が図示しない振動装置によつて自動的
に、迅速かつ完全に整向されることによつて達成
される。振動装置はばね機構を有し、ばね機構は
シリンダ体17をZ方向において調整する。高周
波の振動振巾の減少によつてシリンダ体17が接
着剤の硬度の増大に従つて更にその固有の軸線の
まわりで安定した位置に回転することを確保す
る。
シリンダ体は必ずしもタツチセンサハウジング
底の構成部分である必要はなく、測定皿に組込ま
れることもできる。更に図示の他、軸受要素の一
対及び次の変形が与えられる。球面を有するピン
とV溝のシリンダ体。
底の構成部分である必要はなく、測定皿に組込ま
れることもできる。更に図示の他、軸受要素の一
対及び次の変形が与えられる。球面を有するピン
とV溝のシリンダ体。
第1図及び第2図においてシリンダ体17の1
つは測定皿10の回動阻止のための中空シリンダ
19と四いて形成されている。しかしこの回動阻
止は球面凹み又はピラミツト形凹みとしても実施
されることができる。
つは測定皿10の回動阻止のための中空シリンダ
19と四いて形成されている。しかしこの回動阻
止は球面凹み又はピラミツト形凹みとしても実施
されることができる。
本発明によつて構成された多数の軸受個所では
回動阻止部は省略されることもできる、そのわけ
は組立の際にV溝18を有するシリンダ体17
が、続いての組立の際に測定皿10の回動の阻止
部として作用するように相互に回動されるという
可能性が支承個所の増大に従つて増大するからで
ある。
回動阻止部は省略されることもできる、そのわけ
は組立の際にV溝18を有するシリンダ体17
が、続いての組立の際に測定皿10の回動の阻止
部として作用するように相互に回動されるという
可能性が支承個所の増大に従つて増大するからで
ある。
しかし図示しない有利な構造的変形はタツチ球
の方向における同様な傾きをもつたシリンダ体が
タツチセンサハウジング底に固定されることにあ
る。
の方向における同様な傾きをもつたシリンダ体が
タツチセンサハウジング底に固定されることにあ
る。
シリンダ体の傾きが各シリンダ体の縦軸線がタ
ツチ球の中心点を通るとみなされることは特別に
有利である。この機構は任意のタツチ方向でタツ
ピンの大きな偏位がある場合でも軸受個所に対す
るタツチ球の限定された力分配を保証する。
ツチ球の中心点を通るとみなされることは特別に
有利である。この機構は任意のタツチ方向でタツ
ピンの大きな偏位がある場合でも軸受個所に対す
るタツチ球の限定された力分配を保証する。
第1図は本発明によるタツチセンサの軸断面
図、第2図は測定皿を外した第1図の−平面
の断面図、そして第3a図及び第3b図は支承部
調整の原理を示す。 図中符号、14……球体、17……シリンダ
体、18……溝。
図、第2図は測定皿を外した第1図の−平面
の断面図、そして第3a図及び第3b図は支承部
調整の原理を示す。 図中符号、14……球体、17……シリンダ
体、18……溝。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 複数の座標方向に偏位可能な少なくとも1つ
の検出ピンを有し、検出ピンは戻し力によつてそ
の零位置を特定する支承部に押圧され、支承部は
溝の表面範囲と球体の表面範囲との協働によつて
形成され、そして球体は支承個所としての溝によ
つて、タツチピンに同心に、タツチピンに対して
垂直な一平面内に均等に分配されており、そして
少なくとも3つの支承個所が存在している、多座
標タツチセンサにおいて、 (a) 球体14は常に一平面内に保持されるように
組付けられていることと、 (b) 球体14を受ける溝18はシリンダ体17に
形成されており、シリンダ体はその固有の軸線
のまわりに回転されかつ軸方向に移動され、そ
れによつて球体14に適合されることと、 (c) シリンダ体17は球体14に適合後、移動不
可能に固定されていることとの組合せを有する
ことを特徴とする多座標タツチセンサ。 2 球体14は測定皿10に固定されており、シ
リンダ体17はタツチセンサハウジング底13に
配設されている、特許請求の範囲第1項記載の多
座標タツチセンサ。 3 少なくとも1つの支承個所が回動阻止部とし
て形成されている、特許請求の範囲第1項記載の
多座標タツチセンサ。 4 シリンダ体17の溝がV溝18である、特許
請求の範囲第1項記載の多座標タツチセンサ。 5 タツチセンサハウジング底13に格納された
シリンダ体17の縦軸線はタツチ球11の方向に
おいてタツチピン2の縦軸線と鋭角をなし、特に
シリンダ体17の縦軸線はタツチ球11の中心を
通る、特許請求の範囲第1項記載の多座標タツチ
センサ。 6 組立の際の球体14へのシリンダ体17の適
合が振動装置によつて行われる、特許請求の範囲
第1項記載の多座標タツチセンサ。 7 球体14がタツチセンサハウジング底13に
固定されており、シリンダ体17は測定皿10の
構成部部分である、特許請求の範囲第1項記載の
多座標タツチセンサ。 8 シリンダ体17の縦軸線がタツチピン2の縦
軸線に対して平行である、特許請求の範囲第1項
記載の多座標タツチセンサ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3508396.4 | 1985-03-08 | ||
DE3508396A DE3508396C1 (de) | 1985-03-08 | 1985-03-08 | Mehrkoordinaten-Tastkopf |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61207902A JPS61207902A (ja) | 1986-09-16 |
JPH0460527B2 true JPH0460527B2 (ja) | 1992-09-28 |
Family
ID=6264680
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61049581A Granted JPS61207902A (ja) | 1985-03-08 | 1986-03-08 | 多座標タツチセンサ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4763421A (ja) |
EP (1) | EP0197243B1 (ja) |
JP (1) | JPS61207902A (ja) |
AT (1) | ATE39285T1 (ja) |
DE (2) | DE3508396C1 (ja) |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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