JPH09147775A - 走査電子顕微鏡用対物レンズ - Google Patents
走査電子顕微鏡用対物レンズInfo
- Publication number
- JPH09147775A JPH09147775A JP7307457A JP30745795A JPH09147775A JP H09147775 A JPH09147775 A JP H09147775A JP 7307457 A JP7307457 A JP 7307457A JP 30745795 A JP30745795 A JP 30745795A JP H09147775 A JPH09147775 A JP H09147775A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- objective lens
- heat
- yoke
- heat conductor
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 円錐状の対物レンズ先端部の加熱を防止する
ことができる走査電子顕微鏡用対物レンズを実現する。 【解決手段】 円錐状の対物レンズの外側（外側ヨーク
３の外側）には、熱伝導係数の高い材料、例えば、アル
ミニュームや銅で形成された熱伝導体６がヨークに密着
させて配置されている。熱伝導体６は中空の円錐体形状
に形成されており、その一部が切り欠かれている。この
切り欠かれている部分７は、試料５の傾斜方向であり、
切り欠き部７は傾斜した試料５と対向するように設けら
れている。その結果、熱伝導体６により試料５の傾斜角
θが制限を受けないように構成されている。なお、熱伝
導体６の上部は、熱容量の大きい部材、例えば、鏡筒８
に接触されている。
ことができる走査電子顕微鏡用対物レンズを実現する。 【解決手段】 円錐状の対物レンズの外側（外側ヨーク
３の外側）には、熱伝導係数の高い材料、例えば、アル
ミニュームや銅で形成された熱伝導体６がヨークに密着
させて配置されている。熱伝導体６は中空の円錐体形状
に形成されており、その一部が切り欠かれている。この
切り欠かれている部分７は、試料５の傾斜方向であり、
切り欠き部７は傾斜した試料５と対向するように設けら
れている。その結果、熱伝導体６により試料５の傾斜角
θが制限を受けないように構成されている。なお、熱伝
導体６の上部は、熱容量の大きい部材、例えば、鏡筒８
に接触されている。
Description
【０００１】
【発明の属する分野】本発明は、ヨークが円錐状に形成
された走査電子顕微鏡用対物レンズに関する。
された走査電子顕微鏡用対物レンズに関する。
【０００２】
【従来の技術】走査電子顕微鏡により半導体ウエハ等を
観察するため、試料を大きく傾斜できるようにヨークの
外側形状を円錐形状（コニカル形状）に形成させた対物
レンズが開発されている。図１は従来の円錐形状の対物
レンズを示している。図中１は外側が円錐形状の対物レ
ンズヨークであり、パーマロイ等の磁性体で形成されて
いる。
観察するため、試料を大きく傾斜できるようにヨークの
外側形状を円錐形状（コニカル形状）に形成させた対物
レンズが開発されている。図１は従来の円錐形状の対物
レンズを示している。図中１は外側が円錐形状の対物レ
ンズヨークであり、パーマロイ等の磁性体で形成されて
いる。
【０００３】ヨーク１は内側ヨーク２と外側ヨーク３と
を有しており、内側ヨーク２と外側ヨーク３との間に
は、電流を流すことにより磁界を発生させ、電子ビーム
を集束させる励磁コイル４が設けられている。５は試料
であり、外側ヨーク３の形状は、試料５を大きく傾斜さ
せても試料５と外側ヨークが衝突しないように、円錐形
状とされている。
を有しており、内側ヨーク２と外側ヨーク３との間に
は、電流を流すことにより磁界を発生させ、電子ビーム
を集束させる励磁コイル４が設けられている。５は試料
であり、外側ヨーク３の形状は、試料５を大きく傾斜さ
せても試料５と外側ヨークが衝突しないように、円錐形
状とされている。
【０００４】また、対物レンズの収差係数を低くするた
め、コイル４に流す電流と内側ヨーク２と外側ヨーク３
との形状によって決まる軸上磁束密度分布Ｂのピーク値
をできる限り試料５に近付ける必要があり、そのため、
内側ヨーク２と外側ヨーク３との間のギップＧの位置
が、対物レンズの先端部に近付けられている。なお、図
２にコイル４による発熱に対し、ヨーク２，３の熱の流
れを矢印で示している。
め、コイル４に流す電流と内側ヨーク２と外側ヨーク３
との形状によって決まる軸上磁束密度分布Ｂのピーク値
をできる限り試料５に近付ける必要があり、そのため、
内側ヨーク２と外側ヨーク３との間のギップＧの位置
が、対物レンズの先端部に近付けられている。なお、図
２にコイル４による発熱に対し、ヨーク２，３の熱の流
れを矢印で示している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記した対物レンズに
おいては、対物レンズの収差係数を低くするために、熱
発生源である励磁コイル４が対物レンズの下方に位置す
ることになる。その結果、必然的にヨーク２，３の先端
部に熱が溜まりやすい構造となってしまう。また、試料
５を大きく傾斜させるために対物レンズの先端（外側ヨ
ークの先端）は尖っており、先端部の温度は他の部分に
比べて急激に上昇する。
おいては、対物レンズの収差係数を低くするために、熱
発生源である励磁コイル４が対物レンズの下方に位置す
ることになる。その結果、必然的にヨーク２，３の先端
部に熱が溜まりやすい構造となってしまう。また、試料
５を大きく傾斜させるために対物レンズの先端（外側ヨ
ークの先端）は尖っており、先端部の温度は他の部分に
比べて急激に上昇する。
【０００６】更に、対物レンズの先端部の内側には、図
示していないが、偏向コイルや非点補正コイル等の構成
部品が配置されるために、コイル４はより外側に配置せ
ざるを得ず、このことから、外側ヨーク３の肉厚は薄く
しなければならず、特に外側ヨーク３の先端部の熱伝導
は悪いものとなる。
示していないが、偏向コイルや非点補正コイル等の構成
部品が配置されるために、コイル４はより外側に配置せ
ざるを得ず、このことから、外側ヨーク３の肉厚は薄く
しなければならず、特に外側ヨーク３の先端部の熱伝導
は悪いものとなる。
【０００７】更に、ヨークの材料として用いられるパー
マロイ等の磁性体は、熱伝導率が低く、熱が伝わりにく
い性質を有していること、そして、対物レンズは真空中
に配置されている関係で発熱体表面からは輻射のみでは
効率良く放熱できない特徴があることから、対物レンズ
先端は高い温度に加熱されることになる。
マロイ等の磁性体は、熱伝導率が低く、熱が伝わりにく
い性質を有していること、そして、対物レンズは真空中
に配置されている関係で発熱体表面からは輻射のみでは
効率良く放熱できない特徴があることから、対物レンズ
先端は高い温度に加熱されることになる。
【０００８】上記に加えて、電子ビームの加速電圧が高
いほど、試料５の表面に電子ビームを集束させる電流が
大きくなるため、発熱量は更に大きくなる。このため、
ヨークに水冷ジャケットなどを設けて対物レンズ先端の
温度を低めることも考えられるが、対物レンズの先端部
には試料以外の他の構成要素が多く位置していること、
水冷ジャケットなどを設けると全体の構造が複雑とな
り、また、メンテナンスもしずらくなる欠点が生じる。
いほど、試料５の表面に電子ビームを集束させる電流が
大きくなるため、発熱量は更に大きくなる。このため、
ヨークに水冷ジャケットなどを設けて対物レンズ先端の
温度を低めることも考えられるが、対物レンズの先端部
には試料以外の他の構成要素が多く位置していること、
水冷ジャケットなどを設けると全体の構造が複雑とな
り、また、メンテナンスもしずらくなる欠点が生じる。
【０００９】上記したように、試料５の傾斜観察が可能
な円錐状の対物レンズでは、対物レンズの先端部（ヨー
クの先端部）の温度上昇が激しく、コイル４が断線した
り、ヨークの先端が変形したりする問題が生じている。
また、ヨーク先端部では、温度上昇が激しく、熱が伝わ
りにくいため、温度が一定になるまでには多大な時間を
要し、この間、熱による対物レンズの形状が変形（膨
脹）し続け、かつ、熱抵抗も上昇し続けるため、観察す
る２次電子像が視野上で静止しない、いわゆる熱ドリフ
トが起こる問題もある。
な円錐状の対物レンズでは、対物レンズの先端部（ヨー
クの先端部）の温度上昇が激しく、コイル４が断線した
り、ヨークの先端が変形したりする問題が生じている。
また、ヨーク先端部では、温度上昇が激しく、熱が伝わ
りにくいため、温度が一定になるまでには多大な時間を
要し、この間、熱による対物レンズの形状が変形（膨
脹）し続け、かつ、熱抵抗も上昇し続けるため、観察す
る２次電子像が視野上で静止しない、いわゆる熱ドリフ
トが起こる問題もある。
【００１０】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、円錐状の対物レンズ先端部の過熱
を防止することができる走査電子顕微鏡用対物レンズを
実現するにある。
もので、その目的は、円錐状の対物レンズ先端部の過熱
を防止することができる走査電子顕微鏡用対物レンズを
実現するにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に基づく
走査電子顕微鏡用対物レンズは、ヨークと励磁コイルと
を備え、ヨークの外側の形状が円錐状に形成されている
対物レンズであって、ヨークの外側に熱伝導体を設けた
ことを特徴としている。
走査電子顕微鏡用対物レンズは、ヨークと励磁コイルと
を備え、ヨークの外側の形状が円錐状に形成されている
対物レンズであって、ヨークの外側に熱伝導体を設けた
ことを特徴としている。
【００１２】請求項１の発明では、ヨークの外側に熱伝
導体を設け、熱伝導体を介してコイルの発熱を効率良く
放熱する。請求項２の発明に基づく走査電子顕微鏡用対
物レンズは、請求項１の発明に加えて、熱伝導体の試料
の傾斜方向に切り欠きを設けたことを特徴としている。
導体を設け、熱伝導体を介してコイルの発熱を効率良く
放熱する。請求項２の発明に基づく走査電子顕微鏡用対
物レンズは、請求項１の発明に加えて、熱伝導体の試料
の傾斜方向に切り欠きを設けたことを特徴としている。
【００１３】請求項２の発明では、熱伝導体の試料の傾
斜方向に切り欠きを設け、試料の傾斜角を大きくする。
請求項３の発明に基づく走査電子顕微鏡用対物レンズ
は、請求項１の発明に加えて、熱伝導体にヒートパイプ
を設け、熱伝導体の熱をヒートパイプを介して熱容量の
大きい部材に逃がすように構成したことを特徴としてい
る。
斜方向に切り欠きを設け、試料の傾斜角を大きくする。
請求項３の発明に基づく走査電子顕微鏡用対物レンズ
は、請求項１の発明に加えて、熱伝導体にヒートパイプ
を設け、熱伝導体の熱をヒートパイプを介して熱容量の
大きい部材に逃がすように構成したことを特徴としてい
る。
【００１４】請求項３の発明では、熱伝導体にヒートパ
イプを設け、熱伝導体の熱をヒートパイプを介して熱容
量の大きい部材に逃がし、コイルの発熱を効率良く放熱
する。
イプを設け、熱伝導体の熱をヒートパイプを介して熱容
量の大きい部材に逃がし、コイルの発熱を効率良く放熱
する。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図３は本発明の一例を示し
ており、図１の従来装置と同一番号は同一構成要素を示
す。この実施の形態で、円錐状の対物レンズの外側（外
側ヨーク３の外側）には、熱伝導係数の高い材料、例え
ば、アルミニュームや銅で形成された熱伝導体６がヨー
クに密着させて配置されている。
施の形態を詳細に説明する。図３は本発明の一例を示し
ており、図１の従来装置と同一番号は同一構成要素を示
す。この実施の形態で、円錐状の対物レンズの外側（外
側ヨーク３の外側）には、熱伝導係数の高い材料、例え
ば、アルミニュームや銅で形成された熱伝導体６がヨー
クに密着させて配置されている。
【００１６】熱伝導体６は中空の円錐体形状に形成され
ており、図４の斜視図に示すようにその一部が切り欠か
れている。この切り欠かれている部分７は、試料５の傾
斜方向であり、切り欠き部７は傾斜した試料５と対向す
るように設けられている。その結果、熱伝導体６により
試料５の傾斜角θが制限を受けないように構成されてい
る。なお、熱伝導体６の上部は、熱容量の大きい部材、
例えば、鏡筒８に接触されている。このような構成の動
作を次に説明する。
ており、図４の斜視図に示すようにその一部が切り欠か
れている。この切り欠かれている部分７は、試料５の傾
斜方向であり、切り欠き部７は傾斜した試料５と対向す
るように設けられている。その結果、熱伝導体６により
試料５の傾斜角θが制限を受けないように構成されてい
る。なお、熱伝導体６の上部は、熱容量の大きい部材、
例えば、鏡筒８に接触されている。このような構成の動
作を次に説明する。
【００１７】コイル４で発生する熱量は、コイル４の抵
抗値をＲ，コイル４に流れる電流量をＩとすると、Ｉ2
Ｒ（Ｗ）となる。また、ある加速電圧Ｖ0 の時の試料５
の表面に電子ビームを集束させるために必要なフォーカ
ス電流量をＩ0 とすると、加速電圧Ｖ1 の時のフォーカ
ス電流量Ｉ1 は、Ｉ1 ＝√（Ｖ1 ／Ｖ0 ）・Ｉ0 の関係
があり、Ｉ1 2 ＝（Ｖ1 ／Ｖ0 ）・Ｉ0 2 となって、発
生熱量は加速電圧に対して線形に上昇する。
抗値をＲ，コイル４に流れる電流量をＩとすると、Ｉ2
Ｒ（Ｗ）となる。また、ある加速電圧Ｖ0 の時の試料５
の表面に電子ビームを集束させるために必要なフォーカ
ス電流量をＩ0 とすると、加速電圧Ｖ1 の時のフォーカ
ス電流量Ｉ1 は、Ｉ1 ＝√（Ｖ1 ／Ｖ0 ）・Ｉ0 の関係
があり、Ｉ1 2 ＝（Ｖ1 ／Ｖ0 ）・Ｉ0 2 となって、発
生熱量は加速電圧に対して線形に上昇する。
【００１８】この発生熱量の一部は内側ヨーク２を伝わ
って鏡筒８に伝わるが、その多くは、外側ヨーク３の外
側を経由して熱伝導体６に伝わり、熱伝導体６の上方か
ら鏡筒８に熱が効率良く伝わる。その結果、円錐状の対
物レンズの先端に熱が止まることはなく、低い温度に保
たれる結果、熱ドリフトを小さくすることができる。こ
の時の熱の流れを図５において矢印で示す。
って鏡筒８に伝わるが、その多くは、外側ヨーク３の外
側を経由して熱伝導体６に伝わり、熱伝導体６の上方か
ら鏡筒８に熱が効率良く伝わる。その結果、円錐状の対
物レンズの先端に熱が止まることはなく、低い温度に保
たれる結果、熱ドリフトを小さくすることができる。こ
の時の熱の流れを図５において矢印で示す。
【００１９】図６に時間に対する対物レンズ先端（外側
ヨーク３先端）での温度をプロットした温度曲線を示
す。図中点線の曲線Ｒ1 が図１で示した従来の対物レン
ズの先端部の温度変化曲線であり、実線の曲線Ｒ2 が図
３に示した本発明に基づく対物レンズの先端部の温度変
化曲線である。なお、ｔ1 はコイル４に電流を流し始め
た時刻を示している。
ヨーク３先端）での温度をプロットした温度曲線を示
す。図中点線の曲線Ｒ1 が図１で示した従来の対物レン
ズの先端部の温度変化曲線であり、実線の曲線Ｒ2 が図
３に示した本発明に基づく対物レンズの先端部の温度変
化曲線である。なお、ｔ1 はコイル４に電流を流し始め
た時刻を示している。
【００２０】この図６に示すように、従来の対物レンズ
では、コイル４で発生した熱の逃げる経路が狭く（熱抵
抗が大きい）、対物レンズ先端での温度が急上昇してし
まい、その後も、熱伝導率が悪いために長い時間を掛け
て緩やかに上昇し、最終的には一定温度Ｔ1 （例えば１
００℃）に収束する。
では、コイル４で発生した熱の逃げる経路が狭く（熱抵
抗が大きい）、対物レンズ先端での温度が急上昇してし
まい、その後も、熱伝導率が悪いために長い時間を掛け
て緩やかに上昇し、最終的には一定温度Ｔ1 （例えば１
００℃）に収束する。
【００２１】一方、本発明に基づく対物レンズでは、コ
イル４で発生した熱は、内側ヨーク２だけではなく、そ
の多くは外側ヨーク３を経由して熱伝導率の高い熱伝導
体６に伝わり、速やかに鏡筒８に排熱されるため、短時
間に比較的低い一定温度Ｔ2（例えば５０℃）に収束す
る。しかも、収束温度Ｔ2 は、従来の対物レンズに比べ
て約１／２となる。また、熱伝導体６の熱伝導率が高い
ため、従来の対物レンズのように、緩やかに温度が上昇
し続けることはなく、速やかに一定温度Ｔ2 に 2 に収束
するため、熱ドリフトは極端に少なくなる。
イル４で発生した熱は、内側ヨーク２だけではなく、そ
の多くは外側ヨーク３を経由して熱伝導率の高い熱伝導
体６に伝わり、速やかに鏡筒８に排熱されるため、短時
間に比較的低い一定温度Ｔ2（例えば５０℃）に収束す
る。しかも、収束温度Ｔ2 は、従来の対物レンズに比べ
て約１／２となる。また、熱伝導体６の熱伝導率が高い
ため、従来の対物レンズのように、緩やかに温度が上昇
し続けることはなく、速やかに一定温度Ｔ2 に 2 に収束
するため、熱ドリフトは極端に少なくなる。
【００２２】図７は本発明の他の実施の形態を示してお
り、この形態では、熱伝導体６にヒートパイプ９の一端
が接触して設けられている。ヒートパイプ９の他端は、
熱容量の大きい部材、例えば、鏡筒８に接触されてい
る。このような構成でも、熱伝導体６とヒートパイプ９
を介して外側ヨーク３の熱は効率良く放熱される。
り、この形態では、熱伝導体６にヒートパイプ９の一端
が接触して設けられている。ヒートパイプ９の他端は、
熱容量の大きい部材、例えば、鏡筒８に接触されてい
る。このような構成でも、熱伝導体６とヒートパイプ９
を介して外側ヨーク３の熱は効率良く放熱される。
【００２３】以上本発明の実施の形態を説明したが、本
発明は上記形態に限定されない。例えば、試料の傾斜角
がそれほど大きくない場合には、熱伝導体を切り欠く必
要はない。また、内側と外側ヨークを有した対物レンズ
を例に説明したが、単磁極の対物レンズ等、他のタイプ
の対物レンズにも本発明を適用することができる。
発明は上記形態に限定されない。例えば、試料の傾斜角
がそれほど大きくない場合には、熱伝導体を切り欠く必
要はない。また、内側と外側ヨークを有した対物レンズ
を例に説明したが、単磁極の対物レンズ等、他のタイプ
の対物レンズにも本発明を適用することができる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明で
は、ヨークと励磁コイルとを備え、ヨークの外側の形状
が円錐状に形成されている対物レンズであって、外側ヨ
ークの外側に熱伝導体を設けるように構成したので、円
錐状の対物レンズの先端温度を下げることができる。
は、ヨークと励磁コイルとを備え、ヨークの外側の形状
が円錐状に形成されている対物レンズであって、外側ヨ
ークの外側に熱伝導体を設けるように構成したので、円
錐状の対物レンズの先端温度を下げることができる。
【００２５】また、水冷ジャケット等の構造物を対物レ
ンズ内側に設ける必要がないので、シンプルな構造で対
物レンズ先端の温度を下げることができる。更に、対物
レンズの温度を低く保つことができるので、熱ドリフト
が少なく２次電子像の観察を行うことができる。
ンズ内側に設ける必要がないので、シンプルな構造で対
物レンズ先端の温度を下げることができる。更に、対物
レンズの温度を低く保つことができるので、熱ドリフト
が少なく２次電子像の観察を行うことができる。
【００２６】請求項２の発明では、熱伝導体の試料の傾
斜方向に切り欠きを設けたので、試料の傾斜角を大きく
することができる。請求項３の発明では、熱伝導体にヒ
ートパイプを設け、熱伝導体の熱をヒートパイプを介し
て熱容量の大きい部材に逃がすように構成したので、請
求項１の発明と同様な効果が得られる。
斜方向に切り欠きを設けたので、試料の傾斜角を大きく
することができる。請求項３の発明では、熱伝導体にヒ
ートパイプを設け、熱伝導体の熱をヒートパイプを介し
て熱容量の大きい部材に逃がすように構成したので、請
求項１の発明と同様な効果が得られる。
【図１】従来の対物レンズを示す図である。
【図２】図１の対物レンズにおける熱の流れを示す図で
ある。
ある。
【図３】本発明に基づく対物レンズを示す図である。
【図４】図３の対物レンズに用いた熱伝導体の斜視図で
ある。
ある。
【図５】図３の対物レンズにおける熱の流れを示す図で
ある。
ある。
【図６】対物レンズ先端の温度変化曲線を示す図であ
る。
る。
【図７】ヒートパイプを用いた本発明の実施の形態を示
す図である。
す図である。
１ ヨーク ２ 内側ヨーク ３ 外側ヨーク ４ コイル ５ 試料 ６ 熱伝導体 ７ 切り欠き部 ８ 鏡筒 ９ ヒートパイプ
Claims (3)
- 【請求項１】 ヨークと励磁コイルとを備え、ヨークの
外側の形状が円錐状に形成されている対物レンズであっ
て、ヨークの外側に熱伝導体を設けた走査電子顕微鏡用
対物レンズ。 - 【請求項２】 熱伝導体の試料の傾斜方向に切り欠きを
設けた請求項１記載の走査電子顕微鏡用対物レンズ。 - 【請求項３】 熱伝導体にヒートパイプを設け、熱伝導
体の熱をヒートパイプを介して熱容量の大きい部材に逃
がすように構成した請求項１記載の走査電子顕微鏡用対
物レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7307457A JPH09147775A (ja) | 1995-11-27 | 1995-11-27 | 走査電子顕微鏡用対物レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7307457A JPH09147775A (ja) | 1995-11-27 | 1995-11-27 | 走査電子顕微鏡用対物レンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09147775A true JPH09147775A (ja) | 1997-06-06 |
Family
ID=17969301
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7307457A Withdrawn JPH09147775A (ja) | 1995-11-27 | 1995-11-27 | 走査電子顕微鏡用対物レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09147775A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007519194A (ja) * | 2004-01-21 | 2007-07-12 | イツェーテー インテグレイテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フュール ハルブライタープリュッフテヒニク ミット ベシュレンクテル ハフツング | 荷電粒子ビーム用の集束レンズ |
| JP2014160678A (ja) * | 2014-05-12 | 2014-09-04 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| US9159533B2 (en) | 2008-04-14 | 2015-10-13 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam apparatus permitting high-resolution and high-contrast observation |
-
1995
- 1995-11-27 JP JP7307457A patent/JPH09147775A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007519194A (ja) * | 2004-01-21 | 2007-07-12 | イツェーテー インテグレイテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フュール ハルブライタープリュッフテヒニク ミット ベシュレンクテル ハフツング | 荷電粒子ビーム用の集束レンズ |
| JP4828433B2 (ja) * | 2004-01-21 | 2011-11-30 | アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー | 荷電粒子ビーム用の集束レンズ |
| US9159533B2 (en) | 2008-04-14 | 2015-10-13 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam apparatus permitting high-resolution and high-contrast observation |
| JP2014160678A (ja) * | 2014-05-12 | 2014-09-04 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030204 |