JPH09128783A - 光学記録方法、光学記録装置及び光学記録媒体 - Google Patents

光学記録方法、光学記録装置及び光学記録媒体

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JPH09128783A
JPH09128783A JP7309827A JP30982795A JPH09128783A JP H09128783 A JPH09128783 A JP H09128783A JP 7309827 A JP7309827 A JP 7309827A JP 30982795 A JP30982795 A JP 30982795A JP H09128783 A JPH09128783 A JP H09128783A
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JP
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acousto
optical
optical recording
optic modulator
recording
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JP7309827A
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English (en)
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Fusaaki Endou
惣銘 遠藤
Michio Mitsui
教夫 三津井
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、装置全体として構成を簡易にし得る
光学記録方法、光学記録装置及び光学記録媒体を実現し
ようとするものである。 【解決手段】レーザ光源から発射されたレーザ光を記録
信号に応じて強度変調及び光偏向して原盤上のフオトレ
ジスト膜に照射することにより記録信号に応じた記録パ
ターンを形成する光学記録方法、光学記録装置及び光学
記録媒体において、記録信号に基づいて、レーザ光を強
度変調すると共に光偏向する、単一構成でなる音響光学
変調器を設けたことにより、装置全体として構成を簡易
にし得る光学記録方法、光学記録装置及び光学記録媒体
を実現することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【目次】以下の順序で本発明を説明する。 発明の属する技術分野 従来の技術 発明が解決しようとする課題（図６〜図８） 課題を解決するための手段 発明の実施の形態 （１）第１実施例（図１〜図３） （２）第２実施例（図４） （３）第３実施例（図５） （４）他の実施例 発明の効果
【０００２】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学記録方法、光
学記録装置及び光学記録媒体に関し、例えばＭＤ（Mini
Disc ）等の光磁気デイスクを製造するためのレーザカ
ツテイングマシーンに適用して好適なものである。
【０００３】
【従来の技術】従来、光デイスク及び光磁気デイスク等
の光学記録媒体の原盤作製、あるいはプリント配線基板
及び半導体集積回路等の作製に用いられるフオトレジス
トマスクの作製等においては、レーザ光を用いた光学記
録装置が使用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ここで図６において、
光デイスク及び光磁気デイスク等の光学記録媒体の原盤
作製に用いられる光学記録装置を示す。光学記録装置１
においては、例えばヘリウム・カドミウム（He-Cd ）レ
ーザ（波長 441.6〔nm〕）のように気体を増幅媒質とす
るレーザ光源２からレーザ光Ｌ１が出射され、当該レー
ザ光Ｌ１はミラーＭ１に反射されて平行光のまま光学ユ
ニツト３に入射される。
【０００５】光学ユニツト３は、音響光学変調器（ＡＯ
Ｍ：Acousto Optic Modulator ）４を有し、当該音響光
学変調器４の光路の前後にビーム縮小レンズ５及びビー
ム拡大レンズ６が設けられた構成からなる。ミラーＭ１
を介して光学ユニツト３に入射されたレーザ光Ｌ１は、
ビーム縮小レンズ５において所定のビーム径に縮小され
た後、音響光学変調器４に入射される。
【０００６】ここで、例えばＭＤ（ミニデイスク）等の
光磁気デイスクにおいては、デイスク表面の内側領域に
ＴＯＣ（Table of Contents ）等が記録されたナロウピ
ツト（Narrow Pits ）が形成されると共に、当該ナロウ
ピツトの外側領域に記録トラツクとしてアドレス情報等
に応じてウオーブルしたワイドグルーブ（Wide Groove
）が形成されている。
【０００７】この場合、ナロウピツト記録形成時にはＥ
ＦＭ変調された高周波記録信号Ｓ１がドライバ７に入力
され、またワイドグルーブ記録形成時には所定の信号レ
ベルでなるＤＣ信号Ｓ２がドライバ７に入力されるよう
になされている。
【０００８】また図７に示すように音響光学変調器４
は、音響光学媒体（例えばPbMoO4結晶、TeO2結晶等）４
Ａ上に圧電振動子（トランスジユーサ）（例えばLiNb
O3、ZnO等でなる薄膜）４Ｂが接着された構成からな
る。この場合、音響光学変調器４は、ナロウピツト記録
形成時にはドライバ７から高周波記録信号Ｓ１に基づく
電圧信号Ｓ３が圧電振動子４Ｂを介して入力され、また
ワイドグルーブ記録形成時にはドライバ７からＤＣ信号
Ｓ２に基づく電圧信号Ｓ４が圧電振動子４Ｂを介して入
力される。
【０００９】音響光学変調器４では、圧電振動子４Ｂに
よつて電圧信号Ｓ３又はＳ４はそれぞれ超音波信号に変
換され、音響光学媒体４Ａ内において当該音響光学媒体
４Ａの屈折率を周期的に変化させることにより、当該音
響光学媒体４Ａは光に対して回折格子の役割を果たすこ
ととなる（以下、これを超音波回折格子と呼ぶ）。
【００１０】この場合、ブラツグ回折では格子間隔ｄ、
レーザ光波長λ、及びレーザ光と格子面とのなす角θで
なるとき、次式
【数１】 を満たすときの角θ（以下、これをブラツグ角と呼ぶ）
でレーザ光Ｌ１が入射し得るように音響光学変調器４を
配置するようにする。
【００１１】この状態において、超音波波面にブラツグ
角で入射したレーザ光Ｌ１は、当該超音波波面と同じ角
度をなす方向にのみ回折され、当該レーザ光Ｌ１の光強
度を当該電圧信号Ｓ３又はＳ４に応じてオン状態又はオ
フ状態により断続させて変調する。
【００１２】このように、音響光学変調器４は、ブラツ
グ回折における一次回折光強度が超音波パワーにほぼ比
例することを利用してなり、超音波パワーをドライバ７
から供給される電圧信号Ｓ３又はＳ４に基づいて変調す
ることによりレーザ光Ｌ１の光変調を行うようになされ
ている。
【００１３】続いて、電圧信号Ｓ３又はＳ４に基づき音
響光学変調器４によつて強度変調されたレーザ光Ｌ１
は、ビーム拡大レンズ６によつて、そのビーム径が元の
大きさに拡大された後、ミラーＭ２に反射されて移動光
学テーブル８上の音響光学偏向器（ＡＯＤ：Acousto Op
tic Deflector ）９に入射される。
【００１４】ここで図８に示すように、音響光学偏向器
９は、音響光学変調器４（図７）と同様の構成からな
り、ドライバ１０及び続くＶＣＯ（電圧周波数制御器）
１１が接続されている。このＶＣＯ１１は、ワイドグル
ーブ記録形成時には 22.05〔kHz 〕の周波数信号と５
〔MHz 〕の周波数信号とが重畳されてなる重畳周波数信
号Ｓ５が入力され、またナロウピツト記録形成時には零
レベルでなるＤＣ信号Ｓ６が入力されるようになされて
いる。
【００１５】因みに、重畳周波数信号Ｓ５のうち、 22.
05〔kHz 〕の周波数信号はアドレスのウオーブル情報
（以下、これをＡＤＩＰ（Address In Pregroove）と呼
ぶ）を記録するための記録信号でなり、また５〔MHz 〕
の周波数信号はその振幅量に応じてグルーブの幅を広げ
るための信号である。
【００１６】ワイドグルーブ記録形成時にＶＣＯ１１に
重畳周波数信号Ｓ５が入力された場合には、ＶＣＯ１１
は当該重畳周波数信号Ｓ５に基づいて発振周波数を変化
させた高周波信号Ｓ７をドライブ１０に供給し、当該ド
ライバ１０は高周波信号Ｓ７に基づく電圧信号Ｓ９を音
響光学偏向器９に供給する。
【００１７】これにより音響光学偏向器９では、圧電振
動子９Ｂによつて電圧信号Ｓ９又はＳ１０はそれぞれ超
音波信号に変換され、音響光学媒体９Ａ内において当該
音響光学媒体９Ａの屈折率を周期的に変化させることに
より、当該音響光学媒体９Ａは光に対して超音波回折格
子の役割を果たす。
【００１８】この状態において、超音波波面に式（１）
で示すブラツグ角で入射したレーザ光Ｌ１Ａは、当該超
音波波面と同じ角度をなす方向にのみ回折されることか
ら、超音波の周波数を変えることによつて超音波回折格
子の格子間隔ｄが変わり、すなわちブラツグ角が変わる
ことにより、この結果レーザ光Ｌ１Ａの光偏向の角度を
変えることができる。
【００１９】続いて、電圧信号Ｓ９に基づき音響光学偏
向器９によつて光偏向の角度が変えられたレーザ光Ｌ１
Ｂは、レンズ１２を介してミラーＭ３に反射された後、
対物レンズ１４を介して集光され、フオトレジスト付ガ
ラス原盤（以下、これをガラス原盤と呼ぶ）１５上に塗
布されたフオトレジスト膜１５Ａの半径方向に光学偏向
して照射され、この結果グルーブ幅が拡がる。
【００２０】ここで、移動光学テーブル８は、ガラス原
盤１５の径方向に移動し得るようになされ、またガラス
原盤１５は、モータ（図示せず）の出力軸の回転駆動に
伴つて矢印ａで示す方向又はこれとは逆方向に線速度一
定（ＣＬＶ）で回転し得るようになされている。
【００２１】これにより、ガラス原盤１５のフオトレジ
スト膜１５Ａにレーザ光Ｌ１Ｂがスパイラルに照射さ
れ、かくして当該フオトレジスト膜１５Ａのうちレーザ
光Ｌ１Ｂの露光部分が現像処理により溶解して、ナロウ
ピツト及びワイドグルーブが記録形成される。
【００２２】これに対して、ナロウピツト記録形成時に
ＶＣＯ１１に零レベルでなるＤＣ信号Ｓ６が入力された
場合には、ＶＣＯ１１では当該ＤＣ信号Ｓ６に基づいて
発振周波数は変化されないため光学偏向されず、この結
果ピツト幅は拡がらない。
【００２３】ところで、ＭＤ等の光磁気デイスクにおい
ては、ワイドグルーブの幅をある程度（例えば 1.1〔μ
ｍ〕程度）まで広く形成することにより、当該ワイドグ
ルーブに記録された光磁気膜の信号特性が良好になるよ
うになされている。通常のグルーブ又はピツトを形成す
る際に使用されるレーザ光のスポツト径は、 0.5〔μ
ｍ〕程度であるために、十分なグルーブ幅を有するワイ
ドグルーブを形成することは困難となる問題があつた。
【００２４】かかる問題を解決する一つの方法として、
図６においてレーザ光源２から対物レンズ１４までのレ
ーザ光Ｌ１の光路上にビームリレー光学系（図示せず）
を設け、当該ビームリレー光学系によりレーザ光源２か
ら出射されたレーザ光Ｌ１の収束幅を小さくすることに
よつて、対物レンズ１４に対する有効開口数ＮＡを縮小
させ、この結果、対物レンズ１４により集光されるレー
ザ光Ｌ１Ｃのスポツト径を拡大させる方法が提案されて
いる。
【００２５】ところが、上述のように対物レンズの開口
数ＮＡを縮小させる方法によれば、レーザ光のスポツト
強度分布がなだらかに変化する山型の曲線を示すことと
なる。このためレーザ光により形成されたワイドグルー
ブエツジはガラス原盤１５上面に対して鋭いエツジを形
成することが困難となる問題があつた。
【００２６】また、複数の光スポツトの合成による多重
露光を行う場合において、対物レンズの結像集光面で複
数の光スポツトを照射させる方法として、１つのレーザ
光源より出射されたレーザ光をハーフミラー又は異方性
光学結晶により複数分割する方法や、複数のレーザ光源
を用いて複数のレーザ光を出射する方法が考えられる。
ところがこれらの方法によれば、ナロウーピツト記録形
成とワイドグルーブ記録形成とを瞬時に切替え制御する
ことが困難となる問題があつた。
【００２７】さらに図６に示すように、音響光学変調器
４及び音響光学偏向器９を個々に設けた場合には、音響
光学変調器４による強度変調の動作と音響光学偏向器９
による偏向動作とで電気的に同期をかける必要があると
共に、音響光学変調器４と音響光学偏向器９とを光学的
に同期する位置に配置する必要がある。さらにはレーザ
光の強度変調及び偏向をそれぞれ別個に行うため、音響
光学変調器４及び音響光学偏向器９でそれぞれ強度損失
を伴つて変調効率が悪くなると共に装置全体として煩雑
となる問題があつた。
【００２８】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、装置全体として構成を簡易にし得る光学記録方法、
光学記録装置及び光学記録媒体を提案しようとするもの
である。
【００２９】
【課題を解決するための手段】レーザ光源から発射され
たレーザ光を記録信号に応じて強度変調及び光偏向して
原盤上のフオトレジスト膜に照射することにより記録信
号に応じた記録パターンを形成する光学記録方法、光学
記録装置及び光学記録媒体において、記録信号に基づい
て、レーザ光を強度変調すると共に光偏向する、単一構
成でなる音響光学変調器を備えるようにする。
【００３０】これにより音響光学変調器と音響光学偏向
器を別個にそれぞれ設けた場合よりも装置全体として構
成を簡易にし得る。
【００３１】
【発明の実施の形態】以下図面について、本発明の一実
施例を詳述する。
【００３２】（１）第１実施例 図６との対応部分に同一符号を付して示す図１におい
て、２０は光学記録装置を示し、図６に示す光学記録装
置１とは光学ユニツト３及びドライバ７が除かれている
と共に、移動光学テーブル２１の構成が異なる。この光
学記録装置２０においては、レーザ光源２から出射され
たレーザ光Ｌ１は、平行光のまま直進してミラーＭ１及
びＭ２を介して移動光学テーブル２１に入射される。
【００３３】移動光学テーブル２１上には、音響光学変
調偏向器（ＡＯＭ／ＡＯＤ）２２を有し、当該音響光学
変調偏向器２２の光路の前後にそれぞれ偏角が等しい一
対のウエツジプリズム２３及び２４が設けられている。
これらウエツジプリズム２３及び２４は、互いに近接さ
せかつ互いにレーザ光Ｌ１の光軸に対して独立的に回転
し得るように配置することにより、当該一対のウエツジ
プリズム２３及び２４を透過するレーザ光Ｌ１は、無偏
向の光線の光路を中心に偏向角が描く円内のいかなる方
向にも回転されることとなる。
【００３４】この場合、一対のウエツジプリズム２３及
び２４は、ミラーＭ２から平行光のまま入射されたレー
ザ光Ｌ１を音響光学変調偏向器２２における音響光学媒
体２２Ａの超音波波面にブラツグ角で入射し得ると共
に、そのままレーザ光Ｌ１のビーム水平高さを保ちつつ
レンズ１２に出射し得るようにそれぞれ配置されてい
る。
【００３５】この音響光学変調偏向器２２は、図２に示
すように音響光学媒体（例えばPbMoO4結晶、TeO2結晶
等）２２Ａ上に圧電振動子（トランスジユーサ）（例え
ばLiNbO3、ZnO 等でなる薄膜）２２Ｂが接着された構成
からなる。この場合、音響光学変調偏向器２２には、ド
ライバ２５及び続くＶＣＯ（電圧周波数制御器）１１が
接続されている。
【００３６】ワイドグルーブ記録形成時には所定レベル
でなるＤＣ信号Ｓ２がドライバ２５に入力されると共
に、当該ＤＣ信号Ｓ２に同期して、 22.05〔kHz 〕の周
波数信号と５〔MHz 〕の周波数信号とが重畳されてなる
重畳周波数信号Ｓ５がＶＣＯ１１に入力される。続いて
ＶＣＯ１１は当該重畳周波数信号Ｓ５に基づいて発振周
波数を変化させた高周波信号Ｓ７をドライブ２５に供給
する。これによりドライバ２５はＤＣ信号Ｓ２及び高周
波信号Ｓ７に基づく電圧信号Ｓ２０を音響光学変調偏向
器２２に供給する。
【００３７】これに対して、ナロウピツト記録形成時に
はＥＦＭ変調された高周波記録信号Ｓ１がドライバ２５
入力されると共に、当該高周波記録信号Ｓ１に同期し
て、零レベルでなるＤＣ信号Ｓ６がＶＣＯ１１に入力さ
れる。続いてＶＣＯ１１は当該ＤＣ信号Ｓ６に基づいて
発振周波数を変化しない高周波信号Ｓ８をドライブ２５
に供給する。これによりドライバ２５は高周波記録信号
Ｓ１及び高周波信号Ｓ８に基づく電圧信号Ｓ２１を音響
光学変調偏向器２２に供給する。
【００３８】音響光学変調偏向器２２では、圧電振動子
２２Ｂによつて電圧信号Ｓ２０又はＳ２１はそれぞれ超
音波信号に変換され、音響光学媒体２２Ａ内において当
該音響光学媒体２２Ａの屈折率を周期的に変化させるこ
とにより、当該音響光学媒体２２Ａは光に対して超音波
回折格子の役割を果たす。なお、ブラツグ回折における
ブラツグ角（式（１））でレーザ光Ｌ１が入射し得るよ
うに音響光学変調偏向器２２を配置するようにする。
【００３９】この状態において、超音波波面にブラツグ
角で入射したレーザ光Ｌ１は、当該超音波波面と同じ角
度をなす方向にのみ回折され、当該レーザ光Ｌ１の光強
度を当該電圧信号Ｓ２０又はＳ２１に応じてオン状態又
はオフ状態により断続させて変調する。さらに超音波の
周波数を変えることによつて超音波回折格子の格子間隔
ｄが変わり、すなわちブラツグ角が変わることにより、
この結果レーザ光Ｌ１Ａの光偏向の角度を変えることが
できる。
【００４０】続いて、電圧信号Ｓ２０又はＳ２１に基づ
き音響光学変調偏向器２２によつて強度変調されると共
に光偏向の角度が変えられたレーザ光Ｌ１Ｘは、レーザ
光Ｌ１のビーム水平高さを保ちつつレンズ１２を介して
ミラーＭ３に反射される。このミラーＭ３によつて反射
されたレーザ光Ｌ１Ｘは、対物レンズ１４を介して集光
され、ガラス原盤１５上に塗布されたフオトレジスト膜
１５Ａに照射される。
【００４１】ここで、移動光学テーブル２１は、ガラス
原盤１５の径方向にスライド移動し得るようになされ、
またガラス原盤１５は、モータ（図示せず）の出力軸の
回転駆動に伴つて矢印ａで示す方向又はこれとは逆方向
に線速度一定（ＣＬＶ）で回転し得るようになされてい
る。
【００４２】これにより、ガラス原盤１５のフオトレジ
スト膜１５Ａにレーザ光Ｌ１Ｘがスパイラルに照射さ
れ、かくして図３に示すように、フオトレジスト膜１５
Ａのうちレーザ光Ｌ１Ｘの露光部分が現像処理により溶
解して、ナロウピツトＮＰ及びワイドグルーブＷＧが記
録形成される。
【００４３】この場合、左側領域にＴＯＣ（Table of C
ontents ）等が記録されたピツト幅0.5〔μｍ〕程度で
なるナロウピツト（Narrow Pits ）が形成されると共
に、当該ナロウピツトの右側領域に記録トラツクとして
アドレス情報等に応じてウオーブルしたグルーブ幅 1.1
〔μｍ〕程度でなるワイドグルーブ（Wide Groove ）が
形成されている。
【００４４】なお図３では目視確認が困難となるが、実
際上、トラツクピツチは約 1.6〔μｍ〕でなり、ＡＤＩ
Ｐはその振幅量は±30〔nm〕、変調周波数が 22.05〔ｋ
Hz〕の sin波及び周期が 50-60〔μｍ〕となり比較的大
きい。
【００４５】因みに、ナロウピツト及びワイドグルーブ
が形成されたガラス原盤１５の複製をＮｉめつきするこ
とにより金型（スタンパー）を作製し、当該金型を用い
てＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）及びＰＣ（ポ
リカーボネイト）等の透明樹脂に成形を行うことによ
り、微小な凹凸（信号に相当するピツトやグルーブパタ
ーン）が転写された透明基板を形成することができる。
これらピツトやグルーブを含む透明基盤の表面には光を
反射する金属膜や光磁気膜等が設けられ、さらに保護膜
が信号ピツトや反射膜を保護するために設けられること
により、ＭＤ等の光デイスクが製造されることとなる。
【００４６】以上の構成において、レーザ光源２から発
射されたレーザ光Ｌ１は、移動光学テーブル２１上に設
けられた音響光学変調偏向器２２に平行光のまま入射さ
れ、当該音響光学変調偏向器２２を介して強度変調及び
光偏向された後、レーザ光Ｌ１Ｘとして対物レンズ１４
を介してガラス原盤１５上に塗布されたフオトレジスト
膜１５Ａに照射され、この結果、レーザ光Ｌ１Ｘの露光
部分が現像処理により溶解してナロウーピツト及びワイ
ドグルーブが記録形成される。
【００４７】この場合、単一の音響光学変調偏向器２２
を設け、当該音響光学変調偏向器２２を用いて平行光の
まま入射されるレーザ光Ｌ１に対して強度変調及び光偏
向を行うようにしたことにより、音響光学変調器として
の強度変調動作と、音響光学偏向器としての光偏向動作
とを電気的に同期させるだけで容易にナロウピツト記録
形成とワイドグルーブ記録形成とを瞬時に切替え制御す
ることができる。
【００４８】これにより音響光学変調器と音響光学偏向
器を別個にそれぞれ設けた場合のような光学的に同期さ
せるための配置させる必要がなくて済み、装置全体とし
ての煩雑さを回避すると共に構成を簡易にすることがで
きる。また複数の光スポツトの合成による多重露光を行
う場合において、対物レンズの結像集光面で複数の光ス
ポツトを容易に照射させることができる。
【００４９】以上の構成によれば、平行光のまま入射さ
れるレーザ光Ｌ１に対して単一の音響光学変調偏向器２
２をガラス原盤１５の径方向に移動自在な移動光学テー
ブル２１上に設けたことにより、音響光学変調器と音響
光学偏向器を別個にそれぞれ設けた場合よりも装置全体
として構成を簡易にし得る光学記録装置２０を実現する
ことができる。
【００５０】（２）第２実施例 図１との対応部分に同一符号を付して示す図４におい
て、３０は光学記録装置を示し、図１に示す光学記録装
置２０とは移動光学テーブル３１の構成が異なることを
除いて同一の構成からなる。
【００５１】この場合、移動光学テーブル３１上には、
音響光学変調偏向器２２の光路の後段にのみウエツジプ
リズム２４が設けられ、第１実施例と異なり前段にはウ
エツジプリズム２３が設けられていない。このため音響
光学変調偏向器２２は、レーザ光Ｌ１が音響光学媒体２
２Ａの超音波波面にブラツグ角で平行光のまま入射し得
るように当該レーザ光Ｌ１のビーム水平高さに対して所
定角度傾けられている。
【００５２】以上の構成によれば、平行光のまま入射さ
れるレーザ光Ｌ１に対して単一の音響光学変調偏向器２
２をガラス原盤１５の径方向に移動自在な移動光学テー
ブル３１上に設けたことにより、音響光学変調器と音響
光学偏向器を別個にそれぞれ設けた場合よりも装置全体
として構成を簡易にし得る光学記録装置３０を実現する
ことができる。さらに第１実施例と異なり、移動光学テ
ーブル３１上において音響光学変調偏向器２２の前段に
設けられたウエツジプリズム２３を取り除いても良いよ
うに当該音響光学変調偏向器２２を配置したことによ
り、第１実施例における光学記録装置２０よりも一層簡
易な構成でなる光学記録装置３０を実現し得る。
【００５３】（３）第３実施例 図１との対応部分に同一符号を付して示す図５におい
て、４０は光学記録装置を示し、図１に示す光学記録装
置２０とは移動テーブル４１の構成が異なることを除い
て同一の構成からなる。
【００５４】移動光学テーブル４１上には、音響光学変
調偏向器２２の光路の前後にそれぞれ一対のシリンドリ
カルレンズ４２及び４３が設けられ、当該シリンドリカ
ルレンズ４２及び４３の音響光学変調偏向器２２の各対
向面の裏面側にはそれぞれ偏角が等しい一対のウエツジ
プリズム２３及び２４が形成されている。
【００５５】ここでシリンドリカルレンズは、入射され
た断面が真円のレーザ光を単一方向にのみ集光させる特
徴を有し、これにより通過後のレーザ光の断面は当該レ
ンズからの距離に応じて長円度が異なる長円となる。
【００５６】この場合、シリンドリカルレンズ４２及び
４３は、音響光学媒体２２Ａの厚み方向にのみにレンズ
作用を有するようにそれぞれ配置されている。これによ
り音響光学変調偏向器２２においては、シリンドリカル
レンズ４２を介してビーム径が縮小されたレーザ光Ｌ１
が入射されることから、音響光学変調器として動作する
場合は、強度変調するときの変調効率を向上させること
ができると共に、音響光学偏向器として動作する場合
は、光偏向するときのブラツグ回折における回折効率を
向上させることができる。この後、音響光学変調偏向器
２２から出力されたレーザ光はシリンドリカルレンズ４
３を介してそのビーム径が元の大きさに拡大される。
【００５７】このときシリンドリカルレンズ４２及び４
３には、それぞれ一対のウエツジプリズム２３及び２４
が形成されていることから、音響光学変調偏向器２２に
入射光されたレーザ光Ｌ１と当該音響光学変調偏向器２
２から出射されたレーザ光Ｌ１Ｚとの光軸を互いに平行
関係に保つことができる。すなわちミラーＭ２から平行
光のまま入射されたレーザ光Ｌ１を音響光学変調偏向器
２２における音響光学媒体２２Ａの超音波波面にブラツ
グ角で入射し得ると共に、そのままレーザ光Ｌ１のビー
ム水平高さを保ちつつレーザ光Ｌ１Ｚとしてレンズ１２
に出射し得る。
【００５８】以上の構成によれば、平行光のまま入射さ
れるレーザ光Ｌ１に対して単一の音響光学変調偏向器２
２をガラス原盤１５の径方向に移動自在な移動光学テー
ブル４１上に設けたことにより、音響光学変調器と音響
光学偏向器を別個にそれぞれ設けた場合よりも装置全体
として構成を簡易にし得る光学記録装置４０を実現する
ことができる。さらに第１実施例と異なり、移動光学テ
ーブル４１上において音響光学変調偏向器２２の各対向
面にシリンドリカルレンズ４２及び４３を設けたことに
より、第１実施例における光学記録装置２０よりも光偏
向に伴う光量変化が軽減でき、かくして安定した光偏向
記録を達成することができる。
【００５９】（４）他の実施例 なお上述の実施例においては、レーザ光源２としてヘリ
ウム・カドミウム（He-Cd ）レーザを用いた場合につい
て述べたが、本発明はこれに限らず、アルゴン（Ar+ ）
レーザ及びクリプトン（Kr+ ）レーザ等のガスレーザを
用いても良い。
【００６０】また上述の実施例においては、ピツト及び
グルーブを形成する光学記録媒体としてＭＤ（ミニデイ
スク）に本発明を適用した場合について述べたが、本発
明はこれに限らず、例えばＭＯ（光磁気記録）デイスク
（サンプルドフオーマツト）等に適用しても良い。さら
に光磁気デイスクに限らず、他の光学素子、例えば光カ
ード等に適用しても良い。
【００６１】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、レーザ光
源から発射されたレーザ光を記録信号に応じて強度変調
及び光偏向して原盤上のフオトレジスト膜に照射するこ
とにより記録信号に応じた記録パターンを形成する光学
記録方法、光学記録装置及び光学記録媒体において、記
録信号に基づいて、レーザ光を強度変調すると共に光偏
向する、単一構成でなる音響光学変調器を設けたことに
より、装置全体として構成を簡易にし得る光学記録方
法、光学記録装置及び光学記録媒体を実現することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施例による光学記録装置の構成を示すブ
ロツク図である。
【図２】本発明による音響光学変調偏向器の構成を示す
略線図である。
【図３】ガラス原盤上に形成されたナロウピツト及びワ
イドグルーブを示す略線図である。
【図４】第２実施例による光学記録装置の構成を示すブ
ロツク図である。
【図５】第３実施例による光学記録装置の構成を示すブ
ロツク図である。
【図６】従来の光学記録装置の構成を示すブロツク図で
ある。
【図７】従来の音響光学変調器の構成を示す略線図であ
る。
【図８】従来の音響光学偏向器の構成を示す略線図であ
る。
【符号の説明】
１、２０、３０、４０……光学記録装置、２……レーザ
光源、７、１０、２５……ドライバ、８、２１、３１、
４１……移動光学テーブル、１１……ＶＣＯ、４……学
変調器）、１４……対物レンズ、１５……ガラス原盤、
１５Ａ……フオトレジスト膜、２２……音響光学変調偏
向器、２３、２４……ウエツジプリズム、４２、４３…
…シリンドリカルレンズ、Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３……ミラ
ー。
【数２】

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】レーザ光源から発射されたレーザ光を１つ
    の音響光学変調器を用いて記録信号に応じて強度変調及
    び光偏向し、 上記強度変調及び光偏向された上記レーザ光を原盤上の
    フオトレジスト膜に照射することにより上記記録信号に
    応じた記録パターンを形成することを特徴とする光学記
    録方法。
  2. 【請求項２】上記音響光学変調器は、上記記録信号に基
    づいて、上記レーザ光を強度変調すると共に当該強度変
    調に同期して光偏向することを特徴とする請求項１に記
    載の光学記録方法。
  3. 【請求項３】上記音響光学変調器には、上記レーザ光が
    平行光のまま入射されることを特徴とする請求項１に記
    載の光学記録方法。
  4. 【請求項４】上記音響光学変調器は、上記原盤の径方向
    に移動自在でなる移動光学テーブル上に設けられたこと
    を特徴とする請求項１に記載の光学記録方法。
  5. 【請求項５】上記音響光学変調器は、上記原盤の径方向
    に移動自在でなる移動光学テーブル上に設けられ、かつ
    上記音響光学変調器には、上記レーザ光が平行光のまま
    入射されることを特徴とする請求項１に記載の光学記録
    方法。
  6. 【請求項６】上記記録パターンは、ピツト又はグルーブ
    が瞬時に切替えられて形成されたことを特徴とする請求
    項１に記載の光学記録方法。
  7. 【請求項７】レーザ光源から発射されたレーザ光を記録
    信号に応じて強度変調及び光偏向して原盤上のフオトレ
    ジスト膜に照射することにより上記記録信号に応じた記
    録パターンを形成する光学記録装置において、 上記記録信号に基づいて、上記レーザ光を強度変調する
    と共に光偏向する、単一構成でなる音響光学変調器を具
    えたことを特徴とする光学記録装置。
  8. 【請求項８】上記音響光学変調器は、上記記録信号に基
    づいて、上記レーザ光を強度変調すると共に当該強度変
    調に同期して光偏向することを特徴とする請求項７に記
    載の光学記録装置。
  9. 【請求項９】上記音響光学変調器には、上記レーザ光が
    平行光のまま入射されることを特徴とする請求項７に記
    載の光学記録装置。
  10. 【請求項１０】上記音響光学変調器は、上記原盤の径方
    向に移動自在でなる移動光学テーブル上に設けられたこ
    とを特徴とする請求項７に記載の光学記録装置。
  11. 【請求項１１】上記音響光学変調器は、上記原盤の径方
    向に移動自在でなる移動光学テーブル上に設けられ、か
    つ上記音響光学変調器には、上記レーザ光が平行光のま
    ま入射されることを特徴とする請求項７に記載の光学記
    録装置。
  12. 【請求項１２】上記音響光学変調器を構成する音響光学
    媒体の厚み方向のみにレンズ作用を有するシリンドリカ
    ルレンズを上記音響光学変調器の前後にそれぞれ配置す
    ると共に、上記各シリンドリカルレンズの平面にウエツ
    ジを形成することにより、上記一方のシリンドリカルレ
    ンズの入射光軸と上記他方のシリンドリカルレンズの出
    射光軸を平行にしたことを特徴とする請求項７に記載の
    光学記録装置。
  13. 【請求項１３】レーザ光源から発射されたレーザ光を１
    つの音響光学変調器を用いて記録信号に応じて強度変調
    及び光偏向し、 上記強度変調及び光偏向された上記レーザ光を原盤上の
    フオトレジスト膜に照射することにより上記記録信号に
    応じた記録パターンを形成することにより作成されたこ
    とを特徴とする光学記録媒体。
  14. 【請求項１４】上記音響光学変調器には、上記レーザ光
    が平行光のまま入射されることを特徴とする請求項１３
    に記載の光学記録媒体。
  15. 【請求項１５】上記記録パターンは、ピツト又はグルー
    ブが瞬時に切替えられて形成されたことを特徴とする請
    求項１３に記載の光学記録媒体。
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