JPH04362549A - 光ディスク原盤露光装置 - Google Patents
光ディスク原盤露光装置Info
- Publication number
- JPH04362549A JPH04362549A JP16373291A JP16373291A JPH04362549A JP H04362549 A JPH04362549 A JP H04362549A JP 16373291 A JP16373291 A JP 16373291A JP 16373291 A JP16373291 A JP 16373291A JP H04362549 A JPH04362549 A JP H04362549A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- laser
- modulator
- optical system
- modulators
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 32
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229940125730 polarisation modulator Drugs 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【技術分野】本発明は、光ディスク原盤露光装置に関す
る。
る。
【０００２】
【従来技術】追記型コンパクトディスク（ＣＤ−ＷＯ）
は原盤露光時に露光溝をＦＭ変調するようにウォブル溝
となっている。そのウォブル溝は連続溝ではなく、フレ
ームＮｏ，ＲＯＭ等を記録しておくピットも同一円周上
に存在している。図３は、従来の露光光学系を示す構成
図で、図中、１１はレーザ光源（Ａｒレーザ）、１２は
光量変調器、１３はパルス変調器、１４は偏向変調器、
１５はビームエキスパンダ、１６は対物レンズ、１７は
レジスト板、１８はスピンドルモータである。図４は、
グルーブ部とＩＤピット部を示す図である。ＣＤ−ＷＯ
の原盤を露光する時、１本の露光ビームで光量、パルス
、偏向変調をしたレーザ光を対物レンズでレジスト板に
スパイラル露光を行なっている。この時、露光する溝深
さはＩＤピットがλ／４、グルーブがλ／８であり、Ｉ
Ｄピット部、グルーブ部では露光光量を光量変調器１２
で変調を行なって、ＩＤピット部に露光する時はパルス
変調器１３をＯＮ／ＯＦＦし、グルーブ部ではＯＮ状態
にしている。また、偏向変調器１４によって光量パルス
変調されたレーザ光をレジスト板上で２２．０５ＫＨｚ
、ウォブル量±３０ｎｍでＦＭ変調されるように変調を
行なっている。
は原盤露光時に露光溝をＦＭ変調するようにウォブル溝
となっている。そのウォブル溝は連続溝ではなく、フレ
ームＮｏ，ＲＯＭ等を記録しておくピットも同一円周上
に存在している。図３は、従来の露光光学系を示す構成
図で、図中、１１はレーザ光源（Ａｒレーザ）、１２は
光量変調器、１３はパルス変調器、１４は偏向変調器、
１５はビームエキスパンダ、１６は対物レンズ、１７は
レジスト板、１８はスピンドルモータである。図４は、
グルーブ部とＩＤピット部を示す図である。ＣＤ−ＷＯ
の原盤を露光する時、１本の露光ビームで光量、パルス
、偏向変調をしたレーザ光を対物レンズでレジスト板に
スパイラル露光を行なっている。この時、露光する溝深
さはＩＤピットがλ／４、グルーブがλ／８であり、Ｉ
Ｄピット部、グルーブ部では露光光量を光量変調器１２
で変調を行なって、ＩＤピット部に露光する時はパルス
変調器１３をＯＮ／ＯＦＦし、グルーブ部ではＯＮ状態
にしている。また、偏向変調器１４によって光量パルス
変調されたレーザ光をレジスト板上で２２．０５ＫＨｚ
、ウォブル量±３０ｎｍでＦＭ変調されるように変調を
行なっている。
【０００３】このような従来技術においては、以下のよ
うな問題点がある。 （１）連続するグルーブからピット部を露光する時に、
露光溝深さを変えるために光量変調を行なうが、一般的
な音響光学素子（Ａ／Ｏ変調器）では立ち上がりの速度
が遅く、又ドリフトもおきるため、所望の溝形状が得ら
れない。また立ち上がりの早い電気光学素子（Ｅ／Ｏ変
調器）の使用も考えられるが高価であり、温度変動によ
り光量変動も起こしやすく使用することがむずかしい。 （２）従来の露光光学系では、１本のビームで露光を行
なうため、ビームエキスパンダはＩＤピット、グルーブ
の露光時とも共通であり、露光ビーム径に違いはない。 一般的にそれぞれの溝断面はＩＤでは急峻度が高い方が
信号が良くなり、グルーブ部は溝がダレている方が良い
とされており、この溝断面の調整は露光ビーム径で行な
うためＩＤピットとグルーブとも満足する溝断面形状を
得る露光ビーム径で求めることはむずかしい。なお、図
５（ａ），（ｂ）はグルーブとピットの露光の様子を各
々示す図で、図６（ａ），（ｂ）は露光溝深さを示す図
である。
うな問題点がある。 （１）連続するグルーブからピット部を露光する時に、
露光溝深さを変えるために光量変調を行なうが、一般的
な音響光学素子（Ａ／Ｏ変調器）では立ち上がりの速度
が遅く、又ドリフトもおきるため、所望の溝形状が得ら
れない。また立ち上がりの早い電気光学素子（Ｅ／Ｏ変
調器）の使用も考えられるが高価であり、温度変動によ
り光量変動も起こしやすく使用することがむずかしい。 （２）従来の露光光学系では、１本のビームで露光を行
なうため、ビームエキスパンダはＩＤピット、グルーブ
の露光時とも共通であり、露光ビーム径に違いはない。 一般的にそれぞれの溝断面はＩＤでは急峻度が高い方が
信号が良くなり、グルーブ部は溝がダレている方が良い
とされており、この溝断面の調整は露光ビーム径で行な
うためＩＤピットとグルーブとも満足する溝断面形状を
得る露光ビーム径で求めることはむずかしい。なお、図
５（ａ），（ｂ）はグルーブとピットの露光の様子を各
々示す図で、図６（ａ），（ｂ）は露光溝深さを示す図
である。
【０００４】
【目的】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされた
もので、ＩＤ用とグルーブ用のレーザ光を独立して変調
することができ、良好なＣＤ−ＷＯ（Ｗｒｉｔｅ Ｏｎ
ｃｅ）用の原盤露光を行なうことのできる光ディスク原
盤露光装置を提供することを目的としてなされたもので
ある。
もので、ＩＤ用とグルーブ用のレーザ光を独立して変調
することができ、良好なＣＤ−ＷＯ（Ｗｒｉｔｅ Ｏｎ
ｃｅ）用の原盤露光を行なうことのできる光ディスク原
盤露光装置を提供することを目的としてなされたもので
ある。
【０００５】
【構成】本発明は、上記目的を達成するために、（１）
レーザ光源と、該レーザ光源より出射したレーザ光を２
分割するビームスプリッタと、該ビームスプリッタによ
り２分割された各々のレーザ光の光量を変える光量変調
器と、該光量変調器からのレーザ光のオン・オフを行う
パルス変調器と、該パルス変調器からのレーザ光により
ＩＤピットとグルーブをレジスト板に露光するための複
数の偏向変調器とから成ること、更には、（２）前記光
学系において、光量変調器及びパルス変調器はそれぞれ
のフォーマットに応じた入力で駆動され、複数の偏向変
調器は１つの信号で駆動して同位相でレーザ光をウォブ
ルすること、更には、（３）前記光学系を用いて、レジ
スト板に露光を行なう時、ＩＤピットとグルーブのレー
ザ光は対物レンズへの入射角を合致するように調整され
ていること、更には、（４）前記光学系において、ＩＤ
用とグルーブ用の光学系はそれぞれ独立したビームエキ
スパンダを有していることを特徴としたものである。以
下、本発明の実施例に基づいて説明する。
レーザ光源と、該レーザ光源より出射したレーザ光を２
分割するビームスプリッタと、該ビームスプリッタによ
り２分割された各々のレーザ光の光量を変える光量変調
器と、該光量変調器からのレーザ光のオン・オフを行う
パルス変調器と、該パルス変調器からのレーザ光により
ＩＤピットとグルーブをレジスト板に露光するための複
数の偏向変調器とから成ること、更には、（２）前記光
学系において、光量変調器及びパルス変調器はそれぞれ
のフォーマットに応じた入力で駆動され、複数の偏向変
調器は１つの信号で駆動して同位相でレーザ光をウォブ
ルすること、更には、（３）前記光学系を用いて、レジ
スト板に露光を行なう時、ＩＤピットとグルーブのレー
ザ光は対物レンズへの入射角を合致するように調整され
ていること、更には、（４）前記光学系において、ＩＤ
用とグルーブ用の光学系はそれぞれ独立したビームエキ
スパンダを有していることを特徴としたものである。以
下、本発明の実施例に基づいて説明する。
【０００６】図１は、本発明による光ディスク原盤露光
装置の一実施例を説明するための構成図で、図中、１は
レーザ光源（Ａｒレーザ）、２ａ，２ｂは光量変調器、
３ａ，３ｂはパルス変調器、４ａ，４ｂは偏向変調器、
５ａ，５ｂはビームエキスパンダ、６は対物レンズ、７
はレジスト板である。Ａｒレーザ１より出射したレーザ
光はビームスプリッタ等で２分割され、ＩＤ用、グルー
ブ用の光学系に分けられる。それぞれの光学系には光量
を変える光量変調器２ａ，２ｂ、レーザ光のＯＮ／ＯＦ
Ｆを行なうパルス変調器３ａ，３ｂ、レーザ光を振って
ウォブル溝を露光するための偏向変調器４ａ，４ｂが配
置されている。光量変調は、ＩＤ用、グルーブ用とも露
光に必要な光量になるようにそれぞれ変調されており、
パルス変調はＩＤ用はフォーマット信号とグルーブの切
り替え時に使い、グルーブ用はＩＤピットとグルーブの
切り替え時に用いられる。偏向変調は、１つのウォブル
信号で２個の偏向変調器４ａ，４ｂを駆動しているため
、ＩＤ用とグルーブ用のレーザ光を同位相でウォブルす
る事ができる。
装置の一実施例を説明するための構成図で、図中、１は
レーザ光源（Ａｒレーザ）、２ａ，２ｂは光量変調器、
３ａ，３ｂはパルス変調器、４ａ，４ｂは偏向変調器、
５ａ，５ｂはビームエキスパンダ、６は対物レンズ、７
はレジスト板である。Ａｒレーザ１より出射したレーザ
光はビームスプリッタ等で２分割され、ＩＤ用、グルー
ブ用の光学系に分けられる。それぞれの光学系には光量
を変える光量変調器２ａ，２ｂ、レーザ光のＯＮ／ＯＦ
Ｆを行なうパルス変調器３ａ，３ｂ、レーザ光を振って
ウォブル溝を露光するための偏向変調器４ａ，４ｂが配
置されている。光量変調は、ＩＤ用、グルーブ用とも露
光に必要な光量になるようにそれぞれ変調されており、
パルス変調はＩＤ用はフォーマット信号とグルーブの切
り替え時に使い、グルーブ用はＩＤピットとグルーブの
切り替え時に用いられる。偏向変調は、１つのウォブル
信号で２個の偏向変調器４ａ，４ｂを駆動しているため
、ＩＤ用とグルーブ用のレーザ光を同位相でウォブルす
る事ができる。
【０００７】各々変調されたＩＤ用、グルーブ用のレー
ザ光はそれぞれ所望の溝断面形状が得られるようなビー
ム径までビームエキスパンダで拡大される。拡大された
２つのレーザ光は、対物レンズへの入射角が合致するよ
うに重ね合せて対物レンズへ入射する。入射角を合致さ
せることで対物レンズによって、レジスト板上に焦光し
たそれぞれのビームスポットは同一半径上に露光される
こととなりグルーブの露光溝とピットの露光溝がずれる
ことはない。
ザ光はそれぞれ所望の溝断面形状が得られるようなビー
ム径までビームエキスパンダで拡大される。拡大された
２つのレーザ光は、対物レンズへの入射角が合致するよ
うに重ね合せて対物レンズへ入射する。入射角を合致さ
せることで対物レンズによって、レジスト板上に焦光し
たそれぞれのビームスポットは同一半径上に露光される
こととなりグルーブの露光溝とピットの露光溝がずれる
ことはない。
【０００８】図２（ａ）〜（ｃ）は、本発明の露光光学
系を用いてＣＤ−ＷＯ等の露光を行なう時の各変調器へ
の入力と露光溝の関係を示したものである。図（ａ）は
光量変調、図（ｂ）はパルス変調、図（ｃ）は偏向変調
の場合を各々示す。ウォブルしているグルーブ（Ｇ）が
切れてピットを露光するときはグルーブのパルス変調が
ＯＦＦになりグルーブ用のレーザ光は露光されず、ピッ
トを露光する時のみＩＤのパルス変調がＯＮされてＩＤ
用のレーザ光で露光される。ＣＤ−ＷＯ等の特徴である
ウォブル溝をつくるための偏向変調は、図２のようにサ
イン波の入力によってできる。またこの入力はＩＤ用、
グルーブ用両方の偏向変調器を同時に駆動するのでＩＤ
用、グルーブ用のレーザ光に位相差はない。
系を用いてＣＤ−ＷＯ等の露光を行なう時の各変調器へ
の入力と露光溝の関係を示したものである。図（ａ）は
光量変調、図（ｂ）はパルス変調、図（ｃ）は偏向変調
の場合を各々示す。ウォブルしているグルーブ（Ｇ）が
切れてピットを露光するときはグルーブのパルス変調が
ＯＦＦになりグルーブ用のレーザ光は露光されず、ピッ
トを露光する時のみＩＤのパルス変調がＯＮされてＩＤ
用のレーザ光で露光される。ＣＤ−ＷＯ等の特徴である
ウォブル溝をつくるための偏向変調は、図２のようにサ
イン波の入力によってできる。またこの入力はＩＤ用、
グルーブ用両方の偏向変調器を同時に駆動するのでＩＤ
用、グルーブ用のレーザ光に位相差はない。
【０００９】このように本発明では、同一直線上に異な
る溝形状の溝（ピット）を露光するためのものであり、
従来１光路だけで溝形状を変えるには光量を変えるだけ
であったが、本発明では露光するビーム径も変えること
ができ、溝、ピットとそれぞれ最適の溝形状を設定する
ことができる。また、本発明では、ＣＤ−ＷＯフォーマ
ットの特徴であるウォブル溝、ウォブルピットを露光さ
せるもので、同一直線上に同位相に溝、ピットが連続す
るため、２個の偏向変調器は１個の信号により駆動する
ことで同期をとっている。
る溝形状の溝（ピット）を露光するためのものであり、
従来１光路だけで溝形状を変えるには光量を変えるだけ
であったが、本発明では露光するビーム径も変えること
ができ、溝、ピットとそれぞれ最適の溝形状を設定する
ことができる。また、本発明では、ＣＤ−ＷＯフォーマ
ットの特徴であるウォブル溝、ウォブルピットを露光さ
せるもので、同一直線上に同位相に溝、ピットが連続す
るため、２個の偏向変調器は１個の信号により駆動する
ことで同期をとっている。
【００１０】
【効果】以上の説明から明らかなように、本発明による
と、以下のような効果がある。 （１）請求項１のそれぞれの光学系（ＩＤ用、グルーブ
用）に光量変調器、パルス変調器、偏向変調器を配置す
ることでＩＤ用とグルーブ用のレーザ光を独立して変調
することができる。また、制御系を変えるだけで、２ビ
ームランド記録方式のフォーマット（ＣＣＳ）を露光す
ることができる。 （２）請求項２の２個の偏向変調器を１個の入力信号で
駆動することで、ＩＤ用、グルーブ用のウォブル溝の位
相がずれることがない。 （３）請求項３のＩＤ用、グルーブ用のレーザ光を対物
レンズへの入射角を合致させることでピットとグルーブ
を切り替えて露光した時、露光スポット位置がずれるこ
とがない。 （４）請求項４のそれぞれの光学系に独立したビームエ
キスパンダを持っているので、ＩＤ用、グルーブ用とも
最適溝形状を得ることができる。
と、以下のような効果がある。 （１）請求項１のそれぞれの光学系（ＩＤ用、グルーブ
用）に光量変調器、パルス変調器、偏向変調器を配置す
ることでＩＤ用とグルーブ用のレーザ光を独立して変調
することができる。また、制御系を変えるだけで、２ビ
ームランド記録方式のフォーマット（ＣＣＳ）を露光す
ることができる。 （２）請求項２の２個の偏向変調器を１個の入力信号で
駆動することで、ＩＤ用、グルーブ用のウォブル溝の位
相がずれることがない。 （３）請求項３のＩＤ用、グルーブ用のレーザ光を対物
レンズへの入射角を合致させることでピットとグルーブ
を切り替えて露光した時、露光スポット位置がずれるこ
とがない。 （４）請求項４のそれぞれの光学系に独立したビームエ
キスパンダを持っているので、ＩＤ用、グルーブ用とも
最適溝形状を得ることができる。
【図１】 本発明による光ディスク原盤露光装置の一
実施例を説明するための構成図である。
実施例を説明するための構成図である。
【図２】 露光光学系を用いて露光を行なう時の各変
調器への入力と露光溝の関係を示す図である。
調器への入力と露光溝の関係を示す図である。
【図３】 従来の露光光学系を示す図である。
【図４】 グルーブとピットを示す図である。
【図５】 露光ビーム径の違いによる溝断面形状を示
す図である。
す図である。
【図６】 グルーブとピットの溝深さの違いを示す図
である。
である。
１…レーザ光源（Ａｒレーザ）、２ａ，２ｂ…光量変調
器、３ａ，３ｂ…パルス変調器、４ａ，４ｂ…偏向変調
器、５ａ，５ｂ…ビームエキスパンダ、６…対物レンズ
、７…レジスト板。
器、３ａ，３ｂ…パルス変調器、４ａ，４ｂ…偏向変調
器、５ａ，５ｂ…ビームエキスパンダ、６…対物レンズ
、７…レジスト板。
Claims (4)
- 【請求項１】 レーザ光源と、該レーザ光源より出射
したレーザ光を２分割するビームスプリッタと、該ビー
ムスプリッタにより２分割された各々のレーザ光の光量
を変える光量変調器と、該光量変調器からのレーザ光の
オン・オフを行うパルス変調器と、該パルス変調器から
のレーザ光によりＩＤピットとグルーブをレジスト板に
露光するための複数の偏向変調器とから成ることを特徴
とする光ディスク原盤露光装置。 - 【請求項２】 前記光学系において、光量変調器及び
パルス変調器はそれぞれのフォーマットに応じた入力で
駆動され、複数の偏向変調器は１つの信号で駆動して同
位相でレーザ光をウォブルすることを特徴とする請求項
１記載の光ディスク原盤露光装置。 - 【請求項３】 前記光学系を用いて、レジスト板に露
光を行なう時、ＩＤピットとグルーブのレーザ光は対物
レンズへの入射角を合致するように調整されていること
を特徴とする請求項１記載の光ディスク原盤露光装置。 - 【請求項４】 前記光学系において、ＩＤ用とグルー
ブ用の光学系はそれぞれ独立したビームエキスパンダを
有していることを特徴とする請求項１記載の光ディスク
原盤露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16373291A JPH04362549A (ja) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | 光ディスク原盤露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16373291A JPH04362549A (ja) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | 光ディスク原盤露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04362549A true JPH04362549A (ja) | 1992-12-15 |
Family
ID=15779619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16373291A Pending JPH04362549A (ja) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | 光ディスク原盤露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04362549A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6219330B1 (en) | 1997-09-30 | 2001-04-17 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Master disk for optical disk and having first and second photoresist layers |
-
1991
- 1991-06-07 JP JP16373291A patent/JPH04362549A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6219330B1 (en) | 1997-09-30 | 2001-04-17 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Master disk for optical disk and having first and second photoresist layers |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2643159B2 (ja) | 光学的記録方法 | |
| US5043965A (en) | Optical apparatus for optical information recording medium | |
| JPH04362549A (ja) | 光ディスク原盤露光装置 | |
| JP2001325748A (ja) | 多層光記録媒体ならびにその記録再生装置および製造装置 | |
| US6136402A (en) | Optical recording medium having disconnected lands and grooves forming control signal portion | |
| KR20020087426A (ko) | 광 기록 매체, 광 기록 매체 제조용 원반, 광 기록 매체제조용 원반의 제조장치, 광 기록 매체 제조용 원반의제조 방법 | |
| JPS6278740A (ja) | 情報記録原盤記録方法 | |
| JP2002298445A (ja) | 光記録媒体及び光記録媒体製造用原盤 | |
| JPH1153772A (ja) | 光記録媒体及び光学カッティング方法、光学カッティング装置 | |
| JP2713229B2 (ja) | トラッキング方法及び光ディスク装置 | |
| JP3830201B2 (ja) | 光ディスクおよび光ディスク原盤製造方法 | |
| JP2540582B2 (ja) | 光ディスク用マスタ―原盤の作成方法 | |
| JP3068878B2 (ja) | 光ディスク原盤の作製方法 | |
| JP3164543B2 (ja) | ディスク状記録媒体 | |
| JP2960018B2 (ja) | 円盤状記録媒体 | |
| JPH08167170A (ja) | 光ディスク及びその製造装置 | |
| JPH0447535A (ja) | 光学的記録方法 | |
| JPH09320127A (ja) | 光学記録方法、光学記録装置及び光学記録媒体 | |
| JPH05159402A (ja) | 光学式記録装置 | |
| JPH02103752A (ja) | 光ディスク及びその製造方法 | |
| JPH09128783A (ja) | 光学記録方法、光学記録装置及び光学記録媒体 | |
| JPH09138965A (ja) | 光学記録方法、光学記録装置及び光学記録媒体 | |
| JP2001006178A (ja) | 光学記録方法及び光学記録装置 | |
| JPH0793828A (ja) | 光ディスク原盤露光方法 | |
| JP2000048414A (ja) | 原盤露光装置 |