JPH09185840A - 光学記録方法、光学記録装置及び光学記録媒体 - Google Patents
光学記録方法、光学記録装置及び光学記録媒体Info
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- JPH09185840A JPH09185840A JP7352731A JP35273195A JPH09185840A JP H09185840 A JPH09185840 A JP H09185840A JP 7352731 A JP7352731 A JP 7352731A JP 35273195 A JP35273195 A JP 35273195A JP H09185840 A JPH09185840 A JP H09185840A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、被露光体の被露光面に所望の幅でな
る潜像を容易に形成し得る光学記録方法、光学記録装置
及び光学記録媒体を実現しようとするものである。 【解決手段】レーザ光源から発射されたレーザ光を光変
調器を用いて所定のフオーマツトに基づく変調信号に応
じて強度変調した後、当該強度変調されたレーザ光を対
物レンズを介して被露光体の被露光面に照射することに
より、変調信号に応じた露光パターンを形成する光学記
録方法、光学記録装置及び光学記録媒体において、強度
変調されたレーザ光の光路から外れた所定位置に、当該
光路上に移動自在にそれぞれ焦点距離が異なる複数の第
１のレンズを配置し、複数の第１のレンズのうち所望す
るレーザ光の径に応じた第１のレンズをレーザ光の光路
上に選択的に移動させるようにしたことにより、被露光
体の被露光面に所望の径でなる潜像を容易に形成し得る
光学記録方法、光学記録装置及び光学記録媒体を実現す
ることができる。
る潜像を容易に形成し得る光学記録方法、光学記録装置
及び光学記録媒体を実現しようとするものである。 【解決手段】レーザ光源から発射されたレーザ光を光変
調器を用いて所定のフオーマツトに基づく変調信号に応
じて強度変調した後、当該強度変調されたレーザ光を対
物レンズを介して被露光体の被露光面に照射することに
より、変調信号に応じた露光パターンを形成する光学記
録方法、光学記録装置及び光学記録媒体において、強度
変調されたレーザ光の光路から外れた所定位置に、当該
光路上に移動自在にそれぞれ焦点距離が異なる複数の第
１のレンズを配置し、複数の第１のレンズのうち所望す
るレーザ光の径に応じた第１のレンズをレーザ光の光路
上に選択的に移動させるようにしたことにより、被露光
体の被露光面に所望の径でなる潜像を容易に形成し得る
光学記録方法、光学記録装置及び光学記録媒体を実現す
ることができる。
Description
【０００１】
【目次】以下の順序で本発明を説明する。 発明の属する技術分野 従来の技術（図５及び図６） 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段 発明の実施の形態 （１）第１実施例（図１及び図２） （２）第２実施例（図３及び図４） （３）他の実施例 発明の効果
【０００２】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学記録方法、光
学記録装置及び光学記録媒体に関し、例えばＣＤ（Comp
act Disc）、ＬＤ（Laser Disc）等の光デイスク及びＭ
Ｄ（Mini Disc ）等の光磁気デイスクを製造するための
レーザカツテイングマシーンに適用して好適なものであ
る。
学記録装置及び光学記録媒体に関し、例えばＣＤ（Comp
act Disc）、ＬＤ（Laser Disc）等の光デイスク及びＭ
Ｄ（Mini Disc ）等の光磁気デイスクを製造するための
レーザカツテイングマシーンに適用して好適なものであ
る。
【０００３】
【従来の技術】従来、光デイスク及び光磁気デイスク等
でなるデイスク状記録媒体の製造工程においては、記録
信号に応じた所望の凹凸パターン（例えばピツト及び又
はグルーブ等）が表面に形成されたスタンパを作製する
工程と、当該スタンパの表面に形成された所望の凹凸パ
ターンをデイスク基盤上に転写することによつて当該デ
イスク基盤をデイスク状記録媒体として製品化するまで
の工程とに大別される。
でなるデイスク状記録媒体の製造工程においては、記録
信号に応じた所望の凹凸パターン（例えばピツト及び又
はグルーブ等）が表面に形成されたスタンパを作製する
工程と、当該スタンパの表面に形成された所望の凹凸パ
ターンをデイスク基盤上に転写することによつて当該デ
イスク基盤をデイスク状記録媒体として製品化するまで
の工程とに大別される。
【０００４】このうちスタンパを作製する工程において
は、まず極めて平滑に研磨されたガラス板の一面を洗浄
及び乾燥した後、当該一面上に感光材料でなるフオトレ
ジストを塗布することによりレジスト層を形成（以下、
このようなガラス板をレジストマスターガラス板と呼
ぶ）する。次いでこのレジスト層に所望の記録信号に基
づく光ビーム（例えばレーザ光等）を露光した後、これ
を現像することによりガラス板の一面上にレジスト層に
記録した信号に応じた凹凸パターンが形成される。
は、まず極めて平滑に研磨されたガラス板の一面を洗浄
及び乾燥した後、当該一面上に感光材料でなるフオトレ
ジストを塗布することによりレジスト層を形成（以下、
このようなガラス板をレジストマスターガラス板と呼
ぶ）する。次いでこのレジスト層に所望の記録信号に基
づく光ビーム（例えばレーザ光等）を露光した後、これ
を現像することによりガラス板の一面上にレジスト層に
記録した信号に応じた凹凸パターンが形成される。
【０００５】このような光デイスク及び光磁気デイスク
等の光学記録媒体の原盤作製、あるいはプリント配線基
板及び半導体集積回路等の作製に用いられるフオトレジ
ストマスクの作製等においては、従来からレーザ光を用
いた光学記録装置が使用されている。
等の光学記録媒体の原盤作製、あるいはプリント配線基
板及び半導体集積回路等の作製に用いられるフオトレジ
ストマスクの作製等においては、従来からレーザ光を用
いた光学記録装置が使用されている。
【０００６】ところで、近年、ＣＤ、ＬＤ等の再生専用
形の光デイスク、及びＭＤ、ＭＯデイスク等グルーブ自
体を記録トラツクとして使用する光デイスクが提案され
ている。このような光デイスクにおいては、最適なピツ
ト幅やグルーブ幅がその仕様（例えばサイズや用途）に
応じてそれぞれ異なる。従つて、スタンパを作製する際
の露光処理工程において、レジスト層に露光するレーザ
光によつてピツトやグルーブでなる潜像が形成されるこ
とから、当該レーザ光のスポツト径を調整することによ
りピツト幅やグルーブ幅を変えることができる。
形の光デイスク、及びＭＤ、ＭＯデイスク等グルーブ自
体を記録トラツクとして使用する光デイスクが提案され
ている。このような光デイスクにおいては、最適なピツ
ト幅やグルーブ幅がその仕様（例えばサイズや用途）に
応じてそれぞれ異なる。従つて、スタンパを作製する際
の露光処理工程において、レジスト層に露光するレーザ
光によつてピツトやグルーブでなる潜像が形成されるこ
とから、当該レーザ光のスポツト径を調整することによ
りピツト幅やグルーブ幅を変えることができる。
【０００７】ここで図５において、ＣＤ及びＬＤの光デ
イスクの原盤作製に用いられる光学記録装置を示す。光
学記録装置１においては、例えばヘリウム・カドミウム
（He-Cd ）レーザ（波長 441.6〔nm〕）のように気体を
増幅媒質とするレーザ光源２からレーザ光Ｌ１が出射さ
れ、当該レーザ光Ｌ１はミラーＭ１に反射されて平行光
のまま変調光学ユニツト３に入射される。
イスクの原盤作製に用いられる光学記録装置を示す。光
学記録装置１においては、例えばヘリウム・カドミウム
（He-Cd ）レーザ（波長 441.6〔nm〕）のように気体を
増幅媒質とするレーザ光源２からレーザ光Ｌ１が出射さ
れ、当該レーザ光Ｌ１はミラーＭ１に反射されて平行光
のまま変調光学ユニツト３に入射される。
【０００８】変調光学ユニツト３は、音響光学変調器
（ＡＯＭ：Acousto Optic Modulator）４を有し、当該
音響光学変調器４の光路の前後にビーム縮小レンズ５及
びビーム拡大レンズ６が設けられた構成からなる。ミラ
ーＭ１を介して光学ユニツト３に入射されたレーザ光Ｌ
１は、ビーム縮小レンズ５において所定のビーム径に縮
小された後、音響光学変調器４に入射される。
（ＡＯＭ：Acousto Optic Modulator）４を有し、当該
音響光学変調器４の光路の前後にビーム縮小レンズ５及
びビーム拡大レンズ６が設けられた構成からなる。ミラ
ーＭ１を介して光学ユニツト３に入射されたレーザ光Ｌ
１は、ビーム縮小レンズ５において所定のビーム径に縮
小された後、音響光学変調器４に入射される。
【０００９】この場合、ＣＤとＬＤとでは互いにピツト
幅が異なるため、ＣＤのピツト記録形成時にはＥＦＭ変
調（Eight to Fourteen Modulation）された高周波記録
信号Ｓ１がドライバ７に入力され、またＬＤのピツト記
録形成時にはＦＭ変調（Frequency Modulation）された
高周波記録信号Ｓ２がドライバ７に入力されるようにな
されている。
幅が異なるため、ＣＤのピツト記録形成時にはＥＦＭ変
調（Eight to Fourteen Modulation）された高周波記録
信号Ｓ１がドライバ７に入力され、またＬＤのピツト記
録形成時にはＦＭ変調（Frequency Modulation）された
高周波記録信号Ｓ２がドライバ７に入力されるようにな
されている。
【００１０】また図６に示すように音響光学変調器４
は、音響光学媒体（例えばPbMoO4結晶、TeO2結晶等）４
Ａ上に圧電振動子（トランスジユーサ）（例えばLiNb
O3、ZnO等でなる薄膜）４Ｂが接着された構成からな
る。この場合、音響光学変調器４は、ＣＤのピツト記録
形成時にはドライバ７から高周波記録信号Ｓ１に基づく
電圧信号Ｓ３が圧電振動子４Ｂを介して入力され、また
ＬＤのピツト記録形成時にはドライバ７から高周波記録
信号Ｓ２に基づく電圧信号Ｓ４が圧電振動子４Ｂを介し
て入力される。
は、音響光学媒体（例えばPbMoO4結晶、TeO2結晶等）４
Ａ上に圧電振動子（トランスジユーサ）（例えばLiNb
O3、ZnO等でなる薄膜）４Ｂが接着された構成からな
る。この場合、音響光学変調器４は、ＣＤのピツト記録
形成時にはドライバ７から高周波記録信号Ｓ１に基づく
電圧信号Ｓ３が圧電振動子４Ｂを介して入力され、また
ＬＤのピツト記録形成時にはドライバ７から高周波記録
信号Ｓ２に基づく電圧信号Ｓ４が圧電振動子４Ｂを介し
て入力される。
【００１１】音響光学変調器４では、圧電振動子４Ｂに
よつて電圧信号Ｓ３又はＳ４はそれぞれ超音波信号に変
換され、音響光学媒体４Ａ内において当該音響光学媒体
４Ａの屈折率を周期的に変化させることにより、当該音
響光学媒体４Ａは光に対して回折格子の役割を果たすこ
ととなる（以下、これを超音波回折格子と呼ぶ）。
よつて電圧信号Ｓ３又はＳ４はそれぞれ超音波信号に変
換され、音響光学媒体４Ａ内において当該音響光学媒体
４Ａの屈折率を周期的に変化させることにより、当該音
響光学媒体４Ａは光に対して回折格子の役割を果たすこ
ととなる（以下、これを超音波回折格子と呼ぶ）。
【００１２】この場合、ブラツグ回折では格子間隔ｄ、
レーザ光波長λ、及びレーザ光と格子面とのなす角θで
なるとき、次式
レーザ光波長λ、及びレーザ光と格子面とのなす角θで
なるとき、次式
【数１】 を満たすときの角θ（以下、これをブラツグ角と呼ぶ）
でレーザ光Ｌ１が入射し得るように、ミラーＭ１及びビ
ーム縮小レンズ５を相対的に位置合わせした状態で音響
光学変調器４を配置する。
でレーザ光Ｌ１が入射し得るように、ミラーＭ１及びビ
ーム縮小レンズ５を相対的に位置合わせした状態で音響
光学変調器４を配置する。
【００１３】この状態において、超音波波面にブラツグ
角で入射したレーザ光Ｌ１は、当該超音波波面と同じ角
度をなす方向にのみ回折され、当該レーザ光Ｌ１の光強
度を当該電圧信号Ｓ３又はＳ４に応じてオン状態又はオ
フ状態により断続させて変調する。
角で入射したレーザ光Ｌ１は、当該超音波波面と同じ角
度をなす方向にのみ回折され、当該レーザ光Ｌ１の光強
度を当該電圧信号Ｓ３又はＳ４に応じてオン状態又はオ
フ状態により断続させて変調する。
【００１４】このように、音響光学変調器４は、ブラツ
グ回折における１次回折光強度が超音波パワーにほぼ比
例することを利用してなり、超音波パワーをドライバ７
から供給される電圧信号Ｓ３又はＳ４に基づいて変調す
ることによりレーザ光Ｌ１の光変調を行うようになされ
ている。
グ回折における１次回折光強度が超音波パワーにほぼ比
例することを利用してなり、超音波パワーをドライバ７
から供給される電圧信号Ｓ３又はＳ４に基づいて変調す
ることによりレーザ光Ｌ１の光変調を行うようになされ
ている。
【００１５】続いて、電圧信号Ｓ３又はＳ４に基づき音
響光学変調器４によつて強度変調された１次回折光でな
るレーザ光Ｌ１Ａは、ビーム拡大レンズ６によつてその
ビーム径が所定の大きさに拡大された後、平行光のまま
アパーチヤ８を通過してミラーＭ２に入射される。
響光学変調器４によつて強度変調された１次回折光でな
るレーザ光Ｌ１Ａは、ビーム拡大レンズ６によつてその
ビーム径が所定の大きさに拡大された後、平行光のまま
アパーチヤ８を通過してミラーＭ２に入射される。
【００１６】一方、レーザ光Ｌ１のうち一部は音響光学
媒体４Ａ内で回折されることなく０次回折光として当該
音響光学媒体４Ａを透過する。この０次回折光でなるレ
ーザ光Ｌ１Ｂは、ビーム拡大レンズ６を透過した後、ア
パーチヤ８で遮断される。これにより０次回折光でなる
レーザ光Ｌ１Ｂが１次回折光でなるレーザ光Ｌ１Ａに漏
れ込むことを回避することができる。
媒体４Ａ内で回折されることなく０次回折光として当該
音響光学媒体４Ａを透過する。この０次回折光でなるレ
ーザ光Ｌ１Ｂは、ビーム拡大レンズ６を透過した後、ア
パーチヤ８で遮断される。これにより０次回折光でなる
レーザ光Ｌ１Ｂが１次回折光でなるレーザ光Ｌ１Ａに漏
れ込むことを回避することができる。
【００１７】ここで、ビーム拡大レンズ６は、レーザ光
Ｌ１Ａ及びＬ１Ｂの光路上の音響光学変調器４側に破線
で示した第１の位置と、当該光路上のアパーチヤ８側に
破線で示した第２の位置との間を、光路に沿つて移動し
得るようになされている。
Ｌ１Ａ及びＬ１Ｂの光路上の音響光学変調器４側に破線
で示した第１の位置と、当該光路上のアパーチヤ８側に
破線で示した第２の位置との間を、光路に沿つて移動し
得るようになされている。
【００１８】この第１の位置及び第２の位置間に、ビー
ム拡大レンズ６をその焦点距離が異なる他のビーム拡大
レンズ（図示せず）と取り替えた場合には、当該ビーム
拡大レンズを透過するレーザ光Ｌ１Ａ及びＬ１Ｂのビー
ム径もそれぞれビーム拡大レンズ６の場合とは異なるこ
ととなる。このように所望のビーム拡大レンズと取り替
えることによりビーム径が変化されたレーザ光Ｌ１Ａ
は、平行光のままミラーＭ２で反射された後、移動光学
テーブル８上のレンズ１０に入射される。
ム拡大レンズ６をその焦点距離が異なる他のビーム拡大
レンズ（図示せず）と取り替えた場合には、当該ビーム
拡大レンズを透過するレーザ光Ｌ１Ａ及びＬ１Ｂのビー
ム径もそれぞれビーム拡大レンズ６の場合とは異なるこ
ととなる。このように所望のビーム拡大レンズと取り替
えることによりビーム径が変化されたレーザ光Ｌ１Ａ
は、平行光のままミラーＭ２で反射された後、移動光学
テーブル８上のレンズ１０に入射される。
【００１９】続いてレーザ光Ｌ１Ａは、レンズ１０を介
して光路上の所定位置で集光され、さらにミラーＭ３で
反射された後、対物レンズ１１を介してフオトレジスト
付ガラス原盤（以下、これをガラス原盤と呼ぶ）１２上
に塗布されたフオトレジスト膜１２Ａに集光照射され
る。この場合、レンズ１０を透過したレーザ光Ｌ１Ａの
光路上の集光位置Ｐ1 と、対物レンズ１１を介して集光
照射された結像集光面Ｐ2 とは互いに共役関係を有する
ように、レンズ１０がレーザ光Ｌ１Ａの光路上に配置さ
れている。
して光路上の所定位置で集光され、さらにミラーＭ３で
反射された後、対物レンズ１１を介してフオトレジスト
付ガラス原盤（以下、これをガラス原盤と呼ぶ）１２上
に塗布されたフオトレジスト膜１２Ａに集光照射され
る。この場合、レンズ１０を透過したレーザ光Ｌ１Ａの
光路上の集光位置Ｐ1 と、対物レンズ１１を介して集光
照射された結像集光面Ｐ2 とは互いに共役関係を有する
ように、レンズ１０がレーザ光Ｌ１Ａの光路上に配置さ
れている。
【００２０】またレンズ１０も、レーザ光Ｌ１Ａ及びＬ
１Ｂの光路上のミラーＭ２側に破線で示した第１の位置
と、当該光路上のミラーＭ３側に破線で示した第２の位
置との間を、光路に沿つて移動し得るようになされてい
る。
１Ｂの光路上のミラーＭ２側に破線で示した第１の位置
と、当該光路上のミラーＭ３側に破線で示した第２の位
置との間を、光路に沿つて移動し得るようになされてい
る。
【００２１】この第１の位置及び第２の位置間に、レン
ズ１０をその焦点距離が異なる他のレンズ（図示せず）
と取り替えた場合には、ビーム拡大レンズ６を介してビ
ーム径が変化されたレーザ光Ｌ１Ａが当該レンズを透過
して後段の対物レンズ１１を介してフオトレジスト膜１
２Ａに照射された場合でも、当該レンズをその焦点距離
に応じて再調整することにより、レーザ光Ｌ１Ａは常に
フオトレジスト膜１２Ａの結像集光面Ｐ2 で集光し得
る。
ズ１０をその焦点距離が異なる他のレンズ（図示せず）
と取り替えた場合には、ビーム拡大レンズ６を介してビ
ーム径が変化されたレーザ光Ｌ１Ａが当該レンズを透過
して後段の対物レンズ１１を介してフオトレジスト膜１
２Ａに照射された場合でも、当該レンズをその焦点距離
に応じて再調整することにより、レーザ光Ｌ１Ａは常に
フオトレジスト膜１２Ａの結像集光面Ｐ2 で集光し得
る。
【００２２】この場合、ビーム拡大レンズ６を介してビ
ーム径が変化されたことにより、対物レンズ１１の入射
瞳径に対してその有効瞳径が変化して、この結果対物レ
ンズ射出側の有効開口数ＮＡ（Numerical Aperture）も
変化する。ここで、レーザ光Ｌ１Ａのスポツト径ｗは、
対物レンズ１１の有効開口数ＮＡ、及びレーザ光Ｌ１Ａ
の波長λによつて、次式
ーム径が変化されたことにより、対物レンズ１１の入射
瞳径に対してその有効瞳径が変化して、この結果対物レ
ンズ射出側の有効開口数ＮＡ（Numerical Aperture）も
変化する。ここで、レーザ光Ｌ１Ａのスポツト径ｗは、
対物レンズ１１の有効開口数ＮＡ、及びレーザ光Ｌ１Ａ
の波長λによつて、次式
【数２】 で表され、このことから対物レンズ１１の有効開口数Ｎ
Ａが大きいほどスポツト径ｗを小さくすることができ
る。
Ａが大きいほどスポツト径ｗを小さくすることができ
る。
【００２３】さらにレンズ１０を所望の焦点距離でなる
レンズに取り替えたことにより、対物レンズ１１の光学
特性上の最適な集光位置Ｐ1 にレーザ光Ｌ１Ａを集光
し、その集光能力によるビーム形状と、集光位置Ｐ1 を
透過後の対物レンズ１１の瞳面を満たす面積比率の変化
によつて、結像集光面Ｐ2 でのビーム形状が決定される
こととなる。
レンズに取り替えたことにより、対物レンズ１１の光学
特性上の最適な集光位置Ｐ1 にレーザ光Ｌ１Ａを集光
し、その集光能力によるビーム形状と、集光位置Ｐ1 を
透過後の対物レンズ１１の瞳面を満たす面積比率の変化
によつて、結像集光面Ｐ2 でのビーム形状が決定される
こととなる。
【００２４】ところで、移動光学テーブル８は、ガラス
原盤１２の径方向に移動し得るようになされ、またガラ
ス原盤１２は、モータ（図示せず）の出力軸の回転駆動
に伴つて矢印ａで示す方向又はこれとは逆方向に線速度
一定（ＣＬＶ）で回転し得るようになされている。これ
により、ガラス原盤１２のフオトレジスト膜１２Ａにレ
ーザ光Ｌ１Ａが所望のビーム径に変化された状態でスパ
イラルに集光照射される。かくして当該フオトレジスト
膜１２Ａのうちレーザ光Ｌ１Ａの露光部分が現像処理に
より溶解して、所望の形状でなるピツト及びグルーブが
記録形成される。
原盤１２の径方向に移動し得るようになされ、またガラ
ス原盤１２は、モータ（図示せず）の出力軸の回転駆動
に伴つて矢印ａで示す方向又はこれとは逆方向に線速度
一定（ＣＬＶ）で回転し得るようになされている。これ
により、ガラス原盤１２のフオトレジスト膜１２Ａにレ
ーザ光Ｌ１Ａが所望のビーム径に変化された状態でスパ
イラルに集光照射される。かくして当該フオトレジスト
膜１２Ａのうちレーザ光Ｌ１Ａの露光部分が現像処理に
より溶解して、所望の形状でなるピツト及びグルーブが
記録形成される。
【００２５】因みに、ピツト及びグルーブが形成された
ガラス原盤１２の複製をＮｉめつきすることにより金型
（スタンパー）を作製し、当該金型を用いてＰＭＭＡ
（ポリメチルメタクリレート）及びＰＣ（ポリカーボネ
イト）等の透明樹脂に成形を行うことにより、微小な凹
凸（信号に相当するピツトやグルーブパターン）が転写
された透明基板を形成することができる。これらピツト
やグルーブを含む透明基盤の表面には光を反射する金属
膜や光磁気膜等が設けられ、さらに保護膜が信号ピツト
や反射膜を保護するために設けられることにより、ＭＤ
等の光デイスクが製造されることとなる。
ガラス原盤１２の複製をＮｉめつきすることにより金型
（スタンパー）を作製し、当該金型を用いてＰＭＭＡ
（ポリメチルメタクリレート）及びＰＣ（ポリカーボネ
イト）等の透明樹脂に成形を行うことにより、微小な凹
凸（信号に相当するピツトやグルーブパターン）が転写
された透明基板を形成することができる。これらピツト
やグルーブを含む透明基盤の表面には光を反射する金属
膜や光磁気膜等が設けられ、さらに保護膜が信号ピツト
や反射膜を保護するために設けられることにより、ＭＤ
等の光デイスクが製造されることとなる。
【００２６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述のよう
なビーム拡大レンズ６及びレンズ１０をそれぞれ所望の
焦点距離でなるものに取り替える方法によれば、各々の
レンズの位置を再調整した場合に、ビーム拡大レンズ６
の焦点距離の変化に伴つてレーザ光Ｌ１Ａのビーム高さ
が変わるおそれがあり、このためビーム高さシフタ（図
示せず）を用いて当該レーザ光Ｌ１Ａの光軸を補正する
必要があつた。
なビーム拡大レンズ６及びレンズ１０をそれぞれ所望の
焦点距離でなるものに取り替える方法によれば、各々の
レンズの位置を再調整した場合に、ビーム拡大レンズ６
の焦点距離の変化に伴つてレーザ光Ｌ１Ａのビーム高さ
が変わるおそれがあり、このためビーム高さシフタ（図
示せず）を用いて当該レーザ光Ｌ１Ａの光軸を補正する
必要があつた。
【００２７】またビーム拡大レンズ６の焦点距離を変化
させた場合に、当該ビーム拡大レンズ６を透過したレー
ザ光Ｌ１Ａが平行光のままレンズ１０に入射し得るよう
にビーム拡大レンズ６の水平位置を微調整することは非
常に困難であり、かつ調整作業が煩雑となるという問題
があつた。これらのことはレンズ１０についても同様で
あつた。
させた場合に、当該ビーム拡大レンズ６を透過したレー
ザ光Ｌ１Ａが平行光のままレンズ１０に入射し得るよう
にビーム拡大レンズ６の水平位置を微調整することは非
常に困難であり、かつ調整作業が煩雑となるという問題
があつた。これらのことはレンズ１０についても同様で
あつた。
【００２８】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、被露光体の被露光面に所望の幅でなる潜像を容易に
形成し得る光学記録方法、光学記録装置及び光学記録媒
体を提案しようとするものである。
で、被露光体の被露光面に所望の幅でなる潜像を容易に
形成し得る光学記録方法、光学記録装置及び光学記録媒
体を提案しようとするものである。
【００２９】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、レーザ光源から発射されたレーザ
光を光変調器を用いて所定のフオーマツトに基づく変調
信号に応じて強度変調した後、当該強度変調されたレー
ザ光を対物レンズを介して被露光体の被露光面に照射す
ることにより、変調信号に応じた露光パターンを形成す
る光学記録方法、光学記録装置及び光学記録媒体におい
て、強度変調されたレーザ光の光路から外れた所定位置
に、当該光路上に移動自在にそれぞれ焦点距離が異なる
複数の第１のレンズを配置し、複数の第１のレンズのう
ち所望するレーザ光の径に応じた第１のレンズをレーザ
光の光路上に選択的に移動させるようにする。
め本発明においては、レーザ光源から発射されたレーザ
光を光変調器を用いて所定のフオーマツトに基づく変調
信号に応じて強度変調した後、当該強度変調されたレー
ザ光を対物レンズを介して被露光体の被露光面に照射す
ることにより、変調信号に応じた露光パターンを形成す
る光学記録方法、光学記録装置及び光学記録媒体におい
て、強度変調されたレーザ光の光路から外れた所定位置
に、当該光路上に移動自在にそれぞれ焦点距離が異なる
複数の第１のレンズを配置し、複数の第１のレンズのう
ち所望するレーザ光の径に応じた第１のレンズをレーザ
光の光路上に選択的に移動させるようにする。
【００３０】また本発明においては、第１のレンズを透
過したレーザ光の光路から外れた所定位置に、当該光路
上に移動自在にそれぞれ焦点距離が異なる複数の第２の
レンズを配置し、複数の第２のレンズのうち所望する対
物レンズの有効開口数に応じた第２のレンズをレーザ光
の光路上に移動させるようにする。
過したレーザ光の光路から外れた所定位置に、当該光路
上に移動自在にそれぞれ焦点距離が異なる複数の第２の
レンズを配置し、複数の第２のレンズのうち所望する対
物レンズの有効開口数に応じた第２のレンズをレーザ光
の光路上に移動させるようにする。
【００３１】このようにして、レーザ光の径及び対物レ
ンズの有効開口数をそれぞれ焦点距離が異なる複数の第
１及び第２のレンズから選択的に切り換えて光路上に配
置するようにしたことにより、レーザ光のビーム高さや
水平度の調整作業が煩雑となるのを回避することがで
き、かくして被露光体の被露光面に所望の幅でなる潜像
を容易に形成することができる。
ンズの有効開口数をそれぞれ焦点距離が異なる複数の第
１及び第２のレンズから選択的に切り換えて光路上に配
置するようにしたことにより、レーザ光のビーム高さや
水平度の調整作業が煩雑となるのを回避することがで
き、かくして被露光体の被露光面に所望の幅でなる潜像
を容易に形成することができる。
【００３２】
【発明の実施の形態】以下図面について、本発明の一実
施例を詳述する。
施例を詳述する。
【００３３】（１）第１実施例 図３との対応部分に同一符号を付して示す図１におい
て、２０は光学記録装置を示し、図３に示す光学記録装
置１とは変調光学ユニツト２１及び移動光学テーブル２
２の構成が異なることを除いてほぼ同一の構成からな
る。
て、２０は光学記録装置を示し、図３に示す光学記録装
置１とは変調光学ユニツト２１及び移動光学テーブル２
２の構成が異なることを除いてほぼ同一の構成からな
る。
【００３４】すなわち変調光学ユニツト２１において、
音響光学変調器４及びアパーチヤ８間のレーザ光Ｌ１Ａ
及びＬ１Ｂの光路から外れた所定位置には、それぞれ焦
点距離が異なる３枚のビーム拡大レンズ２３Ａ、２３Ｂ
及び２３Ｃからなる光学素子群２３が設けられ、当該ビ
ーム拡大レンズ２３Ａ、２３Ｂ及び２３Ｃはレーザ光Ｌ
１Ａ及びＬ１Ｂの光路上の各所定位置までそれぞれスラ
イド移動し得るようになされている。
音響光学変調器４及びアパーチヤ８間のレーザ光Ｌ１Ａ
及びＬ１Ｂの光路から外れた所定位置には、それぞれ焦
点距離が異なる３枚のビーム拡大レンズ２３Ａ、２３Ｂ
及び２３Ｃからなる光学素子群２３が設けられ、当該ビ
ーム拡大レンズ２３Ａ、２３Ｂ及び２３Ｃはレーザ光Ｌ
１Ａ及びＬ１Ｂの光路上の各所定位置までそれぞれスラ
イド移動し得るようになされている。
【００３５】この場合、ビーム拡大レンズ２３Ａはレー
ザ光Ｌ１Ａ及びＬ１Ｂの光路上の音響光学変調器４側に
破線で示した第１の位置に位置決めされ、またビーム拡
大レンズ２３Ｂは当該光路上の音響光学変調器４及びア
パーチヤ８間の中央に実線で示した第２の位置に位置決
めされ、さらにビーム拡大レンズ２３Ｃは当該光路上の
アパーチヤ８側に破線で示した第３の位置に位置決めさ
れ得る。
ザ光Ｌ１Ａ及びＬ１Ｂの光路上の音響光学変調器４側に
破線で示した第１の位置に位置決めされ、またビーム拡
大レンズ２３Ｂは当該光路上の音響光学変調器４及びア
パーチヤ８間の中央に実線で示した第２の位置に位置決
めされ、さらにビーム拡大レンズ２３Ｃは当該光路上の
アパーチヤ８側に破線で示した第３の位置に位置決めさ
れ得る。
【００３６】これら第１、第２及び第３の位置は、対応
するビーム拡大レンズ２３Ａ、２３Ｂ及び２３Ｃの焦点
距離に基づいて、当該ビーム拡大レンズ２３Ａ、２３Ｂ
及び２３Ｃを透過したレーザ光Ｌ１Ａのビーム径がそれ
ぞれ所定の大きさとなるように予め設定されている。
するビーム拡大レンズ２３Ａ、２３Ｂ及び２３Ｃの焦点
距離に基づいて、当該ビーム拡大レンズ２３Ａ、２３Ｂ
及び２３Ｃを透過したレーザ光Ｌ１Ａのビーム径がそれ
ぞれ所定の大きさとなるように予め設定されている。
【００３７】さらにこれら第１、第２及び第３の位置
は、それぞれ対応するビーム拡大レンズ２３Ａ、２３Ｂ
及び２３Ｃが光路上にスライド移動されたときに、音響
光学変調器４によつて強度変調された１次回折光でなる
レーザ光Ｌ１Ａが各ビーム拡大レンズの中心を透過する
ように予め設定されている。これにより、ビーム拡大レ
ンズ２３Ａ、２３Ｂ及び２３Ｃが選択的に切り換えられ
て光路上にスライド移動されたときに、当該選択された
ビーム拡大レンズの種類にかかわらず、レーザ光Ｌ１Ａ
のビーム高さが変わることがないため、ビーム高さシフ
タ（図示せず）を用いる必要がなくて済む。
は、それぞれ対応するビーム拡大レンズ２３Ａ、２３Ｂ
及び２３Ｃが光路上にスライド移動されたときに、音響
光学変調器４によつて強度変調された１次回折光でなる
レーザ光Ｌ１Ａが各ビーム拡大レンズの中心を透過する
ように予め設定されている。これにより、ビーム拡大レ
ンズ２３Ａ、２３Ｂ及び２３Ｃが選択的に切り換えられ
て光路上にスライド移動されたときに、当該選択された
ビーム拡大レンズの種類にかかわらず、レーザ光Ｌ１Ａ
のビーム高さが変わることがないため、ビーム高さシフ
タ（図示せず）を用いる必要がなくて済む。
【００３８】また同様に移動光学テーブル２２において
も、音響光学変調器４及びアパーチヤ８間のレーザ光Ｌ
１Ａの光路から外れた所定位置には、それぞれ焦点距離
が異なる３枚のレンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４Ｃからな
る光学素子群２４が設けられ、当該レンズ２４Ａ、２４
Ｂ及び２４Ｃはレーザ光Ｌ１Ａの光路上の各所定位置ま
でそれぞれスライド移動し得るようになされている。
も、音響光学変調器４及びアパーチヤ８間のレーザ光Ｌ
１Ａの光路から外れた所定位置には、それぞれ焦点距離
が異なる３枚のレンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４Ｃからな
る光学素子群２４が設けられ、当該レンズ２４Ａ、２４
Ｂ及び２４Ｃはレーザ光Ｌ１Ａの光路上の各所定位置ま
でそれぞれスライド移動し得るようになされている。
【００３９】この場合、レンズ２４Ａはレーザ光Ｌ１Ａ
の光路上のミラーＭ２側に破線で示した第１の位置に位
置決めされ、またレンズ２４Ｂは当該光路上のミラーＭ
２及びＭ３間の中央に実線で示した第２の位置に位置決
めされ、さらにレンズ２４Ｃは当該光路上のミラーＭ３
側に破線で示した第３の位置に位置決めされ得る。
の光路上のミラーＭ２側に破線で示した第１の位置に位
置決めされ、またレンズ２４Ｂは当該光路上のミラーＭ
２及びＭ３間の中央に実線で示した第２の位置に位置決
めされ、さらにレンズ２４Ｃは当該光路上のミラーＭ３
側に破線で示した第３の位置に位置決めされ得る。
【００４０】従つてレンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４Ｃに
対応する第１、第２及び第３の位置は、それぞれ当該各
レンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４Ｃを透過したレーザ光Ｌ
１Ａの光路上の集光位置Ｐ1 と、対物レンズ１１を介し
て集光照射された結像集光面Ｐ2 とが互いに共役関係を
有するように予め位置決めされている。これにより当該
各レンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４Ｃを透過したレーザ光
Ｌ１Ａは、後段の対物レンズ１１を介して常にフオトレ
ジスト膜１２Ａの結像集光面Ｐ2 で集光照射され得る。
対応する第１、第２及び第３の位置は、それぞれ当該各
レンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４Ｃを透過したレーザ光Ｌ
１Ａの光路上の集光位置Ｐ1 と、対物レンズ１１を介し
て集光照射された結像集光面Ｐ2 とが互いに共役関係を
有するように予め位置決めされている。これにより当該
各レンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４Ｃを透過したレーザ光
Ｌ１Ａは、後段の対物レンズ１１を介して常にフオトレ
ジスト膜１２Ａの結像集光面Ｐ2 で集光照射され得る。
【００４１】さらにこれら第１、第２及び第３の位置
は、それぞれ対応するレンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４Ｃ
が光路上にスライド移動されたときに、レーザ光Ｌ１Ａ
が各レンズの中心を透過するように予め設定されてい
る。これにより、レンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４Ｃが選
択的に切り換えられて光路上にスライド移動されたとき
に、当該選択されたレンズの種類にかかわらず、レーザ
光Ｌ１Ａのビーム高さが変わることがないため、ビーム
高さシフタ（図示せず）を用いる必要がなくて済む。
は、それぞれ対応するレンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４Ｃ
が光路上にスライド移動されたときに、レーザ光Ｌ１Ａ
が各レンズの中心を透過するように予め設定されてい
る。これにより、レンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４Ｃが選
択的に切り換えられて光路上にスライド移動されたとき
に、当該選択されたレンズの種類にかかわらず、レーザ
光Ｌ１Ａのビーム高さが変わることがないため、ビーム
高さシフタ（図示せず）を用いる必要がなくて済む。
【００４２】因みに図２（Ａ）〜（Ｄ）において、ビー
ム縮小レンズ５の焦点距離を80〔mm〕とし、光学素子群
２３から選択したビーム拡大レンズ２３Ｂの焦点距離を
80〔mm〕とし、対物レンズ１１の有効開口数ＮＡを 0.9
とした場合、光学素子群２４から選択したレンズ２４Ｂ
をその焦点距離ｆが70〔mm〕、80〔mm〕、90〔mm〕、10
0〔mm〕となるようにそれぞれ切り換えた場合における
フオトレジスト膜１２Ａに露光された潜像（グルーブ）
Ｇ1 、Ｇ2 、Ｇ3 及びＧ4 を示す。
ム縮小レンズ５の焦点距離を80〔mm〕とし、光学素子群
２３から選択したビーム拡大レンズ２３Ｂの焦点距離を
80〔mm〕とし、対物レンズ１１の有効開口数ＮＡを 0.9
とした場合、光学素子群２４から選択したレンズ２４Ｂ
をその焦点距離ｆが70〔mm〕、80〔mm〕、90〔mm〕、10
0〔mm〕となるようにそれぞれ切り換えた場合における
フオトレジスト膜１２Ａに露光された潜像（グルーブ）
Ｇ1 、Ｇ2 、Ｇ3 及びＧ4 を示す。
【００４３】これによりレンズ２４Ｂの焦点距離ｆの変
化に応じてフオトレジスト膜１２Ａに形成される潜像
（グルーブ）Ｇ1 、Ｇ2 、Ｇ3 及びＧ4 の幅も変化する
ことがわかる。従つて、レンズ２４Ａ、２４Ｂ又は２４
Ｃの切り換えによつて好適な幅のピツトを形成すること
ができる。また、これと同様にレンズ２４Ａ、２４Ｂ又
は２４Ｃの焦点距離を固定値に設定して、ビーム拡大レ
ンズ２３Ａ、２３Ｂ又は２３Ｃの焦点距離を可変させた
場合においても同様の結果を得ることができる。
化に応じてフオトレジスト膜１２Ａに形成される潜像
（グルーブ）Ｇ1 、Ｇ2 、Ｇ3 及びＧ4 の幅も変化する
ことがわかる。従つて、レンズ２４Ａ、２４Ｂ又は２４
Ｃの切り換えによつて好適な幅のピツトを形成すること
ができる。また、これと同様にレンズ２４Ａ、２４Ｂ又
は２４Ｃの焦点距離を固定値に設定して、ビーム拡大レ
ンズ２３Ａ、２３Ｂ又は２３Ｃの焦点距離を可変させた
場合においても同様の結果を得ることができる。
【００４４】以上の構成において、オペレータは、光学
素子群２３のうち１枚のビーム拡大レンズ２３Ａ、２３
Ｂ又は２３Ｃを選択的に切り換えて、これに対応する光
路上の第１、第２又は第３の位置にスライド移動させる
ことにより、音響光学変調器４によつて強度変調された
レーザ光Ｌ１Ａは、当該選択されたビーム拡大レンズ２
３Ａ、２３Ｂ又は２３Ｃを透過してこれに応じたビーム
径に切り換えられる。
素子群２３のうち１枚のビーム拡大レンズ２３Ａ、２３
Ｂ又は２３Ｃを選択的に切り換えて、これに対応する光
路上の第１、第２又は第３の位置にスライド移動させる
ことにより、音響光学変調器４によつて強度変調された
レーザ光Ｌ１Ａは、当該選択されたビーム拡大レンズ２
３Ａ、２３Ｂ又は２３Ｃを透過してこれに応じたビーム
径に切り換えられる。
【００４５】この場合、オペレータは光学素子群２４に
おいてもレンズ２４Ａ、２４Ｂ又は２４Ｃを選択的に切
り換えて、これに対応する光路上の第１、第２又は第３
の位置にスライド移動させることにより、ビーム径が切
り換えられたレーザ光Ｌ１Ａを対物レンズ１１を介して
フオトレジスト膜１２Ａの結像集光面に集光照射させる
ことができる。
おいてもレンズ２４Ａ、２４Ｂ又は２４Ｃを選択的に切
り換えて、これに対応する光路上の第１、第２又は第３
の位置にスライド移動させることにより、ビーム径が切
り換えられたレーザ光Ｌ１Ａを対物レンズ１１を介して
フオトレジスト膜１２Ａの結像集光面に集光照射させる
ことができる。
【００４６】さらに当該レンズ２４Ａ、２４Ｂ又は２４
Ｃを透過したレーザ光Ｌ１Ａは、このビーム径の切り換
えに応じて、対物レンズ１１の有効開口数ＮＡを切り換
えることができ、この結果フオトレジスト膜１２Ａの結
像集光面におけるレーザ光Ｌ１Ａのスポツト径を所定の
大きさに切り換えることができる。
Ｃを透過したレーザ光Ｌ１Ａは、このビーム径の切り換
えに応じて、対物レンズ１１の有効開口数ＮＡを切り換
えることができ、この結果フオトレジスト膜１２Ａの結
像集光面におけるレーザ光Ｌ１Ａのスポツト径を所定の
大きさに切り換えることができる。
【００４７】またビーム拡大レンズ２３Ａ、２３Ｂ及び
２３Ｃ及びレンズ２３Ａ、２４Ｂ及び２４Ｃがレーザ光
Ｌ１Ａの光路上に設置される位置をそれぞれ予め設定し
ておくようにしたことにより、各々のレンズを介してレ
ーザ光Ｌ１Ａのビーム高さや水平度が変化するのを防止
することができ、かくして各々のレンズの位置を調整を
作業が煩雑となるのを回避することができる。
２３Ｃ及びレンズ２３Ａ、２４Ｂ及び２４Ｃがレーザ光
Ｌ１Ａの光路上に設置される位置をそれぞれ予め設定し
ておくようにしたことにより、各々のレンズを介してレ
ーザ光Ｌ１Ａのビーム高さや水平度が変化するのを防止
することができ、かくして各々のレンズの位置を調整を
作業が煩雑となるのを回避することができる。
【００４８】以上の構成によれば、音響光学変調器４の
後段にそれぞれ焦点距離が異なる３種類のビーム拡大レ
ンズ２３Ａ、２３Ｂ及び２３Ｃを光路から外れた所定位
置に設け、これらビーム拡大レンズ２３Ａ、２３Ｂ及び
２３Ｃを選択的に光路上にスライド移動させると共に、
対物レンズ１１の前段にそれそれ焦点距離が異なる３種
類のレンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４Ｃを光路から外れた
所定位置に設け、これらレンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４
Ｃを選択的に光路上にスライド移動させるようにしたこ
とにより、各々のレンズの位置を調整を作業が煩雑とな
るのを回避することができ、かくしてフオトレジスト膜
１２Ａに所望の幅でなるピツトを容易に形成することが
できる。
後段にそれぞれ焦点距離が異なる３種類のビーム拡大レ
ンズ２３Ａ、２３Ｂ及び２３Ｃを光路から外れた所定位
置に設け、これらビーム拡大レンズ２３Ａ、２３Ｂ及び
２３Ｃを選択的に光路上にスライド移動させると共に、
対物レンズ１１の前段にそれそれ焦点距離が異なる３種
類のレンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４Ｃを光路から外れた
所定位置に設け、これらレンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４
Ｃを選択的に光路上にスライド移動させるようにしたこ
とにより、各々のレンズの位置を調整を作業が煩雑とな
るのを回避することができ、かくしてフオトレジスト膜
１２Ａに所望の幅でなるピツトを容易に形成することが
できる。
【００４９】（２）第２実施例 図１との対応部分に同一符号を付して示す図２におい
て、光学記録装置３０は、ＭＯ（Magnet Optical）等の
光磁気デイスクのスタンパを作製する際の露光処理工程
で用いられるものであり、第１実施例の光学記録装置２
０と異なり、２つの変調光学ユニツト３１及び３２が設
けられている。
て、光学記録装置３０は、ＭＯ（Magnet Optical）等の
光磁気デイスクのスタンパを作製する際の露光処理工程
で用いられるものであり、第１実施例の光学記録装置２
０と異なり、２つの変調光学ユニツト３１及び３２が設
けられている。
【００５０】すなわちＭＯ等の光磁気デイスクにおいて
は、デイスク表面の所定領域にアドレス情報や同期信号
等が記録されたピツト（Pits）とドラツキングをとるた
めのグルーブ（Groove）とが共に形成されている。従つ
て、この光学記録装置３０においては、ピツト及びグル
ーブの両方の幅をそれぞれ別個に制御し得るように、レ
ーザ光源２から出射されたレーザ光Ｌ１が偏光ビームス
プリツタＰＢＳ１を介して透過光（Ｐ偏光）Ｌ１Ｐ及び
反射光（Ｓ偏光）Ｌ１Ｓに分割され、それぞれ変調光学
ユニツト３１及び３２に入射されるようになされてい
る。
は、デイスク表面の所定領域にアドレス情報や同期信号
等が記録されたピツト（Pits）とドラツキングをとるた
めのグルーブ（Groove）とが共に形成されている。従つ
て、この光学記録装置３０においては、ピツト及びグル
ーブの両方の幅をそれぞれ別個に制御し得るように、レ
ーザ光源２から出射されたレーザ光Ｌ１が偏光ビームス
プリツタＰＢＳ１を介して透過光（Ｐ偏光）Ｌ１Ｐ及び
反射光（Ｓ偏光）Ｌ１Ｓに分割され、それぞれ変調光学
ユニツト３１及び３２に入射されるようになされてい
る。
【００５１】これら変調光学ユニツト３１及び３２は、
第１実施例の変調光学ユニツト２１（図１）とほぼ同様
の構成からなる。まず変調光学ユニツト３１において
は、ミラーＭ１を介して入射された透過光Ｌ１Ｐがビー
ム縮小レンズ４０によつて所定のビーム径に縮小された
後、音響光学変調器４１に入射される。またこの場合、
ピツト記録形成時にはアドレス情報や同期信号等により
変調された高周波記録信号Ｓ１がドライバ４２を介して
音響光学変調器４１に入力される。
第１実施例の変調光学ユニツト２１（図１）とほぼ同様
の構成からなる。まず変調光学ユニツト３１において
は、ミラーＭ１を介して入射された透過光Ｌ１Ｐがビー
ム縮小レンズ４０によつて所定のビーム径に縮小された
後、音響光学変調器４１に入射される。またこの場合、
ピツト記録形成時にはアドレス情報や同期信号等により
変調された高周波記録信号Ｓ１がドライバ４２を介して
音響光学変調器４１に入力される。
【００５２】ドライバ４２から供給される電圧信号Ｓ３
に基づき音響光学変調器４１によつて強度変調された１
次回折光でなるレーザ光Ｌ１ＰＡは、光学素子群４３か
ら選択的に光路上に移動された１枚のビーム拡大レンズ
４３Ａ、４３Ｂ及び４３Ｃによつてそのビーム径が所定
の大きさに拡大された後、平行光のままアパーチヤ４４
を透過してミラーＭ２で反射され、移動光学テーブル６
０上の偏光ビームスプリツタＰＢＳ２に入射される。一
方、０次回折光でなるレーザ光Ｌ１ＰＢは、光学素子群
４３から選択的に光路上に移動された１枚のビーム拡大
レンズ４３Ａ、４３Ｂ及び４３Ｃを透過した後、アパー
チヤ４４で遮断される。
に基づき音響光学変調器４１によつて強度変調された１
次回折光でなるレーザ光Ｌ１ＰＡは、光学素子群４３か
ら選択的に光路上に移動された１枚のビーム拡大レンズ
４３Ａ、４３Ｂ及び４３Ｃによつてそのビーム径が所定
の大きさに拡大された後、平行光のままアパーチヤ４４
を透過してミラーＭ２で反射され、移動光学テーブル６
０上の偏光ビームスプリツタＰＢＳ２に入射される。一
方、０次回折光でなるレーザ光Ｌ１ＰＢは、光学素子群
４３から選択的に光路上に移動された１枚のビーム拡大
レンズ４３Ａ、４３Ｂ及び４３Ｃを透過した後、アパー
チヤ４４で遮断される。
【００５３】これと同様に、変調光学ユニツト３２にお
いては、偏光ビームスプリツタＰＢＳ１を介して入射さ
れた反射光Ｌ１Ｐがビーム縮小レンズ５０によつて所定
のビーム径に縮小された後、音響光学変調器４１に入射
される。またこの場合、グルーブ記録形成時には所定の
信号レベルでなるＤＣ信号Ｓ５がドライバ５２を介して
音響光学変調器５１に入力される。
いては、偏光ビームスプリツタＰＢＳ１を介して入射さ
れた反射光Ｌ１Ｐがビーム縮小レンズ５０によつて所定
のビーム径に縮小された後、音響光学変調器４１に入射
される。またこの場合、グルーブ記録形成時には所定の
信号レベルでなるＤＣ信号Ｓ５がドライバ５２を介して
音響光学変調器５１に入力される。
【００５４】ドライバ５２から供給される電圧信号Ｓ６
に基づき音響光学変調器５１によつて強度変調された１
次回折光でなるレーザ光Ｌ１ＳＡは、光学素子群５３か
ら選択的に光路上に移動された１枚のビーム拡大レンズ
５３Ａ、５３Ｂ及び５３Ｃによつてそのビーム径が所定
の大きさに拡大された後、平行光のままアパーチヤ５４
を通過してミラーＭ４及び続くＭ５で反射され、移動光
学テーブル６０上の偏光ビームスプリツタＰＢＳ２に入
射される。一方、０次回折光でなるレーザ光Ｌ１ＳＢ
は、光学素子群５３から選択的に光路上に移動された１
枚のビーム拡大レンズ５３Ａ、５３Ｂ及び５３Ｃを透過
した後、アパーチヤ５４で遮断される。
に基づき音響光学変調器５１によつて強度変調された１
次回折光でなるレーザ光Ｌ１ＳＡは、光学素子群５３か
ら選択的に光路上に移動された１枚のビーム拡大レンズ
５３Ａ、５３Ｂ及び５３Ｃによつてそのビーム径が所定
の大きさに拡大された後、平行光のままアパーチヤ５４
を通過してミラーＭ４及び続くＭ５で反射され、移動光
学テーブル６０上の偏光ビームスプリツタＰＢＳ２に入
射される。一方、０次回折光でなるレーザ光Ｌ１ＳＢ
は、光学素子群５３から選択的に光路上に移動された１
枚のビーム拡大レンズ５３Ａ、５３Ｂ及び５３Ｃを透過
した後、アパーチヤ５４で遮断される。
【００５５】この場合、光学素子群４３及び５３は、第
１実施例の光学素子群２３と同様の構成からなる。すな
わち光学素子群４３は、それぞれ焦点距離が異なる３枚
のビーム拡大レンズ４３Ａ、４３Ｂ及び４３Ｃからな
り、それぞれ音響光学変調器４１及びアパーチヤ４４間
のレーザ光Ｌ１ＰＡ及びＬ１ＰＢの光路から外れた所定
位置に設けられている。これらビーム拡大レンズ４３
Ａ、４３Ｂ及び４３Ｃは、それぞれレーザ光Ｌ１ＰＡ及
びＬ１ＰＢの光路上の第１、第２及び第３の位置までス
ライド移動し得るようになされている。
１実施例の光学素子群２３と同様の構成からなる。すな
わち光学素子群４３は、それぞれ焦点距離が異なる３枚
のビーム拡大レンズ４３Ａ、４３Ｂ及び４３Ｃからな
り、それぞれ音響光学変調器４１及びアパーチヤ４４間
のレーザ光Ｌ１ＰＡ及びＬ１ＰＢの光路から外れた所定
位置に設けられている。これらビーム拡大レンズ４３
Ａ、４３Ｂ及び４３Ｃは、それぞれレーザ光Ｌ１ＰＡ及
びＬ１ＰＢの光路上の第１、第２及び第３の位置までス
ライド移動し得るようになされている。
【００５６】また光学素子群５３も、それぞれ焦点距離
が異なる３枚のビーム拡大レンズ５３Ａ、５３Ｂ及び５
３Ｃからなり、それぞれ音響光学変調器５１及びアパー
チヤ５４間のレーザ光Ｌ１ＳＡ及びＬ１ＳＢの光路から
外れた所定位置に設けられている。これらビーム拡大レ
ンズ５３Ａ、５３Ｂ及び５３Ｃは、それぞれレーザ光Ｌ
１ＳＡ及びＬ１ＳＢの光路上の第１、第２及び第３の位
置までスライド移動し得るようになされている。
が異なる３枚のビーム拡大レンズ５３Ａ、５３Ｂ及び５
３Ｃからなり、それぞれ音響光学変調器５１及びアパー
チヤ５４間のレーザ光Ｌ１ＳＡ及びＬ１ＳＢの光路から
外れた所定位置に設けられている。これらビーム拡大レ
ンズ５３Ａ、５３Ｂ及び５３Ｃは、それぞれレーザ光Ｌ
１ＳＡ及びＬ１ＳＢの光路上の第１、第２及び第３の位
置までスライド移動し得るようになされている。
【００５７】続いて、Ｐ偏光でなるレーザ光Ｌ１ＰＡは
偏光ビームスプリツタＰＢＳ２をそのまま透過した後、
光学素子群２４から選択的に光路上に移動された１枚の
レンズ２４Ａ、２４Ｂ又は２４Ｃに入射される。またＳ
偏光でなるレーザ光Ｌ１ＳＡは偏光ビームスプリツタＰ
ＢＳ２で反射された後、光学素子群２４から選択的に光
路上に移動されたレンズ２４Ａ、２４Ｂ又は２４Ｃのい
ずれかに入射される。このときレーザ光Ｌ１ＰＡ及びＬ
１ＳＡは、偏光ビームスプリツタＰＢＳ２を介して再合
成されて光路が共通となる。
偏光ビームスプリツタＰＢＳ２をそのまま透過した後、
光学素子群２４から選択的に光路上に移動された１枚の
レンズ２４Ａ、２４Ｂ又は２４Ｃに入射される。またＳ
偏光でなるレーザ光Ｌ１ＳＡは偏光ビームスプリツタＰ
ＢＳ２で反射された後、光学素子群２４から選択的に光
路上に移動されたレンズ２４Ａ、２４Ｂ又は２４Ｃのい
ずれかに入射される。このときレーザ光Ｌ１ＰＡ及びＬ
１ＳＡは、偏光ビームスプリツタＰＢＳ２を介して再合
成されて光路が共通となる。
【００５８】この光学素子群２４においても、第１実施
例の場合と同様に、レンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４Ｃに
対応する第１、第２及び第３の位置は、それぞれ当該各
レンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４Ｃを透過したレーザ光Ｌ
１ＰＡ及びＬ１ＳＡの光路上の集光位置Ｐ1 と、対物レ
ンズ１１を介して集光照射された結像集光面Ｐ2 とが互
いに共役関係を有するように予め位置決めされている。
例の場合と同様に、レンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４Ｃに
対応する第１、第２及び第３の位置は、それぞれ当該各
レンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４Ｃを透過したレーザ光Ｌ
１ＰＡ及びＬ１ＳＡの光路上の集光位置Ｐ1 と、対物レ
ンズ１１を介して集光照射された結像集光面Ｐ2 とが互
いに共役関係を有するように予め位置決めされている。
【００５９】因みに図４において、ビーム縮小レンズ４
０及び５０の焦点距離を共に80〔mm〕とし、光学素子群
４３から選択したビーム拡大レンズ４３Ｂの焦点距離を
80〔mm〕とし、光学素子群５３から選択したビーム拡大
レンズ５３Ａの焦点距離を 100〔mm〕とし、当該ビーム
拡大レンズ４３Ｂ及び５３Ａに対応して光学素子群２４
から選択したレンズ２４Ｂの焦点距離を70〔mm〕とし、
さらに対物レンズ１１の有効開口数ＮＡを 0.9とした場
合に、フオトレジスト膜１２Ａに２ビームで露光された
潜像（ピツト及びグルーブ）Ｐ及びＧを現像処理して得
られるＭＯスタンパの表面の拡大図を示す。
０及び５０の焦点距離を共に80〔mm〕とし、光学素子群
４３から選択したビーム拡大レンズ４３Ｂの焦点距離を
80〔mm〕とし、光学素子群５３から選択したビーム拡大
レンズ５３Ａの焦点距離を 100〔mm〕とし、当該ビーム
拡大レンズ４３Ｂ及び５３Ａに対応して光学素子群２４
から選択したレンズ２４Ｂの焦点距離を70〔mm〕とし、
さらに対物レンズ１１の有効開口数ＮＡを 0.9とした場
合に、フオトレジスト膜１２Ａに２ビームで露光された
潜像（ピツト及びグルーブ）Ｐ及びＧを現像処理して得
られるＭＯスタンパの表面の拡大図を示す。
【００６０】このＭＯスタンパに形成されたピツトＰ及
びグルーブＧは、それぞれピツト幅及びグルーブ幅が異
なつていることがわかる。従つて、ビーム拡大レンズ４
３Ｂ及び５３Ａの切り換えによつて好適な幅のグルーブ
又はピツトを形成することができる。
びグルーブＧは、それぞれピツト幅及びグルーブ幅が異
なつていることがわかる。従つて、ビーム拡大レンズ４
３Ｂ及び５３Ａの切り換えによつて好適な幅のグルーブ
又はピツトを形成することができる。
【００６１】以上の構成によれば、単一のレーザ光源２
から出射されたレーザ光Ｌ１を２分割して得られるレー
ザ光Ｌ１Ｐ及びＬ１Ｓのそれぞれについて、音響光学変
調器４１及び５１の後段にそれぞれ焦点距離が異なる３
種類のビーム拡大レンズ４３Ａ、４３Ｂ及び４３Ｃと５
３Ａ、５３Ｂ及び５３Ｃとを各光路から外れた所定位置
にそれぞれ設け、これらビーム拡大レンズ４３Ａ、４３
Ｂ及び４３Ｃと５３Ａ、５３Ｂ及び５３Ｃとを選択的に
各光路上にそれぞれスライド移動させると共に、対物レ
ンズ１１の前段にそれそれ焦点距離が異なる３種類のレ
ンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４Ｃを共通の光路から外れた
所定位置に設け、これらレンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４
Ｃを選択的に共通の光路上にスライド移動させるように
したことにより、各々のレンズの位置を調整を作業が煩
雑となるのを回避することができ、かくしてフオトレジ
スト膜１２Ａに所望の幅でなる潜像（ピツト及びグルー
ブ等）を容易に形成することができる。
から出射されたレーザ光Ｌ１を２分割して得られるレー
ザ光Ｌ１Ｐ及びＬ１Ｓのそれぞれについて、音響光学変
調器４１及び５１の後段にそれぞれ焦点距離が異なる３
種類のビーム拡大レンズ４３Ａ、４３Ｂ及び４３Ｃと５
３Ａ、５３Ｂ及び５３Ｃとを各光路から外れた所定位置
にそれぞれ設け、これらビーム拡大レンズ４３Ａ、４３
Ｂ及び４３Ｃと５３Ａ、５３Ｂ及び５３Ｃとを選択的に
各光路上にそれぞれスライド移動させると共に、対物レ
ンズ１１の前段にそれそれ焦点距離が異なる３種類のレ
ンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４Ｃを共通の光路から外れた
所定位置に設け、これらレンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４
Ｃを選択的に共通の光路上にスライド移動させるように
したことにより、各々のレンズの位置を調整を作業が煩
雑となるのを回避することができ、かくしてフオトレジ
スト膜１２Ａに所望の幅でなる潜像（ピツト及びグルー
ブ等）を容易に形成することができる。
【００６２】さらに２つのレーザ光Ｌ１Ｐ及びＬ１Ｓの
ビーム径を互いに異なる大きさに調整することができ、
かくしてフオトレジスト膜１２Ａに互いに異なる幅でな
る潜像（ピツト及びグルーブ等）を容易に形成すること
ができる。
ビーム径を互いに異なる大きさに調整することができ、
かくしてフオトレジスト膜１２Ａに互いに異なる幅でな
る潜像（ピツト及びグルーブ等）を容易に形成すること
ができる。
【００６３】（３）他の実施例 なお上述の実施例においては、オペレータが光学素子群
２３（４３、５３）のうち１枚のビーム拡大レンズ２３
Ａ、２３Ｂ又は２３Ｃ（４３Ａ、４３Ｂ又は４３Ｃ、５
３Ａ、５３Ｂ又は５３Ｃ）を選択的に切り換えて、これ
に対応する光路上の第１、第２又は第３の位置にスライ
ド移動させるようにした場合について述べたが、本発明
はこれに限らず、制御部（図示せず）及び当該制御部に
よつて駆動制御されるレンズ搬送部（図示せず）を設
け、オペレータの操作に基づいて自動的に光学素子群２
３（４３、５３）のうち１枚のビーム拡大レンズを選択
的に切り換えてスライド移動させるようにしても良い。
２３（４３、５３）のうち１枚のビーム拡大レンズ２３
Ａ、２３Ｂ又は２３Ｃ（４３Ａ、４３Ｂ又は４３Ｃ、５
３Ａ、５３Ｂ又は５３Ｃ）を選択的に切り換えて、これ
に対応する光路上の第１、第２又は第３の位置にスライ
ド移動させるようにした場合について述べたが、本発明
はこれに限らず、制御部（図示せず）及び当該制御部に
よつて駆動制御されるレンズ搬送部（図示せず）を設
け、オペレータの操作に基づいて自動的に光学素子群２
３（４３、５３）のうち１枚のビーム拡大レンズを選択
的に切り換えてスライド移動させるようにしても良い。
【００６４】また上述の実施例においては、オペレータ
が光学素子群２４のうち１枚のレンズ２４Ａ、２４Ｂ又
は２４Ｃを選択的に切り換えて、これに対応する光路上
の第１、第２又は第３の位置にスライド移動させるよう
にした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、
制御部（図示せず）及び当該制御部によつて駆動制御さ
れるレンズ搬送部（図示せず）を設け、オペレータの操
作に基づいて自動的に光学素子群２４のうち１枚のレン
ズを選択的に切り換えてスライド移動させるようにして
も良い。
が光学素子群２４のうち１枚のレンズ２４Ａ、２４Ｂ又
は２４Ｃを選択的に切り換えて、これに対応する光路上
の第１、第２又は第３の位置にスライド移動させるよう
にした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、
制御部（図示せず）及び当該制御部によつて駆動制御さ
れるレンズ搬送部（図示せず）を設け、オペレータの操
作に基づいて自動的に光学素子群２４のうち１枚のレン
ズを選択的に切り換えてスライド移動させるようにして
も良い。
【００６５】さらに上述の実施例においては、光学素子
群２３（４３、５３）は、それぞれ焦点距離が異なる３
枚のビーム拡大レンズ２３Ａ、２３Ｂ及び２３Ｃ（４３
Ａ、４３Ｂ又は４３Ｃ、５３Ａ、５３Ｂ又は５３Ｃ）か
らなる場合について述べたが、本発明はこれに限らず、
それぞれ焦点距離が異なる２枚又は４枚以上のビーム拡
大レンズからなるように設けても良い。
群２３（４３、５３）は、それぞれ焦点距離が異なる３
枚のビーム拡大レンズ２３Ａ、２３Ｂ及び２３Ｃ（４３
Ａ、４３Ｂ又は４３Ｃ、５３Ａ、５３Ｂ又は５３Ｃ）か
らなる場合について述べたが、本発明はこれに限らず、
それぞれ焦点距離が異なる２枚又は４枚以上のビーム拡
大レンズからなるように設けても良い。
【００６６】また同様に、光学素子群２４もそれぞれ焦
点距離が異なる３枚のレンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４Ｃ
からなる場合について述べたが、本発明はこれに限ら
ず、光学素子群２３（４３、５３）のビーム拡大レンズ
の数に対応して、それぞれ焦点距離が異なる２枚又は４
枚以上のレンズからなるように設けても良い。
点距離が異なる３枚のレンズ２４Ａ、２４Ｂ及び２４Ｃ
からなる場合について述べたが、本発明はこれに限ら
ず、光学素子群２３（４３、５３）のビーム拡大レンズ
の数に対応して、それぞれ焦点距離が異なる２枚又は４
枚以上のレンズからなるように設けても良い。
【００６７】この場合、光学素子群２３（４３、５３）
の各ビーム拡大レンズの光路上の位置決め状態は、光学
素子群２４の各レンズの光路上の位置決め状態に応じて
左右される。すなわち光学素子群２４の各レンズを透過
したレーザ光の光路上の集光位置Ｐ1 と、対物レンズ１
１を介して集光照射された結像集光面Ｐ2 とが互いに共
役関係を有するように、光学素子群２４の各レンズをレ
ーザ光の光路上に配置する必要がある。
の各ビーム拡大レンズの光路上の位置決め状態は、光学
素子群２４の各レンズの光路上の位置決め状態に応じて
左右される。すなわち光学素子群２４の各レンズを透過
したレーザ光の光路上の集光位置Ｐ1 と、対物レンズ１
１を介して集光照射された結像集光面Ｐ2 とが互いに共
役関係を有するように、光学素子群２４の各レンズをレ
ーザ光の光路上に配置する必要がある。
【００６８】さらに上述の実施例においては、レーザ光
源２としてヘリウム・カドミウム（He-Cd ）レーザを用
いた場合について述べたが、本発明はこれに限らず、ア
ルゴン（Ar+ ）レーザ及びクリプトン（Kr+ ）レーザ等
のガスレーザを用いても良い。
源２としてヘリウム・カドミウム（He-Cd ）レーザを用
いた場合について述べたが、本発明はこれに限らず、ア
ルゴン（Ar+ ）レーザ及びクリプトン（Kr+ ）レーザ等
のガスレーザを用いても良い。
【００６９】さらに上述の実施例においては、ピツト及
びグルーブを形成する光学記録媒体としてＭＯデイスク
に本発明を適用した場合について述べたが、本発明はこ
れに限らず、例えばＣＤ、ＬＤ及び高密度光デイスク
（ＤＶＤ：Digital VersatileDisc）等に適用しても良
い。さらに光デイスク及び光磁気デイスクに限らず、他
の光学素子、例えば光カード等に適用しても良い。
びグルーブを形成する光学記録媒体としてＭＯデイスク
に本発明を適用した場合について述べたが、本発明はこ
れに限らず、例えばＣＤ、ＬＤ及び高密度光デイスク
（ＤＶＤ：Digital VersatileDisc）等に適用しても良
い。さらに光デイスク及び光磁気デイスクに限らず、他
の光学素子、例えば光カード等に適用しても良い。
【００７０】さらに上述の実施例においては、光変調器
として音響光学変調器（ＡＯＭ）４、４１、５１を用い
た場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例え
ば電気光学変調器（ＥＯＭ：Electro Optic Modulater
）等の他の光変調器を用いるようにしても良い。
として音響光学変調器（ＡＯＭ）４、４１、５１を用い
た場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例え
ば電気光学変調器（ＥＯＭ：Electro Optic Modulater
）等の他の光変調器を用いるようにしても良い。
【００７１】さらに第２実施例においては、単一のレー
ザ光源２から出射されたレーザ光Ｌ１を２分割して、こ
れらに対応させて光学素子群４３及び５３をそれぞれ設
けた場合について述べたが、本発明はこれに限らず、単
一のレーザ光源２から出射されたレーザ光Ｌ１を３分割
以上に分割して、これらに対応させて光学素子群をそれ
ぞれ設けるようにしても良い。この場合、複数に分割さ
れたレーザ光Ｌ１が、最終的にフオトレジスト膜１２Ａ
に互いに異なるスポツト径で露光され得るように、所定
数の偏光ビームスプリツタ及びミラー（共に図示せず）
を所定位置にそれぞれ配設する必要がある。
ザ光源２から出射されたレーザ光Ｌ１を２分割して、こ
れらに対応させて光学素子群４３及び５３をそれぞれ設
けた場合について述べたが、本発明はこれに限らず、単
一のレーザ光源２から出射されたレーザ光Ｌ１を３分割
以上に分割して、これらに対応させて光学素子群をそれ
ぞれ設けるようにしても良い。この場合、複数に分割さ
れたレーザ光Ｌ１が、最終的にフオトレジスト膜１２Ａ
に互いに異なるスポツト径で露光され得るように、所定
数の偏光ビームスプリツタ及びミラー（共に図示せず）
を所定位置にそれぞれ配設する必要がある。
【００７２】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、レーザ光
源から発射されたレーザ光を光変調器を用いて所定のフ
オーマツトに基づく変調信号に応じて強度変調した後、
当該強度変調されたレーザ光を対物レンズを介して被露
光体の被露光面に照射することにより、変調信号に応じ
た露光パターンを形成する光学記録方法、光学記録装置
及び光学記録媒体において、強度変調されたレーザ光の
光路から外れた所定位置に、当該光路上に移動自在にそ
れぞれ焦点距離が異なる複数の第１のレンズを配置し、
複数の第１のレンズのうち所望するレーザ光の径に応じ
た第１のレンズをレーザ光の光路上に選択的に移動させ
るようにしたことにより、被露光体の被露光面に所望の
径でなる潜像を容易に形成し得る光学記録方法、光学記
録装置及び光学記録媒体を実現することができる。
源から発射されたレーザ光を光変調器を用いて所定のフ
オーマツトに基づく変調信号に応じて強度変調した後、
当該強度変調されたレーザ光を対物レンズを介して被露
光体の被露光面に照射することにより、変調信号に応じ
た露光パターンを形成する光学記録方法、光学記録装置
及び光学記録媒体において、強度変調されたレーザ光の
光路から外れた所定位置に、当該光路上に移動自在にそ
れぞれ焦点距離が異なる複数の第１のレンズを配置し、
複数の第１のレンズのうち所望するレーザ光の径に応じ
た第１のレンズをレーザ光の光路上に選択的に移動させ
るようにしたことにより、被露光体の被露光面に所望の
径でなる潜像を容易に形成し得る光学記録方法、光学記
録装置及び光学記録媒体を実現することができる。
【００７３】また本発明によれば、第１のレンズを透過
したレーザ光の光路から外れた所定位置に、当該光路上
に移動自在にそれぞれ焦点距離が異なる複数の第２のレ
ンズを配置し、複数の第２のレンズのうち所望する対物
レンズの有効開口数に応じた第２のレンズをレーザ光の
光路上に移動させるようにしたことにより、被露光体の
被露光面に所望の径でなる潜像を容易に形成し得る光学
記録方法、光学記録装置及び光学記録媒体を実現するこ
とができる。
したレーザ光の光路から外れた所定位置に、当該光路上
に移動自在にそれぞれ焦点距離が異なる複数の第２のレ
ンズを配置し、複数の第２のレンズのうち所望する対物
レンズの有効開口数に応じた第２のレンズをレーザ光の
光路上に移動させるようにしたことにより、被露光体の
被露光面に所望の径でなる潜像を容易に形成し得る光学
記録方法、光学記録装置及び光学記録媒体を実現するこ
とができる。
【図１】第１実施例による光学記録装置の構成を示すブ
ロツク図である。
ロツク図である。
【図２】ビーム拡大レンズの焦点距離に応じた露光状態
の説明に供する略線図である。
の説明に供する略線図である。
【図３】第２実施例による光学記録装置の構成を示すブ
ロツク図である。
ロツク図である。
【図４】２ビーム露光により原盤上に形成されたピツト
及びグルーブを示す略線図である。
及びグルーブを示す略線図である。
【図５】従来の光学記録装置の構成を示すブロツク図で
ある。
ある。
【図６】従来の音響光学変調器の構成を示す略線図であ
る。
る。
１、２０、３０……光学記録装置、２……レーザ光源、
３、２１、３１、３２……変調光学ユニツト、４、４
１、５１……音響光学変調器、５……ビーム縮小レン
ズ、６、２３Ａ〜２３Ｃ、４３Ａ〜４３Ｃ、５３Ａ〜５
３Ｃ……ビーム拡大レンズ、７、４２、５２……ドライ
バ、８、４４、５４……アパーチヤ、９、２２、６０…
…移動光学テーブル、１０、２４Ａ〜２４Ｃ……レン
ズ、１１……対物レンズ、１２……ガラス原盤、１２Ａ
……フオトレジスト膜、Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３、Ｍ４、Ｍ５
……ミラー、ＰＢＳ１、ＰＢＳ２……偏光ビームスプリ
ツタ。
３、２１、３１、３２……変調光学ユニツト、４、４
１、５１……音響光学変調器、５……ビーム縮小レン
ズ、６、２３Ａ〜２３Ｃ、４３Ａ〜４３Ｃ、５３Ａ〜５
３Ｃ……ビーム拡大レンズ、７、４２、５２……ドライ
バ、８、４４、５４……アパーチヤ、９、２２、６０…
…移動光学テーブル、１０、２４Ａ〜２４Ｃ……レン
ズ、１１……対物レンズ、１２……ガラス原盤、１２Ａ
……フオトレジスト膜、Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３、Ｍ４、Ｍ５
……ミラー、ＰＢＳ１、ＰＢＳ２……偏光ビームスプリ
ツタ。
Claims (24)
- 【請求項１】レーザ光源から発射されたレーザ光を光変
調器を用いて所定のフオーマツトに基づく変調信号に応
じて強度変調した後、当該強度変調されたレーザ光を対
物レンズを介して被露光体の被露光面に照射することに
より、上記変調信号に応じた露光パターンを形成する光
学記録方法において、 上記強度変調されたレーザ光の光路から外れた所定位置
に、当該光路上に移動自在にそれぞれ焦点距離が異なる
複数の第１のレンズを配置し、 上記複数の第１のレンズのうち所望する上記レーザ光の
径に応じた第１のレンズを上記レーザ光の光路上に選択
的に移動させることを特徴とする光学記録方法。 - 【請求項２】上記強度変調されたレーザ光が選択された
所定の上記第１のレンズの中心を透過するように、当該
第１のレンズを上記レーザ光の光路上に移動させること
を特徴とする請求項１に記載の光学記録方法。 - 【請求項３】上記第１のレンズを透過したレーザ光の光
路から外れた所定位置に、当該光路上に移動自在にそれ
ぞれ焦点距離が異なる複数の第２のレンズを配置し、 上記複数の第２のレンズのうち所望する上記対物レンズ
の有効開口数に応じた第２のレンズを上記レーザ光の光
路上に移動させることを特徴とする請求項１に記載の光
学記録方法。 - 【請求項４】上記第１のレンズを透過したレーザ光が選
択された所定の上記第２のレンズの中心を透過するよう
に、当該第２のレンズを上記レーザ光の光路上に移動さ
せることを特徴とする請求項３に記載の光学記録方法。 - 【請求項５】レーザ光源から発射されたレーザ光を複数
に分割して、それぞれ光変調器を用いて所定のフオーマ
ツトに基づく種々の変調信号に応じて強度変調し、 それぞれ強度変調された上記各レーザ光の光路から外れ
た所定位置に、当該各光路上に移動自在にそれぞれ焦点
距離が異なる複数の第１のレンズをそれぞれ配置し、 上記複数の第１のレンズのうち所望する上記レーザ光の
径に応じた第１のレンズを上記各レーザ光の光路上にそ
れぞれ選択的に移動させ、 上記各レーザ光を同一光路上に合成して、対物レンズを
介して被露光体の被露光面に照射することにより、上記
各変調信号に応じた露光パターンを形成することを特徴
とする光学記録方法。 - 【請求項６】それぞれ強度変調された上記各レーザ光が
それぞれ選択された所定の上記各第１のレンズの中心を
透過するように、当該各第１のレンズを上記各レーザ光
の光路上にそれぞれ移動させることを特徴とする請求項
５に記載の光学記録方法。 - 【請求項７】上記同一光路上に合成された各レーザ光の
光路から外れた所定位置に、当該光路上に移動自在にそ
れぞれ焦点距離が異なる複数の第２のレンズを配置し、 上記複数の第２のレンズのうち所望する上記対物レンズ
の有効開口数に応じた第２のレンズを上記レーザ光の光
路上に移動させることを特徴とする請求項５に記載の光
学記録方法。 - 【請求項８】上記同一光路上に合成された各レーザ光が
選択された所定の上記第２のレンズの中心を透過するよ
うに、当該第２のレンズを上記各レーザ光の光路上に移
動させることを特徴とする請求項７に記載の光学記録方
法。 - 【請求項９】レーザ光源から発射されたレーザ光を光変
調器を用いて所定のフオーマツトに基づく変調信号に応
じて強度変調した後、当該強度変調されたレーザ光を対
物レンズを介して被露光体の被露光面に照射することに
より、上記変調信号に応じた露光パターンを形成する光
学記録装置において、 上記強度変調されたレーザ光の光路から外れた所定位置
に当該光路上に移動自在に配設された、それぞれ焦点距
離が異なる複数の第１のレンズからなる光径変換手段を
具え、上記光径変換手段の各第１のレンズを選択的に切
り換えて上記光路上の各所定位置までそれぞれ移動させ
ることにより、上記レーザ光の径の大きさをそれぞれ異
なる大きさに変換することを特徴とする光学記録装置。 - 【請求項１０】上記強度変調されたレーザ光が選択され
た所定の上記第１のレンズの中心を透過するように、当
該第１のレンズを上記レーザ光の光路上に移動させるこ
とを特徴とする請求項９に記載の光学記録装置。 - 【請求項１１】上記第１のレンズを透過したレーザ光の
光路から外れた所定位置に、当該光路上に移動自在にそ
れぞれ焦点距離が異なる複数の第２のレンズからなる集
光位置補正手段を具え、上記集光位置補正手段の各上記
第２のレンズを選択的に切り換えて上記光路上の各所定
位置までそれぞれ移動させることにより、上記対物レン
ズの有効開口数をそれぞれ異なる値に変換することを特
徴とする請求項９に記載の光学記録装置。 - 【請求項１２】上記第１のレンズを透過したレーザ光が
選択された所定の上記第２のレンズの中心を透過するよ
うに、当該第２のレンズを上記レーザ光の光路上に移動
させることを特徴とする請求項１１に記載の光学記録装
置。 - 【請求項１３】レーザ光源から発射されたレーザ光を複
数に分割する光分割手段と、 上記光分割手段を介した複数の上記レーザ光を所定のフ
オーマツトに基づく種々の変調信号に応じてそれぞれ強
度変調する複数の光変調器と、 それぞれ強度変調された上記各レーザ光の光路から外れ
た所定位置に、当該各光路上に移動自在にそれぞれ焦点
距離が異なる複数の第１のレンズをそれぞれ配置し、上
記複数の第１のレンズのうち所望する上記レーザ光の径
に応じた第１のレンズを上記各レーザ光の光路上にそれ
ぞれ選択的に移動させる複数の光径変換手段と、 上記各レーザ光を同一光路上に合成する光合成手段とを
具え、上記光合成手段を介して合成された各レーザ光
を、対物レンズを介して被露光体の被露光面に照射する
ことにより、上記各変調信号に応じた露光パターンを形
成することを特徴とする光学記録装置。 - 【請求項１４】それぞれ強度変調された上記各レーザ光
がそれぞれ選択された所定の上記各第１のレンズの中心
を透過するように、当該各第１のレンズを上記各レーザ
光の光路上にそれぞれ移動させることを特徴とする請求
項１３に記載の光学記録装置。 - 【請求項１５】上記同一光路上に合成された各レーザ光
の光路から外れた所定位置に、当該光路上に移動自在に
それぞれ焦点距離が異なる複数の第２のレンズからなる
集光位置補正手段を具え、上記集光位置補正手段の各上
記第２のレンズを選択的に切り換えて上記光路上の各所
定位置までそれぞれ移動させることにより、上記対物レ
ンズの有効開口数をそれぞれ異なる値に変換することを
特徴とする請求項１３に記載の光学記録装置。 - 【請求項１６】上記同一光路上に合成された各レーザ光
が選択された所定の上記第２のレンズの中心を透過する
ように、当該第２のレンズを上記各レーザ光の光路上に
移動させることを特徴とする請求項１５に記載の光学記
録装置。 - 【請求項１７】レーザ光源から発射されたレーザ光を光
変調器を用いて所定のフオーマツトに基づく変調信号に
応じて強度変調した後、当該強度変調されたレーザ光を
対物レンズを介して被露光体の被露光面に照射すること
により、上記変調信号に応じた露光パターンを形成する
ことにより作製された光学記録媒体において、 上記強度変調されたレーザ光の光路から外れた所定位置
に、当該光路上に移動自在にそれぞれ焦点距離が異なる
複数の第１のレンズを配置し、 上記複数の第１のレンズのうち所望する上記レーザ光の
径に応じた第１のレンズを上記レーザ光の光路上に選択
的に移動させることにより作製されたことを特徴とする
光学記録媒体。 - 【請求項１８】上記強度変調されたレーザ光が選択され
た所定の上記第１のレンズの中心を透過するように、当
該第１のレンズを上記レーザ光の光路上に移動させるこ
とを特徴とする請求項１７に記載の光学記録媒体。 - 【請求項１９】上記第１のレンズを透過したレーザ光の
光路から外れた所定位置に、当該光路上に移動自在にそ
れぞれ焦点距離が異なる複数の第２のレンズを配置し、 上記複数の第２のレンズのうち所望する上記対物レンズ
の有効開口数に応じた第２のレンズを上記レーザ光の光
路上に移動させることを特徴とする請求項１７に記載の
光学記録媒体。 - 【請求項２０】上記第１のレンズを透過したレーザ光が
選択された所定の上記第２のレンズの中心を透過するよ
うに、当該第２のレンズを上記レーザ光の光路上に移動
させることを特徴とする請求項１９に記載の光学記録媒
体。 - 【請求項２１】レーザ光源から発射されたレーザ光を複
数に分割して、それぞれ光変調器を用いて所定のフオー
マツトに基づく種々の変調信号に応じて強度変調し、 それぞれ強度変調された上記各レーザ光の光路から外れ
た所定位置に、当該各光路上に移動自在にそれぞれ焦点
距離が異なる複数の第１のレンズをそれぞれ配置し、 上記複数の第１のレンズのうち所望する上記レーザ光の
径に応じた第１のレンズを上記各レーザ光の光路上にそ
れぞれ選択的に移動させ、 上記各レーザ光を同一光路上に合成して、対物レンズを
介して被露光体の被露光面に照射することにより、上記
各変調信号に応じた露光パターンを形成することにより
作製されたことを特徴とする光学記録媒体。 - 【請求項２２】それぞれ強度変調された上記各レーザ光
がそれぞれ選択された所定の上記各第１のレンズの中心
を透過するように、当該各第１のレンズを上記各レーザ
光の光路上にそれぞれ移動させることを特徴とする請求
項２１に記載の光学記録媒体。 - 【請求項２３】上記同一光路上に合成された各レーザ光
の光路から外れた所定位置に、当該光路上に移動自在に
それぞれ焦点距離が異なる複数の第２のレンズを配置
し、 上記複数の第２のレンズのうち所望する上記対物レンズ
の有効開口数に応じた第２のレンズを上記レーザ光の光
路上に移動させることを特徴とする請求項２１に記載の
光学記録媒体。 - 【請求項２４】上記同一光路上に合成された各レーザ光
が選択された所定の上記第２のレンズの中心を透過する
ように、当該第２のレンズを上記各レーザ光の光路上に
移動させることを特徴とする請求項２３に記載の光学記
録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7352731A JPH09185840A (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 光学記録方法、光学記録装置及び光学記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7352731A JPH09185840A (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 光学記録方法、光学記録装置及び光学記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09185840A true JPH09185840A (ja) | 1997-07-15 |
Family
ID=18426054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7352731A Pending JPH09185840A (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 光学記録方法、光学記録装置及び光学記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09185840A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002023379A (ja) * | 2000-07-10 | 2002-01-23 | Sony Corp | 光ディスク、露光装置および露光方法 |
-
1995
- 1995-12-28 JP JP7352731A patent/JPH09185840A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002023379A (ja) * | 2000-07-10 | 2002-01-23 | Sony Corp | 光ディスク、露光装置および露光方法 |
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