JPH09120312A - エラー表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来のエラー表示装置では、対処に時間がか
かるために生産効率が低下し、マニュアル等から発生す
る塵等が加工している材料を不良にしてしまうという問
題点があったが、本発明では、エラーの原因と対処方法
とを表示することができるエラー表示装置を提供する。 【解決手段】 制御部１′がエラーを発生原因で分類し
たエラーコードを出力し、表示部３′が、エラーコード
を基に記憶部２′に格納されているエラーメッセージを
参照して表示し、また、入力部４を介してユーザによっ
て選択された表示中のエラーの一つについて、その発生
原因と対処方法とを記憶部２′を参照して表示するエラ
ー表示装置である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置
等、細かい塵等が故障の原因となる材料を加工する装置
のエラー表示装置に係り、特に詳細な表示を行うことに
よって、エラーに対処するために、塵の原因となるマニ
ュアルを、ユーザが参照する必要をなくすことができる
エラー表示装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のエラー表示装置について図４を用
いて説明する。図４は、従来のエラー表示装置の構成ブ
ロック図である。従来のエラー表示装置は、図４に示す
ように制御部１と、記憶部２と、表示部３とから構成さ
れている。以下、各部を具体的に説明すると、制御部１
は、エラーが発生すると、特定のエラーコードを表示部
３に出力するものである、具体的には、排気処理を行っ
ているときにバルブＡが動作しなかった場合にはエラー
コード「１」を出力し、また、プロセスガス導入中にバ
ルブＡが動作しなかった場合にもエラーコード「１」を
出力するものである。

【０００３】記憶部２は、エラーコードとエラーのメッ
セージを対応づけて記憶しているものであり、具体的に
は、エラーコード「１」に対応して、「バルブＡ動作異
常」のようなメッセージを格納しているものである。表
示部３は、制御部１からエラーコードが入力されると、
当該エラーコードに対応したメッセージを記憶部２から
読み出して、ディスプレイ等に表示するものである。

【０００４】次に、従来のエラー表示装置の動作につい
て説明する。制御部１内の処理でエラーが発生すると、
制御部１によって、当該エラーに予め対応づけられたエ
ラーコード、例えば、エラーコード「１」が表示部３に
出力される。

【０００５】すると、表示部３が記憶部２に格納されて
いる、当該エラーコード「１」に対応するメッセージ、
例えば、「バルブＡ動作異常」を読み出して、当該メッ
セージをディスプレイ等に表示するようになっていた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のエラー表示装置では、ユーザがそのエラーに対する
対処の方法を知ることができず、マニュアル等書籍を参
照し、該当する記述を探出して対処しなくてはならない
ので、時間がかかるために生産効率が低下し、さらに、
マニュアル等から発生する塵等が加工している材料を不
良にしてしまうという問題点があった。

【０００７】本発明は上記実情に鑑みて為されたもの
で、エラーの原因と、対処方法とを表示することができ
るエラー表示装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記従来例の問題点を解
決するための請求項１記載の発明は、エラー表示装置に
おいて、エラーが検知されるとエラーメッセージを表示
し、当該エラーメッセージが選択されるとエラーの発生
原因及び対処方法を表示することを特徴としており、ユ
ーザがマニュアルを参照せずに迅速にエラーに対処でき
るため、生産効率が向上し、また、マニュアルを使用し
ないために、マニュアルから発生する塵等がなくなり、
不良品の発生を抑えることができる。

【０００９】また、上記従来例の問題点を解決するため
の請求項２記載の発明は、エラーを検知し、発生原因毎
に分類して特定の番号をエラーコードとして出力する制
御部と、前記エラーコードに対するエラーメッセージ
と、前記発生原因を説明する第１のメッセージと、前記
エラーへの対処方法を説明する第２のメッセージとを対
応づけて格納している記憶部と、前記制御部から出力さ
れるエラーコードを基に前記記憶部を参照してエラーメ
ッセージを表示する表示部と、前記表示部に表示されて
いるエラーメッセージの選択により当該エラーメッセー
ジのエラーについて詳細な情報を要求する信号を出力す
る入力部とを有するエラー表示装置であって、前記表示
部は、前記信号の入力を受けて、前記選択されたエラー
コードに対応する第１のメッセージと、第２のメッセー
ジとを前記記憶部から読み出して表示する表示部である
ことを特徴としており、ユーザがマニュアルを参照せず
に迅速にエラーに対処できるため、生産効率が向上し、
また、マニュアルを使用しないために、マニュアルから
発生する塵等がなくなり、不良品の発生を抑えることが
できる。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面を参照
しながら説明する。本発明に係るエラー表示装置（本装
置）は、従来同一のエラーとして処理していたエラーに
も処理ルーチン毎に異なるエラーコードとすることによ
って、エラーの発生箇所を明確にし、かつ、対処方法等
をメッセージとして予め格納して表示するものである。
本装置を図１を使って説明する。図１は、本発明に係る
エラー表示装置の構成ブロック図である。

【００１１】本装置は、図１に示すように、制御部１′
と、記憶部２′と、表示部３′と、入力部４とから構成
されている。

【００１２】次に、各部を具体的に説明する。制御部
１′は、エラーが発生すると、特定のエラーコードを表
示部３′に出力するものである。具体的には、例えば、
排気処理時にバルブＡが動作しないというエラーの場合
にはエラーコード「０００００１」を、プロセスガス導
入中にバルブＡが動作しないというエラーの場合には、
エラーコード「０００２０１」を表示部３′に出力する
ものである。

【００１３】記憶部２′は、エラーコードと、エラーメ
ッセージと、発生原因と、対処方法とを対応づけて記憶
しているものである。具体的には、図２に示すようにな
っている。図２は、記憶部２′の内容の一例を示す説明
図である。

【００１４】表示部３′は、エラーコードの入力を受け
て、記憶部２′からエラーメッセージを読み出して、エ
ラーの発生した時間の順にディスプレイ等に表示するも
のである。具体的には、図３の（ａ）のように表示する
ものである。図３は、エラー表示の一例を示す説明図で
ある。尚、表示部３′は、このとき、エラーコードと、
エラーの発生の日付と、エラーの発生時刻とを同時に表
示するようになっていても構わない。

【００１５】また、表示部３′は、入力部４からの指示
に応じて、ディスプレイ等に表示されているエラーの一
つについて、記憶部２′から発生原因と、対処方法とを
読出してディスプレイ等に表示するものである。具体的
には、例えば、図３（ｂ）に示すように、別ウインドウ
を開いて、そこに表示をするようになっているものであ
る。

【００１６】入力部４は、ディスプレイ等に表示されて
いるエラーの一つを選択し、当該選択されたエラーにつ
いて、発生原因と、対処方法とを表示するように、表示
部３′に指示を出力するものである。

【００１７】具体的には、ディスプレイに表示されてい
るメッセージをマウス等によってクリックすることによ
って、選択することができるようになっている。この選
択の動作については、従来からその方法が知られている
ところであるので、その説明を省略する。尚、この選択
の動作は、例えば、表示されているエラーの上から３番
目を選択するときには、キーボードから「３」を入力す
るように、番号を入力するようになっていても構わな
い。

【００１８】次に、本装置の動作を排気処理時にバルブ
Ａが動作しなかった場合を例にとって説明する。まず、
制御部１′が排気処理を行っているときに、バルブＡを
動作させようとするが、当該バルブＡが正常に動作しな
いことを検知し、エラーが起きたと判断すると、当該エ
ラーに対応するエラーコード、例えば、「０００２０
１」が、表示部３′に出力される。

【００１９】そして、エラーコード「０００２０１」の
入力を受けた表示部３′によって、記憶部２′に格納さ
れているエラーコード「０００２０１」に対応するエラ
ーメッセージ、例えば「バルブＡ動作異常」が、ディス
プレイ等に表示されるようになる。

【００２０】ユーザは、このエラーの表示を見て、詳細
な情報を得るために、入力部４のマウスを用いて当該エ
ラーを選択する。

【００２１】すると、入力部４で、選択されたエラーに
ついて、発生原因と、対処方法とを表示するように表示
部３′に指示を出力する。そして、表示部３′が、記憶
部２′から当該エラーに対応している発生原因と対処方
法とをディスプレイ等に別ウインドウで表示する。

【００２２】そして、例えば、「発生原因：排気処理時
にバルブＡを動作したが、正常に終了しなかった。対処
方法：ポンプが停止していることを確認し、装置を大気
圧に戻してから、バルブＡが正常に動作するか確認して
ください。動作が鈍い場合は、グリスアップを行ってく
ださい。」のようなメッセージが当該別ウインドウに表
示される。

【００２３】本実施例のエラー表示装置によれば、エラ
ーを詳細に分類して管理し、また、それぞれに対して、
発生の原因と対処の方法とを表示するようにしているの
で、ユーザがマニュアルを参照せずにすむため、迅速に
エラーに対処でき、生産効率を向上させることができる
とともに、マニュアルから発生する塵等をなくすことに
よって、不良品の発生を抑えることができるという効果
がある。

【００２４】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、エラーが
検知されるとエラーメッセージを表示し、当該エラーメ
ッセージが選択されるとエラーの発生原因及び対処方法
を表示することを特徴とするエラー表示装置としている
ので、ユーザがマニュアルを参照せずに迅速にエラーに
対処できるため、生産効率が向上し、さらに、マニュア
ルを使用しないために、マニュアルから発生する塵等が
なくなり、不良品の発生を抑えることができるという効
果がある。

【００２５】請求項２記載の発明によれば、制御部が、
エラーを検知し、発生原因毎に分類してエラーコードを
出力し、表示部が、エラーコードに対するエラーメッセ
ージと、その発生原因を説明する第１のメッセージと、
エラーへの対処方法を説明する第２のメッセージとを対
応づけて格納している記憶部を参照して、制御部から出
力されるエラーコードを基にエラーメッセージを表示
し、入力部が、表示部に表示されているエラーメッセー
ジが選択されることで、当該選択されたエラーメッセー
ジのエラーについて詳細な情報を要求する信号を出力
し、表示部が、その信号の入力を受けて選択されたエラ
ーについての第１のメッセージと、第２のメッセージと
を記憶部から読み出して表示するエラー表示装置として
いるので、ユーザがマニュアルを参照せずに迅速にエラ
ーに対処できるため、生産効率が向上し、さらに、マニ
ュアルを使用しないために、マニュアルから発生する塵
等がなくなり、不良品の発生を抑えることができるとい
う効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るエラー表示装置の構成ブロック図
である。

【図２】記憶部２′の内容の一例を示す説明図である。

【図３】エラー表示の一例を示す説明図である。

【図４】従来のエラー表示装置の構成ブロック図であ
る。

【符号の説明】

１，１′…制御部、 ２，２′…記憶部、 ３，３′…
表示部、 ４…入力部

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 エラーが検知されるとエラーメッセージ
   を表示し、当該エラーメッセージが選択されるとエラー
   の発生原因及び対処方法を表示することを特徴とするエ
   ラー表示装置。
2. 【請求項２】 エラーを検知し、発生原因毎に分類して
   特定の番号をエラーコードとして出力する制御部と、前
   記エラーコードに対するエラーメッセージと、前記発生
   原因を説明する第１のメッセージと、前記エラーへの対
   処方法を説明する第２のメッセージとを対応づけて格納
   している記憶部と、前記制御部から出力されるエラーコ
   ードを基に前記記憶部を参照してエラーメッセージを表
   示する表示部と、前記表示部に表示されているエラーメ
   ッセージの選択により当該エラーメッセージのエラーに
   ついて詳細な情報を要求する信号を出力する入力部とを
   有するエラー表示装置であって、前記表示部は、前記信
   号の入力を受けて、前記選択されたエラーコードに対応
   する第１のメッセージと、第２のメッセージとを前記記
   憶部から読み出して表示する表示部であることを特徴と
   するエラー表示装置。