JPH09115876A - 半導体スプレー処理道具のための統合されたモニタおよび制御機能を与えるシステム、装置、および方法 - Google Patents
半導体スプレー処理道具のための統合されたモニタおよび制御機能を与えるシステム、装置、および方法Info
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- JPH09115876A JPH09115876A JP10768096A JP10768096A JPH09115876A JP H09115876 A JPH09115876 A JP H09115876A JP 10768096 A JP10768096 A JP 10768096A JP 10768096 A JP10768096 A JP 10768096A JP H09115876 A JPH09115876 A JP H09115876A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体スプレープロセッサに統合されたモニ
タリング、制御、および診断機能を与えるための方法お
よび装置を提供する。 【解決手段】 この発明のスプレープロセッサホストシ
ステムは、複数のスプレー処理道具の１つに接続された
スーパバイザコンピュータ（１０２）を含み、これは、
プロセッサとの継続した情報交換を与え、最新の状態情
報を維持する。このシステムは、さらに、オペレータに
スプレープロセッサホストシステムへのコマンド駆動さ
れたインタフェースを与えるためにエンジニアコンピュ
ータ（１０６）を含む。各エンジニアコンピュータ（１
０６）は、複数のスーパバイザコンピュータをモニタで
き、レシピディレクトリ編集、レシピダウンローディン
グイベントログサーチング、データキャプチャファイル
データグラフ処理、およびプロセッサ状態ビューイング
機能を可能にする。
タリング、制御、および診断機能を与えるための方法お
よび装置を提供する。 【解決手段】 この発明のスプレープロセッサホストシ
ステムは、複数のスプレー処理道具の１つに接続された
スーパバイザコンピュータ（１０２）を含み、これは、
プロセッサとの継続した情報交換を与え、最新の状態情
報を維持する。このシステムは、さらに、オペレータに
スプレープロセッサホストシステムへのコマンド駆動さ
れたインタフェースを与えるためにエンジニアコンピュ
ータ（１０６）を含む。各エンジニアコンピュータ（１
０６）は、複数のスーパバイザコンピュータをモニタで
き、レシピディレクトリ編集、レシピダウンローディン
グイベントログサーチング、データキャプチャファイル
データグラフ処理、およびプロセッサ状態ビューイング
機能を可能にする。
Description
【０００１】
【技術分野】この発明は一般的に、集積回路（「Ｉ
Ｃ」）チップの製造において用いられるウエット化学ス
プレー処理道具に関し、より特定的には、そのような道
具と関連して、統合されたモニタリング、制御、および
診断機能を与えるためのシステムに関する。
Ｃ」）チップの製造において用いられるウエット化学ス
プレー処理道具に関し、より特定的には、そのような道
具と関連して、統合されたモニタリング、制御、および
診断機能を与えるためのシステムに関する。
【０００２】
【発明の背景】半導体ウェーハの表面上の酸化物層また
は膜のエッチングは、ＩＣチップの製造の重要な局面で
ある。そのようなウェーハ処理のほとんどは、ウエット
エッチング処理を用いて行なわれ、液体酸および他の化
学薬品と脱イオン（「ＤＩ」）水とを組合せたものおよ
びＤＩ水単独を交互に、ウェーハ上にそれぞれスプレー
し、ウェーハをエッチングし、洗浄し、すすぐ。さら
に、ウェーハを乾かすために、ウェーハは周期的に窒素
ガスをスプレーされる。典型的には、各ウェーハは、適
切な耐酸の材料からなるウェーハキャリアの中に密閉さ
れる。１つまたはそれ以上のそのようなウェーハキャリ
アは、スプレー処理道具の閉ざされたボウルの中の可変
速度ターンテーブルまたは回転子上に置かれ、その道具
は、回転子の回転速度と、液体化学薬品、ＤＩ水、およ
び窒素ガスがウェーハに与えられる順序と、化学薬品お
よびＤＩ水の温度とを含む、その動作のある局面に関し
てプログラムされ得る。
は膜のエッチングは、ＩＣチップの製造の重要な局面で
ある。そのようなウェーハ処理のほとんどは、ウエット
エッチング処理を用いて行なわれ、液体酸および他の化
学薬品と脱イオン（「ＤＩ」）水とを組合せたものおよ
びＤＩ水単独を交互に、ウェーハ上にそれぞれスプレー
し、ウェーハをエッチングし、洗浄し、すすぐ。さら
に、ウェーハを乾かすために、ウェーハは周期的に窒素
ガスをスプレーされる。典型的には、各ウェーハは、適
切な耐酸の材料からなるウェーハキャリアの中に密閉さ
れる。１つまたはそれ以上のそのようなウェーハキャリ
アは、スプレー処理道具の閉ざされたボウルの中の可変
速度ターンテーブルまたは回転子上に置かれ、その道具
は、回転子の回転速度と、液体化学薬品、ＤＩ水、およ
び窒素ガスがウェーハに与えられる順序と、化学薬品お
よびＤＩ水の温度とを含む、その動作のある局面に関し
てプログラムされ得る。
【０００３】１つのそのようなスプレー処理道具は、ミ
ネソタ州、チャスカ、ＦＳＩインターナショナル（FSI
International,Chaska,Minnesota）から商業的に入手可
能な、マーキュリー（MERCURY ）（登録商標）ＭＰであ
る。マーキュリー（登録商標）ＭＰは、さまざまな半導
体ウエット化学処理動作を行なうように構成され得る多
数カセットスプレー道具であり、その動作には、硫酸と
過酸化水素との組合せを用いたレジスト除去および前拡
散洗浄（ＳＰＭ洗浄）、フッ化水素／ＤＩ水（「ＨＦ／
ＤＩ」）混合物を用いた酸化物エッチング、およびニュ
ージャージー州、プリンストン（Princeton, New Jerse
y ）、ＲＣＡコーポレイション（RCA Corporation ）に
よって開発された従来のＲＣＡ洗浄に基づいた変形が含
まれる。
ネソタ州、チャスカ、ＦＳＩインターナショナル（FSI
International,Chaska,Minnesota）から商業的に入手可
能な、マーキュリー（MERCURY ）（登録商標）ＭＰであ
る。マーキュリー（登録商標）ＭＰは、さまざまな半導
体ウエット化学処理動作を行なうように構成され得る多
数カセットスプレー道具であり、その動作には、硫酸と
過酸化水素との組合せを用いたレジスト除去および前拡
散洗浄（ＳＰＭ洗浄）、フッ化水素／ＤＩ水（「ＨＦ／
ＤＩ」）混合物を用いた酸化物エッチング、およびニュ
ージャージー州、プリンストン（Princeton, New Jerse
y ）、ＲＣＡコーポレイション（RCA Corporation ）に
よって開発された従来のＲＣＡ洗浄に基づいた変形が含
まれる。
【０００４】半導体スプレー処理道具の根底にある技術
は、ここ数年にわたってますます注目を集めており、実
質的にその改良が行なわれることとなった。しかしなが
ら、この分野において、かなりの進歩があったにもかか
わらず、現在商業的に入手可能なスプレー処理道具の多
くのものには、ある大きな欠点がある。特に、そのよう
な道具には、使い易いフォーマットで履歴パラメトリッ
クデータを与える能力、イベントロギング、現在のおよ
び全体の動作処理パラメータ両方のリアルタイムなグラ
フィックディスプレイ、ならびに遠隔すなわち局地的お
よび世界的モニタリングなどの上級処理データモニタリ
ング能力が欠けている。これらの欠点により、薬品流量
精度、安定性、および反復性などの決定的要因となる処
理パラメータ、処理温度、ならびに機械的道具パラメー
タの望ましくない制御が引起こされてしまう。この可変
性は、動作内、動作間、および道具間の違いとして現
れ、製品品質および性能の差になってしまうのに対し
て、そのような道具用の理想的なモニタリングおよび診
断システムは、この可変性をモニタする手段、および決
定的なパラメータの制御を最適化するための手段を提供
することになる。
は、ここ数年にわたってますます注目を集めており、実
質的にその改良が行なわれることとなった。しかしなが
ら、この分野において、かなりの進歩があったにもかか
わらず、現在商業的に入手可能なスプレー処理道具の多
くのものには、ある大きな欠点がある。特に、そのよう
な道具には、使い易いフォーマットで履歴パラメトリッ
クデータを与える能力、イベントロギング、現在のおよ
び全体の動作処理パラメータ両方のリアルタイムなグラ
フィックディスプレイ、ならびに遠隔すなわち局地的お
よび世界的モニタリングなどの上級処理データモニタリ
ング能力が欠けている。これらの欠点により、薬品流量
精度、安定性、および反復性などの決定的要因となる処
理パラメータ、処理温度、ならびに機械的道具パラメー
タの望ましくない制御が引起こされてしまう。この可変
性は、動作内、動作間、および道具間の違いとして現
れ、製品品質および性能の差になってしまうのに対し
て、そのような道具用の理想的なモニタリングおよび診
断システムは、この可変性をモニタする手段、および決
定的なパラメータの制御を最適化するための手段を提供
することになる。
【０００５】現在入手可能な道具の他の欠点として、典
型的には数本のラインの情報しかディスプレイできない
限られたディスプレイがあり、それによってそのユーテ
ィリティは制限される。
型的には数本のラインの情報しかディスプレイできない
限られたディスプレイがあり、それによってそのユーテ
ィリティは制限される。
【０００６】したがって、半導体スプレー処理道具とと
もに使用するための統合されたモニタリング、制御およ
び診断機能を与えるためのシステムが必要とされる。
もに使用するための統合されたモニタリング、制御およ
び診断機能を与えるためのシステムが必要とされる。
【０００７】
【発明の概要】半導体スプレー道具のための統合された
モニタリング、制御、および診断機能を与える方法およ
び装置によって、前述の問題が解決されかつ技術的発展
が達成される。これまでの技術とは違って、この発明の
スプレープロセッサホストシステムは、オペレータがス
プレー処理道具を使用しモニタしかつ維持することを可
能にする。
モニタリング、制御、および診断機能を与える方法およ
び装置によって、前述の問題が解決されかつ技術的発展
が達成される。これまでの技術とは違って、この発明の
スプレープロセッサホストシステムは、オペレータがス
プレー処理道具を使用しモニタしかつ維持することを可
能にする。
【０００８】好ましい実施例において、この発明のスプ
レープロセッサホストシステムは、イーサネットまたは
他の適切なネットワークリンクを介して相互接続された
複数のＰＣ級コンピュータを含む。スプレープロセッサ
ホストシステムコンピュータの第１のサブセットの各々
は、スーパバイザコンピュータとして動作するように適
合されている。各スーパバイザコンピュータは、好まし
い実施例ではマーキュリー（登録商標）ＭＰプロセッサ
を含む複数のスプレー処理道具の１つに接続され、それ
と通信する。
レープロセッサホストシステムは、イーサネットまたは
他の適切なネットワークリンクを介して相互接続された
複数のＰＣ級コンピュータを含む。スプレープロセッサ
ホストシステムコンピュータの第１のサブセットの各々
は、スーパバイザコンピュータとして動作するように適
合されている。各スーパバイザコンピュータは、好まし
い実施例ではマーキュリー（登録商標）ＭＰプロセッサ
を含む複数のスプレー処理道具の１つに接続され、それ
と通信する。
【０００９】スプレープロセッサホストシステムコンピ
ュータの第２のサブセットの各々は、システムオペレー
タに、スプレープロセッサホストシステムへのコマンド
により駆動されるインタフェースを与えるためのエンジ
ニアコンピュータを含む。各エンジニアコンピュータ
は、複数のスーパバイザコンピュータをモニタすること
ができ、レシピディレクトリ編集、レシピダウンローデ
ィング、イベントログサーチング、データキャプチャフ
ァイルデータグラフ処理、およびプロセッサ状態ビュー
イングなどの機能を可能にするように用いられる。各ス
ーパバイザからそれに接続された特定のプロセッサに対
してもこれらの機能を行なうことができる。
ュータの第２のサブセットの各々は、システムオペレー
タに、スプレープロセッサホストシステムへのコマンド
により駆動されるインタフェースを与えるためのエンジ
ニアコンピュータを含む。各エンジニアコンピュータ
は、複数のスーパバイザコンピュータをモニタすること
ができ、レシピディレクトリ編集、レシピダウンローデ
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ァイルデータグラフ処理、およびプロセッサ状態ビュー
イングなどの機能を可能にするように用いられる。各ス
ーパバイザからそれに接続された特定のプロセッサに対
してもこれらの機能を行なうことができる。
【００１０】スプレープロセッサホストシステムコンピ
ュータの第３のサブセットは、スーパバイザコンピュー
タと、スプレープロセッサホストシステムの外側の上流
ホストコンピュータ、たとえば、ロットスケジューリン
グまたはマテリアルフロー制御コンピュータとの間に、
通信リンクを与えるための１つ以上のブリッジコンピュ
ータを含む。この好ましい実施例では、各スーパバイザ
コンピュータはブリッジコンピュータの機能性を含む
が、いくつかのスーパバイザコンピュータと上流ホスト
コンピュータとの間に通信リンクを与えるために別個の
ブリッジコンピュータが設けられてもよい。
ュータの第３のサブセットは、スーパバイザコンピュー
タと、スプレープロセッサホストシステムの外側の上流
ホストコンピュータ、たとえば、ロットスケジューリン
グまたはマテリアルフロー制御コンピュータとの間に、
通信リンクを与えるための１つ以上のブリッジコンピュ
ータを含む。この好ましい実施例では、各スーパバイザ
コンピュータはブリッジコンピュータの機能性を含む
が、いくつかのスーパバイザコンピュータと上流ホスト
コンピュータとの間に通信リンクを与えるために別個の
ブリッジコンピュータが設けられてもよい。
【００１１】動作において、スーパバイザコンピュータ
の各々は、そのそれぞれのプロセッサとの継続する情報
交換を与え、ネットワーク上の他のコンピュータによる
アクセスのために最新のプロセッサ状態情報を維持す
る。特に、各スーパバイザコンピュータは、プロセッサ
動作およびオペレータ動作のイベントログならびにスー
パバイザコンピュータによってキャプチャされた処理変
数をストアするためのデータキャプチャファイルを維持
する。エンジニアコンピュータは、それに接続されたス
ーパバイザコンピュータのいずれかのために、イベント
ログおよびデータキャプチャファイルにアクセスし、い
くつかのユーザ選択フォーマットの１つでディスプレイ
するために用いられ得る。特に、データキャプチャファ
イルにストアされたデータは、薬品流量、ターンテーブ
ルｒｐｍ、温度などのオペレータ選択パラメータのグラ
フとして、エンジニアコンピュータの１つを用いてシス
テムオペレータによってディスプレイされ得る。このデ
ータはたとえば、薬品比率を制御するフロー安定化アル
ゴリズムおよび手続の最適化、最適な性能および装置歩
留りのために適切な処理温度を保証する機械オペレーテ
ィングプロトコルの開発、差し迫った装置故障を示す装
置性能劣化の検出、ならびにシステムアボート、警報、
またはアラームの装置故障分析において用いられ得る。
の各々は、そのそれぞれのプロセッサとの継続する情報
交換を与え、ネットワーク上の他のコンピュータによる
アクセスのために最新のプロセッサ状態情報を維持す
る。特に、各スーパバイザコンピュータは、プロセッサ
動作およびオペレータ動作のイベントログならびにスー
パバイザコンピュータによってキャプチャされた処理変
数をストアするためのデータキャプチャファイルを維持
する。エンジニアコンピュータは、それに接続されたス
ーパバイザコンピュータのいずれかのために、イベント
ログおよびデータキャプチャファイルにアクセスし、い
くつかのユーザ選択フォーマットの１つでディスプレイ
するために用いられ得る。特に、データキャプチャファ
イルにストアされたデータは、薬品流量、ターンテーブ
ルｒｐｍ、温度などのオペレータ選択パラメータのグラ
フとして、エンジニアコンピュータの１つを用いてシス
テムオペレータによってディスプレイされ得る。このデ
ータはたとえば、薬品比率を制御するフロー安定化アル
ゴリズムおよび手続の最適化、最適な性能および装置歩
留りのために適切な処理温度を保証する機械オペレーテ
ィングプロトコルの開発、差し迫った装置故障を示す装
置性能劣化の検出、ならびにシステムアボート、警報、
またはアラームの装置故障分析において用いられ得る。
【００１２】さらに、オペレータには、エンジニアまた
はスーパバイザコンピュータを用いて、アラームを認
め、レシピを加えたり削除したりして、プロセッサにダ
ウンロードされるべきレシピを選択する能力が与えら
れ、その時点で、適切なスーパバイザコンピュータが要
求された機能を行なう。さらに、イーサネットネットワ
ークを介するＶＡＸまたは他のＳＥＣＳ互換システムへ
のスプレープロセッサホストシステムの接続によって、
上述された機能が、遠隔地からすなわち局地および世界
中から行なわれることが可能になる。
はスーパバイザコンピュータを用いて、アラームを認
め、レシピを加えたり削除したりして、プロセッサにダ
ウンロードされるべきレシピを選択する能力が与えら
れ、その時点で、適切なスーパバイザコンピュータが要
求された機能を行なう。さらに、イーサネットネットワ
ークを介するＶＡＸまたは他のＳＥＣＳ互換システムへ
のスプレープロセッサホストシステムの接続によって、
上述された機能が、遠隔地からすなわち局地および世界
中から行なわれることが可能になる。
【００１３】この発明の１局面において、スーパバイザ
コンピュータのハードドライブにストアされたデータキ
ャプチャファイルは、周期的に自動的に、アーカイブコ
ンピュータの大きなハードドライブにアップロードさ
れ、個々のスーパバイザコンピュータのハードドライブ
から削除され、それによって、システムにストアされ得
るデータキャプチャファイルの数、およびそのようなフ
ァイルがストアされ得る時間量が増大する。
コンピュータのハードドライブにストアされたデータキ
ャプチャファイルは、周期的に自動的に、アーカイブコ
ンピュータの大きなハードドライブにアップロードさ
れ、個々のスーパバイザコンピュータのハードドライブ
から削除され、それによって、システムにストアされ得
るデータキャプチャファイルの数、およびそのようなフ
ァイルがストアされ得る時間量が増大する。
【００１４】この発明で達成された技術的利点は、処理
イベントのログがストアされその後検索され得る、アク
セスしやすいデータベースが提供されるということであ
る。
イベントのログがストアされその後検索され得る、アク
セスしやすいデータベースが提供されるということであ
る。
【００１５】この発明で達成された他の技術的利点は、
オンサイト位置およびオフサイト位置から遠隔モニタリ
ングおよび分析ができるということである。
オンサイト位置およびオフサイト位置から遠隔モニタリ
ングおよび分析ができるということである。
【００１６】この発明で達成された他の技術的利点は、
薬品フロー、処理温度、ターンテーブル速度、レシピ進
行、実行時間、処理ステップ、およびアラームを含む、
全ての決定的要因になるパラメータのリアルタイムな状
態を、オペレータがモニタリングできるということであ
る。
薬品フロー、処理温度、ターンテーブル速度、レシピ進
行、実行時間、処理ステップ、およびアラームを含む、
全ての決定的要因になるパラメータのリアルタイムな状
態を、オペレータがモニタリングできるということであ
る。
【００１７】この発明で達成された他の技術的利点は、
フロッピィディスクではなくハードドライブでのレシピ
の記憶、一度におけるレシピの多数のステップのディス
プレイ、およびレシピ選択の自動化を含めて、レシピの
特徴が向上するということである。
フロッピィディスクではなくハードドライブでのレシピ
の記憶、一度におけるレシピの多数のステップのディス
プレイ、およびレシピ選択の自動化を含めて、レシピの
特徴が向上するということである。
【００１８】この発明で達成された他の技術的利点は、
遠隔のアラーム認知が可能になるということである。
遠隔のアラーム認知が可能になるということである。
【００１９】さらにこの発明で達成された他の技術的利
点は、押されたキーおよび道具によって行なわれた機能
がある所与の時間において検討され得るように、完全な
イベントロギングが可能になるということである。
点は、押されたキーおよび道具によって行なわれた機能
がある所与の時間において検討され得るように、完全な
イベントロギングが可能になるということである。
【００２０】この発明で達成されたさらなる他の技術的
利点は、薬品流量、温度、ターンテーブル速度、および
他のデータが、グラフでリアルタイムに、道具と関連の
コンピュータのディスプレイ上に収集されかつプロット
されることが可能になるということである。
利点は、薬品流量、温度、ターンテーブル速度、および
他のデータが、グラフでリアルタイムに、道具と関連の
コンピュータのディスプレイ上に収集されかつプロット
されることが可能になるということである。
【００２１】この発明で達成されたさらに他の技術的利
点は、典型的にスプレープロセッサ上に設けられる小さ
なディスプレイではなく、フルスクリーンディスプレイ
が各プロセッサに実際上設けられるということである。
点は、典型的にスプレープロセッサ上に設けられる小さ
なディスプレイではなく、フルスクリーンディスプレイ
が各プロセッサに実際上設けられるということである。
【００２２】
【好ましい実施例の説明】図１は、ＩＣチップの製造に
おいて半導体ウェーハを処理するための、好ましい実施
例においてはＦＳＩインターナショナルから入手可能な
マーキュリー（登録商標）ＭＰである、従来のスプレー
処理道具（プロセッサ）１０のシステムブロック図であ
る。図１に示されているように、コントローラ１２は、
薬品供給システム１４と、窒素供給システム１６と、Ｄ
Ｉ水供給システム１８とに電気的に接続され、処理チャ
ンバ２０内のターンテーブル（図示せず）上に配置され
たウェーハ（図示せず）をエッチングし、乾かし、洗浄
するために、薬品供給システム１４、窒素供給システム
１６、およびＤＩ水供給システム１８それぞれから、処
理チャンバ２０への、薬品、窒素、およびＤＩ水の供給
の流量を制御する。
おいて半導体ウェーハを処理するための、好ましい実施
例においてはＦＳＩインターナショナルから入手可能な
マーキュリー（登録商標）ＭＰである、従来のスプレー
処理道具（プロセッサ）１０のシステムブロック図であ
る。図１に示されているように、コントローラ１２は、
薬品供給システム１４と、窒素供給システム１６と、Ｄ
Ｉ水供給システム１８とに電気的に接続され、処理チャ
ンバ２０内のターンテーブル（図示せず）上に配置され
たウェーハ（図示せず）をエッチングし、乾かし、洗浄
するために、薬品供給システム１４、窒素供給システム
１６、およびＤＩ水供給システム１８それぞれから、処
理チャンバ２０への、薬品、窒素、およびＤＩ水の供給
の流量を制御する。
【００２３】コントローラ１２は、さらに、処理チャン
バ２０に電気的に接続され、その中に配置されたターン
テーブルの回転速度を制御する。処理チャンバ２０から
の化学廃棄物は、薬品廃棄および排出システム２２を介
して処理され、その動作もまた、コントローラ１２によ
って制御される。
バ２０に電気的に接続され、その中に配置されたターン
テーブルの回転速度を制御する。処理チャンバ２０から
の化学廃棄物は、薬品廃棄および排出システム２２を介
して処理され、その動作もまた、コントローラ１２によ
って制御される。
【００２４】当該技術において周知であるように、たと
えば、薬品流量および温度ならびにターンテーブル速度
を含む、プロセッサの動作のさまざまな局面を制御する
ためのレシピがフロッピィディスクにストアされ、１．
４４ＭＢフロッピィディスクドライブ２４を介してプロ
セッサ１０に入力される。特定のレシピが、コントロー
ラ１２による実現のために既知の態様で選択され得る。
プロセッサ１０はさらに、たとえば、現在実行中のレシ
ピステップの表示をディスプレイするための小さなディ
スプレイ２６を含む。
えば、薬品流量および温度ならびにターンテーブル速度
を含む、プロセッサの動作のさまざまな局面を制御する
ためのレシピがフロッピィディスクにストアされ、１．
４４ＭＢフロッピィディスクドライブ２４を介してプロ
セッサ１０に入力される。特定のレシピが、コントロー
ラ１２による実現のために既知の態様で選択され得る。
プロセッサ１０はさらに、たとえば、現在実行中のレシ
ピステップの表示をディスプレイするための小さなディ
スプレイ２６を含む。
【００２５】次に詳細に説明される目的のために、コン
トローラ１２によって生成されたまたはそれに通信され
た制御信号および他のデータへのアクセスは、コントロ
ーラ１２に電気的に接続されたホスト通信ポート２８を
介して行なわれ得る。上に簡単に説明されたプロセッサ
１０の動作は当該技術において周知である事実に鑑み
て、そのような動作は詳細にさらに説明されない。
トローラ１２によって生成されたまたはそれに通信され
た制御信号および他のデータへのアクセスは、コントロ
ーラ１２に電気的に接続されたホスト通信ポート２８を
介して行なわれ得る。上に簡単に説明されたプロセッサ
１０の動作は当該技術において周知である事実に鑑み
て、そのような動作は詳細にさらに説明されない。
【００２６】図２は、この発明のスプレープロセッサホ
ストシステム１００の好ましい実施例のシステムブロッ
ク図である。図２に示されているように、システム１０
０は、１つ以上のスーパバイザコンピュータを含むが、
図２では単一のスーパバイザコンピュータ１０２によっ
てまとめて表わされている。各スーパバイザコンピュー
タ１０２のＣＯＭ１ポートは、規格ＲＳ−２３２ポート
接続を介して、図１に示されたプロセッサ１０などのス
プレー処理道具に電気的に接続され、Ｇｅｍ互換ＳＥＣ
ＳＩＩプロトコルを用いて、それと通信する。特に、以
下で非常に詳しく説明されているように、プロセッサ１
０の各処理動作の間、イベントデータおよびオペレーテ
ィングパラメータがその処理動作に対応したデータキャ
プチャファイルに書込まれ、それに接続されたスーパバ
イザコンピュータ１０２のハードドライブ１０３にスト
アされる。プロセッサ１０による実現のためのレシピも
また、ハードドライブ１０３にストアされ、説明される
ように、そのハードドライブから、レシピがプロセッサ
１０にダウンロードされ得る。この態様において、レシ
ピは、従来に用いられた態様よりもはるかに永久的な態
様で、すなわちフロッピィディスクにストアされ得る。
ストシステム１００の好ましい実施例のシステムブロッ
ク図である。図２に示されているように、システム１０
０は、１つ以上のスーパバイザコンピュータを含むが、
図２では単一のスーパバイザコンピュータ１０２によっ
てまとめて表わされている。各スーパバイザコンピュー
タ１０２のＣＯＭ１ポートは、規格ＲＳ−２３２ポート
接続を介して、図１に示されたプロセッサ１０などのス
プレー処理道具に電気的に接続され、Ｇｅｍ互換ＳＥＣ
ＳＩＩプロトコルを用いて、それと通信する。特に、以
下で非常に詳しく説明されているように、プロセッサ１
０の各処理動作の間、イベントデータおよびオペレーテ
ィングパラメータがその処理動作に対応したデータキャ
プチャファイルに書込まれ、それに接続されたスーパバ
イザコンピュータ１０２のハードドライブ１０３にスト
アされる。プロセッサ１０による実現のためのレシピも
また、ハードドライブ１０３にストアされ、説明される
ように、そのハードドライブから、レシピがプロセッサ
１０にダウンロードされ得る。この態様において、レシ
ピは、従来に用いられた態様よりもはるかに永久的な態
様で、すなわちフロッピィディスクにストアされ得る。
【００２７】システム１００はさらに、モデム１０７ａ
を含みかつプリンタ１０７ｂに接続され、スーパバイザ
コンピュータ１０２などの複数のスーパバイザコンピュ
ータをモニタするための少なくとも１つのエンジニアコ
ンピュータ１０６を含む。この好ましい実施例では、エ
ンジニアは実際、８個までのそのようなスーパバイザコ
ンピュータをモニタすることができる。エンジニアコン
ピュータ１０６は、好ましい実施例ではランタスティッ
ク（Lantastic ）ネットワークを含むローカルエリアネ
ットワーク１０８を介して、スーパバイザコンピュータ
１０２に電気的に接続される。これに関して、スーパバ
イザコンピュータ１０２およびエンジニアコンピュータ
１０６両方ともが、ネットワーク１０８への接続のため
に適切なハードウエア、具体的には、互換性ネットワー
クカードを含むことが理解されるべきである。エンジニ
アコンピュータ１０６によって、スプレープロセッサホ
ストシステムオペレータへのインタフェースが与えら
れ、これから詳細に説明されるように、レシピディレク
トリ編集、レシピダウンロード、イベントログサーチン
グ、データキャプチャグラフ、プロセッサ状態ビューイ
ングの開始、および他の機能が、エンジニアコンピュー
タ１０６を用いて制御される。そのような機能はまた、
スーパバイザコンピュータ１０２から直接行なわれ得
る。モデム１０７ａを介するエンジニアコンピュータ１
０６への遠隔接続によって、システム１００をオフサイ
ト位置から制御し、モニタすることができる。エンジニ
アコンピュータ１０６はスプレープロセッサホストシス
テム１００「専用」のコンピュータである必要はなく、
実際にはシステム１００と関連のないさらなるタスクを
行なうように用いられ得ることが注目されるべきであ
る。
を含みかつプリンタ１０７ｂに接続され、スーパバイザ
コンピュータ１０２などの複数のスーパバイザコンピュ
ータをモニタするための少なくとも１つのエンジニアコ
ンピュータ１０６を含む。この好ましい実施例では、エ
ンジニアは実際、８個までのそのようなスーパバイザコ
ンピュータをモニタすることができる。エンジニアコン
ピュータ１０６は、好ましい実施例ではランタスティッ
ク（Lantastic ）ネットワークを含むローカルエリアネ
ットワーク１０８を介して、スーパバイザコンピュータ
１０２に電気的に接続される。これに関して、スーパバ
イザコンピュータ１０２およびエンジニアコンピュータ
１０６両方ともが、ネットワーク１０８への接続のため
に適切なハードウエア、具体的には、互換性ネットワー
クカードを含むことが理解されるべきである。エンジニ
アコンピュータ１０６によって、スプレープロセッサホ
ストシステムオペレータへのインタフェースが与えら
れ、これから詳細に説明されるように、レシピディレク
トリ編集、レシピダウンロード、イベントログサーチン
グ、データキャプチャグラフ、プロセッサ状態ビューイ
ングの開始、および他の機能が、エンジニアコンピュー
タ１０６を用いて制御される。そのような機能はまた、
スーパバイザコンピュータ１０２から直接行なわれ得
る。モデム１０７ａを介するエンジニアコンピュータ１
０６への遠隔接続によって、システム１００をオフサイ
ト位置から制御し、モニタすることができる。エンジニ
アコンピュータ１０６はスプレープロセッサホストシス
テム１００「専用」のコンピュータである必要はなく、
実際にはシステム１００と関連のないさらなるタスクを
行なうように用いられ得ることが注目されるべきであ
る。
【００２８】前に示されたように、プロセッサ１０の各
処理動作の間、イベントデータおよび動作パラメータは
特定の動作に関連のデータキャプチャファイルにキャプ
チャされ、スーパバイザコンピュータ１０２のハードド
ライブ１０３にストアされる。典型的には１日に５回ま
たは６回の処理動作があり、各処理によって、データキ
ャプチャ速度および処理動作時間に依存して何百キロバ
イトないしメガバイトより大きなサイズのデータキャプ
チャファイルが生成されるという事実に鑑み、ハードド
ライブ１０３などの典型的なＰＣハードドライブは数週
間分より多くの処理データをストアすることはできない
であろう。ほとんどの場合、確実に履歴データがもはや
必要とされなくなってから削除されて、新しいデータ用
にスペースを空けるには、これでは不十分である。
処理動作の間、イベントデータおよび動作パラメータは
特定の動作に関連のデータキャプチャファイルにキャプ
チャされ、スーパバイザコンピュータ１０２のハードド
ライブ１０３にストアされる。典型的には１日に５回ま
たは６回の処理動作があり、各処理によって、データキ
ャプチャ速度および処理動作時間に依存して何百キロバ
イトないしメガバイトより大きなサイズのデータキャプ
チャファイルが生成されるという事実に鑑み、ハードド
ライブ１０３などの典型的なＰＣハードドライブは数週
間分より多くの処理データをストアすることはできない
であろう。ほとんどの場合、確実に履歴データがもはや
必要とされなくなってから削除されて、新しいデータ用
にスペースを空けるには、これでは不十分である。
【００２９】この問題に対する解決法として、アーカイ
ブコンピュータ１０９ａおよび関連のアーカイブディス
クドライブ１０９ｂが、データキャプチャファイルをよ
り長い時間期間の間アーカイブするためにネットワーク
１０８上に設けられる。好ましい実施例では、データキ
ャプチャディスクドライブ１０９ｂは、各々が８００な
いし９００ＭＢのディスクスペースを有する、すなわ
ち、およそ３ヶ月分のデータキャプチャファイルをスト
アするだけのスペースを有する、５個のハードドライブ
を含み、それによって、キャプチャデータが必要なくな
るまで削除される必要はないという可能性が増大する。
さらに、キャプチャディスクドライブ１０９ｂはネット
ワーク化されているので、それは、スプレープロセッサ
ホストシステム１００中のどのコンピュータによっても
アクセス可能である。この発明の特徴に従えば、アーカ
イブコンピュータ１０９ａは周期的に（たとえば１０日
ごとに）、各スーパバイザのハードドライブにストアさ
れたデータキャプチャファイルを、アーカイブハードド
ライブ１０９ｂにコピーし、その後、コピーされたデー
タキャプチャファイルはスーパバイザハードディスクド
ライブから削除される。データが現在加えられているデ
ータキャプチャファイルがこの周期的アーカイビングプ
ロセスの間に削除されることを阻止するために、この発
明の１局面では、最も最新の２日分のデータキャプチャ
ファイルは、アーカイブハードドライブ１０９ｂにコピ
ーされず、したがってスーパバイザハードドライブから
削除されない。この態様において、データキャプチャフ
ァイルは自動的に、また手動によってもアーカイブされ
得る。さらに、個々の構成、レシピ、および他のシステ
ムファイルなどの、スーパバイザハードドライブにスト
アされた他のファイルもまた、周期的アーカイビングプ
ロセスの間にアーカイブディスクドライブ１０９ｂにコ
ピーされ、それによって、システム１００の動作の間に
スーパバイザコンピュータが故障したとしてもそのよう
な情報が失われることが防止される。
ブコンピュータ１０９ａおよび関連のアーカイブディス
クドライブ１０９ｂが、データキャプチャファイルをよ
り長い時間期間の間アーカイブするためにネットワーク
１０８上に設けられる。好ましい実施例では、データキ
ャプチャディスクドライブ１０９ｂは、各々が８００な
いし９００ＭＢのディスクスペースを有する、すなわ
ち、およそ３ヶ月分のデータキャプチャファイルをスト
アするだけのスペースを有する、５個のハードドライブ
を含み、それによって、キャプチャデータが必要なくな
るまで削除される必要はないという可能性が増大する。
さらに、キャプチャディスクドライブ１０９ｂはネット
ワーク化されているので、それは、スプレープロセッサ
ホストシステム１００中のどのコンピュータによっても
アクセス可能である。この発明の特徴に従えば、アーカ
イブコンピュータ１０９ａは周期的に（たとえば１０日
ごとに）、各スーパバイザのハードドライブにストアさ
れたデータキャプチャファイルを、アーカイブハードド
ライブ１０９ｂにコピーし、その後、コピーされたデー
タキャプチャファイルはスーパバイザハードディスクド
ライブから削除される。データが現在加えられているデ
ータキャプチャファイルがこの周期的アーカイビングプ
ロセスの間に削除されることを阻止するために、この発
明の１局面では、最も最新の２日分のデータキャプチャ
ファイルは、アーカイブハードドライブ１０９ｂにコピ
ーされず、したがってスーパバイザハードドライブから
削除されない。この態様において、データキャプチャフ
ァイルは自動的に、また手動によってもアーカイブされ
得る。さらに、個々の構成、レシピ、および他のシステ
ムファイルなどの、スーパバイザハードドライブにスト
アされた他のファイルもまた、周期的アーカイビングプ
ロセスの間にアーカイブディスクドライブ１０９ｂにコ
ピーされ、それによって、システム１００の動作の間に
スーパバイザコンピュータが故障したとしてもそのよう
な情報が失われることが防止される。
【００３０】示された実施例ではスーパバイザコンピュ
ータ１０２と同じコンピュータを含むブリッジコンピュ
ータによって、スプレープロセッサホストシステム１０
０と、ロットスケジューリングまたはマテリアルフロー
制御コンピュータ（図示せず）などの、スプレープロセ
ッサホストシステム１００の外側の上流ホストコンピュ
ータとの間に、そのＣＯＭ２ポートから、好ましい実施
例では、イーサネットワークを含む第２の所有権主張ネ
ットワーク１１０へのＲＳ−２３２／ＳＥＣＳＩＩ接続
を介して、通信ブリッジが設けられる。そのような接続
により、スプレープロセッサホストシステム１００と、
好ましい実施例ではカリフォルニア州、マウンテンビュ
ー（Mountain View,California）のコンシリウムインコ
ーポレーテッド（Consilium,Inc.）から入手可能なワー
クストリームＭＥＳを含む、ＭＥＳ（manufacturing ex
ecution system）１１２との間で通信および対話が可能
になる。さらに、これから詳細に説明されるように、そ
のような接続により、ネットワーク１１０上の任意のＶ
ＡＸ端子１１４からスプレープロセッサホストシステム
１００に遠隔アクセスができる。この好ましい実施例で
は、コンピュータ１０２などの各スーパバイザコンピュ
ータはまた、ブリッジコンピュータの機能を含むが、１
つより多いスーパバイザコンピュータに通信リンクを設
けるために単一のブリッジコンピュータを用いてシステ
ム１００を実現することも可能であろう。
ータ１０２と同じコンピュータを含むブリッジコンピュ
ータによって、スプレープロセッサホストシステム１０
０と、ロットスケジューリングまたはマテリアルフロー
制御コンピュータ（図示せず）などの、スプレープロセ
ッサホストシステム１００の外側の上流ホストコンピュ
ータとの間に、そのＣＯＭ２ポートから、好ましい実施
例では、イーサネットワークを含む第２の所有権主張ネ
ットワーク１１０へのＲＳ−２３２／ＳＥＣＳＩＩ接続
を介して、通信ブリッジが設けられる。そのような接続
により、スプレープロセッサホストシステム１００と、
好ましい実施例ではカリフォルニア州、マウンテンビュ
ー（Mountain View,California）のコンシリウムインコ
ーポレーテッド（Consilium,Inc.）から入手可能なワー
クストリームＭＥＳを含む、ＭＥＳ（manufacturing ex
ecution system）１１２との間で通信および対話が可能
になる。さらに、これから詳細に説明されるように、そ
のような接続により、ネットワーク１１０上の任意のＶ
ＡＸ端子１１４からスプレープロセッサホストシステム
１００に遠隔アクセスができる。この好ましい実施例で
は、コンピュータ１０２などの各スーパバイザコンピュ
ータはまた、ブリッジコンピュータの機能を含むが、１
つより多いスーパバイザコンピュータに通信リンクを設
けるために単一のブリッジコンピュータを用いてシステ
ム１００を実現することも可能であろう。
【００３１】好ましい実施例では、各スーパバイザコン
ピュータ１０２は、少なくとも１２０Ｍｂハードドライ
ブと、３．５インチのフロッピィディスク（図示せず）
とを有する４８６ＤＸ ＰＣ（図２、１０３）を含む。
各スーパバイザコンピュータ１０２は、その関連のプロ
セッサ１０との継続する情報交換を与え、アクセスすべ
きネットワーク上の他のコンピュータに対して最新のコ
ントローラ状態を維持する。さらに、各スーパバイザコ
ンピュータ１０２は、レシピダウンローディング、エラ
ー処理、イベント報告、およびアラーム処理などの、ネ
ットワーク上のエンジニアコンピュータおよびブリッジ
コンピュータ用の機能を行ない、プロセッサ１０の動作
およびオペレータ動作のイベントログを維持し、各処理
動作ごとに処理変数をデータキャプチャファイルの中に
キャプチャしかつストアする。図２に示された多数コン
ピュータ環境では、スーパバイザコンピュータ１０２は
それ自体のキーボードまたはディスプレイを含む必要は
ない。
ピュータ１０２は、少なくとも１２０Ｍｂハードドライ
ブと、３．５インチのフロッピィディスク（図示せず）
とを有する４８６ＤＸ ＰＣ（図２、１０３）を含む。
各スーパバイザコンピュータ１０２は、その関連のプロ
セッサ１０との継続する情報交換を与え、アクセスすべ
きネットワーク上の他のコンピュータに対して最新のコ
ントローラ状態を維持する。さらに、各スーパバイザコ
ンピュータ１０２は、レシピダウンローディング、エラ
ー処理、イベント報告、およびアラーム処理などの、ネ
ットワーク上のエンジニアコンピュータおよびブリッジ
コンピュータ用の機能を行ない、プロセッサ１０の動作
およびオペレータ動作のイベントログを維持し、各処理
動作ごとに処理変数をデータキャプチャファイルの中に
キャプチャしかつストアする。図２に示された多数コン
ピュータ環境では、スーパバイザコンピュータ１０２は
それ自体のキーボードまたはディスプレイを含む必要は
ない。
【００３２】エンジニアコンピュータ１０６は、システ
ムオペレータに、８個までのスーパバイザコンピュータ
に関する状態情報、パラメトリックデータ、およびネッ
トワーク上のスーパバイザコンピュータのいずれかの上
のさまざまな他のファイルへのアクセスを与える。さら
に、エンジニアコンピュータは、レシピディレクトリ編
集、システム状態情報、レシピダウンロードの開始、イ
ベントログサーチング、アラームクリアリング、および
データキャプチャファイルの図形処理などの、オペレー
タインタフェース機能を与える。
ムオペレータに、８個までのスーパバイザコンピュータ
に関する状態情報、パラメトリックデータ、およびネッ
トワーク上のスーパバイザコンピュータのいずれかの上
のさまざまな他のファイルへのアクセスを与える。さら
に、エンジニアコンピュータは、レシピディレクトリ編
集、システム状態情報、レシピダウンロードの開始、イ
ベントログサーチング、アラームクリアリング、および
データキャプチャファイルの図形処理などの、オペレー
タインタフェース機能を与える。
【００３３】示された実施例ではスーパバイザコンピュ
ータ１０２を含む、ブリッジコンピュータは、アラーム
メッセージを含むイベントメッセージを、ネットワーク
１１０に接続された上流ホストシステムに送り、上流ホ
ストから、レシピダウンロードおよびアラームクリアな
どのメッセージを受取りかつ処理し、ネットワーククロ
ックを上流ホストと同期させる。
ータ１０２を含む、ブリッジコンピュータは、アラーム
メッセージを含むイベントメッセージを、ネットワーク
１１０に接続された上流ホストシステムに送り、上流ホ
ストから、レシピダウンロードおよびアラームクリアな
どのメッセージを受取りかつ処理し、ネットワーククロ
ックを上流ホストと同期させる。
【００３４】図３は、図２のシステムの情報の流れを示
す。レシピダウンロード要求が、経路１５０によって示
されているように、エンジニアリングコンピュータ１０
６から直接に、または経路１５２、１５４によって示さ
れているように、ワークストリームデータベース１１２
を介してＶＡＸ端子１１４から間接的にいずれかで、ス
ーパバイザコンピュータ１０２に送信され、経路１５５
および１５６によって示されているように、スーパバイ
ザコンピュータ１０２がスーパバイザハードドライブ１
０３からスプレープロセッサ１０に処理レシピをダウン
ロードすることを引起こす。ＶＡＸ端子１１４からの開
始およびアボート要求もまた、経路１５２、ワークスト
リームデータベース１１２、および経路１５４を介し
て、スーパバイザコンピュータ１０２に送信され、それ
によって、その要求はスプレープロセッサ１０による実
行のために経路１５６を介して送られる。スプレープロ
セッサ１０は絶えず、経路１５８によって示されるよう
に、装置状態および処理データをスーパバイザコンピュ
ータ１０２に送信し、経路１６０によって示されている
ように、そのデータは、スーパバイザハードドライブ１
０３に送信され、データファイル中に記憶される。スプ
レープロセッサ１０からの装置状態およびリアルタイム
データはまた、経路１６２によって示されているよう
に、エンジニアリングコンピュータ１０６に送信され、
装置状態データは、経路１６４、１６６によって示され
ているように、ワークストリームデータベース１１２を
介してＶＡＸ端子１１４に送信される。スプレープロセ
ッサ１０からの装置状態および処理データを含みかつス
ーパバイザハードドライブ１０３にストアされたデータ
ファイルは、経路１６８および１６９によって示されて
いるように、周期的にアーカイブコンピュータ１０９ａ
を介してアーカイブハードドライブ１０９ｂにアップロ
ードされ、アーカイブコンピュータ１０９ａからデータ
ファイルは、経路１７０によって示されているように、
エンジニアリングコンピュータ１０６によってアクセス
され得る。スーパバイザハードドライブ１０３にストア
された装置状態および履歴データは、スーパバイザコン
ピュータ１０２が使用するために経路１５５を介してア
クセスされ得る。
す。レシピダウンロード要求が、経路１５０によって示
されているように、エンジニアリングコンピュータ１０
６から直接に、または経路１５２、１５４によって示さ
れているように、ワークストリームデータベース１１２
を介してＶＡＸ端子１１４から間接的にいずれかで、ス
ーパバイザコンピュータ１０２に送信され、経路１５５
および１５６によって示されているように、スーパバイ
ザコンピュータ１０２がスーパバイザハードドライブ１
０３からスプレープロセッサ１０に処理レシピをダウン
ロードすることを引起こす。ＶＡＸ端子１１４からの開
始およびアボート要求もまた、経路１５２、ワークスト
リームデータベース１１２、および経路１５４を介し
て、スーパバイザコンピュータ１０２に送信され、それ
によって、その要求はスプレープロセッサ１０による実
行のために経路１５６を介して送られる。スプレープロ
セッサ１０は絶えず、経路１５８によって示されるよう
に、装置状態および処理データをスーパバイザコンピュ
ータ１０２に送信し、経路１６０によって示されている
ように、そのデータは、スーパバイザハードドライブ１
０３に送信され、データファイル中に記憶される。スプ
レープロセッサ１０からの装置状態およびリアルタイム
データはまた、経路１６２によって示されているよう
に、エンジニアリングコンピュータ１０６に送信され、
装置状態データは、経路１６４、１６６によって示され
ているように、ワークストリームデータベース１１２を
介してＶＡＸ端子１１４に送信される。スプレープロセ
ッサ１０からの装置状態および処理データを含みかつス
ーパバイザハードドライブ１０３にストアされたデータ
ファイルは、経路１６８および１６９によって示されて
いるように、周期的にアーカイブコンピュータ１０９ａ
を介してアーカイブハードドライブ１０９ｂにアップロ
ードされ、アーカイブコンピュータ１０９ａからデータ
ファイルは、経路１７０によって示されているように、
エンジニアリングコンピュータ１０６によってアクセス
され得る。スーパバイザハードドライブ１０３にストア
された装置状態および履歴データは、スーパバイザコン
ピュータ１０２が使用するために経路１５５を介してア
クセスされ得る。
【００３５】前に示されたように、各コンピュータに
は、特定のコンピュータ独自の構成ファイルがストアさ
れ、コンピュータがスーパバイザであれば、それはプロ
セッサに接続される。♯ＣＯＮＦＩＧ．ＦＳＩと指定さ
れた構成ファイルが、スプレープロセッサホストシステ
ムの開始時に読出され、コンピュータの機能、すなわ
ち、スーパバイザ、エンジニア、ブリッジ、またはその
何らかの組合せを決定する。図１９および２０を参照し
てさらに詳しく説明されるように、以下で説明されるよ
うな構成ファイルが使用されることによって、３つのタ
イプのコンピュータの各々の機能性を実現するための別
個のモジュールを含む単一のソフトウエアユーティリテ
ィプログラムが、システム１００中のすべてのコンピュ
ータで実行されることが可能になり、特定のコンピュー
タの機能性がその構成ファイルによって決定される。言
い換えれば、構成ファイルの１つの目的は、ソフトウエ
アユーティリティの３つのモジュールのうちどれをコン
ピュータが実行することになるかを特定することであ
る。
は、特定のコンピュータ独自の構成ファイルがストアさ
れ、コンピュータがスーパバイザであれば、それはプロ
セッサに接続される。♯ＣＯＮＦＩＧ．ＦＳＩと指定さ
れた構成ファイルが、スプレープロセッサホストシステ
ムの開始時に読出され、コンピュータの機能、すなわ
ち、スーパバイザ、エンジニア、ブリッジ、またはその
何らかの組合せを決定する。図１９および２０を参照し
てさらに詳しく説明されるように、以下で説明されるよ
うな構成ファイルが使用されることによって、３つのタ
イプのコンピュータの各々の機能性を実現するための別
個のモジュールを含む単一のソフトウエアユーティリテ
ィプログラムが、システム１００中のすべてのコンピュ
ータで実行されることが可能になり、特定のコンピュー
タの機能性がその構成ファイルによって決定される。言
い換えれば、構成ファイルの１つの目的は、ソフトウエ
アユーティリティの３つのモジュールのうちどれをコン
ピュータが実行することになるかを特定することであ
る。
【００３６】この好ましい実施例では、♯ＣＯＮＦＩ
Ｇ．ＦＳＩは任意の数の利用可能なエディタを用いて編
集でき、アスタリスク（「* 」）の右側のいかなる文字
もコメントとして読出される。図２１に示されたよう
に、♯ＣＯＮＦＩＧ．ＦＳＩファイルは、ある名前の長
さおよびファイルの使用に関する他の情報に制限を与え
るコメントで始まる。
Ｇ．ＦＳＩは任意の数の利用可能なエディタを用いて編
集でき、アスタリスク（「* 」）の右側のいかなる文字
もコメントとして読出される。図２１に示されたよう
に、♯ＣＯＮＦＩＧ．ＦＳＩファイルは、ある名前の長
さおよびファイルの使用に関する他の情報に制限を与え
るコメントで始まる。
【００３７】次に、コンピュータネットワークに関連の
「ＮＥＴＷＯＲＫ」セクションがあり、ネットワークに
おけるコンピュータの数（１ないし２０）、各コンピュ
ータについての情報、レシピのバックアップコピーがス
トアされるべきコンピュータ、レシピをプリントするた
めの、プリンタ１０７ｂなどのプリンタを有するコンピ
ュータ、および外部ホストへのメッセージルータ（大
抵、ブリッジコンピュータ）として用いられるコンピュ
ータの番号に関する情報が含まれる。例示的なＮＥＴＷ
ＯＲＫセクションは図２２に示されている。
「ＮＥＴＷＯＲＫ」セクションがあり、ネットワークに
おけるコンピュータの数（１ないし２０）、各コンピュ
ータについての情報、レシピのバックアップコピーがス
トアされるべきコンピュータ、レシピをプリントするた
めの、プリンタ１０７ｂなどのプリンタを有するコンピ
ュータ、および外部ホストへのメッセージルータ（大
抵、ブリッジコンピュータ）として用いられるコンピュ
ータの番号に関する情報が含まれる。例示的なＮＥＴＷ
ＯＲＫセクションは図２２に示されている。
【００３８】図２３に示されているように、「ＤＡＴＡ
ＣＡＰＴＵＲＥ」セクションは、データキャプチャに
関連し、データキャプチャディスクおよびディレクト
リ、データキャプチャに用いられ得ないデータキャプチ
ャディスクのディスクスペースの量、秒単位のディスク
へのデータキャプチャセーブの速度、キーワード「ＡＲ
ＣＨＩＶＥ」、ならびにアーカイブディレクトリ経路を
識別するための情報を含む。特に、データキャプチャ速
度により、ユーザは、データが各プロセッサから「キャ
プチャされる」周波数を決定することができ、それによ
って、システム１００を使って生み出されるであろうグ
ラフの解像度が決定され、特定される（秒単位の）デー
タキャプチャ速度が低下すればするほど、グラフは正確
になる。典型的なデータキャプチャ速度は、２秒ないし
３秒である。
ＣＡＰＴＵＲＥ」セクションは、データキャプチャに
関連し、データキャプチャディスクおよびディレクト
リ、データキャプチャに用いられ得ないデータキャプチ
ャディスクのディスクスペースの量、秒単位のディスク
へのデータキャプチャセーブの速度、キーワード「ＡＲ
ＣＨＩＶＥ」、ならびにアーカイブディレクトリ経路を
識別するための情報を含む。特に、データキャプチャ速
度により、ユーザは、データが各プロセッサから「キャ
プチャされる」周波数を決定することができ、それによ
って、システム１００を使って生み出されるであろうグ
ラフの解像度が決定され、特定される（秒単位の）デー
タキャプチャ速度が低下すればするほど、グラフは正確
になる。典型的なデータキャプチャ速度は、２秒ないし
３秒である。
【００３９】次に、図２４に示されているように、「Ｃ
ＯＭＭＵＮＩＣＡＴＩＯＮＳ」セクションは、通信情報
に関連し、特定的には、ボーレート（デフォルト９６０
０）、パリティ（デフォルトＮ）、データビット（デフ
ォルト８）およびストップビット（デフォルト１）を含
むプロセッサ通信情報ならびに、ボーレート（デフォル
ト９６００）、パリティ（デフォルトＮ）、データビッ
ト（デフォルト８）およびストップビット（デフォルト
１）を含む上流ホスト通信情報に関連する。
ＯＭＭＵＮＩＣＡＴＩＯＮＳ」セクションは、通信情報
に関連し、特定的には、ボーレート（デフォルト９６０
０）、パリティ（デフォルトＮ）、データビット（デフ
ォルト８）およびストップビット（デフォルト１）を含
むプロセッサ通信情報ならびに、ボーレート（デフォル
ト９６００）、パリティ（デフォルトＮ）、データビッ
ト（デフォルト８）およびストップビット（デフォルト
１）を含む上流ホスト通信情報に関連する。
【００４０】図２５に示されるように、「ＰＡＲＡＭＥ
ＴＥＲＳ」と指定された次のセクションは、フローシス
テム情報に関連し、７つの薬品フローのテーブルにおい
て、各薬品毎の、薬品名、（ＦＳＩマニュアルに示され
たような）薬品コード番号、薬品フローの最大範囲、お
よびユニットを含む。好ましい実施例では、フローシス
テム７が、ＤＩ水システムとして指定される。
ＴＥＲＳ」と指定された次のセクションは、フローシス
テム情報に関連し、７つの薬品フローのテーブルにおい
て、各薬品毎の、薬品名、（ＦＳＩマニュアルに示され
たような）薬品コード番号、薬品フローの最大範囲、お
よびユニットを含む。好ましい実施例では、フローシス
テム７が、ＤＩ水システムとして指定される。
【００４１】図２６に示されるように、次のセクション
は、パラメータ名、パラメータ最大値およびパラメータ
ユニットを含む、システムによってモニタされた５つま
での他のパラメータのテーブルを含む。パラメータは、
テーブルにおいて固定された位置を占有し、ＲＰＭ（タ
ーンテーブル ＲＰＭ）、ＨｏｔＨ２０（熱湯温度）、
Ｅｔｃｈ Ｐｒｏｂｅ（エッチプローブ／スプレー後温
度）、Ａｎａｌｏｇ−１（スペアシステム入力）、およ
びＡｎａｌｏｇ−２（スペアシステム入力）を含む。パ
ラメータ名エントリにおける空白は、テーブルのその位
置に対応するパラメータは使用されていないことを示
す。
は、パラメータ名、パラメータ最大値およびパラメータ
ユニットを含む、システムによってモニタされた５つま
での他のパラメータのテーブルを含む。パラメータは、
テーブルにおいて固定された位置を占有し、ＲＰＭ（タ
ーンテーブル ＲＰＭ）、ＨｏｔＨ２０（熱湯温度）、
Ｅｔｃｈ Ｐｒｏｂｅ（エッチプローブ／スプレー後温
度）、Ａｎａｌｏｇ−１（スペアシステム入力）、およ
びＡｎａｌｏｇ−２（スペアシステム入力）を含む。パ
ラメータ名エントリにおける空白は、テーブルのその位
置に対応するパラメータは使用されていないことを示
す。
【００４２】最後に図２７に示されるように、ディジタ
ル入力セクションは、６個までのディジタル入力である
ＩＮＰＵＴＳと、モニタされるべき入力の番号とを含
む。
ル入力セクションは、６個までのディジタル入力である
ＩＮＰＵＴＳと、モニタされるべき入力の番号とを含
む。
【００４３】図４は、スプレープロセッサホストシステ
ム１００のオペレータインタフェースのフロー図２００
を示し、複数のラベル付けされたボックスは、エンジニ
アコンピュータ１０６のディスプレイ上の表示用のディ
スプレイスクリーンおよびウィンドウを表わす。
ム１００のオペレータインタフェースのフロー図２００
を示し、複数のラベル付けされたボックスは、エンジニ
アコンピュータ１０６のディスプレイ上の表示用のディ
スプレイスクリーンおよびウィンドウを表わす。
【００４４】スプレープロセッサホストシステムの開始
のとき、システム状態スクリーン２０２が、エンジニア
コンピュータ１０６のディスプレイ上でディスプレイさ
れる。例示的なシステム状態スクリーンが図５に示され
ている。この時点で、図５に示されたシステム状態スク
リーン２０２などの各スプレープロセッサホストシステ
ムスクリーンの上部には、タイトルライン３００があ
り、これは左から右に、スーパバイザコンピュータの名
前、この場合、「ＦＳＩ＿１」、スクリーンタイトル、
この場合、「ＦＳＩＨＯＳＴ ＳＹＳＴＥＭ ＳＴＡＴ
ＵＳ」、ならびに現在の日付および時間、この場合、
「０９−０７−９４ １０：５７：５３」を示す。各ス
クリーンの下部には、「ＫＥＹＳ ＡＣＴＩＶＥ」とラ
ベル付けされたキー定義セクション３０４がある。その
ラベルからわかるように、キー定義セクションは、スク
リーンのためのアクティブキーのリストを含み、アクテ
ィブキーは、スクリーンおよび現在のセキュリティレベ
ルで変化することが理解される。
のとき、システム状態スクリーン２０２が、エンジニア
コンピュータ１０６のディスプレイ上でディスプレイさ
れる。例示的なシステム状態スクリーンが図５に示され
ている。この時点で、図５に示されたシステム状態スク
リーン２０２などの各スプレープロセッサホストシステ
ムスクリーンの上部には、タイトルライン３００があ
り、これは左から右に、スーパバイザコンピュータの名
前、この場合、「ＦＳＩ＿１」、スクリーンタイトル、
この場合、「ＦＳＩＨＯＳＴ ＳＹＳＴＥＭ ＳＴＡＴ
ＵＳ」、ならびに現在の日付および時間、この場合、
「０９−０７−９４ １０：５７：５３」を示す。各ス
クリーンの下部には、「ＫＥＹＳ ＡＣＴＩＶＥ」とラ
ベル付けされたキー定義セクション３０４がある。その
ラベルからわかるように、キー定義セクションは、スク
リーンのためのアクティブキーのリストを含み、アクテ
ィブキーは、スクリーンおよび現在のセキュリティレベ
ルで変化することが理解される。
【００４５】さらに、あるキーは、すべてのスクリーン
にわたって特定の機能を保持し、これらは、あるエント
リフィールドから別のエントリフィールドへ移動するた
めに使用される矢印キー、アイテムのリストの最終ペー
ジに移る＜ＥＮＤ＞、リストから情報を選択するかまた
は入力フィールドへのデータの入力を終了する＜ＥＮＴ
ＥＲ＞または＜ＲＥＴＵＲＮ＞、現在のスクリーンから
前のスクリーンにまたはシステム状態スクリーン２０２
に退出する＜ＥＳＣ＞、リストの次のページを見る＜Ｐ
Ｇ ＤＮ＞、リストの前のページを見る＜ＰＧ ＵＰ
＞、エントリのリストから特定のエントリを選択するか
またはハイライトする＜＋＞、およびデータキャプチャ
グラフをプリントする＜ＰＲＴ ＳＣＲＮ＞を含む。
にわたって特定の機能を保持し、これらは、あるエント
リフィールドから別のエントリフィールドへ移動するた
めに使用される矢印キー、アイテムのリストの最終ペー
ジに移る＜ＥＮＤ＞、リストから情報を選択するかまた
は入力フィールドへのデータの入力を終了する＜ＥＮＴ
ＥＲ＞または＜ＲＥＴＵＲＮ＞、現在のスクリーンから
前のスクリーンにまたはシステム状態スクリーン２０２
に退出する＜ＥＳＣ＞、リストの次のページを見る＜Ｐ
Ｇ ＤＮ＞、リストの前のページを見る＜ＰＧ ＵＰ
＞、エントリのリストから特定のエントリを選択するか
またはハイライトする＜＋＞、およびデータキャプチャ
グラフをプリントする＜ＰＲＴ ＳＣＲＮ＞を含む。
【００４６】システム状態スクリーン２０２は、８個ま
でのプロセッサ／スーパバイザコンピュータの各々に関
する状態情報を示す。タイトルライン３００の下には、
「ＦＳＩ」とラベル付けされたフィールドにおけるプロ
セッサ名と、「ＳＴＥＰ」とラベル付けされたフィール
ドにおける実行中のレシピステップと、「ＲＥＣＩＰ
Ｅ」とラベル付けされたフィールドにおけるレシピ番号
およびレシピ名と、「ＳＴＡＴＵＳ」とラベル付けされ
たフィールドにおけるプロセッサ状態と、「ＯＷＮＥ
Ｒ」とラベル付けされたフィールドにおけるプロセッサ
オーナーと、「ＥＮＤ ＴＩＭＥ」とラベル付けされた
フィールドにおいて現在のレシピの実行が終了する日時
とを含む、各プロセッサ１０についての情報がある。プ
ロセッサ状態は、プロセッサ１０が何の機能も行なって
いなければ「ＩＤＬＥ」として、プロセッサ１０が新し
い状態に変わる用意をしているところならば「ＳＥＴＵ
Ｐ」として、プロセッサ１０がレシピを実行中であるな
らば「ＥＸＥＣＵＴＩＮＧ」として、プロセッサ１０が
キャニスタをオートフィルするというようなタスクを行
なっているならば「ＢＵＳＹ」として、アラーム条件が
存在しているならば「ＷＡＳＨＤＯＷＮ」として、プロ
セッサ１０がアラーム条件を処置しているか、または蓋
を開けたり閉めたりするなどの手動機能が行なわれてい
るところならば「ＰＡＵＳＥ」としてリストされる。
でのプロセッサ／スーパバイザコンピュータの各々に関
する状態情報を示す。タイトルライン３００の下には、
「ＦＳＩ」とラベル付けされたフィールドにおけるプロ
セッサ名と、「ＳＴＥＰ」とラベル付けされたフィール
ドにおける実行中のレシピステップと、「ＲＥＣＩＰ
Ｅ」とラベル付けされたフィールドにおけるレシピ番号
およびレシピ名と、「ＳＴＡＴＵＳ」とラベル付けされ
たフィールドにおけるプロセッサ状態と、「ＯＷＮＥ
Ｒ」とラベル付けされたフィールドにおけるプロセッサ
オーナーと、「ＥＮＤ ＴＩＭＥ」とラベル付けされた
フィールドにおいて現在のレシピの実行が終了する日時
とを含む、各プロセッサ１０についての情報がある。プ
ロセッサ状態は、プロセッサ１０が何の機能も行なって
いなければ「ＩＤＬＥ」として、プロセッサ１０が新し
い状態に変わる用意をしているところならば「ＳＥＴＵ
Ｐ」として、プロセッサ１０がレシピを実行中であるな
らば「ＥＸＥＣＵＴＩＮＧ」として、プロセッサ１０が
キャニスタをオートフィルするというようなタスクを行
なっているならば「ＢＵＳＹ」として、アラーム条件が
存在しているならば「ＷＡＳＨＤＯＷＮ」として、プロ
セッサ１０がアラーム条件を処置しているか、または蓋
を開けたり閉めたりするなどの手動機能が行なわれてい
るところならば「ＰＡＵＳＥ」としてリストされる。
【００４７】スクリーン２０２の中央には、上で名前が
ハイライトされるプロセッサ１０に関する１行の状態メ
ッセージ３０２がある。ハイライトされたプロセッサ１
０の状態がＥＸＥＣＵＴＩＮＧであるときの状態メッセ
ージ３０２のフォーマットは、以下のとおりである。す
なわち、 レシピ：「レシピ名」（「レシピ番号」）；ステップ時
間＝「ｓｓｓ」秒；残りの時間＝「ｍｍ」：「ｓｓ」 他の場合、状態メッセージ３０２は単に以下のように読
める。すなわち、 「プロセッサ名」＝「状態」 ここで、「プロセッサ名」は、ハイライトされたプロセ
ッサの名前であり、「状態」は、上でリストされたよう
なその状態である。
ハイライトされるプロセッサ１０に関する１行の状態メ
ッセージ３０２がある。ハイライトされたプロセッサ１
０の状態がＥＸＥＣＵＴＩＮＧであるときの状態メッセ
ージ３０２のフォーマットは、以下のとおりである。す
なわち、 レシピ：「レシピ名」（「レシピ番号」）；ステップ時
間＝「ｓｓｓ」秒；残りの時間＝「ｍｍ」：「ｓｓ」 他の場合、状態メッセージ３０２は単に以下のように読
める。すなわち、 「プロセッサ名」＝「状態」 ここで、「プロセッサ名」は、ハイライトされたプロセ
ッサの名前であり、「状態」は、上でリストされたよう
なその状態である。
【００４８】図４および５を参照して、システム状態ス
クリーン２０２から＜Ｆ１＞を押すと、ヘルプウィンド
ウ２０４が生成され、その中でスプレープロセッサホス
トシステムの使用に関する情報がディスプレイされる。
＜ＣＴＲＬ＞および＜Ｆ１＞を同時に押すと（以下で
「＜ＣＴＲＬ−Ｆ１＞」として表わされる）、変更セキ
ュリティレベルウィンドウ２０６のディスプレイが生
じ、オペレータはシステムのセキュリティレベルを変更
することができる。＜Ｆ２＞を押すと、図６を参照して
以下でさらに詳しく説明されるように、選択されたプロ
セッサに関する明細スクリーン２０８のディスプレイが
生じる。＜Ｆ３＞を押すと、変更オーナーウィンドウ２
１０が生成され、オペレータは選択されたプロセッサの
オーナーを変更することができる。＜Ｆ６＞を押すと、
図７を参照して以下でさらに詳しく説明されるように、
ビューレシピスクリーン２１２のディスプレイが生じ
る。＜Ｆ７＞を押すと、図１０を参照して以下でさらに
詳しく説明されるように、レシピディレクトリスクリー
ン２１４のディスプレイが生じる。＜Ｆ８＞を押すと、
図１１を参照して以下でさらに詳しく説明されるよう
に、イベントログスクリーン２１６のディスプレイが生
じる。＜Ｆ１１＞を押すと、図１２を参照して以下でさ
らに詳しく説明されるように、データキャプチャ状態ス
クリーン２１８のディスプレイが生じる。最後に、＜Ｃ
ＴＲＬ−Ｆ１２＞を押すと、「終了プログラム」ウィン
ドウ２２０のディスプレイが生じ、オペレータが実際に
スプレープロセッサホストシステムから退出したいかど
うかを入力することを促す。＜Ｙ＞または＜Ｆ１２＞を
押すと、スプレープロセッサホストシステムの実行は終
了する。他のいかなるキーを押しても、オペレータはシ
ステム状態スクリーン２０２に戻る。
クリーン２０２から＜Ｆ１＞を押すと、ヘルプウィンド
ウ２０４が生成され、その中でスプレープロセッサホス
トシステムの使用に関する情報がディスプレイされる。
＜ＣＴＲＬ＞および＜Ｆ１＞を同時に押すと（以下で
「＜ＣＴＲＬ−Ｆ１＞」として表わされる）、変更セキ
ュリティレベルウィンドウ２０６のディスプレイが生
じ、オペレータはシステムのセキュリティレベルを変更
することができる。＜Ｆ２＞を押すと、図６を参照して
以下でさらに詳しく説明されるように、選択されたプロ
セッサに関する明細スクリーン２０８のディスプレイが
生じる。＜Ｆ３＞を押すと、変更オーナーウィンドウ２
１０が生成され、オペレータは選択されたプロセッサの
オーナーを変更することができる。＜Ｆ６＞を押すと、
図７を参照して以下でさらに詳しく説明されるように、
ビューレシピスクリーン２１２のディスプレイが生じ
る。＜Ｆ７＞を押すと、図１０を参照して以下でさらに
詳しく説明されるように、レシピディレクトリスクリー
ン２１４のディスプレイが生じる。＜Ｆ８＞を押すと、
図１１を参照して以下でさらに詳しく説明されるよう
に、イベントログスクリーン２１６のディスプレイが生
じる。＜Ｆ１１＞を押すと、図１２を参照して以下でさ
らに詳しく説明されるように、データキャプチャ状態ス
クリーン２１８のディスプレイが生じる。最後に、＜Ｃ
ＴＲＬ−Ｆ１２＞を押すと、「終了プログラム」ウィン
ドウ２２０のディスプレイが生じ、オペレータが実際に
スプレープロセッサホストシステムから退出したいかど
うかを入力することを促す。＜Ｙ＞または＜Ｆ１２＞を
押すと、スプレープロセッサホストシステムの実行は終
了する。他のいかなるキーを押しても、オペレータはシ
ステム状態スクリーン２０２に戻る。
【００４９】図６は、明細スクリーン２０８の図であ
る。図６に示されたように、明細スクリーン２０８は選
択されたプロセッサに関する処理情報を示す。上述され
たように、明細スクリーンは、システム状態スクリーン
２０２からプロセッサ１０を選択して＜Ｆ２＞を押すこ
とによってディスプレイされる。明細スクリーン上の情
報は、レシピが実行している間に、周期的にたとえば１
秒当り１回のオーダで、更新される。明細スクリーンの
タイトルラインの下には、１行の状態メッセージ４００
があり、そのフォーマットおよび内容は、システム状態
スクリーン２０２の状態メッセージ３０２と同様であ
る。
る。図６に示されたように、明細スクリーン２０８は選
択されたプロセッサに関する処理情報を示す。上述され
たように、明細スクリーンは、システム状態スクリーン
２０２からプロセッサ１０を選択して＜Ｆ２＞を押すこ
とによってディスプレイされる。明細スクリーン上の情
報は、レシピが実行している間に、周期的にたとえば１
秒当り１回のオーダで、更新される。明細スクリーンの
タイトルラインの下には、１行の状態メッセージ４００
があり、そのフォーマットおよび内容は、システム状態
スクリーン２０２の状態メッセージ３０２と同様であ
る。
【００５０】状態メッセージ４００の下には、現在実行
中のレシピステップ番号、この場合、「１６」と、現在
の薬品フロー情報を示す薬品テーブル４０２とがある。
特定のスーパバイザの構成ファイルにおいて指定される
ように、テーブル４０２の「ＣＨＥＭＩＣＡＬ」列は
（８種までの）処理薬品をリストする。構成ファイルの
フォーマットおよび内容は、上で詳しく説明された。テ
ーブル４０２における薬品の順序および位置は、各位置
がフローシステムに対応するので、重要である。たとえ
ば、図示された明細スクリーン２０８はＤＩを７番目の
位置にリストする。なぜならそれは７番目のフローシス
テムに接続されているからである。
中のレシピステップ番号、この場合、「１６」と、現在
の薬品フロー情報を示す薬品テーブル４０２とがある。
特定のスーパバイザの構成ファイルにおいて指定される
ように、テーブル４０２の「ＣＨＥＭＩＣＡＬ」列は
（８種までの）処理薬品をリストする。構成ファイルの
フォーマットおよび内容は、上で詳しく説明された。テ
ーブル４０２における薬品の順序および位置は、各位置
がフローシステムに対応するので、重要である。たとえ
ば、図示された明細スクリーン２０８はＤＩを７番目の
位置にリストする。なぜならそれは７番目のフローシス
テムに接続されているからである。
【００５１】「ＭＡＸ」および「ＵＮＩＴＳ」列は一緒
に、各薬品に対して許容される最大値を特定する。これ
らの値は、スーパバイザの構成ファイルにおけるシステ
ムマネージャーによって特定される。「ＳＥＴ ＰＴ」
列は、アクティブレシピにおいて特定される出力設定ポ
イントを示し、パーセンテージではなく実際の値であ
る。「ＲＥＡＤ ＯＵＴ」列は、最も新しいデータ読取
のときにプロセッサ１０によって報告されたような出力
値を示す。ここでもまた、これらはパーセンテージでは
なく実際の値である。「ＶＡＬＵＥ」列は、出力フロー
がオンであるかまたはオフであるかを示す。
に、各薬品に対して許容される最大値を特定する。これ
らの値は、スーパバイザの構成ファイルにおけるシステ
ムマネージャーによって特定される。「ＳＥＴ ＰＴ」
列は、アクティブレシピにおいて特定される出力設定ポ
イントを示し、パーセンテージではなく実際の値であ
る。「ＲＥＡＤ ＯＵＴ」列は、最も新しいデータ読取
のときにプロセッサ１０によって報告されたような出力
値を示す。ここでもまた、これらはパーセンテージでは
なく実際の値である。「ＶＡＬＵＥ」列は、出力フロー
がオンであるかまたはオフであるかを示す。
【００５２】テーブル４０２の隣にあるグラフ４０４
は、「ＯＮ」値を有する各薬品に対するパーセント偏差
またはパーセントフルスケールを示す。＜Ｆ２＞を押す
と、２つのタイプの情報間がトグルされる。図６に示さ
れた「パーセント偏差グラフ」は、−４パーセントから
＋４パーセントまでの、設定ポイントと読出値との間の
偏差を示し、それによって処理動作における起こり得る
エラーの迅速な識別が可能になる。「パーセントフルス
ケール」グラフ（図示せず）は、「パーセント偏差グラ
フ」のフォーマットと同様のフォーマットで読出値を最
大フロー値のパーセンテージとして示す。
は、「ＯＮ」値を有する各薬品に対するパーセント偏差
またはパーセントフルスケールを示す。＜Ｆ２＞を押す
と、２つのタイプの情報間がトグルされる。図６に示さ
れた「パーセント偏差グラフ」は、−４パーセントから
＋４パーセントまでの、設定ポイントと読出値との間の
偏差を示し、それによって処理動作における起こり得る
エラーの迅速な識別が可能になる。「パーセントフルス
ケール」グラフ（図示せず）は、「パーセント偏差グラ
フ」のフォーマットと同様のフォーマットで読出値を最
大フロー値のパーセンテージとして示す。
【００５３】薬品テーブル４０２の下には、パラメータ
テーブル４０６がある。薬品に関して、各パラメータが
その最大値、ユニット、設定ポイント、および読出値で
パラメータテーブル４０６にリストされている。スプレ
ープロセッサホストシステムは以下のパラメータを支持
する。すなわち、ターンテーブル情報のためにオペレー
タによって規定された名前である「ＲＰＭ」、ＤＩ水ヒ
ータ温度である「ＨＯＴ Ｈ２Ｏ」、スプレー後温度で
ある「Ｅｔｃｈ Ｐｒｏｂｅ」、オペレータによって規
定された示度である「Ａｎａｌｏｇ−１」および「Ａｎ
ａｌｏｇ−２」がある。
テーブル４０６がある。薬品に関して、各パラメータが
その最大値、ユニット、設定ポイント、および読出値で
パラメータテーブル４０６にリストされている。スプレ
ープロセッサホストシステムは以下のパラメータを支持
する。すなわち、ターンテーブル情報のためにオペレー
タによって規定された名前である「ＲＰＭ」、ＤＩ水ヒ
ータ温度である「ＨＯＴ Ｈ２Ｏ」、スプレー後温度で
ある「Ｅｔｃｈ Ｐｒｏｂｅ」、オペレータによって規
定された示度である「Ａｎａｌｏｇ−１」および「Ａｎ
ａｌｏｇ−２」がある。
【００５４】グラフ４０４の下で、ボックス４０８は
「動作カウント」および「洗い流し」に関する値を示
す。「動作カウント」は、動作カウントが最後にクリア
された以降の処理動作の数を示す。この値はプロセッサ
１０から入手可能であり、メンテナンスをスケジュール
するために用いられ得る。「洗い流し」は、アラームか
らの回復に必要な洗い流し時間量である、すなわち、現
在の処理ステップを停止し、アラームに応答してウエハ
を完全にすすぐのにかかる時間量である。パラメータテ
ーブル４０６の下には、どの入力がオン（１）であり、
どの入力がオフ（０）であるかを示す一連の８個のｓお
よび／または０である「ＩＮＰＵＴＳ」、ステップ番
号、ステップ時間、ターンテーブル速度、およびアクテ
ィブ出力のリストの点から現在のレシピステップを示す
「ＰＲＯＣＥＳＳ」、ならびに赤でアクティブアラーム
の数をリストする「ＡＣＴＩＶＥ ＡＬＡＲＭＳ」を含
む、さらに３つのアイテムの情報がある。詳しいアラー
ム情報が別個のアラームスクリーン（図８）上にディス
プレイされる。
「動作カウント」および「洗い流し」に関する値を示
す。「動作カウント」は、動作カウントが最後にクリア
された以降の処理動作の数を示す。この値はプロセッサ
１０から入手可能であり、メンテナンスをスケジュール
するために用いられ得る。「洗い流し」は、アラームか
らの回復に必要な洗い流し時間量である、すなわち、現
在の処理ステップを停止し、アラームに応答してウエハ
を完全にすすぐのにかかる時間量である。パラメータテ
ーブル４０６の下には、どの入力がオン（１）であり、
どの入力がオフ（０）であるかを示す一連の８個のｓお
よび／または０である「ＩＮＰＵＴＳ」、ステップ番
号、ステップ時間、ターンテーブル速度、およびアクテ
ィブ出力のリストの点から現在のレシピステップを示す
「ＰＲＯＣＥＳＳ」、ならびに赤でアクティブアラーム
の数をリストする「ＡＣＴＩＶＥ ＡＬＡＲＭＳ」を含
む、さらに３つのアイテムの情報がある。詳しいアラー
ム情報が別個のアラームスクリーン（図８）上にディス
プレイされる。
【００５５】明細スクリーン２０８から、前に説明され
たように、＜Ｆ２＞を押すと、図４においてスクリーン
ブロック２２２において表わされるように、「パーセン
ト偏差」と「パーセントフルスケール」との間でグラフ
４０４がトグルされる。一旦グラフ４０４がトグルされ
ると、オペレータは自動的に明細スクリーン２０８に戻
る。＜Ｆ４＞を押すと、オペレータは、テストされた生
産レシピを含む生産ライブラリおよびテストレシピを含
むエンジニアリングライブラリを含む、スーパバイザ１
０２などのスーパバイザの各々上のスプレープロセッサ
ホストシステムによって維持された、２つのライブラリ
のいずれかから、レシピをダウンロードすることができ
る。レシピをダウンロードするために、オペレータは明
細スクリーン２０８から＜Ｆ４＞を押し、ダウンロード
ウィンドウ２２４をディスプレイし、その時点で、オペ
レータは＜Ｐ＞または＜ＲＥＴＵＲＮ＞を押して生産ラ
イブラリからレシピをダウンロードするか、または＜Ｅ
＞および＜ＲＥＴＵＲＮ＞を押してレシピをエンジニア
リングライブラリからダウンロードし得る。ライブラリ
を選択した後、オペレータはダウンロードされるべきレ
シピの番号を入力するように促されるが、この時点でオ
ペレータは＜ＥＳＣ＞を押すことで明細スクリーン２０
８に戻ることができる。
たように、＜Ｆ２＞を押すと、図４においてスクリーン
ブロック２２２において表わされるように、「パーセン
ト偏差」と「パーセントフルスケール」との間でグラフ
４０４がトグルされる。一旦グラフ４０４がトグルされ
ると、オペレータは自動的に明細スクリーン２０８に戻
る。＜Ｆ４＞を押すと、オペレータは、テストされた生
産レシピを含む生産ライブラリおよびテストレシピを含
むエンジニアリングライブラリを含む、スーパバイザ１
０２などのスーパバイザの各々上のスプレープロセッサ
ホストシステムによって維持された、２つのライブラリ
のいずれかから、レシピをダウンロードすることができ
る。レシピをダウンロードするために、オペレータは明
細スクリーン２０８から＜Ｆ４＞を押し、ダウンロード
ウィンドウ２２４をディスプレイし、その時点で、オペ
レータは＜Ｐ＞または＜ＲＥＴＵＲＮ＞を押して生産ラ
イブラリからレシピをダウンロードするか、または＜Ｅ
＞および＜ＲＥＴＵＲＮ＞を押してレシピをエンジニア
リングライブラリからダウンロードし得る。ライブラリ
を選択した後、オペレータはダウンロードされるべきレ
シピの番号を入力するように促されるが、この時点でオ
ペレータは＜ＥＳＣ＞を押すことで明細スクリーン２０
８に戻ることができる。
【００５６】明細スクリーン２０８から＜Ｆ６＞を押す
と、図７を参照して以下でさらに詳しく説明されるよう
に、「ビューレシピ」スクリーン２１２のディスプレイ
が生じる。明細スクリーン２０８から＜Ｆ７＞を押す
と、図４においてウィンドウブロック２２６によって表
わされたように、いかなるアクティブアラームもクリア
される。明細スクリーン２０８から＜Ｆ８＞を押すと、
図８においてさらに詳しく示されるように、アクティブ
アラームスクリーン２２８のディスプレイが生じるが、
このオプションは、実際にアクティブアラームがあると
きだけ利用可能であることが理解される。アクティブア
ラームスクリーン２２８から、オペレータは＜Ｆ６＞を
押すことによってアラーム直前のプロセッサ１０の状態
に関する情報を得ることもでき、これによって、図９に
さらに詳しく説明されているように、プリアラーム状態
スクリーン２３０のディスプレイが生じるが、このオプ
ションは実際にアクティブアラームがあるときだけ利用
可能であることが理解される。プリアラーム明細スクリ
ーンは、アラームが発生する直前の明細スクリーン２０
８の内容を含む。アクティブアラームスクリーン２２８
から、＜Ｆ７＞を押すと、図４においてウィンドウブロ
ック２３１によって表わされるように、すべてのアクテ
ィブアラームがクリアされる。
と、図７を参照して以下でさらに詳しく説明されるよう
に、「ビューレシピ」スクリーン２１２のディスプレイ
が生じる。明細スクリーン２０８から＜Ｆ７＞を押す
と、図４においてウィンドウブロック２２６によって表
わされたように、いかなるアクティブアラームもクリア
される。明細スクリーン２０８から＜Ｆ８＞を押すと、
図８においてさらに詳しく示されるように、アクティブ
アラームスクリーン２２８のディスプレイが生じるが、
このオプションは、実際にアクティブアラームがあると
きだけ利用可能であることが理解される。アクティブア
ラームスクリーン２２８から、オペレータは＜Ｆ６＞を
押すことによってアラーム直前のプロセッサ１０の状態
に関する情報を得ることもでき、これによって、図９に
さらに詳しく説明されているように、プリアラーム状態
スクリーン２３０のディスプレイが生じるが、このオプ
ションは実際にアクティブアラームがあるときだけ利用
可能であることが理解される。プリアラーム明細スクリ
ーンは、アラームが発生する直前の明細スクリーン２０
８の内容を含む。アクティブアラームスクリーン２２８
から、＜Ｆ７＞を押すと、図４においてウィンドウブロ
ック２３１によって表わされるように、すべてのアクテ
ィブアラームがクリアされる。
【００５７】明細スクリーン２０８から＜Ｆ９＞を押す
と、図４においてウィンドウブロック２３２によって表
わされるように、最後のリセット以降の処理動作の数の
情報を示す動作カウンタが０にリセットされる。最後
に、明細スクリーン２０８から＜Ｆ１１＞を押すと、デ
ータキャプチャウィンドウ２３４のディスプレイが生
じ、オペレータはキャプチャデータを停止または開始し
てキャプチャされたデータを検討することができる。デ
ータキャプチャウィンドウ２３４から、＜Ｖ＞を押す
と、図４においてウィンドウブロック２３６によって表
わされ以下でさらに詳しく説明されるように、オペレー
タはキャプチャされているところのデータを見ることが
でき、一方＜Ｓ＞を押すと、図４においてウィンドウブ
ロック２３８によって表わされるように、オペレータは
データキャプチャを停止することができる。
と、図４においてウィンドウブロック２３２によって表
わされるように、最後のリセット以降の処理動作の数の
情報を示す動作カウンタが０にリセットされる。最後
に、明細スクリーン２０８から＜Ｆ１１＞を押すと、デ
ータキャプチャウィンドウ２３４のディスプレイが生
じ、オペレータはキャプチャデータを停止または開始し
てキャプチャされたデータを検討することができる。デ
ータキャプチャウィンドウ２３４から、＜Ｖ＞を押す
と、図４においてウィンドウブロック２３６によって表
わされ以下でさらに詳しく説明されるように、オペレー
タはキャプチャされているところのデータを見ることが
でき、一方＜Ｓ＞を押すと、図４においてウィンドウブ
ロック２３８によって表わされるように、オペレータは
データキャプチャを停止することができる。
【００５８】システム状態スクリーン２０２から、＜Ｆ
３＞を押すと、変更オーナーウィンドウ２１０のディス
プレイが生じ、オペレータは選択されたプロセッサのオ
ーナーを変更することができる。好ましい実施例では、
利用可能なオーナーは、生産動作に関する「ＰＲＯ
Ｄ」、プロセッサメンテナンスに関する「ＭＡＩＮ
Ｔ」、適格性テスティングに関する「ＱＵＡＬ」、エン
ジニアリングによるテスティングに関する「ＥＮＧ」、
および予約に関する「ＲＳＶＤ」を含む。オーナーを変
更するために、オペレータは所望のオーナーがディスプ
レイされるまで単に＜＋＞を押すだけであり、、この時
点で、オペレータは＜ＲＥＴＵＲＮ＞を押してシステム
状態スクリーン２０２に戻る。
３＞を押すと、変更オーナーウィンドウ２１０のディス
プレイが生じ、オペレータは選択されたプロセッサのオ
ーナーを変更することができる。好ましい実施例では、
利用可能なオーナーは、生産動作に関する「ＰＲＯ
Ｄ」、プロセッサメンテナンスに関する「ＭＡＩＮ
Ｔ」、適格性テスティングに関する「ＱＵＡＬ」、エン
ジニアリングによるテスティングに関する「ＥＮＧ」、
および予約に関する「ＲＳＶＤ」を含む。オーナーを変
更するために、オペレータは所望のオーナーがディスプ
レイされるまで単に＜＋＞を押すだけであり、、この時
点で、オペレータは＜ＲＥＴＵＲＮ＞を押してシステム
状態スクリーン２０２に戻る。
【００５９】システム状態スクリーン２０２から＜Ｆ６
＞を押すと、オペレータは見られるべきレシピの番号を
入力するように促されるが、以下で説明されるように、
その番号がわからなければ、オペレータは＜Ｆ７＞を押
してレシピディレクトリ２１４（図１０）を用いること
によりその番号をつきとめ得ることが注目される。一旦
レシピ番号が入力されると、図７にさらに詳しく示され
るように、ビューレシピスクリーン２１２がディスプレ
イされる。図７に示されるように、各レシピステップご
とに、ステップ番号（０−９９）、（秒単位の）ステッ
プ持続時間、ターンテーブルＲＰＭ、および出力機能番
号が特定される。それらの番号の下には、それと同じ順
序で機能説明がある。図４でウィンドウブロック２４０
によって表わされるように、現在のレシピは＜ＡＬＴ−
Ｐ＞を押すことによってプリントされ得る。
＞を押すと、オペレータは見られるべきレシピの番号を
入力するように促されるが、以下で説明されるように、
その番号がわからなければ、オペレータは＜Ｆ７＞を押
してレシピディレクトリ２１４（図１０）を用いること
によりその番号をつきとめ得ることが注目される。一旦
レシピ番号が入力されると、図７にさらに詳しく示され
るように、ビューレシピスクリーン２１２がディスプレ
イされる。図７に示されるように、各レシピステップご
とに、ステップ番号（０−９９）、（秒単位の）ステッ
プ持続時間、ターンテーブルＲＰＭ、および出力機能番
号が特定される。それらの番号の下には、それと同じ順
序で機能説明がある。図４でウィンドウブロック２４０
によって表わされるように、現在のレシピは＜ＡＬＴ−
Ｐ＞を押すことによってプリントされ得る。
【００６０】システム状態スクリーン２０２から＜Ｆ７
＞を押すと、上で議論されたように、オペレータは生産
ライブラリまたはエンジニアリングライブラリいずれか
を選択するように促される。一旦適切なライブラリが選
択されると、図１０にさらに詳しく示されるように、レ
シピディレクトリスクリーン２１４がディスプレイされ
る。レシピディレクトリスクリーン２１４は、各レシピ
の番号および名前、そのエントリが生じたまたは変更さ
れた日付および時間、ならびに恐らくはコメントを示
す。レシピディレクトリスクリーン２１４から、＜Ｆ５
＞を押すと、レシピディレクトリ編集ウィンドウブロッ
ク２４２によって表わされるように、オペレータはレシ
ピディレクトリスクリーン２１４を編集することができ
る。その時点で、オペレータは＜Ｆ６＞を押して、ビュ
ーレシピスクリーンブロック２１２によって表わされる
ように、レシピを見て、＜Ｆ７＞を押して、「レシピ削
除ウィンドウブロック２４４によって表わされるよう
に、レシピを削除し、＜Ｆ８＞を押して、「レシピコピ
ーウィンドウ」ブロック２４６によって表わされるよう
に、レシピをコピーし得るが、見られるべきレシピ、削
除されるべきレシピ、またはコピーされるべきレシピ
は、オペレータが適切なレシピ番号を入力することによ
って指定されることが理解される。
＞を押すと、上で議論されたように、オペレータは生産
ライブラリまたはエンジニアリングライブラリいずれか
を選択するように促される。一旦適切なライブラリが選
択されると、図１０にさらに詳しく示されるように、レ
シピディレクトリスクリーン２１４がディスプレイされ
る。レシピディレクトリスクリーン２１４は、各レシピ
の番号および名前、そのエントリが生じたまたは変更さ
れた日付および時間、ならびに恐らくはコメントを示
す。レシピディレクトリスクリーン２１４から、＜Ｆ５
＞を押すと、レシピディレクトリ編集ウィンドウブロッ
ク２４２によって表わされるように、オペレータはレシ
ピディレクトリスクリーン２１４を編集することができ
る。その時点で、オペレータは＜Ｆ６＞を押して、ビュ
ーレシピスクリーンブロック２１２によって表わされる
ように、レシピを見て、＜Ｆ７＞を押して、「レシピ削
除ウィンドウブロック２４４によって表わされるよう
に、レシピを削除し、＜Ｆ８＞を押して、「レシピコピ
ーウィンドウ」ブロック２４６によって表わされるよう
に、レシピをコピーし得るが、見られるべきレシピ、削
除されるべきレシピ、またはコピーされるべきレシピ
は、オペレータが適切なレシピ番号を入力することによ
って指定されることが理解される。
【００６１】さらに、＜Ｆ９＞を押すと、図１３にさら
に詳しく示されるように、「レシピ付加または取替スク
リーン」２４８のディスプレイが生じる。好ましい実施
例では、マーキュリープロセッサの製造者によって提供
された、内部実現用のレシピを生成しかつ編集するため
の「マーキュリー（登録商標）オフラインエディタ」
（「ＭＯＥ」）プログラムを用いて、新しいレシピがシ
ステムに加えられる。ＭＯＥエディタは、その内蔵セー
フティチェックのためにレシピを生成するように用いら
れる。動作において、プロセッサ１０用のレシピを含む
フロッピィディスクがＭＯＥプログラムを実行するコン
ピュータ（図示せず）に挿入され、その時点でレシピは
既知の態様で編集または生成され得る。従来の技術で
は、レシピを含むディスクはプロセッサ１０に直接にレ
シピを入力するように用いられる。しかしながら、この
発明の特徴に従えば、プロセッサ１０による実行のため
のレシピはまた、関連のスーパバイザコンピュータ１０
２のハードドライブ１０３にストアされる。したがっ
て、レシピがＭＯＥを用いて生成または編集された後、
プロセッサ１０のレシピを含むディスクはスーパバイザ
コンピュータの適切なフロッピィドライブ（すなわち、
Ａ：またはＢ：）に挿入されて、＜Ｆ９＞が押される。
その時点で、ディスク上のすべてのレシピのリストがデ
ィスプレイされる。レシピを加えるために、選択された
レシピが矢印キーを用いてハイライトされ、その時点で
オペレータは＜ＥＮＴＥＲ＞を押して選択されたレシピ
を加える。そしてオペレータは、そのレシピのためのレ
シピ番号を入力するように促される。入力された番号が
現存するレシピと同じであれば、オペレータは、同じレ
シピ番号を有する現存するレシピが取替えられるべきか
どうかを尋ねられる。そして新しいレシピはレシピサブ
ディレクトリにコピーされ、その名前がレシピファイル
に加えられる。
に詳しく示されるように、「レシピ付加または取替スク
リーン」２４８のディスプレイが生じる。好ましい実施
例では、マーキュリープロセッサの製造者によって提供
された、内部実現用のレシピを生成しかつ編集するため
の「マーキュリー（登録商標）オフラインエディタ」
（「ＭＯＥ」）プログラムを用いて、新しいレシピがシ
ステムに加えられる。ＭＯＥエディタは、その内蔵セー
フティチェックのためにレシピを生成するように用いら
れる。動作において、プロセッサ１０用のレシピを含む
フロッピィディスクがＭＯＥプログラムを実行するコン
ピュータ（図示せず）に挿入され、その時点でレシピは
既知の態様で編集または生成され得る。従来の技術で
は、レシピを含むディスクはプロセッサ１０に直接にレ
シピを入力するように用いられる。しかしながら、この
発明の特徴に従えば、プロセッサ１０による実行のため
のレシピはまた、関連のスーパバイザコンピュータ１０
２のハードドライブ１０３にストアされる。したがっ
て、レシピがＭＯＥを用いて生成または編集された後、
プロセッサ１０のレシピを含むディスクはスーパバイザ
コンピュータの適切なフロッピィドライブ（すなわち、
Ａ：またはＢ：）に挿入されて、＜Ｆ９＞が押される。
その時点で、ディスク上のすべてのレシピのリストがデ
ィスプレイされる。レシピを加えるために、選択された
レシピが矢印キーを用いてハイライトされ、その時点で
オペレータは＜ＥＮＴＥＲ＞を押して選択されたレシピ
を加える。そしてオペレータは、そのレシピのためのレ
シピ番号を入力するように促される。入力された番号が
現存するレシピと同じであれば、オペレータは、同じレ
シピ番号を有する現存するレシピが取替えられるべきか
どうかを尋ねられる。そして新しいレシピはレシピサブ
ディレクトリにコピーされ、その名前がレシピファイル
に加えられる。
【００６２】システム状態スクリーン２０２から、＜Ｆ
８＞を押すと、図１１にさらに詳しく示されているよう
に、イベントログサーチスクリーン２１６のディスプレ
イが生じる。イベントログサーチスクリーン２１６か
ら、オペレータは、日付、時間、およびさまざまな他の
パラメータに関するサーチ基準を入力し得る。再び＜Ｆ
８＞を押すと、サーチが開始される。一旦サーチが完了
すると、図１４にさらに詳しく示されるように、サーチ
基準と一致するすべてのイベントを含むイベントログ２
５０がディスプレイされる。
８＞を押すと、図１１にさらに詳しく示されているよう
に、イベントログサーチスクリーン２１６のディスプレ
イが生じる。イベントログサーチスクリーン２１６か
ら、オペレータは、日付、時間、およびさまざまな他の
パラメータに関するサーチ基準を入力し得る。再び＜Ｆ
８＞を押すと、サーチが開始される。一旦サーチが完了
すると、図１４にさらに詳しく示されるように、サーチ
基準と一致するすべてのイベントを含むイベントログ２
５０がディスプレイされる。
【００６３】システム状態スクリーン２０２から、＜Ｆ
１１＞を押すと、図１２にさらに詳しく示されるよう
に、データキャプチャ状態スクリーン２１８のディスプ
レイが生じる。データキャプチャ状態スクリーン２１８
は、選択されたホストに関するデータキャプチャ情報を
示す。タイトルラインの下のメッセージは、データキャ
プチャの状態を示す。好ましい実施例では、データキャ
プチャがアクティブでなければ、ホスト番号および名前
の後に続くメッセージは、「データキャプチャはアクテ
ィブでない」となる。データキャプチャがアクティブで
あれば、メッセージは、データキャプチャファイルに関
する名前およびそれまでに書込まれた記録の数を示し、
たとえば、「データは書込まれた「ｈｍｍｄｄｑｑ．ｒ
ｒｒ，ｎｎｎ」記録にキャプチャされている」となる。
ファイル名は、ホスト番号（「ｈ」）、月（「ｍ
ｍ」）、日（「ｄｄ」）、動作のシーケンス（「ｒｒ
ｒ」）、およびレシピ番号（「ｎｎｎ」）を表わす。デ
ータキャプチャ状態スクリーン２１８から、オペレータ
は＜Ｆ７＞を押すことによって古いデータキャプチャフ
ァイルを削除することができ、＜Ｆ１０＞を押すことに
よって選択されたデータキャプチャファイルをサーチす
ることができ、＜Ｆ１１＞を押すことによってキャプチ
ャされたデータをグラフで示すことができる。
１１＞を押すと、図１２にさらに詳しく示されるよう
に、データキャプチャ状態スクリーン２１８のディスプ
レイが生じる。データキャプチャ状態スクリーン２１８
は、選択されたホストに関するデータキャプチャ情報を
示す。タイトルラインの下のメッセージは、データキャ
プチャの状態を示す。好ましい実施例では、データキャ
プチャがアクティブでなければ、ホスト番号および名前
の後に続くメッセージは、「データキャプチャはアクテ
ィブでない」となる。データキャプチャがアクティブで
あれば、メッセージは、データキャプチャファイルに関
する名前およびそれまでに書込まれた記録の数を示し、
たとえば、「データは書込まれた「ｈｍｍｄｄｑｑ．ｒ
ｒｒ，ｎｎｎ」記録にキャプチャされている」となる。
ファイル名は、ホスト番号（「ｈ」）、月（「ｍ
ｍ」）、日（「ｄｄ」）、動作のシーケンス（「ｒｒ
ｒ」）、およびレシピ番号（「ｎｎｎ」）を表わす。デ
ータキャプチャ状態スクリーン２１８から、オペレータ
は＜Ｆ７＞を押すことによって古いデータキャプチャフ
ァイルを削除することができ、＜Ｆ１０＞を押すことに
よって選択されたデータキャプチャファイルをサーチす
ることができ、＜Ｆ１１＞を押すことによってキャプチ
ャされたデータをグラフで示すことができる。
【００６４】オペレータが＜Ｆ７＞を押すことによっ
て、「データキャプチャ削除」ウィンドウ２５２のディ
スプレイが生じ、オペレータが削除されるべきキャプチ
ャファイルを、日付またはパーセンテージによって特定
するように促す。前に示されたように、このような手動
のファイル削除は、周期的なアーカイビングプロセスの
代替または補足となり得るものであるため、通常では実
現され得ないものである。データキャプチャ削除ウィン
ドウ２５２から＜Ｆ７＞を押すと、「日付による削除」
スクリーン２５４のディスプレイが生じ、オペレータは
特定された日付より古いデータキャプチャファイルを削
除することができる。オペレータは保持されるべき（す
なわち、削除されるべきではない）最も初期のファイル
の日付をタイプした後、＜Ｆ７＞を押すことによって、
選択された日付より古いすべてのファイルが削除され
る。データキャプチャ削除ウィンドウ２５２から＜Ｆ８
＞を押すことによって、「パーセントによる削除」スク
リーン２５６のディスプレイが生じ、オペレータはファ
イルによって占有されたあるパーセンテージのディスク
スペースが空になるまで最も古いファイルを削除するこ
とができる。好ましい実施例では、リクレームされるべ
きディスクスペースに対するデフォルト値は３０％であ
るが、オペレータは１ないし９９までのいかなるパーセ
ンテージ値も入力し得る。オペレータが削除されるべき
ファイルのパーセンテージをタイプした後、削除される
べきファイルのリストがディスプレイされる。リストさ
れたファイルのうちあるものは削除されるべきではない
とオペレータが判断すれば、このファイルは、その削除
の前にディスケットにセーブされるようにマークされ得
る。ファイルは、ファイルをハイライトして、矢印キー
を用いて、＜＋＞を押すことによって、マークされる。
オペレータは、マークされたファイルがセーブされるべ
きフォーマットされたディスクを挿入して、＜Ｆ７＞を
押してファイルの削除および／またはセービングを行な
う。ファイルが削除された後、リクレームされた全ディ
スクスペースおよびリクレームされたパーセンテージデ
ィスクスペースがディスプレイされる。
て、「データキャプチャ削除」ウィンドウ２５２のディ
スプレイが生じ、オペレータが削除されるべきキャプチ
ャファイルを、日付またはパーセンテージによって特定
するように促す。前に示されたように、このような手動
のファイル削除は、周期的なアーカイビングプロセスの
代替または補足となり得るものであるため、通常では実
現され得ないものである。データキャプチャ削除ウィン
ドウ２５２から＜Ｆ７＞を押すと、「日付による削除」
スクリーン２５４のディスプレイが生じ、オペレータは
特定された日付より古いデータキャプチャファイルを削
除することができる。オペレータは保持されるべき（す
なわち、削除されるべきではない）最も初期のファイル
の日付をタイプした後、＜Ｆ７＞を押すことによって、
選択された日付より古いすべてのファイルが削除され
る。データキャプチャ削除ウィンドウ２５２から＜Ｆ８
＞を押すことによって、「パーセントによる削除」スク
リーン２５６のディスプレイが生じ、オペレータはファ
イルによって占有されたあるパーセンテージのディスク
スペースが空になるまで最も古いファイルを削除するこ
とができる。好ましい実施例では、リクレームされるべ
きディスクスペースに対するデフォルト値は３０％であ
るが、オペレータは１ないし９９までのいかなるパーセ
ンテージ値も入力し得る。オペレータが削除されるべき
ファイルのパーセンテージをタイプした後、削除される
べきファイルのリストがディスプレイされる。リストさ
れたファイルのうちあるものは削除されるべきではない
とオペレータが判断すれば、このファイルは、その削除
の前にディスケットにセーブされるようにマークされ得
る。ファイルは、ファイルをハイライトして、矢印キー
を用いて、＜＋＞を押すことによって、マークされる。
オペレータは、マークされたファイルがセーブされるべ
きフォーマットされたディスクを挿入して、＜Ｆ７＞を
押してファイルの削除および／またはセービングを行な
う。ファイルが削除された後、リクレームされた全ディ
スクスペースおよびリクレームされたパーセンテージデ
ィスクスペースがディスプレイされる。
【００６５】データキャプチャ状態スクリーン２１８か
ら、＜Ｆ１０＞を押すと、データキャプチャサーチスク
リーン２５８のディスプレイが生じ、これは図１５にさ
らに詳しく示されている。その時点で、オペレータは、
そのバンク番号、月、日、シーケンス番号、およびレシ
ピ番号を特定することによって、どのファイルがリスト
されるべきかに関する情報を入力し得る。一旦サーチ基
準が入力された後＜Ｆ１１＞を押すと、図１６にさらに
詳しく示されているように、サーチ基準と一致するファ
イルのリストを含むファイルリストスクリーン２６０の
ディスプレイが生じる。ファイルリストスクリーン２６
０から、オペレータは、データキャプチャファイルに含
まれたデータを以下の３つの方法のうち１つの方法でグ
ラフで示し得る。つまり、１つには、ファイルリストス
クリーン上のファイルのいずれをもを選択せずに、オペ
レータは＜Ｆ１１＞を押してグラフで示されるべきファ
イルの名前を特定し得る。代替的には、オペレータはス
クリーン２６０から単一のファイルを選択して＜Ｆ１１
＞を押してそのファイルをグラフで示し得る。最後に、
オペレータはスクリーン２６０から２つのファイルを選
択して＜Ｆ１１＞を押してファイルをグラフで示し得
る。
ら、＜Ｆ１０＞を押すと、データキャプチャサーチスク
リーン２５８のディスプレイが生じ、これは図１５にさ
らに詳しく示されている。その時点で、オペレータは、
そのバンク番号、月、日、シーケンス番号、およびレシ
ピ番号を特定することによって、どのファイルがリスト
されるべきかに関する情報を入力し得る。一旦サーチ基
準が入力された後＜Ｆ１１＞を押すと、図１６にさらに
詳しく示されているように、サーチ基準と一致するファ
イルのリストを含むファイルリストスクリーン２６０の
ディスプレイが生じる。ファイルリストスクリーン２６
０から、オペレータは、データキャプチャファイルに含
まれたデータを以下の３つの方法のうち１つの方法でグ
ラフで示し得る。つまり、１つには、ファイルリストス
クリーン上のファイルのいずれをもを選択せずに、オペ
レータは＜Ｆ１１＞を押してグラフで示されるべきファ
イルの名前を特定し得る。代替的には、オペレータはス
クリーン２６０から単一のファイルを選択して＜Ｆ１１
＞を押してそのファイルをグラフで示し得る。最後に、
オペレータはスクリーン２６０から２つのファイルを選
択して＜Ｆ１１＞を押してファイルをグラフで示し得
る。
【００６６】好ましい実施例では、データのリアルタイ
ムグラフ処理が以下のとおり達成される。データがスー
パバイザコンピュータによって収集されデータキャプチ
ャファイルにストアされている間に、それはまた、スー
パバイザおよび／またはエンジニアリングコンピュータ
のディスプレイ上にディスプレイされ得る。ユーザはス
ーパバイザの構成ファイルにおいてデータキャプチャ速
度を特定し得る。
ムグラフ処理が以下のとおり達成される。データがスー
パバイザコンピュータによって収集されデータキャプチ
ャファイルにストアされている間に、それはまた、スー
パバイザおよび／またはエンジニアリングコンピュータ
のディスプレイ上にディスプレイされ得る。ユーザはス
ーパバイザの構成ファイルにおいてデータキャプチャ速
度を特定し得る。
【００６７】オペレータは、上述されたように、データ
キャプチャファイルをまずサーチするか、またはデータ
キャプチャ状態スクリーン２１８から＜Ｆ１１＞を押す
かによって、キャプチャされたデータのグラフを作成し
得る。データキャプチャ状態スクリーン２１８からまた
はファイルリストスクリーン２６０から＜Ｆ１１＞を押
すと、図１７にさらに詳しく示されるように、データキ
ャプチャパラメータスクリーン２６２のディスプレイが
生じる。この発明の好ましい実施例では、各グラフは、
フローシステムおよび他のパラメータを表わす６つまで
のプロットを含み得る。オペレータは単一のファイルか
らの、または比較のために２つのファイルからの、パラ
メータをグラフで示し得る。オペレータは、データキャ
プチャパラメータスクリーン２６２を用いてプロットさ
れるべきパラメータを、プロットされるべき各パラメー
タの隣の番号をタイプすることによって選択する。一旦
パラメータが選ばれると、＜Ｆ１１＞を押すことによっ
て、選択されたファイルに関する選択されたパラメータ
のグラフスクリーン２６４がディスプレイされる。図１
７に示されるようなデータキャプチャパラメータスクリ
ーン２６２に対応する２つのグラフを含む代表的なグラ
フスクリーンが図１８に示されている。
キャプチャファイルをまずサーチするか、またはデータ
キャプチャ状態スクリーン２１８から＜Ｆ１１＞を押す
かによって、キャプチャされたデータのグラフを作成し
得る。データキャプチャ状態スクリーン２１８からまた
はファイルリストスクリーン２６０から＜Ｆ１１＞を押
すと、図１７にさらに詳しく示されるように、データキ
ャプチャパラメータスクリーン２６２のディスプレイが
生じる。この発明の好ましい実施例では、各グラフは、
フローシステムおよび他のパラメータを表わす６つまで
のプロットを含み得る。オペレータは単一のファイルか
らの、または比較のために２つのファイルからの、パラ
メータをグラフで示し得る。オペレータは、データキャ
プチャパラメータスクリーン２６２を用いてプロットさ
れるべきパラメータを、プロットされるべき各パラメー
タの隣の番号をタイプすることによって選択する。一旦
パラメータが選ばれると、＜Ｆ１１＞を押すことによっ
て、選択されたファイルに関する選択されたパラメータ
のグラフスクリーン２６４がディスプレイされる。図１
７に示されるようなデータキャプチャパラメータスクリ
ーン２６２に対応する２つのグラフを含む代表的なグラ
フスクリーンが図１８に示されている。
【００６８】図１８を参照して、グラフスクリーン２６
４から、＜Ｆ１＞を押すことによって、他のアクティブ
キーについての情報を含む、ヘルプがディスプレイされ
る。＜Ｆ３＞を押すことによって、オペレータはＸ軸の
タイムベースを変えることができる。＜Ｆ３＞を押すこ
とで、オペレータは新しい開始および終了時間を入力す
るように促され、入力すると、グラフは描き直される。
＜Ｆ４＞を押すことによって、オペレータはＹ軸のフロ
ー範囲を変えることができる。＜Ｆ４＞を押すことで、
オペレータはフローシステム範囲の最低値および最高値
それぞれを入力するように促され、入力すると、グラフ
は描き直される。
４から、＜Ｆ１＞を押すことによって、他のアクティブ
キーについての情報を含む、ヘルプがディスプレイされ
る。＜Ｆ３＞を押すことによって、オペレータはＸ軸の
タイムベースを変えることができる。＜Ｆ３＞を押すこ
とで、オペレータは新しい開始および終了時間を入力す
るように促され、入力すると、グラフは描き直される。
＜Ｆ４＞を押すことによって、オペレータはＹ軸のフロ
ー範囲を変えることができる。＜Ｆ４＞を押すことで、
オペレータはフローシステム範囲の最低値および最高値
それぞれを入力するように促され、入力すると、グラフ
は描き直される。
【００６９】データキャプチャファイルおよびイベント
ログに含まれる情報は、さまざまな診断および最適化の
ために用いられ得る。たとえば、そのデータは、薬品比
率、洗浄効率、および反復性を制御するためのフロー安
定化アルゴリズムおよび手続を生成するように用いられ
得る。さらに、このデータは、最適な性能および装置歩
留りのために処理温度が所望の値にあることを保証する
機械オペレーティングプロトコルを実現するように用い
られ得る。さらに、このデータは差し迫った装置の故障
を示す装置性能劣化の検出、およびシステムアボート、
警告、またはアラームの装置故障分析において用いられ
得る。
ログに含まれる情報は、さまざまな診断および最適化の
ために用いられ得る。たとえば、そのデータは、薬品比
率、洗浄効率、および反復性を制御するためのフロー安
定化アルゴリズムおよび手続を生成するように用いられ
得る。さらに、このデータは、最適な性能および装置歩
留りのために処理温度が所望の値にあることを保証する
機械オペレーティングプロトコルを実現するように用い
られ得る。さらに、このデータは差し迫った装置の故障
を示す装置性能劣化の検出、およびシステムアボート、
警告、またはアラームの装置故障分析において用いられ
得る。
【００７０】上で示されたように、この好ましい実施例
では、スプレープロセッサホストシステムは、システム
中のすべてのコンピュータ（すなわち、スーパバイザ、
エンジニア、およびブリッジ）上で動作しかつ各コンピ
ュータタイプを実現するための機能性を含むソフトウェ
アユーティリティを用いて実現される。したがって、各
個々のコンピュータの機能性はその構成ファイルによっ
て決定され、これはコンピュータの各々のユーティリテ
ィの開始時に読取られる。言い換えれば、図１９および
２０を参照して以下で説明されるように、各コンピュー
タはその構成ファイル中で指定されたようなその機能性
を含むユーティリティの部分だけを実現する。また前に
示されたように、各コンピュータは１つ以上の「タイ
プ」のコンピュータとして機能するように構成され得
る。たとえば、図２に示されたように、コンピュータ１
０２はスーパバイザおよびブリッジ両方の機能性を含
む。同様に、図示されていないが、単一のコンピュータ
は、同じユーティリティを用いてかつ異なったそのモジ
ュールを実行してスーパバイザおよびエンジニア両方ま
たはエンジニアおよびブリッジ両方として機能するよう
に構成され得る。
では、スプレープロセッサホストシステムは、システム
中のすべてのコンピュータ（すなわち、スーパバイザ、
エンジニア、およびブリッジ）上で動作しかつ各コンピ
ュータタイプを実現するための機能性を含むソフトウェ
アユーティリティを用いて実現される。したがって、各
個々のコンピュータの機能性はその構成ファイルによっ
て決定され、これはコンピュータの各々のユーティリテ
ィの開始時に読取られる。言い換えれば、図１９および
２０を参照して以下で説明されるように、各コンピュー
タはその構成ファイル中で指定されたようなその機能性
を含むユーティリティの部分だけを実現する。また前に
示されたように、各コンピュータは１つ以上の「タイ
プ」のコンピュータとして機能するように構成され得
る。たとえば、図２に示されたように、コンピュータ１
０２はスーパバイザおよびブリッジ両方の機能性を含
む。同様に、図示されていないが、単一のコンピュータ
は、同じユーティリティを用いてかつ異なったそのモジ
ュールを実行してスーパバイザおよびエンジニア両方ま
たはエンジニアおよびブリッジ両方として機能するよう
に構成され得る。
【００７１】図１９は、この発明の動作の好ましい方法
のフロー図である。ステップ１７００では実行が始ま
り、システム１００が初期化される。ステップ１７０１
では、コンピュータがエンジニアコンピュータ１０６な
どのエンジニアコンピュータであるかどうかの判断がな
される。この判断は、コンピュータの構成ファイルを参
照することによって行なわれる。コンピュータがエンジ
ニアコンピュータであれば、実行はステップ１７０２に
進み、他の場合、図２０を参照して以下で詳しく説明さ
れるように、実行はバックグラウンドプロセスに進む。
ステップ１７０２では、システム状態スクリーン２０２
（図４および図５）がディスプレイされる。ステップ１
７０４では、キーが押されたかどうかの判断がなされ
る。押されていなければ、実行は、以下で説明されるバ
ックグラウンドプロセス（図２０）に進む。ステップ１
７０４においてキーが押されたと判断されれば、実行は
ステップ１７０６に進み、ユーザが異なるスーパバイザ
コンピュータを選択したいということを示す矢印キー
が、押されたかどうかの判断が行なわれる。押されてい
れば、実行はステップ１７０８に進み、次のスーパバイ
ザコンピュータ用のシステム状態スクリーンがディスプ
レイされ、そしてステップ１７０４に戻る。ステップ１
７０６において矢印キーは押されなかったと判断されれ
ば、実行はステップ１７１０に進み、＜ＡＬＴ−Ｔ＞が
押されたかどうかの判断が行なわれる。押されていなけ
れば、図４−図１８を参照して上で説明されたように、
ステップ１７１２においてスクリーンは押されたキーに
従って更新される。押されていれば、実行はステップ１
７１４に進み、現在のスーパバイザコンピュータとその
関連のプロセッサとの間の通信を含むメッセージ（図２
０を参照してさらに詳しく説明されるように、以下で
「ＳＥＣＳメッセージ」と呼ばれる）がディスプレイさ
れ、ユーザはそのプロセスをデバッグすることができ
る。そして実行はステップ１７０４に戻る。
のフロー図である。ステップ１７００では実行が始ま
り、システム１００が初期化される。ステップ１７０１
では、コンピュータがエンジニアコンピュータ１０６な
どのエンジニアコンピュータであるかどうかの判断がな
される。この判断は、コンピュータの構成ファイルを参
照することによって行なわれる。コンピュータがエンジ
ニアコンピュータであれば、実行はステップ１７０２に
進み、他の場合、図２０を参照して以下で詳しく説明さ
れるように、実行はバックグラウンドプロセスに進む。
ステップ１７０２では、システム状態スクリーン２０２
（図４および図５）がディスプレイされる。ステップ１
７０４では、キーが押されたかどうかの判断がなされ
る。押されていなければ、実行は、以下で説明されるバ
ックグラウンドプロセス（図２０）に進む。ステップ１
７０４においてキーが押されたと判断されれば、実行は
ステップ１７０６に進み、ユーザが異なるスーパバイザ
コンピュータを選択したいということを示す矢印キー
が、押されたかどうかの判断が行なわれる。押されてい
れば、実行はステップ１７０８に進み、次のスーパバイ
ザコンピュータ用のシステム状態スクリーンがディスプ
レイされ、そしてステップ１７０４に戻る。ステップ１
７０６において矢印キーは押されなかったと判断されれ
ば、実行はステップ１７１０に進み、＜ＡＬＴ−Ｔ＞が
押されたかどうかの判断が行なわれる。押されていなけ
れば、図４−図１８を参照して上で説明されたように、
ステップ１７１２においてスクリーンは押されたキーに
従って更新される。押されていれば、実行はステップ１
７１４に進み、現在のスーパバイザコンピュータとその
関連のプロセッサとの間の通信を含むメッセージ（図２
０を参照してさらに詳しく説明されるように、以下で
「ＳＥＣＳメッセージ」と呼ばれる）がディスプレイさ
れ、ユーザはそのプロセスをデバッグすることができ
る。そして実行はステップ１７０４に戻る。
【００７２】図２０は、この発明のスプレープロセッサ
ホストシステムを含むスーパバイザ、エンジニア、およ
びブリッジコンピュータによって続けて実行される、こ
の発明のバックグラウンドプロセスのフロー図である。
前に示されたように、ステップ１７０１においてコンピ
ュータがエンジニアコンピュータではないと判断されれ
ば、またはステップ１７０４においてキーは押されてい
なかったと判断されれば、実行はステップ１８００に進
み、そこでコンピュータのＲＡＭドライブ（図示せず）
にストアされるメッセージネットファイルが読出され
る。メッセージネットファイルは、ファイルがストアさ
れるコンピュータとスプレープロセッサホストシステム
１００を含む他のブリッジ、スーパバイザ、およびエン
ジニアコンピュータとの間の通信をストアするように用
いられる。ステップ１８０２では、メッセージネットフ
ァイルにストアされたメッセージが処理される。ステッ
プ１８０４では、コンピュータがスーパバイザコンピュ
ータであるかどうかの判断がなされる。そうであれば、
実行はステップ１８０６に進み、コンピュータはその関
連のスプレープロセッサからの、ＣＯＭ１ ＳＥＣＳメ
ッセージと指定されたメッセージがないかどうかそのＣ
ＯＭ１ポートをチェックする。ステップ１８０６におい
て読出されたＣＯＭ１ ＳＥＣＳメッセージはステップ
１８０８でパースされ、ステップ１８１０で処理され
る。そして実行はステップ１８１２に進む。同様に、ス
テップ１８０４において、読出されるべきメッセージネ
ットファイルがなければ、実行はステップ１８１２に直
接進む。
ホストシステムを含むスーパバイザ、エンジニア、およ
びブリッジコンピュータによって続けて実行される、こ
の発明のバックグラウンドプロセスのフロー図である。
前に示されたように、ステップ１７０１においてコンピ
ュータがエンジニアコンピュータではないと判断されれ
ば、またはステップ１７０４においてキーは押されてい
なかったと判断されれば、実行はステップ１８００に進
み、そこでコンピュータのＲＡＭドライブ（図示せず）
にストアされるメッセージネットファイルが読出され
る。メッセージネットファイルは、ファイルがストアさ
れるコンピュータとスプレープロセッサホストシステム
１００を含む他のブリッジ、スーパバイザ、およびエン
ジニアコンピュータとの間の通信をストアするように用
いられる。ステップ１８０２では、メッセージネットフ
ァイルにストアされたメッセージが処理される。ステッ
プ１８０４では、コンピュータがスーパバイザコンピュ
ータであるかどうかの判断がなされる。そうであれば、
実行はステップ１８０６に進み、コンピュータはその関
連のスプレープロセッサからの、ＣＯＭ１ ＳＥＣＳメ
ッセージと指定されたメッセージがないかどうかそのＣ
ＯＭ１ポートをチェックする。ステップ１８０６におい
て読出されたＣＯＭ１ ＳＥＣＳメッセージはステップ
１８０８でパースされ、ステップ１８１０で処理され
る。そして実行はステップ１８１２に進む。同様に、ス
テップ１８０４において、読出されるべきメッセージネ
ットファイルがなければ、実行はステップ１８１２に直
接進む。
【００７３】ステップ１８１２では、コンピュータがブ
リッジコンピュータであるかどうかの判断がなされる。
ブリッジコンピュータでなければ、実行はステップ１８
００に戻り、そうであれば、実行はステップ１８１４に
進み、上流ホストからの、ＣＯＭ２ ＳＥＣＳメッセー
ジと指定されたメッセージがコンピュータのＣＯＭ２ポ
ートから読出され、ステップ１８１６でパースされ、１
８１８で処理される。図２０に示されたバックグラウン
ドプロセスの実行の間のどのポイントにおいてもキーが
押されれば、実行はすぐにステップ１７０４（図１９）
に戻る。この態様において、キーストロークを処理して
いない間、各コンピュータは常に、システム１００内外
の他の装置からの通信を読出しかつ処理している。
リッジコンピュータであるかどうかの判断がなされる。
ブリッジコンピュータでなければ、実行はステップ１８
００に戻り、そうであれば、実行はステップ１８１４に
進み、上流ホストからの、ＣＯＭ２ ＳＥＣＳメッセー
ジと指定されたメッセージがコンピュータのＣＯＭ２ポ
ートから読出され、ステップ１８１６でパースされ、１
８１８で処理される。図２０に示されたバックグラウン
ドプロセスの実行の間のどのポイントにおいてもキーが
押されれば、実行はすぐにステップ１７０４（図１９）
に戻る。この態様において、キーストロークを処理して
いない間、各コンピュータは常に、システム１００内外
の他の装置からの通信を読出しかつ処理している。
【００７４】この発明は多くの形態および実施例をとり
得ることが理解される。ここに示された実施例はこの発
明を制限するのではなく例示することが意図されてお
り、この発明の範囲の精神から逸脱することなく変形が
なされ得ることが理解される。たとえば、「ワークスト
リーム」以外の上流ホストが使用されてもよい。さら
に、別個のアーカイブコンピュータ１０９ａ上でデータ
キャプチャファイルをアーカイブするのではなく、各ス
ーパバイザコンピュータは２，３週間分のファイルより
多くのファイルをストアできる大きなディスクドライブ
が設けられてもよく、その場合、データキャプチャファ
イルはスーパバイザの構成ファイルに特定されるように
自動的に削除されるであろうし、アーカイブコンピュー
タ１０９ａは各スーパバイザコンピュータのシステムフ
ァイルのバックアップコピーをストアするために用いら
れるであろう。さらに、ブリッジ、スーパバイザ、およ
びエンジニアコンピュータ機能のいかなる組合せも単一
のパーソナルコンピュータによって実現されて、単一の
ブリッジ／スーパバイザコンピュータの組合せによって
多数の（７個までの付加的な）スーパバイザコンピュー
タに上流通信リンクが設けられ、単一のスーパバイザコ
ンピュータが１つより多くのプロセッサを監視するよう
に構成され得る。さらに、３つすべてのタイプのコンピ
ュータの機能性を含む単一のユーティリティを用いて実
現される以外に、この発明は各々が単一のタイプのコン
ピュータの機能性を含む３つの別個のユーティリティを
用いて実現されてもよく、その場合コンピュータの機能
性はそれによって実行されるユーティリティの独自性に
よって決定されるであろう。
得ることが理解される。ここに示された実施例はこの発
明を制限するのではなく例示することが意図されてお
り、この発明の範囲の精神から逸脱することなく変形が
なされ得ることが理解される。たとえば、「ワークスト
リーム」以外の上流ホストが使用されてもよい。さら
に、別個のアーカイブコンピュータ１０９ａ上でデータ
キャプチャファイルをアーカイブするのではなく、各ス
ーパバイザコンピュータは２，３週間分のファイルより
多くのファイルをストアできる大きなディスクドライブ
が設けられてもよく、その場合、データキャプチャファ
イルはスーパバイザの構成ファイルに特定されるように
自動的に削除されるであろうし、アーカイブコンピュー
タ１０９ａは各スーパバイザコンピュータのシステムフ
ァイルのバックアップコピーをストアするために用いら
れるであろう。さらに、ブリッジ、スーパバイザ、およ
びエンジニアコンピュータ機能のいかなる組合せも単一
のパーソナルコンピュータによって実現されて、単一の
ブリッジ／スーパバイザコンピュータの組合せによって
多数の（７個までの付加的な）スーパバイザコンピュー
タに上流通信リンクが設けられ、単一のスーパバイザコ
ンピュータが１つより多くのプロセッサを監視するよう
に構成され得る。さらに、３つすべてのタイプのコンピ
ュータの機能性を含む単一のユーティリティを用いて実
現される以外に、この発明は各々が単一のタイプのコン
ピュータの機能性を含む３つの別個のユーティリティを
用いて実現されてもよく、その場合コンピュータの機能
性はそれによって実行されるユーティリティの独自性に
よって決定されるであろう。
【００７５】この発明の例示的な実施例が示され説明さ
れてきたが、広い範囲の修正、変更、および代替が前掲
の開示において意図されており、ある場合にはこの発明
のある特徴は他の特徴を対応して用いることなく使用さ
れてもよい。したがって、前掲の特許請求の範囲は広く
かつこの発明の範囲と一致する態様において解釈される
ことが適切である。
れてきたが、広い範囲の修正、変更、および代替が前掲
の開示において意図されており、ある場合にはこの発明
のある特徴は他の特徴を対応して用いることなく使用さ
れてもよい。したがって、前掲の特許請求の範囲は広く
かつこの発明の範囲と一致する態様において解釈される
ことが適切である。
【図１】図１は、従来のスプレー処理道具のシステムブ
ロック図である。
ロック図である。
【図２】この発明のスプレープロセッサホストシステム
の好ましい実施例のブロック図である。
の好ましい実施例のブロック図である。
【図３】この発明のスプレープロセッサホストシステム
内のデータフローのフロー図である。
内のデータフローのフロー図である。
【図４】この発明のスプレープロセッサホストシステム
のオペレータインタフェースのフロー図である。
のオペレータインタフェースのフロー図である。
【図５】この発明のスプレープロセッサホストシステム
のシステム状態スクリーンを示す図である。
のシステム状態スクリーンを示す図である。
【図６】この発明のスプレープロセッサホストシステム
の明細スクリーンの図である。
の明細スクリーンの図である。
【図７】この発明のスプレープロセッサホストシステム
のビューレシピスクリーンを示す図である。
のビューレシピスクリーンを示す図である。
【図８】この発明のスプレープロセッサホストシステム
のアクティブアラームスクリーンを示す図である。
のアクティブアラームスクリーンを示す図である。
【図９】この発明のスプレープロセッサホストシステム
のプリアラーム明細スクリーンを示す図である。
のプリアラーム明細スクリーンを示す図である。
【図１０】この発明のスプレープロセッサホストシステ
ムのレシピディレクトリスクリーンを示す図である。
ムのレシピディレクトリスクリーンを示す図である。
【図１１】この発明のスプレープロセッサホストシステ
ムのイベントログセットアップスクリーンを示す図であ
る。
ムのイベントログセットアップスクリーンを示す図であ
る。
【図１２】この発明のスプレープロセッサホストシステ
ムのデータキャプチャ状態スクリーンを示す図である。
ムのデータキャプチャ状態スクリーンを示す図である。
【図１３】この発明のスプレープロセッサホストシステ
ムのレシピ付加または取替スクリーンを示す図である。
ムのレシピ付加または取替スクリーンを示す図である。
【図１４】この発明のスプレープロセッサホストシステ
ムのビューイベントログスクリーンを示す図である。
ムのビューイベントログスクリーンを示す図である。
【図１５】この発明のスプレープロセッサホストシステ
ムのデータキャプチャサーチスクリーンを示す図であ
る。
ムのデータキャプチャサーチスクリーンを示す図であ
る。
【図１６】この発明のスプレープロセッサホストシステ
ムのファイルリストスクリーンを示す図である。
ムのファイルリストスクリーンを示す図である。
【図１７】この発明のスプレープロセッサホストシステ
ムのデータキャプチャパラメータスクリーンを示す図で
ある。
ムのデータキャプチャパラメータスクリーンを示す図で
ある。
【図１８】この発明のスプレープロセッサホストシステ
ムのグラフスクリーンを示す図である。
ムのグラフスクリーンを示す図である。
【図１９】この発明の動作の好ましい方法のフロー図で
ある。
ある。
【図２０】この発明のバックグラウンドプロセスのフロ
ー図である。
ー図である。
【図２１】♯ＣＯＮＦＩＧ．ＦＳＩファイルのコメント
を示す図である。
を示す図である。
【図２２】例示的なＮＥＴＷＯＲＫセクションを示す図
である。
である。
【図２３】ＤＡＴＡ ＣＡＰＴＵＲＥセクションを示す
図である。
図である。
【図２４】ＣＯＭＭＵＮＩＣＡＴＩＯＮＳセクションを
示す図である。
示す図である。
【図２５】ＰＡＲＡＭＥＴＥＲＳセクションを示す図で
ある。
ある。
【図２６】５つまでの他のパラメータのテーブルを含む
セクションの図である。
セクションの図である。
【図２７】ディジタル入力セクションを示す図である。
１００ スーパバイザホストシステム １０２ スーパバイザコンピュータ １０３ ハードドライブ １０６ エンジニアコンピュータ １０９ａ アーカイブコンピュータ
フロントページの続き (72)発明者 ジェイ・ジェイ・シートン アメリカ合衆国、78741 テキサス州、オ ースティン、ウィッカーシャム・ドライ ブ、2207、アパートメント・1206 (72)発明者 マイケル・アレン アメリカ合衆国、78744 テキサス州、オ ースティン、オーリーンズ・ドライブ、 6111 (72)発明者 ドナルド・ランディス アメリカ合衆国、03049 ニュー・ハンプ シャー州、ホリス、トゥルーエル・ロー ド、63、アール・ディー・ナンバー・４ (72)発明者 パトリック・リー アメリカ合衆国、78703 テキサス州、オ ースティン、ホピ・トレイル、1502 (72)発明者 デイビッド・リンジー アメリカ合衆国、03054 ニュー・ハンプ シャー州、メリマック、ブレンダ・レー ン、38 (72)発明者 スーザン・ビー・ルカ アメリカ合衆国、03049 ニュー・ハンプ シャー州、ホリス、エヌ・ピーアレル・ロ ード、33、ピィ・オゥ・ボックス・85
Claims (48)
- 【請求項１】 半導体スプレー処理道具のための統合さ
れたモニタおよび制御機能を与えるシステムであって、 スーパバイザ装置を含み、前記スーパバイザ装置は前記
スプレー処理道具に電気的に接続され、前記スーパバイ
ザ装置の大容量記憶装置に、各処理動作の間に前記スプ
レー処理道具によって生成された装置状態および処理デ
ータを収集してストアし、かつ前記スプレー処理道具に
よって実行可能な複数の処理レシピをストアし、 前記スーパバイザ装置に電気的に接続され、制御信号を
生成して前記スーパバイザ装置を介して前記スプレー処
理道具へ与えるためのエンジニア装置を含み、前記制御
信号は、前記スーパバイザ装置が前記処理レシピのうち
の要求されたレシピを、実行のために前記スプレー処理
道具にダウンロードすることを引起こすための処理レシ
ピダウンロード要求を含み、前記エンジニア装置は、前
記収集された装置状態および処理データを前記スーパバ
イザ装置から受取り、前記受取られた装置状態および処
理データを、少なくとも１つのユーザ選択されたフォー
マットでディスプレイすることができる、システム。 - 【請求項２】 前記スーパバイザ装置と前記エンジニア
装置とに電気的に接続されたブリッジ装置をさらに含
み、前記ブリッジ装置は、前記システムと上流ホストと
の間の通信リンクを与え、前記上流ホストは、前記スー
パバイザ装置を介して前記スプレー処理道具へ至る制御
信号を生成することができる、請求項１に記載のシステ
ム。 - 【請求項３】 前記スーパバイザ装置と前記エンジニア
装置とに電気的に接続されたアーカイブ装置をさらに含
み、前記アーカイブ装置は、前記スーパバイザ装置の大
容量記憶装置よりも実質的に大きい記憶容量を有する大
容量記憶装置を含み、データファイルをストアするため
の前記アーカイブ装置の大容量記憶装置は、前記収集さ
れた装置状態および処理データ、前記処理レシピのバッ
クアップコピー、および前記スーパバイザ装置の他のシ
ステムファイルを含む、請求項１に記載のシステム。 - 【請求項４】 前記エンジニア装置は、さらに、前記ス
プレー処理道具によって実行中の処理レシピをディスプ
レイし、かつ前記ディスプレイされた処理レシピの現在
のステップの表示を与えることができる、請求項１に記
載のシステム。 - 【請求項５】 前記エンジニア装置はさらに、前記アー
カイブ装置の大容量記憶装置にストアされた前記データ
ファイルのうちの選択されたファイルの内容をディスプ
レイすることができる、請求項３に記載のシステム。 - 【請求項６】 前記エンジニア装置に電気的に接続さ
れ、前記受取られた装置状態および処理データを、前記
ユーザ選択されたフォーマットでプリントするためのプ
リンタをさらに含む、請求項１に記載のシステム。 - 【請求項７】 前記エンジニア装置はさらに、前記スプ
レー処理道具および前記スーパバイザ装置の遠隔制御を
可能にするためのモデムをさらに含む、請求項１に記載
のシステム。 - 【請求項８】 前記処理データは、化学薬品流量、ター
ンテーブル回転速度、および処理温度を含み、前記少な
くとも１つのユーザ選択されたフォーマットは、前記処
理データのグラフを含む、請求項１に記載のシステム。 - 【請求項９】 前記制御信号は、現在の処理動作の開始
およびアボートそれぞれを行なうための開始要求および
アボート要求を含む、請求項１に記載のシステム。 - 【請求項１０】 前記制御信号は、前記スプレー処理道
具のアラーム条件をクリアするためのアラームクリア信
号を含む、請求項１に記載のシステム。 - 【請求項１１】 前記エンジニア装置および前記スーパ
バイザ装置は、単一のパーソナルコンピュータを含む、
請求項１に記載のシステム。 - 【請求項１２】 前記ブリッジ装置および前記スーパバ
イザ装置は、単一のパーソナルコンピュータを含む、請
求項２に記載のシステム。 - 【請求項１３】 前記ブリッジ装置、前記エンジニア装
置、および前記スーパバイザ装置は、単一のパーソナル
コンピュータを含む、請求項２に記載のシステム。 - 【請求項１４】 前記スーパバイザ装置の大容量記憶装
置は、ハードディスクドライブを含む、請求項１に記載
のシステム。 - 【請求項１５】 前記アーカイブ装置の大容量記憶装置
は、ハードディスクドライブを含む、請求項３に記載の
システム。 - 【請求項１６】 半導体スプレー処理道具のための統合
されたモニタおよび制御機能を与える装置であって、 前記スプレー処理道具に接続され、各処理動作の間に前
記スプレー処理道具によって生成された装置状態および
処理データを収集するための手段と、 前記収集された装置状態および処理データならびに前記
スプレー処理道具によって実行可能な複数の処理レシピ
をストアするための手段と、 受取手段が前記処理レシピのうち指定されたレシピを前
記スプレー処理道具にダウンロードしてそれによって実
行することを引起こすための手段と、 前記収集手段から前記装置状態および処理データを受取
りかつ前記装置状態および処理データを少なくとも１つ
のユーザ選択されたフォーマットでディスプレイするた
めの手段とを含む、装置。 - 【請求項１７】 前記装置と上流ホストの間に通信リン
クを与えるための手段をさらに含み、前記上流ホスト
は、前記収集手段および前記スプレー処理道具の動作を
制御することができる、請求項１６に記載の装置。 - 【請求項１８】 前記収集された装置状態および処理デ
ータならびに前記処理レシピのバックアップコピーを含
むデータファイルを周期的にアーカイブするための手段
をさらに含む、請求項１６に記載の装置。 - 【請求項１９】 前記受取りかつディスプレイするため
の手段はさらに、前記スプレー処理道具によって実行中
の処理レシピをディスプレイすることができかつ前記デ
ィスプレイされた処理レシピの現在のステップを表示す
ることができる、請求項１６に記載の装置。 - 【請求項２０】 前記受取りかつディスプレイするため
の手段に電気的に接続され、前記受取られた装置状態お
よび処理データを前記ユーザ選択されたフォーマットで
プリントするためのプリンタをさらに含む、請求項１６
に記載の装置。 - 【請求項２１】 前記受取りかつディスプレイするため
の手段は、前記スプレー処理道具の遠隔制御およびモニ
タリングを可能にするためのモデムをさらに含む、請求
項１６に記載の装置。 - 【請求項２２】 前記処理データは、化学薬品流量、タ
ーンテーブル回転速度、および処理温度を含み、前記少
なくとも１つのユーザ選択されたフォーマットは、前記
処理データのグラフを含む、請求項１６に記載の装置。 - 【請求項２３】 前記受取りかつディスプレイするため
の手段は、前記アーカイブされたデータファイルのうち
選択されたファイルの内容をディスプレイするための手
段をさらに含む、請求項１８に記載の装置。 - 【請求項２４】 前記収集手段と前記受取りかつディス
プレイするための手段は、パーソナルコンピュータを含
む、請求項１６に記載の装置。 - 【請求項２５】 前記通信リンクを与えるための手段
は、パーソナルコンピュータを含む、請求項１７に記載
の装置。 - 【請求項２６】 前記アーカイブする手段は、パーソナ
ルコンピュータを含む、請求項１８に記載の装置。 - 【請求項２７】 複数の半導体スプレー処理道具のため
の統合されたモニタおよび制御機能を与えるシステムで
あって、前記システムは、 複数のスーパバイザコンピュータを含み、各前記スーパ
バイザコンピュータは前記スプレー処理道具のうち１つ
と関連し、前記スーパバイザコンピュータのハードディ
スクドライブに、各処理動作の間に前記関連したスプレ
ー処理道具によって生成された装置状態および処理デー
タを収集し、ストアし、かつ前記関連のスプレー処理道
具によって実行可能な複数の処理レシピをストアし、 前記スーパバイザコンピュータに電気的に接続され、前
記関連のスーパバイザコンピュータを介して前記スプレ
ー処理道具へ至る制御信号を生成するためのエンジニア
コンピュータを含み、前記制御信号は、前記スーパバイ
ザコンピュータが前記処理レシピのうち要求されたレシ
ピを、実行のために前記関連のスプレー処理道具にダウ
ンロードすることを引起こすための、処理レシピダウン
ロード要求を含み、前記エンジニアコンピュータは、前
記スーパバイザコンピュータから、前記収集された装置
状態および処理データを受取り、前記スプレー処理道具
のうち選択された道具に関する前記受取られた装置状態
および処理データを、少なくとも１つのユーザ選択され
たフォーマットでディスプレイでき、さらに、 前記スーパバイザコンピュータと前記エンジニアコンピ
ュータとに電気的に接続されたブリッジコンピュータを
含み、前記ブリッジコンピュータは、前記システムと上
流ホストとの間に通信リンクを与え、前記上流ホスト
は、前記関連のスーパバイザコンピュータを介して前記
スプレー処理道具へ至る制御信号を生成でき、さらに、 前記スーパバイザコンピュータと前記エンジニアコンピ
ュータとに電気的に接続されたアーカイブコンピュータ
を含み、前記アーカイブコンピュータは、前記スーパバ
イザコンピュータのハードディスクドライブより実質的
に大きな記憶容量を有するハードディスクドライブを含
み、データファイルをストアするための前記アーカイブ
コンピュータのハードディスクドライブは、前記収集さ
れた装置状態および処理データならびに前記処理レシピ
のバックアップコピーを含む、システム。 - 【請求項２８】 前記エンジニアコンピュータはさら
に、前記スプレー処理道具のうち選択された道具によっ
て実行中の処理レシピをディスプレイしかつ前記ディス
プレイされた処理レシピの現在のステップを表示でき
る、請求項２７に記載のシステム。 - 【請求項２９】 前記エンジニアコンピュータはさら
に、前記アーカイブコンピュータハードディスクドライ
ブにストアされた前記データファイルのうち選択された
ファイルの内容をディスプレイできる、請求項２７に記
載のシステム。 - 【請求項３０】 前記エンジニアコンピュータに電気的
に接続され、前記受取られた装置状態および処理データ
を前記ユーザ選択されたフォーマットでプリントするた
めのプリンタをさらに含む、請求項２７に記載のシステ
ム。 - 【請求項３１】 前記エンジニアコンピュータは、前記
スプレー処理道具および前記関連のスーパバイザコンピ
ュータの遠隔制御を可能にするためのモデムをさらに含
む、請求項２７に記載のシステム。 - 【請求項３２】 前記エンジニアコンピュータは前記ス
ーパバイザコンピュータのうち１つを含む、請求項２７
に記載のシステム。 - 【請求項３３】 前記ブリッジコンピュータは、前記ス
ーパバイザコンピュータのうち１つを含む、請求項２７
に記載のシステム。 - 【請求項３４】 半導体スプレー処理道具のための統合
されたモニタおよび制御機能を与える方法であって、 各処理動作の間に前記スプレー処理道具によって生成さ
れた装置状態および処理データを収集するステップと、 前記収集された装置状態および処理データ、ならびに前
記スプレー処理道具によって実行可能な複数の処理レシ
ピを、第１の記憶装置にストアするステップと、 前記スプレー処理道具への制御信号を生成して、その動
作を制御するステップとを含み、前記制御信号は、前記
処理レシピのうち要求されたレシピが、実行のために前
記第１の記憶装置から前記スプレー処理道具にダウンロ
ードされることを引起こすための処理レシピダウンロー
ド要求を含み、さらに、 前記収集された装置状態および処理データを少なくとも
１つのユーザ選択されたフォーマットでディスプレイす
るステップを含む、方法。 - 【請求項３５】 前記スプレー処理道具と上流ホストと
の間に通信リンクを与えるステップをさらに含み、前記
上流ホストは、前記スプレー処理道具への制御信号を生
成して、その動作を制御する、請求項３４に記載の方
法。 - 【請求項３６】 前記収集された装置状態および処理デ
ータならびに前記処理レシピのバックアップコピーを含
むデータファイルを、前記第１の記憶装置より実質的に
大きな記憶容量を有する第２の記憶装置に、周期的にア
ーカイブするステップをさらに含む、請求項３４に記載
の方法。 - 【請求項３７】 前記スプレー処理道具によって実行中
の処理レシピをディスプレイしかつ前記ディスプレイさ
れた処理レシピの現在のステップを表示するステップを
さらに含む、請求項３４に記載の方法。 - 【請求項３８】 前記第２の記憶装置にストアされた前
記データファイルのうち選択されたファイルの内容をデ
ィスプレイするステップをさらに含む、請求項３６に記
載の方法。 - 【請求項３９】 前記受取られた装置状態および処理デ
ータを、前記ユーザ選択されたフォーマットでプリント
するステップをさらに含む、請求項３４に記載の方法。 - 【請求項４０】 前記スプレー処理道具の遠隔制御を可
能にするためのモデムを与えるステップをさらに含む、
請求項３４に記載の方法。 - 【請求項４１】 前記処理データは、化学薬品流量、タ
ーンテーブル回転速度、および処理温度を含み、前記少
なくとも１つのユーザ選択されたフォーマットは、前記
処理データのグラフを含む、請求項３４に記載の方法。 - 【請求項４２】 前記制御信号は、現在の処理動作の開
始、停止、およびアボートをそれぞれ行なうための、開
始、停止、およびアボート要求を含む、請求項３４に記
載の方法。 - 【請求項４３】 前記制御信号は、前記スプレー処理道
具のアラーム条件をクリアするためのアラームクリア信
号を含む、請求項３４に記載の方法。 - 【請求項４４】 半導体スプレー処理道具のための統合
されたモニタおよび制御機能を与える方法であって、 各処理動作の間に前記スプレー処理道具によって生成さ
れた装置状態および処理データを収集するステップと、 前記収集された装置状態および処理データならびに前記
スプレー処理道具によって実行可能な複数の処理レシピ
を、第１のハードドライブディスクにストアするステッ
プと、 前記スプレー処理道具への制御信号を生成して、その動
作を制御するステップとを含み、前記制御信号は、前記
処理レシピのうち要求されたレシピが、実行のために前
記第１のハードディスクドライブから前記スプレー処理
道具にダウンロードされることを引起こすための、処理
レシピダウンロード要求を含み、さらに、 前記収集された装置状態および処理データを、少なくと
も１つのユーザ選択されたフォーマットでディスプレイ
するステップと、 スプレー処理道具と上流ホストとの間に通信リンクを与
えるステップとを含み、前記上流ホストは、前記スプレ
ー処理道具への制御信号を生成して、その動作を制御
し、さらに、 前記収集された装置状態および処理データならびに前記
処理レシピのバックアップコピーを含むデータファイル
を、前記第１のハードディスクドライブより実質的に大
きな記憶容量を有する第２のハードディスクドライブに
周期的にアーカイブするステップを含む、方法。 - 【請求項４５】 前記スプレー処理道具によって実行中
の処理レシピをディスプレイしかつ前記ディスプレイさ
れた処理レシピの現在のステップを表示するステップを
さらに含む、請求項４４に記載の方法。 - 【請求項４６】 前記第２のハードディスクドライブに
ストアされた前記データファイルのうち選択されたファ
イルの内容をディスプレイするステップをさらに含む、
請求項４４に記載の方法。 - 【請求項４７】 前記受取られた装置状態および処理デ
ータを、前記ユーザ選択されたフォーマットにおいてプ
リントするステップをさらに含む、請求項４４に記載の
方法。 - 【請求項４８】 前記スプレー処理道具の遠隔制御を可
能にするためのモデムを与えるステップをさらに含む、
請求項４４に記載の方法。
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