JPH09113814A

JPH09113814A - 顕微鏡ステージ

Info

Publication number: JPH09113814A
Application number: JP7274393A
Authority: JP
Inventors: Masato Kanao; 真人金尾
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1995-10-23
Filing date: 1995-10-23
Publication date: 1997-05-02
Anticipated expiration: 2015-10-23
Also published as: US5802925A; JP3576291B2

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、ステージ移動がスムーズで、安定
した操作性を得られる顕微鏡ステージを提供する。【解決手段】ステージベース１上にＹ軸方向に移動可能
な中間ステージ２、該中間ステージ２上にＸ軸方向に移
動可能なステージ本体４を設け、中間ステージ２のＹ軸
方向およびＸ軸方向にそれぞれ所定間隔をおいて配置さ
れたプーリ９ａ、９ｂおよび１０ａ、１０ｂ間にベルト
８、１１を張設し、これらベルト８、１１の往復走行に
より中間ステージ２およびステージ本体４を直線駆動す
ることで、ステージ本体４にＸ軸およびＹ軸方向の移動
を得られ、さらにクラッチレバー１４の操作により、ク
ラッチ部１２、１３によりベルト８、１１の固定または
解除を得られるようにしている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、観察標本が載置さ
れ一方向または二方向（Ｘ−Ｙ）に移動される顕微鏡ス
テージに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、標本が載置される顕微鏡ステージ
は、標本を所望する観察位置に移動するための駆動機構
が設けられているが、かかる駆動機構としては、ラック
とピニオンを組み合わせたものが用いられている。

【０００３】従って、このような駆動機構を採用した顕
微鏡ステージは、ラックとピニオンの加工精度と組立て
精度がステージの駆動精度に大きな影響を及ぼすことに
なる。例えば、ラックとピニオンの加工精度上で、ラッ
クのうねりやピニオンの偏心があるような場合あるいは
組立て精度上で十分な平行度を有さない場合などでは、
ラックとピニオンの噛み合いが変化してしまい、かかる
噛み合いがきつくなったり緩くなったりしてステージの
移動がスムーズにいかなくなり作動ムラを生じることが
ある。

【０００４】一方、最近、顕微鏡は、半導体ウェハや液
晶パネルなどの検査工程に用いられるようになっている
が、これら検査すべき半導体ウェハや液晶パネルの最近
の大型化に伴い、これらを載置する顕微鏡ステージも大
型化が要求されている。

【０００５】そして、このようなステージを大型化する
には、ラックを長尺化することが必要となるが、このよ
うな長尺ラックの下でステージの移動をスムーズにする
には、長尺ラックを高精度に製作したり、ラックとピニ
オンの噛み合わせをラック全長に亘って一定となるよう
に、ラックをステージの移動方向に対して厳密に平行に
組立てることなどが必要になる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、長尺のラッ
クについて加工精度をさらに高めても、うねりなどの発
生を皆無にするのはほとんど不可能なことであり、ま
た、組立て精度上をさらに高めたとしてもラックをステ
ージの移動方向に対して厳密に平行に組立てることは非
常に困難なことでもある。

【０００７】さらに、ラックとピニオンによる駆動機構
では、使用によって歯の磨耗を生じ、この磨耗粉が検査
試料である半導体ウェハなどの上に落下することもあ
り、これが原因で製品不良を生じることもある。

【０００８】また、移動操作ハンドルの位置構成によっ
ては、ラックがステージより突出することがあり、これ
が原因で作業者の手などにぶつかり、ラックの位置精度
を狂わせてしまうこともあった。

【０００９】そこで、従来、特開平４−３１８１４号公
報、特開昭６１−１９８２０６号公報に開示されるよう
に、ラックとピニオンによる駆動機構に代えて、歯部を
持たない直線レールと摩擦輪を用いたものも考えられて
いる。

【００１０】ところが、このようにしたものでもレール
のうねりや摩擦輪の偏心がある場合、あるいはレール取
付け面の平坦度やステージの移動方向との平行度が十分
に出ていないような場合は、上述したラックとピニオン
による機構と同様にレールと摩擦輪との係合強度がきつ
くなったり、緩くなったりしてステージに作動ムラを生
じるとともに、レールや摩擦輪に磨耗を生じて摩擦輪が
スリップしてステージをスムーズに移動できなくなると
いう問題がある。さらには、ステージの大型化に伴うレ
ールの長尺化やレールの突出についても上述したラック
とピニオンの駆動機構と同様な問題があった。本発明
は、上記事情に鑑みてなされたもので、ステージ移動が
スムーズで、安定した操作性を得られる顕微鏡ステージ
を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
少なくとも上下方向に重ねて配置される上ステージと下
ステージを有するとともに、下ステージに対して上ステ
ージを直線方向に移動可能にした顕微鏡ステージにおい
て、前記上ステージまたは下ステージに前記上ステージ
の移動方向と平行な方向に沿って所定間隔をおいて配置
される一対のプーリと、これら一対のプーリの間に張設
されるとともにこれらプーリの間を往復走行されるエン
ドレスの駆動力伝達部材と、前記下ステージまたは上ス
テージに設けられ前記プーリの間を走行される前記駆動
力伝達部材の往路または復路のいずれか一方を固定また
は解除可能にしたクラッチ部材とにより構成している。

【００１２】請求項２記載の発明は、請求項１記載にお
いて、クラッチ部材は、プランジャガイドと、このプラ
ンジャガイドに沿って移動可能に設けられたプランジャ
と、このプランジャを前記駆動力伝達部材側に押圧する
偏倚力を作用するバネ部材と、前記プランジャを前記バ
ネの偏倚力に抗して前記駆動力伝達部材から開離する方
向に操作する操作手段とを有している。

【００１３】請求項３記載の発明は、少なくとも上下方
向に重ねて配置される上ステージと下ステージを有する
とともに、下ステージに対して上ステージを直線方向に
移動可能にした顕微鏡ステージにおいて、前記上ステー
ジまたは下ステージに前記上ステージの移動方向と平行
な方向に沿って所定間隔をおいて配置される一対のプー
リと、これら一対のプーリの間に張設されるとともにこ
れらプーリの間を往復走行されるエンドレスの駆動力伝
達部材と、前記下ステージまたは上ステージに設けられ
前記プーリの間を走行される前記駆動力伝達部材の往路
または復路を選択的に固定可能にした固定手段とにより
構成している。

【００１４】この結果、請求項１または２記載の発明に
よれば、下ステージに対して移動可能にした上ステージ
は、一対のプーリに張設されたエンドレスの駆動力伝達
部材の往復走行により直線駆動されて所定方向の移動が
得られるので、標本位置合わせのための上ステージの移
動がスムーズで、安定した操作性が得られ、また、必要
に応じてクラッチ部材により駆動力伝達部材の固定を解
除できるので、標本の粗い位置合わせ時の上ステージ本
体の移動の際にも駆動力伝達部材などの運動抵抗を受け
ることがなくスムーズな移動が得られる。

【００１５】また、請求項３記載の発明によれば、一対
のプーリ間に張設されたエンドレスの駆動力伝達部材の
往路または復路の一方を選択的に固定できるので、上ス
テージ本体の移動方向を必要に応じて逆転させることが
でき、検鏡者の要求に応じて上ステージ本体の移動方向
を自由に選択することができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の第１の実施の形態
を図面に従い説明する。（第１の実施の形態）図１および図２は、本発明が適用
される顕微鏡ステージの概略構成を示している。なお、
図１は一部断面となっている。

【００１７】本実施の形態は、直交するＸ，Ｙ方向に直
線移動可能なもので、Ｙ方向ステージに対してはステー
ジベース１により下ステージが、また、中間ステージ２
により上ステージが構成される。同様にＸ方向ステージ
に対しては中間ステージ２により下ステージが、ステー
ジ本体４により上ステージがそれぞれ構成される。

【００１８】図において、１は図示しない顕微鏡本体に
固定されるステージベースで、このステージベース１
は、その中央部に円形の透孔１０１を形成している。ま
た、このステージベース１の相対向する２つの側面にガ
イド溝１ａ、１ａを形成している。

【００１９】このステージベース１上には、中間ステー
ジ２を設けている。この中間ステージ２は、その中央部
に矩形状の透孔２０１を形成するとともに、ステージベ
ース１のガイド溝１ａ、１ａを有する側面に対応して配
置されたガイド３、３を一体に設けて、これらカイド
３、３によりステージベース１のガイド溝１ａ、１ａに
沿ってＹ軸方向の直線移動を可能にしている。

【００２０】この場合、ガイド３、３は、ステージベー
ス１のガイド溝１ａ、１ａに対応したガイド溝３ａ、３
ａを有している。そして、これらガイド溝１ａと３ａの
間にローラ（またはボール）６を介在させることで、ガ
イド溝１ａ、１ａに沿ったガイド３、３の動きをスムー
ズにしている。

【００２１】また、中間ステージ２は、ガイド３、３を
有していない相対向する２つの側面にガイド溝２ａ、２
ａを形成している。中間ステージ２上には、標本が載置
されるステージ本体４を設けている。このステージ本体
４は、中央部に矩形状の透孔４０１を形成するととも
に、前記中間ステージ２のガイド溝２ａ、２ａを有する
側面に対応して配置されたガイド５、５を一体に設け
て、これらカイド５、５により中間ステージ２のガイド
溝２ａ、２ａに沿ってＸ軸方向の直線移動を可能にして
いる。

【００２２】この場合もガイド５、５は、中間ステージ
２のガイド溝２ａ、２ａに対応したガイド溝５ａ、５ａ
を有している。そして、これらガイド溝２ａと５ａの間
にローラ（またはボール）６を介在させることで、ガイ
ド溝２ａ、２ａに沿ったガイド５、５の動きをスムーズ
にしている。

【００２３】中間ステージ２の一方のガイド３を取付け
た側縁には、この一方ガイド３に沿って、つまり、中間
ステージ２の移動方向と平行な方向に沿って所定間隔を
おいて一対のプーリ９ａ、９ｂを配置し、これらプーリ
９ａ、９ｂの間に、エンドレスの平ベルト８を張設し、
これらプーリ９ａ、９ｂの間を往復走行するようにして
いる。

【００２４】そして、これらプーリ９ａ、９ｂのうち、
プーリ９ａには、操作ハンドル７を設けている。この操
作ハンドル７は、つまみ部７０１を設けた外側操作軸７
０２と、この外側操作軸７０２の軸に沿って挿通された
内側操作軸７０３を有していて、このうちの外側操作軸
７０２先端にプーリ９ａを一体に取付け、つまみ部７０
１により外側操作軸７０２を回転させることで、プーリ
９ａによりベルト８のみを駆動できるようにしている。

【００２５】また、中間ステージ２のステージ本体４に
取付けたガイド５に対応する側縁には、このガイド５に
沿った溝部２０２を形成し、この溝部２０２内の両端
部、つまり、ステージ本体４の移動方向と平行な方向に
所定間隔をおいて一対のプーリ１０ａ、１０ｂを配置
し、これらプーリ１０ａ、１０ｂの間に、エンドレスの
平ベルト１１を張設し、これらプーリ１０ａ、１０ｂの
間を往復走行するようにしている。

【００２６】そして、これらプーリ１０ａ、１０ｂのう
ち、プーリ１０ａには、操作ハンドル７の内側操作軸７
０３先端を一体に取付け、操作ハンドル７の内側操作軸
７０３を回転させることで、プーリ１０ａによりベルト
１１のみを駆動できるようになっている。

【００２７】一方、ステージベース１とベルト８の間に
は、クラッチ部１２を設けている。このクラッチ部１２
は、ステージベース１側に設けられ、後述するクラッチ
レバー操作部１４での操作によりベルト８の往路または
復路を固定または解除できるようにしたもので、具体的
には、図３に示すように構成している。

【００２８】この場合、クラッチ部１２は、ステージベ
ース１に固定されたプレート１２１の先端部を垂直方向
に折曲げ、この折曲げ部１２１ａに対向させてベルト８
を位置させている。また、プレート１２１上には、筒状
のプランジャガイド１２２を設けている。そして、この
プランジャガイド１２２の中空部には、バネ１２３を介
してプランジャ１２４を移動自在に挿通していて、常
時、バネ１２３の偏倚力によりプランジャ１２４先端で
ベルト８をプレート１２１の折曲げ部１２１ａ面に押付
け、ベルト８の動きを固定するようにしている。また、
プランジャガイド１２２には、後述するクラッチレバー
操作部１４より導出されるアウターワイヤ１２５を接続
していて、このアウターワイヤ１２５中のインナーワイ
ヤ１２６をプランジャガイド１２２内部のプランジャ１
２４に接続し、インナーワイヤ１２６の図示左方向の引
っ張り力によりプランジャ１２４をバネ１２３の偏倚力
に抗した方向に移動できるようにしている。

【００２９】一方、中間ステージ２とステージ本体４の
間にもクラッチ部１３を設けている。このクラッチ部１
３は、ステージ本体４側に設けられ、後述するクラッチ
レバー操作部１４での操作によりベルト１１の往路また
は復路を固定または解除できるようにしたもので、具体
的には、図４に示すように構成している。

【００３０】この場合、ステージ本体４は、中間ステー
ジ２の溝部２０２に対応して溝部４０２を形成してい
て、この溝部４０２内にクラッチ部１３を設けている。
このクラッチ部１３は、溝部４０２の底面にＬ形状の当
て部材１３１を設け、この当て部材１３１に対向させて
ベルト１１を位置させている。溝部４０２の底面には、
筒状のプランジャガイド１３２を設けている。そして、
このプランジャガイド１３２の中空部には、バネ１３３
を介してプランジャ１３４を移動自在に挿通していて、
常時、バネ１３３の偏倚力によりプランジャ１３４先端
でベルト１１を当て部材１３１の１３１ａ面に押付け、
ベルト１１の動きを固定するようにしている。また、プ
ランジャガイド１３２には、後述するクラッチレバー操
作部１４より導出されるアウターワイヤ１３５を接続し
ていて、このアウターワイヤ１３５中のインナーワイヤ
１３６をプランジャガイド１３２内部のプランジャ１３
４に接続し、インナーワイヤ１３６の図示左方向の引っ
張り力によりプランジャ１３４をバネ１３３の偏倚力に
抗した方向に移動できるようにしている。

【００３１】そして、ステージ本体４には、クラッチレ
バー操作部１４を設けている。このクラッチレバー操作
部１４は、図５に示すようにステージ本体４にグリップ
１４１を固定し、このグリップ１４１内部に支持部材１
４２によりクラッチレバー１４３を回動自在に支持して
いる。クラッチレバー１４３の上端には、上述したアウ
ターワイヤ１２５中のインナーワイヤ１２６とアウター
ワイヤ１３５中のインナーワイヤ１３６を接続してい
て、クラッチレバー１４３の回動操作によりインナーワ
イヤ１２６と１３６に引っ張り力を作用させるようにし
ている。この場合、クラッチレバー１４３の支持部材１
４２による支持点は、インナーワイヤ１２６、１３６と
の接続点側に大きく偏っていて、グリップ１４１を握っ
て僅かな握力だけで、クラッチレバー１４３を図示実線
位置から図示破線位置まで回動操作でき、インナーワイ
ヤ１２６、１３６にそれぞれ所定の引っ張り力を与える
ことができるようになっている。

【００３２】次に、このように構成した実施の形態の動
作を説明する。まず、クラッチレバー操作部１４のクラ
ッチレバー１４３を回動操作していない場合には、クラ
ッチレバー１４３は、図示実線位置にあって、インナー
ワイヤ１２６と１３６にそれぞれ引っ張り力が作用され
ていない。

【００３３】この状態では、クラッチ部１２は、バネ１
２３の偏倚力によりプランジャ１２４先端でベルト８を
プレート１２１の折曲げ部１２１ａ面に押付け、このベ
ルト８の動きを固定している。また、クラッチ部１３に
ついてもバネ１３３の偏倚力によりプランジャ１３４先
端でベルト１１を当て部材１３１の１３１ａ面に押付
け、ベルト１１の動きを固定している。

【００３４】そして、この状態から操作ハンドル７のつ
まみ部７０１により外側操作軸７０２を回転すると、プ
ーリ９ａを介してエンドレスベルト８が駆動されるの
で、中間ステージ２は、Ｙ軸方向に移動され、この移動
と伴にステージ本体４もＹ軸方向に移動される。また、
ハンドル７の内側操作軸７０３を回転すると、今度は、
プーリ１０ａを介してベルト１１が駆動されるようにな
り、ステージ本体４がＸ軸方向に移動される。

【００３５】これにより、操作ハンドル７において、外
側操作軸７０２および内側操作軸７０３を選択的に回転
操作することで、ステージ本体４をＹ軸方向およびＸ軸
方向に移動することができ、ステージ本体４上の図示し
ない標本を所望する位置に移動することができる。

【００３６】次に、クラッチレバー操作部１４のグリッ
プ１４１を握って、クラッチレバー１４３を図５に示す
破線位置まで回動操作すると、インナーワイヤ１２６、
１３６にそれぞれ所定の引っ張り力を与えるようにな
り、これらインナーワイヤ１２６、１３６の引っ張り力
により、図３に示すクラッチ部１２では、インナーワイ
ヤ１２６の図示左方向の引っ張り力によりプランジャ１
２４がバネ１２３の偏倚力に抗した方向に図示破線位置
まで移動されてベルト８の固定が解除され、同時に、図
４に示すクラッチ部１３でも、インナーワイヤ１３６の
図示左方向の引っ張り力によりプランジャ１３４がバネ
１３３の偏倚力に抗した方向に図示破線位置まで移動さ
れてベルト１１の固定が解除される。

【００３７】これにより、ステージベース１とベルト８
の連結およびステージ本体４とベルト１１の連結が解除
されるので、直接中間ステージ２をＹ軸方向、ステージ
本体４をＸ軸方向にそれぞれ移動させることにより、ス
テージ本体４上の図示しない標本の粗い位置合わせを操
作ハンドル７やベルト８、１１の運動抵抗を受けること
なくスムーズに行うことができる。

【００３８】その後、クラッチレバー操作部１４のグリ
ップ１４１の握りを離して、クラッチレバー１４３を図
５に示す実線位置まで戻し、インナーワイヤ１２６、１
３６での所定の引っ張り力を解除すれば、再びクラッチ
部１２、１３によりステージベース１とベルト８および
ステージ本体４とベルト１１のそれぞれの連結が復活
し、操作ハンドル７によるステージ本体４の移動が可能
になる。

【００３９】従って、このようにすれば、ステージベー
ス１上の中間ステージ２およびステージ本体４は、プー
リ９ａ、９ｂおよび１０ａ、１０ｂ間にそれぞれ張設さ
れたベルト８、１１の往復走行により直線駆動され、ス
テージ本体４にＸ軸およびＹ軸方向の移動を得られるよ
うにしているので、従来のステージ駆動部としてラック
とピニオンやレールと摩擦輪を組み合わせたものと比
べ、ラックやレールの飛び出しがなくなり、さらにラッ
クやレールのような加工精度も要求されないことから製
作が簡単で、さらに組み立て調整も必要ないことから、
組み立ても簡単にできる。また、ラックとピニオンのよ
うな特有なきしみもなく、レールと摩擦輪の特有なスリ
ップもないので、標本の位置合わせのためのステージ移
動がスムーズで、安定した操作性が得られる。さらにま
た、ステージの大型化にもプーリ９ａ、９ｂおよび１０
ａ、１０ｂの間隔を大きくとるだけで簡単に対応するこ
とができる。

【００４０】また、クラッチレバー１４での操作のみに
より、ベルト８、１１の固定を解除できるので、標本の
粗い位置合わせの際に操作ハンドル７によらずに直接ス
テージ本体４を移動させる場合にベルト８、１１などの
運動抵抗を受けることなくスムーズに行うこともでき
る。

【００４１】なお、上述した実施例では、平ベルト８
（１１）とプーリ９ａ、９ｂ（１１ａ、１１ｂ）の組み
合わせのものについて述べたが、Ｖ字状ベルトとプー
リ、歯付きベルトとプーリなどの組み合わせのものを用
いてもよい。この場合、特に、歯付きベルトを用いれ
ば、プーリトの間の滑りをなくすことができるので、さ
らに確実な動作を得られる。また、これらベルトに代え
てワイヤーを用いることもできる。また、上述では、ス
テージベース１上に中間ステージ２およびステージ本体
４を設け、ステージ本体４にＸ軸およびＹ軸方向の直線
移動を可能にしたが、中間ステージ２を省略してステー
ジ本体４に一方向の直線移動を可能にしたものにも適用
できる。（第２の実施の形態）図６および図７は、第２の実施の
形態の概略構成を示すもので、上述した図１および図２
と同一部分には、同符号を付している。

【００４２】この場合、ステージベース１にベルト固定
部２１を設けている。このベルト固定部２１は、図８に
示すようにプレート２１１の先端部に肉厚の固定部本体
２１２を形成し、この固定部本体２１２にネジ孔２１３
を設けている。

【００４３】そして、このようなベルト固定部２１は、
プレート２１１をステージベース１に固定するととも
に、肉厚の固定部本体２１２をプーリ９ａ、９ｂ間を平
行に走行されるベルト８、８間に介在させ、固定部本体
２１２の外側からベルト８を介してネジ２２を捩じ込む
ことにより、固定部本体２１２の外側を走行する例えば
往路側のベルト８を固定部本体２１２に固定可能にして
いる。また、このベルト固定部２１は、図９に示すよう
に固定部本体２１２の内側からベルト８を介してネジ２
２を捩じ込むことで、固定部本体２１２の内側を走行す
る復路側のベルト８を固定部本体２１２に固定できるよ
うにもしている。

【００４４】一方、ステージ本体４にもベルト固定部２
３を設けている。このベルト固定部２３も、上述した図
８および図９に示したベルト固定部２１と同様に構成し
ていて、プーリ１０ａ、１０ｂ間を平行に走行されるベ
ルト１１、１１の往路または復路を選択的に固定できる
ようになっている。

【００４５】しかして、この状態から操作ハンドル７の
つまみ部７０１により外側操作軸７０２を回転すると、
プーリ９ａを介してベルト８が駆動されるので、中間ス
テージ２は、Ｙ軸方向に移動され、この移動と伴にステ
ージ本体４もＹ軸方向に移動される。また、ハンドル７
の内側操作軸７０３を回転すると、今度は、プーリ１０
ａを介してエンドレスベルト１１が直線的に駆動される
ようになり、ステージ本体４がＸ軸方向に移動される。

【００４６】これにより、操作ハンドル７において、外
側操作軸７０２および内側操作軸７０３を選択的に回転
操作することで、ステージ本体４をＹ軸方向およびＸ軸
方向にそれぞれ移動することができ、ステージ本体４上
の図示しない標本を所望する位置に移動することができ
る。

【００４７】この場合、各ベルト固定部２１、２３にお
いて、固定部本体２１２、２３２に対するベルト８、１
１の固定位置を図８または図９に示すように適宜切り替
えることにより、操作ハンドル７の操作方向に対するス
テージ本体４のＹ軸およびＸ軸の移動方向を反対にする
ことができる。つまり、検鏡者の要求に応じて操作ハン
ドル７の操作方向に対するステージ本体４のＹ軸および
Ｘ軸の移動方向を自由に選択できるので、例えば、倒立
像を得る鏡筒から正立像を得る鏡筒に切り替わったよう
な場合、これとともにステージ本体４のＹ軸およびＸ軸
の移動方向を切り替えることで、ステージ操作により違
和感のない検鏡をスムーズに行うことができる。

【００４８】図１０は、上述したベルト固定部の他の例
を示すもので、この場合、ベルト固定部３１は、プレー
ト３１１の先端部に肉厚の固定部本体３１２を形成し、
この固定部本体３１２頭部にクラッチ部材３１３をネジ
３２により固定可能にしている。このクラッチ部材３１
３は、両端部を同方向に折り曲げて押さえ部３１３ａ、
３１３ｂを形成するとともに、中間部にネジ３２が挿通
される長孔３１３ｃを軸方向に沿って形成していて、長
孔３１３ｃに対するネジ３２の固定位置によって固定部
本体３１２と押さえ部３１３ａ、３１３ｂの間隔を調整
できるようにしている。

【００４９】そして、このようなベルト固定部３１は、
プレート３１１をステージベース１（またはステージ本
体４）に固定するとともに、固定部本体３１２をプーリ
９ａ、９ｂ（１０ａ、１０ｂ）間で平行に走行されるベ
ルト８、８（１１、１１）間に介在させ、この状態で、
長孔３１３ｃに対するネジ３２の固定位置を決定するこ
とで、押さえ部３１３ａ（または３１３ｂ）と固定部本
体３１２の間に走行されるベルト８（１１）の往路また
は復路を固定可能にしている。

【００５０】従って、このようにしても、クラッチ部材
３１３の長孔３１３ｃに対するネジ３２の固定位置によ
り、ベルト８、８（１１、１１）の往路または復路の一
方を選択的に固定できるので、操作ハンドル７の操作方
向に対するステージ本体のＹ軸およびＸ軸の移動方向を
必要に応じて逆転することができ、これにより上述した
と同様な効果を期待できる。

【００５１】なお、実施の形態の中では、プーリを回転
させるステージの操作ハンドル７を手動で回転させる構
成のものを示したが、プーリをモータにより電気的に駆
動する構成に対しても本発明を適用できる。

【００５２】また、クラッチ部１２、１３でベルトの固
定を解除するためにワイヤを用いて操作する例を示した
が、このクラッチ部に周知の直動タイプの電磁ソレノイ
ドを組込み、この電磁ソレノイドの駆動スイッチをクラ
ッチレバー操作部１４に取り付けて電磁ソレノイドがオ
ンの時にベルトの固定が解除するように構成することも
できる。

【００５３】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、下ス
テージに対して移動可能にした上ステージは、一対のプ
ーリに張設されたエンドレスの駆動力伝達部材の往復走
行により直線駆動されて所定方向の移動が得られるよう
になるので、標本位置合わせのための上ステージの移動
がスムーズで、安定した操作性が得られ、また、必要に
応じてクラッチ部材により駆動力伝達部材の固定を解除
できるので、標本の粗い位置合わせ時の上ステージ本体
の移動の際にも駆動力伝達部材などの運動抵抗を受ける
ことがなくスムーズな移動が得られる。

【００５４】また、ラックやレールが不要になるので、
加工、組み立てが簡単になり、ステージの移動に伴うラ
ック、レールのの飛び出しも防止することができる。さ
らに一対のプーリ間に張設されたエンドレスの駆動力伝
達部材の往路または復路の一方を選択的に固定できるの
で、上ステージ本体の移動方向を必要に応じて逆転させ
ることができ、検鏡者の要求に応じて上ステージ本体の
移動方向を自由に選択することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の概略構成を示す
図。

【図２】第１の実施の形態の概略構成を示す図。

【図３】第１の実施の形態に用いられるクラッチ部の概
略構成を示す図。

【図４】第１の実施の形態に用いられるクラッチ部の概
略構成を示す図。

【図５】第１の実施の形態に用いられるクラッチレバー
操作部の概略構成を示す図。

【図６】本発明の第２の実施の形態の概略構成を示す
図。

【図７】第２の実施の形態の概略構成を示す図。

【図８】第２の実施の形態に用いられるベルト固定部の
概略構成を示す図。

【図９】第２の実施の形態に用いられるベルト固定部の
概略構成を示す図。

【図１０】第２の実施の形態に用いられるベルト固定部
の他の例の概略構成を示す図。

【符号の説明】

１…ステージベース、１ａ…ガイド溝、１０１…透孔、
２…中間ステージ、２ａ…ガイド溝、２０１…透孔、２
０２…溝部、３…ガイド、３ａ…ガイド溝、４…ステー
ジ本体、４０１…透孔、５…カイド、５ａ…ガイド溝、
６…ローラ、７…操作ハンドル、７０１…つまみ部、７
０２…外側操作軸、７０３…内側操作軸、８…ベルト、
９ａ、９ｂ…プーリ、１０ａ、１０ｂ…プーリ、１１…
ベルト、１２…クラッチ部、１２１…プレート、１２１
ａ…折曲げ部、１２２…プランジャガイド、１２３…バ
ネ、１２４…プランジャ、１２５…アウターワイヤ、１
２６…インナーワイヤ、１３…クラッチ部、１３１…当
て部材、１３２…プランジャガイド、１３３…バネ、１
３４…プランジャ、１３５…アウターワイヤ、１３６…
インナーワイヤ、１４…クラッチレバー操作部、１４１
…グリップ、１４２…支持ぶざい、１４３…クラッチレ
バー、２１…ベルト固定部、２１１…プレート、２１２
…固定部本体、２１３…ネジ孔、２２…ネジ、２３…ベ
ルト固定部、３１…ベルト固定部、３１１…プレート、
３１２…固定部本体、３１３…クラッチ部材、３１３
ａ、３１３ｂ…押さえ部、３１３ｃ…長孔、３２…ネ
ジ。

【手続補正書】

【提出日】平成７年１１月２０日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１７

【補正方法】削除

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２３

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２３】中間ステージ２の一方のガイド３を取付け
た側縁には、この一方のガイド３に沿って、つまり、中
間ステージ２の移動方向と平行な方向に沿って所定間隔
をおいて一対のプーリ９ａ、９ｂを配置し、これらプー
リ９ａ、９ｂの間に、エンドレスの平ベルト８を張設
し、これらプーリ９ａ、９ｂの間を往復走行するように
している。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも上下方向に重ねて配置される
上ステージと下ステージを有するとともに、下ステージ
に対して上ステージを直線方向に移動可能にした顕微鏡
ステージにおいて、前記上ステージまたは下ステージに前記上ステージの移
動方向と平行な方向に沿って所定間隔をおいて配置され
る一対のプーリと、これら一対のプーリの間に張設されるとともにこれらプ
ーリの間を往復走行されるエンドレスの駆動力伝達部材
と、前記下ステージまたは上ステージに設けられ前記プーリ
の間を走行される前記駆動力伝達部材の往路または復路
のいずれか一方を固定または解除可能にしたクラッチ部
材とを具備したことを特徴とする顕微鏡ステージ。
【請求項２】クラッチ部材は、プランジャガイドと、
このプランジャガイドに沿って移動可能に設けられたプ
ランジャと、このプランジャを前記駆動力伝達部材側に
押圧する偏倚力を作用するバネ部材と、前記プランジャ
を前記バネの偏倚力に抗して前記駆動力伝達部材から開
離する方向に操作する操作手段とを有することを特徴と
する請求項１記載の顕微鏡ステージ。
【請求項３】少なくとも上下方向に重ねて配置される
上ステージと下ステージを有するとともに、下ステージ
に対して上ステージを直線方向に移動可能にした顕微鏡
ステージにおいて、前記上ステージまたは下ステージに前記上ステージの移
動方向と平行な方向に沿って所定間隔をおいて配置され
る一対のプーリと、これら一対のプーリの間に張設されるとともにこれらプ
ーリの間を往復走行されるエンドレスの駆動力伝達部材
と、前記下ステージまたは上ステージに設けられ前記プーリ
の間を走行される前記駆動力伝達部材の往路または復路
を選択的に固定可能にした固定手段とを具備したことを
特徴とする顕微鏡ステージ。