JPH09113253A - 変位検出のための基準位置設定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 物体の変位量を検出する際に、検出のための
基準位置を容易に設定することが出来るとともに、検出
対象物の寸法にばらつきがあるような場合であっても、
その寸法のばらつきに追従して短時間における変位量の
検出を可能にする基準位置設定装置を提供する。 【解決手段】 基盤１と、センサ取付板９を有する昇降
フレーム３と、昇降フレーム３を基盤１に対して接離さ
せるシリンダ４と、昇降フレーム３に設けられた当接部
８Ａと、当接部８Ａを昇降フレーム３から離間する方向
に付勢するとともにシリンダ４の基盤１から昇降フレー
ム３を離間させる力よりも大きい付勢力を有するばね７
と、当接部８Ａと一体的にスライドされることにより他
端部がセンサ取付板９に対してその位置を変化させるガ
イドシャフト５と、シリンダ４を任意の位置でロックす
るロック部４Ｂとを備え、スライド部の軸方向の変位を
検出する変位検出器が変位検出器の取付け部に取付け自
在である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、物体の変位を検
出する際の検出基準位置を設定する基準位置設定装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、はりの撓み試験や構造物の強度
試験等のように、負荷が作用する物体の変位量を測定す
る場合には、物体の負荷作用点に測定器をセットし、無
負荷の状態の負荷作用点の位置を基準に負荷を与えた時
の負荷作用点の位置を検出してその点の変位を測定す
る。

【０００３】従来、このような変位量の測定は、無負荷
の状態の測定対象物に測定器をセットした際のその測定
器の表示値と、負荷を与えた時の測定器の表示値との差
を演算して求めたり、測定対象物に測定器をセットした
際に測定器の表示値をリセットしてゼロ調節することに
より行っている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような変位量の測定等を行う場合に、従来のように、無
負荷状態での測定値と負荷をかけた時の測定値との差を
演算によって求める方法では、直接的に変位を求めるこ
とが出来ず演算が面倒であったり、測定誤差が生ずる虞
がある。また、測定対象物に測定器をセットした際に測
定器の表示値をリセットする方法では、その操作が煩雑
である。

【０００５】そして、もし、測定値の演算や測定器の表
示値のリセットを行わない場合には、測定対象物が無負
荷の状態のときに表示値がゼロになるように、測定器を
慎重にセットしなければならない。

【０００６】また、ベルトコンベアによって搬送されて
くる製品に順次負荷を与えていって、その負荷作用点の
変位量を検出することにより、その製品が一定の強度を
有しているか否かを検査する品質検査等を自動的に行お
うとするような場合には、次々に流れてくる製品毎に検
出器を短時間でセットして変位量の検出を行う必要が有
るが、従来のような変位量の検出の方法では、短時間で
検出器を製品にセットしその表示値の調節等を行って検
出を開始するのは難しい。特に、検査対象物の寸法にば
らつきがあるような場合には、測定器をセットして各製
品毎に変位量検出のための基準位置を設定するのは困難
である。

【０００７】この発明は、上記のような従来の変位量の
検出における問題点を解決するためになされたものであ
る。すなわち、この発明は、物体の変位量を検出する際
に、検出のための基準位置を容易に設定することが出来
るとともに、検出対象物の寸法にばらつきがあるような
場合であっても、その寸法のばらつきに追従して短時間
における変位量の検出を可能にする基準位置設定装置を
提供することを目的とする。

【０００８】さらに、この発明は、変位検出値の誤差が
少なく、しかも簡易な構成の基準位置設定装置を提供す
ることを目的とする。またさらに、この発明は、変位検
出対象物の複数の変位検出部位における変位を検出する
ことが出来る基準位置設定装置を提供することを目的と
する。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の第１の発明は、基台と、この基台に対し接離自在に設
けられるとともに変位検出器の取付け部を有する可動台
と、基台に固定されるとともに可動部が可動台に連結さ
れてこの可動台を基台に対して接離させる駆動部材と、
可動台に対し基台と反対側に配置され可動台の基台に対
する接離方向と同一方向に接離自在に設けられた当接部
と、この当接部と可動台との間に介装されて当接部を可
動台から離間する方向に付勢するとともに駆動部材の基
台から可動台を離間させる力よりも大きい付勢力を有す
る付勢部材と、可動台に当接部の接離方向に沿って軸線
が延びるようにスライド自在に取付けられ、一端部が当
接部に連結されて当接部と一体的にスライドされること
により他端部が前記変位検出器の取付け部に対してその
位置を変化させるスライド部と、駆動部材を任意の位置
でロックするロック部材とを備え、スライド部の軸方向
の変位を検出する変位検出器が変位検出器の取付け部に
取付け自在であることを特徴としている。

【００１０】上記第１の発明による変位検出のための基
準位置設定装置は、他の装置のフレーム等に基台が固定
され、可動台に設けられた変位検出器の取付け部に変位
検出器が取り付けられて使用される。このとき、基台
は、当接部の移動方向が変位を検出しようとする変位検
出対象物の部位に作用する負荷の作用方向と一致するよ
うに取り付けられる。また、変位検出器の取付け部に
は、例えば、近接センサ，ダイヤルゲージおよびリニア
エンコーダ等が取り付けられる。

【００１１】そして、変位検出対象物の変位検出部位が
基準位置設定装置の当接部に対向するとともに当接部か
ら離間した位置に位置決めされると、駆動部材が駆動さ
れてその可動部を介して可動台が基台から離間する方向
にスライドされる。この可動台のスライドによって、当
接部が変位検出対象物の変位検出部位に接近して当接さ
れる。

【００１２】このとき、この当接部と可動台との間に介
装されて当接部を可動台から離間する方向に付勢する付
勢部材の付勢力が駆動部材の基台から可動台を離間させ
る力よりも大きくなるように設定されているので、当接
部が変位検出対象物の変位検出部位に当接すると可動台
の移動が停止する。このとき、当接部が可動台に接近す
ることはない。この状態でロック部材によって駆動部材
がロックされることにより、可動台がその位置に固定さ
れる。

【００１３】この後、変位検出対象物の変位検出部位に
負荷が作用されると、この変位検出部位の変位に伴っ
て、当接部が付勢部材の付勢力に抗して可動台に接近す
る方向に変位し、この当接部の変位に伴ってスライド部
材が可動台に対してスライドしてその他端部の変位検出
器の取付け部に対する位置関係が変化する。このスライ
ド部材の変位検出器の取付け部に対する位置関係の変化
を変位検出器によって検出することにより、変位検出対
象物の変位検出部位における変位が検出される。

【００１４】前記目的を達成するための第２の発明は、
上記第１の発明の構成に加えて、スライド部材が、可動
台の基台に対する接離方向と同一方向に沿って可動台に
対して接離するように当接部をガイドするガイドシャフ
トであることを特徴としている。

【００１５】上記第２の発明による変位検出のための基
準位置設定装置は、上記第１の発明のスライド部材が、
当接部を可動台の移動方向と同一方向にガイドするガイ
ドシャフトによって構成されていることにより、当接部
が変位検出対象物に当接され変位検出部位に負荷が作用
された際に、当接部が可動台に対して可動台の基台に対
する接離方向と同一方向にスライドするようにガイドさ
れる。

【００１６】前記目的を達成するための第３の発明は、
前記第１の発明の構成に加えて、当接部が複数配置さ
れ、付勢部材がそれぞれの当接部と可動台との間に介装
され、スライド部材がそれぞれの当接部毎に可動台にス
ライド自在に取付けられ、変位検出器の取付け部がそれ
ぞれの当接部毎に設けられていることを特徴としてい
る。

【００１７】上記第３の発明による変位検出のための基
準位置設定装置は、複数配置された当接部を同時に変位
検出対象物に当接させ、それぞれの変位検出部位に負荷
を作用させれば、それぞれの変位検出部位における変位
が個別に検出される。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、この発明の最も好ましいと
思われる実施の形態を図面に基づいて説明する。

【００１９】図１および２は、この発明による基準位置
設定装置をパレットのがたつきを検知する場合に適用し
た実施例を示したものである。この実施例の基準位置設
定装置は、以下に説明するように、検査対象物であるパ
レットに対して負荷を二箇所に作用させてそのがたつき
を検知するようになっているのに対応して、変位検出部
ａを二組備えているものである。

【００２０】図１および２において、基準位置設定装置
Ａは左右対称に構成されており、基板１の両側にそれぞ
れ一対のガイドシャフト２が基板１を貫通した状態で上
下動自在に取り付けられている。そして、ガイドシャフ
ト２の下端に昇降板３が固定され、このガイドシャフト
２によって昇降フレーム３が、基板１に対して平行状態
を保持したまま上下方向にガイドされるようになってい
る。

【００２１】基板１の上面には、一対のガイドシャフト
２の中間位置に、軸線方向がガイドシャフト２と平行に
なるようにシリンダ４が固定されている。そして、この
シリンダ４のピストンロッド４Ａが基板１の下面から下
向きに突出し、その下端部が昇降フレーム３の上面中央
部に固定されていて、このシリンダ４の作動により昇降
フレーム３が基板１に対して上下動されるようになって
いる。このシリンダ４は、空気圧式であっても油圧式で
あってもよい。

【００２２】シリンダ４は図３および４に示されるよう
なロック部４Ｂを有し、このロック部４Ｂによってピス
トンロッド４Ａが任意の位置でロック出来るようになっ
ている。図３はロック部４Ｂのロック開放状態を、図４
はロック部４Ｂのロック状態を示している。

【００２３】このシリンダ４のロック部４Ｂは、ケーシ
ング４ａ内にピストンロッド４Ａに外嵌されたブレーキ
ピストン４ｂを有し、このブレーキピストン４ｂがポー
トｐ１とポートｐ２から導入される空気圧によってピス
トンロッド４Ａに沿って上下動するようになっている。

【００２４】そして、図３のロック開放状態において
は、ブレーキピストン４ｂが図において下降位置に在
り、この状態でポートｐ２から空気圧が導入されると、
この空気圧によって付勢されて上昇される。ブレーキピ
ストン４ｂが上昇されると、図４に示されるように、ケ
ーシング４ａ内に回動自在に取り付けられたブレーキア
ーム４ｃが、その一端部をブレーキピストン４ｂのテー
パ部４ｂ’により外側方向に付勢されることによって回
動される。

【００２５】このブレーキアーム４ｃの回動によって、
アームの他端部がピストンロッド４Ａの外周に巻回され
たブレーキシュー４ｄをピストンロッド４Ａに押圧し
て、ピストンロッド４Ａをロックする。

【００２６】このピストンロッド４Ａのロック状態は、
ポートｐ１から導入される空気圧によって、ブレーキピ
ストン４ｂが下降されることにより解除される。昇降フ
レーム３の両端部は、それぞれ一対ずつのガイドシャフ
ト５が昇降フレーム３を貫通した状態で上下動自在に取
り付けられ、このガイドシャフト５の下端に昇降板６が
固定されていて、ガイドシャフト５によって昇降板６が
昇降フレーム３に対して平行状態を保持したまま上下方
向にガイドされるようになっている。

【００２７】昇降板６と昇降フレーム３との間には、ば
ね７が、それぞれ中心をガイドシャフト５に挿通された
状態で介装されていて、昇降板６を昇降フレーム３に対
して下方向に付勢している。このばね７のばね力Ｆ１
は、シリンダ４によって昇降フレーム３を下方向に押す
力Ｆ２よりも大きくなるように設定されている（図５参
照）。

【００２８】昇降板６には、一対のガイドシャフト５の
中間位置に、ロッド８が、ガイドシャフト５の軸方向と
平行にかつ下端部が昇降板６の下方に突出した状態で固
定されていて、このロッド８の下端に後述する検査対象
物であるパレットＰに当接される当接部８Ａが形成され
ている。

【００２９】昇降フレーム３の上面には、それぞれ一対
のガイドシャフト５の間に、センサ取付板９が立設され
ており、このセンサ取付板９の上端部に近接センサ１０
が取り付けられている。また、それぞれ一対のガイドシ
ャフト５のうち一方のシャフトの上端に検出子１１が取
り付けられていて、この検出子１１がガイドシャフト５
の上昇に伴って近接センサ１０に接近すると、その上昇
が近接センサ１０によって検知されるようになってい
る。

【００３０】この近接センサ１０によって検知されるま
での検出子１１の上昇高さ、すなわち検査対象物の負荷
作用点の変位量は、それぞれ検査対象物に対応して設定
される。ここでは、後述するように、パレットＰの表エ
ッジボードｐ１に負荷を与えた時の表エッジボードｐ１
の浮上がり許容量に設定される。

【００３１】次に、上記基準位置設定装置Ａの使用方法
を説明する。上記基準位置設定装置Ａは、パレットＰを
搬送するコンベアベルト（図示せず）の側方部に配置さ
れた本体フレームＦの上縁部に基板１が固定されること
によって、コンベアベルトの側部上方に位置するように
配置される。このとき、基板１は、シリンダ４が鉛直向
き（したがってガイドシャフト２，ガイドシャフト５お
よびロッド８も鉛直向き）になるように固定される。

【００３２】そして、検査対象物であるパレットＰがベ
ルトコンベアによって搬送され、基準位置設定装置Ａの
下方部に位置決めされると、シリンダ４が作動され、ピ
ストンロッド４Ａが下方に向って突き出されて、昇降フ
レーム３がガイドシャフト２によってガイドされながら
水平状態を保ったまま下降される。そして、この昇降フ
レーム３の下降によって、ロッド８の当接部８Ａがパレ
ットＰの表エッジボードｐ１の上面に当接される。

【００３３】図５に、ロッド８の当接部８Ａがパレット
Ｐの表エッジボードｐ１の上面に当接されている状態が
示されている。この図５において、シリンダ４が昇降フ
レーム３を下方向に押す力Ｆ２は、前述したように、ば
ね７のばね力Ｆ１よりも小さいので、当接部８Ａが下降
してパレットＰの表エッジボードｐ１に当接した際に、
ばね７が圧縮されることはない。したがって、パレット
Ｐの表エッジボードｐ１の高さにばらつきがあっても、
当接部８ＡがパレットＰの上面に当接されると、昇降フ
レーム３と昇降板６との間隔が変化することはなく、昇
降フレーム３の下降が停止する。

【００３４】この昇降フレーム３の下降が停止した状態
でシリンダ４のピストンロッド４Ａを、ロック部４Ｂの
ポートｐ２に空気圧を導入してロックすることにより、
後述するように、パレットＰの表エッジボードｐ１に負
荷を作用させた時のボードの変位検出の際の検出基準位
置が設定される。

【００３５】上記のように、シリンダ４のピストンロッ
ド４Ａをロックした後、適宜手段により、パレットＰの
裏けた板ｐ２を固定するとともに、表エッジボードｐ１
のロッド８の当接部８Ａが当接している位置の裏面に垂
直上向きに負荷Ｆ３を作用させる。この表エッジボード
ｐ１に作用される負荷Ｆ３の大きさは、ばね７のばね力
Ｆ１よりも大きく、また裏けた板ｐ２を固定する力Ｆ４
よりも小さくなるように設定される。

【００３６】また、表エッジボードｐ１に負荷Ｆ３を作
用させた時に昇降フレーム３が上昇しないような力Ｆ５
によって、シリンダ４のピストンロッド４Ａが固定され
ている。

【００３７】上記のように、パレットＰの表エッジボー
ドｐ１に負荷を作用する手段としては、図６に示すよう
に、互いに平行な一対のブラケットＢ１およびＢ２を水
平方向に進退自在に配置し、この一対のブラケットＢ１
およびＢ２を前進させてパレットＰの表エッジボードｐ
１と裏けた板ｐ２との間に進入させ、その後、この一対
のブラケットＢ１およびＢ２を互いに離間する方向にス
ライドさせ、下側のブラケットＢ２によって裏けた板ｐ
２を押えて固定した後、上側のブラケットＢ１によって
表エッジボードｐ１を持ち上げるようにして負荷を与え
るような機構のものが考えられる。

【００３８】この負荷Ｆ３を表エッジボードｐ１に作用
させることによって、パレットＰの表エッジボードｐ１
とブロックｐ３との間にがたつきがある場合には、表エ
ッジボードｐ１がブロックｐ３から浮き上がり、上方に
変位して、昇降板６およびガイドシャフト５をばね７に
抗して上方に上昇させる。

【００３９】このガイドシャフト５の上昇量、すなわち
表エッジボードｐ１の浮き上がり量があらかじめ設定さ
れている許容量よりも大きい時には、検出子１１が近接
センサ１０によって検知され、図示しないランプの点灯
やブザーの作動等の手段により、表エッジボードｐ１の
がたつきが検出される。

【００４０】以上のような作動が終了すると、表エッジ
ボードｐ１への負荷が解除された後、シリンダ４のロッ
ク部４Ｂのポートｐ２に空気圧が導入されることにより
ピストンロッド４Ａのロックが解除された後、ピストン
ロッド４Ａが引き込まれる方向にシリンダ４が作動され
る。これによって、昇降フレーム３がもとの待機位置ま
で上昇される。そして昇降板６は、ばね７によって付勢
されることにより、昇降フレーム３に対して相対的に下
降され、もとの待機位置に復帰される。

【００４１】以上の実施例においては、基準位置設定装
置ＡをパレットＰのがたつき検出に使用し、負荷を作用
させた際のパレットＰの表エッジボードｐ１の変位を近
接センサ１０によって検出しているが、近接センサ１０
の代りにダイヤルゲージやリニアエンコーダ等の測定器
を昇降フレーム３とガイドシャフト５間に設置して、表
エッジボードｐ１の変位量を計量的に測定することも出
来る。

【００４２】また、上記実施例においては、負荷の作用
点に対応して、基準位置設定装置Ａが変位検出部ａを二
組備えているが、この変位検出部ａは、図７に示される
ように一組であってもよい。

【００４３】図７において、基準位置設定装置Ａ’は、
基板２１の両側に一対のガイドシャフト２２が基板２１
を貫通した状態で上下動自在に取り付けられている。そ
して、ガイドシャフト２２の下端に昇降フレーム２３が
固定され、ガイドシャフト２２によって昇降フレーム２
３が、基板２１に対して平行状態を保持したまま上下方
向にガイドされるようになっている。

【００４４】基板２１の上面には、一対のガイドシャフ
ト２２の中間位置に、ガイドシャフト２２と軸線方向が
平行になるようにシリンダ２４が固定されている。そし
て、このシリンダ２４のピストンロッド２４Ａが基板２
１の下面から下向きに突出し、その下端部が昇降フレー
ム２３の上面中央部に固定されていて、このシリンダ２
４の作動により昇降フレーム２３が基板２１に対して上
下動されるようになっている。

【００４５】ここまでの構造は、図１および２の基準位
置設定装置Ａとほぼ同様である。昇降フレーム３のピス
トンロッド４Ａの取付け位置とガイドシャフト２２の取
付け位置との間に、それぞれ、ガイドシャフト２５が昇
降フレーム２３を貫通した状態で上下動自在に取り付け
られている。

【００４６】ガイドシャフト２５の下端には昇降板２６
が固定されていて、ガイドシャフト２５によって昇降板
２６が基板２１に対して平行状態を保持したまま上下方
向にガイドされるようになっている。

【００４７】昇降板２６と昇降フレーム２３との間に
は、ばね２７が、それぞれ中心部をガイドシャフト２５
に挿通された状態で介装されていて、昇降板２６を昇降
フレーム２３に対して下方向に付勢している。

【００４８】昇降板２６の中央部には、ロッド２８がガ
イドシャフト２５の軸方向と平行にかつ昇降板２６の下
方に突出した状態で固定され、このロッド２８の下端に
検査対象物に当接される当接部２８Ａが形成されてい
る。

【００４９】昇降フレーム２３の上面には、シリンダ２
４のピストンロッド２４Ａと一方のガイドシャフト２５
の間に、センサ取付板２９が立設されていて、このセン
サ取付板２９の上端部に近接センサ３０が取り付けられ
ている。また、一方のガイドシャフト２５の上端に検出
子３１が取り付けられていて、この検出子３１がガイド
シャフト２５の上昇に伴って近接センサ３０に接近する
と、その上昇が検知されるようになっている。

【００５０】この基準位置設定装置Ａ’も、前述した基
準位置設定装置Ａと同様に、近接センサ３０の代りにダ
イヤルゲージやリニアエンコーダ等の変位測定器を取付
けて変位測定を行うことが出来るが、この場合には物体
の負荷作用点における変位を計量的に検出することが出
来る。

【００５１】基準位置設定装置Ａ’の使用方法は、前述
の基準位置設定装置Ａと同様ある。また、上記説明にお
いては、基準位置設定装置ＡおよびＡ’を、変位の検出
を行う対象物の上方に設置して使用しているが、負荷の
作用する方向に対応して変位検出対象物の側方や下方に
配置して使用することも出来る。

【００５２】以上のように、上記各実施例の基準位置設
定装置ＡおよびＡ’は、これらを一つのユニットとして
構成しておくことにより、例えば、はりの撓み試験機等
に容易に組み込むことが出来、これによって、変位測定
の際の容易な基準位置設定を可能にする。

【００５３】

【発明の効果】以上のように、第１の発明による変位検
出のための基準位置設定装置よれば、変位検出対象物の
変位検出部位に基準位置設定装置の当接部が当接される
と駆動部材が停止するので、その位置で駆動部材をロッ
クすることにより、変位検出のための基準位置が容易に
設定される。そして、検出対象物の寸法にばらつきがあ
るような場合であっても、当接部と可動台との相対的位
置関係に変化を与えることなく駆動部材の停止によって
当接部の位置決めが行われるので、寸法のばらつきに追
従して短時間における変位量の検出が可能になる。

【００５４】第２の発明による変位検出のための基準位
置設定装置は、上記第１の発明の効果に加えて、当接部
が変位検出対象物に当接され変位検出部位に負荷が作用
された際に、当接部が可動台に対して可動台の基台に対
する接離方向と同一方向にスライドするようにガイドさ
れるので、変位検出値の誤差が少なくなるとともに、変
位検出のためのスライド部材とガイドシャフトとを兼用
することによって、簡易な構成の装置とすることが出来
る。

【００５５】第３の発明による変位検出のための基準位
置設定装置は、上記第１の発明の効果に加えて、変位検
出対象物の複数の変位検出部位の変位を同時にかつ個別
に検出することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施形態の一例を示す正面図であ
る。

【図２】同例の側面図である。

【図３】同例におけるシリンダのロック部のロック開放
状態を示す側断面図である。

【図４】同例におけるシリンダのロック部のロック状態
を示す側断面図である。

【図５】同例の作動を説明するための作動説明図であ
る。

【図６】変位検出対象物に負荷を作用させる装置の一例
を示す部分図である。

【図７】この発明の他の例を示す正面図である。

【符号の説明】

１，２１…基盤（基台） ３，２３…昇降フレーム（可動台） ４，２４…シリンダ（駆動部材） ４Ａ，２４Ａ…ピストンロッド（可動部） ４Ｂ…ロック部 ５，２５…ガイドシャフト（スライド部材） ６，２６…昇降板 ７，２７…ばね（付勢部材） ８Ａ，２８Ａ…当接部 ９，２９…センサ取付板（変位検出器の取付け部）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基台と、 この基台に対し接離自在に設けられるとともに変位検出
   器の取付け部を有する可動台と、 前記基台に固定されるとともに可動部が前記可動台に連
   結されてこの可動台を基台に対して接離させる駆動部材
   と、 前記可動台に対し基台と反対側に配置され可動台の基台
   に対する接離方向と同一方向に接離自在に設けられた当
   接部と、 この当接部と前記可動台との間に介装されて当接部を可
   動台から離間する方向に付勢するとともに前記駆動部材
   の基台から可動台を離間させる力よりも大きい付勢力を
   有する付勢部材と、 前記可動台に前記当接部の接離方向に沿って軸線が延び
   るようにスライド自在に取付けられ、一端部が当接部に
   連結されて当接部と一体的にスライドされることにより
   他端部が前記変位検出器の取付け部に対してその位置を
   変化させるスライド部と、 前記駆動部材を任意の位置でロックするロック部材とを
   備え、 前記スライド部の軸方向の変位を検出する変位検出器が
   前記変位検出器の取付け部に取付け自在であることを特
   徴とする変位検出のための基準位置設定装置。
2. 【請求項２】 前記スライド部材が、可動台の基台に対
   する接離方向と同一方向に沿って可動台に対して接離す
   るように当接部をガイドするガイドシャフトである請求
   項１に記載の変位検出のための基準位置設定装置。
3. 【請求項３】 前記当接部が複数配置され、前記付勢部
   材がそれぞれの当接部と可動台との間に介装され、前記
   スライド部材がそれぞれの当接部毎に可動台にスライド
   自在に取付けられ、前記変位検出器の取付け部がそれぞ
   れの当接部毎に設けられている請求項１に記載の変位検
   出のための基準位置設定装置。