JPH09105811A - カラーフィルター用光重合性組成物 - Google Patents
カラーフィルター用光重合性組成物Info
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- JPH09105811A JPH09105811A JP10247396A JP10247396A JPH09105811A JP H09105811 A JPH09105811 A JP H09105811A JP 10247396 A JP10247396 A JP 10247396A JP 10247396 A JP10247396 A JP 10247396A JP H09105811 A JPH09105811 A JP H09105811A
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Abstract
有する化合物、光重合開始系及び色材料を含有するカラ
ーフィルター用光重合性組成物の感度及び現像性を改善
する。 【解決手段】 光重合開始系として4,4’,5,5’
位に置換したフェニル基が電子吸引性の置換基を有する
ヘキサフェニルビイミダゾール化合物と増感剤を含有
し、色材料を全固形分に対して50重量%以上含有する
ものを用いる。
Description
用光重合性組成物に関する。更に詳しくは、カラーテレ
ビ、液晶表示素子、カメラ等に使用される光学的カラー
フィルターの製造に使用される光重合性組成物に関す
る。
トリックスを設けたガラス、プラスチックシート等の透
明基板の表面に、赤、緑、青の3種の異なる色相によ
り、10〜50μm幅のストライプ状、モザイク状等の
色パターンを数μmの精度で形成して製造される。カラ
ーフィルターの代表的な製造方法としては、染色法、印
刷法、顔料分散法、電着法等がある。しかし、これらの
方法では、耐熱性が悪い、パターンの位置精度が悪い、
生産コストが高い、生産性が悪い等いずれも一長一短が
あり、用途に応じて各方式が使い分けられている。これ
らの製造方法の内、色材料を含有する光重合性組成物
を、ブラックマトリックスを設けた透明基板上に塗布
し、画像露光、現像、熱硬化処理を繰り返すことでカラ
ーフィルター画像を形成する顔料分散法は、カラーフィ
ルター画素の位置、膜厚等の精度が高く、寿命が長く、
ピンホール等の欠陥が少ないため、広く採用されてい
る。
性組成物には、色材料以外に、通常、有機高分子物質、
エチレン性不飽和二重結合を少なくとも1個有する化合
物(以下「エチレン性化合物」)、光重合開始系、及び
溶剤が含有されている。光重合開始系としては、従来、
トリアジン系化合物又はトリアジン系化合物及びイミダ
ゾール系化合物を併用するもの(特開平6−20191
3号公報)、ミヒラーズケトンとイミダゾール系化合物
とを併用するもの(特開平5−173320号公報)、
或いは「ファインケミカル」1991年3月1日号Vo
l.20,No.4,P.16〜26に記載のジアルキ
ルアセトフェノン系、ベンジルジアルキルケタール系、
ベンゾイン系、ベンゾインアルキルエーテル系、チオキ
サントン誘導体等が、カラーフィルター用に使用されて
いる(特開平4−190362号公報、特開平5−30
3012号公報、特開平6−35188号公報等)。
ラーフィルター用光重合性組成物の感度は充分ではな
く、高出力の光源、或いは、ポリビニルアルコール層等
の酸素遮断層の塗設を必要とし、問題であった。特に、
ブラックマトリックス用の光重合性組成物の感度が低く
問題であった。本発明は、上記従来の問題点を解決し、
酸素遮断層の塗設を行なわなくても、高い感度を有する
カラーフィルター用光重合性組成物を提供することを目
的とするものである。
を解決すべく鋭意検討した結果、エチレン性不飽和二重
結合を少なくとも1個有する化合物、共重合開始系及び
色材料を含有する光重合性組成物において、光重合開始
系として特定のラジカル発生剤と増感剤とを組合せ、高
い色材料固形分濃度においても感度の高い光重合性組成
物が得られることを見出し、本発明に到達した。
飽和二重結合を少なくとも1個有する化合物、光重合開
始系及び色材料を含有する光重合性組成物において、該
光重合開始系が4,4’,5’,5’位に置換したフェ
ニル基が電子吸引性の置換基を有するヘキサフェニルビ
イミダゾール化合物と増感剤を含有し、該色材料が該光
重合性組成物中の全固形分に対して40重量%以上含有
されていることを特徴とするカラーフィルター用光重合
性組成物に存する。
使用されるエチレン性化合物は、光重合開始剤組成物の
存在下で重合が誘起されるエチレン性不飽和結合を少な
くとも二個以上有しているものが好ましく、具体的には
ポリグリシジルエーテル化合物と不飽和モノカルボン酸
との付加反応、或いは、ポリヒドロキシ化合物とエポキ
シモノカルボン酸エステルとの付加反応、で得られるエ
チレン性不飽和二重結合を2個以上有するエチレン性化
合物(A)であるが、該エチレン性化合物(A)と共
に、脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸と
の付加反応(エステル反応)で得られる、エチレン性不
飽和二重結合を2個以上含有するエチレン性化合物
(B)を併用することが好ましい。該エチレン性化合物
(A)は透明基板との接着性、現像性を向上させる機能
を果たすものである。
しては、ハイドロキノン、レゾルシン、ピロガロール等
のポリヒドロキシベンゼン、ビスフェノールA、ポリビ
スフェノールA、ブロム化ビスフェノールA、ポリブロ
ム化ビスフェノールA等のビスフェノールA誘導体、ノ
ボラック等の芳香族ポリヒドロキシ化合物及びそれらの
核内水素添加物とエピクロルヒドリンをアルカリ条件下
付加反応させて得られるポリグリシジルエーテル化合物
と、(メタ)アクリル酸等の不飽和モノカルボン酸を4
級アンモニウム塩等を触媒にして付加反応させることに
より得られるエチレン性化合物、或いは、ハイドロキノ
ン、レゾルシン、ピロガロール等のポリヒドロキシベン
ゼン、ビスフェノールA、ポリビスフェノールA、ブロ
ム化ビスフェノールA、ポリブロム化ビスフェノールA
等のビスフェノールA誘導体、ノボラック等の芳香族ポ
リヒドロキシ化合物及びそれらの核内水素添加物とグリ
シジル(メタ)アクリレート、下記[T−1]又は[T
−2]等の構造のエポキシ(メタ)アクリレートを、
“SYNTHETIC COMMUNICATION,
24(21)”3009−3019(1994)等に記
載の酸又はアルカリの触媒を用いて付加反応させること
により得られる、前記一般式(II)又は(III)で表され
る置換基を2個以上有するエチレン性化合物が挙げら
れ、より具体的には、例えば、次の[M−1]、[M−
2]、[M−3]、[M−4]、[M−5]、[M−
6]、[M−7]、[M−8]、[M−9]、[M−1
0]、[M−11]、[M−12]、[M−13]、
[M−14]等を挙げることができる。また、前記の水
素添加反応としては、特開平3−107160号公報等
に記載のラネーNi触媒を用いるもの、ロジウム、白金
等の触媒を用いるものを適宜選択して用いることができ
る。
ールA誘導体、及びそれらの核内水素添加物と、エピク
ロルヒドリンとの共縮重合物タイプのエチレン性化合物
(A)を使用した場合、他のエチレン性化合物の場合に
比べ現像時の基板に対する画像の接着性(現像画像接着
性)に優れているため好ましい。とりわけ好ましいエチ
レン性化合物(A)としては、25℃の粘度が100p
s以上、更に25℃の粘度が1000ps以上のものが
挙げられる。この粘度が100psより著しく低いと、
現像画像接着性が低下する。
の非画線部の溶解性を高め、高画質の画像を形成させる
機能を有する。該エチレン性化合物(B)の具体的な例
としては、エチレングリコールジ(メタ)アクリレー
ト、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、
トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ト
リメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ペンタ
エリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリス
リトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリト
ールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリト
ールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリト
ールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリト
ールヘキサ(メタ)アクリレート、グリセロール(メ
タ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル、こ
れらの例示化合物の(メタ)アクリレートをイタコネー
トに代えたイタコン酸エステル、クロトネートに代えた
クロトン酸エステルもしくはマレエートに代えたマレイ
ン酸エステル等がある。これらのうち、特に、4官能〜
6官能のジペンタエリスリトールポリアクリレートが画
像形成性に優れる点から好ましい。
性化合物(B)の製造に当っては、ポリグリシジルエー
テル化合物、或いは、ポリヒドロキシ化合物と不飽和モ
ノカルボン酸とを反応させる際に、不飽和モノカルボン
酸と共に飽和のモノカルボン酸を付加させ、該エチレン
性化合物の粘性等の物性を制御することもできる。好ま
しいエチレン性化合物(A)とエチレン性化合物(B)
との使用割合は、重量比で、エチレン性化合物(A):
エチレン性化合物(B)=100:0〜10:90、好
ましくは90:10〜20:80、更に好ましくは8
0:20〜30:70である。
としては、エチレンビスアクリルアミド等のアクリルア
ミド類、フタル酸ジアリル等のアリルエステル類、ジビ
ニルフタレート等のビニル基含有化合物、不飽和二価カ
ルボン酸とジヒドロキシ化合物との重縮合反応により得
られるポリエステル、不飽和二価カルボン酸とジアミン
との重縮合反応により得られるポリアミド、側鎖に不飽
和結合をもつ二価カルボン酸、例えばイタコン酸、プロ
ピリデンコハク酸、エチリデンマロン酸等とジヒドロキ
シ又はジアミン化合物との縮重合体、側鎖にヒドロキシ
基やハロゲン化メチル基の如き反応活性を有する官能基
を有する重合体、例えば、ポリビニルアルコール、ポリ
(2−ヒドロキシエチルメタクリレート)、ポリエピク
ロルヒドリン等とアクリル酸、メタクリル酸、クロトン
酸等の不飽和カルボン酸との高分子反応により得られる
ポリマー等が挙げられる。
には、該レジストの成膜性、現像性を改良する目的で、
有機高分子物質を結合剤として添加することができる。
この有機高分子物質としては、メチル(メタ)アクリレ
ート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)
アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−エチ
ルヘキシル(メタ)アクリレート、ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)ア
クリレート、ベンジル(メタ)アクリレート等の(メ
タ)アクリル酸のアルキルエステル;ヒドロキシフェニ
ル(メタ)アクリレート、メトキシフェニル(メタ)ア
クリレート等の(メタ)アクリル酸の置換基を有してい
ても良いフェニルエステル;アクリロニトリル;酢酸ビ
ニル、バーサチック酸ビニル、プロピオン酸ビニル、桂
皮酸ビニル、ピバリン酸ビニル等の酸ビニル;スチレ
ン、α−メチル−スチレン等の共重合体、エピクロロヒ
ドリンとビスフェノールAとのポリエーテル、可溶性ナ
イロン、ポリビニルアルキルエーテル、ポリアミド、ポ
リウレタン、ポリエチレンテレフタレートイソフタレー
ト、アセチルセルロース及びポリビニルホルマール、ポ
リビニルブチラール等が挙げられる。なお、本明細書に
おいて、「(メタ)アクリル」とは「アクリル又はメタ
クリル」を示す。「(メタ)アクリレート」についても
同様である。
基板接着性を高める目的で、上記有機高分子物質のう
ち、カルボン酸基を有するものの、カルボン酸基の一部
又は全部を、グリシジル(メタ)アクリレート、前記
[T−1]又は[T−2]の構造のエポキシ(メタ)ア
クリレートと反応させて、光重合性の有機高分子物質と
することもできる。
物質としては、基板への接着性を高める目的で、スチレ
ン、α−メチルスチレン、ベンジル(メタ)アクリレー
ト、ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート、メトキ
シフェニル(メタ)アクリレート、ヒドロキシフェニル
(メタ)アクリルアミド、ヒドロキシフェニル(メタ)
アクリルスルホアミド等のフェニル基を有する共重合モ
ノマーを10〜80モル%、好ましくは20〜70モル
%、より好ましくは30〜60モル%の割合で含有し、
その他(メタ)アクリル酸を2〜50重量%、好ましく
は5〜40重量%、より好ましくは5〜30重量%の割
合で含有する共重合体、或いは、全共重合モノマーに対
して2〜50モル%、好ましくは5〜40モル%、より
好ましくは10〜30モル%のエポキシ(メタ)アクリ
レートが付加された反応物が望ましい。
は、重量平均分子量(Mw)で1,000〜1000,
000、好ましくは2,000〜500,000、より
好ましくは3,000〜200,000の範囲である。
有機高分子物質のMwがこの範囲より著しく低いと、現
像時に画線部分の膜ベリが生じ、逆に有機高分子物質の
Mwが著しく高いと現像時に非画線部の抜け性不良を生
じ易い。
5’位のフェニル基に電子吸引性の置換基を有するヘキ
サフェニルビイミダゾール化合物と増感剤を含有するも
のであれば特に制限はなく、該電子吸引性の置換基とし
て、臭素、塩素等のハロゲン原子、炭素数2〜15のア
ルコキシカルボニル基、炭素数2〜15のアシル基、シ
アノ基等を挙げることが出来る。特に、好ましい置換基
としてハロゲン原子、アルコキシカルボニル基を有する
ヘキサフェニルビイミダゾール化合物が合成が容易で好
ましい。該ヘキサフェニルビイミダゾール化合物はラジ
カル発生剤としての作用を有し、具体的な化合物例とし
て、例えば、
4,4’,5,5’−(p−エトキシカルボニルフェニ
ル)ビイミダゾール,2,2’−ビス(o−ブロモフェ
ニル)−4,4’,5,5’−(p−エトキシカルボニ
ルフェニル)ビイミダゾール,2,2’−ビス(o−ク
ロロフェニル)−4,4’,5,5’−(p−メトキシ
カルボニルフェニル)ビイミダゾール,2,2’−ビス
(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−(p−
n−ブトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール,
4,4’,5,5’−(p−クロロフェニル)ビイミダ
ゾール,2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,
4’,5,5’−(p−ブロモフェニル)ビイミダゾー
ル,2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,
4’,5,5’−(o,p−ジクロロフェニル)ビイミ
ダゾール,2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−
4,4’,5,5’−(o,p−ジブロモフェニル)ビ
イミダゾール,を挙げることが出来る。
カル発生剤と共に光照射をした際に、光を吸収し、光励
起され、さらに光励起増感剤がラジカル発生剤に作用
し、ラジカルを発生させる機能を有するものであれば、
特に制限はなく、用いることが出来る。このような機能
を有する増感剤としては、ジアルキルアミノフェニル基
を有する色素が好ましく、さらに好ましくは、
換基を有していてもよいアルキル基を表わし(置換基と
しては水酸基、Br、Cl- 等のハロゲン原子、炭素数
1〜10のアルキルオキシ基、炭素数2〜10のアシル
基、炭素数6〜15のアリール基、炭素数6〜15のア
リールオキシ基、炭素数2〜15のアルキルオキシカル
ボニル基を表わす。)、R10〜R13は水素原子、または
炭素数1〜10のアルキル基を表わし、R6 とR10、R
7 とR11、R8 とR12、R9 とR13はそれぞれ互いに直
接結合し、或いは、イオウ、酸素原子を介して結合し、
環状構造を形成しても良い。)
ルキル基、或いは、R6 とR10、R 7 とR11、R8 とR
12またはR9 とR13が互いに直接結合し、或いは、イオ
ウ、酸素原子を介して結合し環状構造を有するものが、
R6 〜R9 が水素原子、メチル基に比べ、露光光源の主
発光波長である366nmの光に増感色素の吸収ピーク
が近く、366nmの光を効率よく吸収出来るため、感
度が高く、好ましい。該増感剤は、公知の方法で合成し
得ることが出来るが、例えば、
媒に縮合反応させる方法(式(1))、或いは4,4’
−ジアミノベンゾフェノンをアルカリ触媒存在下、アル
キルブロマイドを反応させる方法等を挙げることが出来
る。該増感剤の具体的な例としては、例えば、
開始系には、必要に応じて感度向上、感光液経時安定性
向上のために更にアルキルアミノ化合物及び芳香族メル
カプト化合物等のラジカル連鎖移動剤を光重合開始系の
全重量に対し、5〜50重量%、好ましくは10〜30
重量%の割合で含有させることが出来る。これらのラジ
カル連鎖移動剤は、光励起光の吸収が、増感剤或いはラ
ジカル発生剤の光吸収に比べ低く、主に、増感剤とラジ
カル発生剤から生成されたラジカルを連鎖移動すること
により、エチレン性化合物の重合効率の良いラジカルを
生成させる機能を有する。
開平6−19240号公報、特開平6−19249号公
報等に記載のジアルキルアミノフェニル基を有する化合
物やアルキルアミン化合物が挙げられ、具体的には、ジ
アルキルアミノフェニル基を有する化合物としてはp−
ジメチルアミノ安息香酸エチル等の化合物や、p−ジエ
チルアミノベンズカルバルデヒド、9−ジュロリジルカ
ルバルデヒド等のジアルキルアミノフェニルカルバルデ
ヒドが、アルキルアミン化合物としてはトリエタノール
アミン、ジエタノールアミン、トリエチルアミン等が挙
げられる。これらのうち、ジアルキルアミノフェニル基
を有する化合物がより高感度であり好ましい。
昭59−56403号公報記載の2−メルカプトベンズ
チアゾール、2−メルカプトベンズオキサゾール、2−
メルカプトベンズイミダゾール、2−メルカプトナフト
チアゾール、2−メルカプトナフトオキサゾール、2−
メルカプトナフトイミダゾール等が挙げられる。
像形成材料(本発明光重合性組成物から色材料を除いた
部分)の全固形分に対し、0.1〜40重量%、好まし
くは0.2〜30重量%、より好ましくは0.2〜20
重量%であり、増感剤の添加率とラジカル発生剤の添加
率との重量割合は3:2〜1:4、好ましくは1:1〜
1:3であり、著しく増感剤の割合が増えると感度の低
下を起こし、反対に著しくラジカル発生剤の割合が増え
ると、現像時、非画線部の抜け不良を起こしやすい。前
記エチレン性化合物の含有量は、光重合性画像形成材料
の全固形分に対し、20〜99重量%、好ましくは50
〜95重量%、より好ましくは60〜90重量%であ
り、前記有機高分子物質の含有量は、光重合性画像形成
材料の全固形分に対し、0〜80重量%、好ましくは1
0〜70重量%、より好ましくは20〜60重量%であ
る。
ックマトリックス用には黒色の色材料であり、赤、緑、
青用には、それに対応する色材料を使用し、いずれの場
合も顔料が好適に用いられる。黒色の色材料としては、
例えば三菱化学社製のMA−7,MA−100,MA−
220,#5,#10、或いはデグス社製Color
Black FW200,Color Black F
W2,Printex V等のカーボンブラック、特開
平5−311109号公報、特開平6−11613号公
報等に記載の黒鉛、特開平4−322219号公報、特
開平3−274503号公報等に記載の無機黒色顔料、
特開平2−216102号公報等に記載のアゾ系ブラッ
ク色素等の有機黒色顔料、その他、赤、緑、青、黄、シ
アン、マジェンタ等の有機色材料を混合した黒色顔料等
を挙げることができる。
体的には、ビクトリアピュアブルー(42595)、オ
ーラミンO(41000)、カチロンブリリアントフラ
ビン(ベーシック13)、ローダミン6GCP(451
60)、ローダミンB(45170)、サフラニンOK
70:100(50240)、エリオグラウシンX(4
2080)、No.120/リオノールイエロー(21
090)、リオノールイエローGRO(21090)、
シムラーファーストイエロー8GF(21105)、ベ
ンジジンイエロー4T−564D(21095)、シム
ラーファーストレッド4015(12355)、リオノ
ールレッド7B4401(15850)、ファーストゲ
ンブルーTGR−L(74160)、リオノールブルー
SM(26150)、リオノールブルーES(ピグメン
トブルー15:6、ピクメントブルー1536)、リオ
ノーゲンレッドGD(ピグメントレッド168、ピグメ
ントレッド108)、リオノールグリーン2YS(ピグ
メントグリーン36)等が挙げられる(上記の( )内
の数字は、カラーインデックス(C.I.)を意味す
る)。
で示すと、例えば、C.I.黄色顔料20,24,8
6,93,109,110,117,125,137,
138,147,148,153,154,166、
C.I.オレンヂ顔料36,43,51,55,59,
61、C.I.赤色顔料9,97,122,123,1
49,168,177,180,192,215,21
6,217,220,223,224,226,22
7,228,240、C.I.バイオレット顔料19,
23,29,30,37,40,50、C.I.青色顔
料15,15:1,15:4,22,60,64、C.
I.緑色顔料7、C.I.ブラウン顔料23,25,2
6等を挙げることができる。
は次の通りである。即ち、黒のカラーフィルターレジス
トで形成されるブラックマトリックスは、1.0μm以
下、好ましくは0.3〜0.9μm、より好ましくは
0.5〜0.8μmの乾燥膜厚に形成した塗膜の、光透
過濃度が2.5以上、好ましくは3.0以上のブラック
マトリックスを形成させるために、光重合性組成物中に
含有される前記黒色の色材料の含有量としては、全固形
分に対し、40〜90重量%、好ましくは50〜80重
量%の範囲である。
ストで形成される色材画素は、1.0μm以下、好まし
くは0.3〜0.9μm、より好ましくは0.5〜0.
8μmの膜厚に形成した塗膜の、光透過濃度が1.1以
上、好ましくは1.3以上の色材画素を形成させるため
に、該光重合性組成物中に含有される前記赤、緑、青の
色材料の添加量としては、全固形分に対し、40〜90
重量%、好ましくは50〜80重量%の範囲である。上
記の黒、赤、緑、青の透過濃度は、マクベス濃度計TR
−927を用い、各色に相当する光学フィルターを用い
て測定することにより得られる。
ターレジストは、このような高い色材料含有率の状態
で、高画質なブラックマトリックス画像又は色材画素を
形成させると共に、各画素上に塗設して形成される色材
光重合性層、或いは、ポリアミド、ポリイミド等の保護
層等の塗布溶剤に対する耐溶剤性、及び、透明基板に対
する高い接着性を与えるものが特に好ましい。このよう
なカラーフィルターレジストは、適当な溶剤を用いて調
液された塗布液として塗布される。
塗布に用いられる溶剤としては、メチルセロソルブ、エ
チルセロソルブ、ブチルセロソルブ、ジエチレングリコ
ールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメ
チルエーテルアセテート、メチルエチルケトン、メチル
イソブチルケトン、シクロヘキサノン、トルエン、クロ
ロホルム、ジクロロメタン、酢酸エチル、乳酸メチル、
乳酸エチル、メタノール、エタノール、プロパノール、
ブタノール、テトラハイドロフラン等が挙げられる。塗
布液は、これらの溶剤を用いて、カラーフィルターレジ
スト(色材料と光重合性画像形成材料との合計)濃度が
5〜50重量%、好ましくは10〜30重量%の範囲と
なるように調液される。
性組成物を用いてカラーフィルターを製造する方法につ
いて説明する。カラーフィルターの透明基板としては、
ポリエチレンテレフタレート等のポリエステルやポリプ
ロピレン、ポリエチレン等のポリオレフィン等のプラス
チックシート、或いは、各種ガラス板等を挙げることが
できる。
の物性を改良するために、必要に応じて、コロナ放電処
理、オゾン処理、シランカップリング剤やウレタンポリ
マー等の各種ポリマーの薄膜形成処理等を行うことがで
きる。なお、透明基板の板厚は、0.05〜10mm、
特に0.1〜7mmの範囲であることが好ましい。ま
た、各種ポリマーの薄膜形成処理を行う場合には、その
膜厚は0.01〜10μm、特に0.05〜5μmの範
囲であることが好ましい。
画像を形成する前に、予め金属薄膜、又は前述のブラッ
クマトリックス用光重合性組成物を利用したブラックマ
トリックスが設けられる。前者の例としては、クロム単
層又はクロムと酸化クロムの2層のものが挙げられ、こ
れらを蒸着又はスパッタリング法等により薄膜を形成し
た後、その上に、感光性被膜を形成し、ストライプ、モ
ザイク、トライアングル等の繰り返しパターンを有する
フォトマスクを用いて露光・現像し、レジスト画像を形
成させ、続いて、該薄膜をエッチング処理により、透明
基板上にブラックマトリックスを形成させたものが挙げ
られる。
けた透明基板上に、赤、緑、青のうちの1つの色の色材
料を含有するカラーフィルターレジストを、スピナー、
ワイヤーバー、フローコーター、ダイコーター、ロール
コーター、スプレー等の塗布装置により塗布した後、5
0〜200℃、好ましくは80〜180℃の温度で15
秒〜10分間、好ましくは30秒〜5分間、さらに好ま
しくは120〜160℃の温度で15秒〜10分間、好
ましくは30秒〜5分間乾燥して当該色材光重合性層を
形成させる。なお、ここで、カラーフィルターレジスト
の塗布液を塗布、乾燥して得られる光重合性層の膜厚
は、好ましくは0.2〜2μm、より好ましくは0.5
〜1μmである。
に対する接着性が向上し、レジスト感度が高くなるが、
一方、高過ぎると光重合開始剤組成物が分解し、熱重合
を誘発して現像不良を起こし易い。乾燥温度が著しく低
い場合には、感度が低下し、画像形成が困難になる。次
に、この色材光重合性層上に色材画素用のネガフォトマ
スクを置き、該フォトマスクを介して、紫外又は可視等
の光源を用いて画像露光する。この際、必要に応じて酸
素による光重合性層の感度の低下を防ぐため、光重合性
層上にポリビニルアルコール層等の酸素遮断層を塗設し
た後、露光を行っても良い。
基板上に第1の色材画素画像を形成させる。なお、必要
に応じてこの現像処理の前に、光重合層の感度或いはγ
値(階調)を高くする目的で露光試料を70〜200℃
で15秒〜20分間、好ましくは80〜150℃で30
秒〜10分間の熱処理を施すことができる。
リ現像液または、界面活性剤を含有した中性の現像液が
好ましい。アルカリ現像液は、例えば、炭酸ナトリウ
ム、炭酸カリウム、珪酸ナトリウム、珪酸カリウム、水
酸化ナトリウム、水酸化カリウム等の無機のアルカリ
剤、或いはジエタノールアミン、トリエタノールアミ
ン、水酸化テトラアルキルアンモニウム塩等の有機のア
ルカリ剤を含有し、必要に応じ、画質向上、現像時間の
短縮等の目的で界面活性剤、水溶性の有機溶剤、水酸基
又はカルボン酸基を有する低分子化合物等を含有させた
水溶液である。
スルホン酸ナトリウム基、ベンゼンスルホン酸ナトリウ
ム基を有するアニオン性界面活性剤、ポリアルキレンオ
キシ基を有するノニオン性界面活性剤、テトラアルキル
アンモニウム基を有するカチオン性界面活性剤等を挙げ
ることができ、また、水溶性の有機溶剤としては、エタ
ノール、プロピレンアルコール、ブタノール、メチルセ
ロソルブ、ブチルセロソルブ、フェニルセロソルブ、エ
チレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレ
ングリコール、テトラエチレングリコール、プロピレン
グリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレン
グリコール、テトラプロピレングリコール、プロピレン
グリコールモノメチルエーテル等を挙げることができ
る。
子化合物としては、1−ナフトール、2−ナフトール、
ピロガロール、安息香酸、コハク酸、グルタル酸等を挙
げることができる。また、中性の現像液は、前記のアニ
オン性界面活性剤、ノニオン性界面活性剤等の界面活性
を含有し、さらに必要に応じて、前記と同様の目的で、
前記と同様の水溶性の有機溶剤、水酸基又はカルボン酸
基を有する低分子化合物等を含有させた水溶液である。
くは25〜35℃の現像温度で、浸漬現像、スプレー現
像、ブラシ現像、超音波現像等の方法により行われる。
現像後の試料は、必要に応じて、該試料の上に塗布され
る色材光重合性層、或いは、ポリアミド、ポリイミド等
の保護層の塗布溶剤に対する耐久性、又は、ガラス基板
等の透明基板との接着性を高める目的で、該試料を10
0〜250℃、5〜60分間の熱硬化処理を行うか、或
いは、適正露光量以上の露光量、好ましくは、適正露光
量の1〜10倍の露光量による光硬化処理を施すことが
できる。
の2色のカラーフィルターレジストについても前記と同
様にしてそれぞれ塗布・乾燥した後、該試料を、色材画
素用のネガフォトマスクを用いて前記と同様に露光、現
像、必要に応じて熱又は光硬化処理を繰り返し行い、ブ
ラックマトリックス間に3色の画素を形成してカラーフ
ィルターを作製する。
ーは、このままの状態で、上にITO(透明電極)が形
成され、カラーディスプレーの部品の一部として使用さ
れるが、更にカラーフィルターの表面平滑性、或いは耐
久性を高める目的でポリアミド、ポリイミド等のトップ
コート層を設けることもできる。画像露光に使用される
光源としては、キセノンランプ、ハロゲンランプ、タン
グステンランプ、高圧水銀灯、メタルハライドランプ、
中圧水銀灯、低圧水銀灯等のランプ光源、及びアルゴン
イオンレーザー、YAGレーザー、エキシマーレーザ
ー、窒素レーザー等のレーザー光源が挙げられる。これ
らの光源には、必要とされる照射光の波長領域に応じ
て、適宜光学フィルターを使用することもできる。
有する本発明に係るカラーフィルターレジストを利用し
て形成する場合には、透明基板上に赤、緑、青の画素画
像を形成する方法と同様の方法を採用することでブラッ
クマトリックスを形成する。この際、ブラックマトリッ
クスを形成する操作を2回以上繰り返すことで、ブラッ
クマトリックス画像を積層して、目的の透過濃度のブラ
ックマトリックス画像を完成させることも可能である。
透明基板上に赤、緑、青の画素画像を形成する方法を説
明したが、赤、緑、青の画素画像形成後にブラックマト
リックスを形成する方法も採用可能である。また、本発
明に係るカラーフィルターレジストを用いて、透明基板
上に、ブラックストライプ、又は、赤、緑、青の色材画
素画像を形成させる際に、該カラーフィルターレジスト
と透明基板との現像画像接着性及び/又は熱硬化画像の
接着性を高める目的で、該透明基板上に色材料を含有し
ない光重合性組成物を光硬化させた光硬化接着層を設け
ることができる。
物に含有している光重合開始剤組成物、エチレン性化合
物、及び必要に応じて用いられる有機高分子物質は、前
記本発明に係るカラーフィルターレジストの構成成分の
中から適宜選択して用いることができ、このような光硬
化接着層は、この光重合性組成物を、通常、上記と同様
の方法により、乾燥膜厚が0.01〜2μm、好ましく
は0.02〜1μmの範囲となるように透明基板上に塗
設した後、該塗布された光重合性組成物層の適正露光量
の1〜10倍の露光量で露光して光硬化させることによ
り、形成することができる。
ーレジストを用いて透明基板上に形成されたブラックス
トライプ、又は、赤、緑、青の色材画素等のレジスト画
像の、経時による透明基板からの剥離、傷などの欠陥の
発生を防ぐ目的で、該レジスト画像を形成させた透明基
板の上に、上記の光硬化接着層の場合と同様の方法によ
り、光硬化層を設けることもできる。
本発明を更に詳細に説明するが、本発明はその要旨を超
えない限り以下の実施例に限定されるものではない。 実施例1〜18、比較例1〜2 下記表1に示す種類及び量のカーボンブラック(三菱化
学(株)製「MA−220」)及び有機高分子物質なら
びにシクロヘキサノン250重量部を混合し、該混合物
を重量で3.6倍量の0.5mm径ジルコニアビーズの
入ったペイントシェーカーに入れ、17時間分散を行っ
た。得られた分散液に下記表1に示す種類及び量の増感
剤、ラジカル発生剤、エチレン性化合物及び必要に応じ
て連鎖移動剤ならびにシクロヘキサノン250重量部を
加えて塗布液を調製した。
4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール R−2:2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,
4’,5,5’−(o,p−ジクロロフェニル)ビイミ
ダゾール
を、ガラス基板(コーニング社製No.7059)に乾
燥膜厚が0.9μmになるようにワイヤーバーコーター
により塗布し、乾燥温度150℃で1分間乾燥した。次
に、幅30μmで縦330μm、横110μmのピッチ
で繰り返すブラックマトリックス用ネガフォトマスクを
用いて、2Kw高圧水銀灯により表1に示す適正露光量
で露光した後、0.25重量%の炭酸カリウムと3重量
%のノニオン性界面活性剤(日本乳化剤社製:Newc
ol B−10)を含有する水溶液よりなる現像液を用
い、25℃で30秒間浸漬し、続いて、2kg/cm2
の水洗スプレーによりスプレー水洗を施し、現像処理を
行い、ブラックマトリックスを形成させた後、該試料を
200℃、7分間の熱処理により熱硬化させた。また、
同様の方法により、表1に示す評価を行った。
の固形分中に含有されている顔料の割合。 色材料の濃度=色材料の重量/全固形分重量
料上に置き、該チャートの上より各種露光量を変化させ
ながら2Kw高圧水銀灯により露光した後、現像処理を
施し、得られたウグラテストチャート画像中の細線画像
の最も細いポジとネガの細線の線幅が同じになる時の露
光量。なお、Fは、感光層が現像処理において全部溶解
するか、或いは、全く溶解しないため、画像が形成され
なかったことを示す。
基板上に色材光重合性層塗布液を塗布、乾燥させた後、
ウグラテストチャートを用いて適正露光量で露光し、標
準現像液を用いて現像処理を行い色材画像を形成させ
た。該色材画像の中の細線画像を400倍の顕微鏡で観
察し、再現されている最も細い細線の線幅より、画質を
下記基準で評価した。細い細線が再現するほど良好な画
質を示している。 A:10μm以下の線幅の細線が再現されている。 B:10〜15μmの線幅の細線が再現されている。 C:15〜25μmの線幅の細線が再現されている。 D:25μm以上の線幅の細線が再現されている。
料の透過濃度(ABS)を測定した。また、試料の感光
層の膜厚をテンコール・インスツルメンツ社製のステッ
プにより測定し、〔 〕内に記載した。
2′−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラ(p−エトキシカルボニルフェニル)ビイ
ミダゾールに変更する以外は他は同様に光重合性組成を
調液し、実施例1と同様に評価を行った所、適正露光量
が350mJ/cm2 であった。
ルター用光重合性組成物は、ラジカル発生剤として特定
の構造を有するヘキサフェニルビイミダゾールを含有す
ることにより、露光感度が高く、画像再現性に優れ、カ
ラーフィルターを高いライン速度で、安定かつ効率的に
製造することを可能にする。
Claims (8)
- 【請求項1】 エチレン性不飽和二重結合を少なくとも
1個有する化合物、光重合開始系及び色材料を含有する
光重合性組成物において、 該光重合開始系が4,4’,5’,5’位に置換したフ
ェニル基が電子吸引性の置換基を有するヘキサフェニル
ビイミダゾール化合物と増感剤を含有し、該色材料が該
光重合性組成物中の全固形分に対して40重量%以上含
有されていることを特徴とするカラーフィルター用光重
合性組成物。 - 【請求項2】 ヘキサフェニルビイミダゾール化合物と
して、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラ(p−アルコキシカルボニルフ
ェニル)ビイミダゾールまたは2,2’−ビス(o−ク
ロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(o,p
−ジハロゲノフェニル)ビイミダゾールを使用すること
を特徴とする請求項1記載のカラーフィルター用光重合
性組成物。 - 【請求項3】 増感剤として4,4’−ビス(ジアルキ
ルアミノ)ベンゾフェノンを使用することを特徴とする
請求項1または2記載のカラーフィルター用光重合性組
成物。 - 【請求項4】 増感剤とラジカル発生剤の重量割合が
3:2〜1:4であることを特徴とする請求項1〜3記
載のカラーフィルター用光重合性組成物。 - 【請求項5】 エチレン性不飽和二重結合を少なくとも
1個有する化合物としてポリグリシジルエーテル化合物
と不飽和カルボン酸の付加反応物を使用することを特徴
とする請求項1〜4記載のカラーフィルター用光重合性
組成物。 - 【請求項6】 エチレン性不飽和二重結合を少なくとも
1個有する化合物として下記一般式(I)又は(II)で
示される置換基を有する化合物を使用することを特徴と
する請求項5記載のカラーフィルター用光重合性組成
物。 【化1】 (式中、mは0〜6の整数を示し、R1 ,R2 は水素原
子又はハロゲン原子を示し、R3 は置換基を有しても良
い炭素数1〜10のアルキレン基(該置換基は、水酸
基、ハロゲン原子、水酸基を有しても良い炭素数1〜1
0のアルキル基、炭素数1〜10のアルコキシ基、炭素
数6〜15のアリール基、炭素数7〜15のアラルキル
基、炭素数2〜10のアルケニル基、炭素数2〜10の
アシルオキシ基である。)を示し、R4 は水素原子、水
酸基を有しても良い炭素数1〜10のアルキル基、炭素
数6〜15のアリール基、炭素数7〜15のアラルキル
基又は炭素数2〜10のアルケニル基を示し、R5 は水
素原子又はメチル基を示す。) - 【請求項7】 色材料として、赤、緑又は青色材料を含
有し、乾燥膜厚1μm以下に形成した塗膜の光透過濃度
が1.1以上であることを特徴とする請求項1〜6記載
のカラーフィルター用光重合性組成物。 - 【請求項8】 色材料として、黒色材料を含有し、乾燥
膜厚1μm以下に形成した塗膜の光透過濃度が2.5以
上であることを特徴とする請求項1〜6記載のカラーフ
ィルター用光重合性組成物。
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