JPH0885873A - 有機金属錯体を用いる薄膜の製造方法 - Google Patents
有機金属錯体を用いる薄膜の製造方法Info
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- JPH0885873A JPH0885873A JP24852694A JP24852694A JPH0885873A JP H0885873 A JPH0885873 A JP H0885873A JP 24852694 A JP24852694 A JP 24852694A JP 24852694 A JP24852694 A JP 24852694A JP H0885873 A JPH0885873 A JP H0885873A
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Abstract
均一な薄膜を気相成長法によって容易に成膜することが
できる薄膜の製造方法の提供。 【構成】 まず、恒温槽3内にあって、トリス−ジピバ
ロイルメタナトイリジウムが1g充填された原料容器2
(SUS316製、 100℃の恒温に保持)に、不活性キャリア
ーガス4(アルゴンガス)を、フローメーター5を経て
流量を 200ml/min に調節して導入し、このガス4に上
記有機金属錯体1を同伴、昇華させる。次いで、このガ
スを熱分解炉6内に設けられ内部に基板9を載置した石
英反応管7(ヒーター8によって 500℃に加熱保持され
ている)に導入させ、基板9上への金属薄膜の成膜を行
う(1時間)。
Description
膜を製造する方法に関し、さらに詳しくは、電極材料等
として有用な特定組成を有する金属薄膜を製造すること
ができるIrとβ−ジケトン系有機化合物との錯体を用
いる薄膜の製造方法に関する。
ては、ドライプロセスとウエットプロセスといった2種
類の方法があるが、一般にウエットプロセスと比べてド
ライプロセスによって形成された薄膜のほうが品質面で
優れるため、ドライプロセスが多用されているのが現状
である。
オンプレーティング法およびスパッタリング法等の物理
的成膜法と、化学的気相蒸着法(CVD法)等の化学的
成膜法とがあるが、中でもCVD法は、成膜速度の制御
が容易である上、成膜を高真空下で行う必要がなく、し
かも高速成膜が可能であることなどから量産向きである
ため広く用いられている。
錯体の蒸気を分解させて金属薄膜を形成する場合、熱C
VD法、光CVD法またはプラズマCVD法などが採用
され、原料化合物としては、一般的に有機部分(配位
子)がジピバロイルメタン、ヘキサフルオロアセチルア
セトン等である1,3-ジケトン系有機金属錯体が使用され
てきた。
化合物の錯体は蒸気圧が高く、熱安定性に優れたものが
知られていないためCVD法によるIr薄膜またはIr
化合物薄膜の作製ができず、従来はスパッタリング法や
真空蒸着法等を用いなければならなかったので、(1)
成膜を高真空下で行わなければならず、設備が高価であ
る、(2)成長速度が遅いので高速成膜が難しい、
(3)均質な薄膜が得られない、等の問題を有してい
た。
術の問題点を解決し、蒸気圧が高く、熱安定性に優れた
有機金属錯体を用いることによって再現性の良い均一な
薄膜を容易に成膜することができる薄膜の製造方法を提
供することを目的する。
を解決するために鋭意研究した結果、金属としてのIr
とβ−ジケトン系有機化合物との錯体の物性測定をした
ところ、高昇華性であっていずれも低、中温(250 ℃以
下)でかなりの蒸気圧を示し、かつ蒸発温度(昇華温
度)と分解温度がはっきり離れており、不活性ガスに同
伴される錯体量が従来品よりも多いため、高速成膜が可
能でその上成膜された膜の特性も優れていることを見い
だし、本発明を提出することができた。
膜の製造方法であって、化2で示されるIrとβ−ジケ
トン系有機化合物との錯体を原料として用いることを特
徴とする有機金属錯体を用いる薄膜の製造方法を提供す
るものである。
C2 H5 、−C2 F5、−C3 H7 、−C3 F7 および
−C(CH3 )3 からなる群より選ばれたいずれかの基
を表す。)
属錯体としては、β−ジケトンとIrの無機酸塩(ハロ
ゲン化物、硝酸塩等)とを反応させて得た錯体を用い
る。
VD法の概略を模式的に図示した図1を参照して、本発
明方法を説明する。
られた有機金属錯体1が充填された原料容器2(50〜 2
50℃の恒温に保持)に、不活性キャリアーガス4をフロ
ーメーター5を経て流量を 5〜 500ml/min に調節して
導入し、有機金属錯体の原料を同伴、昇華させ、熱分解
炉6内に設けられた石英反応管7に導入し、ヒーター8
によって所定の温度( 250〜 750℃)に加熱保持されて
いる基板9上で、有機金属錯体を熱分解し、金属薄膜を
生成させる。
管は、凝縮を防ぐために保温層10または加熱保温手段
により50〜 250℃に保温維持した。また、図中11は冷
却トラップ、12はバルブ、13はロータリーポンプで
ある。なお、矢印は昇華した有機金属錯体が移送される
方向あるいは分解ガスの排出方向を示している。
有機金属錯体は、高昇華性で昇華温度と分解温度とがか
なり離れており、不活性ガスに同伴される錯体量が従来
品よりも多く、かつ成膜された膜が均質で不純物の混入
もないので、β−ジケトン系有機金属錯体を原料化合物
として使用すれば優れた膜特性、高速成膜の両方を満足
させることができる。
実施例に示すものの他下記の表1に示す錯体を用いるこ
ともできることを確認している。
明の範囲はこれらに限定されるものではない。
にしたがって本発明の実施例を説明する。
ウム1gを原料容器2(ガラス製90℃の恒温に保持)に
充填した後、この容器2内にアルゴンガス4を 100ml/
min導入し、このガスにトリス−ジピバロイルメタナト
イリジウムを同伴させ、熱分解炉6に導いた。
ておいたシリコン基板9はヒーター8により 500℃に加
熱されており、原料容器から熱分解炉6までの配管は 1
20℃に保温した。このような条件下で30分間薄膜化を行
ったところ、厚さ2800オングストロ−ムの均一なIr薄
膜が得られた。
に代えてトリス 1,1,1,5,5,5−ヘキサフルオロアセチル
アセトナトイリジウムを使用したこと以外は実施例1と
同様な方法で成膜したところ、30分後に厚さ3200オング
ストロームの均一なIr薄膜が得られた。
Ir有機錯体は蒸気圧が高く、熱安定性に優れているの
で、高い昇華性を有する上、昇華温度と分解温度とが明
らかに離れているため、速い成膜速度で、均質かつ再現
性に優れた薄膜を得ることができる
Claims (1)
- 【請求項1】 気相成長法による薄膜の製造方法であっ
て、化1で示されるIrとβ−ジケトン系有機化合物と
の錯体を原料として用いることを特徴とする有機金属錯
体を用いる薄膜の製造方法。 【化1】 (ただし、式中RおよびR´は−CH3 、−CF3 、−
C2 H5 、−C2 F5、−C3 H7 、−C3 F7 および
−C(CH3 )3 からなる群より選ばれたいずれかの基
を表す。)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24852694A JPH0885873A (ja) | 1994-09-16 | 1994-09-16 | 有機金属錯体を用いる薄膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24852694A JPH0885873A (ja) | 1994-09-16 | 1994-09-16 | 有機金属錯体を用いる薄膜の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0885873A true JPH0885873A (ja) | 1996-04-02 |
Family
ID=17179503
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24852694A Pending JPH0885873A (ja) | 1994-09-16 | 1994-09-16 | 有機金属錯体を用いる薄膜の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0885873A (ja) |
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- 1994-09-16 JP JP24852694A patent/JPH0885873A/ja active Pending
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