JPH0883421A - 磁気記録装置および磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁気記録媒体表面に形成される潤滑膜により
磁気ヘッドと磁気記録媒体間の摩擦係数の実質的な低減
と、耐摩耗性、耐久性、耐食性の向上を図る。 【構成】 磁気ヘッドと磁気記録媒体のそれぞれの表面
の幾何学的平均面の最小間隔が５０ｎｍ以下の磁気記録
装置において、磁気記録媒体表面に少なくとも二種類以
上の互いに分子長が異なり、かつ互いに相溶し難い潤滑
剤を用いて潤滑膜を形成する。この潤滑膜は、膜内面で
ミクロドメイン構造を有し、かつミクロドメイン間の実
質的な膜厚差に基づく凹凸構造が形成されているため、
磁気ヘッドと磁気記録媒体間の摩擦係数の実質的な低減
をはかることが可能である。 【効果】 本発明の磁気記録装置は低摩擦係数で、しか
も高摺動強度の磁気記録媒体を備えている。したがっ
て、本発明によれば摺動耐久性に優れ、信頼性が高く、
しかも記憶容量の大きい磁気記録装置が提供される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は磁気記録装置および磁気
記録媒体に係り、特に磁気ヘッドと磁気記録媒体のそれ
ぞれの表面の幾何学的平均面の最小間隔が５０ｎｍ以下
の場合に好適な磁気記録装置および磁気記録媒体に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】一般に磁気記録装置は磁気記録媒体と磁
気ヘッドとが一定間隔を保つようにして情報の記録・再
生を行なっている。この一定間隔は浮上量と称される。
通常、磁気記録媒体の磁性膜からのヘッド浮上量は、磁
気記録媒体上の保護膜と潤滑膜の合計厚みよりも大き
い。磁気記録媒体への記録密度を高めるには、このヘッ
ド浮上量をより小さくすることが必要である。

【０００３】ところで、磁気記録媒体は磁気ヘッドとの
接触や摺動による摩耗、破壊、吸着などを防ぐため、従
来よりその表面に種々の潤滑剤が塗布されている。その
ような潤滑剤の代表例としては高級脂肪酸やそのエステ
ルをはじめ、パーフロロアルキル型化合物やパーフルオ
ロポリエーテルなどのフッ素系潤滑剤が挙げられる。

【０００４】これらの潤滑剤はより優れた潤滑効果を得
るために、従来より複数の潤滑剤と混合して用いる試み
がなされている。例えば、広範囲な使用温度条件下で摩
擦係数を低減させるためにパーフロロアルキルカルボン
酸エステルと脂肪酸との混合潤滑剤（特開昭６２−１０
３８２８号公報参照）、パーフロロアルキルカルボン酸
エステルとパーフロロポリエーテルとの混合潤滑剤（特
開昭６２−１０３８３８号公報参照）、パーフロロアル
キルカルボン酸と高級脂肪酸との混合潤滑剤（特開昭６
０−１０７７３２号公報参照）などが提案されている。

【０００５】また、各種使用条件下で優れた潤滑効果を
長時間持続させるために、パーフルオロポリエーテルと
長鎖炭化水素との混合潤滑剤も提案されている（特開平
５−２３０４８３、特開平５−２４７４８３、特開平５
−２５８２８６号公報など参照）。あるいは、潤滑膜の
耐久性を向上させるため極性パーフルオロポリエーテル
と非極性パーフルオロポリエーテルとの混合潤滑剤も提
案されている（特開昭６１−１１３１２６、特開平３−
２５７２０、特開平２−２４０８２８号公報など参
照）。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】磁気記録装置において
は、高記録密度化のためヘッド浮上量の低下と共に磁気
記録媒体表面が平滑化している。媒体表面がより平滑に
なると、ヘッドが媒体に強く貼り付いて装置の起動・停
止時に大きな負荷がかかり、このため媒体の回転速度が
上がってもヘッドが浮上しにくくなり、装置が再起動し
なくなったり、ヘッドあるいは媒体が破損したりすると
いう問題が発生する恐れがある。以後、このような現象
を粘着と称する。上記粘着の問題は、ヘッド浮上量が５
０ｎｍよりも小さくなる場合にはより一層深刻なものと
なる。したがって、粘着を防止することが必要がある。

【０００７】磁気ヘッドの粘着を防止するためにこれま
で用いられてきた方法に、潤滑膜が形成される表面（一
般に、磁性膜の上に形成される保護膜の表面）を若干粗
面化する方法（通常、テクスチャリングと称される）が
ある。しかしながら、上記テクスチャリングは加工プロ
セスが煩雑であり、また磁気記録媒体の耐食性を低下さ
せるという問題がある。さらに、磁気ヘッドの低浮上化
と共に媒体表面の平滑化がより一層進むと、テクスチャ
リングによる粘着防止という方法を用いることができな
くなることも考えられる。

【０００８】また、ヘッド・媒体間の摩擦係数を低減さ
せる方法として、特開平５−６２１６４号公報には固体
潤滑剤と液体潤滑剤とを媒体表面に保持することが記載
されている。同様の提案は特開昭６３−２８１２１８号
公報、特開平３−１７１４１７号公報などにも記載され
ている。しかし、上記提案はいずれも形成される潤滑膜
の構造については触れておらず、適用する固体潤滑剤と
液体潤滑剤とは親和性のよいものであることを開示して
おり、本発明のような潤滑膜の相分離に伴うミクロドメ
イン構造を有していない。

【０００９】本発明は、磁気記録装置技術における上述
のような状況に鑑みてなされたもので、磁気ヘッドと磁
気記録媒体との間の実質的な接触面積を低減し、これに
より粘着力を低下させることを目的とする。特に、磁気
ヘッドと磁気記録媒体のそれぞれの表面の幾何学的平均
面の最小間隔が５０ｎｍ以下であっても、ヘッド・媒体
間の耐摩耗性、摺動耐久性、耐食性、あるいは摺動信頼
性に優れ、安価で高信頼、高記録密度の磁気記録装置お
よび磁気記録媒体を提供することを目的とするものであ
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の磁気記録装置または磁気記録媒体は、磁気記
録媒体の磁気ヘッドに対向する面に形成する潤滑膜が、
膜内面でミクロドメイン構造を有し、かつミクロドメイ
ン間の実質的な膜厚差に基づく凹凸構造が形成されてい
ることを特徴とする。あるいは、前記潤滑膜が、少なく
とも二種類以上の互いに分子長が異なり、かつ互いに相
溶し難い潤滑剤により形成されていることを特徴とする
ものである。

【００１１】また、情報を記録する磁気記録媒体と、該
磁気記録媒体に情報を記録または再生する磁気ヘッドと
を有し、該磁気ヘッドと該磁気記録媒体のそれぞれの表
面の幾何学的平均面の最小間隔が５０ｎｍ以下の場合
に、該磁気記録媒体表面に形成される潤滑膜が、膜内面
でミクロドメイン構造を有し、かつ該潤滑膜面上には該
ミクロドメイン間の実質的な膜厚差に基づく凹凸構造が
形成されている膜を用いることにより、該凹凸構造が潤
滑膜面上に形成されない場合に比べて磁気ヘッド・磁気
記録媒体間の摩擦係数の低減がはかられることを特徴と
するものである。

【００１２】潤滑膜面上にミクロドメイン間の実質的な
膜厚差に基づく凹凸構造を形成するための好ましい手段
は、潤滑膜が少なくとも二種類以上の互いに分子長が異
なり、かつ互いに相溶し難い潤滑剤の混合で形成される
ことである。混合する潤滑剤としては、互いに相溶し難
いものを用いることにより膜内面でミクロ相分離が発生
し、ミクロドメイン構造が形成される。しかも、互いに
分子長を変えることでミクロドメイン間の膜厚差が生
じ、凹凸構造を有する潤滑膜が得られる。たとえ二種類
以上の互いに分子長の異なる潤滑剤を混合しても、それ
らが互いに相溶するものであれば膜内面にミクロドメイ
ン構造は形成されず、本発明の目的は達成されない。一
方、互いに相溶し難い二種類以上の潤滑剤の組合せであ
っても、それぞれの潤滑剤の分子長が異なっていなけれ
ば膜内面で相分離するだけであり潤滑膜の凹凸は形成し
難く、やはり本発明の目的は達成されない。

【００１３】凹凸構造を形成するためのもう一つの好ま
しい手段としては、特定の溶媒に対する溶解度が異な
り、かつ互いに相溶し難い二種類以上の互いに潤滑剤か
らなる膜を磁気記録媒体上にまず形成した後、該膜を該
溶媒と接触させて該膜をスケルトニゼーションさせ、さ
らに該膜を主に構成する潤滑剤と相溶し難い潤滑剤で抽
出部分を被覆することである。互いに相溶し難い二種類
以上の潤滑剤を用いることでまずミクロドメイン構造を
形成し、その後、特定の溶媒と接触させることで一方の
潤滑剤が溶媒に溶解し抽出されてスケルトンを形成し、
さらにスケルトニゼーション後の潤滑膜を主に構成する
潤滑剤に対し相溶し難い潤滑剤により抽出部分を被覆す
ることによって凹凸構造が形成される。この場合、混合
する潤滑剤の分子長は同程度であっても差し支えない。

【００１４】以上のような潤滑膜を有する磁気記録媒体
では、この潤滑膜を介して磁気ヘッドと摺動接触するた
め、ヘッドとの実質的な接触面積が低減されることにな
り、ヘッド・媒体間の粘着力を低下させることができ
る。

【００１５】ヘッド・媒体間の粘着力を低下させる手段
として、特開平３−１０５７１９号公報には両末端に官
能基を有する潤滑剤成分と片末端に官能基を有する潤滑
剤成分とを混在させる、あるいは二つの分子量ピークを
持つ組成物で潤滑膜を構成することで潤滑膜が分子単位
で微細な凹凸を形成し粘着力が低下すると記されてい
る。しかし上記提案においては、潤滑剤の種類や性状に
ついては特に触れられておらず、実施例にて同種類の潤
滑剤を使用しており、潤滑剤同士は相溶しているもので
ある。したがって、本発明のように潤滑膜が相分離に伴
うミクロドメイン構造になっているものではない。

【００１６】一方、特開昭６２−２３６１３５号公報で
は、潤滑剤自体の粘性抵抗の増大を回避して磁気ヘッド
との粘着を防止し、磁性層の耐摩耗性、走行安定性を得
る方法として、磁性層表面に海島状の潤滑被膜を形成す
る方法も提案されている。しかし、上記提案においては
海島それぞれを構成する潤滑剤の分子長については特に
記されておらず、潤滑膜表面に凹凸を形成することも開
示されていない。また、ヘッド浮上量についても何ら考
慮されていないため、浮上量が５０ｎｍ以下の過酷な摺
動条件下においても、目的とする効果が得られるかどう
かは明らかではない。

【００１７】本発明においてはヘッド浮上量は５０ｎｍ
以下であり、しかも磁気記録媒体表面には膜内面でミク
ロドメイン構造を有し、かつミクロドメイン間の実質的
な膜厚差に基づく凹凸構造が形成される潤滑膜が設けて
ある。このため、ヘッド・媒体間の実質的な接触面積は
低減され、過酷な摺動条件下でも粘着力が低下し摩擦係
数が小さい。

【００１８】なお、本発明に適用されるミクロドメイン
は、その性状について何ら限定されるものではなく、ま
た、大きさについても特に規定されるものではない。一
般的にミクロドメインとみなされる範囲にあるもので
０.０１μｍ〜０.１ｍｍ程度の大きさである。なお、本
発明において潤滑膜がミクロドメイン構造を形成してい
るかどうかについては、光学顕微鏡、ＳＥＭ（Scanning
Electron Microscope）、ＡＦＭ（Atomic Force Micro
scope）、ＦＦＭ（Friction Force Microscope）、螢光
顕微鏡等を観察することによって容易に確認することが
できる。

【００１９】ミクロドメイン構造を形成させるための好
ましい潤滑剤の組合せとしては、パーフルオロアルキル
化合物および部分的にフッ素化されたセミフルオロ化合
物との組合せ、またはパーフルオロポリエーテル類およ
びパーフルオロアルキル化合物との組合せが挙げられ
る。

【００２０】上記のような組合せが好ましい理由として
は、組み合わせる潤滑剤同士がいずれもフッ素系化合物
を含んでいるために低表面エネルギであること、また潤
滑剤同士がミクロ相分離しやすいこと、そしてパーフル
オロポリエーテル類あるいはセミフルオロ化合物の優れ
た耐久性とパーフルオロアルキル化合物の高被覆性とを
兼ねそなえるためである。

【００２１】上記の組合せにおいて、両者の使用割合と
しては、凹部となるべき潤滑剤が全潤滑膜の５〜９５重
量％、望ましくは１５〜８５重量％であり、凸部となる
べき潤滑剤が前潤滑膜の９５〜５重量％、望ましくは８
５〜１５重量％の範囲にあるとき本発明の効果が十分に
発揮される。凹部もしくは凸部のみが著しく存在する場
合、凹凸構造が存在しない場合と比較してヘッド・媒体
間の実質的な接触面積はさほど低減されないために、粘
着力を低下させることも困難になるためである。 本発
明に適用される潤滑剤は、上記組合せに使用した潤滑剤
のみならず、高級脂肪酸やそのエステル、長鎖炭化水素
をはじめ、パーフルオロアルキル型化合物やパーフルオ
ロポリエーテルなどのフッ素系潤滑剤、あるいは部分的
にフッ素化されたセミフルオロ化合物など潤滑剤として
従来公知の材料を二種類以上、互いに分子長を変え組み
合わせて使用することも可能である。要は、潤滑膜内面
でミクロドメイン構造が形成されるような二種類以上の
潤滑剤の組合せで、しかも組み合わせる潤滑剤のそれぞ
れの分子長が異なり、かつ互いに相溶し難い場合、ある
いはミクロドメイン構造が形成されるような二種類以上
の潤滑剤の組合せである場合に、本発明の効果が十分に
発揮される。

【００２２】上述の潤滑剤についてさらに具体的に説明
するならば、パーフルオロポリエーテル類は直鎖状のも
のに限らず、分岐したものでも良く、片末端、両末端い
ずれも適用可能である。具体的には、デュポン社商品名
Ｋｒｙｔｏｘ、ダイキン社商品名Ｄｅｍｎｕｍ、モンテ
フロース社商品名Ｆｏｍｂｌｉｎなどであり、これらの
誘導体も含まれる。末端の官能基としては、水酸基やカ
ルボキシル基、スルホン基、あるいはこれらの金属塩な
どの親水性基を有するものがより好ましい。

【００２３】パーフルオロアルキル型化合物としては、
下記一般式（１）で示される化合物などが挙げられる。 Ｃ_kＦ_2k+1−Ｘ （１） （但し、Ｘは親水性基を表す。）アルキル基の炭素数に
ついては特に限定はないが、好ましくはｋが４以上３０
以下、より好ましくは７以上２０以下のものが有効であ
る。これは、十分な潤滑効果を発揮させるためである。
例を挙げるならばペンタデカフルオロオクタン酸、ノナ
デカフルオロデカン酸、トリコサフルオロドデカン酸な
どである。

【００２４】セミフルオロ化合物としては、下記一般式
（２）で示される化合物などが挙げられる。 Ｃ_nＦ_2n+1−Ｙ−（ＣＨ₂）_m−Ｚ （２） （但し、Ｙは直結または２価の官能基、Ｚは親水性基を
表す。）パーフルオロアルキル基あるいはアルキル基の
炭素数についても特に限定はしないが、ｎが３以上、好
ましくは６以上であり、ｍが２以上４０以下のものが好
ましい。ｎが少なすぎると潤滑効果が不十分であり、ま
たｍが少なすぎるとミクロ相分離に伴うミクロドメイン
構造を形成しにくくなるためである。

【００２５】ここで、Ｙは直結または２価の官能基であ
り、具体的には、−ＣＨ＝ＣＨ−、−ＣＯＮＨ−、−Ｓ
Ｏ₂ＮＨ−などである。ＸおよびＺを親水性基とするの
は磁気記録媒体表面に吸着しやすくするためである。例
を挙げるならば、−ＣＯＯＨ、−ＯＨ、−ＣＯＮＨ₂、
−ＳＯ₃Ｈ、−ＳＯ₄Ｈ、−ＰＯ₄Ｈ₂、−ＣＯＯＭ（Ｍは
一価の金属）など、あるいはこれらのアルカリ金属塩、
アルカリ土類金属塩、アンモニウム塩などであり、同一
であっても異なっていても良い。

【００２６】また、長鎖炭化水素や高級脂肪酸について
も特に限定はしない。溶解性あるいは潤滑性等が一般的
であり、十分な効果が得られれば良い。これらの潤滑剤
は、分子長が同程度であれば同じ型の潤滑剤を数種類混
合したものを使用することも可能である。この場合、混
合する潤滑剤同士が十分に溶解しており、分子長の異な
る他の型の潤滑剤とミクロドメイン構造を形成すれば良
い。

【００２７】本発明の潤滑膜は様々な方法により磁気記
録媒体上に形成することが可能である。具体的には浸漬
法、スプレー法、スピンコート法、キャスト法、真空蒸
着法、分子線蒸着法などの方法を用いることができる。
また、上述の方法により磁気記録媒体上に潤滑膜を形成
した後、必要に応じて加熱または紫外線照射により潤滑
膜の特性を向上させたり、潤滑膜と媒体表面との間の結
合力を高めることができる。

【００２８】本発明の磁気記録装置に適用される磁気記
録媒体としては、一つの磁気記録媒体面に情報を記録お
よび再生する磁気ヘッドが一つである場合、直径が３.
５インチ以下であることが好ましい。これより大きい場
合には、磁気ヘッド表面との最小間隔が５０ｎｍ以下の
磁気記録装置を形成し難いからである。一方、一つの磁
気記録媒体面に多数の磁気ヘッドが対応している場合に
は媒体の直径は制限されないが、組立ての上で困難を伴
う。

【００２９】また、本発明の磁気記録装置においては、
ヘッド浮上量が磁気記録媒体上の保護膜と潤滑膜の合計
厚みよりも小さくなることが有りうる。このようにヘッ
ド浮上量の殆どない、もしくは全くない場合にも、本発
明は適用される。

【００３０】磁気記録媒体の構成としては、非磁性支持
体上に少なくとも磁性層を有し、該磁性層上、もしくは
該磁性層上に保護膜を介して潤滑膜を形成したものが好
ましい。また、非磁性支持体と磁性層との間に下地層を
介した構成の磁気記録媒体についても適用可能である。
非磁性支持体、磁性層、保護膜は何ら限定されるもので
はなく、従来より知られているものが何でも使用でき
る。

【００３１】

【作用】上記本発明の構成によれば、磁気記録媒体面上
の潤滑剤はミクロに相分離してミクロドメイン構造を形
成し、しかも分子長の長い方、あるいは特定の溶媒に対
する溶解度が低い方、もしくは高い方（スケルトン形成
後の抽出部分を被覆する方）が潤滑膜の凸部を形成し、
分子長の短い方、あるいは特定の溶媒に対する溶解度が
高い方（スケルトン形成後の抽出部分を被覆する方）、
もしくは低い方が凹部を形成すると考えられる。したが
って、磁気ヘッドと接触するのは実質的には凸部の相で
あり、走行時における接触面積が低減されると考えられ
る。一方、凹部の相は磁気ヘッドとほとんど接触はしな
いものの、媒体表面を緻密な潤滑膜で被覆するため、耐
久性、耐食性を向上させる。さらに、摺動接触などによ
り初期の凹凸構造が破壊されても相分離現象によって再
び凹凸構造が形成されると思われる。したがって、磁気
記録媒体表面は常に摩擦係数が小さい状態にある。この
ように、本発明によれば磁気ヘッドと磁気記録媒体との
粘着力は低下し、耐摩耗性、耐久性、耐食性、信頼性に
優れた磁気記録媒体を備えた磁気記録装置を得ることが
できる。

【００３２】

【実施例】以下、本発明の実施例を、図および表を参照
して具体的に説明する。なお、本発明はこれらの実施例
に限定されるものではない。

【００３３】［実施例１］Ｎｉ−Ｐをメッキした３.５
インチ径のＡｌ合金基板表面に、中間膜として膜厚０.
２５μｍのＣｒ層を設け、この上に膜厚０.０６μｍの
Ｃｏ系磁性膜をスパッタ蒸着し、更にその上に膜厚０.
０５μｍのカーボン系保護膜を形成したディスクを準備
する。次に、表１中に示す潤滑剤１ (潤滑剤成分Ｉおよ
び潤滑剤成分IIの混合物)を磁気ディスク表面に塗布し
た。塗布方法は、混合した潤滑剤をクロロペンタフルオ
ロプロパンに所定の濃度で溶解した溶液を作成し、この
溶液に上記ディスクを浸漬して潤滑膜を形成した。ここ
で、表１に示す潤滑剤成分Ｉは鎖長の長い潤滑剤として
使用したものであり、潤滑剤成分IIは鎖長の短い潤滑剤
として使用したものである。

【００３４】

【表１】

【００３５】上記プロセスで成膜した磁気ディスクを用
いて磁気記録装置を作製した。図１は本発明の磁気記録
装置の一構成例を示す概略図である。図において、アク
チュエータ１にヘッドアーム２を介して取り付けられた
磁気ヘッド３と、モータの回転力を伝達するスピンドル
４に取り付けられた磁気ディスク５とは、それぞれの幾
何学的平均面の最小間隔を５０ｎｍ以下にすることが可
能である。また、磁気ヘッド３はボイスコイルモータ６
によって磁気ディスク５の半径方向への移動が可能であ
る。潤滑剤２〜５についても実施例１と同様の方法で磁
気ディスクおよび磁気記録装置を作製した。

【００３６】［実施例２］Ｎｉ−Ｐをメッキした３.５
インチ径のＡｌ合金基板表面に、中間膜として膜厚０.
２５μｍのＣｒ層を設け、この上に膜厚０.０６μｍの
Ｃｏ系磁性膜をスパッタ蒸着し、更にその上に膜厚０.
０５μｍのカーボン系保護膜を形成したディスクを準備
する。次に、表２中に示す潤滑剤６ (潤滑剤成分Ｉおよ
び潤滑剤成分IIの混合物)を磁気ディスク表面に塗布し
た。塗布方法は、まず混合した潤滑剤をクロロペンタフ
ルオロプロパンに所定の濃度で溶解した溶液を作成し、
この溶液に上記ディスクを浸漬して潤滑膜を形成した。
その後、エタノール溶液中に上記ディスクを浸漬し、上
昇および下降をくり返してスケルトニゼーションした。
さらに潤滑剤成分IIをエタノール溶液に所定の濃度で溶
解した溶液を作製し、この溶液に上記ディスクを浸漬し
て再度潤滑膜を形成した。上記プロセスで成膜した磁気
ディスクを用いて、図１に示すような磁気記録装置を作
製した。潤滑剤７〜９についても実施例２と同様の方法
で磁気ディスクおよび磁気記録装置を作製した。

【００３７】

【表２】

【００３８】［実施例３］実施例１および実施例２で成
膜した磁気ディスクの摺動特性を評価するため、摺動試
験装置を用いて粘着性および耐久性を評価した。粘着性
を評価する指標としては、ある荷重をかけたヘッドをデ
ィスクに接触させた状態で低速摺動させ、その時の動摩
擦力の最大値を測定する方法を用いた。すなわち、荷重
１０ｇを印加したヘッドを１ｒｐｍで動かし、その時の
動摩擦力の最大値を測定した。

【００３９】一方、磁気ヘッドに対する摺動強度を球面
摺動試験により評価した。荷重２０ｇを印加したサファ
イア球面摺動子(曲率半径５０ｍｍ)を用い、スライディ
ング速度２０ｍ／ｓで摺動させ、磁気記録媒体表面に摺
動痕が発生するまでのパス回数を測定した。結果を表３
に示す。

【００４０】

【表３】

【００４１】［比較例１］潤滑剤として末端にカルボキ
シル基を持つパーフルオロポリエーテル(平均分子量：
２５００)を単独で用いて、実施例１と同様の方法で磁
気ディスクを作製し、粘着性および摺動強度を測定し
た。

【００４２】［比較例２］潤滑剤として下式（３）、 Ｆ(ＣＦ₂)₁₄(ＣＨ₂)₁₀ＣＯＯＨ （３） で表されるセミフルオロ化合物を単独で用いて、実施例
１と同様の方法で磁気ディスクを作製し、粘着性および
摺動強度を測定した。

【００４３】［比較例３］潤滑剤としてパーフルオロア
ルキル基の炭素原子数が１１のパーフルオロアルキルカ
ルボン酸を単独で用いて、実施例１と同様の方法で磁気
ディスクを作製し、粘着性および摺動強度を測定した。

【００４４】［比較例４］実施例１と同じプロセスでカ
ーボン系保護膜まで成膜した後、保護膜上にエッチング
によるテクスチャリングを施し、潤滑剤を塗布せずに実
施例３と同様の評価を行なった。

【００４５】以上の実施例、および比較例の評価結果か
らも明らかなように、本発明の実施例によれば、各比較
例に対して摺動強度が極めて優れていることがわかる。
そのため、磁気ヘッドと磁気記録媒体のそれぞれの表面
の幾何学的平均面の最小間隔が５０ｎｍ以下の磁気記録
装置において、耐摩耗性、摺動耐久性、耐食性、あるい
は摺動信頼性に優れた磁気記録媒体と、それを備えた磁
気記録装置を得ることができる。

【００４６】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、低摩擦係
数で、しかも高摺動強度の磁気記録媒体が得られ、摺動
耐久性に優れ、信頼性が高く、しかも記憶容量の大きい
磁気記録装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例による磁気ディスク装置の一構
成例を示す。

【符号の説明】

１…アクチュエータ、 ２…ヘッドアーム、 ３…磁気ヘッド、 ４…スピンドル、 ５…磁気ディスク、 ６…ボイスコイルモータ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中川路 孝行 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 庄司 三良 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 師岡 寿至 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 石原 平吾 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内 (72)発明者 浜口 哲也 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気ヘッドと前記磁気ヘッドに対向する
   面に潤滑膜を形成した磁気記録媒体とを有する磁気記録
   装置において、前記潤滑膜は、膜内面でミクロドメイン
   構造を有し、かつミクロドメイン間の実質的な膜厚差に
   基づく凹凸構造が形成されていることを特徴とする磁気
   記録装置。
2. 【請求項２】 磁気ヘッドと前記磁気ヘッドに対向する
   面に潤滑膜を形成した磁気記録媒体とを有する磁気記録
   装置において、前記潤滑膜は、少なくとも二種類以上の
   互いに分子長が異なり、かつ互いに相溶し難い潤滑剤に
   より形成されていることを特徴とする磁気記録装置。
3. 【請求項３】 情報を記録する磁気記録媒体と、前記磁
   気記録媒体の情報を記録または再生する磁気ヘッドとを
   有する磁気記録装置において、前記磁気記録媒体の表面
   に形成される潤滑膜が、膜内面でミクロドメイン構造を
   有し、かつ前記潤滑膜面上には前記ミクロドメイン間の
   実質的な膜厚差に基づく凹凸構造が形成され、前記凹凸
   構造を形成させる手段は、少なくとも二種類以上の互い
   に分子長が異なり、かつ互いに相溶し難い潤滑剤の混合
   であることを特徴とする磁気記録装置。
4. 【請求項４】 情報を記録する磁気記録媒体と、前記磁
   気記録媒体の情報を記録または再生する磁気ヘッドとを
   有する磁気記録装置において、前記磁気記録媒体の表面
   に形成される潤滑膜が、膜内面でミクロドメイン構造を
   有し、かつ前記潤滑膜面上には前記ミクロドメイン間の
   実質的な膜厚差に基づく凹凸構造が形成され、前記凹凸
   構造を形成させる手段は、特定の溶媒に対する溶解度が
   異なり、かつ互いに相溶し難い少なくとも二種類以上の
   潤滑剤からなる膜を前記磁気記録媒体面上にまず形成し
   た後、前記膜を前記溶媒と接触させてスケルトニゼーシ
   ョンさせ、さらに前記膜を主に構成する潤滑剤に対して
   相溶し難い潤滑剤により抽出部分を被覆する手段である
   ことを特徴とする磁気記録装置。
5. 【請求項５】 前記潤滑膜は、下記一般式(１）で表さ
   れるパーフルオロアルキル化合物および下記一般式
   (２）で表される部分的にフッ素化されたセミフルオロ
   化合物からなることを特徴とする請求項１ないし４のう
   ちいずれかに記載の磁気記録装置。 Ｃ_kＦ_2k+1−Ｘ （１） （但し、Ｘは親水性基を表す。） Ｃ_nＦ_2n+1−Ｙ−（ＣＨ₂）_m−Ｚ （２） （但し、Ｙは直結または２価の官能基、Ｚは親水性基を
   表す。）
6. 【請求項６】 前記潤滑膜が、パーフルオロポリエーテ
   ル類および請求項５記載の一般式（１）で表されるパー
   フルオロアルキル化合物からなることを特徴とする請求
   項１ないし４のうちいずれかに記載の磁気記録装置。
7. 【請求項７】 前記潤滑膜を形成する磁気記録媒体と前
   記磁気ヘッドのそれぞれの表面の幾何学的平均面の最小
   間隔が、５０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１
   ないし６のうちいずれかに記載の磁気記録装置。
8. 【請求項８】 前記潤滑膜を形成した磁気記録媒体の直
   径が、３.５インチ以下であることを特徴とする請求項
   １ないし７のうちいずれかに記載の磁気記録装置。
9. 【請求項９】 磁気ヘッドに対向する面に潤滑膜を形成
   した磁気記録媒体において、前記潤滑膜は、膜内面でミ
   クロドメイン構造を有し、かつミクロドメイン間の実質
   的な膜厚差に基づく凹凸構造が形成されていることを特
   徴とする磁気記録媒体。
10. 【請求項１０】 磁気ヘッドに対向する面に潤滑膜を形
    成した磁気記録媒体において、前記潤滑膜は、少なくと
    も二種類以上の互いに分子長が異なり、かつ互いに相溶
    し難い潤滑剤により形成されていることを特徴とする磁
    気記録媒体。
11. 【請求項１１】 磁気ヘッドに対向する面に潤滑膜を形
    成した磁気記録媒体において、前記潤滑膜が、膜内面で
    ミクロドメイン構造を有し、かつ前記潤滑膜面上には前
    記ミクロドメイン間の実質的な膜厚差に基づく凹凸構造
    が形成され、前記凹凸構造を形成させる手段は、少なく
    とも二種類以上の互いに分子長が異なり、かつ互いに相
    溶し難い潤滑剤の混合であることを特徴とする磁気記録
    媒体。
12. 【請求項１２】 磁気ヘッドに対向する面に潤滑膜を形
    成した磁気記録媒体において、前記潤滑膜が、膜内面で
    ミクロドメイン構造を有し、かつ前記潤滑膜面上にはミ
    クロドメイン間の実質的な膜厚差に基づく凹凸構造が形
    成され、前記凹凸構造を形成する手段が、特定の溶媒に
    対する溶解度が異なり、かつ互いに相溶し難い少なくと
    も二種類以上の潤滑剤からなる膜を形成した後、前記膜
    を前記溶媒と接触させてスケルトニゼーションさせ、さ
    らに前記膜を主に構成する潤滑剤に対して相溶し難い潤
    滑剤により抽出部分を被覆する手段であることを特徴と
    する磁気記録媒体。
13. 【請求項１３】 磁気ヘッドに対向する面に潤滑膜を形
    成した磁気記録媒体において、前記潤滑膜は、下記一般
    式（１）で表されるパーフルオロアルキル化合物および
    下記一般式（２）で表される部分的にフッ素化されたセ
    ミフルオロ化合物からなることを特徴とする磁気記録媒
    体。 Ｃ_kＦ_2k+1−Ｘ （１） （但し、Ｘは親水性基を表す。） Ｃ_nＦ_2n+1−Ｙ−（ＣＨ₂）_m−Ｚ （２） （但し、Ｙは直結または２価の官能基、Ｚは親水性基を
    表す。）
14. 【請求項１４】 磁気ヘッドに対向する面に潤滑膜を形
    成した磁気記録媒体において、前記潤滑膜は、パーフル
    オロポリエーテル類および下記一般式（１）で表される
    パーフルオロアルキル化合物からなることを特徴とする
    磁気記録媒体。 Ｃ_kＦ_2k+1−Ｘ （１） （但し、Ｘは親水性基を表す。）
15. 【請求項１５】 請求項９ないし１４のうちいずれかに
    記載の磁気記録媒体の直径が、３.５インチ以下である
    ことを特徴とする磁気記録媒体。