JPH0882707A - カラーフィルタ及びそれを使用したカラーディスプレイ及びその製造方法及び製造装置 - Google Patents

カラーフィルタ及びそれを使用したカラーディスプレイ及びその製造方法及び製造装置

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JPH0882707A
JPH0882707A JP22040394A JP22040394A JPH0882707A JP H0882707 A JPH0882707 A JP H0882707A JP 22040394 A JP22040394 A JP 22040394A JP 22040394 A JP22040394 A JP 22040394A JP H0882707 A JPH0882707 A JP H0882707A
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color
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Abstract

(57)【要約】 【目的】インクジェットヘッドのノズルの位置とフィル
タエレメントの位置を正確に位置合わせした状態で、フ
ィルタエレメントの着色を行うことができるカラーフィ
ルタの製造方法を提供する。 【構成】フィルタエレメント１０aを着色するための着
色剤を吐出する吐出ノズルとの相対位置があらかじめ設
定されている光位置センサー１２０a1により基板１２上
のフィルタエレメント１０aの位置を検出する検出工程
と、検出工程で検出されたフィルタエレメント１０aの
位置情報に基づいて、フィルタエレメント１０aの位置
と吐出ノズル１０８aの位置とが整合するように両者の
相対位置を補正する補正工程と、補正工程で相対位置を
補正された吐出ノズル１０８aにより、着色剤を吐出し
てフィルタエレメント１０aを着色する着色工程とを具
備する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、透明な基板上に所定の
パターンで遮光部を形成し、この遮光部により仕切られ
た多数のフィルタエレメントを夫々所定の色に着色する
ことにより製造されるカラーフィルタ及びそれを使用し
たカラーディスプレイ及びその製造方法及び製造装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータの発達、
特に携帯用パーソナルコンピュータの発達に伴い、液晶
ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスプレイの需要
が増加する傾向にある。しかしながら、更なる普及のた
めには液晶ディスプレイのコストダウンが必要であり、
特にコスト的に比重の高いカラーフィルタのコストダウ
ンに対する要求が高まっている。従来から、カラーフィ
ルタの要求特性を満足しつつ上記の要求に応えるべく種
々の方法が試みられているが、未だ全ての要求特性を満
足する方法は確立されていない。以下にそれぞれの方法
を説明する。
【０００３】最も多く用いられている第１の方法が染色
法である。染色法は、ガラス基板上に染色用の材料であ
る水溶性高分子材料を塗布し、これをフォトリソグラフ
ィー工程により所望の形状にパターニングした後、得ら
れたパターンを染色浴に浸漬して着色されたパターンを
得る。これを３回繰返すことによりＲ、Ｇ、Ｂのカラー
フィルタ層を形成する。
【０００４】第２の方法は顔料分散法であり、近年染色
法に取って変わりつつある。この方法は、基板上に顔料
を分散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニング
することにより単色のパターンを得る。さらにこの工程
を３回繰返すことによりＲ、Ｇ、Ｂのカラーフィルタ層
を形成する。
【０００５】第３の方法としては電着法がある。この方
法は、基板上に透明電極をパターニングし、顔料、樹
脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第１の色を
電着する。この工程を３回繰返してＲ、Ｇ、Ｂのカラー
フィルタ層を形成し、最後に焼成するものである。
【０００６】第４の方法としては、熱硬化型の樹脂に顔
料を分散させ、印刷を３回繰返すことによりＲ、Ｇ、Ｂ
を塗り分けた後、樹脂を熱硬化させることにより着色層
を形成するものである。また、いずれの方法においても
着色層上に保護層を形成するのが一般的である。
【０００７】これらの方法に共通している点は、Ｒ、
Ｇ、Ｂの３色を着色するために同一の工程を３回繰返す
必要があり、コスト高になることである。また、工程が
多いほど歩留まりが低下するという問題を有している。
さらに、電着法においては、形成可能なパターン形状が
限定されるため、現状の技術ではＴＦＴ用には適用でき
ない。また、印刷法は、解像性、平滑性が悪いためファ
インピッチのパターンは形成できない。
【０００８】これらの欠点を補うべく、特開昭５９−７
５２０５号公報、特開昭６３−２３５９０１号公報ある
いは特開平１−２１７３２０号公報等には、インクジェ
ット方式を用いてカラーフィルタを製造する方法が記載
されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来のインクジェット方式によるカラーフィルタの製造
方法においては、インクジェットヘッドで基板上を走査
しながら、基板上の多数のフィルタエレメントを着色し
ていくのであるが、基板の温度変化、及び温度分布によ
る基板の伸縮変形等によるフィルタエレメント間の距離
や配列位置の変化を考慮していないため、インクジェッ
トヘッドが吐出する着色ドットの位置と着色されるべき
フィルタエレメントの位置が微妙にずれてしまい、白ぬ
け等の欠陥が発生する場合があるという問題点があっ
た。
【００１０】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的とするところは、インクジ
ェットヘッドのノズルの位置とフィルタエレメントの位
置を正確に位置合わせした状態で、フィルタエレメント
の着色を行うことができるカラーフィルタ及びそれを使
用したカラーディスプレイ及びその製造方法及び製造装
置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明のカラーフィルタの製造
方法は、透明な基板上に所定のパターンで遮光部を形成
し、該遮光部により仕切られた多数のフィルタエレメン
トを夫々所定の色に着色することにより製造されるカラ
ーフィルタの製造方法であって、前記フィルタエレメン
トを着色するための着色剤を吐出する吐出ノズルとの相
対位置があらかじめ設定されている第１のセンサーによ
り前記基板上のフィルタエレメントの位置を検出する検
出工程と、前記検出工程で検出されたフィルタエレメン
トの位置情報に基づいて、フィルタエレメントの位置と
前記吐出ノズルの位置とが整合するように両者の相対位
置を補正する補正工程と、前記補正工程で相対位置を補
正された吐出ノズルにより、着色剤を吐出してフィルタ
エレメントを着色する着色工程とを具備することを特徴
としている。
【００１２】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記遮光部と該するカラーフィルタ
の製造遮光部により仕切られたフィルタエレメントはマ
トリクス状に２次元的に配置されており、前記吐出ノズ
ルはマトリクス状に配置されたフィルタエレメント上を
主走査方向とそれに直行する副走査方向とに走査される
ことにより、前記基板全面にわたって多数のフィルタエ
レメントを順次着色することを特徴としている。
【００１３】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記吐出ノズルが主走査方向の１ラ
イン上に並ぶフィルタエレメントを走査する間、前記吐
出ノズルとフィルタエレメントの副走査方向の相対位置
の補正が行われることを特徴としている。
【００１４】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記吐出ノズルが主走査方向の１ラ
イン上に並ぶフィルタエレメントを走査する間、前記吐
出ノズルとフィルタエレメントの主走査方向の相対位置
が第２のセンサーにより検出され、該検出された相対位
置の情報に基づいて、前記吐出ノズルからの着色剤の吐
出タイミングが制御されることを特徴としている。
【００１５】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記吐出ノズルと前記基板の間の距
離を検出するための第３のセンサーの出力信号に基づい
て、前記吐出ノズルと前記基板の間の距離を一定に保っ
た状態で前記吐出ノズルが走査されることを特徴として
いる。
【００１６】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記吐出ノズルは、液滴を吐出して
記録を行うインクジェット記録ヘッドの吐出ノズルであ
ることを特徴としている。
【００１７】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェット記録ヘッドは、
熱エネルギーを利用して液滴を吐出する記録ヘッドであ
って、液滴に与える熱エネルギーを発生するための熱エ
ネルギー変換体を備えていることを特徴としている。
【００１８】また、本発明のカラーフィルタは、透明な
基板上に、通常は着色剤を吸収し、光を照射されること
により着色剤を吸収しなくなる物質からなる被染色層を
形成し、該被染色層を多数のフィルタ要素に区切って、
その夫々を所定の色に着色することにより製造されるカ
ラーフィルタであって、露光装置により前記被染色層に
部分的に光を照射してインクを吸収しない部分を形成
し、前記フィルタ要素の区切り部を形成する露光工程
と、該露光工程で区切り部を形成されたフィルタ要素に
着色剤を吐出するための着色ノズルにより着色剤を吐出
して、前記フィルタ要素を着色する着色工程と、該着色
工程で着色されたフィルタ要素の着色状態の欠陥を検出
するセンサーにより、前記フィルタ要素の欠陥を検出す
る欠陥検出工程と、前記欠陥検出工程により検出された
欠陥部分を補修用着色ノズルで再び着色して補修する補
修工程とを具備する製造方法によって製造されたことを
特徴としている。
【００１９】また、本発明のカラーディスプレイは、請
求項８に記載のカラーフィルタと、印加電圧に応じて前
記カラーフィルタへの透過光を制御するピクチャーエレ
メントとを具備することを特徴としている。
【００２０】また、この発明に係わるカラーディスプレ
イにおいて、前記ピクチャーエレメントの後方に配置さ
れた光源を更に具備することを特徴としている。
【００２１】また、本発明のカラーフィルタの製造装置
は、透明な基板上に所定のパターンで遮光部を形成し、
該遮光部により仕切られた多数のフィルタエレメントを
各々所定の色に着色することによりカラーフィルタを製
造するためのカラーフィルタの製造装置であって前記フ
ィルタエレメントを着色するための着色剤を吐出する吐
出ノズルと、前記吐出ノズルと前記基板とを相対的に移
動させるための移動手段と、前記吐出ノズルと一体的に
配置され、該吐出ノズルとの相対位置があらかじめ設定
されている第１の位置検出センサーと、前記第１の位置
検出センサーで検出されたフィルタエレメントの位置情
報に基づいて、フィルタエレメントの位置と前記吐出ノ
ズルの位置とが整合するように前記移動手段を制御する
とともに、前記フィルタエレメントの位置と前記吐出ノ
ズルの位置とが整合した状態で、前記吐出ノズルから着
色剤を吐出してフィルタエレメントを着色させるための
制御手段とを具備することを特徴としている。
【００２２】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記遮光部と該遮光部により仕切ら
れたフィルタエレメントはマトリクス状に２次元的に配
置されており、前記制御手段は、前記吐出ノズルをマト
リクス状に配置されたフィルタエレメント上を主走査方
向とそれに直行する副走査方向とに走査させることによ
り、前記基板全面にわたって多数のフィルタエレメント
を順次着色させることを特徴としている。
【００２３】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記制御手段は、前記吐出ノズルが
主走査方向の１ライン上に並ぶフィルタエレメントを走
査する間、前記吐出ノズルとフィルタエレメントの副走
査方向の相対位置の補正を行うことを特徴としている。
【００２４】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記吐出ノズルが主走査方向の１ラ
イン上に並ぶフィルタエレメントを走査する間、前記吐
出ノズルとフィルタエレメントの主走査方向の相対位置
を検出する第２の位置検出センサを更に備え、前記制御
手段は、前記第２の位置検出センサにより検出された相
対位置の情報に基づいて、前記吐出ノズルからの着色剤
の吐出タイミングを制御することを特徴としている。
【００２５】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記吐出ノズルと前記基板の間の距
離を検出するための第３のセンサを更に備え、前記制御
手段は、前記第３のセンサの出力信号に基づいて、前記
吐出ノズルと前記基板の間の距離を一定に保った状態で
前記吐出ノズルを走査させることを特徴としている。
【００２６】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記吐出ノズルは、液滴を吐出して
記録を行うインクジェット記録ヘッドの吐出ノズルであ
ることを特徴としている。
【００２７】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造装置において、前記インクジェット記録ヘッドは、
熱エネルギーを利用して液滴を吐出する記録ヘッドであ
って、液滴に与える熱エネルギーを発生するための熱エ
ネルギー変換体を備えていることを特徴としている。
【００２８】
【作用】以上のようにこの発明に係わるカラーフィルタ
及びそれを使用したカラーディスプレイ及びその製造方
法及び製造装置は構成されているので、着色剤を吐出す
るノズルとの相対位置があらかじめわかっているセンサ
ーにより基板上のフィルタエレメントの位置を検出し、
その位置に合わせて吐出ノズルと基板との相対位置を補
正しながらフィルタエレメントの着色を行うことによ
り、着色ドットとフィルタエレメントのずれのないカラ
ーフィルタを製造することが可能となる。
【００２９】また、主走査方向と直行する方向、すなわ
ち副走査方向の位置ずれを補正するだけでなく、主走査
方向に沿うフィルタエレメントの位置ずれも検出し、ノ
ズルからの着色剤の吐出タイミングを補正することによ
り、主走査方向の着色ドットの位置ずれも補正すること
ができ、より欠陥の少ないカラーフィルタを製造するこ
とが可能となる。
【００３０】
【実施例】以下本発明の好適な実施例について、添付図
面を参照して詳細に説明する。 （第１の実施例）図１は本発明の第１の実施例にかかわ
る製造方法及び製造装置により製造されるカラーフィル
タの部分拡大図である。
【００３１】このカラーフィルタ１０は、携帯用パーソ
ナルコンピュータ等に使用されるカラーの液晶ディスプ
レイ等の前面に装着されている。後面には、所謂バック
ライトと呼ばれる光源が配され、両者の間には、印加電
圧に応じて透過光を制御する液晶シャッター等のピクチ
ャーエレメントが配される。また、カラーフィルタ１０
は、図１に示すように、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）
に着色されたフィルタエレメント１０aが、２次元状
に、例えば格子状に配列されて構成されている。各フィ
ルタエレメント１０aの間には、夫々のフィルタエレメ
ント１０a間の区切りを明確にして、画像を鮮明にする
ために、黒色の遮光格子１０bが形成されている。
【００３２】図２は、図１に示したカラーフィルタ１０
の側断面図であり、カラーフィルタ１０の本体を構成す
るガラス基板１２上に、遮光格子１０bが形成され、そ
の上に各色のフィルタエレメント１０aが形成されてい
る状態を示している。
【００３３】カラーフィルタ１０を製造するにあたって
は、ガラス基板１２の上にクロムをスパッタリングによ
り付着させ、フォトリソグラフィーにより格子状のパタ
ーンを形成する。これが遮光格子１０bとなる。次に、
この遮光格子１０bの上にセルロース、アクリル系樹
脂、ゼラチン等から成る、液体を吸収する被染色層１４
を形成し、この被染色層１４のフィルタエレメント形成
領域にインクジェット方式の記録ヘッドにより着色剤
（染料）を混入した液滴（以下インクと呼ぶ）を吹き付
ける。これにより、被染色層１４を着色してカラーのフ
ィルタエレメント１０aを形成する。なお、染料ではな
く、顔料を分散させた液滴を吹き付ける場合は、被染色
層１４は必要ない場合もある。
【００３４】次に、図３は、上記のように被染色層１４
にインクを吹き付けるためのインクジェットヘッドＩＪ
Ｈの構造を示す図である。
【００３５】図３において、インクジェットヘッドＩＪ
Ｈは、インクを加熱するための３つのヒータ１０２a,１
０２b,１０２c（それぞれＲ、Ｇ、Ｂに対応）が形成さ
れた基板であるヒータボード１０４と、このヒータボー
ド１０４の上にかぶせられる天板１０６とから概略構成
されている。天板１０６には、３つの吐出口１０８a,１
０８b,１０８cが形成されており、吐出口１０８a,１０
８b,１０８cの後方には、これらの吐出口の夫々に連通
するトンネル状の液路１１０a,１１０b,１１０cが形成
されている。各液路１１０a,１１０b,１１０cは、その
後方においてインク液室１１４a,１１４b,１１４cに接
続されている。そして、例えばインク液室１１４aに
は、インク供給口１１６aを介して赤色のインク（Ｒ）
が供給され、インク液室１１４bには、インク供給口１
１６bを介して緑色のインク（Ｇ）が供給され、インク
液室１１４cには、インク供給口１１６cを介して青色の
インク（Ｂ）が供給されるようになされている。インク
液室１１４a,１１４b,１１４cに供給されたＲ、Ｇ、Ｂ
のインクは、夫々インク液路１１０a,１１０b,１１０c
を介して吐出口１０８a,１０８b,１０８cから吐出され
る。
【００３６】ヒータボード１０４上の各液路１１０a,１
１０b,１１０cに対応する位置には、既に述べたように
インクを加熱するためのヒータ１０２a,１０２b,１０２
cが設けられている。そして、ヒータ１０２a,１０２b,
１０２cに所定の駆動パルスを供給すると、ヒータ１０
２a,１０２b,１０２c上のインクが沸騰して気泡を形成
しこの気泡の体積膨張によりインクが吐出口１０８a,１
０８b,１０８cから押し出されて吐出される。従って、
ヒータ１０２a,１０２b,１０２cに加える駆動パルスを
制御、例えば電力の大きさを制御することにより気泡の
大きさを調整することが可能であり、吐出口１０８a,１
０８b,１０８cから吐出されるインクの体積を自在にコ
ントロールすることができる。また、ヒータに加える駆
動パルスの発生タイミングを調整することにより、イン
クの吐出タイミングも自在にコントロールすることがで
きる。
【００３７】また、インクジェットヘッドＩＪＨの前面
の各吐出口の周囲には、各フィルタエレメント１０aの
中心位置を検出するための光位置センサ１２０a1〜１２
０a3,１２０b1〜１２０b3,１２０c1〜１２０c3が設けら
れている。夫々の光位置センサ１２０a1〜１２０a3,１
２０b1〜１２０b3,１２０c1〜１２０c3は、例えばＣＣ
Ｄ等のラインセンサと、それに隣接して設けられた発光
部とを有する反射型のセンサから成り、発光部から発せ
られてフィルタエレメント１０aあるいは遮光格子１０b
で反射された光をラインセンサで受光し、その光量から
フィルタエレメント１０aの中心を検出するように構成
されている。各光位置センサと吐出口１０８a,１０８b,
１０８cの相対位置はあらかじめ正確に設定されている
ので、各光位置センサ１２０a1〜１２０a3,１２０b1〜
１２０b3,１２０c1〜１２０c3で検出したフィルタエレ
メント１０aの中心位置の直上方に吐出口１０８a,１０
８b,１０８cの中心を持ってくることが可能となる。
【００３８】また、夫々の吐出口１０８a,１０８b,１０
８cの周囲の１ヶ所には、吐出口と着色しようとする被
染色層１４の表面との距離を検出するための、例えば静
電容量型のセンサあるいは光センサ等の非接触式の距離
センサ１２２a,１２２b,１２２cが設けられている。こ
れらの距離センサ１２２a,１２２b,１２２cにより吐出
口と被染色層１４の表面との距離を検出し、この距離が
常に一定になるようにフィードバックをかけながらイン
クの吐出を行うことにより、インク滴の飛行時間を一定
にして被染色層１４への着弾位置精度の低下を防止する
ことができる。
【００３９】次に、図４は、図１及び図２に示したカラ
ーフィルタを製造するための製造装置の構成を示した図
である。
【００４０】図４において、製造装置２０は、不図示の
架台上に載置され、図中Ｘ方向及びＹ方向に移動可能な
ＸＹテーブル２２と、このＸＹテーブル２２の上方に不
図示の支持部材を介して架台上に固定されたインクジェ
ットヘッドＩＪＨを備えている。ＸＹテーブル２２上に
は、既に前述した方法により遮光格子１０b及び被染色
層１４（図２参照）が形成されたガラス基板１２が載置
される。インクジェットヘッドＩＪＨには図３で説明し
たように、赤色（Ｒ）のインクを吐出するための吐出口
１０８aと、緑色（Ｇ）のインクを吐出するための吐出
口１０８bと、青色（Ｂ）のインクを吐出するための吐
出口１０８cとが備えられており、これらの各吐出口１
０８a,１０８b,１０８cは夫々独立にインクを吐出する
ことができるように構成されている。また、各吐出口１
０８a,１０８b,１０８cの周囲には、光位置センサ１２
０a1〜１２０a3,１２０b1〜１２０b3,１２０c1〜１２０
c3、及び距離センサ１２２a,１２２b,１２２cが備えら
れている。
【００４１】このように構成される製造装置２０におい
ては、インクジェットヘッドＩＪＨに対して、ＸＹテー
ブル２２がＸＹ方向に移動しながら、ガラス基板１２上
の所望の遮光格子１０bの枠内、すなわちフィルタエレ
メント１０aにＲ（赤）またはＧ（緑）またはＢ（青）
のインクを吐出していき、各フィルタエレメント１０a
を着色してカラーフィルタを完成させる。このとき、光
位置センサ１２０a1〜１２０a3,１２０b1〜１２０b3,１
２０c1〜１２０c3により、フィルタエレメント１０aの
中心位置を検出し、吐出口１０８aまたは１０８bまたは
１０８cの中心が、フィルタエレメント１０aの中心と正
確に一致するように、ＸＹテーブルの位置を補正しなが
ら着色を行う。これにより、例えば温度変化等により基
板１２が変形してフィルタエレメント１０a同士の間の
ピッチがずれていた場合でも、フィルタエレメント１０
aの中心に正確にインクを吐出することが可能となる。
また、距離センサ１２２a,１２２b,１２２cにより、基
板１２の表面と吐出口１０８a,１０８b,１０８cの距離
を検出し、その距離が常に一定になるように、インクジ
ェットヘッドＩＪＨを不図示の機構で上下動させること
により、基板１２上に形成されるインクドットの着弾位
置のずれを防止することができる。
【００４２】次に、図５は、製造装置２０の構成を示す
ブロック図である。
【００４３】図５において、製造装置２０の全体動作を
制御するＣＰＵ３０には、ＸＹステージ２２をＸＹ方向
に駆動するためのＸ方向駆動モータ３６及びＹ方向駆動
モータ３８が、Ｘモータ駆動回路３２及びＹモータ駆動
回路３４を介して接続されている。また、ＣＰＵ３０に
は、ヘッド駆動回路４０を介してインクジェットヘッド
ＩＪＨが接続されている。また、ＣＰＵ３０には、ＸＹ
ステージ２２の位置を検出するためのＸエンコーダ４２
及びＹエンコーダ４４が接続されており、ＸＹステージ
２２の位置情報が入力される。さらにＣＰＵ３０には、
プログラムメモリ４６内の制御プログラムも入力され
る。ＣＰＵ３０は、この制御プログラムとＸエンコーダ
４２及びＹエンコーダ４４の位置情報に基づいて、ＸＹ
ステージ２２を移動させ、ガラス基板１２上の所望のフ
ィルタエレメントをインクジェットヘッドＩＪＨの下方
にもたらし、その枠内に所望の色のインクを吹き付けて
着色する。これを各フィルタエレメント１０aに対して
行うことによりカラーフィルタを製造する。
【００４４】なお、ＣＰＵ３０には前述した距離センサ
１２２a〜１２２cがＡ／Ｄ変換器４９を介して接続され
ており、ＣＰＵ３０はこれらのセンサからの距離情報に
基づいてインクジェットヘッドＩＪＨを上下動させるヘ
ッド上下動機構４８を制御して、インクジェットヘッド
ＩＪＨの各吐出口１０８a,１０８b,１０８cと基板１２
との距離が常に一定になるように微調整を行う。また、
ＣＰＵ３０は、光位置センサ１２０a1〜１２０a3,１２
０b1〜１２０b3,１２０c1〜１２０c3からＡ／Ｄ変換器
４７を介して入力される検出情報に基づいて、吐出口１
０８a〜１０８cの位置がフィルタエレメント１０aの中
心にくるように、ＸＹステージ２２の位置を微調整する
（所謂トラッキング制御を行う）。
【００４５】次に、上記のトラッキング制御を行う具体
的な方法を図６,図７を参照して説明する。
【００４６】図６,図７は、インクジェットヘッドＩＪ
Ｈにより基板１２上のフィルタエレメントを着色する場
合の吐出ノズルとフィルタエレメント１０aの位置関係
を示した図である。なお、インクジェットヘッドＩＪＨ
には既に説明したように３つの吐出口が備えられている
が、夫々の吐出口のトラッキング動作は共通であるの
で、以下ではこれらを代表して赤色のインクを吐出する
吐出口１０８aのトラッキング制御について説明する。
【００４７】図６,図７において、二点鎖線は、赤色に
着色されるべきフィルタエレメント１０a（Ｒ）の上空
に位置する赤色のインクの吐出口１０８aとその周囲に
配置された光位置センサ１２０a1〜１２０a3と距離セン
サ１２２aを示している。また、図中矢印Ａは、ＸＹス
テージ２２（すなわち基板１２）の移動方向を示してい
る。すなわち、インクジェットヘッドＩＪＨは基板１２
に対して矢印Ａと反対方向に相対移動（主走査）しなが
らフィルタエレメント１０aを着色していくわけであ
る。
【００４８】この走査が行われるとき、例えば光位置セ
ンサ１２０a１からは、図６及び図７の左側に示すよう
な出力信号がＣＰＵ３０に入力される。すなわち、光位
置センサ１２０a1に備えられている発光部から基板１２
に向けて照射された光は、フィルタエレメント１０aの
部分では透過し、遮光格子１０bの部分では反射してＣ
ＣＤ等のラインセンサから構成される受光部に入射す
る。従って、遮光格子１０bの中央部では、ラインセン
サが受け取る光量は最も多くなり、フィルタエレメント
１０aの中央部では、最も少なくなる。反射光の光量が
多いときには、ラインセンサの画素からは高い電圧が出
力され、光量が少ないときには低い電圧が出力される。
この出力は、不図示の反転回路により反転され、この反
転回路からは反射光の光量が多い場合には低い電圧が出
力され、反射光の光量が少ない場合には高い電圧が出力
される。この出力電圧はＡ／Ｄ変換器４７でデジタル信
号に変換され、ＣＰＵ３０に入力される。すなわち、Ｃ
ＰＵ３０には、図６及び図７の左側に示すような信号波
形がデジタルデータとして入力されることとなる。
【００４９】このように構成される位置検出システムに
おいては、例えば図６に示すように吐出口１０８aの中
心がフィルタエレメント１０a（Ｒ）の中心線Ｉからず
れている場合には、吐出口１０８aの中心に対応する位
置にあるラインセンサの画素Ｓ1からは、図中Ｐ1で示す
ような出力信号が得られる。これに対し、画素Ｓ1より
図中下側に位置する画素Ｓ2からは、Ｐ1よりも小さいＰ
2で示すような出力信号が得られ、画素Ｓ1よりも上側に
位置する画素Ｓ3からは、Ｐ1よりも大きいＰ3で示すよ
うな出力信号が得られる。従って、ＣＰＵ３０は、画素
Ｓ1からの信号と画素Ｓ2及び画素Ｓ3からの信号とを比
較することにより、画素Ｓ1すなわち吐出口１０８aがフ
ィルタエレメント１０a（Ｒ）に対してどちら側にずれ
ているかを知ることができる。図６の場合には、画素Ｓ
1,Ｓ2,Ｓ3の信号の比較結果から吐出口１０８aがフィル
タエレメント１０a（Ｒ）の中心から図中下側にずれて
いることがわかるので、ＣＰＵ３０は、基板１２を図中
下側に動かすようにＸＹステージ２２を微調整する。
【００５０】この様に基板１２の位置の微調整を行う
と、フィルタエレメント１０aの中心線Ｉは、吐出口１
０８aの中心と一致する位置まで移動してくる。そし
て、図７に示すように吐出口１０８aの中心がフィルタ
エレメント１０aの中心線Ｉの真上までくると画素Ｓ1か
らは図中Ｐ4で示すような信号すなわちラインセンサの
出力信号波形の頂上に対応する信号が出力される。これ
に対し、画素Ｓ2,Ｓ3からはＰ4よりも小さい図中Ｐ5,Ｐ
6で示される信号が出力される。これによりＣＰＵ３０
は、吐出口１０８aの中心とフィルタエレメント１０a
（Ｒ）の中心が一致したことを検出し、ＸＹステージ２
２の副走査方向の動きを停止させる。
【００５１】上記のようにして、ＣＰＵ３０は、吐出口
１０８aの位置に対応する画素Ｓ1からの出力信号とその
両隣の画素Ｓ2,Ｓ3からの出力信号とを比較することに
より、トラッキングを行い吐出口１０８aの中心とフィ
ルタエレメント１０a（Ｒ）の中心とを一致させる。
【００５２】なお、光位置センサ１２０a2も上記と同様
にフィルタエレメント１０a（Ｒ）の中心を検出するこ
とが可能であり、吐出口１０８aが図６の場合とは逆に
走査される場合には、この光位置センサ１２０a2の出力
信号がトラッキングに使用されることとなる。
【００５３】また、光位置センサ１２０a3は、上記と同
じ原理によりフィルタエレメント１０a（Ｒ）の主走査
方向の位置を検出しており、ＣＰＵ３０は、これらの検
出信号からインクの吐出タイミングを設定し、インクド
ットの位置がフィルタエレメント１０a（Ｒ）からずれ
ないように制御を行う。
【００５４】また、距離センサ１２２aは、吐出口１０
８aと基板１２との距離を常に監視しており、ＣＰＵ３
０はこの検出信号に基づいてヘッド上下動機構４８を制
御し、吐出口１０８aと基板１２との距離を常に一定に
保つようにする。
【００５５】なお、上記の実施例では、光位置センサ
は、各吐出口１０８a,１０８b,１０８cの夫々の周囲に
３つずつ設けられているが、この構成では、各吐出口の
トラッキングは別々に行うことが可能である。そのた
め、図１に示すように主走査方向の１ライン上に３色の
フィルタエレメントが混在している場合には、１ライン
上のフィルタエレメントの全てを着色するために３回の
走査を行うことがトラッキングを正確に行うためには有
効である。すなわち１回目の走査では、例えば３色のフ
ィルタエレメントのうちの赤色のエレメントのみを着色
し、このときには、光位置センサ１２０a1〜１２０a3を
使用してトラッキング制御を行う。２回目の走査では、
例えば緑色のエレメントのみを着色し、このときには、
光位置センサ１２０b1〜１２０b3を使用してトラッキン
グ制御を行う。さらに３回目の走査では、青色のエレメ
ントのみを着色し、このときには、光位置センサ１２０
c1〜１２０c3を使用してトラッキング制御を行う。この
ようにすれば、各吐出口のトラッキング制御は、夫々の
吐出口の周囲に配置された光位置センサで行われること
となり、トラッキングの精度は向上する。
【００５６】また、例えば、図１２に示すように、主走
査方向の１ライン上に１色のフィルタエレメントのみが
配列されている場合には、上記のように３回の走査を行
う必要はなく、１回の走査のみで良い。すなわち、１ラ
イン目のフィルタエレメントが全て赤色のエレメントで
あれば、この１ライン目の着色を行うときには、光位置
センサ１２０a1〜１２０a3を用いてトラッキングを行
う。２ライン目のエレメントが全て緑色であれば、この
２ライン目の着色を行うときには、光位置センサ１２０
b1〜１２０b3を用いてトラッキングを行う。同様に３ラ
イン目のエレメントが全て青色であれば、この３ライン
目の着色を行うときには、光位置センサ１２０c1〜１２
０c3を使用する。このように、主走査方向の１ライン上
に１色のフィルタエレメントのみが配列されている場合
には、トラッキングの精度を低下させることなく、１回
の走査のみで１ライン分のフィルタエレメントを全て着
色することができる。
【００５７】次に、図８及び図９は基板１２が不均一な
温度分布になり、規則的なフィルタエレメントの配列が
歪んだ状態を示した図である。
【００５８】従来のカラーフィルタの製造装置では、フ
ィルタエレメント１０aの位置を検出していないので、
図８に示すようにフィルタエレメント１０aと着色部の
位置がずれてしまい、製品の欠陥の原因となっていた。
これに対し、上記の本実施例の製造装置では、フィルタ
エレメント１０aの配列に追従するようにトラッキング
を行なっているので、フィルタエレメント１０aと着色
部との位置ずれがなく、製品に欠陥が発生することを防
止することができる。
【００５９】また、図１０及び図１１は基板１２がＸＹ
ステージに対して傾いて取り付けられた場合の例を示し
た図である。
【００６０】この場合も従来の製造装置では、図１０に
示すようにフィルタエレメント１０aと着色部の位置が
ずれてしまうが、本実施例の製造装置では、図１１に示
すようにフィルタエレメント１０aと着色部との位置ず
れがなく、製品に欠陥が発生することを防止することが
できる。 （第２の実施例）図１３は、第２の実施例のインクジェ
ットヘッドＩＪＨの構成を示す図である。
【００６１】この第２の実施例のインクジェットヘッド
は、第１の実施例のインクジェットヘッドとは異なり、
ヘッドの主走査方向の先頭部分の１ヶ所のみにトラッキ
ング制御用の光位置センサ１３０が備えられている。そ
の他の構成は第１の実施例の場合と同様である。また、
光位置センサ１３０の構造は、第１の実施例で説明した
光位置センサと同様であり、その位置検出原理も同様で
ある。
【００６２】この第２の実施例では、主走査方向の先頭
に位置する光位置センサ１３０が、まだ着色されていな
いフィルタエレメント１０aの位置を検出し、それに基
づいてヘッドのトラッキング制御が行われる。この場
合、光位置センサ１３０に最も近い赤色のインクを吐出
する吐出口１０８aのトラッキング精度が最も高くなる
が、連続する３個のフィルタエレメントの位置は、基板
１２が温度分布の不均一等で歪んでいた場合でも、ほと
んど同一のライン上に並んでいると考えられるのので、
１個の光位置センサ１３０のみでトラッキング制御を行
なったとしても、緑色インクの吐出口１０８bと青色イ
ンクの吐出口１０８cのトラッキング精度が、問題とな
るほど低下することはない。従って、この第２の実施例
の構成でも実用上は問題がない。また、このように１個
の光位置センサのみでトラッキングを行うのであれば、
１ライン上に複数色のフィルタエレメントが混在してい
た場合でも、主走査方向の１回の走査のみで１ライン上
のすべてのフィルタエレメントを着色することが可能で
ある。 （第３の実施例）この第３の実施例では、インクジェッ
トヘッドは第２の実施例と同じものを用いる。第３の実
施例の特徴は以下の点にある。
【００６３】すなわち、第２の実施例では、１個の光位
置センサ１３０がリアルタイムに検出するフィルタエレ
メント（例えば赤色に着色すべきフィルタエレメント）
の位置を、そのまま緑色及び青色に着色すべきフィルタ
エレメントの位置としていたが、この第３の実施例で
は、光位置センサ１３０の検出信号を記憶しておくメモ
リ（不図示）を設け、光位置センサ１３０が既に通り過
ぎたフィルタエレメントの位置をメモリに記憶しておく
ようにしている。このようにすれば、緑色及び青色に着
色すべきフィルタエレメントの位置は、メモリに記憶さ
れているデータから正確に求めることができ、トラッキ
ングの精度を向上させることが可能となる。
【００６４】以上説明したように、上記の実施例によれ
ば、インクジェットヘッドがフィルタエレメントの位置
に追従するようにトラッキングを行うことにより、基板
の歪み等によりフィルタエレメントの位置がずれていた
場合でも、常にフィルタエレメントの位置と着色部の位
置を一致させることが可能となる。
【００６５】なお、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲
で、上記実施例を修正または変形したものに適用可能で
ある。
【００６６】例えば、上記実施例では、インクジェット
ヘッドを固定してＸＹステージ側を移動させるように説
明したが、ステージ側を固定して、インクジェットヘッ
ド側を移動させるようにしても良い。
【００６７】また、インクジェットヘッドとして圧電素
子等の機械エネルギー変換体を用いる所謂ピエゾタイプ
のものを用いても良い。
【００６８】さらにまた、本発明は単色のフィルタにも
適用できる。
【００６９】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも、インク吐出を行わせるために利用されるエネル
ギーとして熱エネルギーを発生する手段（例えば電気熱
変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エネルギーにより
インクの状態変化を生起させる方式のプリント装置につ
いて説明したが、かかる方式によれば記録の高密度化、
高精細化が達成できる。
【００７０】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて膜沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に１対１で対応した液体
（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（イン
ク）を吐出させて、少なくとも１つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状をすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（イン
ク）の吐出が達成でき、より好ましい。
【００７１】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用
すると、さらに優れた記録を行うことができる。
【００７２】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の
他に熱作用面が屈曲する領域に配置されている構成を開
示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許第
４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれ
るものである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、
共通するスロットを電気熱変換体の吐出部とする構成を
開示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開口を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構
成としても良い。
【００７３】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによってその長さを満た
す構成や、一体的に形成された１個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよい。
【００７４】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けら
れたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いてもよい。
【００７５】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定にでき
るので好ましいものである。これらを具体的に挙げれ
ば、記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニ
ング手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるい
はこれとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせに
よる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モ
ードを行うことも安定した記録を行うために有効であ
る。
【００７６】以上説明した本発明実施例においては、イ
ンクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固
化するインクであっても、室温で軟化もしくは液化する
ものを用いても良く、あるいはインクジェット方式では
インク自体を３０°Ｃ以上７０°Ｃ以下の範囲内で温度
調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあるように
温度制御するものが一般的であるから、使用記録信号付
与時にインクが液状をなすものであればよい。
【００７７】加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温
をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネル
ギーとして使用せしめることで積極的に防止するため、
またはインクの蒸発を防止するため、放置状態で固化し
加熱によって液化するインクを用いても良い。いずれに
しても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイ
ンクが液化し、液状インクが吐出されるものや、記録媒
体に到達する時点では既に固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質の
インクを使用する場合も本発明は適用可能である。この
ような場合インクは、特開昭５４−５６８４７号公報あ
るいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載されるよう
な、多孔質シート凹部または貫通孔に液状または固形物
として保持された状態で、電気熱変換体に対して対向す
るような形態としてもよい。本発明においては、上述し
た各インクに対して最も有効なものは、上述した膜沸騰
方式を実行するものである。
【００７８】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明に係わるカ
ラーフィルタ及びそれを使用したカラーディスプレイ及
びその製造方法及び製造装置によれば、着色剤を吐出す
るノズルとの相対位置があらかじめわかっているセンサ
ーにより基板上のフィルタエレメントの位置を検出し、
その位置に合わせて吐出ノズルと基板との相対位置を補
正しながらフィルタエレメントの着色を行うことによ
り、着色ドットとフィルタエレメントのずれのないカラ
ーフィルタを製造することが可能となる。
【００７９】また、主走査方向と直行する方向、すなわ
ち副走査方向の位置ずれを補正するだけでなく、主走査
方向に沿うフィルタエレメントの位置ずれも検出し、ノ
ズルからの着色剤の吐出タイミングを補正することによ
り、主走査方向の着色ドットの位置ずれも補正すること
ができ、より欠陥の少ないカラーフィルタを製造するこ
とが可能となる。
【００８０】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかわる製造方法及び製造装置により
製造されるカラーフィルタの部分拡大図である。
【図２】図１に示したカラーフィルタの側断面図であ
る。
【図３】被染色層にインクを吹き付けるためのインクジ
ェットヘッドＩＪＨの構造を示す図である。
【図４】図１及び図２に示したカラーフィルタを製造す
るための製造装置の構成を示した図である。
【図５】カラーフィルタの製造装置の構成を示すブロッ
ク図である。
【図６】インクジェットヘッドＩＪＨにより基板上のフ
ィルタエレメントを着色する場合の吐出ノズルとフィル
タエレメントの位置関係を示した図である。
【図７】インクジェットヘッドＩＪＨにより基板上のフ
ィルタエレメントを着色する場合の吐出ノズルとフィル
タエレメントの位置関係を示した図である。
【図８】基板が不均一な温度分布になり、規則的なフィ
ルタエレメントの配列が歪んだ状態を示した図である。
【図９】基板が不均一な温度分布になり、規則的なフィ
ルタエレメントの配列が歪んだ状態を示した図である。
【図１０】基板がＸＹステージに対して傾いて取り付け
られた場合の例を示した図である。
【図１１】基板がＸＹステージに対して傾いて取り付け
られた場合の例を示した図である。
【図１２】主走査方向の１ラインが全て同じ色のフィル
タエレメントで構成されているカラーフィルタを示した
図である。
【図１３】インクジェットヘッドの他の実施例の構成を
示した図である。
【符号の説明】
１０ カラーフィルタ １０a フィルタエレメント １０b 遮光格子 １２ ガラス基板 １４ 被染色層 ２０ 製造装置 ２２ ＸＹテーブル １０２a,１０２b,１０２c ヒータ １０４ ヒータボード １０６ 天板 １０８a,１０８b,１０８c 吐出口 １１０a,１１０b,１１０c 液路 １１４a,１１４b,１１４c インク液室 １１６a,１１６b,１１６c インク供給口 １２０a,１２０b,１２０c 光位置センサ １２２a,１２２b,１２２c 距離センサ １３０ 光位置センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 柏崎 昭夫 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 芝 昭二 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 佐藤 博 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 透明な基板上に所定のパターンで遮光部
    を形成し、該遮光部により仕切られた多数のフィルタエ
    レメントを夫々所定の色に着色することにより製造され
    るカラーフィルタの製造方法であって前記フィルタエレ
    メントを着色するための着色剤を吐出する吐出ノズルと
    の相対位置があらかじめ設定されている第１のセンサー
    により前記基板上のフィルタエレメントの位置を検出す
    る検出工程と、 前記検出工程で検出されたフィルタエレメントの位置情
    報に基づいて、フィルタエレメントの位置と前記吐出ノ
    ズルの位置とが整合するように両者の相対位置を補正す
    る補正工程と、 前記補正工程で相対位置を補正された吐出ノズルによ
    り、着色剤を吐出してフィルタエレメントを着色する着
    色工程とを具備することを特徴とするカラーフィルタの
    製造方法。
  2. 【請求項２】 前記遮光部と該遮光部により仕切られた
    フィルタエレメントはマトリクス状に２次元的に配置さ
    れており、前記吐出ノズルはマトリクス状に配置された
    フィルタエレメント上を主走査方向とそれに直行する副
    走査方向とに走査されることにより、前記基板全面にわ
    たって多数のフィルタエレメントを順次着色することを
    特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造方
    法。
  3. 【請求項３】 前記吐出ノズルが主走査方向の１ライン
    上に並ぶフィルタエレメントを走査する間、前記吐出ノ
    ズルとフィルタエレメントの副走査方向の相対位置の補
    正が行われることを特徴とする請求項２に記載のカラー
    フィルタの製造方法。
  4. 【請求項４】 前記吐出ノズルが主走査方向の１ライン
    上に並ぶフィルタエレメントを走査する間、前記吐出ノ
    ズルとフィルタエレメントの主走査方向の相対位置が第
    ２のセンサーにより検出され、該検出された相対位置の
    情報に基づいて、前記吐出ノズルからの着色剤の吐出タ
    イミングが制御されることを特徴とする請求項２に記載
    のカラーフィルタの製造方法。
  5. 【請求項５】 前記吐出ノズルと前記基板の間の距離を
    検出するための第３のセンサーの出力信号に基づいて、
    前記吐出ノズルと前記基板の間の距離を一定に保った状
    態で前記吐出ノズルが走査されることを特徴とする請求
    項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
  6. 【請求項６】 前記吐出ノズルは、液滴を吐出して記録
    を行うインクジェット記録ヘッドの吐出ノズルであるこ
    とを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造
    方法。
  7. 【請求項７】 前記インクジェット記録ヘッドは、熱エ
    ネルギーを利用して液滴を吐出する記録ヘッドであっ
    て、液滴に与える熱エネルギーを発生するための熱エネ
    ルギー変換体を備えていることを特徴とする請求項６に
    記載のカラーフィルタの製造方法。
  8. 【請求項８】 透明な基板上に所定のパターンで遮光部
    を形成し、該遮光部により仕切られた多数のフィルタエ
    レメントを夫々所定の色に着色することにより製造され
    るカラーフィルタであって前記フィルタエレメントを着
    色するための着色剤を吐出する吐出ノズルとの相対位置
    があらかじめ設定されている第１のセンサーにより前記
    基板上のフィルタエレメントの位置を検出する検出工程
    と、 前記検出工程で検出されたフィルタエレメントの位置情
    報に基づいて、フィルタエレメントの位置と前記吐出ノ
    ズルの位置とが整合するように両者の相対位置を補正す
    る補正工程と、 前記補正工程で相対位置を補正された吐出ノズルによ
    り、着色剤を吐出してフィルタエレメントを着色する着
    色工程とを具備する製造方法によって製造されたことを
    特徴とするカラーフィルタ。
  9. 【請求項９】 請求項８に記載のカラーフィルタと、 印加電圧に応じて前記カラーフィルタへの透過光を制御
    するピクチャーエレメントとを具備することを特徴とす
    るカラーディスプレイ。
  10. 【請求項１０】 前記ピクチャーエレメントの後方に配
    置された光源を更に具備することを特徴とする請求項９
    に記載のカラーディスプレイ。
  11. 【請求項１１】 透明な基板上に所定のパターンで遮光
    部を形成し、該遮光部により仕切られた多数のフィルタ
    エレメントを各々所定の色に着色することによりカラー
    フィルタを製造するためのカラーフィルタの製造装置で
    あって前記フィルタエレメントを着色するための着色剤
    を吐出する吐出ノズルと、 前記吐出ノズルと前記基板とを相対的に移動させるため
    の移動手段と、 前記吐出ノズルと一体的に配置され、該吐出ノズルとの
    相対位置があらかじめ設定されている第１の位置検出セ
    ンサーと、 前記第１の位置検出センサーで検出されたフィルタエレ
    メントの位置情報に基づいて、フィルタエレメントの位
    置と前記吐出ノズルの位置とが整合するように前記移動
    手段を制御するとともに、前記フィルタエレメントの位
    置と前記吐出ノズルの位置とが整合した状態で、前記吐
    出ノズルから着色剤を吐出してフィルタエレメントを着
    色させるための制御手段とを具備することを特徴とする
    カラーフィルタの製造装置。
  12. 【請求項１２】 前記遮光部と該遮光部により仕切られ
    たフィルタエレメントはマトリクス状に２次元的に配置
    されており、前記制御手段は、前記吐出ノズルをマトリ
    クス状に配置されたフィルタエレメント上を主走査方向
    とそれに直行する副走査方向とに走査させることによ
    り、前記基板全面にわたって多数のフィルタエレメント
    を順次着色させることを特徴とする請求項１１に記載の
    カラーフィルタの製造装置。
  13. 【請求項１３】 前記制御手段は、前記吐出ノズルが主
    走査方向の１ライン上に並ぶフィルタエレメントを走査
    する間、前記吐出ノズルとフィルタエレメントの副走査
    方向の相対位置の補正を行うことを特徴とする請求項１
    ２に記載のカラーフィルタの製造装置。
  14. 【請求項１４】 前記吐出ノズルが主走査方向の１ライ
    ン上に並ぶフィルタエレメントを走査する間、前記吐出
    ノズルとフィルタエレメントの主走査方向の相対位置を
    検出する第２の位置検出センサを更に備え、前記制御手
    段は、前記第２の位置検出センサにより検出された相対
    位置の情報に基づいて、前記吐出ノズルからの着色剤の
    吐出タイミングを制御することを特徴とする請求項１２
    に記載のカラーフィルタの製造装置。
  15. 【請求項１５】 前記吐出ノズルと前記基板の間の距離
    を検出するための第３のセンサを更に備え、前記制御手
    段は、前記第３のセンサの出力信号に基づいて、前記吐
    出ノズルと前記基板の間の距離を一定に保った状態で前
    記吐出ノズルを走査させることを特徴とする請求項１１
    に記載のカラーフィルタの製造装置。
  16. 【請求項１６】 前記吐出ノズルは、液滴を吐出して記
    録を行うインクジェット記録ヘッドの吐出ノズルである
    ことを特徴とする請求項１１に記載のカラーフィルタの
    製造装置。
  17. 【請求項１７】 前記インクジェット記録ヘッドは、熱
    エネルギーを利用して液滴を吐出する記録ヘッドであっ
    て、液滴に与える熱エネルギーを発生するための熱エネ
    ルギー変換体を備えていることを特徴とする請求項１６
    に記載のカラーフィルタの製造装置。
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US08/525,428 US5956063A (en) 1994-09-14 1995-09-07 Color filter, display device using color filter, apparatus comprising display device, ink-jet head, and color filter manufacturing method and apparatus
AT95306293T ATE209788T1 (de) 1994-09-14 1995-09-08 Herstellungsverfahren und -apparat für einen farbfilter mittels tintenstrahltechnik
DE69524166T DE69524166D1 (de) 1994-09-14 1995-09-08 Herstellungsverfahren und -apparat für einen Farbfilter mittels Tintenstrahltechnik
EP95306293A EP0702251B1 (en) 1994-09-14 1995-09-08 Color filter manufacturing method and apparatus using an ink-jet
TW084109464A TW323340B (ja) 1994-09-14 1995-09-11
KR1019950029771A KR0167700B1 (ko) 1994-09-14 1995-09-13 칼라 필터, 칼라 필터를 사용하는 디스플레이 디바이스, 디스플레이 디바이스 및 잉크 젯 헤드를 포함하는 장치 및 칼라 필터 제조 방법 및 장치
CN95116268A CN1079539C (zh) 1994-09-14 1995-09-14 滤色器，显示装置及构成的设备，滤色器制造方法和设备
US09/250,396 US6207948B1 (en) 1994-09-14 1999-02-16 Color filter, display device using color filter, apparatus comprising display device, ink-jet head, and color filter manufacturing method and apparatus

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5572241A (en) * 1978-11-24 1980-05-30 Hitachi Ltd Monitor system for input signal
US6227647B1 (en) 1996-09-30 2001-05-08 Canon Kabushiki Kaisha Ink-jet print apparatus and method using a pivoting ink-jet recording head
JP2001189192A (ja) * 1999-10-12 2001-07-10 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光装置及びその作製方法
JP2004249276A (ja) * 2002-04-05 2004-09-09 Otb Group Bv 例えばポリマーｏｌｅｄディスプレーなどのディスプレーの製造方法および製造装置、この方法において使用されるディスプレーおよび基板
US8884301B2 (en) 1999-10-12 2014-11-11 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. EL display device and a method of manufacturing the same

Families Citing this family (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3124718B2 (ja) 1995-03-31 2001-01-15 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法及び製造装置及びカラーフィルタのフィルタエレメント列内の着色ムラを低減する方法
JP3059678B2 (ja) * 1995-07-14 2000-07-04 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法及び製造装置
JP3302296B2 (ja) * 1997-05-30 2002-07-15 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法
GB9813326D0 (en) 1998-06-19 1998-08-19 Cambridge Display Tech Ltd Backlit displays
US6232022B1 (en) * 1998-09-09 2001-05-15 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing a color filter, and a liquid-crystal device using a color filter manufactured by the method
TW516244B (en) * 1999-09-17 2003-01-01 Semiconductor Energy Lab EL display device and method for manufacturing the same
JP2003245579A (ja) * 2002-02-22 2003-09-02 Seiko Epson Corp 薄膜形成装置及び薄膜形成方法及び液晶装置の製造装置及び液晶装置の製造方法及び薄膜構造体の製造装置及び薄膜構造体の製造方法及び液晶装置及び薄膜構造体及び電子機器
JP3838964B2 (ja) * 2002-03-13 2006-10-25 株式会社リコー 機能性素子基板の製造装置
JP4193770B2 (ja) * 2004-07-26 2008-12-10 セイコーエプソン株式会社 液滴付与方法、液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法
US7413272B2 (en) 2004-11-04 2008-08-19 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for precision control of print head assemblies
US7556334B2 (en) 2004-11-04 2009-07-07 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for aligning print heads
JP4029895B2 (ja) * 2004-12-08 2008-01-09 セイコーエプソン株式会社 液滴吐出装置、液滴吐出方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
US20060204867A1 (en) * 2005-03-08 2006-09-14 Leiser Judson M Material deposition method and/or system for layers including repetitive features
US20060204868A1 (en) * 2005-03-08 2006-09-14 Leiser Judson M Material deposition method and/or system
US7460267B2 (en) * 2005-07-15 2008-12-02 Applied Materials, Inc. Green printing ink for color filter applications
US7544723B2 (en) 2005-07-15 2009-06-09 Applied Materials, Inc. Blue printing ink for color filter applications
US7611217B2 (en) 2005-09-29 2009-11-03 Applied Materials, Inc. Methods and systems for inkjet drop positioning
US20070070109A1 (en) * 2005-09-29 2007-03-29 White John M Methods and systems for calibration of inkjet drop positioning
JP2007298950A (ja) 2006-02-07 2007-11-15 Applied Materials Inc カラーフィルタのムラ不整を低減するための方法及び装置
US7992956B2 (en) * 2006-06-07 2011-08-09 Applied Materials, Inc. Systems and methods for calibrating inkjet print head nozzles using light transmittance measured through deposited ink
US7347530B2 (en) * 2006-06-22 2008-03-25 Orbotech Ltd Inkjet printing of color filters
KR100649962B1 (ko) * 2006-06-28 2006-11-29 주식회사 탑 엔지니어링 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛
JP2008015308A (ja) * 2006-07-07 2008-01-24 Toppan Printing Co Ltd 光学素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
JP5292677B2 (ja) * 2006-07-07 2013-09-18 凸版印刷株式会社 光学素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
JP4983128B2 (ja) * 2006-07-25 2012-07-25 凸版印刷株式会社 光学素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
US20080024548A1 (en) * 2006-07-26 2008-01-31 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for purging a substrate during inkjet printing
JP5233099B2 (ja) * 2006-08-31 2013-07-10 凸版印刷株式会社 光学素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
US7857413B2 (en) 2007-03-01 2010-12-28 Applied Materials, Inc. Systems and methods for controlling and testing jetting stability in inkjet print heads
US7637587B2 (en) 2007-08-29 2009-12-29 Applied Materials, Inc. System and method for reliability testing and troubleshooting inkjet printers
US20090185186A1 (en) * 2007-12-06 2009-07-23 Applied Materials, Inc. Systems and methods for improving measurement of light transmittance through ink deposited on a substrate
WO2009076249A2 (en) * 2007-12-06 2009-06-18 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for measuring deposited ink in pixel wells on a substrate using a line scan camera
US20090251504A1 (en) * 2008-03-31 2009-10-08 Applied Materials, Inc. Systems and methods for wet in-situ calibration using measurement of light transmittance through ink deposited on a substrate
US8493422B2 (en) * 2008-04-24 2013-07-23 Kodak Graphic Communications Canada Company Color filter layer alignment
CN102173224A (zh) * 2011-02-24 2011-09-07 上海泰威技术发展有限公司 Lcd滤光片数码喷印中的在线实时定位控制装置
EP4087740A4 (en) * 2020-01-08 2024-01-24 Brady Worldwide Inc SPECIALIZED INK SETS AND ALTERNATIVE FLUIDS AND RELATED SYSTEMS

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1127227A (en) * 1977-10-03 1982-07-06 Ichiro Endo Liquid jet recording process and apparatus therefor
JPS5936879B2 (ja) * 1977-10-14 1984-09-06 キヤノン株式会社 熱転写記録用媒体
US4330787A (en) * 1978-10-31 1982-05-18 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording device
US4345262A (en) * 1979-02-19 1982-08-17 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording method
US4463359A (en) * 1979-04-02 1984-07-31 Canon Kabushiki Kaisha Droplet generating method and apparatus thereof
US4313124A (en) * 1979-05-18 1982-01-26 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording process and liquid jet recording head
US4558333A (en) * 1981-07-09 1985-12-10 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording head
JPS5975205A (ja) * 1982-10-25 1984-04-27 Seiko Epson Corp カラ−フイルタの製造方法
JPS59123670A (ja) * 1982-12-28 1984-07-17 Canon Inc インクジエツトヘツド
JPS59138461A (ja) * 1983-01-28 1984-08-08 Canon Inc 液体噴射記録装置
JPS6071260A (ja) * 1983-09-28 1985-04-23 Erumu:Kk 記録装置
FR2592337B1 (fr) * 1985-12-27 1988-08-12 Cga Alcatel Imprimante integree dans un boitier deplace manuellement
JPS63235901A (ja) * 1987-03-24 1988-09-30 Fujitsu Ltd カラ−フイルタの形成方法
JP2692833B2 (ja) 1988-02-25 1997-12-17 株式会社東芝 液晶セルの製造方法
JP2597626B2 (ja) * 1988-02-26 1997-04-09 株式会社東芝 カラーフィルター基板、カラーフィルター基板の製造方法およびカラーフィルター基板を用いた液晶表示装置
JPH02173704A (ja) 1988-12-27 1990-07-05 Seiko Epson Corp カラーフィルタの製造方法
GB8903051D0 (en) * 1989-02-10 1989-03-30 Moulin Michel Precision medium handling device for a recorder
EP0461759B1 (en) * 1990-05-11 1995-09-13 Canon Kabushiki Kaisha Recording apparatus for performing recording using recording head
JPH04123005A (ja) * 1990-09-14 1992-04-23 Toray Ind Inc カラーフィルタ製造法
JPH04195102A (ja) * 1990-11-28 1992-07-15 Toray Ind Inc カラーフィルタ製造法
US5289208A (en) 1991-10-31 1994-02-22 Hewlett-Packard Company Automatic print cartridge alignment sensor system
JPH05241012A (ja) 1992-02-26 1993-09-21 Toray Ind Inc 液晶表示用カラ−フィルタの製造方法
US5281450A (en) * 1992-06-01 1994-01-25 Zvi Yaniv Method of making light influencing element for high resolution optical systems
JPH06118217A (ja) * 1992-10-01 1994-04-28 Toray Ind Inc カラーフィルタの製造方法
JPH06182987A (ja) 1992-12-21 1994-07-05 Canon Inc インクジェット記録装置およびインクジェット記録物の製造方法
FR2716010B1 (fr) * 1994-02-04 1996-04-19 Toxot Science & Appl Dispositif et procédés de fabrication et de réparation de filtres colorés.
JP2839133B2 (ja) * 1994-03-31 1998-12-16 キヤノン株式会社 カラーフィルタの製造方法及び製造装置及び液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置を備えた装置の製造方法
SE504257C2 (sv) 1995-12-01 1996-12-16 Siemens Elema Ab Förfarande för tryckmätning vid ventilatorsystem medelst två separata gasledningar samt ett ventilatorsystem

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5572241A (en) * 1978-11-24 1980-05-30 Hitachi Ltd Monitor system for input signal
JPS6153737B2 (ja) * 1978-11-24 1986-11-19 Hitachi Seisakusho Kk
US6227647B1 (en) 1996-09-30 2001-05-08 Canon Kabushiki Kaisha Ink-jet print apparatus and method using a pivoting ink-jet recording head
JP2001189192A (ja) * 1999-10-12 2001-07-10 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光装置及びその作製方法
US8884301B2 (en) 1999-10-12 2014-11-11 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. EL display device and a method of manufacturing the same
JP2004249276A (ja) * 2002-04-05 2004-09-09 Otb Group Bv 例えばポリマーｏｌｅｄディスプレーなどのディスプレーの製造方法および製造装置、この方法において使用されるディスプレーおよび基板
KR101010449B1 (ko) * 2002-04-05 2011-01-21 픽스드로 엘티디 폴리머 오엘이디 디스플레이와 같은 디스플레이 제조 방법 및 장치와, 이 방법에서 사용되는 디스플레이 및 기판

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Publication number Publication date
CN1079539C (zh) 2002-02-20
TW323340B (ja) 1997-12-21
ATE209788T1 (de) 2001-12-15
DE69524166D1 (de) 2002-01-10
US6207948B1 (en) 2001-03-27
KR0167700B1 (ko) 1999-04-15
CN1142053A (zh) 1997-02-05
EP0702251B1 (en) 2001-11-28
US5956063A (en) 1999-09-21
EP0702251A3 (en) 1996-09-11
JP3372671B2 (ja) 2003-02-04
KR960010246A (ko) 1996-04-20
EP0702251A2 (en) 1996-03-20

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