JPH0862150A

JPH0862150A - ディスク欠陥検査装置

Info

Publication number: JPH0862150A
Application number: JP6202374A
Authority: JP
Inventors: Yoshinaga Yanagisawa; 柳沢吉長
Original assignee: Sony Disc Technology Inc
Current assignee: Sony Music Solutions Inc
Priority date: 1994-08-26
Filing date: 1994-08-26
Publication date: 1996-03-08
Anticipated expiration: 2017-10-28
Also published as: US5914495A; US5646415A; JP3338561B2

Abstract

(57)【要約】【目的】光ディスクなどのディスクの欠陥検出が正確
且つ簡単に行える検査装置を提供する。【構成】ディスク１を回転させる回転駆動手段２と、
レーザ光を所定の走査状態で回転駆動手段２により回転
したディスク１に照射するレーザ照射光学手段１１〜１
７と、ディスク１よりの反射光を検出するセンサ２３，
２５，２７と、このセンサ２３，２５，２７の出力信号
がレーザ光の走査に連動して発生するアドレスデータと
共に書込まれるメモリとを備え、このメモリに書込まれ
たディスクの各アドレス位置のセンサ出力と、この位置
の近傍のセンサ出力とを読出し、近傍のセンサ出力と中
心となるアドレス位置のセンサ出力との空間的な差に基
づいて不良検出を行うようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば光ディスクや光
磁気ディスクなどの光学的にデータの記録や再生が行わ
れるディスクの検査に適用して好適なディスク欠陥検査
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】レーザ光を利用して光学的にデータの記
録や再生が行われる光ディスクは、ディスクの製造時
に、信号記録面やディスク表面が所定の状態であるか
（即ち平滑であるか）検査することが行われている。従
来のこのディスク検査としては、例えば光ディスクの信
号記録面にレーザ光を照射して、このレーザ光の反射光
の光量を検出し、一定量以上の反射光量の変化があった
とき、信号記録面に何らかの欠陥があると判断するよう
にしていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
反射光量の検出だけでは、ディスクの欠陥発生状態を細
かく識別することは出来ない不都合があった。即ち、信
号記録面に凸凹等の何らかの欠陥があると判断すること
は出来ても、この凸状態か凹状態の識別や、この凸凹の
高さなどを検出することは困難であった。また、場合に
よっては反射光量自体には殆ど変化がないがビーム形状
が歪む欠陥（ディスク表面の凸凹等）もあり、このよう
な欠陥の検出は困難であった。

【０００４】なお、反射光量の検出感度を高くすれば
（即ち微小な反射光量の変化でも欠陥と判断させる）、
このようなディスク表面の凸凹等も検出できるが、この
ように検出感度を高くすると、ディスク表面の汚れによ
っても欠陥と判断されてしまい、良品を不良品と誤判定
してしまう事態が発生してしまう。

【０００５】このため、例えばディスク１枚に記録され
るデータを予め全てメモリ側に記憶させておき、検査す
るディスクより読出したデータをメモリに記憶されたデ
ータと逐次比較させることで、検査する各ディスク毎に
完全な検査が可能になるが、このような検査は、検査装
置が大容量のメモリを必要とすると共に、検査に時間が
かかり、実用的ではない。

【０００６】本発明はかかる点に鑑み、光ディスクなど
のディスクの欠陥検出が簡単な装置で正確に行えるよう
にすることを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、例えば図１に
示すように、ディスク１を回転させる回転駆動手段２
と、レーザ光を所定の走査状態で回転駆動手段２により
回転したディスク１に照射するレーザ照射光学手段１１
〜１７と、ディスク１よりの反射光を検出するセンサ２
３，２５，２７と、このセンサ２３，２５，２７の出力
信号がレーザ光の走査に連動して発生するアドレスデー
タと共に書込まれるメモリとを備え、このメモリに書込
まれたディスクの各アドレス位置のセンサ出力と、この
位置の近傍のセンサ出力とを読出し、近傍のセンサ出力
と中心となるアドレス位置のセンサ出力との差に基づい
て不良検出を行うようにしたものである。

【０００８】また、この場合にセンサ出力で、反射光
量，直接反射光量，回折率，複屈折，回折光量，ラジア
ルスキュー，タンジェンシャルスキューの少なくともい
ずれか１つを検出するようにしたものである。

【０００９】また、それぞれの場合にレーザ照射光学手
段は、レーザ光源１１と、このレーザ光源１１より照射
されたレーザ光をスキャンするための回転ミラー１２
と、スキャンされたレーザ光を平行スキャン光にしてデ
ィスクに照射するコリメートレンズ１３とで構成させ、
ディスク１より反射された光を集光レンズ２２，２４又
は２６を介してセンサ２３，２５又は２７に供給するよ
うにしたものである。

【００１０】また、それぞれの場合に近傍のセンサ出力
として、中心の基準となるセンサ出力に対し、ディスク
の円周方向に前及び後のアドレス位置のセンサ出力と、
ディスクの径方向に左及び右のアドレス位置のセンサ出
力としたものである。

【００１１】さらに、この前後左右のセンサ出力を得る
場合にディスクの円周方向に前及び後のアドレス位置
を、ディスクの内周側と外周側とで変化させ、中心の基
準となるセンサ出力の検出位置から前及び後のアドレス
位置のセンサ出力の検出位置までの距離を、ディスクの
内外周でほぼ一定となるようにしたものである。

【００１２】

【作用】本発明によると、ディスクに照射したレーザ光
の反射光により、ディスクの状態が正常か否か判断でき
るが、この場合に各反射位置の近傍の状態との比較で判
断でき、正確な判断が可能になる。

【００１３】また、センサ出力で、反射光量，直接反射
光量，回折率，複屈折，回折光量，ラジアルスキュー，
タンジェンシャルスキューの少なくともいずれか１つを
検出するようにしたことで、それぞれの状態が適正か否
か判断できるようになる。

【００１４】また、平行スキャン光にして光ディスクに
照射して、光ディスクより反射された光をセンサに供給
するようにしたことで、平行スキャン光で広い面積のス
キャンが一度に行え、ディスク全体を効率良く検査でき
るようになる。

【００１５】また、近傍のセンサ出力として、中心の基
準となるセンサ出力に対し、ディスクの円周方向に前及
び後のアドレス位置のセンサ出力と、ディスクの径方向
に左及び右のアドレス位置のセンサ出力としたことで、
中心の基準となるセンサ出力が、前後左右４箇所のセン
サ出力と比較され、より正確な判断が可能になる。

【００１６】また、ディスクの円周方向に前及び後のア
ドレス位置を、ディスクの内周側と外周側とで変化さ
せ、中心の基準となるセンサ出力の検出位置から前及び
後のアドレス位置のセンサ出力の検出位置までの距離
を、ディスクの内外周でほぼ一定となるようにしたこと
で、ディスクの内外周でほぼ一定の条件で検査ができる
ようになる。

【００１７】

【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面を参照し
て説明する。

【００１８】図１は本例の光ディスク検査装置の構成を
示す図で、図中１は被検査物としての光ディスクを示
し、この光ディスク１は透明な樹脂で形成され、内部に
金属膜などの信号記録面１ａが存在する。そして、この
信号記録面１ａにレーザ光を照射することで、信号記録
面１ａにピットなどで記録されたデータが読出される。
本例の光ディスク検査装置は、この光ディスク１の欠陥
の検査を行うもので、スピンドルモータ２により回転駆
動される。そして、半導体レーザ等より構成されるレー
ザ源１１より検査用のレーザ光を光ディスク１の信号記
録面１ａに照射する。

【００１９】この場合、本例においては、レーザ源１１
が発するレーザ光を、回転ミラー１２にて反射させる。
この回転ミラー１２は、側面に複数の平面ミラー１２ａ
が一定間隔で取付けられたポリゴンミラーと称されるも
ので、一定速度で回転駆動される。そして、この回転ミ
ラー１２の回転で、各平面ミラー１２ａからの反射光が
所定角度θに振り分けられる。そして、最も一端側に振
り分けられたレーザ光が到達する位置及び最も他端側に
振り分けられたレーザ光が到達する位置に、それぞれ受
光センサ１４及び１５を配置し、このセンサ１４，１５
でレーザ光の掃引状態を検出する。

【００２０】そして、この所定角度θに振り分けられた
反射光が到達する位置にコリメータレンズ１３を配置
し、このコリメータレンズ１３で平行に掃引されるレー
ザ光に変換する。そして、この平行掃引レーザ光を、ビ
ームスプリッタ１６と１／４波長板１７を通過させて円
偏光とし、この円偏光の平行掃引レーザ光をディスク１
に所定角度で照射させる。このときには、図１に示すよ
うに、平行に振り分けられたレーザ光の入射位置が、デ
ィスク１の半径方向（ディスク１に破線の矢印Ｌ ₀で示
す方向）に沿って変化するようにしてある。

【００２１】そして、ディスク１の表面１ｂから入射し
て信号記録面１ａで反射する光が生じるが、この反射光
としては、直接反射光と回折反射光とに分かれる。ま
ず、直接反射光について説明すると、ディスク１の信号
記録面１ａで直接反射した平行掃引レーザ光を、偏光解
析用ビームスプリッタ２１に入射させる。そして、この
偏光解析用ビームスプリッタ２１の通過光を、集光レン
ズ２２で一点に集光させ、この集光される位置（即ちレ
ンズ２２の焦点位置）に、第１の受光センサ２３を配置
する。この第１の受光センサ２３には、受光量及び光位
置が検出できるものが使用される。

【００２２】また、偏光解析用ビームスプリッタ２１で
反射した光を、集光レンズ２４で一点に集光させ、この
集光される位置に、第２の受光センサ２５を配置する。

【００２３】そして、ディスク１の信号記録面１ａで反
射した回折反射光を、集光レンズ２６で一点に集光さ
せ、この集光される位置に、第３の受光センサ２７を配
置する。なお、それぞれの受光センサ２３，２５，２７
は、レーザ光の受光光量に応じた検出出力が得られるセ
ンサである。

【００２４】次に、各受光センサの検出出力の処理につ
いて図２を参照して説明する。

【００２５】まず、第３の受光センサ２７の検出信号
を、端子２７ａから増幅器３１に供給し、この増幅器３
１の後段に増幅器３２を接続し、増幅器３２の出力を、
回折光量の検出データとする。

【００２６】また、第２の受光センサ２５の検出信号
を、端子２５ａから増幅器３４に供給し、この増幅器３
４の出力を加算器３５に供給する。加算器３５では、後
述する増幅器５６の出力（この増幅器５６の出力には第
１の受光センサ２３の出力が得られる）との加算処理を
行い、加算出力を増幅器３６，３７を介して出力させ
て、直接反射光量の検出データとする。

【００２７】また、増幅器３２の出力と増幅器３７の出
力とを加算器３３で加算処理し、加算出力を増幅器３８
を介して出力させ、反射光量の検出データとする。

【００２８】また、増幅器３１の出力と増幅器３６の出
力とを除算器３９に供給し、両出力の除算処理を行い、
除算出力を回折率の検出データとする。

【００２９】また、増幅器３４の出力と後述する増幅器
５６の出力とを減算器４０に供給し、この減算器４０で
両出力の差を求める減算処理を行う。そして、この減算
出力を増幅器４１を介して除算器４２に供給すると共
に、増幅器３６の出力を除算器４２に供給し、両出力の
除算処理を行い、除算出力を複屈折の検出データとす
る。

【００３０】また、第１の受光センサ２３の４つのセン
サ出力を、端子２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄに供給
する。この場合、端子２３ａと端子２３ｂに得られる出
力が、ディスクの円周方向の位置が得られる出力で、端
子２３ｃと端子２３ｄに得られる出力が、ディスクの径
方向の位置が得られる出力である。そして、各端子２３
ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄの出力を、増幅器５１，５
２，６１，６２を介して加算器５５に供給して加算処理
させ、加算出力を増幅器５６を介して加算器３５及び減
算器４０に供給し、上述した反射光量などの各検出デー
タの作成に使用する。

【００３１】また、端子２３ａ，２３ｂの出力を、増幅
器５１，５２を介して加算器５３に供給して加算処理
し、加算出力を増幅器５７を介して除算器５９に供給す
る。そして、増幅器５１，５２の出力を減算器５４に供
給し、減算出力を増幅器５８を介して除算器５９に供給
する。そして、除算器５９で増幅器５７，５８の出力を
除算処理し、除算出力を増幅器６０を介して出力させ、
タンジェンシャルスキューの検出データとする。

【００３２】また、端子２３ｃ，２３ｄの出力を、増幅
器６１，６２を介して加算器６３に供給して加算処理
し、加算出力を増幅器６５を介して除算器６７に供給す
る。そして、増幅器６１，６２の出力を減算器６４に供
給し、減算出力を増幅器６６を介して除算器６７に供給
する。そして、除算器６７で増幅器６５，６６の出力を
除算処理し、除算出力を増幅器６８を介して出力させ、
ラジアルスキューの検出データとする。

【００３３】また、回転ミラー１２で振り分けられたレ
ーザ光の掃引状態を検出するセンサ１４及び１５の出力
を、端子１４ａ及び１５ａからアンプ７１及び７２を介
してタイミング生成回路７３に供給し、レーザ光の掃引
状態の周期に連動したタイミング信号を生成させる。

【００３４】次に、このようにしてセンサの出力から生
成された各検出データを使用して、欠陥検出を行う不良
箇所検出部の構成について、図３を参照して説明する。

【００３５】図３において、８１はアドレス発生回路を
示し、このアドレス発生回路８１はカウンタを備えると
共に、センサ１４及び１５の出力に基づいて生成された
タイミング信号が供給され、このタイミング信号に同期
してカウンタのリセットが行われるようにしてあり、カ
ウンタの出力をアドレス信号として出力する。

【００３６】そして、このアドレス信号を各不良検出回
路８２，８３‥‥８８に供給する。このそれぞれの不良
検出回路８２〜８８は、同一の回路とされるが、供給さ
れる検出データがそれぞれ異なるデータとされ、供給さ
れる検出データの不良検出を行う。即ち、反射光量の検
出データが供給される反射光量不良検出回路８２と、直
接反射光量の検出データが供給される直接反射光量不良
検出回路８３と、回折率の検出データが供給される回折
率不良検出回路８４と、複屈折の検出データが供給され
る複屈折不良検出回路８５と、回折光量の検出データが
供給される回折光量不良検出回路８６と、ラジアルスキ
ューの検出データが供給されるラジアルスキュー不良検
出回路８７と、タンジェンシャルスキューの検出データ
が供給されるタンジェンシャルスキュー不良検出回路８
８とを備える。

【００３７】そして、それぞれの不良検出回路８２〜８
８は、検出データをデジタルデータに変換するアナログ
／デジタル変換器１０１と、この変換された検出データ
をアドレスデータと共に記憶するメモリ１０２と、メモ
リ１０２に記憶されたデータの演算処理で不良判定を行
う演算・比較回路１０３とを備える。この場合、メモリ
１０２は比較的小容量のメモリとされ、レーザ光がディ
スク上を半径方向に数回の掃引ラインの検出データを記
憶する。

【００３８】ここで、各不良検出回路８２〜８８内の演
算・比較回路１０３の詳細を図４に示す。メモリ１０２
に記憶された検出データは、アドレス順に読出され、遅
延回路１１１，１１２，１１３に供給する。本例のメモ
リ１０２の書込みと読出しは図５に示すタイミングで行
われる。即ち、図５のＡに示すように、１サイクル期間
が４分割されて、この１サイクル期間に３回の読出しと
１回の書込みが行われる。この１回の書込みは、検出デ
ータとアドレスデータの書込みである。そして、１サイ
クルの３回の読出しで読出されるデータについて説明す
ると、最初の１回目の読出しで、所定の掃引ラインの所
定アドレス（この読出しアドレスは１サイクル毎に１ア
ドレスずつ変化する）の検出データ（図５のＢのデータ
１）を読出し、２回目の読出しで、この１回目に読出し
た掃引ラインの１ライン前（又は２ライン前）の掃引ラ
インの同じアドレスの検出データ（図５のＢのデータ
２）を読出す。さらに、３回目の読出しで、１回目に読
出した掃引ラインの１ライン後（又は２ライン後）の掃
引ラインの同じアドレスの検出データ（図５のＢのデー
タ３）を読出す。なお、３回の読出しの後の書込み期間
で書込まれるデータを、図５のＢではデータ４としてあ
る。

【００３９】そして、各サイクルの１回目に読出した検
出データを、遅延回路１１１を介してデータラッチ回路
１２１，１２２，１２３に供給する。ここで、この３個
のデータラッチ回路１２１，１２２，１２３のラッチタ
イミングを多少ずらしてあるり、ラッチ回路１２１を基
準にしてラッチ回路１２２のラッチタイミングを多少早
くしてあり、ラッチ回路１２３のラッチタイミングを多
少遅くしてある。また、各サイクルの２回目に読出した
検出データを、遅延回路１１２を介してデータラッチ回
路１２４に供給する。さらに、各サイクルの３回目に読
出した検出データを、遅延回路１１３を介してデータラ
ッチ回路１２５に供給する。

【００４０】なお、ラッチ回路１２１でラッチされたデ
ータをＤｓ，ラッチ回路１２２でラッチされたデータを
Ｄａ，ラッチ回路１２３でラッチされたデータをＤｂ，
ラッチ回路１２４でラッチされたデータをＤｃ，ラッチ
回路１２５でラッチされたデータをＤｄとする。これら
のデータＤｓ，Ｄａ，Ｄｂ，Ｄｃ，Ｄｄは、図５のＣに
示すように、データＤｓ，Ｄａ，Ｄｂが各サイクルの１
回目に読出した検出データより得られるデータで、デー
タＤｃが各サイクルの２回目に読出した検出データより
得られるデータで、データＤｄが各サイクルの３回目に
読出した検出データより得られるデータである。

【００４１】このように構成することで、各ラッチ回路
１２１〜１２５にラッチされたデータＤｓ，Ｄａ，Ｄ
ｂ，Ｄｃ，Ｄｄは、空間的に図６に示す状態に配置され
たデータとなる。即ち、ディスクの半径方向にレーザ光
を掃引して生じる掃引ラインＬ１，Ｌ２，Ｌ３‥‥が図
６に示すように形成され、ラインＬ４での検出データの
アナログ／デジタル変換器１０１でのサンプリングタイ
ミングが×で示すタイミングであるとする。このとき、
ラインＬ４上のあるデータＤｓがデータラッチ回路１２
１でラッチされるとき、同じラインの１サンプル前のデ
ータＤａがラッチ回路１２２にラッチされ、同じライン
の１サンプル後のデータＤｂがラッチ回路１２３にラッ
チされる。また、１ライン前のラインＬ３のデータＤｓ
と同じアドレスのデータＤｃがラッチ回路１２４にラッ
チされる。さらに、１ライン後のラインＬ５のデータＤ
ｓと同じアドレスのデータＤｄがラッチ回路１２５にラ
ッチされる。

【００４２】従って、データＤｓに対して左右前後のデ
ータＤａ，Ｄｂ，Ｄｃ，Ｄｄが同時にラッチされる。

【００４３】なお、本例の場合には、内周寄りのデータ
をラッチするときには、メモリ１０２から前後のライン
のデータを読出すとき（図５のＢのデータ２，３）、２
ライン前及び２ライン後のデータを読出し、ラッチ回路
１２４，１２５にラッチされるデータを２ライン前及び
後のデータとする。このようにすることで、図６の内周
寄りに示すように、内周寄りのデータＤｓ′をメモリ１
０２から読出しラッチ回路１２１にラッチさせるとき、
ラッチ回路１２４にラッチされるデータＤｃ′は２ライ
ン前の同じアドレスのデータとなり、ラッチ回路１２５
にラッチされるデータＤｄ′は２ライン後の同じアドレ
スのデータとなる。なお、ラッチ回路１２２，１２３に
ラッチされるデータＤａ′，Ｄｂ′については、外周側
と同じように、１サンプル前及び後のデータとなる。

【００４４】このように外周側と内周側とで前後のライ
ン数を変えることで、基準となるデータＤｓ，Ｄｓ′に
対する前後左右のデータとの距離をほぼ同じにすること
ができる。即ち、外周側と内周側とで同じ前後のライン
のデータをラッチさせた場合には、内周側で各掃引ライ
ンの間隔が狭くなるので、前後のデータとの距離が狭く
なるが、本例のように外周側と内周側とでラッチさせる
ラインを変えることで、基準となるデータからほぼ同じ
距離だけ離れた前後左右の位置のデータを得ることがで
きる。

【００４５】なお、外周側と内周側とでラッチさせる前
後のライン（即ちメモリから読出す前後のライン）の切
換えは、例えばメモリより読出す基準となるデータＤｓ
のアドレスが、所定アドレスよりも内周側のアドレスの
とき、２ライン前又は後のデータを読出すように制御す
れば良い。

【００４６】そして本例においては、このように各デー
タとその前後左右のデータとを使用して、不良検出を行
う。この不良検出を行う構成を再び図４を参照して説明
すると、データラッチ回路１２１にラッチされた中心の
データＤｓを比較器１３１に供給し、この検査装置のホ
ストコンピュータ（図示せず）側から供給される比較規
準データと比較し、規準データから外れたデータである
とき、該当するアドレス位置が不良であると判断して、
不良検出信号を出力する。

【００４７】そして、中心のデータＤｓと、他のデータ
ラッチ回路１２２〜１２５にラッチされた周辺のデータ
Ｄａ，Ｄｂ，Ｄｃ，Ｄｄを演算回路１３２に供給し、周
辺のデータＤａ，Ｄｂ，Ｄｃ，Ｄｄと中心のデータＤｓ
との空間的な差を算出する。このときには、次式〔数
１〕の演算が行われる。

【００４８】

【数１】｜Ｄｓ−Ｄａ｜＋｜Ｄｓ−Ｄｂ｜＋｜Ｄｓ−Ｄ
ｃ｜＋｜Ｄｓ−Ｄｄ｜

【００４９】このようにして中心の検出データと周辺の
検出データとの空間的な差を算出することで、空間的微
分回路が形成されることになる。そして、この演算回路
１３２で算出された空間的な微分値を、比較器１３２に
供給し、この検査装置のホストコンピュータ側から供給
される比較規準データと比較し、規準データから外れた
データであるとき、該当するアドレス位置が不良である
と判断して、不良検出信号を出力する。

【００５０】ここまでが図３に示す各不良検出回路８２
〜８８の構成であり、各不良検出回路８２〜８８で供給
される検出データの項目毎に、不良検出信号の出力が行
われる。そして、各不良検出回路８２〜８８が出力する
不良検出信号を、ゲート回路８９に供給する。このゲー
ト回路８９には、アドレス発生回路８１からのアドレス
信号も供給され、不良検出信号とアドレス信号とをゲー
トタイミング信号によりゲートさせる。このゲートタイ
ミング信号は、図７に示すように、ホストコンピュータ
からメモリ９２に供給されるゲート回路タイミング値
と、アドレス発生回路８１からメモリ９２に供給される
アドレス信号との比較により生成されるタイミング信号
で、検査するディスクに信号が記録される範囲（半径位
置）の検出信号だけを出力させるためのゲート処理がゲ
ート回路８９で行われる。

【００５１】そして、ゲート回路８９が出力する不良検
出信号と、アドレス発生回路８１が出力するアドレス信
号とを、ＦＩＦＯメモリ（ファーストイン・ファースト
アウト・メモリ）９０に供給する。このＦＩＦＯメモリ
９０は、供給される不良検出信号とそのアドレス位置を
示すアドレス信号とを記憶して、記憶した順に出力する
メモリである。

【００５２】そして、このメモリ９０が出力する不良検
出信号及びアドレス信号を、この検査装置のホストコン
ピュータに供給する。このホストコンピュータ側では、
取り込んだ不良の種別毎に、径方向及び円周方向の不良
のサイズや面積の演算を行う。この場合、ディスクの径
の違いによる補正を行う。そして、この演算結果に基づ
いて、規定のサイズの不良の有無判定を行い、検査した
ディスクの合否判定を行う。

【００５３】なお、ホストコンピュータ側からは、図３
に示すように、インターフェース回路９１を介して、検
査装置内のメカ制御信号が供給され、この制御信号に基
づいてスピンドルモータ２，回転ミラー１２の駆動など
の検査に必要な機構の駆動を行う。

【００５４】このようにして行われるディスクの検査に
よると、各検査点での欠陥の有無の判断が、その検査点
の近傍の状態との空間的な差に基づいて行われるので、
正確な欠陥箇所の判断が可能になる。特に、光学的にコ
ントラストの低い不良の判定能力が大きく向上する。そ
して、このような正確な検査ができるにもかかわらず、
検出信号を記憶するメモリとしては、数本の掃引ライン
のデータを記憶する比較的小さな容量で良く、検査装置
の構成を簡単にすることができる。

【００５５】そして本例の場合には、回転ミラーでディ
スクの半径方向に検査用のレーザ光を振り分けるて平行
スキャン光としたので、正確な欠陥箇所の判断が効率良
くできる。即ち、ディスクに形成されたトラック等に沿
って螺旋状にレーザ光を照射させる場合に比べ、ディス
クを１回乃至数回だけ回転させれば、ディスク全面の検
査ができ、短時間に正確且つ効率の良い検査ができる。

【００５６】なお本例の場合には、検査点の近傍の状態
との空間的な差に基づいた欠陥検出（図４の比較器１３
３での不良検出）と共に、各検査点の絶対的な状態に基
づいた欠陥検出（比較器１３１での不良検出）を行うよ
うにしたので、双方の欠陥検出に基づいたより正確な検
査ができる。

【００５７】さらに本例の場合には、反射光量，直接反
射光量，回折率，複屈折，回折光量，ラジアルスキュ
ー，タンジェンシャルスキューを個別に検査するように
したので、より正確にディスクの状態を検査できる。

【００５８】なお、上述実施例では外周側で中心となる
位置の検出データに対して１走査ライン前又は後の検出
データを得、内周側で中心となる位置の検出データに対
して２走査ライン前又は後の検出データを得るようにし
たが、より前後の走査ラインを変化させるようにしても
良い。

【００５９】また、上述実施例では光ディスクの信号記
録面の状態を検出するようにしたが、ディスクの表面の
状態などの他の要因を検査するようにしても良い。

【００６０】また、上述実施例では、内部に信号記録面
を有する光ディスクの検査装置に適用したが、磁性膜に
レーザ光でデータの記録を行う光磁気ディスクなどの他
の光学的に記録又は再生が行われるディスクの検査装置
にも適用できる。さらに、光学的に記録又は再生が行わ
れるディスク以外の記録方式のディスクの検査装置にも
適用できることは勿論である。

【００６１】

【発明の効果】本発明によると、ディスクに照射したレ
ーザ光の反射光により、ディスクの状態が正常か否か判
断できるが、この場合に各反射位置の近傍の状態との比
較で判断でき、正確な判断が可能になる。従って、セン
サ出力を記憶するメモリは、各反射位置とその近傍のセ
ンサ出力だけを記憶すれば良く、少ない容量のメモリを
使用した簡単な構成の検査装置で、正確な検査が可能に
なる。

【００６２】また、センサ出力で、反射光量，直接反射
光量，回析率，複屈折，回析光量，ラジアルスキュー，
タンジェンシャルスキューの少なくともいずれか１つを
検出するようにしたことで、それぞれの状態が適正か否
か判断できるようになる。

【００６３】また、平行スキャン光にして光ディスクに
照射して、光ディスクより反射された光をセンサに供給
するようにしたことで、平行スキャン光で広い面積のス
キャンが一度に行え、ディスク全体を効率良く検査でき
るようになり、１枚のディスクの検査に要する時間を短
縮することができる。

【００６４】また、近傍のセンサ出力として、中心の基
準となるセンサ出力に対し、ディスクの円周方向に前及
び後のアドレス位置のセンサ出力と、ディスクの径方向
に左及び右のアドレス位置のセンサ出力としたことで、
中心の基準となるセンサ出力が、前後左右４箇所のセン
サ出力と比較され、より正確な判断が可能になる。

【００６５】また、ディスクの円周方向に前及び後のア
ドレス位置を、ディスクの内周側と外周側とで変化さ
せ、中心の基準となるセンサ出力の検出位置から前及び
後のアドレス位置のセンサ出力の検出位置までの距離
を、ディスクの内外周でほぼ一定となるようにしたこと
で、ディスクの内外周でほぼ一定の条件で検査ができる
ようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の光学系の構成を示す構成図
である。

【図２】一実施例による各センサの出力処理状態を示す
回路図である。

【図３】一実施例による不良箇所検出部の構成図であ
る。

【図４】一実施例による不良箇所検出回路の構成図であ
る。

【図５】一実施例によるメモリの書込み，読出し状態を
示すタイミング図である。

【図６】一実施例によるディスク上のサンプリング状態
を示す説明図である。

【図７】一実施例によるゲート制御及び不良検出信号の
出力部を示す構成図である。

【符号の説明】

１光ディスク２スピンドルモータ１１レーザ源１２回転ミラー１３コリメータレンズ１４，１５，２３，２５，２７受光センサ１６ビームスプリッタ１７１／４波長板２１偏光解析用ビームスプリッタ２２，２４，２６集光レンズ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ディスクを回転させる回転駆動手段と、レーザ光を所定の走査状態で上記回転駆動手段により回
転したディスクに照射するレーザ照射光学手段と、上記ディスクよりの反射光を検出するセンサと、該センサの出力信号が上記レーザ光の走査に連動して発
生するアドレスデータと共に書込まれるメモリとを備
え、該メモリに書込まれたディスクの各アドレス位置のセン
サ出力と、この位置の近傍のセンサ出力とを読出し、近
傍のセンサ出力と中心となるアドレス位置のセンサ出力
との差に基づいて不良検出を行うようにしたディスク欠
陥検査装置。
【請求項２】上記センサ出力で、反射光量，直接反射
光量，回折率，複屈折，回折光量，ラジアルスキュー，
タンジェンシャルスキューの少なくともいずれか１つを
検出するようにした請求項１記載のディスク欠陥検査装
置。
【請求項３】上記レーザ照射光学手段は、レーザ光源
と、該レーザ光源より照射されたレーザ光をスキャンす
るための回転ミラーと、スキャンされたレーザ光を平行
スキャン光にしてディスクに照射するコリメータとで構
成させ、上記ディスクより反射された光を集光レンズを介して上
記センサに供給するようにした請求項１又は請求項２記
載のディスク欠陥検査装置。
【請求項４】上記近傍のセンサ出力として、中心の基
準となるセンサ出力に対し、ディスクの円周方向に前及
び後のアドレス位置のセンサ出力と、ディスクの径方向
に左及び右のアドレス位置のセンサ出力とした請求項１
〜３のいずれか１項記載のディスク欠陥検査装置。
【請求項５】上記ディスクの円周方向に前及び後のア
ドレス位置を、ディスクの内周側と外周側とで変化さ
せ、中心の基準となるセンサ出力の検出位置から前及び
後のアドレス位置のセンサ出力の検出位置までの距離
を、ディスクの内外周でほぼ一定となるようにした請求
項４記載のディスク欠陥検査装置。