JPH0862148A - 外観検査装置 - Google Patents
外観検査装置Info
- Publication number
- JPH0862148A JPH0862148A JP21950594A JP21950594A JPH0862148A JP H0862148 A JPH0862148 A JP H0862148A JP 21950594 A JP21950594 A JP 21950594A JP 21950594 A JP21950594 A JP 21950594A JP H0862148 A JPH0862148 A JP H0862148A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical axis
- camera
- inspection
- inspection object
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構成で検査対象物平面の斜め上方より
外観検査が実現できるテレビカメラによる外観検査装置
を提供すること。 【構成】 従来の外観検査装置の光学糸は図の（ａ）に
示すようにレンズ２の光軸上に検査対象物１２を見よう
とするため、結像１３はその光軸Ａ上にある。しかし本
発明の考え方の要点を模式図に示した図の（ｂ）に示す
ようにレンズ２の光軸Ａを検査対象物の表面に対して垂
直方向に保ったまま、距離ａだけ検査対象物５を光軸Ａ
上から水平方向に位置をずらすと、結像１５はレンズ２
の光軸Ａ上から距離ｂだけずれた位置に見える。このと
き、撮像素子の光軸を検査対象物の表面に対して垂直方
向に保ったまま、撮像素子を結像１５の位置に配置する
ことにより検査対象物５をその表面の垂直方向に対して
角度θの方向の斜め上方から観察することが可能とな
る。
外観検査が実現できるテレビカメラによる外観検査装置
を提供すること。 【構成】 従来の外観検査装置の光学糸は図の（ａ）に
示すようにレンズ２の光軸上に検査対象物１２を見よう
とするため、結像１３はその光軸Ａ上にある。しかし本
発明の考え方の要点を模式図に示した図の（ｂ）に示す
ようにレンズ２の光軸Ａを検査対象物の表面に対して垂
直方向に保ったまま、距離ａだけ検査対象物５を光軸Ａ
上から水平方向に位置をずらすと、結像１５はレンズ２
の光軸Ａ上から距離ｂだけずれた位置に見える。このと
き、撮像素子の光軸を検査対象物の表面に対して垂直方
向に保ったまま、撮像素子を結像１５の位置に配置する
ことにより検査対象物５をその表面の垂直方向に対して
角度θの方向の斜め上方から観察することが可能とな
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は検査対象物の斜め上方か
らのテレビカメラによる検査を可能とした外観検査装置
に関する。
らのテレビカメラによる検査を可能とした外観検査装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】テレビカメラによる外観検査装置により
斜め上方より検査を実現するために、主に以下の方法が
採用されていた。 プリズムなどを用いて、検査対象物から外観検査装置
のテレビカメラのレンズと撮影素子ヘ入力する光軸を曲
げることにより検査対象物の表面の垂直方向に対して傾
斜した角度から検査する方法。 外観検査装置のテレビカメラ全体を検査対象物平面の
垂直方向に対して斜め方向に取り付ける方法。
斜め上方より検査を実現するために、主に以下の方法が
採用されていた。 プリズムなどを用いて、検査対象物から外観検査装置
のテレビカメラのレンズと撮影素子ヘ入力する光軸を曲
げることにより検査対象物の表面の垂直方向に対して傾
斜した角度から検査する方法。 外観検査装置のテレビカメラ全体を検査対象物平面の
垂直方向に対して斜め方向に取り付ける方法。
【０００３】しかし、これらの方法では以下のように問
題点がある。 の方法の問題点 光路長がプリズムを入れた分だけ長くなるので同一カメ
ラの光軸中にプリズムを入れたり出したりすると、ピン
トが変化する。そのため、光軸の角度を充分に曲げられ
なくなる。もし、光軸の充分な曲げ角度を得たい時は余
分のカメラを配置することが必要となる。またプリズム
という複雑な光学糸を必要とすることも問題点としてあ
る。 の方法の問題点 カメラのピント面が基板などの検査対象物表面に対し
て、傾いてしまうので撮像エリアの一部分しか検査でき
なくなってしまう。また、ＩＣのように四方向の検査を
するときには４台のカメラが必要となってしまう。
題点がある。 の方法の問題点 光路長がプリズムを入れた分だけ長くなるので同一カメ
ラの光軸中にプリズムを入れたり出したりすると、ピン
トが変化する。そのため、光軸の角度を充分に曲げられ
なくなる。もし、光軸の充分な曲げ角度を得たい時は余
分のカメラを配置することが必要となる。またプリズム
という複雑な光学糸を必要とすることも問題点としてあ
る。 の方法の問題点 カメラのピント面が基板などの検査対象物表面に対し
て、傾いてしまうので撮像エリアの一部分しか検査でき
なくなってしまう。また、ＩＣのように四方向の検査を
するときには４台のカメラが必要となってしまう。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記した従来
のテレビカメラによる外観検査装置の問題点を解決し、
簡単な構成で検査対象物平面の斜め上方より外観検査が
実現できる装置を提供することを目的としている。
のテレビカメラによる外観検査装置の問題点を解決し、
簡単な構成で検査対象物平面の斜め上方より外観検査が
実現できる装置を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は次の
構成によって達成される。すなわち、テレビカメラによ
り撮影された画像を用いて検査対象物の外観検査を行う
外観検査装置において、テレビカメラのレンズの光軸と
撮像素子の光軸を検査対象物の表面に対して垂直方向に
保ったまま、カメラの光軸と撮像素子の光軸を検査対象
物の表面の水平方向にずらして配置した外観検査装置、
または、テレビカメラにより撮影された画像を用いて検
査対象物の外観検査を行う外観検査装置において、テレ
ビカメラのレンズの光軸と撮像素子の光軸を検査対象物
の表面に対して垂直方向に保ったまま、カメラの光軸と
撮像素子の光軸を検査対象物の表面の水平方向にずらし
て配置し、さらに撮像素子の撮影信号を処理する画像処
理装置と画像処理内容の送信と受信を行う制御装置とを
備えた外観検査装置、または、テレビカメラにより撮影
された画像を用いて検査対象物の外観検査を行う外観検
査装置において、テレビカメラのレンズの光軸と撮像素
子の光軸を検査対象物の表面に対して垂直方向に保った
まま、カメラの光軸と撮像素子の光軸を検査対象物の表
面の水平方向にずらして配置し、さらに撮像素子の撮影
信号を処理する画像処理装置と画像処理内容の送信と受
信と検査対象物の位置を移動調整する検査対象物位置調
整を行う制御装置を備えた外観検査装置である。本発明
の上記外観検査装置において、検査対象物は、例えば半
導体装置の基板の半田接合部である。
構成によって達成される。すなわち、テレビカメラによ
り撮影された画像を用いて検査対象物の外観検査を行う
外観検査装置において、テレビカメラのレンズの光軸と
撮像素子の光軸を検査対象物の表面に対して垂直方向に
保ったまま、カメラの光軸と撮像素子の光軸を検査対象
物の表面の水平方向にずらして配置した外観検査装置、
または、テレビカメラにより撮影された画像を用いて検
査対象物の外観検査を行う外観検査装置において、テレ
ビカメラのレンズの光軸と撮像素子の光軸を検査対象物
の表面に対して垂直方向に保ったまま、カメラの光軸と
撮像素子の光軸を検査対象物の表面の水平方向にずらし
て配置し、さらに撮像素子の撮影信号を処理する画像処
理装置と画像処理内容の送信と受信を行う制御装置とを
備えた外観検査装置、または、テレビカメラにより撮影
された画像を用いて検査対象物の外観検査を行う外観検
査装置において、テレビカメラのレンズの光軸と撮像素
子の光軸を検査対象物の表面に対して垂直方向に保った
まま、カメラの光軸と撮像素子の光軸を検査対象物の表
面の水平方向にずらして配置し、さらに撮像素子の撮影
信号を処理する画像処理装置と画像処理内容の送信と受
信と検査対象物の位置を移動調整する検査対象物位置調
整を行う制御装置を備えた外観検査装置である。本発明
の上記外観検査装置において、検査対象物は、例えば半
導体装置の基板の半田接合部である。
【０００６】
【作用】本発明の考え方の要点を模式図に示したものが
図３である。従来の外観検査装置の光学糸は図３（ａ）
に示すようにレンズ２の光軸上に検査対象物１２を見よ
うとするため、結像１３はその光軸Ａ上にある。しかし
本発明の場合は図３（ｂ）に示すようにレンズ２の光軸
Ａを検査対象物の表面に対して垂直方向に保ったまま、
距離ａだけ検査対象物５を光軸Ａ上から水平方向に位置
をずらすと、結像１５はレンズ２の光軸Ａ上から距離ｂ
だけずれた位置に見える。このとき、撮像素子の光軸を
検査対象物の表面に対して垂直方向に保ったまま、撮像
素子を結像１５の位置に配置することにより検査対象物
５をその表面の垂直方向に対して角度θの方向の斜め上
方から観察することが可能となる。
図３である。従来の外観検査装置の光学糸は図３（ａ）
に示すようにレンズ２の光軸上に検査対象物１２を見よ
うとするため、結像１３はその光軸Ａ上にある。しかし
本発明の場合は図３（ｂ）に示すようにレンズ２の光軸
Ａを検査対象物の表面に対して垂直方向に保ったまま、
距離ａだけ検査対象物５を光軸Ａ上から水平方向に位置
をずらすと、結像１５はレンズ２の光軸Ａ上から距離ｂ
だけずれた位置に見える。このとき、撮像素子の光軸を
検査対象物の表面に対して垂直方向に保ったまま、撮像
素子を結像１５の位置に配置することにより検査対象物
５をその表面の垂直方向に対して角度θの方向の斜め上
方から観察することが可能となる。
【０００７】
【実施例】本発明の一実施例の外観検査装置の概念図を
図１に示す。外観検査装置は撮像素子１およびその光軸
Ａからずれたところにレンズ２を持っている。ここで、
撮像素子１の光軸Ａとレンズ２の光軸は検査対象物であ
る基板５表面の垂直方向に向けている。また外観検査装
置は画像処理装置３と制御装置４を備えており、撮像素
子１の画像信号は画像処理装置３により処理され、検査
する処理内容は制御装置４から画像処理装置３に指示さ
れ、検査結果を画像処理装置３から制御装置４に返され
る。また、制御装置４は検査対象物である基板５を載せ
た移動ステージ６を必要に応じて移動させ、基板５をレ
ンズ２の視野内に移動させる駆動装置（図示せず）の駆
動制御も行う構成としてもよい。
図１に示す。外観検査装置は撮像素子１およびその光軸
Ａからずれたところにレンズ２を持っている。ここで、
撮像素子１の光軸Ａとレンズ２の光軸は検査対象物であ
る基板５表面の垂直方向に向けている。また外観検査装
置は画像処理装置３と制御装置４を備えており、撮像素
子１の画像信号は画像処理装置３により処理され、検査
する処理内容は制御装置４から画像処理装置３に指示さ
れ、検査結果を画像処理装置３から制御装置４に返され
る。また、制御装置４は検査対象物である基板５を載せ
た移動ステージ６を必要に応じて移動させ、基板５をレ
ンズ２の視野内に移動させる駆動装置（図示せず）の駆
動制御も行う構成としてもよい。
【０００８】図１の基板５の表面の垂直方向に対して斜
め上方からの検査を可能とした要部を図２に示す。基板
５に半田８により半田付けされた部品９（ＰＬＣＣなど
の部品）はボディ９ａとリード９ｂより成る。半田８は
真上から見えないが、撮像素子１に対して斜め下方にあ
る。したがって、レンズ２によって基板５の平面に対し
て角度θの所から半田８部分の検査をすることができ
る。こうして、真上から見えない半田８接合部の検査に
おいて、撮像素子１の光軸Ａとレンズ２の光軸をずらす
ことにより、複雑な光学糸を用いることなく斜め上方よ
り半田８による接合部を検査することが可能となる。本
発明において、撮像素子１とレンズ２の位置関係は必ず
しも固定されている必要はない。必要であれば、撮像素
子１またはレンズ２を移動し、撮像素子１とレンズ２の
位置関係を動かすことにより任意の傾斜角度θから検査
対象物の検査が可能となる。
め上方からの検査を可能とした要部を図２に示す。基板
５に半田８により半田付けされた部品９（ＰＬＣＣなど
の部品）はボディ９ａとリード９ｂより成る。半田８は
真上から見えないが、撮像素子１に対して斜め下方にあ
る。したがって、レンズ２によって基板５の平面に対し
て角度θの所から半田８部分の検査をすることができ
る。こうして、真上から見えない半田８接合部の検査に
おいて、撮像素子１の光軸Ａとレンズ２の光軸をずらす
ことにより、複雑な光学糸を用いることなく斜め上方よ
り半田８による接合部を検査することが可能となる。本
発明において、撮像素子１とレンズ２の位置関係は必ず
しも固定されている必要はない。必要であれば、撮像素
子１またはレンズ２を移動し、撮像素子１とレンズ２の
位置関係を動かすことにより任意の傾斜角度θから検査
対象物の検査が可能となる。
【０００９】
【発明の効果】本発明によれば、複雑な光学糸を用いる
ことなく真上から見えない検査対象物の斜め上方よりテ
レビカメラによる外観検査が実現できる。
ことなく真上から見えない検査対象物の斜め上方よりテ
レビカメラによる外観検査が実現できる。
【図１】 本発明の一実施例の外観検査装置の概念図で
ある。
ある。
【図２】 図１の検査対象物平面の垂直方向に対して斜
め上方からの検査を可能とした要部を示す図である。
め上方からの検査を可能とした要部を示す図である。
【図３】 本発明の考え方の要点を模式的に示した図で
ある。
ある。
１…撮像素子、２…レンズ、３…画像処理装置、４…制
御装置、５…基板（検査対象物の）、６…移動ステー
ジ、８…半田、９…半田付けされた部品
御装置、５…基板（検査対象物の）、６…移動ステー
ジ、８…半田、９…半田付けされた部品
Claims (4)
- 【請求項１】 テレビカメラにより撮影された画像を用
いて検査対象物の外観検査を行う外観検査装置におい
て、 テレビカメラのレンズの光軸と撮像素子の光軸を検査対
象物の表面に対して垂直方向に保ったまま、カメラの光
軸と撮像素子の光軸を検査対象物の表面の水平方向にず
らして配置したことを特徴とする外観検査装置。 - 【請求項２】 テレビカメラにより撮影された画像を用
いて検査対象物の外観検査を行う外観検査装置におい
て、 テレビカメラのレンズの光軸と撮像素子の光軸を検査対
象物の表面に対して垂直方向に保ったまま、カメラの光
軸と撮像素子の光軸を検査対象物の表面の水平方向にず
らして配置し、さらに撮像素子の撮影信号を処理する画
像処理装置と画像処理内容の送信と受信を行う制御装置
とを備えたことを特徴とする外観検査装置。 - 【請求項３】 テレビカメラにより撮影された画像を用
いて検査対象物の外観検査を行う外観検査装置におい
て、 テレビカメラのレンズの光軸と撮像素子の光軸を検査対
象物の表面に対して垂直方向に保ったまま、カメラの光
軸と撮像素子の光軸を検査対象物の表面の水平方向にず
らして配置し、さらに撮像素子の撮影信号を処理する画
像処理装置と画像処理内容の送信と受信と検査対象物の
位置を移動調整する検査対象物位置調整を行う制御装置
を備えたことを特徴とする外観検査装置。 - 【請求項４】 検査対象物が半導体装置の基板の半田接
合部であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれ
かに記載の外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21950594A JPH0862148A (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21950594A JPH0862148A (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | 外観検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0862148A true JPH0862148A (ja) | 1996-03-08 |
Family
ID=16736511
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21950594A Pending JPH0862148A (ja) | 1994-08-22 | 1994-08-22 | 外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0862148A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008026060A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-07 | Nippon Steel Corp | 絶縁皮膜被覆帯状体の疵検査装置 |
-
1994
- 1994-08-22 JP JP21950594A patent/JPH0862148A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008026060A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-07 | Nippon Steel Corp | 絶縁皮膜被覆帯状体の疵検査装置 |
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