JPH085767A - 駆動テーブル - Google Patents
駆動テーブルInfo
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- JPH085767A JPH085767A JP15642994A JP15642994A JPH085767A JP H085767 A JPH085767 A JP H085767A JP 15642994 A JP15642994 A JP 15642994A JP 15642994 A JP15642994 A JP 15642994A JP H085767 A JPH085767 A JP H085767A
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- Japan
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70358—Scanning exposure, i.e. relative movement of patterned beam and workpiece during imaging
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70716—Stages
Abstract
(57)【要約】
【目的】 原点出しを容易とし、原点出しにおける誤差
も極力少なくした駆動テーブルを得る。 【構成】 テーブルのＸ方向，Ｙ方向，及び，Ｘ，Ｙ方
向に直交するθ軸回りの回転量θの３つの変移各々につ
いて、テーブル上に予め定められた位置が基準座標上に
予め定められた基準位置に達したことを検知する基準位
置検知手段と；この基準位置検知手段から得られた検知
信号が発せられた時点の位置検出手段の検出値を、基準
座標における座標値に換算する演算手段と；を備えたも
の。
も極力少なくした駆動テーブルを得る。 【構成】 テーブルのＸ方向，Ｙ方向，及び，Ｘ，Ｙ方
向に直交するθ軸回りの回転量θの３つの変移各々につ
いて、テーブル上に予め定められた位置が基準座標上に
予め定められた基準位置に達したことを検知する基準位
置検知手段と；この基準位置検知手段から得られた検知
信号が発せられた時点の位置検出手段の検出値を、基準
座標における座標値に換算する演算手段と；を備えたも
の。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は例えばリニアモータ等で
駆動される駆動テーブルの原点出しを容易に行うことの
できる駆動テーブルに関するものである。
駆動される駆動テーブルの原点出しを容易に行うことの
できる駆動テーブルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体素子製造のリソグラフィ工
程では、レチクルパターンを高分解能でウエハ上に転写
する装置として、ステップ・アンド・リピート方式の縮
小投影型露光装置（所謂、ステッパー）が多用されるよ
うになった。この種のステッパーでは半導体素子の高集
積化に伴って、露光光の短波長化や高開口数（Ｎ．
Ａ．）の投影レンズの開発が行われ、最近ではウエハ上
での解像線数がサブミクロン（０．５〜０．７μｍ程
度）に達している。このような高解像パターンを転写す
るには、その解像力に見合ったアライメント（重ね合
せ）精度が必要となる。
程では、レチクルパターンを高分解能でウエハ上に転写
する装置として、ステップ・アンド・リピート方式の縮
小投影型露光装置（所謂、ステッパー）が多用されるよ
うになった。この種のステッパーでは半導体素子の高集
積化に伴って、露光光の短波長化や高開口数（Ｎ．
Ａ．）の投影レンズの開発が行われ、最近ではウエハ上
での解像線数がサブミクロン（０．５〜０．７μｍ程
度）に達している。このような高解像パターンを転写す
るには、その解像力に見合ったアライメント（重ね合
せ）精度が必要となる。
【０００３】ところで、超ＬＳＩ等の微細パターンの座
標位置を高精度で測定し、寸法管理を行うには、サンプ
ルパターンの位置を高分解、高精度で読み取る機構が必
要であると同時に、装置全体のシステムが、測定の絶対
値をある程度保証しながら、長期間安定に働くことが必
要である。例えば、デザインルールが０．５μｍといわ
れる１６ＭＤＲＡＭを作成する場合には、使用するマス
クの座標位置精度を０．０５μｍ以下に抑える必要が生
じる。これに対応した高精度で安定な測定機を想定する
と、パターンのエッジ検出は、光又は電子ビームを使用
して可能と思われるが、座標位置測定の精度と再現性を
実現するため、駆動テーブル、干渉計等で構成される装
置全体のシステムの高精度化と安定化が大きな鍵とな
る。
標位置を高精度で測定し、寸法管理を行うには、サンプ
ルパターンの位置を高分解、高精度で読み取る機構が必
要であると同時に、装置全体のシステムが、測定の絶対
値をある程度保証しながら、長期間安定に働くことが必
要である。例えば、デザインルールが０．５μｍといわ
れる１６ＭＤＲＡＭを作成する場合には、使用するマス
クの座標位置精度を０．０５μｍ以下に抑える必要が生
じる。これに対応した高精度で安定な測定機を想定する
と、パターンのエッジ検出は、光又は電子ビームを使用
して可能と思われるが、座標位置測定の精度と再現性を
実現するため、駆動テーブル、干渉計等で構成される装
置全体のシステムの高精度化と安定化が大きな鍵とな
る。
【０００４】そこで、装置全体のシステムの高精度化を
達成するため、リニアモータを駆動源とした駆動テーブ
ルが、用いられている。これは、リニアモータによって
ダイレクトドライブ方式としたものである。このリニア
モータ方式の駆動テーブルでは、ボールネジ等の回転か
ら直線変換機構が不要となり、構造が簡単であること、
ボールネジに起因するバックラッシュがないこと、ボー
ルネジのＤＮ値に起因する速度限界がないこと等の特徴
がある。これにより、テーブルステージの高速化、高精
度化が可能である特徴を更に有する。
達成するため、リニアモータを駆動源とした駆動テーブ
ルが、用いられている。これは、リニアモータによって
ダイレクトドライブ方式としたものである。このリニア
モータ方式の駆動テーブルでは、ボールネジ等の回転か
ら直線変換機構が不要となり、構造が簡単であること、
ボールネジに起因するバックラッシュがないこと、ボー
ルネジのＤＮ値に起因する速度限界がないこと等の特徴
がある。これにより、テーブルステージの高速化、高精
度化が可能である特徴を更に有する。
【０００５】ところで、駆動テーブルの高精度化を達成
するためには、例えばレーザ干渉計等を用いて、駆動テ
ーブルの正確な位置を検出することが重要である。この
ためには、駆動テーブルが絶対座標系の予め定められた
位置での原点出しを正確に行わなければ、干渉計から得
られたデータ自体が正確なものとならなくなる。
するためには、例えばレーザ干渉計等を用いて、駆動テ
ーブルの正確な位置を検出することが重要である。この
ためには、駆動テーブルが絶対座標系の予め定められた
位置での原点出しを正確に行わなければ、干渉計から得
られたデータ自体が正確なものとならなくなる。
【０００６】従来この種の装置における駆動テーブル原
点出しの方法は以下のようであった。図４は従来の駆動
テーブルの構成を模式的に説明する平面図である。図に
示すように、駆動テーブルのステージ(40)には、Ｘ方向
の壁面に２つ、Ｙ方向の壁面に１つの合計３つのリンク
機構(41)が設けられている。
点出しの方法は以下のようであった。図４は従来の駆動
テーブルの構成を模式的に説明する平面図である。図に
示すように、駆動テーブルのステージ(40)には、Ｘ方向
の壁面に２つ、Ｙ方向の壁面に１つの合計３つのリンク
機構(41)が設けられている。
【０００７】これらリンク機構(41)は、ステージ(40)に
一端をボールジョイント(42)で連結されたリンク(43)
と、リンク(43)の末端に連結され、１軸駆動アクチュエ
ータ(44)によって駆動されるボールネジ(45)の先端に連
結されたボールジョイント(46)と、このボールジョイン
ト(46)に付設されたセンサ遮光板(47)と、このセンサ遮
光板(47)の位置を検出する位置検出センサ(48)とからな
る。
一端をボールジョイント(42)で連結されたリンク(43)
と、リンク(43)の末端に連結され、１軸駆動アクチュエ
ータ(44)によって駆動されるボールネジ(45)の先端に連
結されたボールジョイント(46)と、このボールジョイン
ト(46)に付設されたセンサ遮光板(47)と、このセンサ遮
光板(47)の位置を検出する位置検出センサ(48)とからな
る。
【０００８】このリンク(43)によって、ステージ(40)は
基準座標上を自在に動くことができ、しかも、ステージ
(40)の微小な移動が、センサ遮光板(47)の明確な移動と
して位置検出センサ(48)で検出されるものである。従っ
て、各位置検出センサ(48)の計測値は、駆動テーブルの
イニシャライズ時等に一定値、例えば零にリセットさ
れ、このリセット値を基準位置として駆動テーブルの
Ｘ，Ｙ方向の座標値及び、回転量θが検出される。
基準座標上を自在に動くことができ、しかも、ステージ
(40)の微小な移動が、センサ遮光板(47)の明確な移動と
して位置検出センサ(48)で検出されるものである。従っ
て、各位置検出センサ(48)の計測値は、駆動テーブルの
イニシャライズ時等に一定値、例えば零にリセットさ
れ、このリセット値を基準位置として駆動テーブルの
Ｘ，Ｙ方向の座標値及び、回転量θが検出される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなリンク機構による原点出し機構では、１軸駆動アク
チュエータによるリンク機構をなさないテーブル駆動系
では駆動テーブルの位置を検出することができず、原点
出しが不可能となる。
うなリンク機構による原点出し機構では、１軸駆動アク
チュエータによるリンク機構をなさないテーブル駆動系
では駆動テーブルの位置を検出することができず、原点
出しが不可能となる。
【００１０】また、前述のように、テーブルステージの
高速化、高精度化を可能としたリニアモータを駆動源と
した駆動テーブルが、用いられているが、原点出し自体
に高い誤差を生じた場合には、装置自体の誤差は全く解
消されるものではない。
高速化、高精度化を可能としたリニアモータを駆動源と
した駆動テーブルが、用いられているが、原点出し自体
に高い誤差を生じた場合には、装置自体の誤差は全く解
消されるものではない。
【００１１】そこで、本発明ではリンク機構をなさない
駆動テーブルであっても、原点出しを容易とする駆動テ
ーブルを得ることを目的とし、原点出しにおける誤差も
極力少なくした駆動テーブルを得ることを目的とする。
駆動テーブルであっても、原点出しを容易とする駆動テ
ーブルを得ることを目的とし、原点出しにおける誤差も
極力少なくした駆動テーブルを得ることを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本請求項１に記載された
発明に係る駆動テーブルでは、互いに直交するＸ方向と
Ｙ方向に沿ってテーブルを２次元的に移動させる駆動系
と、前記テーブルのＸ方向の位置を検出するＸ位置検出
手段と、前記テーブルのＹ方向の位置を検出するＹ位置
検出手段と、前記テーブルのＸ，Ｙ方向に直交するθ軸
回りの回転量θを検出するθ検出手段とを備えた駆動テ
ーブルにおいて、前記テーブル上に予め定められた第１
の位置が、Ｘ基準座標上に予め定められたＸ基準位置に
達したことを検知するＸ基準位置検知手段と、前記テー
ブル上に予め定められた第２の位置が、Ｙ基準座標上に
予め定められたＹ基準位置に達したことを検知するＹ基
準位置検知手段と、前記テーブル上に予め定められた第
３の位置が、別のＸ基準座標又はＹ基準座標上に予め定
められたθ基準位置に達したことを検知するθ基準位置
検知手段と、前記Ｘ基準位置検知手段，Ｙ基準位置検知
手段，及び，θ基準位置検知手段から得られた検知信号
と、該検知信号が発せられた時点の前記Ｘ位置検出手
段，Ｙ位置検出手段，及び，θ検出手段の検出値とか
ら、前記Ｘ位置検出手段，Ｙ位置検出手段，及び，θ検
出手段の検出値の各々を、Ｘ−Ｙ基準座標における座標
値に換算する演算装置とを備えたものである。
発明に係る駆動テーブルでは、互いに直交するＸ方向と
Ｙ方向に沿ってテーブルを２次元的に移動させる駆動系
と、前記テーブルのＸ方向の位置を検出するＸ位置検出
手段と、前記テーブルのＹ方向の位置を検出するＹ位置
検出手段と、前記テーブルのＸ，Ｙ方向に直交するθ軸
回りの回転量θを検出するθ検出手段とを備えた駆動テ
ーブルにおいて、前記テーブル上に予め定められた第１
の位置が、Ｘ基準座標上に予め定められたＸ基準位置に
達したことを検知するＸ基準位置検知手段と、前記テー
ブル上に予め定められた第２の位置が、Ｙ基準座標上に
予め定められたＹ基準位置に達したことを検知するＹ基
準位置検知手段と、前記テーブル上に予め定められた第
３の位置が、別のＸ基準座標又はＹ基準座標上に予め定
められたθ基準位置に達したことを検知するθ基準位置
検知手段と、前記Ｘ基準位置検知手段，Ｙ基準位置検知
手段，及び，θ基準位置検知手段から得られた検知信号
と、該検知信号が発せられた時点の前記Ｘ位置検出手
段，Ｙ位置検出手段，及び，θ検出手段の検出値とか
ら、前記Ｘ位置検出手段，Ｙ位置検出手段，及び，θ検
出手段の検出値の各々を、Ｘ−Ｙ基準座標における座標
値に換算する演算装置とを備えたものである。
【００１３】本請求項２に記載された発明に係る駆動テ
ーブルでは、請求項１に記載の駆動系は非接触式駆動装
置であるものである。
ーブルでは、請求項１に記載の駆動系は非接触式駆動装
置であるものである。
【００１４】本請求項３に記載された発明に係る駆動テ
ーブルでは、請求項１又は２に記載の駆動テーブルにお
いて、前記Ｘ基準位置検知手段が、前記テーブル上の予
め定められた第１の位置に設けられたＸ位置検知用遮光
板と、予め定められたＸ基準位置に設けられ、前記遮光
板が該Ｘ基準位置に達した場合に信号を発するＸ基準位
置検知用センサとからなり、前記Ｙ基準位置検知手段
が、前記テーブル上の予め定められた第２の位置に設け
られたＹ位置検知用遮光板と、予め定められたＹ基準位
置に設けられ、前記遮光板が該Ｙ基準位置に達した場合
に信号を発するＹ基準位置検知用センサとからなり、前
記θ基準位置検知手段が、前記テーブル上の予め定めら
れた第３の位置に設けられたθ位置検知用遮光板と、予
め定められた別のＸ基準位置又はＹ基準位置に設けら
れ、前記遮光板が該別のＸ基準位置又はＹ基準位置に達
した場合に信号を発するθ基準位置検知用センサとから
なり、前記演算手段が、前記θ基準位置検知用センサか
らの検知信号と、前記Ｘ基準位置検知手段又はＹ基準位
置検知手段からの検知信号とのズレから、前記テーブル
のＸ−Ｙ基準座標に直交する軸に対する基準回転量を求
める基準回転量演算手段を含むものである。
ーブルでは、請求項１又は２に記載の駆動テーブルにお
いて、前記Ｘ基準位置検知手段が、前記テーブル上の予
め定められた第１の位置に設けられたＸ位置検知用遮光
板と、予め定められたＸ基準位置に設けられ、前記遮光
板が該Ｘ基準位置に達した場合に信号を発するＸ基準位
置検知用センサとからなり、前記Ｙ基準位置検知手段
が、前記テーブル上の予め定められた第２の位置に設け
られたＹ位置検知用遮光板と、予め定められたＹ基準位
置に設けられ、前記遮光板が該Ｙ基準位置に達した場合
に信号を発するＹ基準位置検知用センサとからなり、前
記θ基準位置検知手段が、前記テーブル上の予め定めら
れた第３の位置に設けられたθ位置検知用遮光板と、予
め定められた別のＸ基準位置又はＹ基準位置に設けら
れ、前記遮光板が該別のＸ基準位置又はＹ基準位置に達
した場合に信号を発するθ基準位置検知用センサとから
なり、前記演算手段が、前記θ基準位置検知用センサか
らの検知信号と、前記Ｘ基準位置検知手段又はＹ基準位
置検知手段からの検知信号とのズレから、前記テーブル
のＸ−Ｙ基準座標に直交する軸に対する基準回転量を求
める基準回転量演算手段を含むものである。
【００１５】本請求項４に記載された発明に係る駆動テ
ーブルでは、請求項１又は２に記載の駆動テーブルにお
いて、前記Ｘ基準位置検知手段が、基準座標上に予め設
けられたＸ基準ストッパに前記テーブルのＸ方向側縁を
押し当てるＸ方向駆動手段と、前記Ｘ方向側縁がＸ基準
ストッパに押し当ったことを検知するＸ押当検知手段と
からなり、前記Ｙ基準位置検知手段が、基準座標上に予
め設けられたＹ基準ストッパに前記テーブルのＹ方向側
縁を押し当てるＹ方向駆動手段と、前記Ｙ方向側縁がＹ
基準ストッパに押し当ったことを検知するＹ押当検知手
段とからなり、前記θ基準位置検知手段が、基準座標上
の前記Ｘ基準ストッパ又はＹ基準ストッパと予め定めら
れた距離隔てて設けられたθ基準ストッパに前記テーブ
ルのＸ方向側縁又はＹ方向側縁を押し当てるθ方向駆動
手段と、前記Ｘ方向側縁又はＹ方向側縁がθ基準ストッ
パに押し当ったことを検知するθ押当検知手段と、前記
演算手段が、前記θ押当検知手段の検知信号と、前記Ｘ
押当検知手段又はＹ押当検知手段の検知信号とによっ
て、前記回転量検出手段の検出値を予め定められた基準
回転量とする回転量リセット手段を含むものである。
ーブルでは、請求項１又は２に記載の駆動テーブルにお
いて、前記Ｘ基準位置検知手段が、基準座標上に予め設
けられたＸ基準ストッパに前記テーブルのＸ方向側縁を
押し当てるＸ方向駆動手段と、前記Ｘ方向側縁がＸ基準
ストッパに押し当ったことを検知するＸ押当検知手段と
からなり、前記Ｙ基準位置検知手段が、基準座標上に予
め設けられたＹ基準ストッパに前記テーブルのＹ方向側
縁を押し当てるＹ方向駆動手段と、前記Ｙ方向側縁がＹ
基準ストッパに押し当ったことを検知するＹ押当検知手
段とからなり、前記θ基準位置検知手段が、基準座標上
の前記Ｘ基準ストッパ又はＹ基準ストッパと予め定めら
れた距離隔てて設けられたθ基準ストッパに前記テーブ
ルのＸ方向側縁又はＹ方向側縁を押し当てるθ方向駆動
手段と、前記Ｘ方向側縁又はＹ方向側縁がθ基準ストッ
パに押し当ったことを検知するθ押当検知手段と、前記
演算手段が、前記θ押当検知手段の検知信号と、前記Ｘ
押当検知手段又はＹ押当検知手段の検知信号とによっ
て、前記回転量検出手段の検出値を予め定められた基準
回転量とする回転量リセット手段を含むものである。
【００１６】
【作用】本発明１においては、テーブルのＸ方向，Ｙ方
向，及び，Ｘ，Ｙ方向に直交するθ軸回りの回転量θの
３つの変移各々について、テーブル上に予め定められた
位置が基準座標上に予め定められた基準位置に達したこ
とを検知する基準位置検知手段と；この基準位置検知手
段から得られた検知信号が発せられた時点の位置検出手
段の検出値を、基準座標における座標値に換算する演算
手段と；を備えたものであるため、駆動するテーブルの
基準座標に対する精密な原点出しが可能となる。
向，及び，Ｘ，Ｙ方向に直交するθ軸回りの回転量θの
３つの変移各々について、テーブル上に予め定められた
位置が基準座標上に予め定められた基準位置に達したこ
とを検知する基準位置検知手段と；この基準位置検知手
段から得られた検知信号が発せられた時点の位置検出手
段の検出値を、基準座標における座標値に換算する演算
手段と；を備えたものであるため、駆動するテーブルの
基準座標に対する精密な原点出しが可能となる。
【００１７】即ち、１軸駆動アクチュエータによるリン
ク機構等に付設された検出機構を用いず、テーブル上の
予め定められた位置と、この位置が基準座標上の予め定
められた基準位置とを検知するものであるため、リンク
機構等のモータ等の軸回転運動をテーブルの直線運動と
する機構に付設させる必要がなく、直接的に検知するこ
とができる。従って、テーブルの基準座標に対する精密
な原点出しが可能となる。
ク機構等に付設された検出機構を用いず、テーブル上の
予め定められた位置と、この位置が基準座標上の予め定
められた基準位置とを検知するものであるため、リンク
機構等のモータ等の軸回転運動をテーブルの直線運動と
する機構に付設させる必要がなく、直接的に検知するこ
とができる。従って、テーブルの基準座標に対する精密
な原点出しが可能となる。
【００１８】従って、本発明２に示すように、駆動テー
ブルの駆動系が非接触式駆動装置であるもの、例えばリ
ニアモータを利用した駆動テーブルであっても、リニア
モータ駆動テーブルが有する、テーブルステージの高速
化，高精度化等々の特徴を損なうことがなく、精密な原
点出しが可能となる。
ブルの駆動系が非接触式駆動装置であるもの、例えばリ
ニアモータを利用した駆動テーブルであっても、リニア
モータ駆動テーブルが有する、テーブルステージの高速
化，高精度化等々の特徴を損なうことがなく、精密な原
点出しが可能となる。
【００１９】尚、Ｘ，Ｙ，及び，θ、各々の基準位置検
知手段としては、テーブル上に予め定めた位置が基準座
標上に予め定めた基準位置に達したことを検知するもの
であればよい。
知手段としては、テーブル上に予め定めた位置が基準座
標上に予め定めた基準位置に達したことを検知するもの
であればよい。
【００２０】例えば、Ｘ，Ｙの基準位置検知手段として
は、テーブルのＸ，Ｙ方向の側壁の予め定められた位置
に遮光板と、Ｘ，Ｙ基準座標上の予め定められた位置に
フォトセンサーとを配し、遮光板がフォトセンサーを横
切ることを検知するものである。この場合、θ基準位置
検知手段としては、Ｘ，Ｙ何れか一方の座標において、
配置された遮光板から予め定められた距離に別の遮光板
を設け、２つの遮光板の検知のずれから、テーブルのθ
軸回りの回転量θを求めればよい。
は、テーブルのＸ，Ｙ方向の側壁の予め定められた位置
に遮光板と、Ｘ，Ｙ基準座標上の予め定められた位置に
フォトセンサーとを配し、遮光板がフォトセンサーを横
切ることを検知するものである。この場合、θ基準位置
検知手段としては、Ｘ，Ｙ何れか一方の座標において、
配置された遮光板から予め定められた距離に別の遮光板
を設け、２つの遮光板の検知のずれから、テーブルのθ
軸回りの回転量θを求めればよい。
【００２１】従って、本発明３に示すように、各Ｘ，
Ｙ，及び，θ基準位置検知手段が、テーブル上の予め定
められた第１，第２，及び，第３の位置に設けられた各
Ｘ，Ｙ，及び，θ位置検知用遮光板と、予め定められた
各Ｘ，Ｙ，及び，θ基準位置に設けられ前記遮光板が各
Ｘ，Ｙ，及び，θ基準位置に達した場合に信号を発する
各Ｘ，Ｙ，及び，θ基準位置検知用センサとからなり、
前記演算手段が、前記θ基準位置検知用センサからの検
知信号と、前記Ｘ基準位置検知手段又はＹ基準位置検知
手段からの検知信号とのズレから、前記テーブルのＸ−
Ｙ基準座標に直交する軸に対する基準回転量を求める基
準回転量演算手段を含むものである。
Ｙ，及び，θ基準位置検知手段が、テーブル上の予め定
められた第１，第２，及び，第３の位置に設けられた各
Ｘ，Ｙ，及び，θ位置検知用遮光板と、予め定められた
各Ｘ，Ｙ，及び，θ基準位置に設けられ前記遮光板が各
Ｘ，Ｙ，及び，θ基準位置に達した場合に信号を発する
各Ｘ，Ｙ，及び，θ基準位置検知用センサとからなり、
前記演算手段が、前記θ基準位置検知用センサからの検
知信号と、前記Ｘ基準位置検知手段又はＹ基準位置検知
手段からの検知信号とのズレから、前記テーブルのＸ−
Ｙ基準座標に直交する軸に対する基準回転量を求める基
準回転量演算手段を含むものである。
【００２２】このため、駆動テーブルをＸ方向及びＹ方
向に操作するだけで、各Ｘ，Ｙ，及び，θの各々で、精
密な原点出しが可能となる。テーブルのイニシャライズ
時のみならず、ステッピングの途中でも原点出しが可能
となり、必要ならばリアルタイムの補正処理が可能とな
る。
向に操作するだけで、各Ｘ，Ｙ，及び，θの各々で、精
密な原点出しが可能となる。テーブルのイニシャライズ
時のみならず、ステッピングの途中でも原点出しが可能
となり、必要ならばリアルタイムの補正処理が可能とな
る。
【００２３】また、別の基準位置検知手段としては、基
準座標上の予め定められた位置に基準ストッパを配置
し、このストッパにテーブルを押し当てて、この押し当
て位置を基準位置とすればよい。
準座標上の予め定められた位置に基準ストッパを配置
し、このストッパにテーブルを押し当てて、この押し当
て位置を基準位置とすればよい。
【００２４】従って、本発明４では、各Ｘ，Ｙ，及び，
θ基準位置検知手段が、基準座標上に予め設けられた各
Ｘ，Ｙ，及び，θ基準ストッパに前記テーブルの各Ｘ，
Ｙ，及び，θ方向側縁を押し当てる各Ｘ，Ｙ，及び，θ
方向駆動手段と、前記各Ｘ，Ｙ，及び，θ方向側縁が各
Ｘ，Ｙ，及び，θ基準ストッパに押し当ったことを検知
する各Ｘ，Ｙ，及び，θ押当検知手段とからなり、前記
演算手段が、前記θ押当検知手段の検知信号と、前記Ｘ
押当検知手段又はＹ押当検知手段の検知信号とによっ
て、前記回転量検出手段の検出値を予め定められた基準
回転量とする回転量リセット手段を含むものである。
θ基準位置検知手段が、基準座標上に予め設けられた各
Ｘ，Ｙ，及び，θ基準ストッパに前記テーブルの各Ｘ，
Ｙ，及び，θ方向側縁を押し当てる各Ｘ，Ｙ，及び，θ
方向駆動手段と、前記各Ｘ，Ｙ，及び，θ方向側縁が各
Ｘ，Ｙ，及び，θ基準ストッパに押し当ったことを検知
する各Ｘ，Ｙ，及び，θ押当検知手段とからなり、前記
演算手段が、前記θ押当検知手段の検知信号と、前記Ｘ
押当検知手段又はＹ押当検知手段の検知信号とによっ
て、前記回転量検出手段の検出値を予め定められた基準
回転量とする回転量リセット手段を含むものである。
【００２５】このように機械的な駆動手段を備えること
によって、良好に原点出しを行うことができる。
によって、良好に原点出しを行うことができる。
【００２６】
【実施例】図１は本発明の駆動テーブルの一実施例の構
成を説明する平面図である。図２は図１の原点出しの構
成を説明する平面図である。図１に示すように、駆動テ
ーブルのステージ(10)の２次元的な位置（回転方向も含
む）は、３組の干渉計から構成される干渉計ユニットに
よって、例えば０．０２μｍの分解能で常時検出される
ように構成される。
成を説明する平面図である。図２は図１の原点出しの構
成を説明する平面図である。図１に示すように、駆動テ
ーブルのステージ(10)の２次元的な位置（回転方向も含
む）は、３組の干渉計から構成される干渉計ユニットに
よって、例えば０．０２μｍの分解能で常時検出される
ように構成される。
【００２７】ここで、干渉計ユニットはＸ干渉計(1A)、
Ｙ干渉計(1B)、及びθ干渉計(1C)からなり、この３本の
測長軸（例えば、レーザ光束の中心線）を含む平面は、
駆動テーブルのステージ(10)と平行になるように配され
ている。また、Ｘ干渉計(1A)の測長軸と、Ｙ干渉計(1B)
の測長軸とは正確に直交するように配され、更にθ干渉
計(1C)は直交座標系ＸＹのＹ軸に関して軸対称に配置さ
れている。
Ｙ干渉計(1B)、及びθ干渉計(1C)からなり、この３本の
測長軸（例えば、レーザ光束の中心線）を含む平面は、
駆動テーブルのステージ(10)と平行になるように配され
ている。また、Ｘ干渉計(1A)の測長軸と、Ｙ干渉計(1B)
の測長軸とは正確に直交するように配され、更にθ干渉
計(1C)は直交座標系ＸＹのＹ軸に関して軸対称に配置さ
れている。
【００２８】また、ステージ(10)は一組のＸリニアモー
タ(2A)によりＸ方向に移動するＸステージと、このＸス
テージ上に設けられた一組のＹリニアモータ(2B)により
Ｙ方向に移動するＹステージとから構成されると共に、
Ｙステージの端部には、Ｙ，Ｘ方向に伸びたＸ干渉計用
の反射鏡（移動鏡）(3A)とＹ及びθ干渉計用の移動鏡(3
B)とが設けられている。
タ(2A)によりＸ方向に移動するＸステージと、このＸス
テージ上に設けられた一組のＹリニアモータ(2B)により
Ｙ方向に移動するＹステージとから構成されると共に、
Ｙステージの端部には、Ｙ，Ｘ方向に伸びたＸ干渉計用
の反射鏡（移動鏡）(3A)とＹ及びθ干渉計用の移動鏡(3
B)とが設けられている。
【００２９】さて、Ｘ，Ｙ及びθ干渉計(1A)(1B)(1C)
は、移動鏡(3A)(3B)にレーザ光束を照射し、移動鏡(3A)
(3B)からの反射光束を、不図示の固定鏡からの反射光束
を同軸に合成することによって、受光面に生じる干渉縞
の変化を検出し、各々の移動鏡(3A)(3B)の位置変化に応
じた信号を作り出し、座標変換器(4) へ出力される。
は、移動鏡(3A)(3B)にレーザ光束を照射し、移動鏡(3A)
(3B)からの反射光束を、不図示の固定鏡からの反射光束
を同軸に合成することによって、受光面に生じる干渉縞
の変化を検出し、各々の移動鏡(3A)(3B)の位置変化に応
じた信号を作り出し、座標変換器(4) へ出力される。
【００３０】この座標変換器(4) は、各干渉計(1A)(1B)
(1C)の計測値に基づいて、ステージ(10)のＸ，Ｙ方向の
補正座標値及びθ回転補正量を発生し、アライメント信
号処理回路（ＡＳＣ）(5) 及びＸ，Ｙリニアモータ(2A)
(2B)に所定の駆動指令を出力するステージコントローラ
(6) へ出力させる。主制御装置(7) はＡＳＣ(5) と相互
に連絡し合い、ステージコントローラ(6) を制御する。
(1C)の計測値に基づいて、ステージ(10)のＸ，Ｙ方向の
補正座標値及びθ回転補正量を発生し、アライメント信
号処理回路（ＡＳＣ）(5) 及びＸ，Ｙリニアモータ(2A)
(2B)に所定の駆動指令を出力するステージコントローラ
(6) へ出力させる。主制御装置(7) はＡＳＣ(5) と相互
に連絡し合い、ステージコントローラ(6) を制御する。
【００３１】このステージコントローラ(6) は、補正座
標値に応じてＸ，Ｙリニアモータ(2A)(2B)を介してステ
ージを駆動し、所定位置に位置決めする。尚、θの回転
量の補正は、Ｘ，Ｙリニアモータ(2A)(2B)の一組の移動
量を微調整することによって補正する。
標値に応じてＸ，Ｙリニアモータ(2A)(2B)を介してステ
ージを駆動し、所定位置に位置決めする。尚、θの回転
量の補正は、Ｘ，Ｙリニアモータ(2A)(2B)の一組の移動
量を微調整することによって補正する。
【００３２】このような駆動テーブル(10)において、各
Ｘ，Ｙ及びθ干渉計(1A)(1B)(1C)の計測値は、各Ｘ軸，
Ｙ軸及びθ回転量の基準位置に対する計測値としなけれ
ば、各干渉計から得られたデータ自体が正確なものとな
らない。従って、各干渉計(1A)(1B)(1C)の基準位置を、
基準位置検知手段によって正確に決定する必要がある。
Ｘ，Ｙ及びθ干渉計(1A)(1B)(1C)の計測値は、各Ｘ軸，
Ｙ軸及びθ回転量の基準位置に対する計測値としなけれ
ば、各干渉計から得られたデータ自体が正確なものとな
らない。従って、各干渉計(1A)(1B)(1C)の基準位置を、
基準位置検知手段によって正確に決定する必要がある。
【００３３】図２に示すように、破線で囲んだ領域を自
在に移動するテーブルステージ(10)の座標を計測する干
渉計ユニットの原点出しを行う基準位置検知手段とし
て、駆動テーブルの基準座標上に配されたＸ，Ｙ及びθ
フォトセンサ(8A)(8B)(8C)と、これに対応するように駆
動テーブルのステージ(10)の３つの隅に設けられたＸ，
Ｙ及びθ遮光板(9A)(9B)(9C)とを備える。
在に移動するテーブルステージ(10)の座標を計測する干
渉計ユニットの原点出しを行う基準位置検知手段とし
て、駆動テーブルの基準座標上に配されたＸ，Ｙ及びθ
フォトセンサ(8A)(8B)(8C)と、これに対応するように駆
動テーブルのステージ(10)の３つの隅に設けられたＸ，
Ｙ及びθ遮光板(9A)(9B)(9C)とを備える。
【００３４】各フォトセンサ(8A)(8B)(8C)は、対応する
Ｘ，Ｙ及びθ遮光板(9A)(9B)(9C)がＸ，Ｙ及びθフォト
センサ(8A)(8B)(8C)の受光を遮った時に、信号を発し、
それを座標変換器(4) に出力するものである。
Ｘ，Ｙ及びθ遮光板(9A)(9B)(9C)がＸ，Ｙ及びθフォト
センサ(8A)(8B)(8C)の受光を遮った時に、信号を発し、
それを座標変換器(4) に出力するものである。
【００３５】従って、座標変換器(4) 内では、Ｘ及びＹ
の基準位置検知は、ステージ(10)の移動にともないＸ及
びＹ遮光板(9A)(9B)が、Ｘ及びＹフォトセンサの受光を
遮った時に、Ｘ及びＹ干渉計(1A)(1B)の計測値を例えば
零にリセットする。また、θ基準位置検知は、Ｙ遮光板
(9B)に対するＹフォトセンサ(8B)及びＹ遮光板(9B)から
予め定められた距離（ステージのＹ方向距離）に設けら
れたθ遮光板(9C)に対するθフォトセンサ(8C)の検知の
ずれを、座標変換器(4) 内部で演算し、ステージ(10)の
Ｘ−Ｙ基準座標に直交する軸に対する基準回転量を求め
る。
の基準位置検知は、ステージ(10)の移動にともないＸ及
びＹ遮光板(9A)(9B)が、Ｘ及びＹフォトセンサの受光を
遮った時に、Ｘ及びＹ干渉計(1A)(1B)の計測値を例えば
零にリセットする。また、θ基準位置検知は、Ｙ遮光板
(9B)に対するＹフォトセンサ(8B)及びＹ遮光板(9B)から
予め定められた距離（ステージのＹ方向距離）に設けら
れたθ遮光板(9C)に対するθフォトセンサ(8C)の検知の
ずれを、座標変換器(4) 内部で演算し、ステージ(10)の
Ｘ−Ｙ基準座標に直交する軸に対する基準回転量を求め
る。
【００３６】これによって、駆動テーブルをＸ方向及び
Ｙ方向に操作するだけで、リニアモータ駆動テーブルが
有するテーブルステージの高速化，高精度化等々の特徴
を損なうことがなく、駆動するテーブルの基準座標に対
する精密な原点出しが可能となる。
Ｙ方向に操作するだけで、リニアモータ駆動テーブルが
有するテーブルステージの高速化，高精度化等々の特徴
を損なうことがなく、駆動するテーブルの基準座標に対
する精密な原点出しが可能となる。
【００３７】図３は別の原点出しの構成を説明する平面
図である。図３に示すように、駆動テーブルのステージ
(30)は、図１と同様に、Ｘ，Ｙ及びθ干渉計を備えた干
渉計ユニットを有する駆動テーブルである。破線で囲ん
だ領域を自在に移動するテーブルステージ(30)の座標を
計測する干渉計ユニットの原点出しを行うため、テーブ
ルステージ(30)をＸ方向に押し当てるＸエアーシリンダ
(31A) と、テーブルステージ(30)をＹ方向に押し当てる
Ｙエアーシリンダ(31B) と、Ｙエアーシリンダと同期し
てテーブルステージ(30)をＹ方向に押し当てるθエアー
シリンダ(31C)と、これらＸ，Ｙ及びθエアーシリンダ
(31A)(31B)(31C) の対向位置に設けられた各々のＸ，Ｙ
及びθ基準ストッパ(32A)(32B)(32C) とを備える。
図である。図３に示すように、駆動テーブルのステージ
(30)は、図１と同様に、Ｘ，Ｙ及びθ干渉計を備えた干
渉計ユニットを有する駆動テーブルである。破線で囲ん
だ領域を自在に移動するテーブルステージ(30)の座標を
計測する干渉計ユニットの原点出しを行うため、テーブ
ルステージ(30)をＸ方向に押し当てるＸエアーシリンダ
(31A) と、テーブルステージ(30)をＹ方向に押し当てる
Ｙエアーシリンダ(31B) と、Ｙエアーシリンダと同期し
てテーブルステージ(30)をＹ方向に押し当てるθエアー
シリンダ(31C)と、これらＸ，Ｙ及びθエアーシリンダ
(31A)(31B)(31C) の対向位置に設けられた各々のＸ，Ｙ
及びθ基準ストッパ(32A)(32B)(32C) とを備える。
【００３８】具体的な原点出しを説明すると、例えば、
エアーシリンダの駆動を制御する制御手段（図示せず）
の指令によって、テーブルステージ(30)はＸエアーシリ
ンダ(31A) によって、Ｘ基準ストッパ(32A) に押し当て
られる。ストッパ(32A) に押し当てられ、Ｘエアーシリ
ンダ(31A) の変移が終了したことを制御手段が検知して
座標変換器に信号を送り、この時点のＸ干渉計の計測値
を予め定められた値にして、Ｘ座標の原点出しを行う。
また、Ｙについても同様に、Ｙ座標の原点出しを行う。
エアーシリンダの駆動を制御する制御手段（図示せず）
の指令によって、テーブルステージ(30)はＸエアーシリ
ンダ(31A) によって、Ｘ基準ストッパ(32A) に押し当て
られる。ストッパ(32A) に押し当てられ、Ｘエアーシリ
ンダ(31A) の変移が終了したことを制御手段が検知して
座標変換器に信号を送り、この時点のＸ干渉計の計測値
を予め定められた値にして、Ｘ座標の原点出しを行う。
また、Ｙについても同様に、Ｙ座標の原点出しを行う。
【００３９】尚、ステージの回転量θについては、Ｙと
同期してθ基準ストッパー(32C) に押し当てることによ
り、Ｙ座標（従って、Ｘ座標）に対する微小な回転量は
解消されるため、θエアーシリンダ(31C) の変移が終了
した時点で、θ干渉計の計測値を予め定められた値とし
て、θの原点出しを行う。
同期してθ基準ストッパー(32C) に押し当てることによ
り、Ｙ座標（従って、Ｘ座標）に対する微小な回転量は
解消されるため、θエアーシリンダ(31C) の変移が終了
した時点で、θ干渉計の計測値を予め定められた値とし
て、θの原点出しを行う。
【００４０】このように、ステージをエアーシリンダに
よって対向する位置に設けられた基準ストッパに押し当
てることによって、良好に原点出しを行うことができ
る。尚、各エアーシリンダの押し当てが終了したことを
エアーシリンダの変移によって決定したが、基準ストッ
パに押圧センサ等を配置して、このセンサの感知によっ
て行ってもよい。
よって対向する位置に設けられた基準ストッパに押し当
てることによって、良好に原点出しを行うことができ
る。尚、各エアーシリンダの押し当てが終了したことを
エアーシリンダの変移によって決定したが、基準ストッ
パに押圧センサ等を配置して、このセンサの感知によっ
て行ってもよい。
【００４１】以上のように本発明によれば、駆動テーブ
ルに位置検出センサを設ける機構や駆動テーブルを強制
的に移動させることのできる機構を設けることで、駆動
テーブルと駆動アクチュエータがリンク機構をなさない
駆動系における駆動テーブルの原点出しを行うことが可
能となる。尚、駆動テーブルについては、本実施例では
リニアモータのような駆動系が非接触式駆動装置のもの
を用いたが、接触式，非接触式の駆動系であってもよ
い。
ルに位置検出センサを設ける機構や駆動テーブルを強制
的に移動させることのできる機構を設けることで、駆動
テーブルと駆動アクチュエータがリンク機構をなさない
駆動系における駆動テーブルの原点出しを行うことが可
能となる。尚、駆動テーブルについては、本実施例では
リニアモータのような駆動系が非接触式駆動装置のもの
を用いたが、接触式，非接触式の駆動系であってもよ
い。
【００４２】
【発明の効果】本発明は以上説明したとおり、テーブル
のＸ方向，Ｙ方向，及び，Ｘ，Ｙ方向に直交するθ軸回
りの回転量θの３つの変移各々について、テーブル上に
予め定められた位置が基準座標上に予め定められた基準
位置に達したことを検知する基準位置検知手段と；この
基準位置検知手段から得られた検知信号が発せられた時
点の位置検出手段の検出値を、基準座標における座標値
に換算する演算手段と；を備えたものであるため、駆動
するテーブルの基準座標に対する精密な原点出しが可能
となる。
のＸ方向，Ｙ方向，及び，Ｘ，Ｙ方向に直交するθ軸回
りの回転量θの３つの変移各々について、テーブル上に
予め定められた位置が基準座標上に予め定められた基準
位置に達したことを検知する基準位置検知手段と；この
基準位置検知手段から得られた検知信号が発せられた時
点の位置検出手段の検出値を、基準座標における座標値
に換算する演算手段と；を備えたものであるため、駆動
するテーブルの基準座標に対する精密な原点出しが可能
となる。
【００４３】また、駆動テーブルの駆動系が非接触式駆
動装置であるもの、例えばリニアモータを利用した駆動
テーブルであっても、リニアモータ駆動テーブルが有す
る数々の特徴を損なうことがなく、精密な原点出しが可
能となる。即ち、テーブルのステージの高速化、高精度
化が可能である特徴を損なうことなく、精密な原点出し
が可能となる。
動装置であるもの、例えばリニアモータを利用した駆動
テーブルであっても、リニアモータ駆動テーブルが有す
る数々の特徴を損なうことがなく、精密な原点出しが可
能となる。即ち、テーブルのステージの高速化、高精度
化が可能である特徴を損なうことなく、精密な原点出し
が可能となる。
【００４４】更に、Ｘ，Ｙの基準位置検知手段として
は、テーブルのＸ，Ｙ方向の側壁の予め定められた位置
に遮光板と、Ｘ，Ｙ基準座標上の予め定められた位置に
フォトセンサーとを配し、遮光板がフォトセンサーを横
切ることを検知するものである。この場合、θ基準位置
検知手段としては、Ｘ，Ｙ何れか一方の座標において、
配置された遮光板から予め定められた距離に別の遮光板
を設け、２つの遮光板の検知のズレから、テーブルのθ
軸回りの回転量θを求めることによって、駆動テーブル
をＸ方向及びＹ方向に操作するだけで、各Ｘ，Ｙ，及
び，θの各々で、精密な原点出しが可能となる。
は、テーブルのＸ，Ｙ方向の側壁の予め定められた位置
に遮光板と、Ｘ，Ｙ基準座標上の予め定められた位置に
フォトセンサーとを配し、遮光板がフォトセンサーを横
切ることを検知するものである。この場合、θ基準位置
検知手段としては、Ｘ，Ｙ何れか一方の座標において、
配置された遮光板から予め定められた距離に別の遮光板
を設け、２つの遮光板の検知のズレから、テーブルのθ
軸回りの回転量θを求めることによって、駆動テーブル
をＸ方向及びＹ方向に操作するだけで、各Ｘ，Ｙ，及
び，θの各々で、精密な原点出しが可能となる。
【００４５】また、別の基準位置検知手段としては、基
準座標上の予め定められた位置に基準ストッパを配置
し、このストッパにテーブルを押し当てて、この押し当
て位置を基準位置とすることによって、機械的な駆動手
段を備えることによって、良好に原点出しを行うことが
できるという効果がある。
準座標上の予め定められた位置に基準ストッパを配置
し、このストッパにテーブルを押し当てて、この押し当
て位置を基準位置とすることによって、機械的な駆動手
段を備えることによって、良好に原点出しを行うことが
できるという効果がある。
【図１】本発明の駆動テーブルの一実施例の構成を説明
する平面図である。
する平面図である。
【図２】図１の原点出しの構成を説明する平面図であ
る。
る。
【図３】別の原点出しの構成を説明する平面図である。
【図４】従来の駆動テーブルの構成を模式的に説明する
平面図である。
平面図である。
(1A)(1B)(1C) …Ｘ，Ｙ，θ干渉計、 (2A)(2B) …Ｘ，Ｙリニアモータ、 (3A)(3B) …移動鏡、 (4) …座標変換器、 (5) …アライメント信号処理回路（ＡＳＣ）、 (6) …ステージコントローラ、 (7) …主制御装置、 (8A)(8B)(8C) …Ｘ，Ｙ，θフォトセンサ， (9A)(9B)(9C) …Ｘ，Ｙ，θ遮光板、 (10)(30) …ステージ、 (31A)(31B)(31C) …Ｘ，Ｙ，θエアーシリンダ、 (32A)(32B)(32C) …Ｘ，Ｙ，θ基準ストッパ、
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｂ２３Ｑ 15/00 ３０９ Ａ 17/24 Ｂ
Claims (4)
- 【請求項１】 互いに直交するＸ方向とＹ方向に沿って
テーブルを２次元的に移動させる駆動系と、前記テーブ
ルのＸ方向の位置を検出するＸ位置検出手段と、前記テ
ーブルのＹ方向の位置を検出するＹ位置検出手段と、前
記テーブルのＸ，Ｙ方向に直交するθ軸回りの回転量θ
を検出するθ検出手段とを備えた駆動テーブルにおい
て、 前記テーブル上に予め定められた第１の位置が、Ｘ基準
座標上に予め定められたＸ基準位置に達したことを検知
するＸ基準位置検知手段と、 前記テーブル上に予め定められた第２の位置が、Ｙ基準
座標上に予め定められたＹ基準位置に達したことを検知
するＹ基準位置検知手段と、 前記テーブル上に予め定められた第３の位置が、別のＸ
基準座標又はＹ基準座標上に予め定められたθ基準位置
に達したことを検知するθ基準位置検知手段と、 前記Ｘ基準位置検知手段，Ｙ基準位置検知手段，及び，
θ基準位置検知手段から得られた検知信号と、該検知信
号が発せられた時点の前記Ｘ位置検出手段，Ｙ位置検出
手段，及び，θ検出手段の検出値とから、前記Ｘ位置検
出手段，Ｙ位置検出手段，及び，θ検出手段の検出値の
各々を、Ｘ−Ｙ基準座標における座標値に換算する演算
装置とを備えたことを特徴とする駆動テーブル。 - 【請求項２】 前記駆動系は非接触式駆動装置であるこ
とを特徴とする請求項１に記載の駆動テーブル。 - 【請求項３】 請求項１又は２に記載の駆動テーブルに
おいて、 前記Ｘ基準位置検知手段が、 前記テーブル上の予め定められた第１の位置に設けられ
たＸ位置検知用遮光板と、 予め定められたＸ基準位置に設けられ、前記遮光板が該
Ｘ基準位置に達した場合に信号を発するＸ基準位置検知
用センサとからなり、 前記Ｙ基準位置検知手段が、 前記テーブル上の予め定められた第２の位置に設けられ
たＹ位置検知用遮光板と、 予め定められたＹ基準位置に設けられ、前記遮光板が該
Ｙ基準位置に達した場合に信号を発するＹ基準位置検知
用センサとからなり、 前記θ基準位置検知手段が、 前記テーブル上の予め定められた第３の位置に設けられ
たθ位置検知用遮光板と、 予め定められた別のＸ基準位置又はＹ基準位置に設けら
れ、前記遮光板が該別のＸ基準位置又はＹ基準位置に達
した場合に信号を発するθ基準位置検知用センサとから
なり、 前記演算手段が、 前記θ基準位置検知用センサからの検知信号と、前記Ｘ
基準位置検知手段又はＹ基準位置検知手段からの検知信
号とのズレから、前記テーブルのＸ−Ｙ基準座標に直交
する軸に対する基準回転量を求める基準回転量演算手段
を含むことを特徴とする駆動テーブル。 - 【請求項４】 請求項１又は２に記載の駆動テーブルに
おいて、 前記Ｘ基準位置検知手段が、 基準座標上に予め設けられたＸ基準ストッパに前記テー
ブルのＸ方向側縁を押し当てるＸ方向駆動手段と、 前記Ｘ方向側縁がＸ基準ストッパに押し当ったことを検
知するＸ押当検知手段とからなり、 前記Ｙ基準位置検知手段が、 基準座標上に予め設けられたＹ基準ストッパに前記テー
ブルのＹ方向側縁を押し当てるＹ方向駆動手段と、 前記Ｙ方向側縁がＹ基準ストッパに押し当ったことを検
知するＹ押当検知手段とからなり、 前記θ基準位置検知手段が、 基準座標上の前記Ｘ基準ストッパ又はＹ基準ストッパと
予め定められた距離隔てて設けられたθ基準ストッパに
前記テーブルのＸ方向側縁又はＹ方向側縁を押し当てる
θ方向駆動手段と、 前記Ｘ方向側縁又はＹ方向側縁がθ基準ストッパに押し
当ったことを検知するθ押当検知手段と、 前記演算手段が、 前記θ押当検知手段の検知信号と、前記Ｘ押当検知手段
又はＹ押当検知手段の検知信号とによって、前記回転量
検出手段の検出値を予め定められた基準回転量とする回
転量リセット手段を含むことを特徴とする駆動テーブ
ル。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15642994A JPH085767A (ja) | 1994-06-16 | 1994-06-16 | 駆動テーブル |
| US08/935,445 US5850280A (en) | 1994-06-16 | 1997-09-23 | Stage unit, drive table, and scanning exposure and apparatus using same |
| US09/317,854 US6211946B1 (en) | 1994-06-16 | 1999-05-25 | Stage unit, drive table, and scanning exposure apparatus using the same |
| US09/327,621 US6721034B1 (en) | 1994-06-16 | 1999-06-08 | Stage unit, drive table, and scanning exposure apparatus using the same |
| US11/033,130 US7202936B2 (en) | 1994-06-16 | 2005-01-12 | Stage unit, drive table, and scanning exposure apparatus using same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15642994A JPH085767A (ja) | 1994-06-16 | 1994-06-16 | 駆動テーブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH085767A true JPH085767A (ja) | 1996-01-12 |
Family
ID=15627560
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15642994A Pending JPH085767A (ja) | 1994-06-16 | 1994-06-16 | 駆動テーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085767A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6535290B1 (en) | 1998-04-04 | 2003-03-18 | Johannes Heidenhain Gmbh | Optical position measuring device with a beam splitter |
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- 1994-06-16 JP JP15642994A patent/JPH085767A/ja active Pending
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