JPH08508992A - 液体の蒸発 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 気相化学反応を実施する前に、分解しやすい液相有機化合物を高められた圧力において第２化合物の補助により蒸発させる。本発明の１態様においては、蒸発は蒸発装置（３０）（図２）内で２化合物の混合物を共蒸発させることにより行われる。他の態様においては（図５−７）、第１化合物（１４６，１４８）は高温ガス流に注入され、霧化されて液滴となり、次いでこれらがガス流内で蒸発する。第２化合物（１６０，１６２）は霧化プロセスを助成するために、および／または霧化した第１化合物液滴を高温の表面から掃去するために用いられる。さもなければ液滴がその表面と接触した状態に留められた場合に第１化合物が分解を受けやすい。

Description

【発明の詳細な説明】 液体の蒸発 本発明は、プロセスの進行中に化学反応を行う液相有機化合物の蒸発を伴う化 学的方法に関するものである。本発明は、大気圧においては十分に蒸発しうるが 、高められた圧力において蒸発が行われた結果化合物の沸点（バブルポイント） が上昇する場合には分解しやすくなる有機化合物に、特に利用される。 たとえばトリクロロエチレンをその沸点が１５０℃を越えるほど高められた圧 力で蒸発させる場合、分解生成物が形成され、これらが熱交換面の汚染を生じ、 これにより性能（蒸発効率）を損なう。またこのようなトリクロロエチレンの分 解は不都合な化合物種の形成をもたらし、これらが蒸発し、蒸発したトリクロロ エチレンを利用するプロセス中へ進入する。 トリクロロエチレンは、それと化学量論的過剰量のＨＦをフッ素化触媒の存在 下で反応させることにより１，１，１，２−テトラフルオロエタンなどの化合物 を製造する際に用いられる。この方法が高められた圧力で実施される場合（これ はその方法を実施するためのプラントを小型に作成しうるため有利である）、ト リクロロエチレンの十分な蒸発を達成することにおいて問題が生じる。 本発明の第１観点によれば、液相から液相形態の純粋な化合物を分解しやすく させる条件下で蒸発した第１有機化合物を伴う化学反応を実施するための方法で あって、液相からの第１化合物の蒸発が第２化合物を用いて第１化合物の分解を 抑制する様式で行われることを特徴とする方法が提供される。 化学反応は、たとえばフッ化水素を用いるトリクロロエチレンのフッ素化の場 合のように、両化合物を反応体として伴うものであってもよい。しかし本発明者 らは、化学反応が第２化合物を反応体（一次その他）として伴わないものである 可能性を排除しない。たとえば化学反応は、蒸発したクロロカーボン類を異性化 触媒の存在下で異性化することを伴うもの、たとえばＨＣＦＣ １２３ａを異性 化してＨＣＦＣ １２３を製造するものであってもよい。 本発明は本明細書に定めるすべての観点において、ハロカーボン（この語は本 明細書において、水素を含むハロゲン化された化合物を含めて用いられる）、よ り詳細にはクロロカーボン類、たとえばクロロエテン類、たとえばトリクロロエ チレンおよびテトラクロロエチレン、ならびにクロロエタン類、たとえば１，１ ，１，２−テトラクロロエタンおよび１，１，２，２−テトラクロロエタンの蒸 発に特に利用される。 本明細書において用いる“分解生成物”という語は、当該化学反応に関して目 的としない有機化合物誘導体をその範囲に包含すると解すべきである。たとえば １，１，２，２−テトラクロロエタンの場合、化学反応は１，１，２−トリクロ ロ−２−テトラフルオロエタンに変換するものであろうが、液相の状態で高温下 に置かれた際には（たとえば高温の金属表面と接触した結果として）トリクロロ エチレンに変換しやすい可能性があり、この場合には本発明の目的に関してトリ クロロエチレンは１，１，１，２−テトラクロロエタンの分解生成物とみなすこ とができる。 第１化合物の分解抑制に用いる際、第２化合物は液相または気相のいずれであ ってもよい。前者の場合、分解抑制は第１化合物を第２化合物との混合物として 共蒸発（ｃｏ−ｖａｐｏｒｉｓｉｎｇ）させることにより実施しうる。 本発明の第２観点によれば、高められた圧力において化学反応を実施し、その 際、反応体の１つを形成する、かつ高められた圧力条件下で蒸発させた際に分解 しやすい液相有機化合物を該条件下で蒸発させ、そして蒸発した化合物を少なく とも１種の他の反応体と気相で、反応を進行させうる条件下に反応させることを 含む方法であって、該有機化合物の沸騰特性を改質し、従って蒸発を低い温度で 行わせることができ、これにより分解生成物の生成を阻止し、または実質的に減 少させることを特徴とする方法が提供される。 好ましくは、有機化合物の沸騰特性は反応体の１つを形成しうる他の化合物と の混合物として共蒸発させることにより改質される。有機化合物に添加される化 合物は、最低沸騰性の共沸混合物（ｍｉｎｉｍｕｍ ｂｏｉｌｉｎｇ ａｚｅｏ ｔｒｏｐｅ）を形成しうる混合物を与えるものであることが好ましい。一般に第 ２化合物は第１化合物より低い沸点をもつであろう。 本発明の他の観点によれば、高められた圧力においてクロロカーボン化合物の フッ素化を実施し、その際、化合物自体の沸点がその沸点において蒸発させた場 合に化合物自体の蒸発に付随して該化合物の分解を生じるものである高められた 圧力条件下で該化合物を蒸発させ、そして蒸発した化合物をフッ素化剤と気相で 、反応を進行させうる条件下に反応させることを含む方法であって、フッ化水素 をフッ素化剤として選び、クロロカーボン化合物とフッ化水素の混合物を共蒸発 させ、これによりクロロカーボン化合物／ＨＦ混合物の沸騰温度はその蒸発に付 随するクロロカーボン化合物の分解が実質的に、より少ないものとなることを特 徴とする方法が提供される。 好ましくはクロロカーボン化合物はクロロエテン類、たとえばトリクロロエチ レンもしくはテトラクロロエチレン、またはクロロエタン類、たとえば１，１， １，２−テトラクロロエタンおよび１，１，２，２−テトラクロロエタンである 。 本発明のさらに他の観点によれば、ハロカーボンをその蒸気相で伴う化学反応 を実施し、その際、化合物自体の沸点がその沸点において蒸発させた場合に化合 物自体の蒸発に付随して該化合物の分解を生じるものである高められた圧力条件 下で、ハロカーボンを反応前に蒸発させることを含む方法であって、ハロカーボ ンをフッ化水素との混合物として共蒸発させ、これによりハロカーボン化合物／ ＨＦ混合物の沸騰温度は蒸発に付随するハロカーボン化合物の分解が実質的に、 より少ないものとなることを特徴とする方法が提供される。 一般に分解の減少は少なくとも５０重量％であり、すなわち生成する分解生成 物の量が純粋なハロカーボンを前記の高められた圧力条件下で蒸発させた場合に 起こるであろう量より少なくとも５０重量％少ない。 １態様において化学反応は、ハロカーボンの異性化、たとえば１，２−ジクロ ロ−１，２，２−トリクロロエタン（ＨＣＦＣ １２３ａ）をその蒸気相で１， １−ジクロロ−２，２，２−トリクロロエタン（ＨＣＦＣ １２３）に異性化す るものからなってもよい。 本発明の他の態様において化学反応は、クロロカーボン類、たとえばクロロエ タン類またはクロロエテン類のフッ素化からなるものであってもよく、この場合 クロロカーボン類の蒸発はＨＦとの共蒸発により行われ、ＨＦはフッ素化剤をも 構成しうる。たとえばクロロエテン類はトリクロロエチレンからなり、反応はト リクロロエチレンのフッ素化を伴うものである。高められた圧力におけるトリク ロロエチレンの蒸発により普通は分解生成物の生成が起こるが、該クロロエチレ ンをＨＦと混合して共蒸発させると、ＨＦを少量添加した場合ですら、高められ た圧力条件下でクロロエチレンの有意の分解なしにクロロエチレンを効果的に蒸 発させうるほど、沸点に対して著しい効果があることを本発明者らは見出した。 クロロエテン類がトリクロロエチレンからなる場合、フッ素化が行われる高め られた圧力は一般にトリクロロエチレンの沸点が１５０℃、より好ましくは１８ ０℃であるものより高い。通常、トリクロロエチレンはそれが導入されるプロセ ス流の温度より若干低い温度で蒸発させられるであろう。これには、こうして導 入されたトリクロロエチレンがプロセス流に対して冷却作用をもつという利点が ある。 以上の本発明の特定の観点は、主として液相有機化合物を蒸発させることに関 するものであり、次いでこれにより生成した蒸気をそのまま、蒸発した形態の化 合物を利用するプロセスに供給しうる。以下の本発明の観点は、有機化合物の液 相滴が高温の表面と接触した状態に留められた際に化合物が分解しやすい場合、 有機化合物をそれが利用されるプロセスにその液相形態において、高温の表面付 近で高温ガス流と接触させることにより該化合物を蒸発させる状況において、供 給する方法に関するものである。 特に以下の本発明の観点は、高温ガス流と液相であるとき高温の表面に接触し た状態に留められた場合に分解しやすい有機化合物との接触を伴う化学的方法に 関するものであって、高温ガス流が貫流する導管に有機化合物をその液相で、液 体が霧化し（ａｔｏｍｉｓｅ）、こうして高温ガス流との接触により形成された 液滴が蒸発する様式で注入することを含む方法に関するものである。 ガス流および／またはガス流中に存在する気体化合物は、ガス流により加熱さ れた表面と液相の有機化合物との接触の結果起こる有機化合物の分解を阻止する ために利用しうる。 このようなガス流および／または気体化合物の利用は種々の形態をとることが できる。 本発明の１観点によれば、有機化合物を液相流として気相流の第２化合物と共 に、高温ガス流が貫流する導管に注入し、これにより第１有機化合物の少なくと も一部を注入流間の相互作用により霧化し、こうして形成された液滴を高温ガス 流との接触により蒸発させる。 たとえば液相有機化合物の霧化は、少なくとも一部は注入流間の相互作用によ り行わせることができる。高温ガス流と注入された液相流との相互作用も、霧化 を起こす作用をする可能性がある。 この観点は、たとえば高温ガス流の処理量が、たとえば全負荷条件と、処理量 が全負荷下での処理量より実質的に減少した、たとえば７５％以下、しばしば５ ０％以下である下降（ｔｕｒｎ−ｄｏｗｎ）条件との間で変動する状況に利用し うる。このような場合、下降条件での処理量は高温ガス流による注入液相の効果 的な霧化を保証するのには不十分である可能性がある。従って注入流間の相互作 用を利用して、下降条件下での霧化における効率の損失を補償することができる 。 気相流として注入される第２化合物は、プロセスガス流を形成する成分の１つ であることが好ましい。たとえばフッ素化法においては、注入される気相流はフ ッ化水素からなるものであってもよい。 本発明の他の観点においては、加熱された表面と液滴が接触するのを実質的に 排除し、または少なくとも、有意の分解が発現しうる前に液体の蒸発が起こる程 度に、加熱された表面と液滴との接触の滞留時間を短縮するように、高温ガス流 および／または気相化合物を制御することができる。 これはたとえば、有機化合物を液相流として高温ガス流が貫流する導管に注入 し、この第１有機化合物の少なくとも一部を高温ガス流との相互作用により霧化 し、こうして形成された液滴を高温ガス流との接触により蒸発させ；そして第２ 化合物を気相流として第１化合物の注入位置の下流において導管に注入して、第 １化合物の注入流に従って起こる圧力降下を補償し、これにより第１化合物の注 入位置のすぐ下流において液滴が導管壁に沈積するのを阻止することにより満た すことができる。 さらに発展させた場合、滞留時間の短縮は、加熱された表面を“掃引（ｓｗｅ ｅｐ）”し、これによりそこに沈降する液滴を取り除いてそれらをガス流に再懸 濁させるように、ガス流および／または気体化合物を制御することにより満たす ことができる。 従って本発明のこの発展によれば、高温ガス流と、液相であるとき予め定めら れた温度以上の高温の表面に接触した状態に留められた場合に分解しやすい有機 化合物との接触を伴う化学的方法であって： 有機化合物を高温ガス流が貫流する導管に注入することによりそれを霧化 し、導管壁（１または２以上）は少なくとも一部が高温ガス流により少なくとも 前記の予め定められた温度に加熱され； こうして形成された液滴を、液滴が高温ガス流により注入位置の下流へ輸 送されるのに伴って高温ガス流との接触により蒸発させ；そして 気相成分を導管に有機化合物の注入位置の下流位置において導入し、これ により導管壁（１または２以上）における液滴沈積を減少させ、または阻止する ための境界層を導管壁（１または２以上）に形成させる ことを含む方法が提供される。 境界層を発現させるために用いられる気体成分の一部は、主流から方向変換さ せて前記の下流位置において導管に再導入される高温ガス流から構成されてもよ い。あるいは、またはさらに気体成分は、それ自体が後続の有機化合物との化学 反応に関与しうる補助ガスを含むことができる；たとえば化学反応がハロカーボ ンのフッ素化を伴うものである場合、補助ガスはＨＦを含むことができる。 本発明の他の観点によれば、液相有機化合物をプロセスガス流に導入するため の下記を含む液体注入装置が提供される： プロセスガス流のための導管に連結するか、またはその一部を形成する導管セ クション； 導管セクション内に収容され、スロート（ｔｈｒｏａｔ）セクションおよびス ロートセクションの下流のディフューザー（ｄｉｆｆｕｓｅｒ）セクションを含 むベンチュリ集成装置（Ｖｅｎｔｕｒｉ ａｒｒａｎｇｅｍｅｎｔ）； プロセスガス流を、ベンチュリ集成装置内を通過する第１流、およびベンチュ リ集成装置の少なくとも一部を迂回する第２流に分配するための装置； 液相化合物をスロートセクションまたはそれに近接した位置においてベンチュ リ集成装置に注入し、これにより液体を霧化して液滴を生成させ、これらをプロ セスガス流により蒸発させるための複数のノズル；ならびに ベンチュリ集成装置の表面上にガスの移動層を形成し、これによりそれらの表 面へ向かって移行する未蒸発液滴が表面と接触するのを阻止するように、第２流 をノズルの下流の位置においてベンチュリ集成装置に導入するための装置。 本発明の他の観点および特色は本発明の具体的な態様についての以下の記載お よび請求の範囲から明らかになるであろう。 添付の図面を参照して本発明の種々の観点を以下に記載するが、これらは例示 にすぎない： 図１は、本発明者らの先の欧州特許出願公開第４４９６１７号明細書に記載さ れる２段階法における１，１，１，２−テトラフルオロエタンの製造を説明する 模式図であり（その明細書の内容全体を本明細書に参考として引用する）； 図２は、トリクロロエチレンを蒸発させるための装置の模式図であり；ならび に 図３は、トリクロロエチレンおよびフッ化水素に関する液体／蒸気平衡図であ る。 図４は、図１のものと同様な模式図であり； 図５は、図４の２段階法を実施する反応器間に伸びた導管の一部の縦断面にお ける模式図であり、反応器間を通過する高温ガス流に液相トリクロロエチレンを 導入するための液体噴霧集成装置の１形態を示し； 図６は、図５に示した蒸発ユニットの横断面図であり；ならびに 図７は、インジェクターノズルを示す拡大図である。 図１に関しては、１，１，１，２−テトラフルオロエタン（１３４ａ）の製造 が、第１反応器１０−−ここではフッ化水素による１，１，１−トリフルオロ− ２−クロロエタン（１３３ａ）の蒸気相フッ素化がフッ素化触媒の存在下で行わ れ、１３４ａ、塩化水素および未反応出発物質を含有する生成物が形成される− −、および第２反応器１２−−ここへ反応器１０に由来するガス流が、ライン１ ４を経て導入される蒸発したトリクロロエチレンと共に供給される−−において 実施され、その結果反応器１２においてフッ素化触媒の存在下で蒸気相反応が起 こり、１３３ａ、１３４ａ、塩化水素およびトリクロロエチレンを含有する生成 物が生成する。反応器１２からの生成物は、１３４ａおよび塩化水素を１３３ａ 、未反応フッ化水素およびトリクロロエチレンから分離する処理がなされ、１３ ３ａ、 未反応フッ化水素およびトリクロロエチレンを含む後者の画分はライン１６を経 て第１反応器１０へ再循環され、ここへさらにフッ化水素がライン１８を経て補 給される。反応器１２における反応は一般に、反応器１０から出るガス流の温度 より低い温度で実施され、従ってガス流をライン１４に沿ったある地点で冷却す る必要があり、従ってライン１４はこのための冷却器を含むであろう。 図２に関して、トリクロロエチレンの蒸発を行うための装置は、サーモサイフ ォンボイラー（ｔｈｅｒｍｏｓｉｐｈｏｎ ｂｏｉｌｅｒ）３０、およびボイラ ー３０からの沸騰液体／蒸気を受容するために接続された脱離容器（ｄｉｓｅｎ ｇａｇｅｍｅｎｔ ｖｅｓｓｅｌ）３２を含む。容器３２内において液相と蒸気 相を脱離させ、液相はライン３４を経てボイラー３０の底部へ戻され、蒸気相は ライン３６を経て反応器システムへ補給される。液体の再循環は、落下脚（ｆａ ｌｌｉｎｇ ｌｅｇ）内の分離した液体とボイラー３０を通って上昇する沸騰液 体／蒸気混合物との密度差により誘発される。再循環液相はライン３８を経て補 給される新鮮なトリクロロエチレンと混和され、静電ミキサー（ｓｔａｔｉｃ ｍｉｘｅｒ）４０内で混合され、そしてジャケット４４を貫通する垂直管４２内 を通過することによりさらに加熱される。適切な加熱媒質、たとえば適切な温度 で凝縮する水蒸気がライン４６、４８を経てジャケット４４内を循環する。 トリクロロエチレンを沸騰温度が１５０℃以上またはより高い温度（たとえば １８０℃以上）である高圧において蒸発させると分解生成物が形成され、これら がボイラー３０の熱交換面を汚染させる。これらの分解生成物の形成速度は、蒸 発温度が上昇するのに伴って上昇する。有意量の分解生成物を生成させずにトリ クロロエチレンを蒸発させるという課題は、この化合物の蒸発を無水フッ化水素 との混合物として行うことにより達成される。ＨＦの存在はトリクロロエチレン を蒸発させうる（たとえば６絶対バール（ｂａｒａ）以上の圧力において）温度 の降下に有効であることが見出された。これは、普通はトリクロロエチレンをそ れが分解しやすい温度に加熱することが要求される圧力条件で蒸発させなければ ならない場合に、ＨＦの存在がより低い温度で有意の分解生成物の生成なしに蒸 発させるのを可能にすることを意味する。さらに、ＨＦが存在するだけでトリク ロロエチレンが分解生成物に分解するのも阻止されると思われる。 ＨＦもライン５０を経てボイラーに補給され、静電ミキサー５２により進入ト リクロロエチレンと密に予備混合される。次いで得られた混合物は脱離容器３２ から戻される液相と混合用Ｔ継手５４内で混和され、混和された流れはボイラー ３０により用いられる加熱流体との熱交換関係に入る前に静電ミキサーセクショ ン４０内で混合される。一般に脱離容器３２からボイラーへの液相混合物の再循 環速度（単位時間当たりの質量）は、蒸発速度の５−１０倍のオーダーである。 ボイラー３０の底部セクションは、ボイラーへの液体の円滑な進入を促進するた めに円錐形の形状である。 ＨＦが存在するとボイラーが作動する温度を降下させうることは理解されるで あろう。トリクロロエチレンおよびＨＦ成分を十分に混合させることが重要であ る。なぜならば、混合した成分の共蒸発に際して液体組成物は蒸気相と比較して トリクロロエチレンに富むようになり；その結果、成分混合が不完全であれば供 給流の一部はＨＦが著しく減少する可能性があり、そのためこの低温での操作に 際してトリクロロエチレンの蒸発が停止するからである。 共蒸発法に用いられる無水ＨＦの量は広範に変更しうる。液相トリクロロエチ レン／ＨＦ混合物中に存在するＨＦの割合が１重量％未満、たとえば０．１重量 ％程度の低さであっても、抑制効果は極めて顕著であることが観察されているか らである。ＨＦをトリクロロエチレンに導入する効果は、８．６絶対バールの圧 力についてのトリクロロエチレン／ＨＦの、液体／蒸気平衡を示す図３に説明さ れる。曲線ＡおよびＢはそれぞれ液体および蒸気の相を表す。ＨＦの完全な不在 下では、トリクロロエチレンの沸点は１８１．３℃である。しかし少量のＨＦの 添加ですら（１重量％未満）、沸点に著しい影響を及ぼすことが分かる。たとえ ば１４０℃の温度で、実質量のトリクロロエチレンが蒸気相中に存在する；この 温度でのトリクロロエチレンの蒸発は分解生成物の形成を著しく抑制する。分解 の危険性が実質的に排除されるほか、結果的にＨＦの添加により保証される蒸発 温度の低下はライン１４へ導入するための、より低温の蒸気をもたらし、これは 反応器１０からのプロセス流の冷却を助成し、これによりライン１４の冷却器に 要求される冷却効率が低下する。 定常状態の操作に際して、ライン３８および５０を経て導入されるトリクロロ エチレンおよびＨＦの量は、トリクロロエチレンおよびＨＦの液相混合物を蒸発 させるために望まれる温度に対応する、蒸気相曲線Ｂ上の点に対応するように選 ばれる。 脱離容器から得られる蒸気は、図１に関して記載したフッ素化プロセスに利用 される。この蒸気中にＨＦが存在するのはもちろん許容される。それはフッ素化 プロセスに用いられる反応体の１つを形成し、ＨＦが液相混合物の実質部分また は主部分を形成する場合ですら共蒸発プロセスを実施しうるので、この経路によ り導入されたＨＦはこのプロセスへのＨＦ補給材料の補給手段となりうるからで ある。しかし図１のプロセスにおいては通常、反応器１２から反応器１０へ通過 するプロセス流中に既に実質量のＨＦが存在し、プロセスのこの時点で追加のＨ Ｆをプロセスに補給する必要はない。従ってトリクロロエチレンとの共蒸発に用 いられるＨＦの量は最小であって、トリクロロエチレン／ＨＦ混合物中１重量％ 未満でよい。 図２に示した共蒸発を行うための具体的な熱交換装置は、採用しうる多数の適 切なデザインのうちの１つにすぎない。他のデザインは当業者に自明であろう； たとえば図２に示した別個の脱離容器の代わりに、脱離容器がサーモサイホンリ ボイラー（ｔｈｅｒｍｏ−ｓｉｐｈｏｎ ｒｅｂｏｉｌｅｒ）の一体部品を形成 してもよい。あるいはサーモサイホンリボイラーの代わりに、ケトル型ボイラー 内で共蒸発を行ってもよい。熱交換装置がいかなる形態をとる場合でも、液相の 沸騰成分の効果的な混合が重要であること、従って良好な混合が保証されるよう に装置を設計する必要があることは理解されるであろう。これを達成するために 要求される必要な設計手段は当業者に周知である。たとえば管側面上の加熱媒質 として水蒸気を用いるチューブ−イン−シェル（ｔｕｂｅ−ｉｎ−ｓｈｅｌｌ） デザインを用いるケトルドラム装置の場合、装置の長手に沿った種々の位置で複 数のノズルを経てシェル内に液相混合物を導入し、かつ未蒸発トリクロロエチレ ンに富む液相を（蒸気から脱離したのち）トリクロロエチレン／ＨＦ供給材料中 へ再循環するためのポンプ式再循環ループを用いることによって良好な混合を達 成しうることを本発明者らは見出した。一般にポンプ式再循環速度（単位時間当 たりの質量）は蒸発速度の５−１０倍のオーダーである。 以上にトリクロロエチレンの蒸発に関して本発明を説明したが、前記の方法は 分解しやすい他の化合物を前者の化合物の揮発性を実質的に増大させうる他の化 合物（１種または２種以上）と共蒸発させることにも適用しうる；特に適切な化 合物の組み合わせは、トリクロロエチレン／ＨＦ混合物（図３）のものと一般に 類似する液体−蒸気平衡図をもつ最低沸騰性の共沸混合物を形成するものである 。そのような組み合わせの１つは１，１，２，２−テトラクロロエタンおよびＨ Ｆである。 次いで図４に示したプロセスに関しては、このプロセスは一般に図１に関して 記載したものと同じであり、同様な構成部品は同じ参照番号であって、ただし接 頭字“１”を前に置く。反応器１１０、１１２は導管１１４で連結されている。 反応器１１２内で行われる反応は、反応器１１０内で行われる反応より低い温度 で実施され、従って反応体を反応器１１２へ導入する前に冷却器１１５で若干冷 却する必要がある。さらに、比較的低温のトリクロロエチレン蒸気を反応器１０ からの高温ガス流（一般に３３０℃のオーダーの温度）と混合することにより、 冷却器１１６に要求される冷却入力を減少させることができる。本発明のこの観 点においては、トリクロロエチレンを反応器１１０からの高温ガス状生成物流と 混合する前に蒸発させる代わりに、少なくとも１００℃、一般に１００−１５０ ℃のオーダーの液相トリクロロエチレンを導管１１４に注入することにより、導 管１１４内を通過する高温ガス流にトリクロロエチレンを添加する。こうしてト リクロロエチレンは高温ガス流により霧化されて液滴となり、次いで蒸発し、か つ比較的低温の液体トリクロロエチレンは高温ガス流を反応器１１２へ進入する 前に冷却させるのを助成する。液体トリクロロエチレンの粘度および表面張力を 低下させ、これにより霧化を助成し、一方ではその密度を低下させ、従って一定 の質量流速（ｍａｓｓ ｆｌｏｗ ｒａｔｅ）につき注入流速度を高めるために 、液体トリクロロエチレンをプロセスガス流に導入する前に予熱することが好ま しい。 図５に関して、導管１１４は液体トリクロロエチレンの噴霧および蒸発が行わ れる蒸発ユニット１２０を含む。液体トリクロロエチレンを導管１１４に単に注 入すると、分解が起こる実際の危険性がある。導管表面は比較的高温であり、実 質的に完全なトリクロロエチレンの蒸発が達成されなければ、液体トリクロロエ チレンはそれらの表面に沈降し、分解を受けるからである。 蒸発ユニット１２０は、環状ハウジング１２４、ならびに連続導管セクション １１４Ａ、ＢおよびＣ間をクランプ留めした支持フランジ１２６により、導管セ クション１１４Ａ内に据え付けられたベンチュリ集成装置１２２を含む。このベ ンチュリ集成装置２２は、ベンチュリスロート１３２へ導く、外側へフレアした 部分１３０を定める上流セクション１２８、中間セクション１３４、および下流 セクション１３６を含み、セクション１３４および１３６はプロセスガスの流れ 方向へ漸増する断面のものである。上流セクション１２８は上流導管セクション １１４Ａの内径より小さい外径をもち、従ってプロセスガスの一部は主流から方 向変換して環状ギャッブ１３８を通り、上流セクション１２８の外側へ流れる。 残りのプロセスガスはベンチュリスロート１３２を貫通して圧力降下およびこれ に付随する速度上昇を生じる。環状ハウジング１２４は多数の開口１４０（図６ 参照）を備えた形で形成され、これを通ってプロセスガスはセクション１３４お よび１３６の外側の導管セクション１１４Ｂに流入しうる。 セクション１３４と１３６は、これら２セクション間の円滑な移行が得られる ようにジョイント１４２により連結される。セクション１３４はベンチュリスロ ート１３２のすぐ上流に位置し、液相トリクロロエチレンの液滴が沈降して高温 の金属上に留められた場合に分解する傾向を示すのは、この領域においてである 。これを克服するために、プロセスガスの層をセクション１３４の表面に発生さ せる。これは、セクション１３４の壁に軸方向および円周方向へ分布した多数の 孔１４４（たとえばレーザーで開けた孔）を形成し、方向変換したガス流をこれ によりこの位置でベンチュリ集成装置に再進入させることにより達成される。孔 １４４は三角形のピッチをもつアレイとして配列することができ、それらの軸が セクション１３４の内表に境界様のガス層を形成するのを助成するように斜めに 伸びた状態で配向される。こうして、セクション１３４の内表に沈降しようとす る液滴は主流中へ掃き戻される。図示した態様においては、孔１４４はセクショ ン１３４に限定されている；しかし場合により孔のアレイを導管セクション１１ ４Ｂに沿ってさらに広げる必要性がありうるのは自明であろう。主流から方向変 換 した残りのガスはいずれも、フランジ１２６付近に位置する開口１４５を経て主 流と再合流する。 導管１１４に導入される液相成分は、環状通廊（ａｎｎｕｌａｒ ｇａｌｌｅ ｒｙ）１５０（図７参照）に導く半径方向通路１４８と位置定めしてハウジング １２４に接続された入口１４６（図５および６参照）を経て加圧下に供給される 。通廊１５０は、図７に示したそれぞれの形状をもつ一組の等角度間隔を置いた ノズル１５２に供給する。液体供給ノズル１５２の個数は個々のプロセス条件に 依存するであろう；一般に２０のオーダーの個数があり、通廊１５０から供給さ れる液体がノズル１５２間に実質的に均一に分布するように、等間隔を置く。そ れぞれのノズル１５２は、環状ハウジング１２４のそれぞれの内腔に固定された （たとえばろう付けにより）本体１５４を含み、液体がそこを通って排出される 狭い開放末端付き円筒形セクション１５６へ導く円錐形断面１５４を備えている 。セクション１５６は、ベンチュリスロート１３２内へ開いた通路１５８内にク リアランスを備えて伸びている。セクション１５６は、スロート１３２の内表の 半径方向外側の位置で終わっており、従ってセクション１５６から排出される液 体は、それがベンチュリスロート１３２に進入する前に通路１５８の境界内の小 ギャップを移動しなければならない。 のちに明らかになる理由で、ノズル１５２による液体注入に付随して各ノズル 位置においてガス（トリクロロエチレンのフッ素化を伴うプロセスの場合にはＨ Ｆが好都合である）を注入する。このガスは、スロートセクション１３２と同軸 の環状通廊１６４に導く通路１６２と位置定めしてハウジング１２４に連結され た入口１６０により導入される。通廊１６４に進入するガスは、ノズル１５２に 伴う通路１５８間に実質的に均一に分布し、ノズル本体と通路１５８の間の環状 クリアランスギャップを経てスロートセクション内へ通過する。こうして、ガス および液体は並流（ｃｏ−ｃｕｒｒｅｎｔ）方式でスロートセクション１３２に 進入する。こうして導入されるガスは、その密度を低下させるために予熱するこ とが好都合であり、これにより一定の質量流速につきその排出速度を高め、かつ ノズルおよび環状通廊の寸法を最大限に利用し、従って屑による閉塞を生じにく くすることができる。ガスの排出速度は、液体とガス間の“剪断作用”により支 配される霧化の効率に関して重要である。 通路１５８を経てスロートセクション１３２内へガスを排出させるほか、ガス は各ノズル１５２のすぐ下流にそれぞれ位置し、かつそれと軸が一致する等角度 間隔を置いた一連の出口１６６をも通ってスロートセクション１３２内へ排出さ れる。これらのノズルへのガスの供給は入口１６０を経て供給されるガスに由来 するか、またはそれは独立したものに由来してもよい；たとえば図示された態様 においてそれは、ギャップ１３８を経てベンチュリ集成装置の周りに方向変換し たプロセスガス流から放出され、主バルクガス流とベンチュリスロートに存在す る減圧との間で形成される圧力差により、オリフィス１６６を通って押し出され る。 液体の霧化はプロセス操作条件に応じて２種類のメカニズムのうち一方または 両方により達成される。プロセスがプロセスガス処理量の下降した低負荷条件下 で作動している場合、霧化は主として、ノズル１５２を通って排出される並流液 体とノズル周囲のクリアランスギャップを通って排出されるガスとの剪断効果に 起因する。負荷が増大し、導管１１４を貫流するプロセスガスの処理量が増加す るのに伴って、“クロスフロー（ｃｒｏｓｓ−ｆｌｏｗ）”剪断効果、すなわち 液体注入方向に対して法線方向のガスの流れが霧化プロセスの有意のメカニズム になる。従って液体の液滴サイズおよび分散形態は、最初は主として並流剪断効 果により支配され、負荷の増大に伴って主として“クロスフロー”剪断効果によ り支配される。霧化を生じる剪断型メカニズムの利用により、加圧注入によるシ ステムの物理的空間要件を実質的に低下させることができる。 実際には通路１５８を通して連続的にガスを注入するのが好都合である。オペ レーターによる介入なしに操作条件の変更を満たすことができるからである。こ うして、負荷条件が低下しつつある場合、導管１１４を通るプロセスガス流量の 低下（従って“クロスフロー”霧化効率の低下）の結果として生じる霧化効率の 損失は、通路１５８を経て導入されるガスから得られる並流霧化により自動的に 補償しうる。 ノズルの数、配置および寸法の関係は一般にプロセス操作条件に依存するであ ろう。実際にはノズルは、プロセスガス（および通路１５８を経て供給されるガ ス）との密な混合により得られるエンタルピーによって確実に蒸発させる必要性 と一致して、当該プロセスに適した中間的な粒度および粒度分布の液滴が生成す るように通常は設計されるであろう。通路１５８を経て供給されるガスも、特に プロセス下降条件においては液滴の蒸発に際して役割を果たしうるので、ガスは 前記のようにこの役割に一致する温度に予熱される。予熱の程度はプロセス負荷 条件に依存させることができる。 ノズルのデザインおよび配列を支配する他の因子には、液滴がセクション１３ ４および１３６の壁方向へ移動する傾向を少なくし、かつ液滴がスロート１３２ およびセクション１３４、１３６の中心軸を越えて注入されるのを阻止するよう に注入することが含まれる。さもなければ、液滴が凝集する性向が増大し、かつ 壁方向へ移動する傾向が生じる可能性がある。ベンチュリスロート１３２の内表 に対するノズル１５２、特にその半径方向に内側末端の位置は、良好な霧化を達 成し、かつ注入された液相成分がベンチュリ集成装置の内表に再連行されるのを 阻止することに関して重要であることが認められた。ノズルの適切な配置は与え られた条件につき流れ視覚化モデル（ｆｌｏｗ ｖｉｓｕａｌｉｓａｔｉｏｎ ｍｏｄｅｌ）によって経験的に判定することができる。同様に、与えられた条件 につき液体注入地点の下流に形成される孔１４４の個数および範囲も経験的に判 定することができる。 たとえば直径２５０ｍｍのパイプ断面を伴う典型的な集成装置においては、ベ ンチュリスロートは直径７０ｍｍを有し、ベンチュリスロート１３２の周りに等 角度で配列された２０個のノズル１５２があり、各ノズルは半径方向にその内側 末端をベンチュリスロートの表面の外側に対して距離０．５ｍｍのオーダーの間 隔を置いて配列される。ノズル出口の断面積は一般に０．６５ｍｍ²のオーダー であり、ノズル出口のすぐ近くの環状通路１５８の断面積は一般に２．５ｍｍ² のオーダーである。典型的な集成装置において孔１４４は三角形のピッチ形状で 一連の円周列、たとえば１２列として分布し、それぞれがたとえば直径１．２７ ｍｍを有する６０個の斜めに配向した孔からなる。 前記の蒸発ユニットの操作に際し、形成される液滴はプロセスガス中に連行さ れ、導管またはベンチュリ集成装置の高温の壁と接触することなく蒸発させられ る。壁へ向かって移動する傾向のある液滴（たとえば粒度分布の両極端の粒度を もつ液滴）は、孔１４４を通って吹き込まれるプロセスガスにより保証される移 動性の境界層により、接触せずに掃去される。この目的で用いられるプロセスガ スの量は一般に個々のプロセス条件に依存するであろう；一般に小部分（たとえ ば２０％）のプロセスガスがこの目的で方向変換させられるであろう。出口１６ ６により導入されるガス流は、液体がノズルのすぐ下流の壁に沈積する傾向を克 服する作用をする。これらの位置においては、液体の各ジェットに続いて局部的 な圧力降下が生じ、出口１６６を経て注入されるガスが存在しない場合には、そ の結果ベンチュリスロート１３２の高温の壁面に沈積する可能性がある。 典型的な用途においては、プロセスガス流は高められた圧力（通常は６絶対バ ールを越え、たとえば１３絶対バール）および３００℃より高い温度である。ノ ズル１５２を経て注入される液体は一般にこれよりはるかに低い温度（たとえば １００℃）であり、通路１５８を経て注入されるガスも同様であり、これは通常 は液体より高い温度（たとえば１５０℃）であろう。これらの液体およびガスは プロセスガス流より高い圧力、たとえばそれぞれ差圧９バールおよび２バールで 導入される。 以上、本発明を図４−７と関連づけて１３４ａの製造方法に関して記載したが 、本発明は液相成分が高温の金属表面との接触の結果として分解しやすい状況に おいて液相成分を高温ガス流中へ注入する他の方法にも利用しうる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，Ｍ Ｃ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＡＵ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，Ｂ Ｙ，ＣＡ，ＣＮ，ＣＺ，ＦＩ，ＨＵ，ＪＰ，ＫＰ，ＫＲ ，ＫＺ，ＬＫ，ＭＮ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＲＯ，ＲＵ， ＳＤ，ＵＡ，ＵＳ，ＶＮ (72)発明者 ブレイク，チャールズ・ブライアン イギリス国チェシャー シーエイチ３・７ イーユー，ギルデン・サットン，スクー ル・レーン（番地なし）ザ・ロッジ (72)発明者 ユーイング，ポール・ニコラス イギリス国ウォーリングトン ダブリュー エイ４・２ユーティー，ストックトン・ヒ ース，アレグザンドラ・ロード 14 (72)発明者 ハンズ，ジェレミー・チャールズ・バウザ ー イギリス国ノースウィック シーダブリュ ー８・４ティーイー，アップルフィールド 15 (72)発明者 トップリス，スティーヴン イギリス国チェシャー シーダブリュー ５・６エヌティー，ナンターク，ウィラズ ドン，コリーズ・レーン 112 (72)発明者 アーウィン，アンドリュー・ネイル イギリス国ボルトン ビーエル１・８ユー エス，ホール・アイ・‘ティーエイチ’・ ウッド，グリーンウェイ・クローズ ８ (72)発明者 スプルース，マーク イギリス国ランカシャー ビービー11・２ ピーピー，バーンレー，シャフツバリー・ アベニュー 52

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．液相から液相形態の純粋な化合物を分解しやすくさせる条件下で蒸発した 第１有機化合物を伴う化学反応を実施するための方法であって、液相からの第１ 化合物の蒸発が第２化合物を用いて第１化合物の分解を抑制する様式で行われる ことを特徴とする方法。 ２．化学反応が第１化合物と他の化合物との反応を含む、請求項１に記載の方 法。 ３．他の化合物が第２化合物を含む、請求項２に記載の方法。 ４．第２化合物がその液相で用いられる、請求項３に記載の方法。 ５．化学反応が第１化合物の異性化を含む、請求項１に記載の方法。 ６．第１化合物の蒸発が、それと第２化合物の共蒸発により実施される、請求 項１−５のいずれか１項に記載の方法。 ７．高められた圧力において化学反応を実施し、その際、高められた圧力条件 下で蒸発させた際に分解しやすい液相有機化合物を該条件下で蒸発させ、そして 蒸発した化合物を少なくとも１種の他の反応体と気相で、反応を進行させうる条 件下に反応させることを含む方法であって、該有機化合物の沸騰特性を改質し、 従って蒸発を低い温度で行わせることができ、これにより分解生成物の生成を阻 止し、または実質的に減少させることを特徴とする方法。 ８．有機化合物がハロカーボンを含む、請求項１−７のいずれか１項に記載の 方法。 ９．ハロカーボンがクロロエテン類またはクロロエタン類を含む、請求項８に 記載の方法。 １０．有機化合物の沸騰特性が、反応体の１つを形成する他の化合物との混合 物として共蒸発させることにより改質される、請求項７に記載の方法。 １１．有機化合物が、他の反応体と最小沸騰性の共沸混合物を形成しうる混合 物を与えるものである、請求項７に記載の方法。 １２．ハロカーボンをその蒸気相で伴う化学反応を実施し、その際、化合物自 体の沸点がその沸点において蒸発させた場合に化合物自体の蒸発に付随して該化 合物の分解を生じるものである高められた圧力条件下で、ハロカーボンを反応前 に蒸発させることを含む方法であって、ハロカーボンをフッ化水素との混合物と して共蒸発させ、これによりハロカーボン化合物／ＨＦ混合物の沸騰温度は蒸発 に付随するハロカーボン化合物の分解が実質的に、より少ないものとなることを 特徴とする方法。 １３．高められた圧力においてクロロカーボン化合物のフッ素化を実施し、そ の際、化合物自体の沸点がその沸点において蒸発させた場合に化合物自体の蒸発 に付随して該化合物の分解を生じるものである高められた圧力条件下で、該化合 物を蒸発させ、そして蒸発した化合物をフッ素化剤と気相で、反応を進行させう る条件下に反応させることを含む方法であって、フッ化水素をフッ素化剤として 選び、クロロカーボン化合物とフッ化水素の混合物を共蒸発させ、これによりク ロロカーボン化合物／ＨＦ混合物の沸騰温度はその蒸発に付随するクロロカーボ ン化合物の分解が実質的に、より少ないものとなることを特徴とする方法。 １４．クロロカーボン化合物がクロロエテン類またはクロロエタン類である、 請求項１２または１３に記載の方法。 １５．高められた圧力でその沸騰温度において蒸発させた場合に有機化合物が 分解しやすい高められた圧力で、液体有機化合物を蒸発させるための、下記を含 む装置： 有機化合物および第２化合物をそれに供給する容器：第２化合物は該有機化合 物と有機化合物の沸点より実質的に低い沸点を有する混合物を形成するように選 ばれる； 有機化合物および第２化合物を密に混合するための装置； 混合物を容器内で加熱してそれらの化合物を共蒸発させるための装置；ならび に 蒸発した化合物を、得られた蒸発化合物を使用するプロセスに供給するための 装置。 １６．容器内で生成した沸騰蒸気／液体を処理して液相および蒸気相となすた めの装置、ならびに液相を容器に再循環させ、蒸発した化合物を用いるプロセス に蒸気相を供給するための装置を含む、請求項１５に記載の装置。 １７．再循環した液体が容器へ再導入される前に有機化合物および第２化合物 の新鮮な混合物と混合される、請求項１６に記載の装置。 １８．請求項１に記載の方法において、化学反応が第１有機化合物と第２化合 物を含有する高温ガス流との反応を伴い、第１有機化合物が液相であるとき高温 ガス流により加熱された表面に接触した状態に留められた場合に分解しやすく、 さらに 第１有機化合物を液相流として、かつ第２化合物を気相流として、高温ガ ス流が貫流する導管に注入し、これにより第１有機化合物の少なくとも一部をそ れらの流れの間の相互作用により霧化し、こうして形成された液滴を高温ガス流 との接触により蒸発させる ことを含む方法。 １９．請求項１に記載の方法において、化学反応が第１有機化合物と第２化合 物を含有する高温ガス流との反応を伴い、第１有機化合物が液相であるとき高温 ガス流により加熱された表面に接触した状態に留められた場合に分解しやすいも のである方法であって、さらに： 第１有機化合物を液相流として高温ガス流が貫流する導管に注入し、第１ 有機化合物の少なくとも一部を高温ガス流との相互作用により霧化し、こうして 形成された液滴を高温ガス流との接触により蒸発させ；そして 第２化合物を気相流として第１化合物の注入位置の下流において導管に注 入して、第１化合物の注入流に従って起こる圧力降下を補償し、これにより第１ 化合物の注入位置のすぐ下流において液滴が導管壁に沈積するのを阻止する ことを含む方法。 ２０．第１有機化合物を高温ガス流が高められた圧力条件下で変動流量におい て貫流する導管に導入する方法において、該化合物が高温の導管壁（１または２ 以上）に接触した状態に留められた場合に分解しやすいものである方法であって ： 第１有機化合物を液相として高温ガス流との相互作用のために導管に注入 し、これにより比較的高い流量条件下では注入流が霧化して液滴を形成し、これ らが高温ガス流により輸送されて蒸発し；そして 少なくとも高温ガス流が注入流を霧化させる効率がより低い比較的低流量 の条件下では、第２化合物を気相流として、第１有機化合物の少なくとも一部が 注入流間の相互作用により霧化する様式で導管に注入することによって効果的な 霧化を維持する ことを含む方法。 ２１．高温ガス流が比較的高い流量条件下で導管を貫流する際に、第２化合物 をも導管に注入する、請求項２０に記載の方法。 ２２．第２化合物が第１化合物との化学反応のための主反応体を構成する、請 求項１８−２１のいずれか１項に記載の方法。 ２３．高温ガス流と、液相であるとき予め定められた温度以上の高温の表面に 接触した状態に留められた場合に分解しやすい有機化合物との接触を伴う化学的 方法であって： 有機化合物を高温ガス流が貫流する導管に注入することによりそれを霧化 し、導管壁（１または２以上）は少なくとも一部が高温ガス流により少なくとも 前記の予め定められた温度に加熱され； こうして形成された液滴を、液滴が高温ガス流により注入位置の下流へ輸 送されるのに伴って高温ガス流との接触により蒸発させ；そして 気相成分を導管に有機化合物の注入位置の下流位置において導入し、これ により導管壁（１または２以上）における液滴沈積を減少させ、または阻止する ための境界層を導管壁（１または２以上）に形成させる ことを含む方法。 ２４．気相成分の一部が、注入化合物を迂回すべく主流から方向変換させた高 温ガス流から構成され、方向変換させた部分が注入位置の下流において導管に再 導入されて境界層を形成する、請求項２３に記載の方法。 ２５．注入される液体有機化合物がハロカーボンを含む、請求項１８−２４の いずれか１項に記載の方法。 ２６．液相流が加圧下に、高温ガス流の圧力が局部的に降下する位置において 高温ガス流に注入される、請求項１８−２５のいずれか１項に記載の方法。 ２７．高温ガス流がベンチュリ集成装置内を通過し、かつ液相流がベンチュリ スロート付近で高温ガス流に注入される、請求項２６に記載の方法。 ２８．液相有機化合物をプロセスガス流に導入するための、下記を含む液体注 入装置： プロセスガス流のための導管に連結するか、またはその一部を形成する導管セ クション； 導管セクション内に収容され、スロートセクションおよびスロートセクション の下流のディフューザーセクションを含むベンチュリ集成装置； 液相化合物をスロートセクションまたはそれに近接した位置においてベンチュ リ集成装置に注入し、これにより液体を霧化して液滴を生成させ、これらをプロ セスガス流により蒸発させるための複数のノズル；ならびに ベンチュリ集成装置の表面上にガスの移動層を形成し、これによりそれらの表 面へ向かって移行する未蒸発液滴が表面と接触した状態に留まるのを阻止する様 式で、気体成分をノズルの下流の位置においてベンチュリ集成装置に導入するた めの装置。 ２９．プロセスガス流を、ベンチュリ集成装置内を通過する第１部分、および ベンチュリ集成装置の少なくとも一部を迂回してノズルの下流の位置においてベ ンチュリ集成装置に導入される第２部分に分配するための装置を含み、これによ り第２部分がガスの移動層を形成するために用いられる気体成分を構成する、請 求項２８に記載の装置。 ３０．液相有機化合物をプロセスガス流に導入するための、下記を含む液体注 入装置： プロセスガス流のための導管に連結するか、またはその一部を形成する導管セ クション； 導管セクション内に収容され、スロートセクションおよびスロートセクション の下流のディフューザーセクションを含むベンチュリ集成装置； 液相成分をスロートセクションまたはそれに近接した位置においてベンチュリ 集成装置に注入するための複数のノズル；ならびに 液体が液体を霧化するのに十分な大きさの剪断力を補助ガスにより受ける様式 で、補助ガスをノズルからの液体注入位置においてベンチュリ集成装置に導入す るための装置。 ３１．補助ガスを導入するための装置がそれぞれのノズルおよび導管への開口 にそれぞれ付随する複数の通路を含み、それらのノズルがクリアランスを伴って 該通路内に伸びるように配列され、これにより液相成分および補助ガスが導管に 並流方式で注入される、請求項３０に記載の装置。 ３２．各ノズルの内側末端が導管の内周壁の半径方向に外側に位置する、請求 項３１に記載の装置。 ３３．液相有機化合物をプロセスガス流に導入するための、下記を含む液体注 入装置： プロセスガス流のための導管に連結するか、またはその一部を形成する導管セ クション； 導管セクション内に収容され、スロートセクションおよびスロートセクション の下流のディフューザーセクションを含むベンチュリ集成装置； 液相成分をスロートセクションまたはそれに近接した位置においてベンチュリ 集成装置に注入するための複数のノズル；ならびに 補助ガスを液体注入位置のすぐ下流の位置においてベンチュリ集成装置に導入 するための装置であって、補助ガスがノズルから注入される液体に従って、液体 ジェットにより生じる局部的な圧力降下を打ち消すように注入される装置。