JPH0839542A - ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置 - Google Patents
ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置Info
- Publication number
- JPH0839542A JPH0839542A JP18099794A JP18099794A JPH0839542A JP H0839542 A JPH0839542 A JP H0839542A JP 18099794 A JP18099794 A JP 18099794A JP 18099794 A JP18099794 A JP 18099794A JP H0839542 A JPH0839542 A JP H0839542A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- saw
- reference surface
- measuring head
- reel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】運転を停止することなく自動で検知ると共に、
信頼性の高い測定結果が得られるワイヤーソーのワイヤ
ー磨耗量検知装置を提供する。 【構成】ワイヤーソー10のワイヤー14の近傍に基準
面62Aが形成されたテーブル62を設置すると共に、
前記ワイヤー14を挟んで前記基準面62Aと対向する
ように測定子64を備えた測定ヘッド66を設置する。
測定は、ワイヤー14の往復行の方向転換時で一時的に
停止する際、測定子64を基準面62Aに向けて移動さ
せる。そして、ワイヤー14を測定子62とテーブル6
2の基準面62Aとの間で挟み付け、この時の測定子6
4の移動変位量に基づいてワイヤー径をCPU70で算
出する。これにより、ワイヤーソー10の運転を停止さ
せることなくワイヤー径を確実に測定できると共に、ワ
イヤー径を直接測定するので信頼性の高い測定値を得る
ことができる。
信頼性の高い測定結果が得られるワイヤーソーのワイヤ
ー磨耗量検知装置を提供する。 【構成】ワイヤーソー10のワイヤー14の近傍に基準
面62Aが形成されたテーブル62を設置すると共に、
前記ワイヤー14を挟んで前記基準面62Aと対向する
ように測定子64を備えた測定ヘッド66を設置する。
測定は、ワイヤー14の往復行の方向転換時で一時的に
停止する際、測定子64を基準面62Aに向けて移動さ
せる。そして、ワイヤー14を測定子62とテーブル6
2の基準面62Aとの間で挟み付け、この時の測定子6
4の移動変位量に基づいてワイヤー径をCPU70で算
出する。これにより、ワイヤーソー10の運転を停止さ
せることなくワイヤー径を確実に測定できると共に、ワ
イヤー径を直接測定するので信頼性の高い測定値を得る
ことができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はワイヤーソーのワイヤー
磨耗量検知装置に係り、特に円柱状の半導体インゴッ
ト、セラミック、ガラス等の被加工物を走行するワイヤ
ーで多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーの
ワイヤー磨耗量検知装置に関する。
磨耗量検知装置に係り、特に円柱状の半導体インゴッ
ト、セラミック、ガラス等の被加工物を走行するワイヤ
ーで多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーの
ワイヤー磨耗量検知装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体インゴット、セラミック、ガラス
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤーソーがある。このワイヤーソーは、ワイ
ヤーが複数の溝付ローラ間に巻掛けられてワイヤー列が
形成されると共に、ワイヤーの一方端は一方のワイヤー
リールに巻回され、他方端は他方のワイヤーリールに巻
回される。そして、ワイヤーが一方のワイヤーリールと
他方のワイヤーリールとの間を高速で往復走行する際
に、前記ワイヤー列に被加工物を押し当てると共に、ワ
イヤー列に砥粒を含む加工液を供給して砥粒のラッピン
グ作用により被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断
するものである。
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤーソーがある。このワイヤーソーは、ワイ
ヤーが複数の溝付ローラ間に巻掛けられてワイヤー列が
形成されると共に、ワイヤーの一方端は一方のワイヤー
リールに巻回され、他方端は他方のワイヤーリールに巻
回される。そして、ワイヤーが一方のワイヤーリールと
他方のワイヤーリールとの間を高速で往復走行する際
に、前記ワイヤー列に被加工物を押し当てると共に、ワ
イヤー列に砥粒を含む加工液を供給して砥粒のラッピン
グ作用により被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断
するものである。
【0003】このワイヤーソーのワイヤーは、被加工物
を切断しているうちに磨耗してくるため、切断中にワイ
ヤーが断線する危険性がある。このため、定期的にワイ
ヤーの磨耗量を検知して、断線する前にワイヤーを交換
する必要がある。従来、ワイヤーソーのワイヤー磨耗量
検知は、ワイヤーを一定時間使用したらワイヤーソーを
一時的に停止させて、この間に作業者がマイクロメータ
でワイヤー径を測定してワイヤー磨耗量を検知してい
た。そして、ワイヤーが所定の細さまで磨耗していた
ら、ワイヤーを交換するようにしていた。
を切断しているうちに磨耗してくるため、切断中にワイ
ヤーが断線する危険性がある。このため、定期的にワイ
ヤーの磨耗量を検知して、断線する前にワイヤーを交換
する必要がある。従来、ワイヤーソーのワイヤー磨耗量
検知は、ワイヤーを一定時間使用したらワイヤーソーを
一時的に停止させて、この間に作業者がマイクロメータ
でワイヤー径を測定してワイヤー磨耗量を検知してい
た。そして、ワイヤーが所定の細さまで磨耗していた
ら、ワイヤーを交換するようにしていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法は、ワイヤーの
磨耗量を連続して検知することができないため、ワイヤ
ー径の測定から次の測定までの間にワイヤーが断線して
作業が停止するという危険性があった。また、測定の都
度ワイヤーソーを停止しなければならないので、作業能
率が悪くなるという欠点があった。
ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法は、ワイヤーの
磨耗量を連続して検知することができないため、ワイヤ
ー径の測定から次の測定までの間にワイヤーが断線して
作業が停止するという危険性があった。また、測定の都
度ワイヤーソーを停止しなければならないので、作業能
率が悪くなるという欠点があった。
【0005】このような観点から、本発明の出願人は、
ワイヤー走行経路のうちワイヤーのみの電気抵抗を有す
る2点間に電圧をかけその電圧の変化でワイヤーの磨耗
量を検知する方法を提案した。この方法は、ワイヤーを
走行させたままワイヤー磨耗量を連続的に検知すること
ができるというメリットがある。しかしながら、この方
法は、ワイヤーの磨耗量をワイヤーの電気抵抗を測定す
ることによる間接的な測定方法であるため、測定の信頼
性を低下させる外部要因(例えば、ワイヤー以外の電気
抵抗)が測定に含まれ易いという欠点があった。
ワイヤー走行経路のうちワイヤーのみの電気抵抗を有す
る2点間に電圧をかけその電圧の変化でワイヤーの磨耗
量を検知する方法を提案した。この方法は、ワイヤーを
走行させたままワイヤー磨耗量を連続的に検知すること
ができるというメリットがある。しかしながら、この方
法は、ワイヤーの磨耗量をワイヤーの電気抵抗を測定す
ることによる間接的な測定方法であるため、測定の信頼
性を低下させる外部要因(例えば、ワイヤー以外の電気
抵抗)が測定に含まれ易いという欠点があった。
【0006】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、ワイヤーソーの運転を停止することなく自動
でワイヤーの磨耗量を検知することができると共に、信
頼性の高い測定結果が得られるワイヤーソーのワイヤー
磨耗量検知装置を提供すること目的とする。
たもので、ワイヤーソーの運転を停止することなく自動
でワイヤーの磨耗量を検知することができると共に、信
頼性の高い測定結果が得られるワイヤーソーのワイヤー
磨耗量検知装置を提供すること目的とする。
【0007】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
するために、一方のワイヤーリールと他方のワイヤーリ
ールの間を往復走行するワイヤーに被加工物を押し当て
ると共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給し、
前記被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイ
ヤーソーにおいて、前記ワイヤーを挟み付ける移動自在
な測定子を有すると共に、前記測定子の移動変位量を検
出する測定ヘッドと、前記ワイヤーを挟み付けた時の前
記測定子の移動変位量に基づいてワイヤー径を算出する
演算部と、を備えていることを特徴とする。
するために、一方のワイヤーリールと他方のワイヤーリ
ールの間を往復走行するワイヤーに被加工物を押し当て
ると共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給し、
前記被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイ
ヤーソーにおいて、前記ワイヤーを挟み付ける移動自在
な測定子を有すると共に、前記測定子の移動変位量を検
出する測定ヘッドと、前記ワイヤーを挟み付けた時の前
記測定子の移動変位量に基づいてワイヤー径を算出する
演算部と、を備えていることを特徴とする。
【0008】
【作用】本発明によれば、ワイヤーを測定ヘッドで挟み
付けるようにすると共に、測定ヘッドの測定子移動変位
量に基づいてワイヤー径を演算部で算出するようにし
た。これにより、ワイヤー径を直接測定できるので、信
頼性の高い測定結果を得ることができる。
付けるようにすると共に、測定ヘッドの測定子移動変位
量に基づいてワイヤー径を演算部で算出するようにし
た。これにより、ワイヤー径を直接測定できるので、信
頼性の高い測定結果を得ることができる。
【0009】また、ワイヤーが往復行する方向転換時の
一時的なワイヤー走行停止時に測定すれば、ワイヤーソ
ーの運転を止めないで測定できる。また、押し付け手段
を設けたので、ワイヤーの張力に影響されないでワイヤ
ー径を測定することができる。また、測定ヘッドのワイ
ヤー走行上流にワイヤーに供給された加工液を除去する
除去手段を設けた。これにより、測定時にワイヤーに加
工液が付着していないので、より精度のよい測定を行う
ことができる。
一時的なワイヤー走行停止時に測定すれば、ワイヤーソ
ーの運転を止めないで測定できる。また、押し付け手段
を設けたので、ワイヤーの張力に影響されないでワイヤ
ー径を測定することができる。また、測定ヘッドのワイ
ヤー走行上流にワイヤーに供給された加工液を除去する
除去手段を設けた。これにより、測定時にワイヤーに加
工液が付着していないので、より精度のよい測定を行う
ことができる。
【0010】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るワイヤー
ソーのワイヤー磨耗量検知装置の好ましい実施例につい
て詳説する。本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検
知装置の実施例を説明する前に、まず、ワイヤーソー1
0の全体構成を図1に従って説明する。同図に示すよう
に、一方のリール12に巻回されたワイヤー1 4は、ワ
イヤー案内装置16、複数の固定ガイドローラ18、1
8、ダンサローラ20を経由して3本の溝付きローラ2
2、22、22に順次巻き掛けられてワイヤー列24を
形成した後、複数の固定ガイドローラ18、18、ダン
サローラ20、ワイヤー案内装置16を経て他方のリー
ル26に巻き取られるワイヤー走行路を形成する。
ソーのワイヤー磨耗量検知装置の好ましい実施例につい
て詳説する。本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検
知装置の実施例を説明する前に、まず、ワイヤーソー1
0の全体構成を図1に従って説明する。同図に示すよう
に、一方のリール12に巻回されたワイヤー1 4は、ワ
イヤー案内装置16、複数の固定ガイドローラ18、1
8、ダンサローラ20を経由して3本の溝付きローラ2
2、22、22に順次巻き掛けられてワイヤー列24を
形成した後、複数の固定ガイドローラ18、18、ダン
サローラ20、ワイヤー案内装置16を経て他方のリー
ル26に巻き取られるワイヤー走行路を形成する。
【0011】前記ダンサローラ20には、所定重量の錘
44が吊設され、錘44の荷重によりワイヤー走行路を
走行するワイヤー14に常に所要の張力が付与される。
また、ワイヤー走行路の途中にはワイヤー洗浄装置46
が設けられ、このワイヤー洗浄装置46によってワイヤ
ー14に付着した加工液40がワイヤー14から除去さ
れる。また、夫々のリール12、26は正逆回転可能な
駆動モータ28、30に連結されると共に、3本のうち
の1本の溝付きローラ22は正逆回転可能な駆動モータ
32に連結される。これにより、一方のリール12から
繰り出されたワイヤー14は、図中実線矢印34方向に
高速走行(600m/分以上)しながら他方のリール2
6に巻き取られる。また、他方のリール26に巻き取ら
れたワイヤー14は図中破線矢印36方向に逆走行して
一方のリール12に巻き取られる。即ち、ワイヤー14
は一方のリール12と他方のリール26の間を往復走行
する。また、ワイヤー列24には、砥液貯留タンク38
に貯留された砥粒(通常、GC♯600〜♯1000程
度のものが使用される)を含む加工液40が砥液供給ノ
ズル42から供給される。
44が吊設され、錘44の荷重によりワイヤー走行路を
走行するワイヤー14に常に所要の張力が付与される。
また、ワイヤー走行路の途中にはワイヤー洗浄装置46
が設けられ、このワイヤー洗浄装置46によってワイヤ
ー14に付着した加工液40がワイヤー14から除去さ
れる。また、夫々のリール12、26は正逆回転可能な
駆動モータ28、30に連結されると共に、3本のうち
の1本の溝付きローラ22は正逆回転可能な駆動モータ
32に連結される。これにより、一方のリール12から
繰り出されたワイヤー14は、図中実線矢印34方向に
高速走行(600m/分以上)しながら他方のリール2
6に巻き取られる。また、他方のリール26に巻き取ら
れたワイヤー14は図中破線矢印36方向に逆走行して
一方のリール12に巻き取られる。即ち、ワイヤー14
は一方のリール12と他方のリール26の間を往復走行
する。また、ワイヤー列24には、砥液貯留タンク38
に貯留された砥粒(通常、GC♯600〜♯1000程
度のものが使用される)を含む加工液40が砥液供給ノ
ズル42から供給される。
【0012】また、前記ワイヤー列24の下方には、ワ
ーク送りテーブル48が設けられ、このワーク送りテー
ブル48はモータ50で回動するネジ桿52により切断
送り方向(図中Y−Y方向)に移動可能に設けられると
共に、ワーク送りテーブル48のワイヤー列24側に
は、被加工物である半導体インゴット54がワークブロ
ック56とスライスベース58を介して支持される。こ
れにより、ワーク送りテーブル48を切断送り方向(ワ
イヤー列24側)に移動させると、半導体インゴット5
4は高速走行するワイヤー列24に押し当てられ、ワイ
ヤー列24に供給される加工液40の砥粒によるラッピ
ング作用により半導体インゴット54を多数の薄板状の
ウェーハに切断する。
ーク送りテーブル48が設けられ、このワーク送りテー
ブル48はモータ50で回動するネジ桿52により切断
送り方向(図中Y−Y方向)に移動可能に設けられると
共に、ワーク送りテーブル48のワイヤー列24側に
は、被加工物である半導体インゴット54がワークブロ
ック56とスライスベース58を介して支持される。こ
れにより、ワーク送りテーブル48を切断送り方向(ワ
イヤー列24側)に移動させると、半導体インゴット5
4は高速走行するワイヤー列24に押し当てられ、ワイ
ヤー列24に供給される加工液40の砥粒によるラッピ
ング作用により半導体インゴット54を多数の薄板状の
ウェーハに切断する。
【0013】次に、本発明に係るワイヤーソーのワイヤ
ー磨耗量検知装置について説明する。図2はワイヤー磨
耗量検知装置の構成を示すブロック図である。同図に示
すように、ワイヤー磨耗量検知装置60は、主としてテ
ーブル62、測定子64、測定ヘッド66、エアシリン
ダ68及びCPU70から構成されている。テーブル6
2はワイヤー14の近傍に設置されると共に、ワイヤー
14に対向する面に基準面62Aが形成されている。
ー磨耗量検知装置について説明する。図2はワイヤー磨
耗量検知装置の構成を示すブロック図である。同図に示
すように、ワイヤー磨耗量検知装置60は、主としてテ
ーブル62、測定子64、測定ヘッド66、エアシリン
ダ68及びCPU70から構成されている。テーブル6
2はワイヤー14の近傍に設置されると共に、ワイヤー
14に対向する面に基準面62Aが形成されている。
【0014】測定子64は、ワイヤー14に対して前記
テーブル62の基準面62Aの反対側に配置されると共
に、測定ヘッド66に移動自在に支持される。測定ヘッ
ド66は、前記テーブル62の基準面62Aに対する測
定子64の移動変位量を測定ヘッド66内に内蔵された
検出部(例えば、差動変圧器、モアレスケール等)で検
出し、測定子64の移動変位量に応じた出力電圧を生じ
る。そして、出力電圧をA/D変換器71でデジタル信
号に変換してCPU70に出力する。
テーブル62の基準面62Aの反対側に配置されると共
に、測定ヘッド66に移動自在に支持される。測定ヘッ
ド66は、前記テーブル62の基準面62Aに対する測
定子64の移動変位量を測定ヘッド66内に内蔵された
検出部(例えば、差動変圧器、モアレスケール等)で検
出し、測定子64の移動変位量に応じた出力電圧を生じ
る。そして、出力電圧をA/D変換器71でデジタル信
号に変換してCPU70に出力する。
【0015】エアシリンダ68は、ロッド69に支持部
材72を介して測定子64に連結すると共に、前記測定
子64をテーブル62の基準面62Aに対して進退移動
させる。次に、上記のように構成されたワイヤー磨耗量
検知装置60により、ワイヤー径を測定する方法を説明
する。
材72を介して測定子64に連結すると共に、前記測定
子64をテーブル62の基準面62Aに対して進退移動
させる。次に、上記のように構成されたワイヤー磨耗量
検知装置60により、ワイヤー径を測定する方法を説明
する。
【0016】まず、ワイヤー径を測定する前に基準測定
が行われる、すなわち、測定子64とテーブル62の基
準面62Aとの間にワイヤー14がない状態でエアシリ
ンダ68を作動させて、測定子64を基準面62Aに当
接させる。そして、この時の測定子64の移動変位量を
基準値(ゼロ)とするようにCPU70でゼロ調整す
る。
が行われる、すなわち、測定子64とテーブル62の基
準面62Aとの間にワイヤー14がない状態でエアシリ
ンダ68を作動させて、測定子64を基準面62Aに当
接させる。そして、この時の測定子64の移動変位量を
基準値(ゼロ)とするようにCPU70でゼロ調整す
る。
【0017】次に以下のようにワイヤー径を測定する。
前述したワイヤーソー10は、ワイヤー14が一方のワ
イヤーリール12と他方のワイヤーリール26の間を往
復走行している(図1参照)。従って、ワイヤー14が
往復行で走行方向を変える時、ワイヤー14は一時的に
走行を停止する。この時、ワイヤーリール12、26及
び溝付ローラ22に連結された駆動モータ28、30、
32の駆動も一時的に停止する。
前述したワイヤーソー10は、ワイヤー14が一方のワ
イヤーリール12と他方のワイヤーリール26の間を往
復走行している(図1参照)。従って、ワイヤー14が
往復行で走行方向を変える時、ワイヤー14は一時的に
走行を停止する。この時、ワイヤーリール12、26及
び溝付ローラ22に連結された駆動モータ28、30、
32の駆動も一時的に停止する。
【0018】CPU70は、駆動モータ30が停止した
ことを確認すると、エアシリンダ68を駆動して測定子
64をテーブル62の基準面62Aに向けて移動させ
る。測定子64をテーブル62の基準面62Aに向けて
移動させて行くと、ワイヤー14は、テーブル62の基
準面62Aと測定子64の間にあるので、測定子64と
テーブル62の基準面62Aとの間で挟み付けられる。
測定ヘッド66は、このワイヤー14を測定子64とテ
ーブル62の基準面62Aとの間で挟み付けた時の測定
子64の移動変位量を検出して、CPU70に出力す
る。
ことを確認すると、エアシリンダ68を駆動して測定子
64をテーブル62の基準面62Aに向けて移動させ
る。測定子64をテーブル62の基準面62Aに向けて
移動させて行くと、ワイヤー14は、テーブル62の基
準面62Aと測定子64の間にあるので、測定子64と
テーブル62の基準面62Aとの間で挟み付けられる。
測定ヘッド66は、このワイヤー14を測定子64とテ
ーブル62の基準面62Aとの間で挟み付けた時の測定
子64の移動変位量を検出して、CPU70に出力す
る。
【0019】CPU70では、この測定ヘッド66から
出力された移動変位量と前記基準値(ゼロ)とを比較し
て測定子64の移動変位差を算出する。この算出された
移動変位差はワイヤー14の外径であるから、CPU7
0はこの値がワイヤーの使用可能領域内の値(通常0.
18〜0.13mm)であるか判断する。そして、算出さ
れた値が使用可能領域より小さい値であった場合は、C
PU70は警報装置76を作動させて、作業者にワイヤ
ーの交換時期であることを知らせる。
出力された移動変位量と前記基準値(ゼロ)とを比較し
て測定子64の移動変位差を算出する。この算出された
移動変位差はワイヤー14の外径であるから、CPU7
0はこの値がワイヤーの使用可能領域内の値(通常0.
18〜0.13mm)であるか判断する。そして、算出さ
れた値が使用可能領域より小さい値であった場合は、C
PU70は警報装置76を作動させて、作業者にワイヤ
ーの交換時期であることを知らせる。
【0020】また、CPU70は一連の測定操作を終了
したら、再びエアシリンダ68を駆動して、測定子64
を元の位置に退避させる。このように、本実施例のワイ
ヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置によれば、ワイヤー
14の径を測定するのに測定子64を直接接触させて測
定するので、信頼性の高い測定結果が得られる。また、
ワイヤーソー10の運転を停止することなく自動でワイ
ヤー14の磨耗量を検知することができるので作業能率
を向上させることができる。
したら、再びエアシリンダ68を駆動して、測定子64
を元の位置に退避させる。このように、本実施例のワイ
ヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置によれば、ワイヤー
14の径を測定するのに測定子64を直接接触させて測
定するので、信頼性の高い測定結果が得られる。また、
ワイヤーソー10の運転を停止することなく自動でワイ
ヤー14の磨耗量を検知することができるので作業能率
を向上させることができる。
【0021】尚、本実施例では、ワイヤー14をテーブ
ル62に押さえつける手段として、測定子64によりワ
イヤー14をテーブル62に押さえ付けていたが、図3
に示すようにしてもよい。すなわち、測定子62の両脇
に第二のエアシリンダ78を設置して、測定の際は、予
めワイヤー14をテーブル62に押さえ付けておく。こ
れにより、測定子64がワイヤー14の張力に抗してワ
イヤー14をテーブル62の基準面62Aに押し付ける
必要がなくなるため、ワイヤー14を挟み付ける圧力を
小さくすることができると共に、ワイヤー14を測定子
64と基準面62Aの間に確実に挟み込むことができ
る。
ル62に押さえつける手段として、測定子64によりワ
イヤー14をテーブル62に押さえ付けていたが、図3
に示すようにしてもよい。すなわち、測定子62の両脇
に第二のエアシリンダ78を設置して、測定の際は、予
めワイヤー14をテーブル62に押さえ付けておく。こ
れにより、測定子64がワイヤー14の張力に抗してワ
イヤー14をテーブル62の基準面62Aに押し付ける
必要がなくなるため、ワイヤー14を挟み付ける圧力を
小さくすることができると共に、ワイヤー14を測定子
64と基準面62Aの間に確実に挟み込むことができ
る。
【0022】また、図3に示すように、ワイヤー磨耗量
検知装置60の溝付ローラ22(図示せず)側にフェル
ト80を設置して、予めワイヤー14に付着した砥粒や
洗浄液等の付着物を拭き取ってから測定を開始すれば、
更に信頼性の高い測定値を得ることができる。
検知装置60の溝付ローラ22(図示せず)側にフェル
ト80を設置して、予めワイヤー14に付着した砥粒や
洗浄液等の付着物を拭き取ってから測定を開始すれば、
更に信頼性の高い測定値を得ることができる。
【0023】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のワイヤー
ソーのワイヤー磨耗量検知装置によれば、ワイヤーの径
を直接測定するので、確実に測定できると共に、信頼性
の高い測定結果が得られる。また、ワイヤーソーの運転
を停止することなく自動でワイヤーの磨耗量を検知する
ことができるので作業能率を向上させることができる。
ソーのワイヤー磨耗量検知装置によれば、ワイヤーの径
を直接測定するので、確実に測定できると共に、信頼性
の高い測定結果が得られる。また、ワイヤーソーの運転
を停止することなく自動でワイヤーの磨耗量を検知する
ことができるので作業能率を向上させることができる。
【図1】図1は、ワイヤーソーの全体構成図
【図2】図2は、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗
量検知装置の構成図。
量検知装置の構成図。
【図3】図3は、ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装
置に第2のエアシリンダを設置したときの構成図
置に第2のエアシリンダを設置したときの構成図
10…ワイヤーソー 14…ワイヤー 12、26…ワイヤーリール 22…溝付ローラ 28、30、32…駆動モータ 60…ワイヤー磨耗量検知装置 62…テーブル 64…測定子 66…測定ヘッド 68…エアシリンダ 70…CPU 76…警報装置 78…第2のエアシリンダ 80…フェルト
Claims (3)
- 【請求項1】一方のワイヤーリールと他方のワイヤーリ
ールの間を往復走行するワイヤーに被加工物を押し当て
ると共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給し、
前記被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイ
ヤーソーにおいて、 前記ワイヤーを挟み付ける移動自在な測定子を有すると
共に、前記測定子の移動変位量を検出する測定ヘッド
と、 前記ワイヤーを挟み付けた時の前記測定子の移動変位量
に基づいてワイヤー径を算出する演算部と、を備えてい
ることを特徴とするワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知
装置。 - 【請求項2】前記測定ヘッドで前記ワイヤーを挟み付け
る前に、予め前記ワイヤーを前記測定ヘッドの受面に押
しつけておく押し付け手段を設けたことを特徴とする請
求項1のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置。 - 【請求項3】前記測定ヘッドのワイヤー走行上流側に前
記ワイヤーに供給された前記加工液を除去する除去手段
を設けたことを特徴とする請求項1のワイヤーソーのワ
イヤー磨耗量検知装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18099794A JP3244099B2 (ja) | 1994-08-02 | 1994-08-02 | ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18099794A JP3244099B2 (ja) | 1994-08-02 | 1994-08-02 | ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0839542A true JPH0839542A (ja) | 1996-02-13 |
JP3244099B2 JP3244099B2 (ja) | 2002-01-07 |
Family
ID=16092934
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18099794A Expired - Fee Related JP3244099B2 (ja) | 1994-08-02 | 1994-08-02 | ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3244099B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116277559A (zh) * | 2023-05-17 | 2023-06-23 | 浙江求是半导体设备有限公司 | 晶棒切割系统及金刚线寿命检测方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2815834A1 (en) * | 2013-06-21 | 2014-12-24 | Applied Materials Switzerland Sàrl | Wire monitoring system for a wire saw and method for monitoring a wire saw |
-
1994
- 1994-08-02 JP JP18099794A patent/JP3244099B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116277559A (zh) * | 2023-05-17 | 2023-06-23 | 浙江求是半导体设备有限公司 | 晶棒切割系统及金刚线寿命检测方法 |
CN116277559B (zh) * | 2023-05-17 | 2023-08-18 | 浙江求是半导体设备有限公司 | 晶棒切割系统及金刚线寿命检测方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3244099B2 (ja) | 2002-01-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102384571B1 (ko) | 연마 장치 및 연마 방법 | |
EP2708342B1 (en) | Wire bow monitoring system for a wire saw | |
GB2078152A (en) | Device and method for wire-cutting electroerosion machining | |
EP2815834A1 (en) | Wire monitoring system for a wire saw and method for monitoring a wire saw | |
JPH0839542A (ja) | ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置 | |
JPH07205015A (ja) | ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法及びその装置 | |
JPH11188603A (ja) | ワイヤ式切断加工装置における被切断材の送り速度制御装置および方法 | |
JPH11138412A (ja) | 固定砥粒付ワイヤソー及びその被加工物切断方法 | |
JP2018058147A (ja) | ワイヤソー及びワイヤソーのワイヤ巻き取り方法 | |
JPH07205016A (ja) | ワイヤーソーのガイドローラ磨耗量検知方法 及びその装置 | |
JP2011218468A (ja) | ワイヤソーのガイドプーリ磨耗検出装置及び磨耗検出方法 | |
JPH0970824A (ja) | ワイヤソーのワイヤ脱線検出装置 | |
JPH10264007A (ja) | ワイヤソーのワイヤ径検出装置およびそれを使用したワイヤソー | |
JP3425032B2 (ja) | ワイヤソー | |
JPH10264005A (ja) | ワイヤソーのワイヤ径検出装置およびそれを使用したワイヤソー | |
JPH0929610A (ja) | ワイヤソーのワイヤトラバース装置 | |
JP4098948B2 (ja) | ワイヤ式切断加工装置 | |
JPH09207127A (ja) | ワイヤソーのローラ摩耗検知装置 | |
JPH10156698A (ja) | ワイヤーソーのワイヤー形状検知装置 | |
JPH07314320A (ja) | ワイヤソーのガイドローラ摩耗検出装置 | |
JPH1177509A (ja) | ワイヤソー | |
JPH0819953A (ja) | ワイヤーソーのワイヤー巻径検出方法及びその装置 | |
JPH11188599A (ja) | 固定砥粒付ワイヤソーのワイヤ径検出装置 | |
JPH0929609A (ja) | ワイヤソーのワイヤトラバース装置 | |
JPH08174402A (ja) | ワイヤソー装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |