JPH0839542A - ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置 - Google Patents
ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置Info
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- JPH0839542A JPH0839542A JP18099794A JP18099794A JPH0839542A JP H0839542 A JPH0839542 A JP H0839542A JP 18099794 A JP18099794 A JP 18099794A JP 18099794 A JP18099794 A JP 18099794A JP H0839542 A JPH0839542 A JP H0839542A
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- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】運転を停止することなく自動で検知ると共に、
信頼性の高い測定結果が得られるワイヤーソーのワイヤ
ー磨耗量検知装置を提供する。 【構成】ワイヤーソー１０のワイヤー１４の近傍に基準
面６２Ａが形成されたテーブル６２を設置すると共に、
前記ワイヤー１４を挟んで前記基準面６２Ａと対向する
ように測定子６４を備えた測定ヘッド６６を設置する。
測定は、ワイヤー１４の往復行の方向転換時で一時的に
停止する際、測定子６４を基準面６２Ａに向けて移動さ
せる。そして、ワイヤー１４を測定子６２とテーブル６
２の基準面６２Ａとの間で挟み付け、この時の測定子６
４の移動変位量に基づいてワイヤー径をＣＰＵ７０で算
出する。これにより、ワイヤーソー１０の運転を停止さ
せることなくワイヤー径を確実に測定できると共に、ワ
イヤー径を直接測定するので信頼性の高い測定値を得る
ことができる。
信頼性の高い測定結果が得られるワイヤーソーのワイヤ
ー磨耗量検知装置を提供する。 【構成】ワイヤーソー１０のワイヤー１４の近傍に基準
面６２Ａが形成されたテーブル６２を設置すると共に、
前記ワイヤー１４を挟んで前記基準面６２Ａと対向する
ように測定子６４を備えた測定ヘッド６６を設置する。
測定は、ワイヤー１４の往復行の方向転換時で一時的に
停止する際、測定子６４を基準面６２Ａに向けて移動さ
せる。そして、ワイヤー１４を測定子６２とテーブル６
２の基準面６２Ａとの間で挟み付け、この時の測定子６
４の移動変位量に基づいてワイヤー径をＣＰＵ７０で算
出する。これにより、ワイヤーソー１０の運転を停止さ
せることなくワイヤー径を確実に測定できると共に、ワ
イヤー径を直接測定するので信頼性の高い測定値を得る
ことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はワイヤーソーのワイヤー
磨耗量検知装置に係り、特に円柱状の半導体インゴッ
ト、セラミック、ガラス等の被加工物を走行するワイヤ
ーで多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーの
ワイヤー磨耗量検知装置に関する。
磨耗量検知装置に係り、特に円柱状の半導体インゴッ
ト、セラミック、ガラス等の被加工物を走行するワイヤ
ーで多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーの
ワイヤー磨耗量検知装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体インゴット、セラミック、ガラス
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤーソーがある。このワイヤーソーは、ワイ
ヤーが複数の溝付ローラ間に巻掛けられてワイヤー列が
形成されると共に、ワイヤーの一方端は一方のワイヤー
リールに巻回され、他方端は他方のワイヤーリールに巻
回される。そして、ワイヤーが一方のワイヤーリールと
他方のワイヤーリールとの間を高速で往復走行する際
に、前記ワイヤー列に被加工物を押し当てると共に、ワ
イヤー列に砥粒を含む加工液を供給して砥粒のラッピン
グ作用により被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断
するものである。
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤーソーがある。このワイヤーソーは、ワイ
ヤーが複数の溝付ローラ間に巻掛けられてワイヤー列が
形成されると共に、ワイヤーの一方端は一方のワイヤー
リールに巻回され、他方端は他方のワイヤーリールに巻
回される。そして、ワイヤーが一方のワイヤーリールと
他方のワイヤーリールとの間を高速で往復走行する際
に、前記ワイヤー列に被加工物を押し当てると共に、ワ
イヤー列に砥粒を含む加工液を供給して砥粒のラッピン
グ作用により被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断
するものである。
【０００３】このワイヤーソーのワイヤーは、被加工物
を切断しているうちに磨耗してくるため、切断中にワイ
ヤーが断線する危険性がある。このため、定期的にワイ
ヤーの磨耗量を検知して、断線する前にワイヤーを交換
する必要がある。従来、ワイヤーソーのワイヤー磨耗量
検知は、ワイヤーを一定時間使用したらワイヤーソーを
一時的に停止させて、この間に作業者がマイクロメータ
でワイヤー径を測定してワイヤー磨耗量を検知してい
た。そして、ワイヤーが所定の細さまで磨耗していた
ら、ワイヤーを交換するようにしていた。
を切断しているうちに磨耗してくるため、切断中にワイ
ヤーが断線する危険性がある。このため、定期的にワイ
ヤーの磨耗量を検知して、断線する前にワイヤーを交換
する必要がある。従来、ワイヤーソーのワイヤー磨耗量
検知は、ワイヤーを一定時間使用したらワイヤーソーを
一時的に停止させて、この間に作業者がマイクロメータ
でワイヤー径を測定してワイヤー磨耗量を検知してい
た。そして、ワイヤーが所定の細さまで磨耗していた
ら、ワイヤーを交換するようにしていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法は、ワイヤーの
磨耗量を連続して検知することができないため、ワイヤ
ー径の測定から次の測定までの間にワイヤーが断線して
作業が停止するという危険性があった。また、測定の都
度ワイヤーソーを停止しなければならないので、作業能
率が悪くなるという欠点があった。
ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知方法は、ワイヤーの
磨耗量を連続して検知することができないため、ワイヤ
ー径の測定から次の測定までの間にワイヤーが断線して
作業が停止するという危険性があった。また、測定の都
度ワイヤーソーを停止しなければならないので、作業能
率が悪くなるという欠点があった。
【０００５】このような観点から、本発明の出願人は、
ワイヤー走行経路のうちワイヤーのみの電気抵抗を有す
る２点間に電圧をかけその電圧の変化でワイヤーの磨耗
量を検知する方法を提案した。この方法は、ワイヤーを
走行させたままワイヤー磨耗量を連続的に検知すること
ができるというメリットがある。しかしながら、この方
法は、ワイヤーの磨耗量をワイヤーの電気抵抗を測定す
ることによる間接的な測定方法であるため、測定の信頼
性を低下させる外部要因（例えば、ワイヤー以外の電気
抵抗）が測定に含まれ易いという欠点があった。
ワイヤー走行経路のうちワイヤーのみの電気抵抗を有す
る２点間に電圧をかけその電圧の変化でワイヤーの磨耗
量を検知する方法を提案した。この方法は、ワイヤーを
走行させたままワイヤー磨耗量を連続的に検知すること
ができるというメリットがある。しかしながら、この方
法は、ワイヤーの磨耗量をワイヤーの電気抵抗を測定す
ることによる間接的な測定方法であるため、測定の信頼
性を低下させる外部要因（例えば、ワイヤー以外の電気
抵抗）が測定に含まれ易いという欠点があった。
【０００６】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、ワイヤーソーの運転を停止することなく自動
でワイヤーの磨耗量を検知することができると共に、信
頼性の高い測定結果が得られるワイヤーソーのワイヤー
磨耗量検知装置を提供すること目的とする。
たもので、ワイヤーソーの運転を停止することなく自動
でワイヤーの磨耗量を検知することができると共に、信
頼性の高い測定結果が得られるワイヤーソーのワイヤー
磨耗量検知装置を提供すること目的とする。
【０００７】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
するために、一方のワイヤーリールと他方のワイヤーリ
ールの間を往復走行するワイヤーに被加工物を押し当て
ると共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給し、
前記被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイ
ヤーソーにおいて、前記ワイヤーを挟み付ける移動自在
な測定子を有すると共に、前記測定子の移動変位量を検
出する測定ヘッドと、前記ワイヤーを挟み付けた時の前
記測定子の移動変位量に基づいてワイヤー径を算出する
演算部と、を備えていることを特徴とする。
するために、一方のワイヤーリールと他方のワイヤーリ
ールの間を往復走行するワイヤーに被加工物を押し当て
ると共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給し、
前記被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイ
ヤーソーにおいて、前記ワイヤーを挟み付ける移動自在
な測定子を有すると共に、前記測定子の移動変位量を検
出する測定ヘッドと、前記ワイヤーを挟み付けた時の前
記測定子の移動変位量に基づいてワイヤー径を算出する
演算部と、を備えていることを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明によれば、ワイヤーを測定ヘッドで挟み
付けるようにすると共に、測定ヘッドの測定子移動変位
量に基づいてワイヤー径を演算部で算出するようにし
た。これにより、ワイヤー径を直接測定できるので、信
頼性の高い測定結果を得ることができる。
付けるようにすると共に、測定ヘッドの測定子移動変位
量に基づいてワイヤー径を演算部で算出するようにし
た。これにより、ワイヤー径を直接測定できるので、信
頼性の高い測定結果を得ることができる。
【０００９】また、ワイヤーが往復行する方向転換時の
一時的なワイヤー走行停止時に測定すれば、ワイヤーソ
ーの運転を止めないで測定できる。また、押し付け手段
を設けたので、ワイヤーの張力に影響されないでワイヤ
ー径を測定することができる。また、測定ヘッドのワイ
ヤー走行上流にワイヤーに供給された加工液を除去する
除去手段を設けた。これにより、測定時にワイヤーに加
工液が付着していないので、より精度のよい測定を行う
ことができる。
一時的なワイヤー走行停止時に測定すれば、ワイヤーソ
ーの運転を止めないで測定できる。また、押し付け手段
を設けたので、ワイヤーの張力に影響されないでワイヤ
ー径を測定することができる。また、測定ヘッドのワイ
ヤー走行上流にワイヤーに供給された加工液を除去する
除去手段を設けた。これにより、測定時にワイヤーに加
工液が付着していないので、より精度のよい測定を行う
ことができる。
【００１０】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るワイヤー
ソーのワイヤー磨耗量検知装置の好ましい実施例につい
て詳説する。本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検
知装置の実施例を説明する前に、まず、ワイヤーソー１
０の全体構成を図１に従って説明する。同図に示すよう
に、一方のリール１２に巻回されたワイヤー1 ４は、ワ
イヤー案内装置１６、複数の固定ガイドローラ１８、１
８、ダンサローラ２０を経由して３本の溝付きローラ２
２、２２、２２に順次巻き掛けられてワイヤー列２４を
形成した後、複数の固定ガイドローラ１８、１８、ダン
サローラ２０、ワイヤー案内装置１６を経て他方のリー
ル２６に巻き取られるワイヤー走行路を形成する。
ソーのワイヤー磨耗量検知装置の好ましい実施例につい
て詳説する。本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検
知装置の実施例を説明する前に、まず、ワイヤーソー１
０の全体構成を図１に従って説明する。同図に示すよう
に、一方のリール１２に巻回されたワイヤー1 ４は、ワ
イヤー案内装置１６、複数の固定ガイドローラ１８、１
８、ダンサローラ２０を経由して３本の溝付きローラ２
２、２２、２２に順次巻き掛けられてワイヤー列２４を
形成した後、複数の固定ガイドローラ１８、１８、ダン
サローラ２０、ワイヤー案内装置１６を経て他方のリー
ル２６に巻き取られるワイヤー走行路を形成する。
【００１１】前記ダンサローラ２０には、所定重量の錘
４４が吊設され、錘４４の荷重によりワイヤー走行路を
走行するワイヤー１４に常に所要の張力が付与される。
また、ワイヤー走行路の途中にはワイヤー洗浄装置４６
が設けられ、このワイヤー洗浄装置４６によってワイヤ
ー１４に付着した加工液４０がワイヤー１４から除去さ
れる。また、夫々のリール１２、２６は正逆回転可能な
駆動モータ２８、３０に連結されると共に、３本のうち
の１本の溝付きローラ２２は正逆回転可能な駆動モータ
３２に連結される。これにより、一方のリール１２から
繰り出されたワイヤー１４は、図中実線矢印３４方向に
高速走行（６００ｍ／分以上）しながら他方のリール２
６に巻き取られる。また、他方のリール２６に巻き取ら
れたワイヤー１４は図中破線矢印３６方向に逆走行して
一方のリール１２に巻き取られる。即ち、ワイヤー１４
は一方のリール１２と他方のリール２６の間を往復走行
する。また、ワイヤー列２４には、砥液貯留タンク３８
に貯留された砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０００程
度のものが使用される）を含む加工液４０が砥液供給ノ
ズル４２から供給される。
４４が吊設され、錘４４の荷重によりワイヤー走行路を
走行するワイヤー１４に常に所要の張力が付与される。
また、ワイヤー走行路の途中にはワイヤー洗浄装置４６
が設けられ、このワイヤー洗浄装置４６によってワイヤ
ー１４に付着した加工液４０がワイヤー１４から除去さ
れる。また、夫々のリール１２、２６は正逆回転可能な
駆動モータ２８、３０に連結されると共に、３本のうち
の１本の溝付きローラ２２は正逆回転可能な駆動モータ
３２に連結される。これにより、一方のリール１２から
繰り出されたワイヤー１４は、図中実線矢印３４方向に
高速走行（６００ｍ／分以上）しながら他方のリール２
６に巻き取られる。また、他方のリール２６に巻き取ら
れたワイヤー１４は図中破線矢印３６方向に逆走行して
一方のリール１２に巻き取られる。即ち、ワイヤー１４
は一方のリール１２と他方のリール２６の間を往復走行
する。また、ワイヤー列２４には、砥液貯留タンク３８
に貯留された砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０００程
度のものが使用される）を含む加工液４０が砥液供給ノ
ズル４２から供給される。
【００１２】また、前記ワイヤー列２４の下方には、ワ
ーク送りテーブル４８が設けられ、このワーク送りテー
ブル４８はモータ５０で回動するネジ桿５２により切断
送り方向（図中Ｙ−Ｙ方向）に移動可能に設けられると
共に、ワーク送りテーブル４８のワイヤー列２４側に
は、被加工物である半導体インゴット５４がワークブロ
ック５６とスライスベース５８を介して支持される。こ
れにより、ワーク送りテーブル４８を切断送り方向（ワ
イヤー列２４側）に移動させると、半導体インゴット５
４は高速走行するワイヤー列２４に押し当てられ、ワイ
ヤー列２４に供給される加工液４０の砥粒によるラッピ
ング作用により半導体インゴット５４を多数の薄板状の
ウェーハに切断する。
ーク送りテーブル４８が設けられ、このワーク送りテー
ブル４８はモータ５０で回動するネジ桿５２により切断
送り方向（図中Ｙ−Ｙ方向）に移動可能に設けられると
共に、ワーク送りテーブル４８のワイヤー列２４側に
は、被加工物である半導体インゴット５４がワークブロ
ック５６とスライスベース５８を介して支持される。こ
れにより、ワーク送りテーブル４８を切断送り方向（ワ
イヤー列２４側）に移動させると、半導体インゴット５
４は高速走行するワイヤー列２４に押し当てられ、ワイ
ヤー列２４に供給される加工液４０の砥粒によるラッピ
ング作用により半導体インゴット５４を多数の薄板状の
ウェーハに切断する。
【００１３】次に、本発明に係るワイヤーソーのワイヤ
ー磨耗量検知装置について説明する。図２はワイヤー磨
耗量検知装置の構成を示すブロック図である。同図に示
すように、ワイヤー磨耗量検知装置６０は、主としてテ
ーブル６２、測定子６４、測定ヘッド６６、エアシリン
ダ６８及びＣＰＵ７０から構成されている。テーブル６
２はワイヤー１４の近傍に設置されると共に、ワイヤー
１４に対向する面に基準面６２Ａが形成されている。
ー磨耗量検知装置について説明する。図２はワイヤー磨
耗量検知装置の構成を示すブロック図である。同図に示
すように、ワイヤー磨耗量検知装置６０は、主としてテ
ーブル６２、測定子６４、測定ヘッド６６、エアシリン
ダ６８及びＣＰＵ７０から構成されている。テーブル６
２はワイヤー１４の近傍に設置されると共に、ワイヤー
１４に対向する面に基準面６２Ａが形成されている。
【００１４】測定子６４は、ワイヤー１４に対して前記
テーブル６２の基準面６２Ａの反対側に配置されると共
に、測定ヘッド６６に移動自在に支持される。測定ヘッ
ド６６は、前記テーブル６２の基準面６２Ａに対する測
定子６４の移動変位量を測定ヘッド６６内に内蔵された
検出部（例えば、差動変圧器、モアレスケール等）で検
出し、測定子６４の移動変位量に応じた出力電圧を生じ
る。そして、出力電圧をＡ／Ｄ変換器７１でデジタル信
号に変換してＣＰＵ７０に出力する。
テーブル６２の基準面６２Ａの反対側に配置されると共
に、測定ヘッド６６に移動自在に支持される。測定ヘッ
ド６６は、前記テーブル６２の基準面６２Ａに対する測
定子６４の移動変位量を測定ヘッド６６内に内蔵された
検出部（例えば、差動変圧器、モアレスケール等）で検
出し、測定子６４の移動変位量に応じた出力電圧を生じ
る。そして、出力電圧をＡ／Ｄ変換器７１でデジタル信
号に変換してＣＰＵ７０に出力する。
【００１５】エアシリンダ６８は、ロッド６９に支持部
材７２を介して測定子６４に連結すると共に、前記測定
子６４をテーブル６２の基準面６２Ａに対して進退移動
させる。次に、上記のように構成されたワイヤー磨耗量
検知装置６０により、ワイヤー径を測定する方法を説明
する。
材７２を介して測定子６４に連結すると共に、前記測定
子６４をテーブル６２の基準面６２Ａに対して進退移動
させる。次に、上記のように構成されたワイヤー磨耗量
検知装置６０により、ワイヤー径を測定する方法を説明
する。
【００１６】まず、ワイヤー径を測定する前に基準測定
が行われる、すなわち、測定子６４とテーブル６２の基
準面６２Ａとの間にワイヤー１４がない状態でエアシリ
ンダ６８を作動させて、測定子６４を基準面６２Ａに当
接させる。そして、この時の測定子６４の移動変位量を
基準値（ゼロ）とするようにＣＰＵ７０でゼロ調整す
る。
が行われる、すなわち、測定子６４とテーブル６２の基
準面６２Ａとの間にワイヤー１４がない状態でエアシリ
ンダ６８を作動させて、測定子６４を基準面６２Ａに当
接させる。そして、この時の測定子６４の移動変位量を
基準値（ゼロ）とするようにＣＰＵ７０でゼロ調整す
る。
【００１７】次に以下のようにワイヤー径を測定する。
前述したワイヤーソー１０は、ワイヤー１４が一方のワ
イヤーリール１２と他方のワイヤーリール２６の間を往
復走行している（図１参照）。従って、ワイヤー１４が
往復行で走行方向を変える時、ワイヤー１４は一時的に
走行を停止する。この時、ワイヤーリール１２、２６及
び溝付ローラ２２に連結された駆動モータ２８、３０、
３２の駆動も一時的に停止する。
前述したワイヤーソー１０は、ワイヤー１４が一方のワ
イヤーリール１２と他方のワイヤーリール２６の間を往
復走行している（図１参照）。従って、ワイヤー１４が
往復行で走行方向を変える時、ワイヤー１４は一時的に
走行を停止する。この時、ワイヤーリール１２、２６及
び溝付ローラ２２に連結された駆動モータ２８、３０、
３２の駆動も一時的に停止する。
【００１８】ＣＰＵ７０は、駆動モータ３０が停止した
ことを確認すると、エアシリンダ６８を駆動して測定子
６４をテーブル６２の基準面６２Ａに向けて移動させ
る。測定子６４をテーブル６２の基準面６２Ａに向けて
移動させて行くと、ワイヤー１４は、テーブル６２の基
準面６２Ａと測定子６４の間にあるので、測定子６４と
テーブル６２の基準面６２Ａとの間で挟み付けられる。
測定ヘッド６６は、このワイヤー１４を測定子６４とテ
ーブル６２の基準面６２Ａとの間で挟み付けた時の測定
子６４の移動変位量を検出して、ＣＰＵ７０に出力す
る。
ことを確認すると、エアシリンダ６８を駆動して測定子
６４をテーブル６２の基準面６２Ａに向けて移動させ
る。測定子６４をテーブル６２の基準面６２Ａに向けて
移動させて行くと、ワイヤー１４は、テーブル６２の基
準面６２Ａと測定子６４の間にあるので、測定子６４と
テーブル６２の基準面６２Ａとの間で挟み付けられる。
測定ヘッド６６は、このワイヤー１４を測定子６４とテ
ーブル６２の基準面６２Ａとの間で挟み付けた時の測定
子６４の移動変位量を検出して、ＣＰＵ７０に出力す
る。
【００１９】ＣＰＵ７０では、この測定ヘッド６６から
出力された移動変位量と前記基準値（ゼロ）とを比較し
て測定子６４の移動変位差を算出する。この算出された
移動変位差はワイヤー１４の外径であるから、ＣＰＵ７
０はこの値がワイヤーの使用可能領域内の値（通常０．
１８〜０．１３mm）であるか判断する。そして、算出さ
れた値が使用可能領域より小さい値であった場合は、Ｃ
ＰＵ７０は警報装置７６を作動させて、作業者にワイヤ
ーの交換時期であることを知らせる。
出力された移動変位量と前記基準値（ゼロ）とを比較し
て測定子６４の移動変位差を算出する。この算出された
移動変位差はワイヤー１４の外径であるから、ＣＰＵ７
０はこの値がワイヤーの使用可能領域内の値（通常０．
１８〜０．１３mm）であるか判断する。そして、算出さ
れた値が使用可能領域より小さい値であった場合は、Ｃ
ＰＵ７０は警報装置７６を作動させて、作業者にワイヤ
ーの交換時期であることを知らせる。
【００２０】また、ＣＰＵ７０は一連の測定操作を終了
したら、再びエアシリンダ６８を駆動して、測定子６４
を元の位置に退避させる。このように、本実施例のワイ
ヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置によれば、ワイヤー
１４の径を測定するのに測定子６４を直接接触させて測
定するので、信頼性の高い測定結果が得られる。また、
ワイヤーソー１０の運転を停止することなく自動でワイ
ヤー１４の磨耗量を検知することができるので作業能率
を向上させることができる。
したら、再びエアシリンダ６８を駆動して、測定子６４
を元の位置に退避させる。このように、本実施例のワイ
ヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置によれば、ワイヤー
１４の径を測定するのに測定子６４を直接接触させて測
定するので、信頼性の高い測定結果が得られる。また、
ワイヤーソー１０の運転を停止することなく自動でワイ
ヤー１４の磨耗量を検知することができるので作業能率
を向上させることができる。
【００２１】尚、本実施例では、ワイヤー１４をテーブ
ル６２に押さえつける手段として、測定子６４によりワ
イヤー１４をテーブル６２に押さえ付けていたが、図３
に示すようにしてもよい。すなわち、測定子６２の両脇
に第二のエアシリンダ７８を設置して、測定の際は、予
めワイヤー１４をテーブル６２に押さえ付けておく。こ
れにより、測定子６４がワイヤー１４の張力に抗してワ
イヤー１４をテーブル６２の基準面６２Ａに押し付ける
必要がなくなるため、ワイヤー１４を挟み付ける圧力を
小さくすることができると共に、ワイヤー１４を測定子
６４と基準面６２Ａの間に確実に挟み込むことができ
る。
ル６２に押さえつける手段として、測定子６４によりワ
イヤー１４をテーブル６２に押さえ付けていたが、図３
に示すようにしてもよい。すなわち、測定子６２の両脇
に第二のエアシリンダ７８を設置して、測定の際は、予
めワイヤー１４をテーブル６２に押さえ付けておく。こ
れにより、測定子６４がワイヤー１４の張力に抗してワ
イヤー１４をテーブル６２の基準面６２Ａに押し付ける
必要がなくなるため、ワイヤー１４を挟み付ける圧力を
小さくすることができると共に、ワイヤー１４を測定子
６４と基準面６２Ａの間に確実に挟み込むことができ
る。
【００２２】また、図３に示すように、ワイヤー磨耗量
検知装置６０の溝付ローラ２２（図示せず）側にフェル
ト８０を設置して、予めワイヤー１４に付着した砥粒や
洗浄液等の付着物を拭き取ってから測定を開始すれば、
更に信頼性の高い測定値を得ることができる。
検知装置６０の溝付ローラ２２（図示せず）側にフェル
ト８０を設置して、予めワイヤー１４に付着した砥粒や
洗浄液等の付着物を拭き取ってから測定を開始すれば、
更に信頼性の高い測定値を得ることができる。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のワイヤー
ソーのワイヤー磨耗量検知装置によれば、ワイヤーの径
を直接測定するので、確実に測定できると共に、信頼性
の高い測定結果が得られる。また、ワイヤーソーの運転
を停止することなく自動でワイヤーの磨耗量を検知する
ことができるので作業能率を向上させることができる。
ソーのワイヤー磨耗量検知装置によれば、ワイヤーの径
を直接測定するので、確実に測定できると共に、信頼性
の高い測定結果が得られる。また、ワイヤーソーの運転
を停止することなく自動でワイヤーの磨耗量を検知する
ことができるので作業能率を向上させることができる。
【図１】図１は、ワイヤーソーの全体構成図
【図２】図２は、本発明のワイヤーソーのワイヤー磨耗
量検知装置の構成図。
量検知装置の構成図。
【図３】図３は、ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装
置に第２のエアシリンダを設置したときの構成図
置に第２のエアシリンダを設置したときの構成図
１０…ワイヤーソー １４…ワイヤー １２、２６…ワイヤーリール ２２…溝付ローラ ２８、３０、３２…駆動モータ ６０…ワイヤー磨耗量検知装置 ６２…テーブル ６４…測定子 ６６…測定ヘッド ６８…エアシリンダ ７０…ＣＰＵ ７６…警報装置 ７８…第２のエアシリンダ ８０…フェルト
Claims (3)
- 【請求項１】一方のワイヤーリールと他方のワイヤーリ
ールの間を往復走行するワイヤーに被加工物を押し当て
ると共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給し、
前記被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイ
ヤーソーにおいて、 前記ワイヤーを挟み付ける移動自在な測定子を有すると
共に、前記測定子の移動変位量を検出する測定ヘッド
と、 前記ワイヤーを挟み付けた時の前記測定子の移動変位量
に基づいてワイヤー径を算出する演算部と、を備えてい
ることを特徴とするワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知
装置。 - 【請求項２】前記測定ヘッドで前記ワイヤーを挟み付け
る前に、予め前記ワイヤーを前記測定ヘッドの受面に押
しつけておく押し付け手段を設けたことを特徴とする請
求項１のワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置。 - 【請求項３】前記測定ヘッドのワイヤー走行上流側に前
記ワイヤーに供給された前記加工液を除去する除去手段
を設けたことを特徴とする請求項１のワイヤーソーのワ
イヤー磨耗量検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18099794A JP3244099B2 (ja) | 1994-08-02 | 1994-08-02 | ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18099794A JP3244099B2 (ja) | 1994-08-02 | 1994-08-02 | ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0839542A true JPH0839542A (ja) | 1996-02-13 |
| JP3244099B2 JP3244099B2 (ja) | 2002-01-07 |
Family
ID=16092934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18099794A Expired - Fee Related JP3244099B2 (ja) | 1994-08-02 | 1994-08-02 | ワイヤーソーのワイヤー磨耗量検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3244099B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116277559A (zh) * | 2023-05-17 | 2023-06-23 | 浙江求是半导体设备有限公司 | 晶棒切割系统及金刚线寿命检测方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2815834A1 (en) * | 2013-06-21 | 2014-12-24 | Applied Materials Switzerland Sàrl | Wire monitoring system for a wire saw and method for monitoring a wire saw |
-
1994
- 1994-08-02 JP JP18099794A patent/JP3244099B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
| CN116277559A (zh) * | 2023-05-17 | 2023-06-23 | 浙江求是半导体设备有限公司 | 晶棒切割系统及金刚线寿命检测方法 |
| CN116277559B (zh) * | 2023-05-17 | 2023-08-18 | 浙江求是半导体设备有限公司 | 晶棒切割系统及金刚线寿命检测方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3244099B2 (ja) | 2002-01-07 |
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