JP2018058147A - ワイヤソー及びワイヤソーのワイヤ巻き取り方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記リールと溝ローラ間の繰出し側及び巻き取り側の少なくとも一方に設けられ、ワイヤの線径を測定する測定手段と、
前記測定手段で測定したワイヤの線径から、巻き取りピッチを算出する制御手段と、
を設け、
前記制御手段で算出した巻き取りピッチで前記トラバースローラを移動することで前記巻き取り側となるリールに前記ワイヤを巻き取るようにした構成を採用するワイヤソーである。
予め使用により摩耗したワイヤの平均線径を入力する入力手段と、
前記入力手段で入力したワイヤの線径から、巻き取りピッチを算出する制御手段と、
を設け、
前記制御手段で算出した巻き取りピッチで前記トラバースローラを移動することで前記巻き取り側となるリールに前記ワイヤを巻き取るようにした構成を採用するワイヤソーである。
前記リールと溝ローラ間の繰出し側及び巻き取り側の少なくとも一方でワイヤの線径を測定し、
前記測定したワイヤの線径から、巻き取りピッチを算出し、
前記算出した巻き取りピッチで前記トラバースローラを移動することで前記巻き取り側となるリールに前記ワイヤを巻き取るようにした構成を採用するワイヤソーのワイヤ巻き取り方法である。
予め使用により摩耗したワイヤの平均線径を入力手段から入力し、
前記入力手段で入力したワイヤの線径から、巻き取りピッチを算出し、
前記算出した巻き取りピッチで前記トラバースローラを移動することで前記巻き取り側となるリールに前記ワイヤを巻き取るようにした構成を採用するワイヤソーのワイヤ巻き取り方法である。
図1のワイヤソー1を用いて、以下の条件でワイヤ2を往復走行させて試験を行なった。ワイヤ2として、平均線径Dが180μmの芯線30に、平均砥粒径d2が、30〜40μmのダイヤモンドの砥粒31が結合材32をニッケルメッキとして電着された平均線径Dが250μmのものを用いた。切断するワークWには、4インチ径、300mm長さのサファイアを用いた。
ワイヤソー1の起動時の条件
ワイヤ平均走行速度:1500m/min
巻き付け張力:50N
巻き取りピッチ:供給側0.29mm、回収側0.29mm
切削液:水溶性切削液
ワーク切断ピッチ:0.6mm
ワイヤ供給量:平均18m/min(形状に応じて可変)
往復サイクル(1min間の往復回数):0.5サイクル
前記条件で切断を開始するとともに、ワイヤ2の往復時にワイヤ2の走行速度が低下または停止した時点のワイヤ2の線径Dを回収側カメラ6で測定した。このとき、ワークWの切断に寄与したワイヤ2、すなわち、回収側のワイヤ2の線径d2は、0.22mmであった。なお、供給側のワイヤ2は、ワークWの切断に寄与したワイヤ2が供給側カメラ6位置まで巻き戻されないので、新線のワイヤ径である0.25mmであった。
D 線径
d1 芯線径
d2 砥粒径
1 ワイヤソー
2 ワイヤ
3 供給リール
4 回収リール
5 トラバースローラ
6 カメラ(測定手段)
7 ガイドローラ
8a テンションローラ
8b テンションローラ
9a テンションアーム
9b テンションアーム
10a モータ
10b モータ
11a 溝ローラ
11b 溝ローラ
12 揺動枠
13 ロードセル
15 ダミー部材
16 ワーク台
17 ワークテーブル
18 モータ
19 ボールネジ
20 トラバース装置
21 ベース枠
22 モータ
23 ボールネジ
24 分力計
25 レール
26 制御部
27 移動枠
28 駆動部
29 制御部
30 芯線
31 砥粒
32 結合材
50 リール
51 ワイヤ
Claims (4)
- 芯線の表面に砥粒が固定された固定砥粒ワイヤの繰出し及び巻き取りを行う一対のリールと、前記ワイヤが巻き回される複数本の溝ローラと、前記リール近傍に設けられ、前記ワイヤの繰出しまたは巻き取りの際に前記リールの軸線方向に移動して所定のピッチでワイヤを案内するトラバースローラとを備え、前記固定砥粒ワイヤを一方向または往復走行させて、前記溝ローラ間のワイヤにワークを押し付けて該ワークを切断するワイヤソーにおいて、
前記リールと溝ローラ間の繰出し側及び巻き取り側の少なくとも一方に設けられ、ワイヤの線径を測定する測定手段と、
前記測定手段で測定したワイヤの線径から、巻き取りピッチを算出する制御手段と、
を設け、
前記制御手段で算出した巻き取りピッチで前記トラバースローラを移動することで前記巻き取り側となるリールに前記ワイヤを巻き取るようにしたことを特徴とするワイヤソー。 - 芯線の表面に砥粒が固定された固定砥粒ワイヤの繰出し及び巻き取りを行う一対のリールと、前記ワイヤが巻き回される複数本の溝ローラと、前記リール近傍に設けられ、前記ワイヤの繰出しまたは巻き取りの際に前記リールの軸線方向に移動して所定のピッチでワイヤを案内するトラバースローラとを備え、前記固定砥粒ワイヤを一方向または往復走行させて、前記溝ローラ間のワイヤにワークを押し付けて該ワークを切断するワイヤソーにおいて、
予め使用により摩耗したワイヤの平均線径を入力する入力手段と、
前記入力手段で入力したワイヤの線径から、巻き取りピッチを算出する制御手段と、
を設け、
前記制御手段で算出した巻き取りピッチで前記トラバースローラを移動することで前記巻き取り側となるリールに前記ワイヤを巻き取るようにしたことを特徴とするワイヤソー。 - 芯線の表面に砥粒が固定された固定砥粒ワイヤを一対のリールから繰出し及び巻き取りを行い、前記ワイヤを前記両リール間で複数本の溝ローラに巻き掛け、前記溝ローラ間のワイヤにワークを押し付けて該ワークを切断するとともに、前記リール近傍に設けられたトラバースローラで前記ワイヤを所定のピッチでリールに案内するワイヤソーのワイヤ巻き取り方法において、
前記リールと溝ローラ間の繰出し側及び巻き取り側の少なくとも一方でワイヤの線径を測定し、
前記測定したワイヤの線径から、巻き取りピッチを算出し、
前記算出した巻き取りピッチで前記トラバースローラを移動することで前記巻き取り側となるリールに前記ワイヤを巻き取るようにしたことを特徴とするワイヤソーのワイヤ巻き取り方法。 - 芯線の表面に砥粒が固定された固定砥粒ワイヤを一対のリールから繰出し及び巻き取りを行い、前記ワイヤを前記両リール間で複数本の溝ローラに巻き掛け、前記溝ローラ間のワイヤにワークを押し付けて該ワークを切断するとともに、前記リール近傍に設けられたトラバースローラで前記ワイヤを所定のピッチでリールに案内するワイヤソーのワイヤ巻き取り方法において、
予め使用により摩耗したワイヤの平均線径を入力手段から入力し、
前記入力手段で入力したワイヤの線径から、巻き取りピッチを算出し、
前記算出した巻き取りピッチで前記トラバースローラを移動することで前記巻き取り側となるリールに前記ワイヤを巻き取るようにしたことを特徴とするワイヤソーのワイヤ巻き取り方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016196688A JP2018058147A (ja) | 2016-10-04 | 2016-10-04 | ワイヤソー及びワイヤソーのワイヤ巻き取り方法 |
CN201710893350.9A CN107891538A (zh) | 2016-10-04 | 2017-09-27 | 线锯以及线锯的卷线方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016196688A JP2018058147A (ja) | 2016-10-04 | 2016-10-04 | ワイヤソー及びワイヤソーのワイヤ巻き取り方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018058147A true JP2018058147A (ja) | 2018-04-12 |
Family
ID=61802757
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2016196688A Ceased JP2018058147A (ja) | 2016-10-04 | 2016-10-04 | ワイヤソー及びワイヤソーのワイヤ巻き取り方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018058147A (ja) |
CN (1) | CN107891538A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2016
- 2016-10-04 JP JP2016196688A patent/JP2018058147A/ja not_active Ceased
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2017
- 2017-09-27 CN CN201710893350.9A patent/CN107891538A/zh active Pending
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