JP2018190974A - リール装置、ワイヤーソー、及び半導体インゴットの切断方法 - Google Patents
リール装置、ワイヤーソー、及び半導体インゴットの切断方法 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】ワイヤーや砥粒の消耗、インゴットの浪費を抑え、製造能率の向上及び製造コストの軽減を図る。
【解決手段】第1の巻きユニット42と第2の巻きユニット43とが第1の水平方向Xに離隔された非結合状態と、第1の巻きユニット42と第2の巻きユニット43とが近接された結合状態とに第1の巻きユニット42と第2の巻きユニット43とがなるように、第1の巻きユニット42と第2の巻きユニット43の少なくとも1つが他の1つに向かってスライドレール411に第1の水平方向X沿いに移動されるように所定の間隔をおいて配置されている。このように半導体インゴットを切断したワイヤー(旧線)と使われていないワイヤー(新線)とを区別して第1の巻きユニット42又は第2の巻きユニット43に巻回することができる。
【選択図】図8
Description
自身の中央軸をもって延伸された半導体インゴットを該中央軸と直角の方向である第1の水平方向に対して上下に複数のウエハにワイヤーで切断するワイヤーソーに用いられるリール装置であって、
前記第1の水平方向に延伸される少なくとも1本のスライドレールを設けているトランスファーユニットと、
前記第1の水平方向と平行な自身の軸線を中心として回転可能に前記スライドレールに搭載されるように設けられた第1の巻きユニットと、
前記第1の巻きユニットと同軸的に対向すると共に前記軸線を中心として回転可能に前記スライドレールに搭載されるように設けられた第2の巻きユニットと、
前記第1の巻きユニットと前記第2の巻きユニットとが前記第1の水平方向に離隔された非結合状態と、前記第1の巻きユニットと前記第2の巻きユニットとが近接された結合状態とに前記第1の巻きユニットと前記第2の巻きユニットとがなるように、前記第1の巻きユニットと前記第2の巻きユニットの少なくとも1つが他の1つに向かって前記スライドレールに前記第1の水平方向沿いに移動されるように所定の間隔をおいて配置されていることを特徴とするリール装置を提供する。
1本のワイヤーが装着され、半導体インゴットをウエハ状に切断するのに適用されるワイヤーソーであって、
上下に延伸される高さ方向に沿って延伸されてなった装置フレームと、
前記装置フレーム内に前記高さ方向に対して水平状に所定の間隔をおいて並ぶように回転可能に設けられた2つのメインローラーを有するローラー装置と、
前記半導体インゴットを装着するように用いられ、前記ローラー装置の上側にあるように前記装置フレームに設けられ、前記半導体インゴットを装着するためのローダーを有し、前記ローダーは前記半導体インゴットを装着した状態で下側の前記ローラー装置に向けて移動されて2つの前記メインローラーの間に位置決められるように設けられた送り装置と、
本発明に係るリール装置とを備え、
前記リール装置は、前記装置フレームの両側に配置され、
前記第1の水平方向は前記高さ方向に対して直角であり、
2つの前記メインローラーは、前記高さ方向及び前記第1の水平方向と直角の第2の水平方向に沿って並ぶように設けられ、
前記ワイヤーは、前記リール装置の1つ、前記ローラー装置、前記リール装置の他の1つにその順番に巻きまわされて装着され、
2つの前記メインローラーに前記ワイヤーが前記第2の水平方向に走行するように周回されて前記第1の水平方向沿いの間隔をおいて並列される複数の線分からなるワイヤーウェブを形成するよう架設され、
前記ワイヤーウェブは、2つの前記メインローラー間に架設された複数本の平行な前記線分を加工セクションとして有し、前記第2の水平方向に沿って一方向走行又は往復走行させて前記半導体インゴットを切断する、ことを特徴とするワイヤーソーをも提供する。
半導体インゴットの切断のために使われるワイヤーと、前記ワイヤーが巻回され、前記ワイヤーを前記半導体インゴットの自身の軸心に沿う第1の水平方向に対して横向きに走行させるように回転可能に設けられたローラー装置と、前記半導体インゴットを装着し、装着された前記半導体インゴットを前記ローラー装置に対して上下移動させるように設けられた送り装置と、前記ローラー装置を取り挟むようにその両側に配置された2つの本発明に係るリール装置とを用意し、前記ローラー装置は、前記第1の水平方向と直角の第2の水平方向Yに所定の間隔をおいて並ぶように転動可能に設けられた2つのメインローラーを有し、2つの前記リール装置の一方を第1のリール装置と、他方を第2のリール装置と、前記ワイヤーが前記第2のリール装置から前記第1のリール装置へ走行する向きを前方向と、その反対の向きを後方向とそれぞれする用意作業を行うステップAと、
前記第1のリール装置における前記第1の巻きユニットと前記第2の巻きユニット及び前記第2のリール装置における前記第1の巻きユニットと前記第2の巻きユニットとがそれぞれ前記非結合状態にされ、前記半導体インゴットの切断に使われる新線である前記ワイヤーが新線ワイヤーとして前記第2のリール装置の前記第2の巻きユニットに掛け回され、前記メインローラーに周回されてワイヤーウェブを形成するよう架設され、前記新線ワイヤーの先端が前記第1のリール装置の前記第2の巻きユニットに固定され、そして、前記第1のリール装置が前記結合状態にされ、前記第2のリール装置から前記半導体インゴットの切断に要する分だけの前記新線ワイヤーが巻き戻されて前記第1のリール装置の前記第1の巻きユニットに巻回され、前記半導体インゴットを装着した前記送り装置が前記ワイヤーウェブの前記第1の水平方向と前記第2の水平方向とに垂直の高さ方向の上に移動される、新線装着作業を行うステップBと、
前記送り装置が前記ワイヤーウェブに向かって下降し、前記ローラー装置が回転され、前記ワイヤーウェブが前記前方向に動かされ、前記半導体インゴットを切断し、そして、前記ローラー装置の回転によって、使われた前記ワイヤーを旧線として回収する分の長さを旧線回収分長さとして前記ワイヤーを走行させ、前記旧線回収分長さに応じた前記ワイヤーの一部を前記第2のリール装置の前記第2の巻きユニットから巻き戻し、前記第1のリール装置の前記第2の巻きユニットに巻回する、前記前方向の切断を行った旧線の旧線回収作業を行うステップCと、
前記第1のリール装置が前記結合状態にされ、ワイヤーを回収する予定分の長さである回収予定分長さだけ前記ワイヤーを前記前方向を走行させ、前記回収予定分長さに応じた長さを有する前記ワイヤーの一部を前記第2のリール装置の前記第2の巻きユニットから巻き戻し、前記第1のリール装置の前記第1の巻きユニットに巻回する前記前方向の切断を行ったワイヤーの回収作業を行うステップDと、
前記第2のリール装置が前記結合状態にされ、前記ローラー装置が回転され、前記ワイヤーウェブが動かされ、前記半導体インゴットが切断され、前記回収予定分長さに応じて前記ワイヤーを前記前方向に走行させ、前記回収予定分長さに応じた長さを有する前記ワイヤーの一部を前記第1のリール装置の前記第1の巻きユニットから巻き戻して前記第2のリール装置の前記第1の巻きユニットに巻回し、そして、前記ワイヤーの全てが前記第1のリール装置の前記第1の巻きユニットから巻き戻されると、前記第1のリール装置が前記非結合状態にされ、後方向の切断作業を行うステップEと、
前記ローラー装置が回転され、前記ワイヤーウェブが動かされ、前記半導体インゴットを切断し、前記ローラー装置の回転によって前記ワイヤーを前記旧線回収分長さだけ走行させ、前記旧線回収分長さに応じた前記ワイヤーの一部を前記第2のリール装置の前記第1の巻きユニットから巻き戻して前記第1のリール装置の前記第2の巻きユニットに巻回し、そして、前記第1のリール装置が前記非結合状態から前記結合状態にされると、前記ワイヤーが更に前記前方向に走行して前記第2のリール装置の前記第1の巻きユニットから巻き戻され、前記第2のリール装置が前記結合状態から前記非結合状態にされる、新線補充切断作業を行うステップFと、
前記送り装置に装着された前記半導体インゴットが下降しながら前記ワイヤーウェブによる複数のウエハ状への切断が完了するように前記ステップE〜前記ステップFを繰り返し行う切断完了作業を行うステップGと、
を有することを特徴とする半導体インゴットの切断方法を提供する。
半導体インゴットの切断のために使われるワイヤーと、前記ワイヤーが巻回され、前記ワイヤーを前記半導体インゴットの自身の軸心に沿う第1の水平方向に対して横向きに走行させるように回転可能に設けられたローラー装置と、前記半導体インゴットを装着し、装着された前記半導体インゴットを前記ローラー装置に対して上下移動させるように設けられた送り装置と、前記ローラー装置を取り挟むようにその両側に配置された2つの本発明に係るリール装置とを用意し、前記ローラー装置は、前記第1の水平方向と直角の第2の水平方向Yに所定の間隔をおいて並ぶように転動可能に設けられた2つのメインローラーを有し、2つの前記リール装置の一方を第1のリール装置と、他方を第2のリール装置と、前記ワイヤーが前記第2のリール装置から前記第1のリール装置へ走行する向きを前方向と、その反対の向きを後方向とそれぞれする用意作業を行うステップAと、
前記第1のリール装置における前記第1の巻きユニットと前記第2の巻きユニット及び前記第2のリール装置における前記第1の巻きユニットと前記第2の巻きユニットとがそれぞれ前記非結合状態にされ、前記半導体インゴットの切断に使われる新線である前記ワイヤーが新線ワイヤーとして前記第2のリール装置の前記第2の巻きユニットに掛け回され、前記メインローラーに周回されてワイヤーウェブを形成するよう架設され、前記新線ワイヤーの先端が前記第1のリール装置の前記第2の巻きユニットに固定され、そして、前記第1のリール装置が前記結合状態にされ、前記第2のリール装置から前記半導体インゴットの切断に要する分だけの前記新線ワイヤーが巻き戻されて前記第1のリール装置の前記第1の巻きユニットに巻回され、前記半導体インゴットを装着した前記送り装置が前記ワイヤーウェブの前記第1の水平方向と前記第2の水平方向とに垂直の高さ方向の上に移動される、新線装着作業を行うステップBと、
前記第2のリール装置が結合状態にされ、前記第1のリール装置の前記第1の巻きユニットから前記半導体インゴットを切断する分だけの前記新線ワイヤーが巻き戻されて前記第2のリール装置の前記第1の巻きユニットに巻回される新線巻回作業を行うステップCと、
前記半導体インゴットを装着した前記送り装置が前記ワイヤーウェブに向かって下降しながら、前記ローラー装置が回転され、前記ワイヤーウェブを前記前方向又は/及び前記後方向に走行させ、前記半導体インゴットを複数のウエハに切断し、そして、前記新線ワイヤーが前記第2のリール装置から繰り出されて前記半導体インゴットの切断を経た前記ワイヤーが旧線ワイヤーとして少しずつ前記第1のリール装置の前記第1の巻きユニットに巻回されるように前記後方向に走行される前記ワイヤーの量よりも前記前方向に走行される前記ワイヤーの量を多くする、切断作業を行うステップDと、
を有することを特徴とする半導体インゴットの切断方法をも提供する。
本発明の他の特徴および利点は、添付の図面を参照する以下の実施形態の詳細な説明において明白になるであろう。
図1〜図4は、本発明に係るワイヤーソー100の一例の構成を示している。ワイヤーソー100は、装着された1本のワイヤー91によって、例えば自身の中央軸をもって延伸された半導体インゴット92を該中央軸と直角の方向である第1の水平方向Xに上下に複数切断してウエハに切断する(ウエハとして切り出す)のに適用され、装置フレーム1内にローラー装置2と、ローラー装置2の上側に配置された送り装置3と、ローラー装置2を取り挟むように設けられた2つのリール装置4と、リール装置4のいずれか1つに対応して設けられた張力調整装置5とを備えている。半導体インゴット92を切断する際、ワイヤー91をリール装置4の一方、ローラー装置2、張力調整装置5、リール装置4の他方にその順番に巻きまわして装着する。なお、ワイヤーソー100の説明のために直交座標系を使用し、上下に延伸される高さ方向をZ、高さ方向Zと直角に延伸される第1の水平方向、第2の水平方向をそれぞれX、Yとする。
次に、上記のように構成されたワイヤーソー100を用いた半導体インゴットの切断方法を説明する。図23は、本発明に係る半導体インゴットの切断方法の第1の実施例のフローチャートを示す図、図24〜33は、ワイヤーソー100の構成をもって半導体インゴットの切断方法を説明する図である。
次に、本発明に係るワイヤーソー100を用いた半導体インゴットの切断方法の他例について説明する。図34は、本発明に係る半導体インゴットの切断方法の第2の実施例を示すフローチャートである。
1 装置フレーム
11 ベース部
12 作業部
13 滑車装着部
2 ローラー装置
21 メインローラー
22 補助ローラー
3 送り装置
31 ローダー
32 受け槽
4 リール装置
41 トランスファーユニット
411 スライドレール
412 第1のスライダ
413 第2のスライダ
42 第1の巻きユニット
421 第1の回転部材
422 開口
423 内周面
43 第2の巻きユニット
431 第2の回転部材
432 外周面
44 駆動ユニット
441 第1のモータ
442 第2のモータ
443 第3のモータ
444 第4のモータ
5 張力調整装置
51 滑車機構
511 アイドラロール
512 案内ロール
52 第1の駆動機構
521 出力シャフト
522 第1のテンションローラー
53 ねじシャフト
54 取付枠
55 第1の繋ぎ部材
56 第2の駆動機構
561 出力シャフト
562 第2のテンションローラー
57 第2の繋ぎ部材
6 ワイヤー案内部材
61 周壁
611 第1の側部
612 第2の側部
613 連結面
614 延伸面
62 ワイヤーガイド
621 内側面
622 案内面
623 挟持面
624 幅広側端部
625 幅狭側端部
626 凹部
71 第1のリール装置
72 第2のリール装置
91 ワイヤー
911 ワイヤーウェブ
92 インゴット
D 離隔距離
FM 駆動力
L1 軸線
L2 直線
T1 張力
X 第1の水平方向
Y 第2の水平方向
Z 高さ方向
1A〜1H、2A〜2H ステップ
Claims (17)
- 自身の中央軸をもって延伸された半導体インゴットを該中央軸と直角の方向である第1の水平方向に対して上下に複数のウエハにワイヤーで切断するワイヤーソーに用いられるリール装置であって、
前記第1の水平方向に延伸される少なくとも1本のスライドレールを設けているトランスファーユニットと、
前記第1の水平方向と平行な自身の軸線を中心として回転可能に前記スライドレールに搭載されるように設けられた第1の巻きユニットと、
前記第1の巻きユニットと同軸的に対向すると共に前記軸線を中心として回転可能に前記スライドレールに搭載されるように設けられた第2の巻きユニットと、
前記第1の巻きユニットと前記第2の巻きユニットとが前記第1の水平方向に離隔された非結合状態と、前記第1の巻きユニットと前記第2の巻きユニットとが近接された結合状態とに前記第1の巻きユニットと前記第2の巻きユニットとがなるように、前記第1の巻きユニットと前記第2の巻きユニットの少なくとも1つが他の1つに向かって前記スライドレールに前記第1の水平方向沿いに移動されるように所定の間隔をおいて配置されていることを特徴とするリール装置。 - 前記トランスファーユニットは更に、前記スライドレールに摺動可能に設けられた第1のスライダと第2のスライダとを有し、
前記第1の巻きユニットは、前記第1のスライダに回転可能に設けられ、
前記第2の巻きユニットは、前記第2のスライダに回転可能に設けられ、
前記結合状態では、前記第1の巻きユニットと前記第2の巻きユニットとが近づくように、前記第1のスライダと前記第2のスライダとが移動され近接していて、
前記非結合状態では、前記第1のスライダと前記第2のスライダとが離隔して離れていることを特徴とする請求項1に記載のリール装置。 - 前記トランスファーユニットは更に、前記スライドレールに摺動可能に設けられた第1のスライダと第2のスライダとを有し、
前記第1の巻きユニットは、前記第1の水平方向に延伸されるように形成され、前記第1のスライダに回転可能に設けられた第1の回転部材を有し、
前記第2の巻きユニットは、前記第1の水平方向に延伸されるように形成され、前記第2のスライダに回転可能に設けられた第2の回転部材を有し、
前記結合状態では、前記第1のスライダと前記第2のスライダとが互いに近づくと共に、前記第1の巻きユニットに前記第2の巻きユニットが取り囲まれるように前記第1の巻きユニットと前記第2の巻きユニットとが嵌合され、
前記非結合状態では、前記第1のスライダと前記第2のスライダとが離隔して離れていることを特徴とする請求項1に記載のリール装置。 - 前記第1の巻きユニットは、前記第1の水平方向に延伸され、回転可能に設けられた第1の回転部材と、前記第1の回転部材の端縁から前記第1の水平方向沿いに延伸されるように設けられた少なくとも1つのワイヤーガイドとを有し、
前記第2の巻きユニットは、前記第1の水平方向に延伸され、回転可能に設けられた第2の回転部材を有し、
前記結合状態では、前記第1の回転部材と前記第2の回転部材とが互いに近づき、
前記非結合状態では、前記第1の回転部材と前記第2の回転部材とが離隔して離れていることを特徴とする請求項1に記載のリール装置。 - 前記第1の回転部材は、前記第2の回転部材が出入り可能にその一端が開放した開口を有する中空の筒状体であり、
前記第1の回転部材と前記第2の回転部材とは、前記第1の回転部材の前記第2の回転部材側の内周面と前記第2の回転部材の前記第1の回転部材側の外周面とが、前記第2の回転部材が前記開口より前記第1の回転部材に入って前記結合状態になった時に、所定の離隔距離だけ隔てるように設けられ、
前記第1の巻きユニットは更に、前記第1の回転部材の端縁から延伸されるように設けられた少なくとも1つのワイヤーガイドを有することを特徴とする請求項3に記載のリール装置。 - 前記第1の回転部材は、前記第2の回転部材が出入りするようにその一端が開放した開口を有する中空の筒状体であり、
前記第1の巻きユニットは更に、前記開口に隣接して前記第1の回転部材に設けられたワイヤー案内部材を有し、
前記ワイヤー案内部材は、前記軸線を取り囲んで設けられた周壁と、前記周壁に所定の角間隔をおいて突き出されて設けられた複数のワイヤーガイドとを有し、
前記周壁は、前記第1の回転部材が接触して連結された第1の側部と、前記ワイヤーガイドが設けられた、前記第1の側部の反対側の第2の側部とを有し、
前記ワイヤーガイドは、前記周壁の前記第2の側部よりも前記軸線に近づいた内側面と、前記内側面の前記軸線を囲む周方向の相反する両端における1端に設けられた案内面と、を有することを特徴とする請求項3に記載のリール装置。 - 前記第1の回転部材は、前記第2の回転部材が出入りするようにその一端が開放した開口を有する中空の筒状体であり、
前記第1の巻きユニットは更に、前記開口に隣接して前記第1の回転部材に設けられたワイヤー案内部材を有し、
前記ワイヤー案内部材は、前記軸線を取り囲んで設けられた周壁と、前記周壁に所定の角間隔をおいて突き出されて設けられた複数のワイヤーガイドとを有し、
前記周壁は、前記第1の回転部材が接触して連結された第1の側部と、前記ワイヤーガイドが設けられた、前記第1の側部の反対側の第2の側部とを有し、
前記ワイヤーガイドは、前記周壁の前記第2の側部よりも前記軸線に近づいた内側面と、前記内側面の前記軸線を囲む周方向の相反する両端に互いに対向するように設けられた2つの案内面を有することを特徴とする請求項3に記載のリール装置。 - 前記ワイヤーガイドは更に、前記内側面の反対側にあり2つの前記案内面の間を接続して延伸されるように形成される挟持面を有し、
前記案内面は、その前記挟持面に近い内側端とその前記挟持面から離れた外側端とを有し、前記内側端は前記外側端よりも幅広である幅広側端部とされ、前記外側端は前記幅広側端部よりも狭い幅狭側端部とされ、前記案内面は、前記幅広側端部と前記幅狭側端部とにより台形状に形成されていることを特徴とする請求項7に記載のリール装置。 - 前記ワイヤー案内部材の前記周壁の前記第2の側部は、前記ワイヤーガイドの隣接した同士の間を繋いだ複数の連結面と、前記連結面から連続して前記ワイヤーガイドに延伸されて連結された延伸面とを有し、
前記延伸面と該延伸面の隣接した前記案内面との間は窪んで前記ワイヤーを導く凹部として形成されていることを特徴とする請求項6又は7に記載のリール装置。 - ワイヤーが装着され、半導体インゴットをウエハ状に切断するのに適用されるワイヤーソーであって、
上下に延伸される高さ方向に沿って延伸されてなった装置フレームと、
前記装置フレーム内に前記高さ方向に対して水平状に所定の間隔をおいて並ぶように回転可能に設けられた2つのメインローラーを有するローラー装置と、
前記半導体インゴットを装着するように用いられ、前記ローラー装置の上側にあるように前記装置フレームに設けられ、前記半導体インゴットを装着するためのローダーを有し、前記ローダーは前記半導体インゴットを装着した状態で下側の前記ローラー装置に向けて移動されて2つの前記メインローラーの間に位置決められるように設けられた送り装置と、
請求項1〜9のいずれか1項に記載された2つのリール装置とを備え、
各前記リール装置は、前記装置フレームの両側に配置され、
前記第1の水平方向は前記高さ方向に対して直角であり、
2つの前記メインローラーは、前記高さ方向及び前記第1の水平方向と直角の第2の水平方向に沿って並ぶように設けられ、
前記ワイヤーは、前記リール装置の1つ、前記ローラー装置、前記リール装置の他の1つにその順番に巻きまわされて装着され、
2つの前記メインローラーに前記ワイヤーが前記第2の水平方向に走行するように周回されて前記第1の水平方向沿いの間隔をおいて並列される複数の線分からなるワイヤーウェブを形成するよう架設され、
前記ワイヤーウェブは、2つの前記メインローラー間に架設された複数本の平行な前記線分を加工セクションとして有することを特徴とするワイヤーソー。 - 前記装置フレームは、前記高さ方向に沿って延伸されたベース部と、前記ベース部から前記高さ方向の上向きに延伸され、前記ローラー装置が装着される収容スペースが形成された作業部と、前記作業部を取り挟むように前記作業部の前記第2の水平方向の両側にそれぞれ設けられた2つの滑車装着部とを有し、
前記ワイヤーソーは更に、前記ローラー装置の両側において前記滑車装着部にそれぞれ設けられた張力調整装置を備え、前記張力調整装置は、前記ワイヤーの前記リール装置における巻き取り位置を変更するために前記ローラー装置及び対応する前記リール装置の間に回動可能に設けられた滑車機構を有し、
前記滑車機構は、前記高さ方向と平行な直線に沿って往復して前記ワイヤーをロード/アンロードするように調整制御可能に設けられた案内ロールを有し、
前記ワイヤーが前記案内ロールに巻き取られ、且つ前記ワイヤーの外力作用方向が前記案内ロールのワイヤー繰り出し方向と平行するように配置されることを特徴とする請求項10に記載のワイヤーソー。 - 前記張力調整装置は、対応する前記滑車装着部に設けられた第1の駆動機構と、前記第1の駆動機構によって回転制御されるように前記第1の駆動機構の出力シャフトと連結されたねじシャフトと、前記案内ロールが回転可能に配置されるように前記ねじシャフトが接合螺結された取付枠とを更に設けていることを特徴とする請求項11に記載のワイヤーソー。
- 前記張力調整装置は更に、対応する前記滑車装着部において設けられた第1の駆動機構と、前記第1の駆動機構によって回転制御されるように前記第1の駆動機構の出力シャフトと連結された第1のテンションローラーと、前記案内ロールが回転可能に取り付けられ、且つ前記滑車装着部に対応して前記直線と平行して往復移動されるように設けられた取付枠と、その一端が前記取付枠と連結され、その他端が前記第1のテンションローラーと連結された第1の繋ぎ部材とを備えていることを特徴とする請求項11に記載のワイヤーソー。
- 前記張力調整装置は更に、対応する前記滑車装着部において互いに所定の間隔をおいて設けられた第1の駆動機構と第2の駆動機構と、前記第1の駆動機構によって回転制御されるように前記第1の駆動機構の出力シャフトと連結された第1のテンションローラーと、前記第2の駆動機構によって回転制御されるように前記第2の駆動機構の出力シャフトと連結された第2のテンションローラーと、前記案内ロールが回転可能に取り付けられ、且つ前記第1のテンションローラー及び前記第2のテンションローラーの間に前記直線と平行して往復移動されるように設けられた取付枠と、その一端が前記取付枠と連結され、その他端が前記第1のテンションローラーと連結された第1の繋ぎ部材と、その一端が前記取付枠と連結され、その他端が前記第2のテンションローラーと連結された第2の繋ぎ部材と、を備えていることを特徴とする請求項11に記載のワイヤーソー。
- 前記ローラー装置は更に2つの補助ローラーを有し、
2つの前記補助ローラーは前記送り装置の下側で前記メインローラーの間に配置され、
前記補助ローラーの最下側は前記メインローラーの最上側よりも高くないように配置され、各前記補助ローラーの直径は前記メインローラーの半径よりも小であり、
前記ワイヤーは、前記リール装置における一方、前記ローラー装置における1つのメインローラー、2つの前記補助ローラー、前記ローラー装置における他の1つのメインローラー、前記リール装置における他方の順番で前記リール装置における一方、前記ローラー装置、前記リール装置における他方に巻回され、前記補助ローラーと前記メインローラーとにより前記補助ローラーの間に前記ワイヤーウェブが構成され、
前記ワイヤーウェブは、2つの前記補助ローラー間に架設された複数本の平行な前記線分を加工セクションとして有し、前記第2の水平方向に沿って一方向走行又は往復走行させて前記半導体インゴットを切断する、ことを特徴とする請求項10に記載のワイヤーソー。 - 半導体インゴットの切断のために使われるワイヤーと、前記ワイヤーが巻回され、前記ワイヤーを前記半導体インゴットの自身の軸心に沿う第1の水平方向に対して横向きに走行させるように回転可能に設けられたローラー装置と、前記半導体インゴットを装着し、装着された前記半導体インゴットを前記ローラー装置に対して上下移動させるように設けられた送り装置と、前記ローラー装置を取り挟むようにその両側に配置された2つの請求項1〜9のいずれか1項に記載のリール装置とを用意し、前記ローラー装置は、前記第1の水平方向と直角の第2の水平方向Yに所定の間隔をおいて並ぶように転動可能に設けられた2つのメインローラーを有し、2つの前記リール装置の一方を第1のリール装置と、他方を第2のリール装置と、前記ワイヤーが前記第2のリール装置から前記第1のリール装置へ走行する向きを前方向と、その反対の向きを後方向とそれぞれする、用意作業を行うステップAと、
前記第1のリール装置における前記第1の巻きユニットと前記第2の巻きユニット及び前記第2のリール装置における前記第1の巻きユニットと前記第2の巻きユニットとがそれぞれ前記非結合状態にされ、前記半導体インゴットの切断に使われる新線である前記ワイヤーが新線ワイヤーとして前記第2のリール装置の前記第2の巻きユニットに掛け回され、前記メインローラーに周回されてワイヤーウェブを形成するよう架設され、前記新線ワイヤーの先端が前記第1のリール装置の前記第2の巻きユニットに固定され、そして、前記第1のリール装置が前記結合状態にされ、前記第2のリール装置から前記半導体インゴットの切断に要する分だけの前記新線ワイヤーが巻き戻されて前記第1のリール装置の前記第1の巻きユニットに巻回され、前記半導体インゴットを装着した前記送り装置が前記ワイヤーウェブの前記第1の水平方向と前記第2の水平方向とに垂直の高さ方向の上に移動される、新線装着作業を行うステップBと、
前記送り装置が前記ワイヤーウェブに向かって下降し、前記ローラー装置が回転され、前記ワイヤーウェブが前記前方向に動かされ、前記半導体インゴットを切断し、そして、前記ローラー装置の回転によって、使われた前記ワイヤーを旧線として回収する分の長さを旧線回収分長さとして前記ワイヤーを走行させ、前記旧線回収分長さに応じた前記ワイヤーの一部を前記第2のリール装置の前記第2の巻きユニットから巻き戻し、前記第1のリール装置の前記第2の巻きユニットに巻回する、前記前方向の切断を行った旧線の旧線回収作業を行うステップCと、
前記第1のリール装置が前記結合状態にされ、ワイヤーを回収する予定分の長さである回収予定分長さだけ前記ワイヤーを前記前方向を走行させ、前記回収予定分長さに応じた長さを有する前記ワイヤーの一部を前記第2のリール装置の前記第2の巻きユニットから巻き戻し、前記第1のリール装置の前記第1の巻きユニットに巻回する、前記前方向の切断を行ったワイヤーの回収作業を行うステップDと、
前記第2のリール装置が前記結合状態にされ、前記ローラー装置が回転され、前記ワイヤーウェブが動かされ、前記半導体インゴットが切断され、前記回収予定分長さに応じて前記ワイヤーを前記前方向に走行させ、前記回収予定分長さに応じた長さを有する前記ワイヤーの一部を前記第1のリール装置の前記第1の巻きユニットから巻き戻して前記第2のリール装置の前記第1の巻きユニットに巻回し、そして、前記ワイヤーの全てが前記第1のリール装置の前記第1の巻きユニットから巻き戻されると、前記第1のリール装置が前記非結合状態にされる、後方向の切断作業を行うステップEと、
前記ローラー装置が回転され、前記ワイヤーウェブが動かされ、前記半導体インゴットを切断し、前記ローラー装置の回転によって前記ワイヤーを前記旧線回収分長さだけ走行させ、前記旧線回収分長さに応じた前記ワイヤーの一部を前記第2のリール装置の前記第1の巻きユニットから巻き戻して前記第1のリール装置の前記第2の巻きユニットに巻回し、そして、前記第1のリール装置が前記非結合状態から前記結合状態にされると、前記ワイヤーが更に前記前方向に走行して前記第2のリール装置の前記第1の巻きユニットから巻き戻され、前記第2のリール装置が前記結合状態から前記非結合状態にされる、新線補充切断作業を行うステップFと、
前記送り装置に装着された前記半導体インゴットが下降しながら前記ワイヤーウェブによる複数のウエハ状への切断が完了するように前記ステップE〜前記ステップFを繰り返し行う、切断完了作業を行うステップGと、
を有することを特徴とする半導体インゴットの切断方法。 - 半導体インゴットの切断のために使われるワイヤーと、前記ワイヤーが巻回され、前記ワイヤーを前記半導体インゴットの自身の軸心に沿う第1の水平方向に対して横向きに走行させるように回転可能に設けられたローラー装置と、前記半導体インゴットを装着し、装着された前記半導体インゴットを前記ローラー装置に対して上下移動させるように設けられた送り装置と、前記ローラー装置を取り挟むようにその両側に配置された2つの請求項1〜9のいずれか1項に記載のリール装置とを用意し、前記ローラー装置は、前記第1の水平方向と直角の第2の水平方向Yに所定の間隔をおいて並ぶように転動可能に設けられた2つのメインローラーを有し、2つの前記リール装置の一方を第1のリール装置と、他方を第2のリール装置と、前記ワイヤーが前記第2のリール装置から前記第1のリール装置へ走行する向きを前方向と、その反対の向きを後方向とそれぞれする用意作業を行うステップAと、
前記第1のリール装置における前記第1の巻きユニットと前記第2の巻きユニット及び前記第2のリール装置における前記第1の巻きユニットと前記第2の巻きユニットとがそれぞれ前記非結合状態にされ、前記半導体インゴットの切断に使われる新線である前記ワイヤーが新線ワイヤーとして前記第2のリール装置の前記第2の巻きユニットに掛け回され、前記メインローラーに周回されてワイヤーウェブを形成するよう架設され、前記新線ワイヤーの先端が前記第1のリール装置の前記第2の巻きユニットに固定され、そして、前記第1のリール装置が前記結合状態にされ、前記第2のリール装置から前記半導体インゴットの切断に要する分だけの前記新線ワイヤーが巻き戻されて前記第1のリール装置の前記第1の巻きユニットに巻回され、前記半導体インゴットを装着した前記送り装置が前記ワイヤーウェブの前記第1の水平方向と前記第2の水平方向とに垂直の高さ方向の上に移動される、新線装着作業を行うステップBと、
前記第2のリール装置が前記結合状態にされ、前記第1のリール装置の前記第1の巻きユニットから前記半導体インゴットを切断する分だけの前記新線ワイヤーが巻き戻されて前記第2のリール装置の前記第1の巻きユニットに巻回される、新線巻回作業を行うステップCと、
前記半導体インゴットを装着した前記送り装置が前記ワイヤーウェブに向かって下降しながら、前記ローラー装置が回転され、前記ワイヤーウェブを前記前方向又は/及び前記後方向に走行させ、前記半導体インゴットを複数のウエハに切断し、そして、前記新線ワイヤーが前記第2のリール装置から繰り出されて前記半導体インゴットの切断を経た前記ワイヤーが旧線ワイヤーとして少しずつ前記第1のリール装置の前記第1の巻きユニットに巻回されるように前記後方向に走行される前記ワイヤーの量よりも前記前方向に走行される前記ワイヤーの量を多くする、切断作業を行うステップDと、
を有することを特徴とする半導体インゴットの切断方法。
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