JPH0833360A - 静電ステッピングモータ及びこれを使用した磁気記憶装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は静電ステッピングモータに関し、ロ
ータの停止位置の間隔を細かくすることを目的とする。 【構成】 ロータは、誘電体歯１１０_-1〜１１０_-6が放
射状に並んだ誘電体歯パターン５５を有する。ステータ
５１は径方向上分割された同心円状の領域６５，６６，
６７を有する。各領域６５，６６，６７内に、夫々電極
パターン部６２，６３，６４が設けてある。電極パター
ン部６２は、角ピッチｐ₁ で並んだ電極６８_-1〜６８_-6
よりなる。電極パターン部６３，６４は、夫々電極７０
_-1〜７０_-6，７２_-1〜７２_-6よりなる。電極７０_-1〜７
０_-6は、電極６８_-1〜６８_-6に対して、ｐ／３ずれてい
る。電極７２_-1〜７２_-6は、電極７０_-1〜７０_-6に対し
て、ｐ₁ ／３ずれているよう構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、静電ステッピングモー
タに係り、特に、マイクロメカニクス技術を利用した超
小型の磁気記憶装置において、磁気記憶媒体をステップ
的に回動させる静電ステッピングモータに関する。

【０００２】

【従来の技術】特開平６−８４２６９号には、本出願人
が先に出願した磁気記憶装置が示されている。

【０００３】磁気記憶装置組立体１０は、図１７に示す
ように、一般のパッケージＬＳＩと似た外観形状を有
し、リード１１を半田付けされて、プリント板上に実装
される。

【０００４】磁気記憶装置組立体１０は、ハウジング１
２内に、磁気記憶装置１３及びＩＣチップ１４が組込ま
れた構成を有する。

【０００５】磁気記憶装置１３は、図１８に示すよう
に、磁気円板１５と、この磁気円板１５をステップ的に
回動させる静電ステッピングモータ１６と、アーム１７
と、アーム１７の先端側の、記録に使用する磁気ヘッド
１８及び再生に使用するＭＲ（磁気抵抗）素子１９と、
アーム１７を単振動させるピエゾ素子２０_-1，２０_-2と
よりなる構成である。

【０００６】磁気円板１５への情報の記録（再生）は、
静電ステッピングモータ１６によって、磁気円板１５を
矢印Ｓで示すようにステップ的に回動させ、磁気円板１
５が停止しているときに、ピエゾ素子２０_-1，２０_-2に
よってアーム１７を矢印Ｘ₁，Ｘ₂ で示すように単振動
させることにより行う。

【０００７】これにより、情報が、磁気ヘッド１８によ
って、磁気円板１５の半径方向に延在するトラック２１
に記録される。また、トラック２１に記録されている情
報がＭＲ素子１９によって再生される。

【０００８】従来の静電ステッピングモータ１６は、図
１９に示すように、ステータ３０と、ロータ３１とより
なる。

【０００９】ロータ３１は、磁気円板１５と一体であ
り、下面に、複数の誘電体製の複数の誘電体歯３２_-1〜
３２_-6よりなる誘電体歯パターン３３を有する。

【００１０】ステータ３０は、下面に等角度ピッチｐ₁
で配された複数の電極３４_-1〜３４ _-6よりなる電極パタ
ーン３５を有する。

【００１１】電極３４_-1と３４_-4とが、第１の電極対３
６_-1を形成する。

【００１２】電極３４_-2と３４_-5とが、第２の電極対３
６_-2を形成する。

【００１３】電極３４_-3と３４_-6とが、第３の電極対３
６_-3を形成する。

【００１４】駆動回路３７は、駆動電圧＃１，＃２，＃
３を出力する。駆動電圧＃１，＃２，＃３は、３相であ
る。

【００１５】駆動電圧＃１が、端子３８_-1を通して第１
の電極対３６_-1に印加され、駆動電圧＃２が、端子３８
_-2を通して第２の電極対３６_-2に印加され、駆動電圧＃
３が、端子３８_-3を通して第３の電極対３６_-3に印加さ
れる。

【００１６】これによって、以下に詳述するように、各
電極対３８_-1〜３８_-3と誘電体歯パターン３３との間
に、静電反撥力及び回動させる方向の静電吸引力が作用
し、ロータ３１は、一ステップずつ回動する。

【００１７】図２０（Ａ）乃至（Ｆ）は、ロータ３１が
１ステップ回動するときの動作を示す。

【００１８】図２０は、静電ステッピングモータ１６の
一部を展開して概略的に示す。

【００１９】図２０（Ａ）乃至（Ｆ）は、図１９にＡ〜
Ｆで示す区間における状態を示し、図２０の分図を表わ
す（Ａ）〜（Ｆ）と、図１９中の区間を表わすＡ〜Ｆと
は対応する。

【００２０】 図２０（Ａ），区間Ａの動作 誘電体歯３２_-1，３２_-2，３２_-3，３２_-4が夫々電極３
４_-1，３４_-2，３４_-3，３４_-4と接触している。

【００２１】駆動電圧＃１，＃２，＃３によって、電極
３４_-1，３４_-4が正に帯電し、電極３４_-2が負に帯電す
る。

【００２２】これにより、誘電体歯３２_-1，３２_-2，３
２_-4上に誘電分極が生ずる。

【００２３】 図２０（Ｂ），区間Ｂの動作 電極３４_-1，３４_-2，３４_-4の帯電が反転し、電極３４
_-1，３４_-4が負に帯電し、電極３４_-2が正に帯電する。

【００２４】これにより、誘電体歯３２_-1と電極３４_-1
との間、誘電体歯３２_-2と電極３４ _-2との間、誘電体歯
３２_-4と電極３４_-4との間に、静電反撥力Ｆ₁ が発生
し、ロータ３１がステータ３０に対して浮上する。

【００２５】 図２０（Ｃ），区間Ｃの動作 電極３４_-2が正に帯電し、電極３４_-3が負に帯電する。

【００２６】電極３４_-1，３４_-4の帯電は無くなる。

【００２７】これにより、誘電体歯３２_-2と電極３４_-2
との間に、静電反撥力Ｆ₁ が発生する。また、誘電体歯
３２_-1と電極３４_-2との間に、誘電体歯３２_-1を電極３
４_-2へ吸引する静電吸引力Ｆ₂ が発生する。また、誘電
体歯３２_-2と電極３４_-3の間に、誘電体歯３２_-2を電極
３４_-3へ吸引する静電吸引力Ｆ₂ が発生する。

【００２８】 図２０（Ｄ），区間Ｄの動作 ロータ３０は、静電反撥力Ｆ₁ によって浮上した状態に
保たれつつ、静電吸引力Ｆ₂ によって、推力を付与され
てＳ方向に回動する。

【００２９】 図２０（Ｅ），区間Ｅの動作 誘電体歯３２_-1が電極３４_-2に吸着され、誘電体歯３２
_-2が電極３４_-3に吸着される。

【００３０】これにより、ロータ３０は、図１９中、ピ
ッチｐ₁ に相当する角度回動し、その後一時的に停止す
る。

【００３１】 図２０（Ｆ），区間Ｆの動作 電極３４_-1，３４_-2，３４_-4が負に帯電し、電極３４_-3
が正に帯電する。

【００３２】これにより、誘電体歯３２_-1，３２_-2の誘
電分極状態が反転される。また、誘電体歯３２_-3，３２
_-6に誘電分極が生ずる。

【００３３】上記の動作が繰り返して行われ、ロータ３
１は、一ステップで角度ｐ₁ ずつ回動しつつ、回動され
る。

【００３４】

【発明が解決しようとする課題】上記の静電ステッピン
グモータ１６においては、ロータ３１が一時的に停止す
る隣り合う位置の間の角度は、図１８中の角度ピッチｐ
₁ に等しい角度となる。

【００３５】一方、電極の角度ピッチｐ₁ を狭くするに
は限度がある。

【００３６】このため、ロータ３１の隣り合う停止位置
の間の角度を小さくすることは困難である。

【００３７】また、これが原因で、磁気記憶装置１３に
おいて記録の高密度を図ることが困難であった。

【００３８】そこで、本発明は、上記課題に解決した静
電ステッピングモータ及びこれを使用した磁気記憶装置
を提供することを目的とする。

【００３９】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、分割
されたＮ（２以上の整数）の領域の夫々に、複数の電極
がピッチｐで並んだ電極パターン部を有し、且つ各領域
の電極パターン部が、各電極をｐ／Ｎずつずらして配置
された構成である電極パターンを有する固定体と、該固
定体に対して移動可能に設けてあり、上記電極パターン
に対向する複数の誘電体製の歯よりなる誘電体歯パター
ンを有する移動体とよりなり、上記複数の電極パターン
部のうち、選択された一の電極パターン部に、駆動電圧
が印加される構成としたものである。

【００４０】請求項２の発明は、径方向上分割されたＮ
（２以上の整数）の同心円状の領域の夫々に、複数の電
極がピッチｐで並んだ電極パターン部を有し、且つ各領
域の電極パターン部が、各電極をｐ／Ｎずつずらして配
置された構成である電極パターンを有するステータと、
該ステータに対して回転可能に設けてあり、上記電極パ
ターンに対向する放射状に配された複数の誘電体製の歯
よりなる誘電体歯パターンを有するロータとよりなり、
上記複数の電極パターン部のうち、選択された一の電極
パターン部に、駆動電圧が印加される構成としたもので
ある。

【００４１】請求項３の発明は、周方向上分割されたＮ
（２以上の整数）の扇形状の領域の夫々に、複数の電極
がピッチｐで並んだ電極パターン部を有し、且つ各領域
の電極パターン部が、各電極をｐ／Ｎずつずらして配置
された構成である電極パターンを有するステータと、該
ステータに対して回転可能に設けてあり、上記電極パタ
ーンに対向する放射状に配された複数の誘電体製の歯よ
りなる誘電体歯パターンを有するロータとよりなり、上
記複数の電極パターン部のうち、選択された一の電極パ
ターン部に、駆動電圧が印加される構成としたものであ
る。

【００４２】請求項４の発明は、径方向上及び周方向上
分割されたＮ（２以上の整数）の同心円状且つ扇形状の
領域の夫々に、複数の電極がピッチｐで並んだ電極パタ
ーン部を有し、且つ各領域の電極パターン部が、各電極
をｐ／Ｎずつずらして配置された構成である電極パター
ンを有するステータと、該ステータに対して回転可能に
設けてあり、上記電極パターンに対向する放射状に配さ
れた複数の誘電体製の歯よりなる誘電体歯パターンを有
するロータとよりなり、上記複数の電極パターン部のう
ち、選択された一の電極パターン部に、駆動電圧が印加
される構成としたものである。

【００４３】請求項５の発明は、上記電極パターンは、
上記ステータのＮの領域のうち、ステータの中心に近い
領域の電極パターン部は、半径方向上の長さが長い電極
を有し、ステータの外周寄りの領域の電極パターン部
は、半径方向の長さが短い電極を有する構成としたもの
である。

【００４４】請求項６の発明は、上記電極パターンは、
上記ステータのＮの領域のうち、ステータの中心に近い
領域の電極パターン部は、周方向上の長さが長い電極を
有し、ステータの外周寄りの領域の電極パターン部は、
周方向の長さが短い電極を有する構成としたものであ
る。

【００４５】請求項７の発明は、円板状の磁気記憶媒体
と、該磁気記憶媒体に添接したヘッドと、該ヘッドを該
磁気記憶媒体の径方向に往復移動させ、実質上停止して
いる状態の磁気記憶媒体に実質上径方向に延在するトラ
ックを形成するヘッド往復移動手段と、上記径方向に延
在して形成された個々のトラックが上記磁気記憶媒体の
周方向に並んで形成されるように、上記磁気記憶媒体を
ステップ的に回動させる、請求項２乃至６のうちいずれ
か一項記載の静電ステッピングモータとよりなる構成と
したものである。

【００４６】

【作用】請求項１において、固定体の電極パターンを、
複数の電極パターン部よりなる構成とし、各電極パター
ン部を、電極をｐ／Ｎずつずらして配置した構成は、移
動体が一時的に停止する隣り合う位置の間隔を狭くする
ように作用する。

【００４７】請求項２及び３において、ステータの電極
を、複数の電極パターン部よりなる構成とし、各電極パ
ターン部を、電極をｐ／Ｎずつずらして配置した構成
は、ロータが一時的に停止する隣り合う位置の間隔を狭
くするように作用する。

【００４８】請求項４において、領域を径方向上及び周
方向上に分割した構成は、分割された領域の数を多くす
るように作用する。

【００４９】請求項５及び６において、ステータの中心
寄り側では、電極の半径方向の長さ又は周方向の長さを
長くし、ステータの外周寄り側では、電極の半径方向の
長さ又は周方向の長さを短くした構成は、常に同じレベ
ルの駆動電圧を印加しても、各電極パターン部によって
発生するトルクが一様となるように作用し、各電極パタ
ーン部に印加する駆動電圧のレベルを電極パターン毎に
変えることを不要とするように作用する。

【００５０】請求項７において、請求項２乃至６のうち
いずれか一項記載の静電ステッピングモータを設けた構
成は、磁気記憶媒体の停止位置を細かくするように作用
し、従来、記録密度を上げるために、ヘッド往復移動手
段自体をステップ変位させる手段を不要とするように作
用する。

【００５１】

【実施例】

〔実施例〕図１乃至図３は、本発明の第１実施例になる
静電ステッピングモータ５０を示す。

【００５２】図１及び図３に示すように、モータ５０
は、板状のステータ５１と、軸５２に支持されて、ステ
ータ５１上に回転可能に設けられた円板状のロータ５３
と、駆動制御部５４とを有する。

【００５３】図１に示すように、ロータ５３は、下面
に、誘電体歯パターン５５を有する。

【００５４】誘電体歯パターン５５については、説明の
便宜上、後述する。

【００５５】図１及び図２に示すように、ステータ５１
は、ステータ本体６０と、この上面の電極パターン６１
とを有する。

【００５６】電極パターン６１は、三つの電極パターン
部６２，６３，６４よりなる。

【００５７】ステータ本体６０はの上面は、図１及び図
２中、破線で示すように、径方向上三つに分割された領
域、即ち、外周側の円環状の領域６５と、中心側の円状
の領域６６と、領域６５と領域６６との間の中間の円環
状の領域６７とを有する。

【００５８】領域６５，６７，６６は、同心円状をなし
ている。

【００５９】領域６５内には、電極パターン部６２が設
けられる。

【００６０】電極パターン部６２は、等角度ピッチｐ₁
で配された複数の電極６８_-1〜６８ _-6よりなる。

【００６１】電極６８_-1〜６８_-4とが、第１の電極対６
９_-1を形成する。

【００６２】電極６８_-2〜６８_-5とが、第２の電極対６
９_-2を形成する。

【００６３】電極６８_-3〜６８_-6とが、第３の電極対６
９_-3を形成する。

【００６４】領域６７内には、電極パターン部６３が設
けてある。

【００６５】電極パターン部６３は、複数の電極７０_-1
〜７０_-6よりなる。

【００６６】電極７０_-1〜７０_-6は、上記の角度ピッチ
ｐ₁ と等しい角度ピッチｐ₁ で、且つ、上記の電極６８
_-1〜６８_-6に対して、時計方向に、ｐ₁ ／３だけずれた
配置で設けてある。ここで、数値「３」は上記の領域６
５，６６，６７の数と等しい数値である。

【００６７】電極７０_-1〜７０_-4とが、第１の電極対７
１_-1を形成する。

【００６８】電極７０_-2〜７０_-5とが、第２の電極対７
１_-2を形成する。

【００６９】電極７０_-3〜７０_-6とが、第３の電極対７
１_-3を形成する。

【００７０】領域６６内には、電極パターン部６４が設
けてある。

【００７１】電極パターン部６４は、複数の電極７２_-1
〜７２_-6よりなる。

【００７２】電極７２_-1〜７２_-6は、上記の角度ピッチ
ｐ₁ と等しい角度ピッチｐ₁ で、且つ、上記の電極７０
_-1〜７０_-6に対して、時計方向に、ｐ／３だけずれた配
置で設けてある。ここで、数値「３」は上記の領域６
５，６６，６７の数と等しい数値である。

【００７３】電極７２_-1〜７０_-4とが、第１の電極対７
３_-1を形成する。

【００７４】電極７２_-2〜７０_-5とが、第２の電極対７
３_-2を形成する。

【００７５】電極７２_-3〜７０_-6とが、第３の電極対７
３_-3を形成する。

【００７６】即ち、電極７０_-1〜７０_-6，７２_-1〜７２
_-6は、隣り合う電極６８_-1〜６８_-6の間に、等角度間隔
で配置してある。

【００７７】図１中、各電極６８_-1〜６８_-6，７０_-1〜
７０_-6，７２_-1〜７２_-6より引き出される端子８０〜９
７と、縦に並んだ端子８０〜９７とは、接続してある。

【００７８】従って、各電極対を構成する電極は、電気
的に接続されている。実際には、各電極対を構成する電
極は、櫛歯状パターンを有する。

【００７９】また、電極対毎に、端子１００_-1〜１０２
_-3が設けてある。

【００８０】即ち、電極パターン部６２の第１，第２，
第３の電極パターン対６９_-1，６９ _-2，６９_-3から夫
々、端子１００_-1，１００_-2，１００_-3が引き出されて
いる。

【００８１】電極パターン部６３の第１，第２，第３の
電極対７０_-1，７０_-2，７０_-3から、夫々、端子１０１
_-1，１０１_-2，１０１_-3が引き出されている。

【００８２】電極パターン部６４の第１，第２，第３の
電極対７３_-1，７３_-2，７３_-3から、夫々、端子１０２
_-1，１０２_-2，１０２_-3が引き出されている。

【００８３】また、ロータ５３の誘電体歯パターン５４
は、６つの歯１１０_-1〜１１０_-6を有する。ここで、数
値「６」は、上記の各電極パターン部６２，６３，６４
の電極の数と等しい数である。

【００８４】また、歯１１０_-1〜１１０_-6は、放射状に
配してあり、角ピッチｐ₁ は、上記の電極の角ピッチｐ
₁ と等しい。

【００８５】図１中、駆動制御部５４は、駆動回路３７
と、スイッチ回路１２０と、制御回路１２１とを有す
る。

【００８６】駆動回路３７は、三相の駆動電圧＃１，＃
２，＃３を出力する。

【００８７】スイッチ回路１２０は、駆動回路３５の出
力側に設けてあり、制御回路１２１によつて、端子群１
００_-1〜１００_-3と、１０１_-1〜１０１_-3と、１０２_-1
〜１０２_-3とに切り換えて接続される。

【００８８】次に、上記構成になる静電ステッピングモ
ータ５０の動作について説明する。

【００８９】 スイッチ回路１２０が端子群１００_-1
〜１００_-3に接続されている場合 駆動電圧＃１が端子１００_-1を介して、電極パターン部
６２の電極対６９_-1に印加される。

【００９０】駆動電圧＃２は、端子１００_-2を介して、
電極パターン部６２の電極対６９_-2に印加される。

【００９１】駆動電圧＃３は、端子１００_-3を介して、
電極パターン部６２の電極対６９_-3に印加される。

【００９２】これによって、電極６８_-1〜６８_-6と誘電
体歯１１０_-1〜１１０_-6との間に、図２０に示すと同様
に、静電反撥力及び静電吸引力が働く。

【００９３】これにより、ロータ５３は、特定の点１２
２が、図４（Ａ）中、位置１３０，１３１，１３２，１
３３で一時的に停止しつつ、角度ｐ₁ ずつ回動する、ス
テッピング動作をする。

【００９４】 スイッチ回路１２０が端子群１０１_-1
〜１０１_-3に切換え接続された場合 駆動電圧＃１が端子１０１_-1を介して、電極パターン部
６３の電極対７１_-1に印加される。

【００９５】駆動電圧＃２は、端子１０１_-2を介して、
電極パターン部６３の電極対７１_-2に印加される。

【００９６】駆動電圧＃３は、端子１０１_-3を介して、
電極パターン部６３の電極対７１_-3に印加される。

【００９７】これによって、電極７０_-1〜７０_-6と誘電
体歯１１０_-1〜１１０_-6との間に、図２０に示すと同様
に、静電反撥力及び静電吸引力が働く。

【００９８】これにより、ロータ５３は、上記の特定の
点１２２が、図４（Ｂ）中、位置１４０，１４１，１４
２，１４３で一時的に停止しつつ、角度ｐ₁ ずつ回動す
る、ステッピング動作をする。

【００９９】位置１４０〜１４３は、夫々前記の位置１
３０〜１３３に対して、角度ｐ／３ずれている。

【０１００】 スイッチ回路１２０が端子群１０２_-1
〜１０２_-3に切換え接続された場合 駆動電圧＃１が端子１０２_-1を介して、電極パターン部
６４の電極対７３_-1に印加される。

【０１０１】駆動電圧＃２は、端子１０２_-2を介して、
電極パターン部６４の電極対７３_-2に印加される。

【０１０２】駆動電圧＃３は、端子１０２_-3を介して、
電極パターン部６４の電極対７３_-3に印加される。

【０１０３】これによって、電極７２_-1〜７２_-6と誘電
体歯１１０_-1〜１１０_-6との間に、図２０に示すと同様
に、静電反撥力及び静電吸引力が働く。

【０１０４】これにより、ロータ５３は、上記の特定の
点１２２が、図４（Ｃ）中、位置１５０，１５１，１５
２，１５３で一時的に停止しつつ、角度ｐ₁ ずつ回動す
る、ステッピング動作をする。

【０１０５】位置１５０〜１５３は、夫々前記の位置１
４０〜１４３に対して、角度ｐ₁ ／３ずれている。

【０１０６】上記より分かるように、本実施例の静電ス
テッピングモータ５０によれば、スイッチ回路１２０を
適宜切り換えることによって、ロータ５３が一時的に停
止する位置が、ｐ₁ ／３の細かさで、即ち、従来の１／
３の細かさで定まる。

【０１０７】〔第２実施例〕図５は、本発明の第２実施
例になる静電ステッピングモータ１６０を示す。

【０１０８】モータ１６０は、ステータ上の領域を周方
向上に分割した構成である。

【０１０９】図示の便宜上、領域は周方向上、二つに分
割してあり、且つ、電極パターン部は二つの電極よりな
る構成としてある。

【０１１０】モータ１６０は、ロータ１６１と、ステー
タ１６２と、駆動制御部５４とを有する。

【０１１１】ロータ１６１は、下面に、誘電体歯パター
ン１６３を有する。

【０１１２】ステータ１６２は、上面に、電極パターン
１６４有する。

【０１１３】ステータ本体１６５の上面は、周方向上、
二つに分割された扇形の領域１６６，１６７を有する。

【０１１４】領域１６６内には、電極パターン部１７０
が設けてある領域１６７内には、電極パターン部１７１
が設けてある。

【０１１５】電極パターン部１７０は、複数の電極１７
２_-1，１７２_-2を有する。

【０１１６】電極パターン部１７１は、複数の電極１７
３_-1，１７３_-2を有する。

【０１１７】電極１７２_-1，１７２_-2の角ピッチ及び電
極１７３_-1，１７３_-2の角ピッチは等しく、ｐ₂ であ
る。

【０１１８】電極パターン部１７１は、電極パターン部
１７０が周方向に連続して存在していると仮定した場合
に、電極パターン部１７０が存在する予定の位置１７４
に対して、ｐ₂ ／２だけずれて位置している。ここで、
数値「２」は分割されている領域の数に等しい値であ
る。

【０１１９】即ち、電極１７３_-1，１７３_-2は、電極１
７２_-1，１７２_-2が時計方向に更に延びて存在している
と仮定した場合のその電極に対して、時計方向にｐ₂ ／
２ずつずれて配置してある。

【０１２０】電極パターン部１７０については、電極１
７２_-1と１７２_-1とが第１の電極対１７５_-1を構成し、
電極１７２_-2と１７２_-2とが第２の電極対１７５_-2を構
成する。

【０１２１】電極パターン部１７１については、電極１
７３_-1と１７３_-1とが第１の電極対１７６_-1を構成し、
電極１７３_-2と１７３_-2とが第２の電極対１７６_-2を構
成する。

【０１２２】また、誘電体歯パターン１６３は、上記の
角ピッチｐ₂ と等しい角ピッチｐ₂で配された複数の誘
電体歯１７７_-1〜１７７_-8を有する。

【０１２３】上記構成の静電ステッピングモータ１６０
は、駆動制御部５４によって、前記と同様に、駆動され
る。

【０１２４】 駆動電圧が電極パターン部１７０に印
加されている場合 電極１７２_-1，１７２_-2と誘電体歯１７７_-1〜１７７_-8
との間に静電反撥力及び静電吸引力が働く。

【０１２５】これにより、ロータ１６１は、特定の点１
２２が、図６（Ａ）中、位置１８０，１８１，１８２，
１８３で一時的に停止しつつ、角度ｐ₂ ずつ回動する、
ステッピング動作をする。

【０１２６】 図１中のスイッチ回路１２０が切り換
えられて、駆動電圧が電極パターン部１７１に印加され
るようになった場合 電極１７３_-1，１７３_-2と誘電体歯１７７_-1〜１７７_-8
との間に静電反撥力及び静電吸引力が働く。

【０１２７】これにより、ロータ１６１は、上記の特定
の点１２２が、図６（Ｂ）中、位置１９０，１９１，１
９２，１９３で一時的に停止しつつ、角度ｐ₂ ずつ回動
する、ステッピング動作をする。

【０１２８】ここで、位置１９０，１９１，１９２は、
夫々前記の位置１８０，１８１，１８２に対して、角度
ｐ₂ ／２ずれている。

【０１２９】上記より分かるように、本実施例の静電ス
テッピングモータ１６０によれば、図１中のスイッチ回
路１２０を適宜切り換えることによって、ロータ１６０
が一時的に停止する位置が、ｐ₂ ／２の細かさで、即
ち、従来の１／２の細かさで定まる。

【０１３０】〔第３実施例〕図７は、本発明の第３実施
例になる静電ステッピングモータ２００を示す。

【０１３１】ステータ２０１の上面の領域は、径方向上
と周方向上の両方について分割してある。

【０１３２】径方向上の分割の数は２，周方向上の分割
の数は２である。

【０１３３】従って、ステータ２０１の上面は２×２に
分割されており、４つの領域２０２ _-1〜２０２_-4を有す
る。

【０１３４】各領域２０２_-1〜２０２_-4は、扇形状を有
する。

【０１３５】領域２０２_-1，２０２_-3と、領域２０
２_-2，２０２_-4とは、同心円状をなしている。

【０１３６】ステータ２０１は上面に、電極パターン２
０３を有する。

【０１３７】電極パターン２０３は、領域２０２_-1内の
電極パターン部２０４_-1と、領域２０２_-2内の電極パタ
ーン部２０４_-2と、領域２０２_-3内の電極パターン部２
０４ _-4と、領域２０２_-4内の電極パターン部２０４_-4と
よりなる。

【０１３８】各電極パターン部２０４_-1〜２０４_-4は、
複数の電極２０５がピッチｐ₃ で並んだ構成である。

【０１３９】電極パターン部２０４_-1と２０４_-2とは、
ｐ₂ ／２ずれている。ここで、数値「２」は径方向上分
割された領域の数と等しい数である。

【０１４０】電極パターン部２０４_-3は、電極パターン
部２０４_-1に対して、ｐ₃ ／４ずれている。同じく、電
極パターン部２０４_-4は、電極パターン部２０４_-2に対
して、ｐ₃ ／４ずれている。

【０１４１】ロータの誘電体歯パターン２１０は、複数
の誘電体歯２１１（図示の便宜上、三つだけ示してあ
る）が、角ピッチｐ₃ で並んだ構成を有する。

【０１４２】静電ステッピングモータ２００は、駆動制
御部５４より駆動電圧を電極パターン部２０４_-1〜２０
４_-4へ選択的に印加されて、静電反撥力及び静電吸引力
によって、ステッピング動作する。

【０１４３】 駆動電圧が電極パターン部２０４_-1へ
印加されている場合 ロータは、特定の点が、図８（Ａ）に示すように、位置
２２０，２２１，２２２，２２３で一時的に停止しつ
つ、角度ｐ₃ ずつ回動する。

【０１４４】 駆動電圧が電極パターン部２０４_-2へ
印加されている場合 ロータは、上記の特定の点が、図８（Ｂ）に示すよう
に、位置２３０，２３１，２３２，２３３で一時的に停
止しつつ、角度ｐ₃ ずつ回動する。

【０１４５】 駆動電圧が電極パターン部２０４_-3へ
印加されている場合 ロータは、上記の特定の点が、図８（Ｃ）に示すよう
に、位置２４０，２４１，２４２，２４３で一時的に停
止しつつ、角度ｐ₃ ずつ回動する。

【０１４６】 駆動電圧が電極パターン部２０４_-4へ
印加されている場合 ロータは、上記の特定の点が、図８（Ｄ）に示すよう
に、位置２５０，２５１，２５２，２５３で一時的に停
止しつつ、角度ｐ₃ ずつ回動する。

【０１４７】ここで、位置２４０〜２４３は、位置２２
０〜２２３に対して、角度ｐ₃ ／４ずれている。

【０１４８】同じく、位置２５０〜２５３は、位置２３
０〜２３３に対して角度ｐ₃ ／４ずれている。

【０１４９】上記より分かるように、本実施例の静電ス
テッピングモータ２００によれば、図１中のスイッチ回
路１２０を適宜切り換えることによって、ロータが一時
的に停止する位置が、ｐ₃ ／４の細かさで、即ち、従来
の１／４の細かさで定まる。

【０１５０】〔第４実施例〕図９は本発明の第４実施例
になる静電ステッピングモータ２６０を示す。

【０１５１】本実施例は、第１実施例の変形例的な性質
を有する。

【０１５２】図９中、図１に示す部分と同一部分には同
一符号を付し、図１に示す部分と対応する部分には添字
ａを付した同一符号を付す。

【０１５３】領域６５ａ内の扇形の電極６８ａ，領域６
７ａ内の扇形の電極７０ａ，及び領域６６ａ内の扇形の
電極７２ａは、共に等しい開き角αを有する。

【０１５４】電極６８ａは、半径方向長さ（ｒ₄ −
ｒ₃ ）を有する。

【０１５５】電極７０ａは、半径方向長さ（ｒ₃ −
ｒ₂ ）を有する。

【０１５６】電極７２ａは、半径方向長さ（ｒ₂ −
ｒ₁ ）を有する。

【０１５７】ここで、半径ｒ₁ 〜ｒ₄ は、次式 ｒ₄ ³ −ｒ₃ ³ ＝ｒ₃ ³ −ｒ₂ ³ ＝ｒ₂ ³ −ｒ₁ ³ を満足するように定めてある。

【０１５８】即ち、（ｒ₄ −ｒ₃ ）＜（ｒ₃ −ｒ₂ ）＜
（ｒ₂ −ｒ₁ ）である。

【０１５９】ここで、半径ｒ₁ 〜ｒ₄ が上記のように定
めてあることによって、後述するように、各電極６８
ａ，７０ａ，７２ａによって発生するトルクＴ₁ ，
Ｔ₂ ，Ｔ₃が等しくなる。

【０１６０】一般に、トルクＴは、次式で求められる。

【０１６１】

【数１】

【０１６２】ここで、ｆ（ｒ）は電極の単位長さ部分が
発生する推力（図２０中の力Ｆ₂ ）である。推力ｆ
（ｒ）は、各電極６８ａ，７０ａ，７２ａについて、一
定であると考えられる。

【０１６３】垂直ｆ（ｒ）が一定であるとした条件の下
で、

【０１６４】

【数２】

【０１６５】を解くと、 ｒ₄ ³ −ｒ₃ ³ ＝ｒ₃ ³ −ｒ₂ ³ ＝ｒ₂ ³ −ｒ₁ ³ となる。

【０１６６】従って、上記の静電ステッピングモータ２
６０によれば、どの領域６５ａ，６７ａ，６６ａの電極
６８ａ，７０ａ，７２ａに対しても同一レベルの駆動電
圧を印加することによって、ロータ５０は、領域６５ａ
の電極６８ａによって駆動されるときにも、領域６７ａ
の電極７０ａによって駆動されるときにも、領域６６ａ
の電極７２ａによって駆動されるときにも、全て同じト
ルクでもって回動される。

【０１６７】即ち、印加する駆動電圧のレベルを領域毎
に変える必要はなく、領域毎に印加する駆動電圧のレベ
ルを変更する構成に比べて、駆動制御部５４は簡単な構
成となる。

【０１６８】〔第５実施例〕図１０は、本発明の第５実
施例になる静電ステッピングモータ２７０を示す。

【０１６９】本実施例は、第４実施例の変形例的なもの
である。

【０１７０】図１０中、図１に示す部分と同一部分には
同一符号を付し、図１に示す部分と対応する部分には、
添字ｂを付した同一符号を付す。

【０１７１】領域６５内の扇形の電極６８ｂは、開き角
α₁ ，周方向の長さｌ₁ を有する。

【０１７２】領域６７内の扇形の電極７０ｂは、開き角
α₂ ，周方向長さｌ₂ を有する。

【０１７３】領域６６内の扇形の電極７２ｂは、開き角
α₃ ，周方向長さｌ₃ を有する。

【０１７４】ここで、開き角α₁ ，α₂ ，α₃ は、 α₁ ＜α₂ ＜α₃ である。

【０１７５】周方向長さｌ₁ ，ｌ₂ ，ｌ₃ は、 ｌ₁ ＜ｌ₂ ＜ｌ₃ である。

【０１７６】開き角α₁ ，α₂ ，α₃ 及び周方向長さｌ
₁ ，ｌ₂ ，ｌ₃ の関係は、各領域６５，６７，６６内の
電極６８ｂ，７０ｂ，７２ｂに同一レベルの駆動電圧を
印加した場合に、ロータ５０に等しいトルクが付与され
るように定めてある。

【０１７７】本実施例によれば、駆動制御部５４を簡単
とし得るという、上記の第４実施例による効果と同様の
効果を有する。

【０１７８】なお、上記各実施例は回転型の静電ステッ
ピングモータについて説明したけれども、本発明は、こ
れに限らず、移動体が固定体に対して直線状に移動する
リニア型の静電ステッピングモータにも適用しうる。

【０１７９】〔磁気記憶装置〕次に、図１の静電ステッ
ピングモータ５０を適用してなる磁気記憶装置３００に
ついて説明する。

【０１８０】図１１及び図１２中、３１１はシリコン製
またはセラミック製基板である。

【０１８１】３１２は円板状の磁気円板であり、径Ｄが
例えば１０mm程度であり、中心を、軸部３１３により支
持されて、基板３１１上に配設してある。

【０１８２】３１６はヘッド支持アームであり、基部側
を固定部３１７によって基板３１１上に固定してあり、
Ｙ軸線３１５と平行に延在しており、先端はＸ軸線３１
４上に位置している。

【０１８３】アーム３１６の先端に、記録に使用する記
録ヘッド３１８及び再生に使用する磁気抵抗効果素子
（以下、ＭＲ素子という）３１９が設けてある。この記
録ヘッド３１８及びＭＲ素子３１９とより磁気ヘッドが
構成され、かつこの磁気ヘッドは極低荷重で磁気円板３
１２に添接している。

【０１８４】またアーム３１６は、中央にスリットを有
し、一対のアーム部よりなる。このアーム部にヘッド往
復移動手段としてのＺｎＯ製のピエゾ素子３２０_-1，３
２０ _-2が設けてある。

【０１８５】また、磁気円板３１２と基板３１１との間
には、図１２に示すように、図１に示す磁気円板回動手
段としての静電ステッピングモータ５０が設けてある。

【０１８６】この装置３００は、図１６に示すように、
合成樹脂製のハウジング３１２内に、ＬＳＩチップ２３
２と共に組込まれ、磁気記憶装置組立体３３０が構成さ
れる。

【０１８７】ＬＳＩチップ３２には、図１１に示す、信
号処理回路３３３，ピエゾ素子駆動回路３３４，駆動回
路３３７，スイッチ回路１２０等が組込まれている。

【０１８８】上記のモータ５０は、以下の第１，第２，
第３のステッピング動作を行う。

【０１８９】第１のステッピング動作：駆動電圧＃１〜
＃３を電極パターン部６２へ印加したときのロータ５３
のステップ動作。

【０１９０】第２のステッピング動作：駆動電圧＃１〜
＃３を電極パターン部６３へ印加したときのロータ５３
のステップ動作。

【０１９１】第３のステッピング動作：駆動電圧＃１〜
＃３を電極パターン部６３へ印加したときのロータ５３
のステップ動作。

【０１９２】磁気円板３１２の外周側には、トラックが
形成される予定の位置を示す位置情報３４０が予め記録
してある。

【０１９３】また、図１３に示すように、磁気円板３１
２には、短いトラックが形成される予定の位置には、記
録の終了位置を示す位置情報Ｑ₁ ，Ｑ₂ が予め記録して
ある。

【０１９４】次に、上記磁気円板３１２全体に、情報を
最初に記録するときの動作について説明する。まず、モ
ータ５０が第１のステッピング動作を行う。

【０１９５】ロータ５３が一時的に停止している間に、
ピエゾ素子３２０_-1，３２０_-2に位相が逆の交番電圧で
ある駆動信号が加えられ、アーム３１６が単振動する。

【０１９６】これにより、図１３（Ａ）に示すように、
一時的に停止している磁気円板３１２上には、径方向に
延在する長いトラック３４１が形成され、ここに、情報
が記録される。

【０１９７】ロータ５３が最初の一回転する間、上記の
モータ５０の第１のステッピング動作と、アーム３１６
の単振動とを交互に繰り返して行う。

【０１９８】これにより、磁気円板３１２上には、図１
３（Ａ）に示すように、長いトラック３４１が角ピッチ
ｐ₃ で周方向に全周に亘って並んだトラックパターンが
形成される。

【０１９９】次いで、モータ５０が第２のステッピング
動作を行う。

【０２００】ロータ５３が一時的に停止している間に、
アーム３１６が単振動する。

【０２０１】これにより、図１３（Ｂ）に示すように、
磁気円板３１２の外周寄り側の部分について、周方向上
隣り合う長いトラック３４１の間の隙間の位置に、磁気
円板３１２の中心側の終端をＱ₁ とする中程度の長さの
トラック３４２が形成され、ここに情報が記録される。

【０２０２】上記の動作を、ロータ５３が次の一回転す
る間、行う。

【０２０３】次に、モータ５０は第３のステッピング動
作に移る。

【０２０４】アーム３１６は、ロータ５３が一時的に停
止している間に単振動する。

【０２０５】これにより、図１３（Ｃ）に示すように、
磁気円板３１２の外周寄り側の部分について、中程度の
長さのトラック３４２と、長いトラック３４１との間の
隙間の位置に、終端をＱ₂ とする短い長さのトラック３
４３が形成され、ここに情報が記録される。

【０２０６】以上によって、磁気円板３１２の周方向
上、隣り合う長いトラック３４１の間に、中程度の長さ
のトラック３４２と、短いトラック３４２とが等ピッチ
で入り込んだトラックパターンが形成される。各トラッ
ク間のピッチは、ｐ₁ ／３である。

【０２０７】これにより、磁気円板３１２には、長いト
ラック３４２を形成した場合に磁気円板３１２の外周側
寄りの部分にできる空きの部分にもトラックが形成され
て、情報が従来に比べて高密度に記録される。

【０２０８】また、各トラック３４１，３４２，３４３
のデータフォーマットは、図１４に示す如くである。

【０２０９】磁気円板３１２の外周部側に位置情報３４
０を有し、その他の部分は記録内容３４３である。

【０２１０】次に上記装置３００の実際の動作につい
て、図１５及び図１６を併せ参照して説明する。

【０２１１】図１５中、まず現在のトラックの情報を読
み取る（ステップ１）。

【０２１２】このときには、図１１中のモータ駆動回路
３７よりの駆動電圧に変化はなく（図１６（Ｂ）中符号
５１_-1），モータ５０は停止してあり、磁気円板３１２
は停止している。

【０２１３】またピエゾ駆動回路３３４からは、図１６
（Ａ）中符号３５０_-1で示す交番電圧であるピエゾ素子
駆動信号が出力され、ピエゾ素子３２０_-1，３２０_-2が
駆動されてアーム３１６が単振動し、ＭＲ素子３１９が
現在のトラックのデータを読み取る。

【０２１４】次に、位置情報を解析する（ステップ
２）。

【０２１５】ここでは、図１１中の信号処理回路３３３
が、読み取られたデータから、位置情報を解析する。

【０２１６】次に、現在のトラックと目標のトラックと
のずれ量に対応して磁気円板を所定角度回動して現在ト
ラックを移動させる（ステップ３）。

【０２１７】信号処理回路３３３が現在のトラックと目
標のトラックとのずれ量を算出し、モータ駆動回路３７
を動作させ、回路３７より図７（Ｂ）中符号５１_-2で示
す三相の駆動電圧が出力される。

【０２１８】また、信号処理回路３３３よりの信号によ
って、スイッチ回路１２０が切り換えられる。

【０２１９】これにより、三相の駆動電圧がスイッチ回
路１２０を介して、静電ステッピングモータ５０のうち
所定の領域の電極に印加される。

【０２２０】これによって、モータ５０（ロータ５３）
が所定量（図１６においては一ステップ）ステッピング
動作する。

【０２２１】この後、駆動電圧は変化しなくなり（３５
１_-3），ロータ５３はこのときの回動位置に保持されて
停止する。

【０２２２】これによって、磁気円板３１２が所定角度
回動され、目標のトラックがＭＲ素子１９の位置に到来
する。

【０２２３】次に、データの読み取り又は書き込みを行
う（ステップ４）。

【０２２４】ピエゾ駆動回路３３４から図１６（Ａ）中
符号３５０_-1で示す駆動信号が出力され、磁気円板３１
２が停止している状態で、アーム３１６が再び単振動
し、ＭＲ素子３１９が目標トラックから情報を読み取
り、又は記録ヘッド３１８が目標トラックに情報を書き
込む。

【０２２５】なお、読み取られた情報は、例えば図１１
中信号処理回路３３３を経て、組立体１１の外部に設け
たＲＡＭ３３７に書き込まれ、外部からのアクセスが可
能とされる。

【０２２６】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、移動体が一時的に停止する位置を、従来に比べ
て数倍細かく定めることが出来る。

【０２２７】請求項２及び３の発明によれば、ロータが
一時的に停止する位置を、従来に比べて数倍細かく定め
ることが出来る。

【０２２８】請求項４の発明によれば、請求項２及び３
の発明に比べて、ロータが一時的に停止する位置を更に
細かく定めることが出来る。

【０２２９】請求項５及び６の発明によれば、どの電極
パターン部に対しても常に一定のレベルの駆動電圧を印
加するようにすることが出来、駆動制御系の構成を簡単
とし得る。

【０２３０】請求項７の発明によれば、ヘッド往復移動
手段を固定した簡単な構成でもって、磁気記憶媒体に対
する記録を高密度とすることが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の静電ステッピングモータ
を示す図である。

【図２】図１中、ステータの電極パターンを示す図であ
る。

【図３】図１の静電ステッピングモータの断面図であ
る。

【図４】ロータのステッピング動作を説明するための図
である。

【図５】本発明の第２実施例の静電ステッピングモータ
を示す図である。

【図６】ロータのステッピング動作を説明するための図
である。

【図７】本発明の第３実施例の静電ステッピングモータ
のステータを示す図である。

【図８】ロータのステッピング動作を説明するための図
である。

【図９】本発明の第４実施例になるの静電ステッピング
モータを示す図である。

【図１０】本発明の第５実施例になるの静電ステッピン
グモータを示す図である。

【図１１】本発明の一実施例になる磁気記憶装置を拡大
して制御系と併せて示す図である。

【図１２】図１１の磁気記憶装置の縦断面図である。

【図１３】図１１中のトラックパターンの形成を説明す
るための図である。

【図１４】トラックのフォーマットを示す図である。

【図１５】図１１の装置の動作のフローチャートであ
る。

【図１６】図１１中、各部の信号の波形図である。

【図１７】本出願人の先に出願した磁気記憶装置が組込
まれた磁気記憶装置組立体の斜視図である。

【図１８】本出願人が先に出願した磁気記憶装置を示す
図である。

【図１９】図１８中の静電ステッピングモータを示す図
である。

【図２０】図１９の静電ステッピングモータの動作を説
明するための図である。

【符号の説明】

５０ 静電ステッピングモータ ５１ ステータ ５２ 軸 ５３ ロータ ５４ 駆動制御部 ５５ 誘電体歯パターン ６０ ステータ本体 ６１ 電極パターン ６２，６３，６４ 電極パターン部 ６５ 外周側の領域 ６６ 中心側の領域 ６７ 中間の領域 ６８_-1〜６８_-6 電極 ６９_-1，６９_-2，６９_-3 電極対 ７０_-1〜７０_-6 電極 ７１_-1，７１_-2，７１_-3 電極対 ７２_-1〜７２_-6 電極 ７３_-1，７３_-2，７３_-3 電極対 ８０〜９７ 端子 １００_-1〜１００_-3 端子 １１０_-1〜１１０_-6 誘電体歯 １２０ スイッチ回路 １２１ 制御回路 １２２ ロータ上の特定の点 １３０〜１３３，１４０〜１４３，１５０〜１５３ ロ
ータが一時的に停止する位置 １６０ モータ １６１ ロータ １６２ ステータ １６３ 誘電体歯パターン １６４ 電極パターン １６５ ステータ本体 １６６，１６７ 領域 １７０ 電極パターン部 １７１ 電極パターン部 １７２_-1，１７２_-2，１７３_-1，１７３_-2 電極 １７４ 位置 １７５_-1，１７５_-2，１７６_-1，１７６_-2 電極対 １７７_-1〜１７７_-6 誘電体歯 １８０〜１８３，１９０〜１９３ ロータが一時的に停
止する位置 ２００ 静電ステッピングモータ ２０１ ステータ ２０２_-1〜２０２_-4 領域 ２０３ 電極パターン ２０４_-1〜２０４_-4 電極パターン部 ２０５ 電極 ２１０ 誘電体歯パターン ２１１ 誘電体歯 ２２０〜２２３，２３０〜２３３，２４０〜２４３，２
５０〜２５３ ロータが一時的に停止する位置 ２６０，２７０ 静電ステッピングモータ ３００ 磁気記憶装置 ３１１ 基板 ３１２ 磁気円板 ３１３ 軸部 ３１６ ヘッド支持アーム ３１７ 固定部 ３１８ 記録ヘッド ３１９ ＭＲ素子 ３２０_-1，３２０_-2 ピエゾ素子 ３３０ 磁気記憶装置組立体 ３３２ ＬＳＩチップ ３３３ 信号処理回路 ３３４ ピエゾ素子駆動回路 ３４０ 位置情報 ３４１ 長いトラック ３４２ 中程度の長さのトラック ３４３ 短いトラック ３４４ 記録内容 ３５０ ピエゾ素子駆動信号 ３５１（＃１，＃２，＃３）駆動電圧

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 分割されたＮ（２以上の整数）の領域の
   夫々に、複数の電極がピッチｐで並んだ電極パターン部
   を有し、且つ各領域の電極パターン部が、各電極をｐ／
   Ｎずつずらして配置された構成である電極パターンを有
   する固定体と、 該固定体に対して移動可能に設けてあり、上記電極パタ
   ーンに対向する複数の誘電体製の歯よりなる誘電体歯パ
   ターンを有する移動体とよりなり、 上記複数の電極パターン部のうち、選択された一の電極
   パターン部に、駆動電圧が印加される構成としたことを
   特徴とする静電ステッピングモータ。
2. 【請求項２】 径方向上分割されたＮ（２以上の整数）
   の同心円状の領域の夫々に、複数の電極がピッチｐで並
   んだ電極パターン部を有し、且つ各領域の電極パターン
   部が、各電極をｐ／Ｎずつずらして配置された構成であ
   る電極パターンを有するステータと、 該ステータに対して回転可能に設けてあり、上記電極パ
   ターンに対向する放射状に配された複数の誘電体製の歯
   よりなる誘電体歯パターンを有するロータとよりなり、 上記複数の電極パターン部のうち、選択された一の電極
   パターン部に、駆動電圧が印加される構成としたことを
   特徴とする静電ステッピングモータ。
3. 【請求項３】 周方向上分割されたＮ（２以上の整数）
   の扇形状の領域の夫々に、複数の電極がピッチｐで並ん
   だ電極パターン部を有し、且つ各領域の電極パターン部
   が、各電極をｐ／Ｎずつずらして配置された構成である
   電極パターンを有するステータと、 該ステータに対して回転可能に設けてあり、上記電極パ
   ターンに対向する放射状に配された複数の誘電体製の歯
   よりなる誘電体歯パターンを有するロータとよりなり、 上記複数の電極パターン部のうち、選択された一の電極
   パターン部に、駆動電圧が印加される構成としたことを
   特徴とする静電ステッピングモータ。
4. 【請求項４】 径方向上及び周方向上分割されたＮ（２
   以上の整数）の同心円状且つ扇形状の領域の夫々に、複
   数の電極がピッチｐで並んだ電極パターン部を有し、且
   つ各領域の電極パターン部が、各電極をｐ／Ｎずつずら
   して配置された構成である電極パターンを有するステー
   タと、 該ステータに対して回転可能に設けてあり、上記電極パ
   ターンに対向する放射状に配された複数の誘電体製の歯
   よりなる誘電体歯パターンを有するロータとよりなり、 上記複数の電極パターン部のうち、選択された一の電極
   パターン部に、駆動電圧が印加される構成としたことを
   特徴とする静電ステッピングモータ。
5. 【請求項５】 上記電極パターンは、上記ステータのＮ
   の領域のうち、ステータの中心に近い領域の電極パター
   ン部は、半径方向上の長さが長い電極を有し、ステータ
   の外周寄りの領域の電極パターン部には、半径方向の長
   さが短い電極を有する構成としたことを特徴とする請求
   項２乃至４のうちいずれか一項記載の静電ステッピング
   モータ。
6. 【請求項６】 上記電極パターンは、上記ステータのＮ
   の領域のうち、ステータの中心に近い領域の電極パター
   ン部は、周方向上の長さが長い電極を有し、ステータの
   外周寄りの領域の電極パターン部は、周方向の長さが短
   い電極を有する構成としたことを特徴とする請求項２乃
   至４のうちいずれか一項記載の静電ステッピングモー
   タ。
7. 【請求項７】 円板状の磁気記憶媒体と、 該磁気記憶媒体に添接したヘッドと、 該ヘッドを該磁気記憶媒体の径方向に往復移動させ、実
   質上停止している状態の磁気記憶媒体に実質上径方向に
   延在するトラックを形成するヘッド往復移動手段と、 上記径方向に延在して形成された個々のトラックが上記
   磁気記憶媒体の周方向に並んで形成されるように、上記
   磁気記憶媒体をステップ的に回動させる、請求項２乃至
   ６のうちいずれか一項記載の静電ステッピングモータと
   よりなる構成としたことを特徴とする磁気記憶装置。