JP2001216748A - ディスク装置のヘッド支持機構および薄膜圧電体アクチュエータ - Google Patents
ディスク装置のヘッド支持機構および薄膜圧電体アクチュエータInfo
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- JP2001216748A JP2001216748A JP2000024537A JP2000024537A JP2001216748A JP 2001216748 A JP2001216748 A JP 2001216748A JP 2000024537 A JP2000024537 A JP 2000024537A JP 2000024537 A JP2000024537 A JP 2000024537A JP 2001216748 A JP2001216748 A JP 2001216748A
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 トラッキング補正等のためにヘッドを高精度
で且つ効率的に微小変位させることができる。 【解決手段】 回転駆動されるディスクに対して少なく
ともデータの再生を行うヘッド１が設けられたスライダ
２が、全方位にわたって微小回動可能な状態で配置され
ている。スライダ２の各側部が、相互に平行な状態で配
置された一対の配線基板部８ｄおよび８ｅの各端部上に
支持されている。各配線基板部８ｄおよび８ｅには、各
配線基板部８ｄおよび８ｅに沿った状態で薄膜圧電体１
１ａおよび１１ｂがそれぞれ取り付けられており、各薄
膜圧電体１１ａおよび１１ｂにそれぞれ電圧が印加され
ることにより、各薄膜圧電体１１ａおよび１１ｂが各配
線基板部８ｄおよび８ｅに沿ってそれぞれ伸縮して、ス
ライダ２の各側部がそれぞれ変位するように各配線基板
部８ｄおよび８ｅが、それぞれ反った状態になる。
で且つ効率的に微小変位させることができる。 【解決手段】 回転駆動されるディスクに対して少なく
ともデータの再生を行うヘッド１が設けられたスライダ
２が、全方位にわたって微小回動可能な状態で配置され
ている。スライダ２の各側部が、相互に平行な状態で配
置された一対の配線基板部８ｄおよび８ｅの各端部上に
支持されている。各配線基板部８ｄおよび８ｅには、各
配線基板部８ｄおよび８ｅに沿った状態で薄膜圧電体１
１ａおよび１１ｂがそれぞれ取り付けられており、各薄
膜圧電体１１ａおよび１１ｂにそれぞれ電圧が印加され
ることにより、各薄膜圧電体１１ａおよび１１ｂが各配
線基板部８ｄおよび８ｅに沿ってそれぞれ伸縮して、ス
ライダ２の各側部がそれぞれ変位するように各配線基板
部８ｄおよび８ｅが、それぞれ反った状態になる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、コンピューターの
記憶装置等として用いられる磁気ディスク装置等に設け
られるヘッド支持機構に関し、特に、磁気ディスク装置
において、データを高記録密度化するために最適なヘッ
ド支持機構およびそのヘッド支持機構に好適に使用され
る薄膜圧電体アクチュエータに関する。
記憶装置等として用いられる磁気ディスク装置等に設け
られるヘッド支持機構に関し、特に、磁気ディスク装置
において、データを高記録密度化するために最適なヘッ
ド支持機構およびそのヘッド支持機構に好適に使用され
る薄膜圧電体アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁気ディスク装置に設けられた磁
気ディスクの記録密度は、日を追う毎に高密度化が進で
いる。磁気ディスクに対するデータの記録および再生に
使用される磁気ヘッドは、通常、スライダに搭載されて
おり、磁気ヘッドが搭載されたスライダは、磁気ディス
ク装置内に設けられたヘッド支持機構によって支持され
ている。ヘッド支持機構は、スライダが取り付けられた
ヘッドアクチュエーターアームを有しており、このヘッ
ドアクチュエーターアームが、ボイスコイルモータ（Ｖ
ＣＭ）によって回動されるようになっている。そして、
ボイスコイルモータを制御することにより、スライダに
搭載されたヘッドが、磁気ディスク上の任意の位置に位
置決めされる。
気ディスクの記録密度は、日を追う毎に高密度化が進で
いる。磁気ディスクに対するデータの記録および再生に
使用される磁気ヘッドは、通常、スライダに搭載されて
おり、磁気ヘッドが搭載されたスライダは、磁気ディス
ク装置内に設けられたヘッド支持機構によって支持され
ている。ヘッド支持機構は、スライダが取り付けられた
ヘッドアクチュエーターアームを有しており、このヘッ
ドアクチュエーターアームが、ボイスコイルモータ（Ｖ
ＣＭ）によって回動されるようになっている。そして、
ボイスコイルモータを制御することにより、スライダに
搭載されたヘッドが、磁気ディスク上の任意の位置に位
置決めされる。
【０００３】磁気ディスクに対してデータをさらに高密
度で記録するためには、磁気ディスクに対して磁気ヘッ
ドをさらに高度に位置決めする必要がある。しかしなが
ら、このように、ＶＣＭにてヘッドアクチュエーターア
ームの回動させて磁気ヘッドを位置決めする構成では、
磁気ヘッドを、より高精度に位置決めすることができな
いという問題がある。このために、磁気ヘッドを高精度
に位置決めするヘッド支持機構が既に提案されている。
度で記録するためには、磁気ディスクに対して磁気ヘッ
ドをさらに高度に位置決めする必要がある。しかしなが
ら、このように、ＶＣＭにてヘッドアクチュエーターア
ームの回動させて磁気ヘッドを位置決めする構成では、
磁気ヘッドを、より高精度に位置決めすることができな
いという問題がある。このために、磁気ヘッドを高精度
に位置決めするヘッド支持機構が既に提案されている。
【０００４】図１１は、従来の磁気ディスク装置のヘッ
ド支持機構の一例を示す平面図である。回転駆動される
図示しない磁気ディスクに対するデータの記録／再生を
行うヘッド１０２は、サスペンションアーム１０４の一
方の端部に支持されている。サスペンションアーム１０
４の他方の端部は、キャリッジ１０６の先端部に設けら
れた突起１０８に対して、この突起１０８を中心に微小
角の範囲内で回動可能に支持されている。キャリッジ１
０６の基端部は、磁気ディスク装置のハウジングに対し
て固定される軸部材１１０によって、回動可能に支持さ
れている。
ド支持機構の一例を示す平面図である。回転駆動される
図示しない磁気ディスクに対するデータの記録／再生を
行うヘッド１０２は、サスペンションアーム１０４の一
方の端部に支持されている。サスペンションアーム１０
４の他方の端部は、キャリッジ１０６の先端部に設けら
れた突起１０８に対して、この突起１０８を中心に微小
角の範囲内で回動可能に支持されている。キャリッジ１
０６の基端部は、磁気ディスク装置のハウジングに対し
て固定される軸部材１１０によって、回動可能に支持さ
れている。
【０００５】キャリッジ１０６には、永久磁石（図示せ
ず）が固定されており、ハウジング側に固定された磁気
回路１１２の一部である駆動コイル１１４に流す励磁電
流を制御することによって、この永久磁石に対して、キ
ャリッジ１０６が、軸部材１１０に対して回動するよう
になっている。これにより、ヘッド１０２が、磁気ディ
スクにおける実質的な半径方向に沿って移動される。
ず）が固定されており、ハウジング側に固定された磁気
回路１１２の一部である駆動コイル１１４に流す励磁電
流を制御することによって、この永久磁石に対して、キ
ャリッジ１０６が、軸部材１１０に対して回動するよう
になっている。これにより、ヘッド１０２が、磁気ディ
スクにおける実質的な半径方向に沿って移動される。
【０００６】キャリッジ１０６とサスペンションアーム
１０４との間には、一対の圧電素子１１６が設けられて
いる。各圧電素子１１６は、キャリッジ１０６の長手方
向に対して、それぞれの長手方向が相反する方向に若干
傾斜した状態で取り付けられている。そして、各圧電素
子１１６を、それぞれ、図１１に矢印Ａ１４で示す方向
に伸縮させることによって、サスペンションアーム１０
４が、キャリッジ１０６に対して突起１０８を中心に、
キャリッジ１０６の表面に沿って、微小角度の範囲内で
回動する。これにより、サスペンションアーム１０４の
先端部に取り付けられたヘッド１０２は、磁気ディスク
の表面に沿って、微小な範囲で変位され、磁気ディスク
上の任意の位置にて高精度で位置決めすることができ
る。
１０４との間には、一対の圧電素子１１６が設けられて
いる。各圧電素子１１６は、キャリッジ１０６の長手方
向に対して、それぞれの長手方向が相反する方向に若干
傾斜した状態で取り付けられている。そして、各圧電素
子１１６を、それぞれ、図１１に矢印Ａ１４で示す方向
に伸縮させることによって、サスペンションアーム１０
４が、キャリッジ１０６に対して突起１０８を中心に、
キャリッジ１０６の表面に沿って、微小角度の範囲内で
回動する。これにより、サスペンションアーム１０４の
先端部に取り付けられたヘッド１０２は、磁気ディスク
の表面に沿って、微小な範囲で変位され、磁気ディスク
上の任意の位置にて高精度で位置決めすることができ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】図１１に示す従来のヘ
ッド支持機構では、各圧電素子１１６が、サスペンショ
ンアーム１０４およびキャリッジ１０６にそれぞれ設け
られた部材の間にそれぞれ挟まれた状態になっており、
各圧電素子１１６の長手方向（矢印Ａ１４で示す方向）
に沿ったそれぞれの側部が、各部材に当接されている。
そして、各圧電素子１１６のバルク変形によって、サス
ペンションアーム１０４を回動させて、ヘッド１０２を
微小に変位させるようになっている。このように、各圧
電素子１１６への印加電圧に対して、サスペンションア
ーム１０４の回動によって、ヘッド１０２を微小に変位
させているために、各圧電素子１１６にそれぞれ印加さ
れる電圧に対して、ヘッド１０２が必ずしも高精度に追
従するものではなく、ヘッド１０２を高精度で位置決め
することができないおそれがある。
ッド支持機構では、各圧電素子１１６が、サスペンショ
ンアーム１０４およびキャリッジ１０６にそれぞれ設け
られた部材の間にそれぞれ挟まれた状態になっており、
各圧電素子１１６の長手方向（矢印Ａ１４で示す方向）
に沿ったそれぞれの側部が、各部材に当接されている。
そして、各圧電素子１１６のバルク変形によって、サス
ペンションアーム１０４を回動させて、ヘッド１０２を
微小に変位させるようになっている。このように、各圧
電素子１１６への印加電圧に対して、サスペンションア
ーム１０４の回動によって、ヘッド１０２を微小に変位
させているために、各圧電素子１１６にそれぞれ印加さ
れる電圧に対して、ヘッド１０２が必ずしも高精度に追
従するものではなく、ヘッド１０２を高精度で位置決め
することができないおそれがある。
【０００８】本発明は、このような問題を解決するもの
であり、その目的は、磁気ディスク等に対するトラッキ
ング補正等のために、ヘッドを高精度で微小変位させる
ことができるディスク装置のヘッド支持機構を提供する
ことにある。
であり、その目的は、磁気ディスク等に対するトラッキ
ング補正等のために、ヘッドを高精度で微小変位させる
ことができるディスク装置のヘッド支持機構を提供する
ことにある。
【０００９】本発明の他の目的は、電圧の制御によっ
て、ヘッドを高精度で微小変位させることができるディ
スク装置のヘッド支持機構を提供することにある。
て、ヘッドを高精度で微小変位させることができるディ
スク装置のヘッド支持機構を提供することにある。
【００１０】本発明のさらに他の目的は、このようなヘ
ッド支持機構に対して好適に使用される薄膜圧電体アク
チュエータを提供することにある。
ッド支持機構に対して好適に使用される薄膜圧電体アク
チュエータを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手役】本発明のディスク装置の
ヘッド支持機構は、回転駆動されるディスクに対して少
なくともデータの再生を行うヘッドが設けられており、
全方位にわたって微小回動可能な状態で配置されたスラ
イダと、該スライダの各側部をそれぞれの端部にて支持
するように、相互に平行な状態で配置された一対の基板
と、各基板に沿った状態で各基板にそれぞれ取り付けら
れており、それぞれに電圧が印加されることにより、各
基板に沿ってそれぞれ伸縮して、前記スライダの各側部
がそれぞれ変位するように各基板がそれぞれ反った状態
にする一対の薄膜圧電体と、各薄膜圧電体に対してそれ
ぞれ電圧を印加する各一対の電極と、を具備することを
特徴としており、そのことにより上記目的が達成され
る。
ヘッド支持機構は、回転駆動されるディスクに対して少
なくともデータの再生を行うヘッドが設けられており、
全方位にわたって微小回動可能な状態で配置されたスラ
イダと、該スライダの各側部をそれぞれの端部にて支持
するように、相互に平行な状態で配置された一対の基板
と、各基板に沿った状態で各基板にそれぞれ取り付けら
れており、それぞれに電圧が印加されることにより、各
基板に沿ってそれぞれ伸縮して、前記スライダの各側部
がそれぞれ変位するように各基板がそれぞれ反った状態
にする一対の薄膜圧電体と、各薄膜圧電体に対してそれ
ぞれ電圧を印加する各一対の電極と、を具備することを
特徴としており、そのことにより上記目的が達成され
る。
【００１２】前記各基板は、前記ディスクの接線方向に
ほぼ沿った状態で配置されており、少なくともいずれか
一方の基板が該ディスクに対して接離する方向に反った
状態になることによって、前記ヘッダが該ディスクのほ
ぼ直径方向に変位される。
ほぼ沿った状態で配置されており、少なくともいずれか
一方の基板が該ディスクに対して接離する方向に反った
状態になることによって、前記ヘッダが該ディスクのほ
ぼ直径方向に変位される。
【００１３】前記スライダは、回転するディスクとの間
に適切な空気流を生じさせるエアーベアリング面を有
し、該スライダが該エアーベアリング面の中心位置を中
心として回動するようになっている。
に適切な空気流を生じさせるエアーベアリング面を有
し、該スライダが該エアーベアリング面の中心位置を中
心として回動するようになっている。
【００１４】前記基板は、前記ディンプルを中心とした
対称位置であって、一直線上に位置する局部的に狭い幅
で形成された弾性ヒンジ部をそれぞれ有し、前記スライ
ダ保持板は、前記ディンプルを中心に微小回転する。
対称位置であって、一直線上に位置する局部的に狭い幅
で形成された弾性ヒンジ部をそれぞれ有し、前記スライ
ダ保持板は、前記ディンプルを中心に微小回転する。
【００１５】前記スライダは、ロードビームの先端部
に、全方位への回動可能に支持されたスライダ保持板上
に保持されており、このスライダ保持板の各側部が、規
制部材によって規制されている。
に、全方位への回動可能に支持されたスライダ保持板上
に保持されており、このスライダ保持板の各側部が、規
制部材によって規制されている。
【００１６】本発明の薄膜圧電体アクチュエータは、そ
れぞれが直線状に形成されて、相互に積層状態になった
薄膜圧電体および基板と、該基板上に、該基板に沿って
配置された配線パターンとを具備し、該基板の一方の端
部が、配線パターンを保持するために必要最小限の幅に
なっており、他方の端部では、前記配線パターンが基板
の幅方向の全体にわたって固定されていることを特徴と
しており、そのことにより、上記目的が達成される。
れぞれが直線状に形成されて、相互に積層状態になった
薄膜圧電体および基板と、該基板上に、該基板に沿って
配置された配線パターンとを具備し、該基板の一方の端
部が、配線パターンを保持するために必要最小限の幅に
なっており、他方の端部では、前記配線パターンが基板
の幅方向の全体にわたって固定されていることを特徴と
しており、そのことにより、上記目的が達成される。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を用いて説明する。
て、図面を用いて説明する。
【００１８】図１は、本発明のディスク装置におけるヘ
ッド支持機構の実施の形態の一例を示すディスク側から
の斜視図である。図２は、そのヘッド支持機構を分解し
て示す斜視図である。
ッド支持機構の実施の形態の一例を示すディスク側から
の斜視図である。図２は、そのヘッド支持機構を分解し
て示す斜視図である。
【００１９】このヘッド支持機構１００は、ヘッド１が
取り付けられたスライダ２を先端部に支持するロードビ
ーム４を有している。ロードビーム４は、ヘッドアクチ
ュエータアームに取り付けられる正方形状をしたベース
プレート５上に、ベースプレート５と同様の正方形状を
した基端部４ａが、ビーム溶接等によって固定されてい
る。ベースプレート５は、図示しないヘッドアクチュエ
ータアームに取り付けられている。ロードビーム４に
は、基端部４ａから先細状に延出するネック部４ｂに連
続して、ビーム部４ｃが直線状に延出するように設けら
れている。ネック部４ｂの中央部には、開口部４ｄが設
けられており、ネック部４ｂにおける開口部４ｄの両側
部分が、それぞれ、板バネ部４ｅになっている。
取り付けられたスライダ２を先端部に支持するロードビ
ーム４を有している。ロードビーム４は、ヘッドアクチ
ュエータアームに取り付けられる正方形状をしたベース
プレート５上に、ベースプレート５と同様の正方形状を
した基端部４ａが、ビーム溶接等によって固定されてい
る。ベースプレート５は、図示しないヘッドアクチュエ
ータアームに取り付けられている。ロードビーム４に
は、基端部４ａから先細状に延出するネック部４ｂに連
続して、ビーム部４ｃが直線状に延出するように設けら
れている。ネック部４ｂの中央部には、開口部４ｄが設
けられており、ネック部４ｂにおける開口部４ｄの両側
部分が、それぞれ、板バネ部４ｅになっている。
【００２０】ロードビーム４におけるビーム部４ｃの先
端部には、スライダ保持板３が載置されて、回動可能に
保持されるようになっている。
端部には、スライダ保持板３が載置されて、回動可能に
保持されるようになっている。
【００２１】ビーム部４ｃの先端部に保持されるスライ
ダ保持板３には、ロードビーム４の基端部４ａ側に突出
する突起部３ａが設けられている。また、ビーム部４ｃ
の先端部には、この突起部３ａに当接して押圧するよう
に突出したディンプル４ｇが設けられており、ビーム部
４ｃ先端部に載置されて各規制部４ｆによって係合され
たスライダ保持板３は、突起部３ａがディプル４ｇによ
って押圧されて保持されていることにより、ディンプル
４ｇを中心として全方位にわたって回動可能に保持され
ている。
ダ保持板３には、ロードビーム４の基端部４ａ側に突出
する突起部３ａが設けられている。また、ビーム部４ｃ
の先端部には、この突起部３ａに当接して押圧するよう
に突出したディンプル４ｇが設けられており、ビーム部
４ｃ先端部に載置されて各規制部４ｆによって係合され
たスライダ保持板３は、突起部３ａがディプル４ｇによ
って押圧されて保持されていることにより、ディンプル
４ｇを中心として全方位にわたって回動可能に保持され
ている。
【００２２】ビーム部４ｃの先端部における各側縁部に
は、載置されたスライダ保持板３の各側縁部に係合して
スライダ保持部の回動を規制する規制部４ｆがそれぞれ
設けられている。各規制部４ｆは、ビーム部４ｃの先端
から基端部側に向かって直線状に延出している。各規制
部４ｆに係合されたスライダ保持部３の各側縁部は、各
規制部４ｆによって、それぞれ規制されている。
は、載置されたスライダ保持板３の各側縁部に係合して
スライダ保持部の回動を規制する規制部４ｆがそれぞれ
設けられている。各規制部４ｆは、ビーム部４ｃの先端
から基端部側に向かって直線状に延出している。各規制
部４ｆに係合されたスライダ保持部３の各側縁部は、各
規制部４ｆによって、それぞれ規制されている。
【００２３】ロードビーム４のビーム部４ｃ上には、薄
膜圧電体駆動用配線パターン７および薄膜圧電体用基板
８が設けられている。薄膜圧電体用基板８は、ステンレ
ス、銅等の導電性であって剛性の高い材料によって構成
されている。薄膜圧電体駆動用配線パターン７の一方の
端部は、ビーム部４ｃの中程に位置された薄膜圧電体用
端子保持部７ａになっている。そして、この薄膜圧電体
用端子保持部７ａには、薄膜圧電体用基板８の一部が重
なっており、ビーム部４ｃの先端部上に配置されたスラ
イダ保持板３上には、薄膜圧電体用基板８の一方の端部
に設けられたスライダ取付部８ａが配置されている。そ
して、スライダ取付部８ａ上に、ヘッド１が搭載された
スライダ２が配置されている。
膜圧電体駆動用配線パターン７および薄膜圧電体用基板
８が設けられている。薄膜圧電体用基板８は、ステンレ
ス、銅等の導電性であって剛性の高い材料によって構成
されている。薄膜圧電体駆動用配線パターン７の一方の
端部は、ビーム部４ｃの中程に位置された薄膜圧電体用
端子保持部７ａになっている。そして、この薄膜圧電体
用端子保持部７ａには、薄膜圧電体用基板８の一部が重
なっており、ビーム部４ｃの先端部上に配置されたスラ
イダ保持板３上には、薄膜圧電体用基板８の一方の端部
に設けられたスライダ取付部８ａが配置されている。そ
して、スライダ取付部８ａ上に、ヘッド１が搭載された
スライダ２が配置されている。
【００２４】スライダ２は、図３に示すように、直方体
状をしており、ビーム部４ｃの先端方向に位置する一方
の端面の上部中央には、ＭＲ素子を含むヘッド１が設け
られている。スライダ２は、磁気ディスクの接線方向に
ヘッド１が向くように配置されている。また、ヘッド１
が設けられた端面の下部には、４つの端子２ａ〜２ｄ
が、横方向に並んだ状態で設けられている。さらに、ス
ライダ２の上面には、回転駆動される磁気ディスクによ
って生じる空気流が、スライダ２のピッチ方向（磁気デ
ィスクの接線方向）に沿って通流させて、磁気ディスク
との間にエア潤滑膜を形成するエアーベアリング面２ｅ
が設けられている。
状をしており、ビーム部４ｃの先端方向に位置する一方
の端面の上部中央には、ＭＲ素子を含むヘッド１が設け
られている。スライダ２は、磁気ディスクの接線方向に
ヘッド１が向くように配置されている。また、ヘッド１
が設けられた端面の下部には、４つの端子２ａ〜２ｄ
が、横方向に並んだ状態で設けられている。さらに、ス
ライダ２の上面には、回転駆動される磁気ディスクによ
って生じる空気流が、スライダ２のピッチ方向（磁気デ
ィスクの接線方向）に沿って通流させて、磁気ディスク
との間にエア潤滑膜を形成するエアーベアリング面２ｅ
が設けられている。
【００２５】スライダ２は、エアーベアリング面２ｅの
中心位置が、ロードビーム４のディンプル４ｇにて支持
されているスライダ保持板３の突起部３ａに対応すると
ともに、ヘッド１が設けられた側面が、ビーム部４ｃの
先端方向に向けられた状態で、薄膜圧電体基板８におけ
るスライダ取付部８ａを介して配置されている。そし
て、スライダ２の各側部が、スライダ取付部８ａにて支
持されている。
中心位置が、ロードビーム４のディンプル４ｇにて支持
されているスライダ保持板３の突起部３ａに対応すると
ともに、ヘッド１が設けられた側面が、ビーム部４ｃの
先端方向に向けられた状態で、薄膜圧電体基板８におけ
るスライダ取付部８ａを介して配置されている。そし
て、スライダ２の各側部が、スライダ取付部８ａにて支
持されている。
【００２６】スライダ保持板３は、ロードビーム４の先
端部に設けられたディンプル４ｇによって、突起部３ａ
を中心として、全方位に対して微小な変位で回動可能な
状態に保持されているために、突起部３ａ上に中心が位
置するスライダ２は、全方位にわたって、微小に回動し
得る状態で支持されている。
端部に設けられたディンプル４ｇによって、突起部３ａ
を中心として、全方位に対して微小な変位で回動可能な
状態に保持されているために、突起部３ａ上に中心が位
置するスライダ２は、全方位にわたって、微小に回動し
得る状態で支持されている。
【００２７】薄膜圧電体駆動用配線パターン７の他方の
端部は、外部接続用端子保持部７ｂになっており、ロー
ドビーム４の基端部４ａにおける一方の側縁部に配置さ
れている。ビーム部７ｃの中程に位置された薄膜圧電体
用端子保持部７ａには、３つの端子部１５ａ、１５ｂ、
１５ｃが設けられている。各端子部１５ａ〜１５ｃは、
外部接続用端子保持部７ｂ上に配置された３つの外部接
続用端子部１６ａ、１６ｂ、１６ｃに、それぞれ接続さ
れている。
端部は、外部接続用端子保持部７ｂになっており、ロー
ドビーム４の基端部４ａにおける一方の側縁部に配置さ
れている。ビーム部７ｃの中程に位置された薄膜圧電体
用端子保持部７ａには、３つの端子部１５ａ、１５ｂ、
１５ｃが設けられている。各端子部１５ａ〜１５ｃは、
外部接続用端子保持部７ｂ上に配置された３つの外部接
続用端子部１６ａ、１６ｂ、１６ｃに、それぞれ接続さ
れている。
【００２８】薄膜圧電体用基板８のスライダ取付部８ａ
が設けられた端部とは反対側の端部には、端子保持部８
ｂが設けられている。この端子保持部８ｂは、ロードビ
ーム４の基端部４ａにおける一方の側縁部に、薄膜圧電
体駆動用配線板７の外部接続用端子保持部７ｂに対し
て、ネック部４ｂ側に隣接して配置されている。
が設けられた端部とは反対側の端部には、端子保持部８
ｂが設けられている。この端子保持部８ｂは、ロードビ
ーム４の基端部４ａにおける一方の側縁部に、薄膜圧電
体駆動用配線板７の外部接続用端子保持部７ｂに対し
て、ネック部４ｂ側に隣接して配置されている。
【００２９】薄膜圧電体用基板８には、スライダ取付部
８ａに連続する一対の第１および第２の配線基板部８ｄ
および８ｅが、それぞれ設けられている。各配線基板部
８ｄおよび８ｅは、スライダ取付部８ａから、適当な間
隔をあけた平行な状態で、それぞれ直線状に延出してい
る。
８ａに連続する一対の第１および第２の配線基板部８ｄ
および８ｅが、それぞれ設けられている。各配線基板部
８ｄおよび８ｅは、スライダ取付部８ａから、適当な間
隔をあけた平行な状態で、それぞれ直線状に延出してい
る。
【００３０】薄膜圧電体用基板８における各配線基板部
８ｄおよび８ｅとスライダ取付部８ａとの間には、局部
的に狭い幅で形成された弾性ヒンジ部８ｆおよび８ｇが
設けられており、各弾性ヒンジ部８ｆおよび８ｇは、ス
ライダ取付部８ａと同一平面で弾性屈曲する構成になっ
ている。
８ｄおよび８ｅとスライダ取付部８ａとの間には、局部
的に狭い幅で形成された弾性ヒンジ部８ｆおよび８ｇが
設けられており、各弾性ヒンジ部８ｆおよび８ｇは、ス
ライダ取付部８ａと同一平面で弾性屈曲する構成になっ
ている。
【００３１】なお、薄膜圧電体用基板８と、薄膜圧電体
駆動用配線パターン７とを一体に形成してもよい。
駆動用配線パターン７とを一体に形成してもよい。
【００３２】図４および図５は、それぞれ、薄膜圧電体
用基板８におけるスライダ取付部８ａおよびその周辺部
の底面図および平面図であり、図６は、図２におけるＸ
−Ｘ線における断面図、図７は、図４におけるＹ−Ｙ線
における断面図である。
用基板８におけるスライダ取付部８ａおよびその周辺部
の底面図および平面図であり、図６は、図２におけるＸ
−Ｘ線における断面図、図７は、図４におけるＹ−Ｙ線
における断面図である。
【００３３】図６に示すように、第１および第２の各配
線基板部８ｄおよび８ｅは、それぞれ、ポリイミド等の
樹脂によって構成された柔軟材６によってそれぞれ覆わ
れており、各配線基板部８ｄおよび８ｅの上面には、ヘ
ッドに対する記録再生信号をそれぞれ伝送する各一対の
配線パターン１２ａおよび１２ｂ、１２ｃおよび１２ｄ
が、それぞれ、各配線基板部８ｄおよび８ｅに沿った状
態で設けられている。各配線パターン１２ａおよび１２
ｂは、柔軟材６によって配線基板部８ｄに取り付けられ
ており、また、各配線パターン１２ｃおよび１２ｄも、
柔軟材６によって、配線基板部８ｅに取り付けられてい
る。
線基板部８ｄおよび８ｅは、それぞれ、ポリイミド等の
樹脂によって構成された柔軟材６によってそれぞれ覆わ
れており、各配線基板部８ｄおよび８ｅの上面には、ヘ
ッドに対する記録再生信号をそれぞれ伝送する各一対の
配線パターン１２ａおよび１２ｂ、１２ｃおよび１２ｄ
が、それぞれ、各配線基板部８ｄおよび８ｅに沿った状
態で設けられている。各配線パターン１２ａおよび１２
ｂは、柔軟材６によって配線基板部８ｄに取り付けられ
ており、また、各配線パターン１２ｃおよび１２ｄも、
柔軟材６によって、配線基板部８ｅに取り付けられてい
る。
【００３４】各配線パターン１２ａおよび１２ｂ、１２
ｃおよび１２ｄの一方の端部は、それぞれ、スライダ取
付部８ａ上に配置された端子部になっており、また、配
線パターン１２ａ〜１２ｄは、配線部８ｃ上にそれぞれ
配線されて、それぞれの他方の端部は、端子保持部８ｂ
上に配置された端子部になっている。各配線パターン１
２ａ〜１２ｄは、柔軟材６によって覆われている。
ｃおよび１２ｄの一方の端部は、それぞれ、スライダ取
付部８ａ上に配置された端子部になっており、また、配
線パターン１２ａ〜１２ｄは、配線部８ｃ上にそれぞれ
配線されて、それぞれの他方の端部は、端子保持部８ｂ
上に配置された端子部になっている。各配線パターン１
２ａ〜１２ｄは、柔軟材６によって覆われている。
【００３５】薄膜圧電体用基板８における各配線基板部
８ｄおよび８ｅのスライダ取付部８ａとは反対側の端部
（図５に斜線で示す）には、薄膜圧電駆動用配線パター
ン１５ａ〜１５ｃと端子１３ａ、１３ｂ、１３ｃとを接
触させて固定する固定部材（図示せず）が設けられてい
る。
８ｄおよび８ｅのスライダ取付部８ａとは反対側の端部
（図５に斜線で示す）には、薄膜圧電駆動用配線パター
ン１５ａ〜１５ｃと端子１３ａ、１３ｂ、１３ｃとを接
触させて固定する固定部材（図示せず）が設けられてい
る。
【００３６】柔軟材６によってそれぞれ覆われた第１お
よび第２の各配線基板部８ｄおよび８ｅの下面には、第
１および第２の薄膜圧電体１１ａおよび１１ｂが、各配
線基板部８ｄおよび８ｅに沿ってそれぞれ積層状態で配
置されている。また、第１の薄膜圧電体１１ａの上面お
よび下面には、白金によって構成された上面電極９ａお
よび下面電極９ｂがそれぞれ設けられており、また、第
２の薄膜圧電体１１ｂの上面および下面にも、同様に白
金によって構成された上面電極９ａおよび下面電極９ｂ
がそれぞれ設けられている。
よび第２の各配線基板部８ｄおよび８ｅの下面には、第
１および第２の薄膜圧電体１１ａおよび１１ｂが、各配
線基板部８ｄおよび８ｅに沿ってそれぞれ積層状態で配
置されている。また、第１の薄膜圧電体１１ａの上面お
よび下面には、白金によって構成された上面電極９ａお
よび下面電極９ｂがそれぞれ設けられており、また、第
２の薄膜圧電体１１ｂの上面および下面にも、同様に白
金によって構成された上面電極９ａおよび下面電極９ｂ
がそれぞれ設けられている。
【００３７】第１および第２の各薄膜圧電体１１ａおよ
び１１ｂの上面に設けられた各上面電極９ａにおけるス
ライダ取付部８ａの遠方側に位置する端部には、各配線
基板部８ｄおよび８ｅの各端部と短絡する短絡部材１４
が設けられている。
び１１ｂの上面に設けられた各上面電極９ａにおけるス
ライダ取付部８ａの遠方側に位置する端部には、各配線
基板部８ｄおよび８ｅの各端部と短絡する短絡部材１４
が設けられている。
【００３８】また、各薄膜圧電体１１ａおよび１１ｂの
下面にそれぞれ設けられた各下面電極９ｂにおけるスラ
イダ取付部８ａの遠方側に位置する端部は、柔軟材６に
覆われることなく、端子１３ａおよび１３ｂがそれぞれ
接続されている。従って、各端子１３ａおよび１３ｂ
は、柔軟材６からそれぞれ露出した状態になっている。
また、配線部８ｃにおける各配線基板部８ｄおよび８ｅ
に近接した部分の幅方向の中央部の下面にも、端子１３
ｃが接続されており、この端子１３ｃも、柔軟材６から
露出した状態になっている。
下面にそれぞれ設けられた各下面電極９ｂにおけるスラ
イダ取付部８ａの遠方側に位置する端部は、柔軟材６に
覆われることなく、端子１３ａおよび１３ｂがそれぞれ
接続されている。従って、各端子１３ａおよび１３ｂ
は、柔軟材６からそれぞれ露出した状態になっている。
また、配線部８ｃにおける各配線基板部８ｄおよび８ｅ
に近接した部分の幅方向の中央部の下面にも、端子１３
ｃが接続されており、この端子１３ｃも、柔軟材６から
露出した状態になっている。
【００３９】導電性を有する配線部８ｃに接続された端
子１３ｃは、短絡部材１４によって、各薄膜圧電体１１
ａおよび１１ｂの上面にそれぞれ設けられた各上面電極
９ａと、それぞれ短絡状態になっている。
子１３ｃは、短絡部材１４によって、各薄膜圧電体１１
ａおよび１１ｂの上面にそれぞれ設けられた各上面電極
９ａと、それぞれ短絡状態になっている。
【００４０】各配線基板部８ｄおよび８ｅの下面に設け
られた各端子１３ａ〜１３ｂｃは、ロードビーム４のビ
ーム部４ｃの上の中程に配置された薄膜圧電体駆動用配
線パターン７の薄膜圧電体用端子保持部７ａにおける各
端子１５ａ〜１５ｃにそれぞれ接続されている。
られた各端子１３ａ〜１３ｂｃは、ロードビーム４のビ
ーム部４ｃの上の中程に配置された薄膜圧電体駆動用配
線パターン７の薄膜圧電体用端子保持部７ａにおける各
端子１５ａ〜１５ｃにそれぞれ接続されている。
【００４１】スライダ２は、スライダ保持板３上に配置
された薄膜圧電体基板８のスライダ取付部８ａ上に配置
されて、スライダ取付部８ａに設けられた４つの端子部
をそれぞれ介して、各信号配線パターン１２ａ、１２
ｂ、１２ｃ、１２ｄにそれぞれ接続されている。
された薄膜圧電体基板８のスライダ取付部８ａ上に配置
されて、スライダ取付部８ａに設けられた４つの端子部
をそれぞれ介して、各信号配線パターン１２ａ、１２
ｂ、１２ｃ、１２ｄにそれぞれ接続されている。
【００４２】このような構成のディスク装置のヘッド支
持機構１００の動作について、図８〜図１０を用いて説
明する。まず、薄膜圧電体基板８の各配線基板部８ｄお
よび８ｅの連結部に設けられた端子１３ｃは、薄膜圧電
体駆動用配線パターン７を介してグランドレベルとされ
る。端子１３ｃは、第１および第２の各薄膜圧電体１１
ａおよび１１ｂの上面に配置された各上面電極９ａに短
絡していることによって、各上面電極９ａがそれぞれグ
ランドレベルとされる。また、薄膜圧電体基板８の第１
の配線基板部８ｄの一方の端子１３ａに電圧Ｖ0が印加
されるとともに、第２の配線基板部８ｅの端子１３ｂに
は電圧０が印加される。
持機構１００の動作について、図８〜図１０を用いて説
明する。まず、薄膜圧電体基板８の各配線基板部８ｄお
よび８ｅの連結部に設けられた端子１３ｃは、薄膜圧電
体駆動用配線パターン７を介してグランドレベルとされ
る。端子１３ｃは、第１および第２の各薄膜圧電体１１
ａおよび１１ｂの上面に配置された各上面電極９ａに短
絡していることによって、各上面電極９ａがそれぞれグ
ランドレベルとされる。また、薄膜圧電体基板８の第１
の配線基板部８ｄの一方の端子１３ａに電圧Ｖ0が印加
されるとともに、第２の配線基板部８ｅの端子１３ｂに
は電圧０が印加される。
【００４３】これにより、第１の配線基板部８ｄに設け
られた第１の薄膜圧電体１１ａの上面電極９ａと下面電
極９ｂとの間の電圧Ｖ0が、第１の薄膜圧電体１１ａに
印加された状態になるとともに、第２の配線基板部８ｅ
に設けられた第２の薄膜圧電体１１ｂの上面電極９ａと
下面電極９ｂとの間に電圧が印加されず、第２の薄膜圧
電体１１ｂには電圧が印加されない状態になる。
られた第１の薄膜圧電体１１ａの上面電極９ａと下面電
極９ｂとの間の電圧Ｖ0が、第１の薄膜圧電体１１ａに
印加された状態になるとともに、第２の配線基板部８ｅ
に設けられた第２の薄膜圧電体１１ｂの上面電極９ａと
下面電極９ｂとの間に電圧が印加されず、第２の薄膜圧
電体１１ｂには電圧が印加されない状態になる。
【００４４】その結果、第１の薄膜圧電体１１ａは、長
手方向（図８に矢印Ａ１で示す方向）に伸びを生じる。
このとき、第１の薄膜圧電体１１ａと積層状態になった
配線基板部８ｄが、ステンレスあるいは銅等で構成され
ているために、伸び方向（矢印Ａ１で示す方向）に対し
て剛性が高くなっており、第１の薄膜圧電体１１ａおよ
び薄膜圧電体基板８の配線基板部８ｄは、バイモルフ効
果により、図８に示すように、磁気ディスク方向に接近
する方向に反りを生じる。これに対して、第２の薄膜圧
電体１１ｂには電圧が印加されないために、図９に示す
ように、第２の配線基板部８ｅには、特に反りは生じな
い。
手方向（図８に矢印Ａ１で示す方向）に伸びを生じる。
このとき、第１の薄膜圧電体１１ａと積層状態になった
配線基板部８ｄが、ステンレスあるいは銅等で構成され
ているために、伸び方向（矢印Ａ１で示す方向）に対し
て剛性が高くなっており、第１の薄膜圧電体１１ａおよ
び薄膜圧電体基板８の配線基板部８ｄは、バイモルフ効
果により、図８に示すように、磁気ディスク方向に接近
する方向に反りを生じる。これに対して、第２の薄膜圧
電体１１ｂには電圧が印加されないために、図９に示す
ように、第２の配線基板部８ｅには、特に反りは生じな
い。
【００４５】図１０は、この場合の薄膜圧電体基板８の
各配線基板部８ｄおよび８ｅの状態を示す平面図であ
る。
各配線基板部８ｄおよび８ｅの状態を示す平面図であ
る。
【００４６】反った状態の第１の薄膜圧電体１１ａおよ
び配線基板部８ｄは、反っていない第２の薄膜圧電体１
１ｂおよび配線基板部８ｅの長さよりも、微小変位δ１
だけ短くなる。その結果、スライダ保持板３は、図１０
に矢印Ａ２で示す方向に微小に回動することになり、ス
ライダ保持板３上に設けられたスライダ２もディンプル
４ｇを中心として同方向に微小に回動することになる。
び配線基板部８ｄは、反っていない第２の薄膜圧電体１
１ｂおよび配線基板部８ｅの長さよりも、微小変位δ１
だけ短くなる。その結果、スライダ保持板３は、図１０
に矢印Ａ２で示す方向に微小に回動することになり、ス
ライダ保持板３上に設けられたスライダ２もディンプル
４ｇを中心として同方向に微小に回動することになる。
【００４７】反対に、薄膜圧電体用基板８の第２の配線
基板部８ｅの一方の端子１３ｂに電圧Ｖ0が印加される
とともに、第１の配線基板部８ｄの端子１３ａには電圧
０が印加されると、第２の薄膜圧電体１１ｂおよび配線
基板部８ｅが反った状態になるとともに、第１の薄膜圧
電体１１ａおよび配線基板部８ｄが反らず、従って、ス
ライダ保持板３は、図１０に矢印Ａ２で示す方向とは反
対方向にディンプル４ｇを中心として微小に回動するこ
とになり、スライダ保持板３上に設けられたスライダ２
も同方向に微小に回動することになる。
基板部８ｅの一方の端子１３ｂに電圧Ｖ0が印加される
とともに、第１の配線基板部８ｄの端子１３ａには電圧
０が印加されると、第２の薄膜圧電体１１ｂおよび配線
基板部８ｅが反った状態になるとともに、第１の薄膜圧
電体１１ａおよび配線基板部８ｄが反らず、従って、ス
ライダ保持板３は、図１０に矢印Ａ２で示す方向とは反
対方向にディンプル４ｇを中心として微小に回動するこ
とになり、スライダ保持板３上に設けられたスライダ２
も同方向に微小に回動することになる。
【００４８】従って、スライダ２に設けられたヘッド１
は、磁気ディスクに同心状態で設けられた各トラックの
幅方向に沿って移動することになる。これにより、ヘッ
ド１のトラックに追従させるオントラック性を向上させ
ることができる。
は、磁気ディスクに同心状態で設けられた各トラックの
幅方向に沿って移動することになる。これにより、ヘッ
ド１のトラックに追従させるオントラック性を向上させ
ることができる。
【００４９】この場合、薄膜圧電体用基板８の第１およ
び第２の配線基板部８ｄおよび８ｅにおけるスライダ取
付部８ａとの各接続部分が、信号配線１２ａおよび１２
ｂ、１２ｃおよび１２ｄが、それぞれ配置される必要最
小限の幅寸法にそれぞれなっているために、スライダ取
付部８ａの回転時における負荷が低減されて、スライダ
取付部８ａが確実に回動される。
び第２の配線基板部８ｄおよび８ｅにおけるスライダ取
付部８ａとの各接続部分が、信号配線１２ａおよび１２
ｂ、１２ｃおよび１２ｄが、それぞれ配置される必要最
小限の幅寸法にそれぞれなっているために、スライダ取
付部８ａの回転時における負荷が低減されて、スライダ
取付部８ａが確実に回動される。
【００５０】スライダー２には、ロードビーム４の板バ
ネ部４ｅによりロード荷重（２０〜３０ｍＮ）が加えら
れており、スライダー保持板３が回動される場合には、
このロード荷重が、ディンプル４ｇとスライダ保持板３
との間に作用する。従って、スライダ保持板３には、ス
ライダ保持板３とディンプル４ｇとの摩擦係数にて決定
される摩擦力が作用する。従って、スライダー保持板３
の突起部３ａとディンプル４ｇとは回転自在であるが、
摩擦力によって、ズレは生じない。
ネ部４ｅによりロード荷重（２０〜３０ｍＮ）が加えら
れており、スライダー保持板３が回動される場合には、
このロード荷重が、ディンプル４ｇとスライダ保持板３
との間に作用する。従って、スライダ保持板３には、ス
ライダ保持板３とディンプル４ｇとの摩擦係数にて決定
される摩擦力が作用する。従って、スライダー保持板３
の突起部３ａとディンプル４ｇとは回転自在であるが、
摩擦力によって、ズレは生じない。
【００５１】第１の薄膜圧電体１１ａと第２の薄膜圧電
体１１ｂは、同じ電圧が印加されることによって等しく
動作されるようになっている。なお、電圧を印加しない
状態で薄膜圧電体１１ａおよび１１ｂが反りを持った状
態において、第１の薄膜圧電体１１ａと第２の薄膜圧電
体１１ｂに対して、逆位相の電圧をそれぞれ印加して、
第１の薄膜圧電体１１ａおよび配線基板部８ｄと、第２
の薄膜圧電体１１ｂおよび配線基板部８ｅとを駆動して
もよい。
体１１ｂは、同じ電圧が印加されることによって等しく
動作されるようになっている。なお、電圧を印加しない
状態で薄膜圧電体１１ａおよび１１ｂが反りを持った状
態において、第１の薄膜圧電体１１ａと第２の薄膜圧電
体１１ｂに対して、逆位相の電圧をそれぞれ印加して、
第１の薄膜圧電体１１ａおよび配線基板部８ｄと、第２
の薄膜圧電体１１ｂおよび配線基板部８ｅとを駆動して
もよい。
【００５２】また、図８に示す本実施の形態では、薄膜
圧電体１１ａに電圧を印加して薄膜圧電体側が凸になる
方向に変位させたが、電圧を印加して凹になるように変
位させてもよい。
圧電体１１ａに電圧を印加して薄膜圧電体側が凸になる
方向に変位させたが、電圧を印加して凹になるように変
位させてもよい。
【００５３】本実施の形態によれば、ヘッド１をディス
クの半径方向に変位させる際に、薄膜圧電体基板８の厚
みを３μm、各薄膜圧電体１１ａおよび１１ｂの厚さを
それぞれ２μm、各薄膜圧電体１１ａおよび１１ｂの長
手方向の寸法を２ｍｍ、上面電極９ａおよび９ｂ間に印
加する電庄を５Ｖとした場合に、ヘッド１の変位量は１
μmであった。
クの半径方向に変位させる際に、薄膜圧電体基板８の厚
みを３μm、各薄膜圧電体１１ａおよび１１ｂの厚さを
それぞれ２μm、各薄膜圧電体１１ａおよび１１ｂの長
手方向の寸法を２ｍｍ、上面電極９ａおよび９ｂ間に印
加する電庄を５Ｖとした場合に、ヘッド１の変位量は１
μmであった。
【００５４】また、スライダ保持板３を、ディンプル４
ｇによって全方位にわたって回動可能に支持することに
よって、スライダ保持板３の回動時における摩擦ロスが
非常に小さくすることができる。これにより、小さな駆
動力によって、ヘッド１の変位量を大きくすることが可
能となる。また、スライダ２は、そのエアーベアリング
面２ｂの中心位置を中心として回動可能に保持されてい
るために、例えば、空気粘性摩擦力等の外乱の影響によ
って、スライダ２上のヘッド１の位置が変化するおそれ
がない。
ｇによって全方位にわたって回動可能に支持することに
よって、スライダ保持板３の回動時における摩擦ロスが
非常に小さくすることができる。これにより、小さな駆
動力によって、ヘッド１の変位量を大きくすることが可
能となる。また、スライダ２は、そのエアーベアリング
面２ｂの中心位置を中心として回動可能に保持されてい
るために、例えば、空気粘性摩擦力等の外乱の影響によ
って、スライダ２上のヘッド１の位置が変化するおそれ
がない。
【００５５】さらに、本実施の形態によれば、配線基板
８ｄおよび８ｅと、薄膜圧電体１１ａおよび１１ｂとで
構成された梁構造は、図８に示したＡ１方向において高
い剛性を生じるために、構造的にヘッド支持機構１００
の振動共振点を高くできる。従って、高い周波数で薄膜
圧電体を駆動する場合の動作の応答性にすぐれた特性を
得ることができる。
８ｄおよび８ｅと、薄膜圧電体１１ａおよび１１ｂとで
構成された梁構造は、図８に示したＡ１方向において高
い剛性を生じるために、構造的にヘッド支持機構１００
の振動共振点を高くできる。従って、高い周波数で薄膜
圧電体を駆動する場合の動作の応答性にすぐれた特性を
得ることができる。
【００５６】
【発明の効果】以上のように、本発明のディスク装置の
ヘッド支持機構は、トラッキング補正等のために、ヘッ
ドを高精度でな微小に変位させることができるととも
に、印加電圧に対して効果的にヘッドを微小変位させる
ことができる。
ヘッド支持機構は、トラッキング補正等のために、ヘッ
ドを高精度でな微小に変位させることができるととも
に、印加電圧に対して効果的にヘッドを微小変位させる
ことができる。
【００５７】さらに本発明のヘッド支持機構では、薄膜
圧電体を基板の片面上に設けるという簡潔な構成である
ために、製造コストの大幅削減も可能である。
圧電体を基板の片面上に設けるという簡潔な構成である
ために、製造コストの大幅削減も可能である。
【図１】本発明のヘッド支持機構の実施の形態の一例を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図２】そのヘッド支持機構を分解して示す斜視図であ
る。
る。
【図３】そのヘッド支持機構に使用されるスライダの斜
視図である。
視図である。
【図４】そのヘッド支持機構に使用される薄膜圧電体用
基板の要部の底面図である。
基板の要部の底面図である。
【図５】その薄膜圧電体基板の要部の平面図である。
【図６】図２のＸ−Ｘ線における断面図である。
【図７】図４のＹ−Ｙ線における断面図である。
【図８】そのヘッド支持機構の動作を説明するための要
部の側面図である。
部の側面図である。
【図９】そのヘッド支持機構の動作を説明するための要
部の側面図である。
部の側面図である。
【図１０】そのヘッド支持機の構動作を説明するための
要部の平面図である。
要部の平面図である。
【図１１】従来のディスク装置のヘッド支持機構の一例
を示す平面図である。
を示す平面図である。
１ ヘッド部 ２ スライダ ３ スライダ保持板 ４ ロードビーム ８ 薄膜圧電体用基板 １１ａ、１１ｂ 薄膜圧電体
Claims (6)
- 【請求項１】 回転駆動されるディスクに対して少なく
ともデータの再生を行うヘッドが設けられており、全方
位にわたって微小回動可能な状態で配置されたスライダ
と、 該スライダの各側部をそれぞれの端部にて支持するよう
に、相互に平行な状態で配置された一対の基板と、 各基板に沿った状態で各基板にそれぞれ取り付けられて
おり、それぞれに電圧が印加されることにより、各基板
に沿ってそれぞれ伸縮して、前記スライダの各側部がそ
れぞれ変位するように各基板がそれぞれ反った状態にす
る一対の薄膜圧電体と、 各薄膜圧電体に対してそれぞれ電圧を印加する各一対の
電極と、 を具備することを特徴とするディスク装置のヘッド支持
機構。 - 【請求項２】 前記各基板は、前記ディスクの接線方向
にほぼ沿った状態で配置されており、少なくともいずれ
か一方の基板が該ディスクに対して接離する方向に反っ
た状態になることによって、前記ヘッドが該ディスクの
ほぼ直径方向に変位される請求項１記載のディスク装置
のヘッド支持機構。 - 【請求項３】 前記スライダは、回転するディスクとの
間に適切な空気流を生じさせるエアーベアリング面を有
し、該スライダが該エアーベアリング面の中心位置を中
心として回動するようになっている請求項１記載のディ
スク装置のヘッド支持機構。 - 【請求項４】 前記基板は、前記ディンプルを中心とし
た対称位置であって、一直線上に位置する局部的に狭い
幅で形成された弾性ヒンジ部をそれぞれ有し、前記スラ
イダ保持板は、前記ディンプルを中心に微小回転する請
求項３記載のディスク装置のヘッド支持機構。 - 【請求項５】 前記スライダは、ロードビームの先端部
に、全方位への回動可能に支持されたスライダ保持板上
に保持されており、このスライダ保持板の各側部が、規
制部材によって規制されている請求項１記載のディスク
装置のヘッド支持機構。 - 【請求項６】 それぞれが直線状に形成されて、相互に
積層状態になった薄膜圧電体および基板と、 該基板上に、該基板に沿って配置された配線パターンと
を具備し、 該基板の一方の端部が、配線パターンを保持するために
必要最小限の幅になっており、他方の端部では、前記配
線パターンが基板の幅方向の全体にわたって固定されて
いることを特徴とする薄膜圧電体アクチュエータ。
Priority Applications (18)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000024537A JP3405451B2 (ja) | 2000-02-01 | 2000-02-01 | 圧電体アクチュエータおよびディスク装置 |
| SG200401422-1A SG147277A1 (en) | 2000-02-01 | 2001-01-31 | Head support mechanism and thin film piezoelectric actuator |
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