JPH08319540A - レジスト性の優れたＦｅ−Ｎｉ合金薄板およびその製造方法 - Google Patents
レジスト性の優れたＦｅ−Ｎｉ合金薄板およびその製造方法Info
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- JPH08319540A JPH08319540A JP12197395A JP12197395A JPH08319540A JP H08319540 A JPH08319540 A JP H08319540A JP 12197395 A JP12197395 A JP 12197395A JP 12197395 A JP12197395 A JP 12197395A JP H08319540 A JPH08319540 A JP H08319540A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 スジムラやレジスト不良の発生を抑制し、製
品歩留が良好であるシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金薄
板。 【構成】 表面粗さがＲａで０．５０〜１．００μmか
つ最大粗さがＲｙで３．５〜９．５μmであり、表面酸
化被膜中の酸素濃度面積が２．５×１０3 ％Å以下であ
る、重量％にて、Ｎｉ：３０〜５２を含有し、以下いず
れも、Ｃ：０．０２、Ｓｉ：０．３０、Ａｌ：０．０
２、Ｏ：０．０２であり、板厚が０．３ｍｍ以下の、レ
ジスト性の優れたＦｅ−Ｎｉ合金薄板。
品歩留が良好であるシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金薄
板。 【構成】 表面粗さがＲａで０．５０〜１．００μmか
つ最大粗さがＲｙで３．５〜９．５μmであり、表面酸
化被膜中の酸素濃度面積が２．５×１０3 ％Å以下であ
る、重量％にて、Ｎｉ：３０〜５２を含有し、以下いず
れも、Ｃ：０．０２、Ｓｉ：０．３０、Ａｌ：０．０
２、Ｏ：０．０２であり、板厚が０．３ｍｍ以下の、レ
ジスト性の優れたＦｅ−Ｎｉ合金薄板。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラーブラウン管内等
で使用されるシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金薄板、特
にシャドウマスクの製造工程においてスジムラやレジス
ト不良の発生を抑制し、製品歩留が良好であるシャドウ
マスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金薄板およびその製造方法に関す
るものである。
で使用されるシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金薄板、特
にシャドウマスクの製造工程においてスジムラやレジス
ト不良の発生を抑制し、製品歩留が良好であるシャドウ
マスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金薄板およびその製造方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】カラーブラウン管シャドウマスク用素材
としては、一般に低炭素鋼が使用されている。カラーブ
ラウン管は真空管を形成するガラスバルブのフェースプ
レート部（パネル）に赤、緑、青の３原色を発する蛍光
膜が塗布されており、反対側のネック部には蛍光膜を刺
激発光させるための電子ビームを発射する電子銃を備え
ている。シャドウマスクは、蛍光面と電子銃の間の蛍光
面に近い位置に設けられており、電子銃から発する３原
色に対応する３本の電子ビームを、スロットと呼ばれる
孔に通過させて各々対応する蛍光面のみに当てるような
色選別の機能を果たしているものである。従って、シャ
ドウマスク上のスロットと蛍光体の位置関係が正確に合
っている必要がある。しかしながら、カラーブラウン管
を連続使用する場合、電子ビームのエネルギーのうち約
８０％がシャドウマスク上で熱エネルギーとして消費さ
れるため、シャドウマスクの温度が局部的に９０℃程度
まで上昇して熱膨張により電子ビームと蛍光体の一致が
得られなくなり、画像が不鮮明になる。このため、カラ
ーブラウン管の構造を工夫してシャドウマスクの熱膨張
を補償することが行われているが十分ではない。
としては、一般に低炭素鋼が使用されている。カラーブ
ラウン管は真空管を形成するガラスバルブのフェースプ
レート部（パネル）に赤、緑、青の３原色を発する蛍光
膜が塗布されており、反対側のネック部には蛍光膜を刺
激発光させるための電子ビームを発射する電子銃を備え
ている。シャドウマスクは、蛍光面と電子銃の間の蛍光
面に近い位置に設けられており、電子銃から発する３原
色に対応する３本の電子ビームを、スロットと呼ばれる
孔に通過させて各々対応する蛍光面のみに当てるような
色選別の機能を果たしているものである。従って、シャ
ドウマスク上のスロットと蛍光体の位置関係が正確に合
っている必要がある。しかしながら、カラーブラウン管
を連続使用する場合、電子ビームのエネルギーのうち約
８０％がシャドウマスク上で熱エネルギーとして消費さ
れるため、シャドウマスクの温度が局部的に９０℃程度
まで上昇して熱膨張により電子ビームと蛍光体の一致が
得られなくなり、画像が不鮮明になる。このため、カラ
ーブラウン管の構造を工夫してシャドウマスクの熱膨張
を補償することが行われているが十分ではない。
【０００３】そこで、シャドウマスク用素材として低炭
素鋼に比べて熱膨張係数が極めて小さい、Ｎｉを３０〜
５２％含有する低熱膨張Ｆｅ−Ｎｉ合金薄板が使用され
てきている。しかしながら、シヤドウマスクの製造工程
においてこのようなＦｅ−Ｎｉ合金薄板はエッチング穿
孔性が従来の低炭素鋼に比べて著しく劣り、またレジス
ト剥離に起因する孔形状ムラやスジムラというエッチン
グ不良が多発する問題がある。従って、カラーブラウン
管内で使用されるシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金薄
板、特にシャドウマスクの製造工程においてスジムラや
レジスト不良の発生がなく、製造歩留が良好なシャドウ
マスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金薄板およびこれを製造する方法
が強く要望されている。
素鋼に比べて熱膨張係数が極めて小さい、Ｎｉを３０〜
５２％含有する低熱膨張Ｆｅ−Ｎｉ合金薄板が使用され
てきている。しかしながら、シヤドウマスクの製造工程
においてこのようなＦｅ−Ｎｉ合金薄板はエッチング穿
孔性が従来の低炭素鋼に比べて著しく劣り、またレジス
ト剥離に起因する孔形状ムラやスジムラというエッチン
グ不良が多発する問題がある。従って、カラーブラウン
管内で使用されるシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金薄
板、特にシャドウマスクの製造工程においてスジムラや
レジスト不良の発生がなく、製造歩留が良好なシャドウ
マスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金薄板およびこれを製造する方法
が強く要望されている。
【０００４】低熱膨張型シャドウマスク用素材として
は、例えばＦｅ−Ｎｉ合金のＣ、Ｓ、Ｏ等の成分を限定
して、炭化物、硫化物、酸化物を制御することによりエ
ッチング穿孔性に優れたシャドウマスク用素材が特開昭
６１−１１３７４６号公報に開示されている。これによ
れば、介在物に起因するエッチング穿孔ムラ等の欠陥は
防止できるが、介在物以外の原因によるエッチング不良
に対しては十分に考慮されていない。
は、例えばＦｅ−Ｎｉ合金のＣ、Ｓ、Ｏ等の成分を限定
して、炭化物、硫化物、酸化物を制御することによりエ
ッチング穿孔性に優れたシャドウマスク用素材が特開昭
６１−１１３７４６号公報に開示されている。これによ
れば、介在物に起因するエッチング穿孔ムラ等の欠陥は
防止できるが、介在物以外の原因によるエッチング不良
に対しては十分に考慮されていない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、シャドウマ
スクの製造工程においてスジムラやレジスト不良の発生
を抑制し、製品歩留が良好であるシャドウマスク用Ｆｅ
−Ｎｉ合金薄板およびその製造方法を提供することを目
的とする。
スクの製造工程においてスジムラやレジスト不良の発生
を抑制し、製品歩留が良好であるシャドウマスク用Ｆｅ
−Ｎｉ合金薄板およびその製造方法を提供することを目
的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、成分、材
質および製造工程を種々検討した結果、微量成分を限定
し、薄板での強度および表面仕上げを適切に組み合わせ
ること、さらに最終焼鈍前の板厚、焼鈍条件および調質
圧延条件を限定することにより、上記課題を解決できる
ことを見出した。
質および製造工程を種々検討した結果、微量成分を限定
し、薄板での強度および表面仕上げを適切に組み合わせ
ること、さらに最終焼鈍前の板厚、焼鈍条件および調質
圧延条件を限定することにより、上記課題を解決できる
ことを見出した。
【０００７】すなわち、本発明の要旨とするところは下
記のとおりである。 （１）重量％にて、Ｎｉ：３０〜５２％、Ｃ：≦０．０
２％、Ｓｉ：≦０．３０％、Ａｌ：≦０．０２％、Ｏ：
≦０．０２％を含有し、板厚が０．３ｍｍ以下のＦｅ−
Ｎｉ合金薄板であって、表面粗さがＲａで０．５０〜
１．００μｍかつ最大粗さがＲｙで３．５〜９．５μｍ
であり、表面酸化被膜中の酸素濃度面積が２．５×１０
3 ％Å以下であることを特徴とするレジスト性の優れた
Ｆｅ−Ｎｉ合金薄板。
記のとおりである。 （１）重量％にて、Ｎｉ：３０〜５２％、Ｃ：≦０．０
２％、Ｓｉ：≦０．３０％、Ａｌ：≦０．０２％、Ｏ：
≦０．０２％を含有し、板厚が０．３ｍｍ以下のＦｅ−
Ｎｉ合金薄板であって、表面粗さがＲａで０．５０〜
１．００μｍかつ最大粗さがＲｙで３．５〜９．５μｍ
であり、表面酸化被膜中の酸素濃度面積が２．５×１０
3 ％Å以下であることを特徴とするレジスト性の優れた
Ｆｅ−Ｎｉ合金薄板。
【０００８】（２）重量％にて、Ｎｉ：３０〜５２％、
Ｃ：≦０．０２％、Ｓｉ：≦０．３０％、Ａｌ：≦０．
０２％、Ｏ：≦０．０２％を含有するＦｅ−Ｎｉ合金帯
板を、冷間圧延により０．３ｍｍ以下の板厚にし、続い
てＮ2 を５〜９０ｖｏｌ．％含有する無酸化あるいは還
元性雰囲気中において７００〜９００℃で焼鈍し、続い
て表面粗さがＲａで０．７５〜１．５０μｍかつ最大粗
さがＲｙで５．５〜１７．０μｍのワークロールを用い
て調質圧延し、アルカリ電解洗浄を１パス以上行うこと
を特徴とするレジスト性の優れたＦｅ−Ｎｉ合金薄板の
製造方法。
Ｃ：≦０．０２％、Ｓｉ：≦０．３０％、Ａｌ：≦０．
０２％、Ｏ：≦０．０２％を含有するＦｅ−Ｎｉ合金帯
板を、冷間圧延により０．３ｍｍ以下の板厚にし、続い
てＮ2 を５〜９０ｖｏｌ．％含有する無酸化あるいは還
元性雰囲気中において７００〜９００℃で焼鈍し、続い
て表面粗さがＲａで０．７５〜１．５０μｍかつ最大粗
さがＲｙで５．５〜１７．０μｍのワークロールを用い
て調質圧延し、アルカリ電解洗浄を１パス以上行うこと
を特徴とするレジスト性の優れたＦｅ−Ｎｉ合金薄板の
製造方法。
【０００９】
【作用】以下、本発明の限定理由について説明する。ま
ず、本発明合金薄板の成分の限定理由について述べる。
Ｎｉはその含有量が３０％より少ないと熱膨張係数が極
めて高くなり、カラーブラウン管の鮮映性が劣化し、ま
た５２％を超えて含有しても熱膨張係数が高くなる。従
って、Ｎｉの成分範囲を３０〜５２％とした。望ましい
範囲は、３４〜３８％である。
ず、本発明合金薄板の成分の限定理由について述べる。
Ｎｉはその含有量が３０％より少ないと熱膨張係数が極
めて高くなり、カラーブラウン管の鮮映性が劣化し、ま
た５２％を超えて含有しても熱膨張係数が高くなる。従
って、Ｎｉの成分範囲を３０〜５２％とした。望ましい
範囲は、３４〜３８％である。
【００１０】Ｃはその含有量が０．０２％を超えると鉄
炭化物の生成が著しく、これがエッチング穿孔性を阻害
して穿孔欠陥の原因となる。従って、Ｃの成分範囲を
０．０２％以下とした。望ましい範囲は、０．０１％以
下である。Ｓｉはその含有量が０．３０％を超えるとＳ
ｉＯ2 の生成が著しく、これが熱間圧延やその後の冷間
圧延の加工により高延性のため直鎖状に残留してエッチ
ング時に筋状の穿孔ムラの原因となる。従って、Ｓｉの
成分範囲を０．３０％以下とした。望ましい範囲は、
０．１０％以下である。
炭化物の生成が著しく、これがエッチング穿孔性を阻害
して穿孔欠陥の原因となる。従って、Ｃの成分範囲を
０．０２％以下とした。望ましい範囲は、０．０１％以
下である。Ｓｉはその含有量が０．３０％を超えるとＳ
ｉＯ2 の生成が著しく、これが熱間圧延やその後の冷間
圧延の加工により高延性のため直鎖状に残留してエッチ
ング時に筋状の穿孔ムラの原因となる。従って、Ｓｉの
成分範囲を０．３０％以下とした。望ましい範囲は、
０．１０％以下である。
【００１１】Ａｌは脱酸剤として有効であるが、その含
有量が０．０２％を超えるとＡｌ2Ｏ3 の生成が著し
く、これが熱間圧延やその後の冷間圧延後の加工により
低延性のため分断されて線状に残留してエッチング時に
筋状の穿孔ムラの原因となる。従って、Ａｌの成分範囲
を０．０２％以下とした。望ましい範囲は、０．０１％
以下である。
有量が０．０２％を超えるとＡｌ2Ｏ3 の生成が著し
く、これが熱間圧延やその後の冷間圧延後の加工により
低延性のため分断されて線状に残留してエッチング時に
筋状の穿孔ムラの原因となる。従って、Ａｌの成分範囲
を０．０２％以下とした。望ましい範囲は、０．０１％
以下である。
【００１２】Ｏはその含有量が０．０２％を超えると酸
化物系介在物の生成が著しく、これがエッチング穿孔性
を阻害して穿孔欠陥や穿孔ムラの原因となる。従って、
Ｏの成分範囲を０．０２％以下とした。望ましい範囲
は、０．０１％以下である。本発明者らは、シャドウマ
スクの製造工程においてスジムラやレジスト不良の発生
を防止し、製造歩留が良好であるシャドウマスク用Ｆｅ
−Ｎｉ合金薄板を得るためには、エッチング素材の状態
で表面粗さがＲａで０．５０〜１．００μｍかつ最大粗
さがＲｙで３．５〜９．５μｍ以下であり、表面酸化被
膜中の酸素濃度面積が２．５×１０3 ％Å以下であるこ
とが有効であることを見出した。
化物系介在物の生成が著しく、これがエッチング穿孔性
を阻害して穿孔欠陥や穿孔ムラの原因となる。従って、
Ｏの成分範囲を０．０２％以下とした。望ましい範囲
は、０．０１％以下である。本発明者らは、シャドウマ
スクの製造工程においてスジムラやレジスト不良の発生
を防止し、製造歩留が良好であるシャドウマスク用Ｆｅ
−Ｎｉ合金薄板を得るためには、エッチング素材の状態
で表面粗さがＲａで０．５０〜１．００μｍかつ最大粗
さがＲｙで３．５〜９．５μｍ以下であり、表面酸化被
膜中の酸素濃度面積が２．５×１０3 ％Å以下であるこ
とが有効であることを見出した。
【００１３】板厚が０．２０ｍｍであるＦｅ−３６％Ｎ
ｉ合金薄板を用いて、エッチング素材の状態での表面酸
化被膜中の酸素濃度面積によるシャドウマスクの製造工
程でのスジムラ起因の歩留落ちへの影響を調査した結果
を図１に示す。ここで、表面酸化被膜中の酸素濃度面積
は、オージェ電子分光分析装置を用いて表面から深さ方
向の酸素濃度分布を測定し、酸素濃度曲線と縦軸、横軸
に囲まれた面積をプラニメーターにて算出した。
ｉ合金薄板を用いて、エッチング素材の状態での表面酸
化被膜中の酸素濃度面積によるシャドウマスクの製造工
程でのスジムラ起因の歩留落ちへの影響を調査した結果
を図１に示す。ここで、表面酸化被膜中の酸素濃度面積
は、オージェ電子分光分析装置を用いて表面から深さ方
向の酸素濃度分布を測定し、酸素濃度曲線と縦軸、横軸
に囲まれた面積をプラニメーターにて算出した。
【００１４】図１から明らかなように、エッチング素材
の状態での表面酸化被膜中の酸素濃度面積が２．５×１
０3 ％Åを超えると、スジムラが発生しやすくなるため
歩留落ちが高いことがわかる。従って、シャドウマスク
の製造工程でのスジムラ起因の歩留落ちを３％以下とす
るためには、エッチング素材の状態での表面酸化被膜中
の酸素濃度面積の範囲を２．５×１０3 ％Å以下とする
必要がある。
の状態での表面酸化被膜中の酸素濃度面積が２．５×１
０3 ％Åを超えると、スジムラが発生しやすくなるため
歩留落ちが高いことがわかる。従って、シャドウマスク
の製造工程でのスジムラ起因の歩留落ちを３％以下とす
るためには、エッチング素材の状態での表面酸化被膜中
の酸素濃度面積の範囲を２．５×１０3 ％Å以下とする
必要がある。
【００１５】板厚が０．２０ｍｍであるＦｅ−３６％Ｎ
ｉ合金薄板を用いて、エッチング素材の状態での表面の
平均粗さＲａと最大粗さＲｙによるシャドウマスクの製
造工程でのレジスト不良起因の歩留落ちへの影響を調査
した結果を図２に示す。ここで、平均粗さＲａおよび最
大粗さＲｙは、ＪＩＳ Ｂ ０６０１に基づいて測定し
た。
ｉ合金薄板を用いて、エッチング素材の状態での表面の
平均粗さＲａと最大粗さＲｙによるシャドウマスクの製
造工程でのレジスト不良起因の歩留落ちへの影響を調査
した結果を図２に示す。ここで、平均粗さＲａおよび最
大粗さＲｙは、ＪＩＳ Ｂ ０６０１に基づいて測定し
た。
【００１６】図２から明らかなように、エッチング素材
の状態での表面の平均粗さＲａが０．５０μｍ未満でか
つ最大粗さがＲｙで３．５μｍ未満では、レジスト膜の
密着力が弱く、後工程のエッチング時に孔形状が不揃い
となるので歩留落ちが高くなることがわかる。また、Ｒ
ａが１．００μｍを超えかつＲｙが９．５μｍを超える
と、逆にレジスト膜の密着力が大きくなりすぎるためレ
ジスト膜剥離に時間がかかり生産性が低下する。従っ
て、シャドウマスクの製造工程でのレジスト不良起因の
歩留落ちを３％以下とするためには、エッチング素材の
状態での表面の平均粗さＲａの範囲を０．５０〜１．０
０μｍかつ最大粗さＲｙの範囲を３．５〜９．５μｍと
する必要がある。
の状態での表面の平均粗さＲａが０．５０μｍ未満でか
つ最大粗さがＲｙで３．５μｍ未満では、レジスト膜の
密着力が弱く、後工程のエッチング時に孔形状が不揃い
となるので歩留落ちが高くなることがわかる。また、Ｒ
ａが１．００μｍを超えかつＲｙが９．５μｍを超える
と、逆にレジスト膜の密着力が大きくなりすぎるためレ
ジスト膜剥離に時間がかかり生産性が低下する。従っ
て、シャドウマスクの製造工程でのレジスト不良起因の
歩留落ちを３％以下とするためには、エッチング素材の
状態での表面の平均粗さＲａの範囲を０．５０〜１．０
０μｍかつ最大粗さＲｙの範囲を３．５〜９．５μｍと
する必要がある。
【００１７】本発明者らは、シャドウマスクの製造工程
においてスジムラやレジスト不良の発生が少なく、製造
歩留が良好であるシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金薄板
を得るための製造方法としては、１回または２回以上の
冷間圧延を行い、続いてＮ2を５〜９０ｖｏｌ．％含有
する無酸化あるいは還元性雰囲気中において７００〜９
００℃で焼鈍した後、表面粗さがＲａで０．７５〜１．
５０μｍかつＲｙで５．５〜１７．０μｍであるワーク
ロールを用いて調質圧延を行い、続いてアルカリ電解洗
浄を１パス以上行うことを見出した。
においてスジムラやレジスト不良の発生が少なく、製造
歩留が良好であるシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金薄板
を得るための製造方法としては、１回または２回以上の
冷間圧延を行い、続いてＮ2を５〜９０ｖｏｌ．％含有
する無酸化あるいは還元性雰囲気中において７００〜９
００℃で焼鈍した後、表面粗さがＲａで０．７５〜１．
５０μｍかつＲｙで５．５〜１７．０μｍであるワーク
ロールを用いて調質圧延を行い、続いてアルカリ電解洗
浄を１パス以上行うことを見出した。
【００１８】板厚が０．２０ｍｍであるＦｅ−３６％Ｎ
ｉ合金帯板を用いて、Ｎ2 ：２５ｖｏｌ．％、Ｈ2 ：７
５ｖｏｌ．％である焼鈍雰囲気における焼鈍温度と調質
圧延後の洗浄条件による表面酸化被膜中の酸素濃度面積
への影響を調査した結果を図３に示す。図３から明らか
なように、焼鈍温度が９００℃以下では調質圧延後に洗
浄しない場合やアルカリ洗浄を行った場合に酸素濃度面
積が２．５×１０3 Å％を超えるが、電解によるアルカ
リ洗浄を１パス以上行った場合には酸素濃度面積が２．
５×１０3 Å以下になることがわかる。
ｉ合金帯板を用いて、Ｎ2 ：２５ｖｏｌ．％、Ｈ2 ：７
５ｖｏｌ．％である焼鈍雰囲気における焼鈍温度と調質
圧延後の洗浄条件による表面酸化被膜中の酸素濃度面積
への影響を調査した結果を図３に示す。図３から明らか
なように、焼鈍温度が９００℃以下では調質圧延後に洗
浄しない場合やアルカリ洗浄を行った場合に酸素濃度面
積が２．５×１０3 Å％を超えるが、電解によるアルカ
リ洗浄を１パス以上行った場合には酸素濃度面積が２．
５×１０3 Å以下になることがわかる。
【００１９】焼鈍温度が７００℃未満では未再結晶のま
まであり、材質が硬化したままであるので、後工程の調
質圧延において所定の表面粗さが得られない。従って、
焼鈍温度の範囲を７００〜９００℃とし、焼鈍後のアル
カリ電解洗浄を１パス以上行うこととした。最終焼鈍の
雰囲気中のＮ2 濃度については、９０ｖｏｌ．％を超え
るとＦｅ−Ｎｉ合金特有の粒界への選択酸化が発生し、
表面状態が劣化する。一方、５ｖｏｌ．％未満では表層
に水素が残留し、エッチング時にエッチング面性状が過
度に浸食されることがある。従って、雰囲気中のＮ2 濃
度の範囲を５〜９０ｖｏｌ．％とした。
まであり、材質が硬化したままであるので、後工程の調
質圧延において所定の表面粗さが得られない。従って、
焼鈍温度の範囲を７００〜９００℃とし、焼鈍後のアル
カリ電解洗浄を１パス以上行うこととした。最終焼鈍の
雰囲気中のＮ2 濃度については、９０ｖｏｌ．％を超え
るとＦｅ−Ｎｉ合金特有の粒界への選択酸化が発生し、
表面状態が劣化する。一方、５ｖｏｌ．％未満では表層
に水素が残留し、エッチング時にエッチング面性状が過
度に浸食されることがある。従って、雰囲気中のＮ2 濃
度の範囲を５〜９０ｖｏｌ．％とした。
【００２０】調質圧延ロールの表面については、平均粗
さＲａが０．７５μｍ未満かつ最大粗さＲｙが５．５μ
ｍ未満ではシャドマスク素材の表面として要求されるダ
ル目がロール表面に十分に加工できない。また、平均粗
さＲａが１．５０μｍを超えかつ最大粗さＲｙが１７．
０μｍを超えるとダル目加工の時間が極めて長時間かか
り、そのために多数の予備ロールを準備する必要がある
ためにコスト増に繋がる。従って、調質圧延ロールの表
面をＲａの範囲で０．７５〜１．５０μｍかつＲｙの範
囲で５．５〜１７．０μｍとした。
さＲａが０．７５μｍ未満かつ最大粗さＲｙが５．５μ
ｍ未満ではシャドマスク素材の表面として要求されるダ
ル目がロール表面に十分に加工できない。また、平均粗
さＲａが１．５０μｍを超えかつ最大粗さＲｙが１７．
０μｍを超えるとダル目加工の時間が極めて長時間かか
り、そのために多数の予備ロールを準備する必要がある
ためにコスト増に繋がる。従って、調質圧延ロールの表
面をＲａの範囲で０．７５〜１．５０μｍかつＲｙの範
囲で５．５〜１７．０μｍとした。
【００２１】
【実施例】表１、表２（表１のつづき−１）、表３（表
１のつづき−２）、表４（表１のつづき−３）、表５
（表１のつづき−４）、表６（表１のつづき−５）に本
発明例および比較例、従来例を示す。対象材はＦｅ−３
６％Ｎｉ合金で、仕上板厚として０．２０ｍｍの材料を
用いて行った。表１〜表６には、成分、冷延回数および
板厚、最終焼鈍条件、調質圧延条件とエッチング素材の
状態の特性を示している。また、シャドウマスクの製造
工程においてスジムラ起因の歩留落ちとレジスト不良起
因の歩留落ちも示している。
１のつづき−２）、表４（表１のつづき−３）、表５
（表１のつづき−４）、表６（表１のつづき−５）に本
発明例および比較例、従来例を示す。対象材はＦｅ−３
６％Ｎｉ合金で、仕上板厚として０．２０ｍｍの材料を
用いて行った。表１〜表６には、成分、冷延回数および
板厚、最終焼鈍条件、調質圧延条件とエッチング素材の
状態の特性を示している。また、シャドウマスクの製造
工程においてスジムラ起因の歩留落ちとレジスト不良起
因の歩留落ちも示している。
【００２２】本発明例は、比較例、従来例に比較して、
シャドウマスクの製造工程においてエッチング穿孔性が
良好でスジムラの発生やレジスト不良を防止するため、
エッチング時での歩留落ちが大幅に低減していることが
わかる。
シャドウマスクの製造工程においてエッチング穿孔性が
良好でスジムラの発生やレジスト不良を防止するため、
エッチング時での歩留落ちが大幅に低減していることが
わかる。
【００２３】
【表１】
【００２４】
【表２】
【００２５】
【表３】
【００２６】
【表４】
【００２７】
【表５】
【００２８】
【表６】
【００２９】
【発明の効果】以上のことから明らかな如く、本発明の
Ｆｅ−Ｎｉ合金薄板を用いれば、シャドウマスクの製造
工程においてエッチング穿孔性が良好でスジムラおよび
レジスト不良の発生が抑制でき、製造歩留が大幅に改善
される。
Ｆｅ−Ｎｉ合金薄板を用いれば、シャドウマスクの製造
工程においてエッチング穿孔性が良好でスジムラおよび
レジスト不良の発生が抑制でき、製造歩留が大幅に改善
される。
【図１】仕上板厚が０．２０ｍｍであるＦｅ−３６％Ｎ
ｉ合金薄板を用いて、エッチング素材の状態での表面酸
化被膜中の酸素濃度面積によるシャドウマスクの製造工
程でのスジムラ起因の歩留落ちへの影響を調査した結果
を示す図である。
ｉ合金薄板を用いて、エッチング素材の状態での表面酸
化被膜中の酸素濃度面積によるシャドウマスクの製造工
程でのスジムラ起因の歩留落ちへの影響を調査した結果
を示す図である。
【図２】仕上板厚が０．２０ｍｍであるＦｅ−３６％Ｎ
ｉ合金薄板を用いて、エッチング素材の材料での表面の
平均粗さＲａと最大粗さＲｙによるシャドウマスクの製
造工程でのレジスト不良起因の歩留落ちへの影響を調査
した結果を示す図である。
ｉ合金薄板を用いて、エッチング素材の材料での表面の
平均粗さＲａと最大粗さＲｙによるシャドウマスクの製
造工程でのレジスト不良起因の歩留落ちへの影響を調査
した結果を示す図である。
【図３】仕上板厚が０．２０ｍｍであるＦｅ−３６％Ｎ
ｉ合金薄板を用いて、Ｎ2 ：２５ｖｏｌ．％、Ｈ2 ：７
５ｖｏｌ．％である焼鈍雰囲気における焼鈍条件と調質
圧延後のアルカリ電解洗浄条件による表面酸化被膜中の
酸素濃度面積への影響を調査した結果を示す図である。
ｉ合金薄板を用いて、Ｎ2 ：２５ｖｏｌ．％、Ｈ2 ：７
５ｖｏｌ．％である焼鈍雰囲気における焼鈍条件と調質
圧延後のアルカリ電解洗浄条件による表面酸化被膜中の
酸素濃度面積への影響を調査した結果を示す図である。
Claims (2)
- 【請求項１】 重量％にて、Ｎｉ：３０〜５２％、Ｃ：
≦０．０２％、Ｓｉ：≦０．３０％、Ａｌ：≦０．０２
％、Ｏ：≦０．０２％を含有し、板厚が０．３ｍｍ以下
のＦｅ−Ｎｉ合金薄板であって、表面粗さがＲａで０．
５０〜１．００μｍかつ最大粗さがＲｙで３．５〜９．
５μｍであり、表面酸化被膜中の酸素濃度面積が２．５
×１０3 ％Å以下であることを特徴とするレジスト性の
優れたＦｅ−Ｎｉ合金薄板。 - 【請求項２】 重量％にて、Ｎｉ：３０〜５２％、Ｃ：
≦０．０２％、Ｓｉ：≦０．３０％、Ａｌ：≦０．０２
％、Ｏ：≦０．０２％を含有するＦｅ−Ｎｉ合金帯板
を、冷間圧延により０．３ｍｍ以下の板厚にし、続いて
Ｎ2 を５〜９０ｖｏｌ．％含有する無酸化あるいは還元
性雰囲気中において７００〜９００℃で焼鈍し、続いて
表面粗さがＲａで０．７５〜１．５０μｍかつ最大粗さ
がＲｙで５．５〜１７．０μｍのワークロールを用いて
調質圧延し、アルカリ電解洗浄を１パス以上行うことを
特徴とするレジスト性の優れたＦｅ−Ｎｉ合金薄板の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12197395A JPH08319540A (ja) | 1995-05-19 | 1995-05-19 | レジスト性の優れたＦｅ−Ｎｉ合金薄板およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12197395A JPH08319540A (ja) | 1995-05-19 | 1995-05-19 | レジスト性の優れたＦｅ−Ｎｉ合金薄板およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08319540A true JPH08319540A (ja) | 1996-12-03 |
Family
ID=14824451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12197395A Withdrawn JPH08319540A (ja) | 1995-05-19 | 1995-05-19 | レジスト性の優れたＦｅ−Ｎｉ合金薄板およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08319540A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003239047A (ja) * | 2002-02-15 | 2003-08-27 | Nippon Mining & Metals Co Ltd | ブリッジ付きテンションマスク用軟鋼素材及びシャドウマスク |
| EP2441532A4 (en) * | 2009-06-09 | 2017-02-01 | Toyo Kohan Co., Ltd. | Nickel-plated steel sheet and process for producing battery can using the nickel-plated steel sheet |
| CN114586121A (zh) * | 2019-10-24 | 2022-06-03 | 日进材料股份有限公司 | 薄膜电容器制造用镍箔及其制造方法 |
-
1995
- 1995-05-19 JP JP12197395A patent/JPH08319540A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003239047A (ja) * | 2002-02-15 | 2003-08-27 | Nippon Mining & Metals Co Ltd | ブリッジ付きテンションマスク用軟鋼素材及びシャドウマスク |
| EP2441532A4 (en) * | 2009-06-09 | 2017-02-01 | Toyo Kohan Co., Ltd. | Nickel-plated steel sheet and process for producing battery can using the nickel-plated steel sheet |
| CN114586121A (zh) * | 2019-10-24 | 2022-06-03 | 日进材料股份有限公司 | 薄膜电容器制造用镍箔及其制造方法 |
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