JPH04228546A - シャドウマスク用素材およびその製造方法 - Google Patents
シャドウマスク用素材およびその製造方法Info
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- JPH04228546A JPH04228546A JP10081891A JP10081891A JPH04228546A JP H04228546 A JPH04228546 A JP H04228546A JP 10081891 A JP10081891 A JP 10081891A JP 10081891 A JP10081891 A JP 10081891A JP H04228546 A JPH04228546 A JP H04228546A
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Landscapes
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- Heat Treatment Of Steel (AREA)
- Heat Treatment Of Sheet Steel (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラーブラウン管内で
使用されるシャドウマスク用素材、特にハイビジョン用
カラーブラウン管として要求される低熱膨張係数を有し
、シャドウマスク製造工程におけるエッチング特性およ
びプレス成形性に優れたシャドウマスク用素材およびそ
の製造方法に関するものである。
使用されるシャドウマスク用素材、特にハイビジョン用
カラーブラウン管として要求される低熱膨張係数を有し
、シャドウマスク製造工程におけるエッチング特性およ
びプレス成形性に優れたシャドウマスク用素材およびそ
の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】カラーブラウン管シャドウマスク用素材
としては一般に低炭素鋼が使用されている。カラーブラ
ウン管を形成するガラスバルブのフェースプレート部（
パネル）に赤、緑、青の３原色を発する蛍光膜が塗布さ
れており、反対側のネック部には蛍光膜を刺激発光させ
るための電子ビームを発射する電子銃を備えている。 シャドウマスクは、蛍光面と電子銃の間の蛍光面に近い
位置に設けられており、電子銃から発する３原色に対応
する３本の電子ビームを、スロットと呼ばれる孔に通過
させて各々対応する蛍光体のみに当てるような色選別の
機能を果たしているものである。従って、シャドウマス
ク上のスロットと蛍光体との位置関係が正確に合ってい
る必要がある。しかし、カラーブラウン管を連続使用す
る場合、電子ビームのエネルギーのうち約８０％がシャ
ドウマスク上で熱エネルギーとして消費されるため、シ
ャドウマスクの温度は局部的に１００℃近くまで上昇し
、熱膨張により電子ビームと蛍光体の一致が得られなく
なり、画像が不鮮明になる。
としては一般に低炭素鋼が使用されている。カラーブラ
ウン管を形成するガラスバルブのフェースプレート部（
パネル）に赤、緑、青の３原色を発する蛍光膜が塗布さ
れており、反対側のネック部には蛍光膜を刺激発光させ
るための電子ビームを発射する電子銃を備えている。 シャドウマスクは、蛍光面と電子銃の間の蛍光面に近い
位置に設けられており、電子銃から発する３原色に対応
する３本の電子ビームを、スロットと呼ばれる孔に通過
させて各々対応する蛍光体のみに当てるような色選別の
機能を果たしているものである。従って、シャドウマス
ク上のスロットと蛍光体との位置関係が正確に合ってい
る必要がある。しかし、カラーブラウン管を連続使用す
る場合、電子ビームのエネルギーのうち約８０％がシャ
ドウマスク上で熱エネルギーとして消費されるため、シ
ャドウマスクの温度は局部的に１００℃近くまで上昇し
、熱膨張により電子ビームと蛍光体の一致が得られなく
なり、画像が不鮮明になる。
【０００３】そこで、近年シャドウマスク用素材として
、熱膨張係数が低炭素鋼の熱膨張係数に比べて約１／５
と小さいインバー合金（Ｆｅ−３６Ｎｉ）板が使用され
つつある。しかしながら、最近はカラーテレビの大型化
に伴い輝度アップのために電子ビームエネルギーが増加
し、シャドウマスクの温度は１００℃を超えつつある。 また、ハイビジョン用カラーテレビではスロットと蛍光
体との位置関係が一層厳しくなる。従って、高鮮映性を
確保するには、インバー合金の熱膨張特性でも十分でな
い。更に、インバー合金はヤング率が約１４０００ｋｇ
／ｍｍ２ と炭素鋼に比べ極めて低く、プレス成形後の
剛性に劣る欠点がある。
、熱膨張係数が低炭素鋼の熱膨張係数に比べて約１／５
と小さいインバー合金（Ｆｅ−３６Ｎｉ）板が使用され
つつある。しかしながら、最近はカラーテレビの大型化
に伴い輝度アップのために電子ビームエネルギーが増加
し、シャドウマスクの温度は１００℃を超えつつある。 また、ハイビジョン用カラーテレビではスロットと蛍光
体との位置関係が一層厳しくなる。従って、高鮮映性を
確保するには、インバー合金の熱膨張特性でも十分でな
い。更に、インバー合金はヤング率が約１４０００ｋｇ
／ｍｍ２ と炭素鋼に比べ極めて低く、プレス成形後の
剛性に劣る欠点がある。
【０００４】インバー合金より更に優れた低熱膨張合金
としては、１９３１年に発明されたスーパーインバー合
金（Ｆｅ−３２Ｎｉ−４Ｃｏ）がよく知られている。こ
の合金のプレス成形性およびエッチング穿孔性を改善し
たシャドウマスク用素材が特開昭６２−１１２７５９号
公報に開示されている。これは、Ｃｒ添加によりヤング
率を上昇させてプレス成形性の改善を行い、低炭素化に
より鉄系炭化物の生成を抑制してエッチング穿孔性の改
善を図っている。
としては、１９３１年に発明されたスーパーインバー合
金（Ｆｅ−３２Ｎｉ−４Ｃｏ）がよく知られている。こ
の合金のプレス成形性およびエッチング穿孔性を改善し
たシャドウマスク用素材が特開昭６２−１１２７５９号
公報に開示されている。これは、Ｃｒ添加によりヤング
率を上昇させてプレス成形性の改善を行い、低炭素化に
より鉄系炭化物の生成を抑制してエッチング穿孔性の改
善を図っている。
【０００５】シャドウマスクの製造工程において、エッ
チング穿孔の前工程としてレジスト膜を形成するが、エ
ッチング穿孔時にレジスト膜の剥離が発生することがあ
る。このため、エッチング孔形状が不良になることがあ
る。しかしながら、炭化物の生成抑制だけではレジスト
密着性を含むエッチング特性の改善は十分でない。更に
、Ｆｅ−Ｎｉ系合金は熱間圧延時に高温大気加熱を行う
と、表層スケール直下に粒界酸化や内部酸化等のサブス
ケールが発生するため、熱間圧延板でサブスケールによ
る表面疵が多発する。更に、該合金は一般に熱間加工性
が劣るため、割れが発生し、顕著な場合には板破断に至
る。従って、該合金の熱間圧延板の歩留りおよび作業性
には問題がある。
チング穿孔の前工程としてレジスト膜を形成するが、エ
ッチング穿孔時にレジスト膜の剥離が発生することがあ
る。このため、エッチング孔形状が不良になることがあ
る。しかしながら、炭化物の生成抑制だけではレジスト
密着性を含むエッチング特性の改善は十分でない。更に
、Ｆｅ−Ｎｉ系合金は熱間圧延時に高温大気加熱を行う
と、表層スケール直下に粒界酸化や内部酸化等のサブス
ケールが発生するため、熱間圧延板でサブスケールによ
る表面疵が多発する。更に、該合金は一般に熱間加工性
が劣るため、割れが発生し、顕著な場合には板破断に至
る。従って、該合金の熱間圧延板の歩留りおよび作業性
には問題がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、カラーブラ
ウン管に使用されるシャドウマスク用素材、特にハイビ
ジョン用カラーブラウン管として要求される低熱膨張特
性を有し、シャドウマスクの製造工程においてエッチン
グ穿孔時に発生するレジスト膜剥離を抑制し、かつプレ
ス成形後の剛性を確保するエッチング特性およびプレス
成形性に優れたシャドウマスク用素材および該素材を安
定製造する方法を提供することを目的としている。
ウン管に使用されるシャドウマスク用素材、特にハイビ
ジョン用カラーブラウン管として要求される低熱膨張特
性を有し、シャドウマスクの製造工程においてエッチン
グ穿孔時に発生するレジスト膜剥離を抑制し、かつプレ
ス成形後の剛性を確保するエッチング特性およびプレス
成形性に優れたシャドウマスク用素材および該素材を安
定製造する方法を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、この目的のた
めに成分および製造方法を種々検討した結果構成された
もので、その要旨とするところは下記の通りである。 （１）重量％にて、Ｎｉ：２５〜３５％、Ｃｏ：２．０
〜１２．０％、Ｃｒ：４．０％以下、Ｍｎ：１．０〜４
．０％、Ｓｉ：１．０％以下、Ｓ：０．００２％以下、
Ｃ：０．０５％以下、残部Ｆｅおよび不可避的不純物か
らなるＦｅ−Ｎｉ系合金において、Ｎ量が０．０１％以
下、かつＯ量が０．００３％以下であることを特徴とす
るシャドウマスク用素材。
めに成分および製造方法を種々検討した結果構成された
もので、その要旨とするところは下記の通りである。 （１）重量％にて、Ｎｉ：２５〜３５％、Ｃｏ：２．０
〜１２．０％、Ｃｒ：４．０％以下、Ｍｎ：１．０〜４
．０％、Ｓｉ：１．０％以下、Ｓ：０．００２％以下、
Ｃ：０．０５％以下、残部Ｆｅおよび不可避的不純物か
らなるＦｅ−Ｎｉ系合金において、Ｎ量が０．０１％以
下、かつＯ量が０．００３％以下であることを特徴とす
るシャドウマスク用素材。
【０００８】（２）前項１記載の成分に、更にＴｉ，Ｎ
ｂ，Ｖ，Ｚｒ，Ｔａ，Ｈｆのうち１種または２種以上：
合計０．０１〜１．０％を含有することを特徴とするシ
ャドウマスク用素材。 （３）前項１または２記載の成分組成の溶湯を連続鋳造
法により鋳片に鋳造し、該鋳片を無酸化雰囲気中にて加
熱して熱間圧延を行い、続いて冷間圧延を行い、最終焼
鈍を行うことを特徴とするシャドウマスク用素材の製造
方法。
ｂ，Ｖ，Ｚｒ，Ｔａ，Ｈｆのうち１種または２種以上：
合計０．０１〜１．０％を含有することを特徴とするシ
ャドウマスク用素材。 （３）前項１または２記載の成分組成の溶湯を連続鋳造
法により鋳片に鋳造し、該鋳片を無酸化雰囲気中にて加
熱して熱間圧延を行い、続いて冷間圧延を行い、最終焼
鈍を行うことを特徴とするシャドウマスク用素材の製造
方法。
【０００９】（４）前項１または２記載の成分組成の溶
湯を連続鋳造法により鋳片に鋳造し、該鋳片を酸素濃度
が０．１０ｖｏｌ．％以下の無酸化雰囲気中にて１１０
０〜１２５０℃の温度域に加熱して熱間圧延を行い、続
いて圧下率６０％以上の冷間圧延を行い、７５０〜１２
００℃の温度域で最終焼鈍を行うことを特徴とするシャ
ドウマスク用素材の製造方法。
湯を連続鋳造法により鋳片に鋳造し、該鋳片を酸素濃度
が０．１０ｖｏｌ．％以下の無酸化雰囲気中にて１１０
０〜１２５０℃の温度域に加熱して熱間圧延を行い、続
いて圧下率６０％以上の冷間圧延を行い、７５０〜１２
００℃の温度域で最終焼鈍を行うことを特徴とするシャ
ドウマスク用素材の製造方法。
【００１０】
【作用】本発明合金の化学成分の限定理由を以下に詳細
に説明する。Ｎｉは、その含有量が２５％より少ないと
熱膨張係数が極めて高くなり、カラーブウラン管の鮮映
性が劣化する。一方、３５％を超えて含有しても熱膨張
係数は高くなる。従って、Ｎｉの成分範囲を２５〜３５
％とした。また、本発明者らの実験結果によれば、３０
〜３５％の範囲で、より低い熱膨張係数を示すことが判
ったので、望ましくは３０〜３５％がよい。
に説明する。Ｎｉは、その含有量が２５％より少ないと
熱膨張係数が極めて高くなり、カラーブウラン管の鮮映
性が劣化する。一方、３５％を超えて含有しても熱膨張
係数は高くなる。従って、Ｎｉの成分範囲を２５〜３５
％とした。また、本発明者らの実験結果によれば、３０
〜３５％の範囲で、より低い熱膨張係数を示すことが判
ったので、望ましくは３０〜３５％がよい。
【００１１】ＣｏはＦｅ−Ｎｉ系合金の熱膨張係数を一
層小さくする元素であるが、その含有量が２．０％以上
でないとその効果が小さい。一方、１２．０％を超えて
含有すると熱膨張係数は再び高くなる。従って、Ｃｏの
成分範囲を２．０〜１２．０％とした。また、本発明者
らの実験結果によれば、２．０〜７．０％の範囲で、よ
り低い熱膨張係数を示すことが判ったので、望ましくは
２．０〜７．０％がよい。
層小さくする元素であるが、その含有量が２．０％以上
でないとその効果が小さい。一方、１２．０％を超えて
含有すると熱膨張係数は再び高くなる。従って、Ｃｏの
成分範囲を２．０〜１２．０％とした。また、本発明者
らの実験結果によれば、２．０〜７．０％の範囲で、よ
り低い熱膨張係数を示すことが判ったので、望ましくは
２．０〜７．０％がよい。
【００１２】ＣｒはＦｅ−Ｎｉ系合金のヤング率を大き
くする元素であるが、４．０％を超えて含有すると熱膨
張係数が高くなる。従って、Ｃｒの成分範囲を４．０％
以下とした。ＭｎはＦｅ−Ｎｉ系合金のヤング率を大き
くする元素であるが、その含有量が１．０％以上でない
と効果が小さい。一方、４．０％を超えて含有すると熱
膨張係数が高くなる。従って、Ｍｎの成分範囲を１．０
〜４．０％とした。
くする元素であるが、４．０％を超えて含有すると熱膨
張係数が高くなる。従って、Ｃｒの成分範囲を４．０％
以下とした。ＭｎはＦｅ−Ｎｉ系合金のヤング率を大き
くする元素であるが、その含有量が１．０％以上でない
と効果が小さい。一方、４．０％を超えて含有すると熱
膨張係数が高くなる。従って、Ｍｎの成分範囲を１．０
〜４．０％とした。
【００１３】Ｓｉは脱酸の目的で添加するが、１．０％
を超えて含有すると、シリケート系の粗大介在物の形成
は著しく、これがエッチング穿孔性を阻害し、穿孔不良
の原因となる。従って、Ｓｉは１．０％以下とする。更
に、望ましくは０．１％以下がよい。Ｓは熱間脆性の原
因となる元素であり、低減させる必要がある。その含有
量を０．００２％以下にすると、鋳片の結晶粒界への偏
析が抑制されるため、熱間加工性が極めて向上する。従
って、Ｓは０．００２％以下とした。更に、望ましくは
０．００１％以下がよい。
を超えて含有すると、シリケート系の粗大介在物の形成
は著しく、これがエッチング穿孔性を阻害し、穿孔不良
の原因となる。従って、Ｓｉは１．０％以下とする。更
に、望ましくは０．１％以下がよい。Ｓは熱間脆性の原
因となる元素であり、低減させる必要がある。その含有
量を０．００２％以下にすると、鋳片の結晶粒界への偏
析が抑制されるため、熱間加工性が極めて向上する。従
って、Ｓは０．００２％以下とした。更に、望ましくは
０．００１％以下がよい。
【００１４】Ｃは、その含有量が０．０５％を超えると
熱膨張係数が高くなる。また、炭化物が極めて多量に生
成させるためエッチング性が劣化する。従って、Ｃは０
．０５％以下とする。Ｎは、その含有量が多いと熱膨張
係数が高くなる。また、窒化物が極めて多量に生成され
るため、エッチング穿孔性が劣化する。更に、後述する
ようにレジスト剥離の原因と考えられるため、その成分
範囲を０．０１％以下とした。
熱膨張係数が高くなる。また、炭化物が極めて多量に生
成させるためエッチング性が劣化する。従って、Ｃは０
．０５％以下とする。Ｎは、その含有量が多いと熱膨張
係数が高くなる。また、窒化物が極めて多量に生成され
るため、エッチング穿孔性が劣化する。更に、後述する
ようにレジスト剥離の原因と考えられるため、その成分
範囲を０．０１％以下とした。
【００１５】Ｏは、その含有量が多いと酸化物が極めて
多量に生成されるため、エッチング穿孔性が劣化する。 また、後述するようにレジスト膜剥離の抑制から、その
含有量をできるだけ低減する必要がある。従って、その
成分範囲を０．００３％以下とした。本発明者等は、レ
ジスト膜の剥離と合金成分との関係を検討した結果、Ｎ
およびＯがレジスト膜剥離の原因となる元素であること
を見出した。すなわち、Ｏは酸化物の形で合金中に存在
するが、このうちでＭｎ系酸化物がＮの一部を固溶状態
のまま捕捉すると考えられる。このような固溶Ｎがレジ
スト膜形成工程において合金板表面へ拡散し、表面とレ
ジスト膜との界面で気泡を形成してレジスト膜の剥離を
誘発するものと推定される。
多量に生成されるため、エッチング穿孔性が劣化する。 また、後述するようにレジスト膜剥離の抑制から、その
含有量をできるだけ低減する必要がある。従って、その
成分範囲を０．００３％以下とした。本発明者等は、レ
ジスト膜の剥離と合金成分との関係を検討した結果、Ｎ
およびＯがレジスト膜剥離の原因となる元素であること
を見出した。すなわち、Ｏは酸化物の形で合金中に存在
するが、このうちでＭｎ系酸化物がＮの一部を固溶状態
のまま捕捉すると考えられる。このような固溶Ｎがレジ
スト膜形成工程において合金板表面へ拡散し、表面とレ
ジスト膜との界面で気泡を形成してレジスト膜の剥離を
誘発するものと推定される。
【００１６】請求項２記載のシャドウマスク用素材は、
請求項１記載のシャドウマスク用素材成分に窒化物を形
成しやすいＴｉ，Ｎｂ，Ｖ，Ｚｒ，Ｔａ，Ｈｆを添加し
て固溶Ｎ量を低減させ、一層のレジスト膜の密着性を向
上させたものである。その効果は、該元素が１種または
２種以上合計で０．０１％以上で認められるが、１．０
％を超えて含有すると窒化物が多量に生成され、エッチ
ング穿孔性を劣化させる。従って、Ｔｉ，Ｎｂ，Ｖ，Ｚ
ｒ，Ｔａ，Ｈｆの成分範囲を合計で０．０１〜１．０％
とした。
請求項１記載のシャドウマスク用素材成分に窒化物を形
成しやすいＴｉ，Ｎｂ，Ｖ，Ｚｒ，Ｔａ，Ｈｆを添加し
て固溶Ｎ量を低減させ、一層のレジスト膜の密着性を向
上させたものである。その効果は、該元素が１種または
２種以上合計で０．０１％以上で認められるが、１．０
％を超えて含有すると窒化物が多量に生成され、エッチ
ング穿孔性を劣化させる。従って、Ｔｉ，Ｎｂ，Ｖ，Ｚ
ｒ，Ｔａ，Ｈｆの成分範囲を合計で０．０１〜１．０％
とした。
【００１７】次に、本発明合金の製造方法について説明
する。上記成分の合金溶湯を連続鋳造法により鋳片に鋳
造し、該鋳片を無酸化雰囲気中にて加熱して熱間圧延を
行い、続いて冷間圧延を行い、最終焼鈍をする。通常は
２００ｍｍ程度の板厚の鋳片に鋳造し、その後スラブ加
熱炉で適正な温度に加熱後熱延して所望の板厚の熱延板
を得、必要に応じて熱延板焼鈍を施す。このような工程
において本発明合金では粒界酸化や内部酸化等のサブス
ケールの発生が顕著であり、サブスケール起因の表面疵
が多発し、また粒界酸化を起点とするクラックが本来の
低熱間加工性のために割れに至り、工業的に安定製造で
きず大きな問題となっていた。本発明法は無酸化雰囲気
中にて鋳片を加熱してサブスケールの発生を抑制し、直
ちに熱間圧延を行うものである。加熱炉抽出から熱間圧
延開始まで高温大気中に鋳片が曝される時間が極めて短
く、また熱間圧延中の板温が急激に低下するため、サブ
スケールの発生がほとんどない熱延板を得ることができ
る。
する。上記成分の合金溶湯を連続鋳造法により鋳片に鋳
造し、該鋳片を無酸化雰囲気中にて加熱して熱間圧延を
行い、続いて冷間圧延を行い、最終焼鈍をする。通常は
２００ｍｍ程度の板厚の鋳片に鋳造し、その後スラブ加
熱炉で適正な温度に加熱後熱延して所望の板厚の熱延板
を得、必要に応じて熱延板焼鈍を施す。このような工程
において本発明合金では粒界酸化や内部酸化等のサブス
ケールの発生が顕著であり、サブスケール起因の表面疵
が多発し、また粒界酸化を起点とするクラックが本来の
低熱間加工性のために割れに至り、工業的に安定製造で
きず大きな問題となっていた。本発明法は無酸化雰囲気
中にて鋳片を加熱してサブスケールの発生を抑制し、直
ちに熱間圧延を行うものである。加熱炉抽出から熱間圧
延開始まで高温大気中に鋳片が曝される時間が極めて短
く、また熱間圧延中の板温が急激に低下するため、サブ
スケールの発生がほとんどない熱延板を得ることができ
る。
【００１８】鋳片の加熱雰囲気中の酸素濃度は、０．１
０ｖｏｌ．％を超えると鋳片の表面に粒界酸化や内部酸
化等のサブスケールが著しく発生し、熱間圧延後にサブ
スケールによる表面疵や粒界酸化を起点とする割れが多
発し、後工程の表面研削の負荷を増大させ、また熱延板
の歩留りを著しく低下させる。従って、加熱雰囲気中の
酸素濃度は０．１０ｖｏｌ．％以下とした。
０ｖｏｌ．％を超えると鋳片の表面に粒界酸化や内部酸
化等のサブスケールが著しく発生し、熱間圧延後にサブ
スケールによる表面疵や粒界酸化を起点とする割れが多
発し、後工程の表面研削の負荷を増大させ、また熱延板
の歩留りを著しく低下させる。従って、加熱雰囲気中の
酸素濃度は０．１０ｖｏｌ．％以下とした。
【００１９】鋳片の加熱温度は、１１００℃より低温で
は熱間圧延が完了するまでに圧延材の温度が著しく低下
するため、熱間加工性劣化による割れ発生や変形抵抗増
大による圧延不能の事態が生じる。また、１２５０℃を
超えて行うと、加熱雰囲気中の酸素濃度を低減しても粒
界酸化が発生し、熱間圧延時に割れが生じる。従って、
鋳片の加熱温度は１１００〜１２５０℃とした。
は熱間圧延が完了するまでに圧延材の温度が著しく低下
するため、熱間加工性劣化による割れ発生や変形抵抗増
大による圧延不能の事態が生じる。また、１２５０℃を
超えて行うと、加熱雰囲気中の酸素濃度を低減しても粒
界酸化が発生し、熱間圧延時に割れが生じる。従って、
鋳片の加熱温度は１１００〜１２５０℃とした。
【００２０】熱延板焼鈍は必要に応じて行ってもよいが
、サブスケールの抑制から焼鈍温度を１０００℃以下に
する必要がある。冷間圧延率は最終焼鈍前の圧延におい
て６０％以上とする。すなわち、中間焼鈍を行わない場
合は製品板厚までの圧下率を６０％以上とし、中間焼鈍
を行う場合は中間焼鈍後の製品板厚までの圧下率を６０
％以上とする。中間焼鈍を２回以上行う場合は最後の中
間焼鈍を行った後の冷延の圧下率を６０％以上とする。 この冷延圧下率は、最終焼鈍後の集合組織形成に影響を
与える。その圧下率が高いほどエッチング速度を増加さ
せる（１００）方位が圧延面上に発達し、エッチング穿
孔性を改善するが、６０％未満の圧下率ではその効果が
小さい。従って、最終焼鈍前の冷延圧下率を６０％以上
とした。更に、好ましくは８５％以上がよい。
、サブスケールの抑制から焼鈍温度を１０００℃以下に
する必要がある。冷間圧延率は最終焼鈍前の圧延におい
て６０％以上とする。すなわち、中間焼鈍を行わない場
合は製品板厚までの圧下率を６０％以上とし、中間焼鈍
を行う場合は中間焼鈍後の製品板厚までの圧下率を６０
％以上とする。中間焼鈍を２回以上行う場合は最後の中
間焼鈍を行った後の冷延の圧下率を６０％以上とする。 この冷延圧下率は、最終焼鈍後の集合組織形成に影響を
与える。その圧下率が高いほどエッチング速度を増加さ
せる（１００）方位が圧延面上に発達し、エッチング穿
孔性を改善するが、６０％未満の圧下率ではその効果が
小さい。従って、最終焼鈍前の冷延圧下率を６０％以上
とした。更に、好ましくは８５％以上がよい。
【００２１】最終焼鈍温度は、集合組織形成に影響を与
え、高温ほど（１００）方位が圧延面上に発達し、エッ
チング穿孔性を改善する。７５０℃未満ではその効果が
小さく、１２００℃を超えると結晶粒が粗大化してエッ
チング穿孔性が劣化する。また、二次再結晶が生じて（
１００）方位が著しく低減する。従って、最終焼鈍温度
の範囲を７５０〜１２００℃とした。
え、高温ほど（１００）方位が圧延面上に発達し、エッ
チング穿孔性を改善する。７５０℃未満ではその効果が
小さく、１２００℃を超えると結晶粒が粗大化してエッ
チング穿孔性が劣化する。また、二次再結晶が生じて（
１００）方位が著しく低減する。従って、最終焼鈍温度
の範囲を７５０〜１２００℃とした。
【００２２】最終焼鈍後は、必要に応じて冷間圧延を行
ってもよいが、冷間圧延を施すと（１００）方位が低減
するため、エッチング穿孔性の点から５０％以下にする
必要がある。
ってもよいが、冷間圧延を施すと（１００）方位が低減
するため、エッチング穿孔性の点から５０％以下にする
必要がある。
【００２３】
【実施例】表１、表３に示すような各種合金を真空誘導
溶解炉で溶製し、連続鋳造法にて１８０ｍｍ程度の板厚
の鋳片に鋳込んだ。Ｎ２ ガスにより酸素濃度を０．１
０ｖｏｌ．％以下まで低減できる加熱炉にて１１５０℃
に該鋳片を加熱し、熱間圧延を行い、板厚４ｍｍ、板幅
１０００ｍｍの熱延板を得た。熱延板の疵取りを行い、
圧下率９５％の１回の冷間圧延で板厚０．２０ｍｍの冷
延薄板を得た。その後、８５０℃×３０秒の焼鈍を行っ
た。このときの焼鈍雰囲気は２５％Ｎ２ ＋７５％Ｈ２
であった。
溶解炉で溶製し、連続鋳造法にて１８０ｍｍ程度の板厚
の鋳片に鋳込んだ。Ｎ２ ガスにより酸素濃度を０．１
０ｖｏｌ．％以下まで低減できる加熱炉にて１１５０℃
に該鋳片を加熱し、熱間圧延を行い、板厚４ｍｍ、板幅
１０００ｍｍの熱延板を得た。熱延板の疵取りを行い、
圧下率９５％の１回の冷間圧延で板厚０．２０ｍｍの冷
延薄板を得た。その後、８５０℃×３０秒の焼鈍を行っ
た。このときの焼鈍雰囲気は２５％Ｎ２ ＋７５％Ｈ２
であった。
【００２４】熱延板のサブスケール深さ、表面疵の程度
および割れの有無を調査した結果を表２、表４に示した
。また、冷延焼鈍板の熱膨張係数およびヤング率を測定
した結果を表２、表４に併記した。更に、この冷延焼鈍
板表面にレジスト膜の形成を行い、レジスト密着性を評
価した。レジスト膜形成後にエッチング穿孔を行い、エ
ッチング穿孔性を評価した。フラットマスクをプレス成
形し、耐座屈性を評価した。更に、ブラウン管に組立て
、色ムラ発生の有無を調査した。これらの結果も表２、
表４に併せて示した。
および割れの有無を調査した結果を表２、表４に示した
。また、冷延焼鈍板の熱膨張係数およびヤング率を測定
した結果を表２、表４に併記した。更に、この冷延焼鈍
板表面にレジスト膜の形成を行い、レジスト密着性を評
価した。レジスト膜形成後にエッチング穿孔を行い、エ
ッチング穿孔性を評価した。フラットマスクをプレス成
形し、耐座屈性を評価した。更に、ブラウン管に組立て
、色ムラ発生の有無を調査した。これらの結果も表２、
表４に併せて示した。
【００２５】表２より明らかなように、本発明合金はす
べて熱膨張係数が１．０×１０−６／℃以下であり、ヤ
ング率が１６０００ｋｇ／ｍｍ２ 以上である。該合金
は熱膨張係数およびヤング率とも従来のインバー合金に
比べ優れており、シャドウマスク製造工程でのレジスト
膜密着性、エッチング穿孔性およびプレス成形性のいず
れも従来のインバー合金に比べ良好である。更に、本発
明法により製造されたシャドウマスクを用いたブラウン
管では色ムラの発生がなく良好である。
べて熱膨張係数が１．０×１０−６／℃以下であり、ヤ
ング率が１６０００ｋｇ／ｍｍ２ 以上である。該合金
は熱膨張係数およびヤング率とも従来のインバー合金に
比べ優れており、シャドウマスク製造工程でのレジスト
膜密着性、エッチング穿孔性およびプレス成形性のいず
れも従来のインバー合金に比べ良好である。更に、本発
明法により製造されたシャドウマスクを用いたブラウン
管では色ムラの発生がなく良好である。
【００２６】
【表１】
【００２７】
【表２】
【００２８】
【表３】
【００２９】
【表４】
【００３０】
【発明の効果】以上のことから明らかな如く、本発明合
金はシャドウマスク用素材、特にハイビジョン用カラー
ブラウン管として要求される低熱膨張特性を改善し、シ
ャドウマスクの製造工程においてエッチング穿孔時に発
生するレジスト膜剥離を抑制し、かつプレス成形後の剛
性を確保でき、シャドウマスクの製造時の歩留り落ちは
大幅に低減される。また、本発明法により該素材を製造
すれば、合金製造時の作業性および歩留りが大幅に改善
される。
金はシャドウマスク用素材、特にハイビジョン用カラー
ブラウン管として要求される低熱膨張特性を改善し、シ
ャドウマスクの製造工程においてエッチング穿孔時に発
生するレジスト膜剥離を抑制し、かつプレス成形後の剛
性を確保でき、シャドウマスクの製造時の歩留り落ちは
大幅に低減される。また、本発明法により該素材を製造
すれば、合金製造時の作業性および歩留りが大幅に改善
される。
Claims (4)
- 【請求項１】 重量％にて、Ｎｉ：２５〜３５％、Ｃ
ｏ：２．０〜１２．０％、Ｃｒ：４．０％以下、Ｍｎ：
１．０〜４．０％、Ｓｉ：１．０％以下、Ｓ：０．００
２％以下、Ｃ：０．０５％以下、残部Ｆｅおよび不可避
的不純物からなるＦｅ−Ｎｉ系合金において、Ｎ量が０
．０１％以下、かつＯ量が０．００３％以下であること
を特徴とするシャドウマスク用素材。 - 【請求項２】 請求項１記載の成分に、更にＴｉ，Ｎ
ｂ，Ｖ，Ｚｒ，Ｔａ，Ｈｆのうち１種または２種以上：
合計０．０１〜１．０％を含有することを特徴とするシ
ャドウマスク用素材。 - 【請求項３】 請求項１または２記載の成分組成の溶
湯を連続鋳造法により鋳片に鋳造し、該鋳片を無酸化雰
囲気中にて加熱して熱間圧延を行い、続いて冷間圧延を
行い、最終焼鈍を行うことを特徴とするシャドウマスク
用素材の製造方法。 - 【請求項４】 請求項１または２記載の成分組成の溶
湯を連続鋳造法により鋳片に鋳造し、該鋳片を酸素濃度
が０．１０ｖｏｌ．％以下の無酸化雰囲気中にて１１０
０〜１２５０℃の温度域に加熱して熱間圧延を行い、続
いて圧下率６０％以上の冷間圧延を行い、７５０〜１２
００℃の温度域で最終焼鈍を行うことを特徴とするシャ
ドウマスク用素材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10081891A JPH04228546A (ja) | 1990-09-11 | 1991-05-02 | シャドウマスク用素材およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24092890 | 1990-09-11 | ||
| JP2-240928 | 1990-09-11 | ||
| JP10081891A JPH04228546A (ja) | 1990-09-11 | 1991-05-02 | シャドウマスク用素材およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04228546A true JPH04228546A (ja) | 1992-08-18 |
Family
ID=26441778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10081891A Withdrawn JPH04228546A (ja) | 1990-09-11 | 1991-05-02 | シャドウマスク用素材およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04228546A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003106721A1 (ja) * | 2002-06-18 | 2003-12-24 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 低熱膨張合金薄板およびその製造方法 |
-
1991
- 1991-05-02 JP JP10081891A patent/JPH04228546A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003106721A1 (ja) * | 2002-06-18 | 2003-12-24 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 低熱膨張合金薄板およびその製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980806 |