JPH0831546A - オゾン発生装置 - Google Patents
オゾン発生装置Info
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- JPH0831546A JPH0831546A JP16348994A JP16348994A JPH0831546A JP H0831546 A JPH0831546 A JP H0831546A JP 16348994 A JP16348994 A JP 16348994A JP 16348994 A JP16348994 A JP 16348994A JP H0831546 A JPH0831546 A JP H0831546A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 無声放電式のオゾン発生装置において、投入
電力量に対するオゾン発生量を増加させる。 【構成】 容器本体１１内に、高圧電極１２を設け、該
電極１２のガラス管（誘電体）１３の外周面に強磁性材
料か、又は強磁性材料の内の軟磁性材料をコーティング
する。前記ガラス管１３の同軸外周部にギャップ１５を
介して接地電極１６を設ける。ガラス管表面にコーティ
ングした磁性を持つ膜から生じた磁場によって、ギャッ
プ１５中を移動する電子にローレンツ力が働き、その結
果電子の動きは直線状からコイル状になり、飛行距離が
長くなって電子と酸素分子の衝突回数が増加する。これ
によって少ない消費電力でオゾンが効率良く生成され
る。
電力量に対するオゾン発生量を増加させる。 【構成】 容器本体１１内に、高圧電極１２を設け、該
電極１２のガラス管（誘電体）１３の外周面に強磁性材
料か、又は強磁性材料の内の軟磁性材料をコーティング
する。前記ガラス管１３の同軸外周部にギャップ１５を
介して接地電極１６を設ける。ガラス管表面にコーティ
ングした磁性を持つ膜から生じた磁場によって、ギャッ
プ１５中を移動する電子にローレンツ力が働き、その結
果電子の動きは直線状からコイル状になり、飛行距離が
長くなって電子と酸素分子の衝突回数が増加する。これ
によって少ない消費電力でオゾンが効率良く生成され
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、水処理や屎尿処理等に
利用される無声放電式のオゾン発生装置に関する。
利用される無声放電式のオゾン発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】オゾンは極めて強い酸化力を有し、水の
殺菌、脱臭、脱色等の上下水処理や屎尿処理及び食品関
連における殺菌などの多くの用途に使われている。オゾ
ンの生成法には、紫外線照射法、放射線照射法、プラズ
マ放電法、無声放電法及び水の電気分解法等があるが、
工業的には無声放電法が主体である。
殺菌、脱臭、脱色等の上下水処理や屎尿処理及び食品関
連における殺菌などの多くの用途に使われている。オゾ
ンの生成法には、紫外線照射法、放射線照射法、プラズ
マ放電法、無声放電法及び水の電気分解法等があるが、
工業的には無声放電法が主体である。
【０００３】図６に無声放電法によるオゾン発生装置の
原理を示す。図６において高電圧電極１と接地電極２
は、両者間に空隙部３が形成されるように誘電体４を介
在させて並設されている。両電極１，２間に例えばＡＣ
電圧を印加して空隙部３で無声放電を発生させ、原料と
なるガス（乾燥空気もしくは酸素）をこの空隙部３に通
すことによりオゾンを発生させている。
原理を示す。図６において高電圧電極１と接地電極２
は、両者間に空隙部３が形成されるように誘電体４を介
在させて並設されている。両電極１，２間に例えばＡＣ
電圧を印加して空隙部３で無声放電を発生させ、原料と
なるガス（乾燥空気もしくは酸素）をこの空隙部３に通
すことによりオゾンを発生させている。
【０００４】オゾンＯ3の理論収率は、 Ｏ2→Ｏ＋Ｏ−１１８Ｋｃａｌ（吸熱反応） Ｏ＋Ｏ2→Ｏ3＋２５Ｋｃａｌ（発熱反応） より、 ３Ｏ2→２Ｏ3−６８Ｋｃａｌ となり、Ｏ3を１ｍｏｌ生成するために３４Ｋｃａｌ必
要となる。従って理論上の収率は１．２ｋｇＯ3／ＫＷ
ｈとなる。しかし、消費電力に対するオゾンの生成効率
は理論収率に比べて極めて低く数％に過ぎず、残りの９
０数％の電力は熱となってオゾン生成に寄与していない
というのがオゾン発生装置の現状である。
要となる。従って理論上の収率は１．２ｋｇＯ3／ＫＷ
ｈとなる。しかし、消費電力に対するオゾンの生成効率
は理論収率に比べて極めて低く数％に過ぎず、残りの９
０数％の電力は熱となってオゾン生成に寄与していない
というのがオゾン発生装置の現状である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】オゾンの生成量に影響
を及ぼす主な因子としては、電極の形状、電極間ギャッ
プの大きさ、誘電体の形状及び材質、電極の冷却方法、
原料ガスの除湿や冷却方法、印加電圧の波形等が挙げら
れる。現在のオゾン発生装置は図６で示したように、電
極間に空隙部が形成されるように誘電体を介在させて、
その空隙部分で放電を起こさせる無声放電を応用する構
造などが主となっている。
を及ぼす主な因子としては、電極の形状、電極間ギャッ
プの大きさ、誘電体の形状及び材質、電極の冷却方法、
原料ガスの除湿や冷却方法、印加電圧の波形等が挙げら
れる。現在のオゾン発生装置は図６で示したように、電
極間に空隙部が形成されるように誘電体を介在させて、
その空隙部分で放電を起こさせる無声放電を応用する構
造などが主となっている。
【０００６】図６において無声放電が起こると電極と誘
電体間の空隙部３に微小なストリーマ状放電柱が多数発
生し、その放電柱の中を大量の電子が流れる。その際空
隙部分を流れている原料ガス中の酸素分子Ｏ2と電子と
が衝突し、衝突電離によって酸素原子Ｏや励起酸素分子
Ｏ2＊が生成し、酸素分子Ｏ2と反応してオゾンＯ3が生
成される（放電の化学作用）。
電体間の空隙部３に微小なストリーマ状放電柱が多数発
生し、その放電柱の中を大量の電子が流れる。その際空
隙部分を流れている原料ガス中の酸素分子Ｏ2と電子と
が衝突し、衝突電離によって酸素原子Ｏや励起酸素分子
Ｏ2＊が生成し、酸素分子Ｏ2と反応してオゾンＯ3が生
成される（放電の化学作用）。
【０００７】ここでオゾン生成の原理を図７とともに詳
細に説明する。図７において、交流電圧を印加して無声
放電を起こさせる場合、誘電体側の電極１が正で接地側
の電極２が負となるＡＣ電圧の正の半波の電圧上昇時
に、発生した微小なストリーマ状放電柱の中を電子が接
地電極２側から高電位となる誘電体４側に移動し、その
電子はある面積で誘電体４の表面に広がって堆積する。
そして次に発生するストリーマ状放電柱はすでに堆積し
ている多数の電子を避けて、まだ電子が堆積していない
誘電体４の表面の別の箇所に到達して同様に多数の電子
を表面に堆積させる。この繰り返しにより電子が堆積す
る箇所が誘電体４の表面に分散して存在するようにな
る。
細に説明する。図７において、交流電圧を印加して無声
放電を起こさせる場合、誘電体側の電極１が正で接地側
の電極２が負となるＡＣ電圧の正の半波の電圧上昇時
に、発生した微小なストリーマ状放電柱の中を電子が接
地電極２側から高電位となる誘電体４側に移動し、その
電子はある面積で誘電体４の表面に広がって堆積する。
そして次に発生するストリーマ状放電柱はすでに堆積し
ている多数の電子を避けて、まだ電子が堆積していない
誘電体４の表面の別の箇所に到達して同様に多数の電子
を表面に堆積させる。この繰り返しにより電子が堆積す
る箇所が誘電体４の表面に分散して存在するようにな
る。
【０００８】電圧の極性が反転して誘電体４側の電極１
が負で接地側の電極２が正になって無声放電が起こる
と、誘電体表面に堆積していた電子は前記ストリーマ状
放電柱の中を、今度は電位が高くなる接地電極２側へ移
動する。このように電子が電極と誘電体の間を移動する
時に前述のような原料ガス中の酸素分子Ｏ2と衝突して
オゾンＯ3が生成されるわけである。
が負で接地側の電極２が正になって無声放電が起こる
と、誘電体表面に堆積していた電子は前記ストリーマ状
放電柱の中を、今度は電位が高くなる接地電極２側へ移
動する。このように電子が電極と誘電体の間を移動する
時に前述のような原料ガス中の酸素分子Ｏ2と衝突して
オゾンＯ3が生成されるわけである。
【０００９】従ってオゾン発生装置の効率は電子と酸素
分子の衝突確率及び反応確率に大きく依存する。しかし
その確率は低く、ギャップ中の電子の加速に使われたエ
ネルギーの大部分は酸素分子以外との衝突または反応を
伴わない衝突によって熱エネルギーに変換されてオゾン
生成に寄与しないのが現状の問題点となっている。
分子の衝突確率及び反応確率に大きく依存する。しかし
その確率は低く、ギャップ中の電子の加速に使われたエ
ネルギーの大部分は酸素分子以外との衝突または反応を
伴わない衝突によって熱エネルギーに変換されてオゾン
生成に寄与しないのが現状の問題点となっている。
【００１０】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
その目的は、投入電力量に対するオゾン発生量を増加さ
せたオゾン発生装置を提供することにある。
その目的は、投入電力量に対するオゾン発生量を増加さ
せたオゾン発生装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、一方の面に高
圧電極が設けられた誘電体と、該誘電体の他方の面に放
電ギャップを介して並設された接地電極とを備え、前記
高圧電極および接地電極間に電圧を印加し、前記放電ギ
ャップ内に流通させた原料ガス中にオゾンを発生させる
無声放電式のオゾン発生装置において、（１）前記誘電
体の他方の面に強磁性材料をコーティングしたことを特
徴とし、（２）前記誘電体の他方の面に強磁性材料の内
の軟磁性材料をコーティングしたことを特徴とし、
（３）前記接地電極の放電ギャップ側表面に強磁性材料
をコーティングしたことを特徴とし、（４）前記接地電
極の放電ギャップ側表面に強磁性材料の内の軟磁性材料
をコーティングしたことを特徴とし、（５）前記強磁性
材料は磁石であることを特徴とし、（６）前記強磁性材
料はフェライトであることを特徴とし、（７）前記軟磁
性材料は磁石であることを特徴とし、（８）前記軟磁性
材料はフェライトであることを特徴としている。
圧電極が設けられた誘電体と、該誘電体の他方の面に放
電ギャップを介して並設された接地電極とを備え、前記
高圧電極および接地電極間に電圧を印加し、前記放電ギ
ャップ内に流通させた原料ガス中にオゾンを発生させる
無声放電式のオゾン発生装置において、（１）前記誘電
体の他方の面に強磁性材料をコーティングしたことを特
徴とし、（２）前記誘電体の他方の面に強磁性材料の内
の軟磁性材料をコーティングしたことを特徴とし、
（３）前記接地電極の放電ギャップ側表面に強磁性材料
をコーティングしたことを特徴とし、（４）前記接地電
極の放電ギャップ側表面に強磁性材料の内の軟磁性材料
をコーティングしたことを特徴とし、（５）前記強磁性
材料は磁石であることを特徴とし、（６）前記強磁性材
料はフェライトであることを特徴とし、（７）前記軟磁
性材料は磁石であることを特徴とし、（８）前記軟磁性
材料はフェライトであることを特徴としている。
【００１２】
（１）請求項１、３、５、６に記載の発明において、誘
電体表面又は接地電極表面にコーティングした磁性を持
つ膜から生じた磁場によって、放電ギャップ中を移動す
る電子にローレンツ力が働き、その結果電子の動きは直
線状からコイル状になり、飛行距離が長くなって電子と
酸素分子の衝突回数が増加する。これによって同じ放電
電力で従来よりも多くのオゾンが発生する。
電体表面又は接地電極表面にコーティングした磁性を持
つ膜から生じた磁場によって、放電ギャップ中を移動す
る電子にローレンツ力が働き、その結果電子の動きは直
線状からコイル状になり、飛行距離が長くなって電子と
酸素分子の衝突回数が増加する。これによって同じ放電
電力で従来よりも多くのオゾンが発生する。
【００１３】（２）請求項２、４、７、８に記載の発明
において、ギャップ中を移動する電子は誘電体表面又は
接地電極表面にコーティングした膜に渦状に磁場を生じ
させる。そのとき電子はエネルギーを消費するがその結
果、電子のエネルギー分布が変化しオゾン生成の妨害に
寄与する大きなエネルギーの電子数が減少する。これに
よって同じ放電電力で従来よりも多くのオゾンが発生す
る。
において、ギャップ中を移動する電子は誘電体表面又は
接地電極表面にコーティングした膜に渦状に磁場を生じ
させる。そのとき電子はエネルギーを消費するがその結
果、電子のエネルギー分布が変化しオゾン生成の妨害に
寄与する大きなエネルギーの電子数が減少する。これに
よって同じ放電電力で従来よりも多くのオゾンが発生す
る。
【００１４】
【実施例】以下、図面を参照しながら請求項１、５、６
に記載の発明の一実施例を説明する。本発明では高圧電
極に、粉末状にした強磁性材料をコーティングした誘電
体を使用するようにした。図１において容器本体１１に
は、ガラス管（誘電体）１３の内周面に金属コーティン
グを施した高圧電極１２が収納されている。
に記載の発明の一実施例を説明する。本発明では高圧電
極に、粉末状にした強磁性材料をコーティングした誘電
体を使用するようにした。図１において容器本体１１に
は、ガラス管（誘電体）１３の内周面に金属コーティン
グを施した高圧電極１２が収納されている。
【００１５】ガラス管１３の外周面には図２（ａ），
（ｂ）に示すように強磁性材料をコーティングして成る
磁性体被膜１４ａが設けられている。ガラス管１３の同
軸外周には所定幅のギャップ１５を介して筒状の接地電
極１６が設けられている。接地電極１６の同軸外周の容
器本体１１には冷却水入口１７ａと冷却水出口１７ｂが
設けられている。
（ｂ）に示すように強磁性材料をコーティングして成る
磁性体被膜１４ａが設けられている。ガラス管１３の同
軸外周には所定幅のギャップ１５を介して筒状の接地電
極１６が設けられている。接地電極１６の同軸外周の容
器本体１１には冷却水入口１７ａと冷却水出口１７ｂが
設けられている。
【００１６】１８は容器本体１１の表面上に設けられた
高圧碍子であり、該高圧碍子１８の内部には導体１９が
挿通されている。導体１９の端部は前記高圧電極１２の
内周部に接触しており、該導体１９を介して高電圧が印
加されるようになっている。２０ａは高圧電極１２の一
端側の容器本体１１に設けられた原料ガス入口、２０ｂ
は高圧電極１２の他端側の容器本体１１に設けられたオ
ゾン出口である。前記高圧電極１２には導体１９を介し
て高電圧が印加され、ギャップ１５内に流通させた原料
ガス中にオゾンが発生するものである。
高圧碍子であり、該高圧碍子１８の内部には導体１９が
挿通されている。導体１９の端部は前記高圧電極１２の
内周部に接触しており、該導体１９を介して高電圧が印
加されるようになっている。２０ａは高圧電極１２の一
端側の容器本体１１に設けられた原料ガス入口、２０ｂ
は高圧電極１２の他端側の容器本体１１に設けられたオ
ゾン出口である。前記高圧電極１２には導体１９を介し
て高電圧が印加され、ギャップ１５内に流通させた原料
ガス中にオゾンが発生するものである。
【００１７】図１の装置を用いて、ガラス管１３にコー
ティングする材料（磁性体被膜１４ａ）の種類を変えて
実施した例を表１に示す。
ティングする材料（磁性体被膜１４ａ）の種類を変えて
実施した例を表１に示す。
【００１８】
【表１】
【００１９】前記表１の実施例の条件下での単位面積当
たりの放電電力に対するオゾン発生量の関係を図３に示
す。これにより、従来例に比べて同一の放電消費電力で
オゾン発生量が増加しているのが判る。
たりの放電電力に対するオゾン発生量の関係を図３に示
す。これにより、従来例に比べて同一の放電消費電力で
オゾン発生量が増加しているのが判る。
【００２０】このようにオゾン発生効率が上昇した主な
理由は、誘電体（ガラス管１３）表面にコーティングし
た磁性を持つ膜から生じた磁場によって、放電ギャップ
中を移動する電子にローレンツ力が働き、その結果電子
の動きは直線状からコイル状になり、飛行距離が長くな
って電子と酸素分子の衝突回数が増加するためである。
理由は、誘電体（ガラス管１３）表面にコーティングし
た磁性を持つ膜から生じた磁場によって、放電ギャップ
中を移動する電子にローレンツ力が働き、その結果電子
の動きは直線状からコイル状になり、飛行距離が長くな
って電子と酸素分子の衝突回数が増加するためである。
【００２１】次に請求項２、７、８に記載の発明の一実
施例を説明する。本発明では高圧電極に、粉末状にした
強磁性材料の内の軟磁性材料をコーティングした誘電体
を使用するようにした。具体的には図１の装置の磁性体
被膜１４ａを強磁性材料の内の軟磁性材料を用いて構成
するものである。
施例を説明する。本発明では高圧電極に、粉末状にした
強磁性材料の内の軟磁性材料をコーティングした誘電体
を使用するようにした。具体的には図１の装置の磁性体
被膜１４ａを強磁性材料の内の軟磁性材料を用いて構成
するものである。
【００２２】このように構成した装置を用いて、コーテ
ィングする軟磁性材料（磁性体被膜１４ａ）の種類を変
えて実施した例を表２に示す。
ィングする軟磁性材料（磁性体被膜１４ａ）の種類を変
えて実施した例を表２に示す。
【００２３】
【表２】
【００２４】前記表２の実施例の条件下での単位面積当
たりの放電電力に対するオゾン発生量の関係は前記図３
と同一となる。これにより、従来例に比べて同一の放電
消費電力でオゾン発生量が増加しているのが判る。
たりの放電電力に対するオゾン発生量の関係は前記図３
と同一となる。これにより、従来例に比べて同一の放電
消費電力でオゾン発生量が増加しているのが判る。
【００２５】このようにオゾン発生効率が上昇した主な
理由は、ギャップ中を移動する電子は誘電体表面にコー
ティングした膜に渦状に磁場を生じさせる。そのとき電
子はエネルギーを消費するがその結果、電子のエネルギ
ー分布が変化しオゾン生成の妨害に寄与する大きなエネ
ルギーの電子数が減少するためである。
理由は、ギャップ中を移動する電子は誘電体表面にコー
ティングした膜に渦状に磁場を生じさせる。そのとき電
子はエネルギーを消費するがその結果、電子のエネルギ
ー分布が変化しオゾン生成の妨害に寄与する大きなエネ
ルギーの電子数が減少するためである。
【００２６】次に請求項３、５、６に記載の発明の一実
施例を説明する。本発明では接地電極に、粉末状にした
強磁性材料をコーティングするようにした。図４におい
て図１と同一部分は同一符号をもって示し、その説明は
省略する。図４において図１と異なる点は、前記磁性体
被膜１４ａの代わりに、接地電極１６の内周面（ギャッ
プ１５側）に図５（ａ），（ｂ）に示すように強磁性材
料をコーティングして成る磁性体被膜１４ｂを設けたこ
とにあり、その他の部分は図１と同一に構成されてい
る。
施例を説明する。本発明では接地電極に、粉末状にした
強磁性材料をコーティングするようにした。図４におい
て図１と同一部分は同一符号をもって示し、その説明は
省略する。図４において図１と異なる点は、前記磁性体
被膜１４ａの代わりに、接地電極１６の内周面（ギャッ
プ１５側）に図５（ａ），（ｂ）に示すように強磁性材
料をコーティングして成る磁性体被膜１４ｂを設けたこ
とにあり、その他の部分は図１と同一に構成されてい
る。
【００２７】図４の装置を用いて、接地電極１６にコー
ティングする材料（磁性体被膜１４ｂ）の種類を前記表
１の場合と同様に変えて実施した。その結果単位面積当
たりの放電電力に対するオゾン発生量の関係は図３と同
一の特性となった。これにより、従来例に比べて同一の
放電消費電力でオゾン発生量が増加しているのが判る。
ティングする材料（磁性体被膜１４ｂ）の種類を前記表
１の場合と同様に変えて実施した。その結果単位面積当
たりの放電電力に対するオゾン発生量の関係は図３と同
一の特性となった。これにより、従来例に比べて同一の
放電消費電力でオゾン発生量が増加しているのが判る。
【００２８】このようにオゾン発生効率が上昇した主な
理由は、接地電極表面にコーティングした磁性を持つ膜
から生じた磁場によって、放電ギャップ中を移動する電
子にローレンツ力が働き、その結果電子の動きは直線状
からコイル状になり、飛行距離が長くなって電子と酸素
分子の衝突回数が増加するためである。
理由は、接地電極表面にコーティングした磁性を持つ膜
から生じた磁場によって、放電ギャップ中を移動する電
子にローレンツ力が働き、その結果電子の動きは直線状
からコイル状になり、飛行距離が長くなって電子と酸素
分子の衝突回数が増加するためである。
【００２９】次に請求項４、７、８に記載の発明の一実
施例を説明する。本発明では接地電極に、粉末状にした
強磁性材料の内の軟磁性材料をコーティングするように
した。具体的には図４の装置の磁性体被膜１４ｂを強磁
性材料の内の軟磁性材料を用いて構成するものである。
施例を説明する。本発明では接地電極に、粉末状にした
強磁性材料の内の軟磁性材料をコーティングするように
した。具体的には図４の装置の磁性体被膜１４ｂを強磁
性材料の内の軟磁性材料を用いて構成するものである。
【００３０】このように構成した装置を用いて、コーテ
ィングする軟磁性材料（磁性体被膜１４ｂ）の種類を前
記表２の場合と同様に変えて実施した。その結果単位面
積当たりの放電電力に対するオゾン発生量の関係は図３
と同一の特性となった。これにより、従来例に比べて同
一の放電消費電力でオゾン発生量が増加しているのが判
る。
ィングする軟磁性材料（磁性体被膜１４ｂ）の種類を前
記表２の場合と同様に変えて実施した。その結果単位面
積当たりの放電電力に対するオゾン発生量の関係は図３
と同一の特性となった。これにより、従来例に比べて同
一の放電消費電力でオゾン発生量が増加しているのが判
る。
【００３１】このようにオゾン発生効率が上昇した主な
理由は、ギャップ中を移動する電子は接地電極表面にコ
ーティングした膜に渦状に磁場を生じさせる。そのとき
電子はエネルギーを消費するがその結果、電子のエネル
ギー分布が変化しオゾン生成の妨害に寄与する大きなエ
ネルギーの電子数が減少するためである。
理由は、ギャップ中を移動する電子は接地電極表面にコ
ーティングした膜に渦状に磁場を生じさせる。そのとき
電子はエネルギーを消費するがその結果、電子のエネル
ギー分布が変化しオゾン生成の妨害に寄与する大きなエ
ネルギーの電子数が減少するためである。
【００３２】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、無声放電
式のオゾン発生装置において、誘電体表面か、又は接地
電極の表面に、強磁性材料か、又は強磁性材料の内の軟
磁性材料をコーティングしたので、従来の装置に比べて
同一の放電消費電力でオゾン発生量が著しく増加する。
式のオゾン発生装置において、誘電体表面か、又は接地
電極の表面に、強磁性材料か、又は強磁性材料の内の軟
磁性材料をコーティングしたので、従来の装置に比べて
同一の放電消費電力でオゾン発生量が著しく増加する。
【図１】請求項１，２，，５，６，７，８に記載の発明
の一実施例を示す断面構成図。
の一実施例を示す断面構成図。
【図２】図１の装置の要部を示す説明図。
【図３】本発明の各実施例の放電電力に対するオゾン発
生量の関係を表す特性図。
生量の関係を表す特性図。
【図４】請求項３，４，５，６，７，８に記載の発明の
一実施例を示す断面構成図。
一実施例を示す断面構成図。
【図５】図４の装置の要部を示す説明図。
【図６】無声放電法によるオゾン発生の概要を表す説明
図。
図。
【図７】無声放電法によるオゾン生成の原理を示す説明
図。
図。
１１…容器本体 １２…高圧電極 １３…ガラス管 １４ａ，１４ｂ…磁性体被膜 １５…ギャップ １６…接地電極
Claims (8)
- 【請求項１】 一方の面に高圧電極が設けられた誘電体
と、該誘電体の他方の面に放電ギャップを介して並設さ
れた接地電極とを備え、前記高圧電極および接地電極間
に電圧を印加し、前記放電ギャップ内に流通させた原料
ガス中にオゾンを発生させる無声放電式のオゾン発生装
置において、前記誘電体の他方の面に強磁性材料をコー
ティングしたことを特徴とするオゾン発生装置。 - 【請求項２】 一方の面に高圧電極が設けられた誘電体
と、該誘電体の他方の面に放電ギャップを介して並設さ
れた接地電極とを備え、前記高圧電極および接地電極間
に電圧を印加し、前記放電ギャップ内に流通させた原料
ガス中にオゾンを発生させる無声放電式のオゾン発生装
置において、前記誘電体の他方の面に強磁性材料の内の
軟磁性材料をコーティングしたことを特徴とするオゾン
発生装置。 - 【請求項３】 一方の面に高圧電極が設けられた誘電体
と、該誘電体の他方の面に放電ギャップを介して並設さ
れた接地電極とを備え、前記高圧電極および接地電極間
に電圧を印加し、前記放電ギャップ内に流通させた原料
ガス中にオゾンを発生させる無声放電式のオゾン発生装
置において、前記接地電極の放電ギャップ側表面に強磁
性材料をコーティングしたことを特徴とするオゾン発生
装置。 - 【請求項４】 一方の面に高圧電極が設けられた誘電体
と、該誘電体の他方の面に放電ギャップを介して並設さ
れた接地電極とを備え、前記高圧電極および接地電極間
に電圧を印加し、前記放電ギャップ内に流通させた原料
ガス中にオゾンを発生させる無声放電式のオゾン発生装
置において、前記接地電極の放電ギャップ側表面に強磁
性材料の内の軟磁性材料をコーティングしたことを特徴
とするオゾン発生装置。 - 【請求項５】 前記強磁性材料は磁石であることを特徴
とする請求項１又は３に記載のオゾン発生装置。 - 【請求項６】 前記強磁性材料はフェライトであること
を特徴とする請求項１又は３に記載のオゾン発生装置。 - 【請求項７】 前記軟磁性材料は磁石であることを特徴
とする請求項２又は４に記載のオゾン発生装置。 - 【請求項８】 前記軟磁性材料はフェライトであること
を特徴とする請求項２又は４に記載のオゾン発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16348994A JPH0831546A (ja) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | オゾン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16348994A JPH0831546A (ja) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | オゾン発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0831546A true JPH0831546A (ja) | 1996-02-02 |
Family
ID=15774841
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16348994A Pending JPH0831546A (ja) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | オゾン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0831546A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004224671A (ja) * | 2003-01-27 | 2004-08-12 | Kansai Electric Power Co Inc:The | オゾン発生方法およびオゾン発生装置 |
| JP2010006615A (ja) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Kobe Steel Ltd | オゾン発生装置及びオゾン発生方法 |
| WO2011039971A1 (ja) * | 2009-10-02 | 2011-04-07 | 住友精密工業株式会社 | オゾンガス発生装置及びその製造方法 |
-
1994
- 1994-07-15 JP JP16348994A patent/JPH0831546A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004224671A (ja) * | 2003-01-27 | 2004-08-12 | Kansai Electric Power Co Inc:The | オゾン発生方法およびオゾン発生装置 |
| JP2010006615A (ja) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Kobe Steel Ltd | オゾン発生装置及びオゾン発生方法 |
| WO2011039971A1 (ja) * | 2009-10-02 | 2011-04-07 | 住友精密工業株式会社 | オゾンガス発生装置及びその製造方法 |
| JP5369189B2 (ja) * | 2009-10-02 | 2013-12-18 | 住友精密工業株式会社 | オゾンガス発生装置及びその製造方法 |
| US9193591B2 (en) | 2009-10-02 | 2015-11-24 | Sumitomo Precision Products Co., Ltd. | Ozone gas generator and method for manufacturing the same |
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