JPH08297868A - 光学式記録情報媒体の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 ２枚のディスクを貼り合せた光学式情報記録
媒体の製造装置。 【構成】 光学的に記録・再生可能な記録層を形成した
一側ディスク基板２Ａ、他側ディスク基板２Ｂを成形し
た一側成形機１１０Ａ及び他側成形機１１０Ｂから搬送
したディスク基板２Ａ及び２Ｂを、１次冷却する１次冷
却装置と、基板２Ａ、２Ｂを２次冷却する２次冷却装置
と、基板の記録層上に金属反射膜層及び保護膜層を成形
し搬送する装置と、ディスク基板に金属反射膜層及び保
護膜層が形成した状態の一側ディスク３Ａ、他側ディス
ク３Ｂの片側表面に糊付けする装置と、ディスク３Ａ、
３Ｂの糊付面を上に搬送する装置と、搬送したディスク
を受け、糊付面同しを合せてプレスする装置と、ディス
クを搬送する装置からディスクを受け、糊付面同しを合
せてプレスする装置へディスクの、配置時、ディスクの
糊付面を上にしての位置出し装置を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は光学式情報記録媒体の製
造装置に係り、更に詳しくは、光学的に記録・再生可能
な記録層が形成された一側ディスク基板に金属反射膜層
及び保護膜層を成形せしめた一側ディスクと、光学的に
記録・再生可能な記録層が形成された他側ディスク基板
に金属反射膜層及び保護膜層を成形せしめた他側ディス
クと、の２枚のディスクが貼り合わされて成る光学式情
報記録媒体の製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】周知の通り、光学式情報記録媒体が多々
使用されている。上記光学式情報記録媒体は、高い記録
密度、速いアクセス、交換して使用可能、不揮発性等々
の特徴を持ち、ビデオやオ−ディオ等の分野や、情報処
理分野でも広く普及している。

【０００３】そして、上記光学式情報記録媒体の構造を
みてみると、円盤状の薄いプラスチックのディスク基板
と、このディスク基板の表面上に凹凸のピット列が形成
された記録膜と、上記記録膜上に成形された金属反射膜
と、上記金属反射膜上に成形された保護膜層と、から成
る。

【０００４】所で、近時に於ては上記光学式情報記録媒
体の容量を増化させた光学式情報記録媒体の使用が考え
られるようになってきた。この大容量の光学式情報記録
媒体としては、上記記録膜層及び金属反射膜層並びに保
護膜層が形成されたディスクを２枚貼り合せて製造され
るものが考えられている。

【０００５】そして、上記２枚のディスク基板を貼り合
せて成る光学式情報記録媒体を製造する製造装置が考え
られるようになってきた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】所で、従来の技術をみ
てみると、上記１枚のディスクから成る光学式情報記録
媒体の製造装置は多々出願されている。そして、この１
枚のディスクから成る光学式情報記録媒体を製造する為
の製造装置の部分部分を寄せ集めて、上記２枚のディス
クを張り合せて成る光学式情報記録媒体を製造する製造
装置も多々考えられる。

【０００７】所が、上記従来のように製造装置の部分部
分をただ寄せ集めて構成した製造装置は考えられるもの
の、２枚のディスクの貼り合せを行う為の装置と、従来
からある装置とを組み合わせたときの全体の製造装置に
おける全体構成及び配置等が具体的に示されていなかっ
た。この為、上記２枚のディスクを貼り合せて製造せし
める光学式情報記録媒体を製造する為の製造装置を具体
的に示すことが求められていた。

【０００８】従って、本発明の目的とする所は、２枚の
ディスクを張り合せて製造する光学式情報記録媒体の製
造装置であって、上記光学式情報記録媒体を製造する為
の製造装置を具体的に示すことにある。

【０００９】

【課題を解決する為の手段】上記目的を解決する為に、
本発明は次の技術的手段を有する。即ち、実施例に対応
する添付図面中の符号を用いてこれを説明すると、本発
明は光学的に記録・再生可能な記録層が形成された一側
ディスク基板２Ａに金属反射膜層及び保護膜層を成形せ
しめた一側ディスク３Ａと、光学的に記録・再生可能な
記録層が形成された他側ディスク基板２Ｂに金属反射膜
層及び保護膜層を成形せしめた他側ディスク３Ｂと、の
２枚のディスクが貼り合わされて成る光学式情報記録媒
体の製造装置に於て；上記光学式情報記録媒体の製造装
置は、前工程の装置と、後工程の装置と、から成り、上
記前工程の装置は、上記一側ディスク基板２Ａを成形・
搬送せしめる装置と、上記他側ディスク基板２Ｂを成形
・搬送せしめる装置と、上記一側及び他側ディスク基板
２Ａ、２Ｂに金属反射膜層及び保護膜層を成形せしめ、
搬送せしめる装置と、から成り、上記一側ディスク基板
２Ａを成形・搬送せしめる装置は、上記記録層が形成さ
れた一側ディスク基板２Ａを成形せしめる一側成形機１
１０Ａと、上記一側成形機１１０Ａから上記一側ディス
ク基板２Ａを取り出し、取り出した一側ディスク基板２
Ａを垂直平面内の円周に沿って垂直に保持せしめた状態
で冷却する一側１次冷却装置１２０Ａと、上記一側１次
冷却装置１２０Ａに保持された一側ディスク基板２Ａの
吸引領域部２ｂを吸引保持して上記一側ディスク基板２
Ａを搬送せしめる一側吸着搬送装置１３０Ａと、上記一
側吸着搬送装置１３０Ａによって搬送されてきた一側デ
ィスク基板２Ａを水平平面内の円周に沿って垂直に保持
せしめた状態で冷却する一側２次冷却装置１４０Ａと、
上記一側２次冷却装置１４０Ａに保持された一側ディス
ク基板２Ａの吸引領域部２ｂを吸引保持して上記一側デ
ィスク基板２Ａを搬送せしめる一側搬送装置１６０Ａと
から成り、上記他側ディスク基板２Ｂを成形・搬送せし
める装置は、上記記録層が形成された他側ディスク基板
２Ｂを成形せしめる他側成形機１１０Ｂと、上記他側成
形機１１０Ｂから上記他側ディスク基板２Ｂを取り出
し、取り出した他側ディスク基板２Ｂを垂直平面内の円
周に沿って垂直に保持せしめた状態で冷却する他側１次
冷却装置１２０Ｂと、上記他側１次冷却装置１２０Ｂに
保持された他側ディスク基板２Ｂのクランピングエリア
６を吸引保持して上記他側ディスク基板２Ｂを搬送せし
める他側吸着搬送装置１３０Ｂと、上記他側吸着搬送装
置１３０Ｂによって搬送されてきた他側ディスク基板２
Ｂを水平平面内の円周に沿って垂直に保持せしめた状態
で冷却する他側２次冷却装置１４０Ｂと、上記他側２次
冷却装置１４０Ｂに保持された他側ディスク基板２Ｂの
クランピングエリア６を吸引保持して上記他側ディスク
基板２Ｂを搬送せしめる他側搬送装置１６０Ｂとから成
り、上記一側及び他側ディスク基板２Ａ、２Ｂに金属反
射膜層及び保護膜層を成形せしめ、搬送せしめる装置
は、上記一側搬送装置１６０Ａ及び他側搬送装置１６０
Ｂそれぞれから搬送されてくる一側ディスク基板２Ａ及
び他側ディスク基板２Ｂを異なる時期に搭載する搬送テ
−ブル２１０と、上記搬送テ−ブル２１０上に搭載され
た一側及び他側ディスク基板２Ａ、２Ｂの記録層に金属
反射膜層を成形せしめる金属反射膜成膜装置２２０と、
上記金属反射膜層が成形された一側及び他側ディスク基
板２Ａ、２Ｂを上記搬送テ−ブル２１０から搬送せしめ
る取り出し搬送装置２３０と、上記取り出し搬送装置２
３０によって上記搬送テ−ブル２１０から搬送された一
側及び他側ディスク基板２Ａ、２Ｂの金属反射膜層に保
護膜層を成形せしめる保護膜塗布装置２４０と、上記取
り出し搬送装置２３０によって搬送されくる上記金属反
射膜層及び保護膜層が成形された一側ディスク３Ａ及び
他側ディスク３Ｂを異なる時期に搭載する検査テ−ブル
２５０と、上記検査テ−ブル２５０上の一側及び他側デ
ィスク３Ａ、３Ｂを乾燥せしめる乾燥装置２５１と、上
記検査テ−ブル２５０上の一側及び他側ディスク３Ａ、
３Ｂの塵付着・傷による欠陥及び保護膜塗布欠陥の検査
を行なう欠陥検査機２５２と、上記検査テ−ブル２５０
上に搭載された一側及び他側ディスク３Ａ、３Ｂのそれ
ぞれの刻印を確認せしめる刻印確認カメラ２５３と、上
記検査テ−ブル２５０上の一側及び他側ディスク３Ａ、
３Ｂを仕分けして排出せしめると共に、上記刻印確認カ
メラ２５３によって正常な刻印が確認されなかった一側
及び他側ディスク３Ａ、３Ｂを上記検査テ−ブル２５０
から排出せしめる排出装置２６０と、上記排出装置２６
０によって排出された欠陥がある一側及び他側ディスク
３Ａ、３Ｂをそれぞれ積載せしめる欠陥一側ディスク積
載ポ−ル２７０Ａ、及び欠陥他側ディスク積載テ−ブル
２７０Ｂから成る欠陥ディスク積載ポ−ル２７０と、上
記排出装置２６０によって排出された一側及び他側ディ
スク３Ａ、３Ｂをそれぞれ積載せしめる一側ディスク積
載テ−ブル２８０Ａ、及び他側ディスク積載テ−ブル２
８０Ｂから成るディスク積載テ−ブル２８０と、から成
り、上記後工程の装置は、上記前工程の装置のディスク
積載テ−ブル２８０に仕分けされて積載された一側及び
他側ディスク３Ａ、３Ｂを搬送せしめるディスク供給装
置３００と、上記ディスク供給装置３００から同時に供
給される一側及び他側ディスク３Ａ、３Ｂの保護膜層上
に糊付けするディスク糊付装置４００と、上記ディスク
糊付装置４００で糊付けされた一側及び他側ディスク３
Ａ、３Ｂを受けるディスク受け装置５００と、上記ディ
スク受け装置５００にある一側及び他側ディスク３Ａ、
３Ｂをこのディスク受け装置５００から取り出し搬送せ
しめる糊付ディスク搬送装置６００と、上記糊付ディス
ク搬送装置６００によって搬送されてきた上記糊付一側
及び他側ディスク３Ａ、３Ｂを貼り合せるディスク貼合
せ装置７００と、上記ディスク貼合せ装置７００によっ
て貼り合された貼合せディスクを検査・排出するディス
ク検査排出装置８００とから成り、上記ディスク供給装
置３００は、上記一側ディスク３Ａを搬送せしめる一側
ディスク供給装置３１０Ａと、上記他側ディスク３Ｂを
搬送せしめる他側ディスク搬送装置３１０Ｂと、から成
り、上記一側ディスク供給装置３１０Ａは、上記一側デ
ィスク積載テ−ブル２８０Ａで積載された上記一側ディ
スク３Ａが積載された状態で位置せしめられる一側ディ
スク供給テ−ブル３２０Ａと、上記一側ディスク供給テ
−ブル３２０Ａから１枚づつ一側ディスク３Ａを搬送せ
しめる一側ディスク搬送装置３３０Ａと、上記一側ディ
スク搬送装置３３０Ａによって搬送されてくる一側ディ
スク３Ａを搭載せしめる一側ディスク配置テ−ブル３４
０Ａと、上記一側ディスク配置テ−ブル３４０Ａから上
記一側ディスク３Ａを搬送せしめる一側ディスク取り出
し装置３５０Ａと、から成り、上記他側ディスク供給装
置３１０Ｂは、上記他側デイスク積載テ−ブル２８０Ｂ
で積載された上記他側ディスク３Ｂが積載された状態で
位置せしめられる他側ディスク供給テ−ブル３２０Ｂ
と、上記他側ディスク供給テ−ブル３２０Ｂから１枚づ
つ他側ディスク３Ｂを搬送せしめる他側ディスク搬送装
置３３０Ｂと、上記他側ディスク搬送装置３３０Ｂによ
って搬送されてくる他側ディスク３Ｂを搭載せしめる他
側ディスク配置テ−ブル３４０Ｂと、上記他側ディスク
配置テ−ブル３４０Ｂから上記他側ディスク３Ｂを搬送
せしめる他側ディスク取り出し装置３５０Ｂと、から成
り、上記ディスク糊付装置４００は、上記一側ディスク
取り出し装置３５０Ａ及び他側ディスク取り出し装置３
５０Ｂによって搬送されてきた一側及び他側ディスク３
Ａ、３Ｂのそれぞれを区分して搬送するディスク供給コ
ンベア４１０と、上記ディスク供給コンベア４１０によ
って搬送されてきた一側及び他側ディスク３Ａ、３Ｂの
それぞれを区分せしめて糊付けする糊付装置４２０と、
上記糊付装置４２０によって糊付けされた一側及び他側
ディスク３Ａ、３Ｂのそれぞれを区分して搬送せしめる
糊付ディスク供給コンベア４３０と、から成り、上記デ
ィスク受け装置５００は、上記糊付ディスク供給コンベ
ア４３０によって搬送されてきた一側ディスク３Ａを受
ける一側ディスク受けテ−ブル５１０Ａ、及び他側ディ
スク３Ｂを受ける他側ディスク受けテ−ブル５１０Ｂか
ら成るディスク受けテ−ブル５１０と、上記一側及び他
側ディスク３Ａ、３Ｂを上記ディスク受けテ−ブル５１
０上のそれぞれに位置出しを行なって搭載せしめる為の
装置であって、上記糊付一側ディスク３Ａの位置出しを
行なう一側ディスク位置出し装置５２０Ａ、及び上記糊
付他側ディスク３Ｂの位置出しを行なう他側ディスク位
置出し装置５２０Ｂから成り、上記一側ディスク位置出
し装置５２０Ａは、上記糊付一側ディスク供給コンベア
４３０Ａによって搬送されてきた一側ディスク３Ａを糊
付面が上になる状態で落下せしめ、且つ上記一側ディス
ク３Ａを通過せしめる一側ディスク通過開口部５２１が
形成されていると共に、上記他側ディスク位置出し装置
５２０Ｂは、上記糊付他側ディスク供給コンベア４３０
Ｂによって搬送されてきた他側ディスク３Ｂを糊付面が
上になる状態で落下せしめ、且つ上記他側ディスク３Ｂ
を通過せしめる他側ディスク通過開口部５２１が形成さ
れて成るディスク位置出し装置５２０と、から成り、上
記糊付ディスク搬送装置６００は、上記一側ディスク受
けテ−ブル５１０Ａから上記糊付一側ディスク３Ａを搬
送せしめる糊付一側ディスク搬送装置６００Ａと、上記
他側ディスク受けテ−ブル５１０Ｂから上記糊付他側デ
ィスク３Ｂを搬送せしめる糊付他側ディスク搬送装置６
００Ｂと、から成り、上記ディスク貼合せ装置７００
は、上記糊付一側ディスク搬送装置６００Ａによって搬
送されてきた糊付一側ディスク３Ａを糊付面が上になる
ようにして搭載せしめると共に、上記糊付他側ディスク
搬送装置６００Ｂによって搬送されてきた糊付他側ディ
スク３Ｂを糊付面が下になるようにして上記糊付一側デ
ィスク３Ａに重ねて搭載せしめるディスク貼合せテ−ブ
ル７１０と、上記ディスク貼合せテ−ブル７１０上で重
ねられたディスクをプレスするプレス装置７２０と、上
記プレス装置７２０によってプレスされた貼合せディス
クを上記ディスク貼合せテ−ブル７１０から搬送せしめ
る貼合せディスク搬送装置７３０と、から成り、上記デ
ィスク検査排出装置８００は、上記貼合せディスク搬送
装置７３０によって搬送されてきた貼合せディスクを搭
載する形成検査テ−ブル８１０と、上記貼合せディスク
の外周を切削して形成せしめる外周形成装置８２０と、
上記外周形成装置８２０による貼合せディスク外周の切
削によって生じた切削粉を除電除去しながら吸収する除
電装置８３０と、上記貼合せディスクの塵付着、傷によ
る欠陥を検査し、欠陥ディスクを上記形成検査テ−ブル
８１０から排出する欠陥検査装置８４０と、上記貼合せ
ディスクの一側ディスク３Ａ及び他側ディスク３Ｂそれ
ぞれの刻印番号を確認する刻印読取装置８６０と、上記
形成検査テ−ブル８１０上にあって、上記刻印読取装置
８６０によって異常が確認されなかった貼合せディスク
を上記形成検査テ−ブル８１０から排出すると共に、上
記刻印読取装置８６０によって異常が確認された貼合せ
ディスクを上記形成検査テ−ブル８１０から排出する排
出装置８７０と、から成ることを特徴とする光学式情報
記録媒体の製造装置である。

【００１０】

【作用】上記構成によると、記録膜層及び金属反射膜層
並びに保護膜層が形成された一側ディスク２Ａ及び他側
ディスク２Ｂを成形せしめ、この２枚の一側及び他側デ
ィスク２Ａ、２Ｂを貼り合せて成る光学式情報記録媒体
の製造装置を具体的に示すことができる。

【００１１】

【実施例】次に、添付図面に従い本発明の実施例を詳述
する。図１及び図２で示された装置が本発明の光学式情
報記録媒体の製造装置であって、図１で示された装置が
前工程の製造装置、図２で示された装置が後工程の製造
装置である。つまり、本装置は一側ディスク３Ａと他側
ディスク３Ｂとが成形され、この２つのディスクを貼り
合せることによって成形される光学式情報記録媒体の製
造装置である。そして 、本発明では、厚さ０．６ｍｍ
の一側ディスク３Ａと、厚さ０．６ｍｍの他側ディスク
３Ｂとを貼り合せて成る１．２ｍｍの光学式情報記録媒
体の製造装置である。

【００１２】先ず、図１及び図３から図１３までを参照
して上記前工程の製造装置の構成を説明する。図３から
図１３までは図１で簡略的に示した各装置の部分詳細図
である。この前工程の製造装置は、一側ディスク基板２
Ａを成形、搬送せしめる装置と、他側ディスク基板２Ｂ
を成形、搬送せしめる装置と、上記一側ディスク基板２
Ａ及び他側ディスク基板２Ｂに金属反射膜層及び保護膜
層を成形せしめ搬送せしめる装置と、の３つの領域に別
れた装置群から成る。

【００１３】以下上記一側ディスク基板２Ａを成形、搬
送せしめる装置について説明する。この装置は、一側成
形機１１０Ａと、一側１次冷却装置１２０Ａと、一側吸
着搬送装置１３０Ａと、一側２次冷却装置１４０Ａと、
一側搬送装置１６０Ａと、から成る。

【００１４】上記一側成形機１１０Ａは、上記一側ディ
スク基板２Ａを成形せしめる装置である。上記一側ディ
スク基板２Ａは、ポリカーボネート、アクリル等の樹脂
材料から成形されたディスク原板に、情報記録信号に対
応したピットが記録されたプラスチック基板である。

【００１５】次に、上記一側１次冷却装置１２０Ａは、
上記一側成形機１１０Ａで成形された一側ディスク基板
２Ａを上記一側成形機１１０Ａ内部から搬出せしめ、除
電、除塵、冷却する装置である。詳しくは、冷却槽１２
１内部に上記一側ディスク基板２Ａを保持する保持装置
１２２がある。上記保持装置１２２は、垂直に位置した
円板形状を有し、この保持装置１２２の表側で円周に沿
って上記一側ディスク基板２Ａが保持されている。この
とき、上記保持装置１２２の面と、上記一側ディスク基
板２Ａの面とは、平行になっている。つまり、上記一側
ディスク基板２Ａは、上記保持装置１２２によって垂直
に保持されている（図１及び図３参照）。

【００１６】上記保持装置１２２は、上記一側ディスク
基板２Ａを真空吸着により保持している。この例では、
上記保持装置１２２は、１０枚の一側ディスク基板２Ａ
を保持することが可能である。この為に上記保持装置１
２２は、表面円周に１０ケ所の吸着装置１２３を備えて
いる。また、上記一側１次冷却装置１２０Ａは、除電装
置及び除塵装置を備えている。

【００１７】上記一側１次冷却装置１２０Ａ内部には絶
えず８枚の一側ディスク基板２Ａが保持され、冷却され
ている状態にある。そして、１枚は後述する一側２次冷
却装置１４０Ａに一定時間毎に搬出され、残る１枚は一
定時間毎に上記一側成形機１１０Ａから搬出され、保持
されている状態にある。つまり、上記一側１次冷却装置
１２０Ａには、一定時間毎に一側成形機１１０Ａから１
枚の一側ディスク基板２Ａが供給される。このとき、上
記一側ディスク基板２Ａの温度は約９０゜Ｃ〜１２０゜
Ｃである。上記一側１次冷却装置１２０Ａに供給された
一側ディスク基板２Ａは、上記保持装置１２２に保持さ
れた状態で保持装置１２２の中心軸を中心に回動せしめ
られる。このとき、上記一側１次冷却装置１２０Ａ内部
に導かれた冷却空気によって、上記一側ディスク基板２
Ａの温度は６０゜Ｃまで冷却せしめられる。そして、一
定角度回転した上記一側ディスク基板２Ａは、後述する
一側２次冷却装置１４０Ａに搬出される。

【００１８】上記一側１次冷却装置１２０Ａによると、
上記一側ディスク基板２Ａを、垂直姿勢で保持している
ので、形状が変化しない。より詳しくは、上記一側ディ
スク基板２Ａを一側成形機１１０Ａで成形し、この一側
成形機１１０Ａから搬出した直後は、上記一側ディスク
基板２Ａの温度が９０゜Ｃ〜１２０゜Ｃと比較的高い。
この為、上記一側ディスク基板２Ａを、例えば水平状態
で保持した場合、ディスクの周縁部からディスク自体が
次第に垂れてくる恐れがあった。そこで、上記一側ディ
スク基板２Ａを垂直状態で保持することで、上記垂れが
生じにくく、形状が変化しないものである。

【００１９】次に、上記保持装置１２２が備えている吸
着装置１２３に着目する。図４及び図５を参照すると、
上記吸着装置１２３はバキュ−ムパッド１２３ａを備え
ている。上記バキュ−ムパッド１２３ａは、３つの吸引
路１２３ｂにつながる３つの吸引孔１２３Ｃが形成され
ている。そして、上記各吸引孔１２３Ｃは、上記バキュ
−ムパッド１２３ａの吸引面１２３ｄに開口している。
上記吸引面１２３ｄは、上記一側ディスク基板２Ａのセ
ンタ−ホ−ル４を画成するクランピングエリア６の表面
に接触する面である。

【００２０】即ち、上記吸着装置１２３が、上記一側デ
ィスク基板２Ａを吸着保持したき、バキュ−ムパッド１
２３ａの吸引面１２３ｄが上記一側ディスク基板２Ａの
クランピングエリア６の表面に面する。そして、図４に
おいて、上記３つの吸引孔１２３ｃが上記一側ディスク
基板２Ａのクランピングエリア６に対向する部分を一点
鎖線Ｆで示している。

【００２１】上記吸着装置１２３によると、上記バキュ
−ムパッド１２３ａの吸引面１２３ｄが上記一側ディク
ス基板２Ａのクランピングエリア６の表面に吸着するこ
とから、上記一側ディスク基板２Ａのセンタ−ホ−ル４
やクランピングエリア６、一側ディスク基板２Ａの外周
に傷を付けることがない。而も、上記バキュ−ムパッド
１２３ａをゴム等の材料から成形することで、この吸着
装置１２３からの熱が一側ディスク基板２Ａに伝わりに
くく、上記一側ディスク基板２Ａの冷却が均等に進行し
易い。更に、上記一側ディスク基板２Ａの温度を早期に
所定温度まで（この例では６０゜Ｃまで）冷却すること
ができる。

【００２２】次に、上記一側吸着搬送装置１３０Ａにつ
いて説明する。この一側吸着搬送装置１３０Ａは、上記
一側１次冷却装置１２０Ａから一側２次冷却装置１４０
Ａへ上記一側ディスク基板２Ａを搬送せしめる装置であ
る。図１を参照すると、回転軸１３１を中心にして回動
するア−ム１３２を備え、このア−ム１３２の端部に吸
着装置１３３が取り付けられている。そして、上記吸着
装置１３３により、上記一側１次冷却装置１２０Ａ内部
で保持されている一側ディスク基板２Ａを吸着保持す
る。そして、上記回転軸１３１を中心にして上記ア−ム
１３２を回動せしめる。上記ア−ム１３２の回動先には
上記一側２次冷却装置１４０Ａがあり、この一側２次冷
却装置１４０Ａ内部に上記一側ディスク基板２Ａを収納
する。

【００２３】図６及び図７を参照して上記吸着装置１３
３を説明すると、上記吸着装置１３３は３つのバキュー
ムパッド１３３ａを備えている。上記各バキュームパッ
ド１３３ａは、吸引路１３３ｂにつながる３つの吸引孔
１３３Ｃが形成されている。そして、上記各吸引孔１３
３Ｃは、上記各バキュームパッド１３３ａの吸引面１３
３ｄに開口している。上記吸引面１３３ｄは、上記一側
ディスク基板２Ａのセンターホール４を画成するクラン
ピングエリア６の表面に接触する面である。

【００２４】即ち、上記吸着装置１３３が、上記一側デ
ィスク基板２Ａを吸着保持したとき、バキュームパッド
１３３ａの吸引面１３３ｄが上記一側ディスク基板２Ａ
のクランピングエリア６の表面に面する。

【００２５】次に、図８から図１２までを参照して上記
一側２次冷却装置１４０Ａについて説明する。この一側
２次冷却装置１４０Ａは、上記一側１次冷却装置１２０
Ａで６０゜Ｃの温度まで冷却した一側ディスク基板２Ａ
を、更に４０゜Ｃの温度まで冷却し、且つ一時的にディ
スクバッファとして用いる装置である。

【００２６】上記一側２次冷却装置１４０Ａは、冷却槽
１４１内部に一側ディスク基板２Ａを保持する為の保持
装置１４２が配設されている。この保持装置１４２は、
モータ１４３で回転せしめられる出力軸１４４に下方か
ら軸支されている。更に、上記冷却槽１４１は、この冷
却槽１４１内部に冷却空気１４５を導く管が連結されて
いる。この管は、上記冷却槽１４１の底部１４１ａに連
結した冷却空気導き管１４７であって、この冷却空気導
き管１４７の開口部１４７ａが上記保持装置１４２の下
方に位置している。そして、上記冷却槽１４１の内部に
導いた冷却空気１４５を上記保持装置１４２に強制的に
導く手段としてファン１４８が配設されている。上記フ
ァン１４８は、上記保持装置１４２と、上記モータ１４
３との間に位置し、ファンモータ１４９によって水平に
回転せしめられる。つまり、このファン１４８の回転に
より、上記冷却槽１４１の底部１４１ａから導かれた冷
却空気１４５は、上記保持装置１４２に対して下方から
当たる。そして、上記保持装置１４２を通過した冷却空
気１４５は、上記冷却槽１４１の上部１４１ｂに連結さ
れた吸込ダクト１４６から冷却槽１４１外へ排出され
る。尚、上記冷却槽１４１内部に導く冷却空気１４５の
温度は、０°〜１０°Ｃである。また、上記保持装置１
４２の下部には除電バー１５１が配設されている。上記
除電バー１５１は、上記保持装置１４２に保持された一
側ディスク基板２Ａ及び上記保持装置１４２に静電気が
帯電することを防止する手段である。

【００２７】次に、上記保持装置１４２に着目する。上
記保持装置１４２は、平面から見て円形状を有すると共
に、上下方向Ｚに沿って厚みＴを有し、水平に位置せし
められている。そして、上記一側ディスク基板２Ａを保
持する為に、平面からみて上記保持装置１４２を等分割
に区切った複数の一側ディスク基板収容部１４２ａが形
成されている。

【００２８】上記複数の一側ディスク基板収容部１４２
ａのうち、隣り合う一側ディスク基板収容部１４２ａ
は、区画壁１４２ｂによって仕切られている。１つの一
側ディスク基板収容部１４２ａは、平面から見たとき、
保持装置１４２の半径方向に沿って３つの受片１５０が
並んで形成されている。上記３つの受片１５０は、上記
一側ディスク基板２Ａを受け止める部分である。そし
て、上記３つの受片１５０は、側面から見て同一円弧上
に位置し、各隣り合う受片１５０間には、冷却空気通過
穴１４２ｃが形成されている。また、上記一側ディスク
基板収容部１４２ａから見て半径方向内側にも上記冷却
空気通過穴１４２ｃが形成されている。上記冷却空気通
過穴１４２ｃは、上記保持装置１４２の上方に位置する
上部空間１４２ｄ及び下部空間１４２ｅに開口してい
る。

【００２９】そして、上記３つの受片１５０は同形状で
あり、この内の１つに着目すると、断面がＭ字形状に形
成され、開口した部分である谷部１５０ａが上記一側デ
ィスク基板２Ａを保持可能な程度の開口角度Ｒを有して
いる（図１０参照）。

【００３０】そして、上記３つの受片１５０に渡って１
枚の一側ディスク基板２Ａが位置せしめられる。つま
り、上記一側ディスク基板２Ａは、上記３つの受片１５
０によって保持装置１４２上に保持される。このとき上
記一側ディスク基板２Ａの面が垂直となるように上記一
側ディスク基板２Ａが立った状態で位置する。そして、
上記一側ディスク基板２Ａの外周端部７が上記受片１５
０に接している。

【００３１】上記保持装置１４２は、上記一側ディスク
基板２Ａの投入口１４２ｆから排出口１４２ｇまでの間
に、上記一側ディスク基板２Ａを５０枚収納せしめるこ
とが可能である。また、上記保持装置１４２は、平面か
ら見て反時計回りに沿った上記投入口１４２ｆから排出
口１４２ｇまでの間に、上記保持装置１４２に保持され
た一側ディスク基板２Ａを覆う天部カバ−１４２ｈが取
り付けられている。

【００３２】そして、上記保持装置１４２は上記モ−タ
１４３によって平面から見て反時計回りに回動せしめら
れる。上記保持装置１４２は、上記投入口１４２ｆから
排出口１４２ｇまで回動せしめられる間の約４分間で上
記一側ディスク基板２Ａを冷却する。

【００３３】上記一側２次冷却装置１４０Ａによると、
上記保持装置１４２によって複数の上記一側ディスク基
板２Ａの各々が独立区分されて保持される。而も、この
一側ディスク基板２Ａの保持状態は、垂直に立てられた
状態であり、且つ上記受片１５０によって、上記一側デ
ィスク基板２Ａの端面に比較的少ない円弧範囲で上記受
片１５０を接触せしめている。更に、上記受片１５０間
に上記冷却空気通過穴１４２ｃが形成されている。この
ようにして上記保持装置１４２に一側ディスク基板２Ａ
を保持することにより、上記保持装置１４２下部から冷
却空気１４５を当てたとき、上記一側ディスク基板２Ａ
の各々に万遍なく冷却空気１４５が当たる。これによ
り、上記各々の一側ディスク基板２Ａを効率良く冷却せ
しめ易い。また、上記受片１５０により一側ディスク基
板２Ａを比較的少ない円弧範囲で受けているので、上記
一側ディスク基板２Ａに傷が付きにくい。

【００３４】次に、上記一側搬送装置１６０Ａについて
説明する。この一側搬送装置１６０Ａは、上記一側２次
冷却装置１４０Ａから後述するスパッタ−テ−ブル２１
０へ上記一側ディクス基板２Ａを搬送せしめる装置であ
る。上記一側搬送装置１６０Ａは、吸着ア−ム１６１を
備えている。上記吸着ア−ム１６１は、この吸着ア−ム
１６１の一側の軸部１６２を中心に上方へ回動する。そ
して、回動して垂直に立った状態から後述する搬送テ−
ブル２１０へ向けて回動する。後述する搬送テーブル２
１０へ向けての回動は、上記上方への回動に対して直角
を成している。

【００３５】そして、上記吸着ア−ム１６１の他側に
は、上記一側吸着搬送装置１３０Ａの吸着装置１３３が
取り付けられている。

【００３６】次に、上記他側ディスク基板２Ｂを成形、
搬送する装置について説明する。この装置は、上記一側
ディスク基板２Ａを成形、搬送する装置と同様の装置で
ある。即ち、他側成形機１１０Ｂと、他側１次冷却装置
１２０Ｂと、他側吸着搬送装置１３０Ｂと、他側２次冷
却装置１４０Ｂと、他側搬送装置１６０Ｂとから成る。

【００３７】そして、これらの装置によって他側ディス
ク基板２Ｂが成形され、上記一側ディスク基板２Ａも位
置せしめられる後述する搬送テ−ブ−ル２１０に搬送さ
れる。

【００３８】次に、上記一側及び他側ディスク基板２
Ａ、２Ｂに金属反射膜層及び保護膜層を成形し、搬送す
る装置について説明する。この装置は、搬送テ−ブル２
１０と、金属反射膜成膜装置２２０と、取り出し搬送装
置２３０と、保護膜塗布装置２４０と、検査テ−ブル２
５０と、乾燥装置２５１と、欠陥検査機２５２と、刻印
確認カメラ２５３と、排出装置２６０と、欠陥ディスク
積載ポ−ル２７０と、ディスク積載ポ−ル２８０から成
る。

【００３９】上記搬送テ−ブル２１０は、この搬送テ−
ブル２１０上の一側ディスク基板２Ａ或いは他側ディス
ク基板２Ｂを搬送するテ−ブルである。上記搬送テ−ブ
ル２１０は、上記一側ディスク基板２Ａが搭載位置２１
１に搭載されたとき、反時計回りに９０°づつ回転し、
上記金属反射膜成膜装置２２０側へ一側ディスク基板２
Ａを搬送する。また、上記他側ディスク基板２Ｂが搭載
されたとき、時計回りに９０°づつ回転し、上記金属反
射膜成膜装置２２０側へ他側ディスク基板２Ｂを搬送す
る。

【００４０】上記金属反射膜成膜装置２２０は、上記一
側ディスク基板２Ａ或いは上記他側ディスク基板２Ｂの
記録層に金属反射膜を成膜する装置である。上記金属反
射膜成膜装置２２０は、回転ア−ム２２１を備え、この
回転ア−ム２２１の両端に上述した一側吸着搬送装置１
３０Ａの吸着装置１３３と同様の吸着装置が取り付けら
れている。そして、上記回転ア−ム２２１の吸着装置が
上記搬送テ−ブル２１０上の一側ディスク基板２Ａ或い
は他側ディスク基板２Ｂを吸着せしめた後、１８０°回
転し、上記金属反射膜成膜装置２２０内部に上記一側或
いは他側ディスク基板２Ａ、２Ｂを搬送する。上記金属
反射膜成膜装置２２０の処理時間は、２．５秒／１枚で
ある。

【００４１】ここで、上記一側２次冷却装置１４０Ａ及
び他側２次冷却装置１４０Ｂのディスクバッファとして
の機能を説明する。例えば、上記一側成形機１１０Ａ及
び他側成形機１１０Ｂの成形速度を１枚／５秒とする。
このとき、５０枚のディスク基板を保持可能な上記一側
２次冷却装置１４０Ａでは、１枚の一側ディスク基板２
Ａにつき２５０秒の間保持され、冷却される。そこで、
上記一側２次冷却装置１４０Ａから一側ディスク基板２
Ａを５０枚続けて上記搬送テ−ブル２１０へ搬送する。
そして、上記金属反射膜成膜装置２２０で上記一側ディ
スク基板２Ａの成膜が終了する間に、上記他側２次冷却
装置１４０Ｂに上記他側ディスク基板２Ｂをストックす
る。上記金属反射膜成膜装置２２０の処理時間は、２．
５秒／１枚なので、上記他側ディスク基板２Ｂがストッ
クされる前に上記一側ディスク基板２Ａを十分処理でき
る。そして、上記５０枚の一側ディスク基板２Ａの成膜
の終了が電気的確認制御によって確認されると、上記５
０枚の他側ディスク基板２Ｂが続けて上記金属反射膜成
膜装置２２０に搬送される。即ち、上記金属反射膜成膜
装置２２０には、一側ディスク基板２Ａ及び他側ディス
ク基板２Ｂが交互に５０枚づつ搬送されてくる。

【００４２】次に、上記取り出し搬送装置２３０は、上
記金属反射膜が成膜された一側ディスク基板２Ａ或いは
他側ディスク基板２Ｂを上記搬送テ−ブル２１０から上
記保護膜塗布装置２４０に搬送する装置である。上記取
り出し搬送装置２３０は、４つのア−ム２３１を備え、
それぞれのア−ム２３１の先部２３１ａに上述した一側
吸着搬送装置１３０Ａの吸着装置１３３と同様の吸着装
置が取り付けられている。上記ア−ム２３１は、上記一
側ディスク基板２Ａ或いは他側ディスク基板２Ｂを吸着
位置２１２で吸着せしめて回動する。回動方向は、平面
から見て時計回り及び反時計回りであって、後述する２
つの保護膜塗布装置２４０ａ、２４０ｂに向けて交互に
回動方向を変えて回動する。

【００４３】次に、上記保護膜塗布装置２４０は、上記
金属反射膜が成膜された一側ディスク基板２Ａ或いは他
側ディスク基板２Ｂの金属反射膜層に保護膜を塗布する
装置である。上記保護膜塗布装置２４０は、第一保護膜
塗布装置２４０ａと、第二保護膜塗布装置２４０ｂとの
２台を備えている。そして、上記金属反射膜が成膜さ
れ、且つ保護膜が塗布された一側ディスク基板２Ａ及び
他側ディスク基板２Ｂを以下それぞれ一側ディスク３Ａ
及び他側ディスク３Ｂとする。

【００４４】上記検査テ−ブル２５０は、上記搬送装置
２３０によって保護膜塗布装置２４０から搬送された一
側ディスス３Ａ或いは他側ディスク３Ｂを搭載する装置
である。上記検査テ−ブル２５０は、時計回りに１ステ
ップづつ回動する。この例では、上記検査テ−ブル２５
０は、１０ステップで１周する。

【００４５】上記乾燥装置２５１は、上記一側ディスク
３Ａ或いは他側ディスク３Ｂに塗布した保護膜を乾燥せ
しめる装置である。上記乾燥装置２５１は、この乾燥装
置２５１の直下に上記一側ディスク３Ａ或いは他側ディ
スク３Ｂが位置するよう配設されている。そして、上記
検査テ−ブル２５０上に載った一側ディスク３Ａ或いは
他側ディスク３Ｂを、上記乾燥装置２５１直下で移動せ
しめつつ乾燥せしめる。上記一側ディスク３Ａ或いは他
側ディスク３Ｂは、上記検査テ−ブル２５０上に載って
回動移動しつつ乾燥せしめられるので、保護膜の乾燥ム
ラがない均一な乾燥が行なわれる。

【００４６】次に、上記欠陥検査機２５２は、上記一側
ディスク３Ａ或いは他側ディスク３Ｂの欠陥及び保護膜
塗布欠陥の検査を行なう機械である。上記欠陥検査機２
５２は、取り出しア−ム２５２ａを備え、この先部には
上述した一側吸着搬送装置１３０Ａの吸着装置１３３と
同様の吸着装置が取り付けられている。そして、取り出
し位置２５０ａで一側ディスク３Ａ或いは他側ディスク
３Ｂを吸着保持した後、１８０°回動して上記欠陥検査
機２５２内部に運ぶものである。上記欠陥検査機２５２
内部では、上記一側ディスク３Ａ或いは他側ディスク３
Ｂの検査が行なわれ、その検査した一側ディスク３Ａ或
いは他側ディスク３Ｂの良否が判定される。上記良否の
判定が行なわれた一側ディスク３Ａ或いは他側ディスク
３Ｂは、上記取り出しア−ム２５２ａに吸着保持されて
再び上記検査テ−ブル２５０に戻され、次のステップへ
進む。

【００４７】次に、上記刻印確認カメラ２５３は、上記
検査テ−ブル２５０上のディスクが一側ディスク３Ａで
あるか他側ディスク３Ｂであるかを確認するものであ
る。上記一側ディスク３Ａ或いは他側ディスク３Ｂに
は、それぞれ一側或いは他側を示す刻印がある。上記刻
印確認カメラ２５３は、この一側或いは他側を示す刻印
を上記検査テ−ブル上で確認する。刻印が確認された一
側ディスク３Ａ或いは他側ディスク３Ｂはそのまま次の
ステップへ進む。

【００４８】次に、上記排出装置２６０は、上記一側デ
ィスク３Ａ或いは他側ディスク３Ｂを検査テ−ブル２５
０から排出する装置である。上記排出装置２６０は、上
記一側ディスク３Ａを検査テ−ブル２５０から排出する
一側排出ア−ム２６１及び他側ディスク３Ｂを検査テ−
ブル２５０から排出する他側排出ア−ム２６２を備えて
いる。上記一側排出ア−ム２６１及び他側排出ア−ム２
６２のそれぞれの先部２６１ａ、２６２ａには、上述し
た一側吸着搬送装置１３０Ａの吸着装置１３３と同様の
吸着装置が取り付けられている。通常、上記検査テ−ブ
ル２５０上に一側ディスク３Ａがあるとき、上記一側排
出ア−ム２６１が上記一側ディスク３Ａを吸着保持し、
後述する一側ディスク積載テ−ブル２８０ａへ運ぶと共
に、上記検査テ−ブル２５０上に他側ディスク３Ｂがあ
るとき、上記他側排出ア−ム２６２が上記他側ディスク
３Ｂを吸着保持し、後述する他側ディスク積載テ−ブル
２８０Ｂへ運ぶ。

【００４９】上記一側ディスク３Ａ及び他側ディスク３
Ｂの仕分けは電気的制御によって行なわれている。そし
て、もし上記一側ディスク３Ａと他側ディスク３Ｂとの
順列が間違った場合、又は停電等で制御不確認となった
場合、上記一側及び他側ディスク３Ａ、３Ｂが混合され
て後述するディスク積載テ−ブル２８０に積載されるの
を防止する為、上記刻印確認カメラ２５３で一側或いは
他側の刻印を確認し、確実に一側ディスク３Ａ及び他側
ディスク３Ｂを仕分けする。

【００５０】また、上記ディスク積載テ−ブル２８０の
他に、上記欠陥検査機２５２で欠陥ディスクと判定され
たディスクが積載される欠陥ディスク積載ポ−ル２７０
がある。上記欠陥ディスク積載ポ−ル２７０は、欠陥デ
ィスクと判定された一側ディスク３Ａが積載される欠陥
一側ディスク積載ポ−ル２７０Ａと、欠陥ディスクと判
定された他側ディスク３Ｂが積載される欠陥他側ディス
ク積載ポ−ル２７０Ｂとを備える。上記欠陥一側ディス
ク積載ポ−ル２７０Ａ及び欠陥他側ディスク積載ポ−ル
２７０Ｂは、それぞれ垂直に立てられたポ−ルを有す
る。上記ポ−ルは、上記ディスクのセンタ−ホ−ル４に
通る直径を有する。そして、上記欠陥ディスクと判定さ
れた一側ディスク３Ａ或いは他側ディスク３Ｂは、上記
排出装置２６０によって上記欠陥一側ディスク積載ポ−
ル２７０Ａ或いは欠陥他側ディスク積載ポ−ル２７０Ｂ
それぞれに平積みに積載されてゆくものである。

【００５１】次に、図１及び図１３を参照して上記ディ
スク積載テ−ブル２８０を説明する。上記ディスク積載
テ−ブル２８０は、上記一側ディスク３Ａを積載する一
側ディスク積載テ−ブル２８０Ａと、上記他側ディスク
３Ｂを積載する他側ディスク積載テ−ブル２８０Ｂとを
備えている。上記一側及び他側ディスク積載テ−ブル２
８０Ａ、２８０Ｂは、それぞれ複数のディスク積載部２
８３を有する回動可能なテ−ブルである。上記ディスク
積載部２８３は、上記一側及び他側ディスク積載テ−ブ
ル２８０Ａ、２８０Ｂ上で円周に沿って配置されてい
る。上記ディスク積載部２８３は、垂直に立てられたポ
−ル２８３ａと、このポ−ル２８３ａの下部で連結して
いる底部円板２８３ｂとを備えている。上記ポ−ル２８
３ａは、上記一側ディスク３Ａ或いは他側ディスク３Ｂ
のセンタホ−ル４に通る直径を有する。そして、上記デ
ィスク積載部２８３は、上記ディスク積載テ−ブル２８
０から取り外し可能である。

【００５２】上記ディスク積載部２８３には、上記一側
ディスク３Ａ或いは他側ディスク３Ｂが平積みに積載さ
れる。そして、１つのディスク積載部２８３に所定枚数
のディスクが積載されると、上記ディスク積載テ−ブル
２８０が回転し、新しいディスク積載部２８３が積載位
置に位置する。上記一側或いは他側ディスク３Ａ、３Ｂ
が積載されたディスク積載部２８３は、ディスクを積載
したまま、次の装置へ運ばれる。尚、この例では、１つ
のディスク積載部２８３に１５０枚の一側ディスク３Ａ
或いは他側ディスク３Ｂが積載される。

【００５３】以上は前工程の装置を説明した。次に、図
２及び図１４から図２５を参照して後工程の製造装置を
説明する。この後工程の装置は、上記一側及び他側ディ
スク３Ａ、３Ｂの貼合せ工程の装置であって、ディスク
供給装置３００と、ディク糊付装置４００と、ディスク
受け装置５００と、糊付ディスク搬送装置６００と、デ
ィスク貼合せ装置７００と、ディスク検査排出装置８０
０とから成る。

【００５４】上記ディスク供給装置３００は、一側ディ
スク供給装置３１０Ａと、他側ディスク供給装置３１０
Ｂとを備えている。

【００５５】上記一側ディスク供給装置３１０Ａは、一
側ディスク供給テ−ブル３２０Ａと、一側ディスク搬送
装置３３０Ａと、一側ディスク配置テ−ブル３４０Ａ
と、一側ディスク取り出し装置３５０Ａとを供えてい
る。

【００５６】上記一側ディスク供給テ−ブル３２０Ａ
は、回動可能なテ−ブルであって、この一側ディスク供
給テ−ブル３２０Ａ上の円周に沿って複数の上記ディス
ク積載部２８３が設置される。この例では、上記ディス
ク積載部２８３が６つ設置される。そして、上記一側デ
ィスク供給テ−ブル３２０Ａは、上記各ディスク積載部
２８３を昇降せしめる昇降装置を備えている。

【００５７】次に、上記一側ディスク搬送装置３３０Ａ
は、上記ディスク積載部２８３から上記一側ディスク搬
送テ−ブル３４０Ａへ上記一側ディスク３Ａを１枚づつ
搬送する装置である。上記一側ディスク搬送装置３３０
Ａは、搬送ア−ム３３０ａを備え、この搬送ア−ム３３
０ａの先部３３０ｂに上述した一側吸着搬送装置１３０
Ａの吸着装置１３３と同様の吸着装置が取り付けられて
いる。つまり、上記搬送ア−ム３３０ａが上記ディスク
積載部２８３に積載された一側ディスク３Ａを上から順
次１枚づつ搬送する。この際、上記一側ディスク供給テ
−ブル３２０Ａの昇降装置が上記ディスク積載部２８３
を上記ディスクの搬送速度に合わせて段階的に上昇せし
める。

【００５８】次に、上記一側ディスク配置テ−ブル３４
０Ａは、上記一側ディスク供給テ−ブル３２０Ａから搬
送されてくる一側ディスク３Ａを配置するテ−ブルであ
る。上記一側ディスク配置テ−ブル３４０Ａ上には、円
周に沿って８枚の一側ディスク３Ａが配置可能である。
そして、上記一側ディスク配置テ−ブル３４０Ａは、通
常１ステップづつ平面から見て時計回り方向へ回動す
る。この例では、８ステップで１周する。

【００５９】次に、上記一側ディスク取り出し装置３５
０Ａは、上記一側ディスク配置テ−ブル３４０Ａ上の一
側ディスク３Ａを後述する一側ディスク供給コンベア４
１０Ａの供給位置４１０ａに運ぶ装置である。上記一側
ディスク取り出し装置３５０Ａは、取り出しア−ム３５
１を備えている。上記取り出しア−ム３５１の先部３５
１ａには、上述した一側吸着搬送装置１３０Ａの吸着装
置１３３と同様の吸着装置が取り付けられている。

【００６０】次に、上記一側ディスク供給テ−ブル３２
０Ａと、一側ディスク搬送装置３３０Ａと、一側ディス
ク配置テ−ブル３４０Ａと、一側ディスク取り出し装置
３５０Ａとの関連した動作を説明する。先ず、上記一側
ディスク配置テ−ブル３４０Ａ上の一側ディスク３Ａは
常時連続して１枚づつ後述する一側ディスク供給コンベ
ア４１０Ａに供給されている。つまり、上記一側ディス
ク取り出し装置３５０Ａによって、１枚の一側ディスク
３Ａが取り出し位置３４１から取り出され、後述する一
側ディスク供給コンベア４１０Ａに供給される。そし
て、上記一側ディスク配置テ−ブル３４０Ａから１枚の
一側ディスク３Ａが取り出されると、上記一側ディスク
配置テ−ブル３４０Ａが１ステップだけ回動する。

【００６１】他方、上記一側ディスク配置テ−ブル３４
０Ａ上において、一側ディスク３Ａがなくなった所に
は、上記一側ディスク供給テ−ブル３２０Ａから１枚の
一側ディスク３Ａが供給される。つまり、上記一側ディ
スク供給テ−ブル３２０Ａ上の搬送位置３２１に位置す
る１つのディスク積載部２８３から上記一側ディスク配
置テ−ブル３４０Ａ上の配置位置３４２へ上記一側ディ
スク３Ａが１枚づつ搬送される。言い換えれば通常、上
記一側ディスク配置テ−ブル３４０Ａ上では１枚の一側
ディスク３Ａが排出され、１枚の一側ディスク３Ａが供
給されている。尚、この例では、上記一側ディスク配置
テ−ブル３４０Ａ上の配置位置３４２は、上記取り出し
位置３４１から平面から見て時計回り方向へ２ステップ
の所にあり、上記一側ディスク配置テ−ブル３４０Ａ上
には常時７枚の一側ディスク３Ａがある。

【００６２】上記一側ディスク供給テ−ブル３２０Ａの
搬送位置３２１にある１つのディスク積載部２８３には
１５０枚の一側ディスク３Ａが積載されている。そこ
で、上記１つのディスク積載部２８３に積載された一側
ディスク３Ａがなくなると、上記一側ディスク供給テ−
ブル３２０Ａが回動し、次のディスク積載部２８３に交
換される。この交換時間には７〜８秒を要する。

【００６３】上記一側ディスク配置テ−ブル３４０Ａ上
の一側ディスク３Ａは、上記ディスク積載部２８３の交
換中も連続して後述する一側ディスク供給コンベア４１
０Ａに供給されている。つまり、上記ディスク積載部２
８３の交換中に上記一側ディスク配置テ−ブル３４０Ａ
上の一側ディスク３Ａは、３〜４枚連続して後述する一
側ディスク供給コンベア４１０Ａに供給され、この分だ
け上記一側ディスク配置テ−ブル３４０Ａ上に一側ディ
スク３Ａがない空の所ができる。そこで、上記ディスク
積載部２８３の交換が終了すると上記一側ディスク搬送
装置３３０Ａ及び一側ディスク配置テ−ブル３４０Ａの
動作が自動的に倍速になって上記一側ディスク配置テ−
ブル３４０Ａ上の空の所に上記一側ディスク３Ａが補充
される。

【００６４】次に、上記他側ディスク供給装置３１０Ｂ
について説明すると、この他側ディスク供給装置３１０
Ｂは、上記一側ディスク供給装置３１０Ａと同様の装置
を備えており、他側ディスク供給テ−ブル３２０Ｂと、
他側ディスク搬送装置３３０Ｂと、他側ディスク配置テ
−ブル３４０Ｂと、他側ディスク取り出し装置３５０Ｂ
とを備えている。そして、上記他側ディスク供給装置３
１０Ｂから後述する他側ディスク供給コンベア４１０Ｂ
の供給位置４１０ｂへ上記他側ディスク３Ｂが供給され
るものである。

【００６５】そして、上記一側ディスク供給装置３１０
Ａから後述する一側ディスク供給コンベア４１０Ａヘ供
給される一側ディスク３Ａと、上記他側ディスク供給装
置３１０Ｂから後述する他側ディスク供給コンベア４１
０Ｂへ供給される他側ディスク３Ｂとは、同一タイミン
グで供給される。

【００６６】次に、上記ディスク糊付装置４００につい
て説明する。上記ディスク糊付装置４００は、ディスク
供給コンベア４１０と、糊付け装置４２０と、糊付ディ
スク供給コンベア４３０とを備えている。

【００６７】上記ディスク供給コンベア４１０は、上記
一側ディスク３Ａが搬送される一側ディスク供給コンベ
ア４１０Ａと、上記他側ディスク３Ｂが搬送される他側
ディスク供給コンベア４１０Ｂとを備えている。そし
て、上記一側及ぶ他側ディスク供給コンベア４１０Ａ、
４１０Ｂ上のそれぞれの供給位置４１０ａ、４１０ｂか
ら上記糊付け装置４２０へ上記一側及び他側ディスク３
Ａ、３Ｂそれぞれを搬送するものである。上記一側ディ
スク供給コンベア４１０Ａは、駆動軸及び従動軸を備
え、この２つの軸間に２本の無端ベルトがかけられてい
る。これは、上記他側ディスク供給コンベア４１０Ｂで
も同様である。そして、上記一側ディスク３Ａ及び他側
ディスク３Ｂは、それぞれ上記一側及び他側ディスク供
給コンベア４１０Ａ、４１０Ｂの無端ベルトに載って搬
送される。このとき、上記一側及び他側ディスク３Ａ、
３Ｂは、上記糊付け装置４２０へ同時に１枚づつ供給さ
れる。また、上記コンベア上の一側及び他側ディスク３
Ａ、３Ｂは、保護膜層を上にしている。

【００６８】次に、図２及び図１４を参照すると上記糊
付け装置４２０は、上記一側及び他側ディスク３Ａ、３
Ｂに糊付けする装置である。上記糊付け装置４２０内部
には上下に位置する上部ロ−ラ４２１及び下部ロ−ラ４
２２が配置されている。上記上部ロ−ラ４２１には加温
して溶融させることができるホットメルトタイプの接着
剤が付いている。そして、上記一側及び他側ディスク３
Ａ、３Ｂを、上記上部及び下部ロ−ラ４２１、４２２間
に通し、ディスクの保護膜上に上記接着剤を均一に糊付
けする。上記糊付け装置４２０には、上記一側及び他側
ディスク３Ａ、３Ｂが１枚づつ同時に供給されているの
で、上記一側及び他側ディスク３Ａ、３Ｂは、１枚づつ
同時に糊付けされる。

【００６９】次に、上記糊付ディスク供給コンベア４３
０は、上記糊付けされた一側及び他側ディスク３Ａ、３
Ｂを後述するディスク受け装置５００に搬送するもので
ある。上記糊付ディスク供給コンベア４３０は、上記糊
付けされた一側ディスク３Ａを搬送する糊付一側ディス
ク供給コンベア４３０Ａと、上記糊付けされた他側ディ
スク３Ｂを搬送する糊付他側ディスク供給コンベア４３
０Ｂとを備えている。上記糊付一側ディスク搬送コンベ
ア４３０Ａは、駆動軸及び従動軸を備え、この２つの軸
間に２本の無端ベルトがかけられている。これは、上記
糊付他側ディスク搬送コンベア４３０Ｂでも同様であ
る。そして、上記一側ディスク３Ａ及び他側ディスク３
Ｂは、それぞれ上記糊付一側及び他側ディスク供給コン
ベア４３０Ａ、４３０Ｂの無端ベルトに載って搬送され
る。このとき、上記一側及び他側ディスク３Ａ、３Ｂ
は、後述するディスク受け装置５００へ１枚づつ同時に
供給される。

【００７０】次に、ディスク受け装置５００について説
明する。上記ディスク受け装置５００は、ディスク受け
テ−ブル５１０と、ディスク位置出し装置５２０とを備
えている。

【００７１】上記ディスク受けテ−ブル５１０は、上記
糊付一側ディスク３Ａを受ける一側ディスク受けテ−ブ
ル５１０Ａと、上記糊付他側ディスク３Ｂを受ける他側
ディスク受けテ−ブル５１０Ｂとを備えている。

【００７２】上記一側ディスク受けテ−ブル５１０Ａ
は、回動するテ−ブルであって、この一側ディスク受け
テ−ブル５１０Ａ上には、上記糊付一側ディスク３Ａを
載せる一側ディスク搭載部５１１が配設されている。上
記一側ディスク搭載部５１１は、上記一側ディスク受け
テ−ブル５１０Ａ上に於て円周に沿って４つある。そし
て、上記各一側ディスク搭載部５１１の中央部には、上
記糊付一側ディスク３Ａのセンタ−ホ−ル４に嵌るセン
タ−ピン５１１ａ（図１５及び図１６参照）が垂直に立
っている。

【００７３】次に、上記他側ディスク受けテ−ブル５１
０Ｂは、上記一側ディスク受けテ−ブル５１０Ａと同様
のテ−ブルである。

【００７４】次に、上記ディスク位置出し装置５２０
は、上記糊付一側ディスク３Ａを上記一側ディスク受け
テ−ブル５１０Ａに配置する一側ディスク位置出し装置
５２０Ａと、上記糊付他側ディスク３Ｂを上記他側ディ
スク受けテ−ブル５１０Ｂに配置する他側ディスク位置
出し装置５２０Ｂとを備えている。

【００７５】図１５及び図１６を参照すると、上記一側
ディスク位置出し装置５２０Ａは、ディスク通過開口部
５２１を有するカップ形状を有している。上記ディスク
通過開口部５２１は、上記糊付一側ディスク３Ａが通過
する空間であって、上部から下部にかけて次第にその径
が小さくなっている。言い換えれば、上記一側ディスク
位置出し装置５２０Ａの周壁５２２は、上部５２２ａか
ら下部５２２ｂにかけて内側に傾斜している。この例で
は、上記周壁５２２の下部５２２ｂの上記ディスク通過
開口部５２１の径は、上記一側ディスク３Ａの径よりも
０．５ｍｍ大きく、上記一側ディスク３Ａが楽に通過す
る。

【００７６】また、上記一側ディスク位置出し装置５２
０Ａの周壁５２２の上部５２２ａには、上記糊付一側デ
ィスク供給コンベア４３０Ａの長手方向に沿うガイド部
５２３が並行に２つ形成されている。上記ガイド部５２
３は、上記糊付一側ディスク供給コンベア４３０Ａの両
側に位置し、上記糊付一側ディスク供給コンベア４３０
Ａから上記一側ディスク位置出し装置５２０Ａへ上記一
側ディスク３Ａが入るとき、上記一側ディスク３Ａをガ
イドするものである。

【００７７】更に、上記一側ディスク位置出し装置５２
０Ａの周壁５２２の下部５２２ｂには、上記一側ディス
ク受けテ−ブル５１０Ａの一側ディスク搭載部５１１の
センタ−ピン５１１ａを通過可能にせしめるセンタ−ピ
ン通過切欠部５２４が形成されている。上記センタ−ピ
ン通過切欠部５２４は、上記センタ−ピン５１１ａの回
動軌道上に位置し、上記周壁５２２に２箇所有する。

【００７８】そして、上記一側ディスク位置出し装置５
２０Ａは、上記糊付一側ディスク３Ａが上記糊付一側デ
ィスク供給コンベア４３０Ａによって搬送される先に固
定されて位置している。上記一側ディスク位置出し装置
５２０Ａの周壁５２２の上端部５２２ｃは、上記糊付一
側ディスク供給コンベア４３０Ａの上端部４３０ａより
も低い位置にある。また、上記周壁５２２の下端部５２
２ｄは、上記一側ディスク受けテ−ブル５１０Ａの一側
ディスク搭載部５１１の上面５１１ｂからやや浮いた状
態の位置にある。そして、上記一側ディスク位置出し装
置５２０Ａは、この例では上記糊付一側ディスク供給コ
ンベア４３０Ａに固定部材を用いて固定されている。
尚、上記一側ディスク位置出し装置５２０Ａは、アルミ
材から成り、表面をテフロン加工している。これによ
り、上記糊付一側ディスク３Ａが上記一側ディスク位置
出し装置５２０Ａ内に入ったとき、滑り易い。

【００７９】次に、上記一側ディスク位置出し装置５２
０Ａの働きを説明する。先ず、上記一側ディスク受けテ
−ブル５１０Ａが回動し、上記一側ディスク位置出し装
置５２０Ａの下方に、一側ディスク３Ａが搭載されてい
ない空の一側ディスク搭載部５１１が位置する。次に、
上記糊付一側ディスク供給コンベア４３０Ａによって搬
送されてきた糊付一側ディスク３Ａが、上記一側ディス
ク位置出し装置５２０Ａ内に自然落下して入る。このと
き、上記糊付一側ディスク３Ａは糊付面が上のまま上記
一側ディスク位置出し装置５２０Ａ内に入る。上記一側
ディスク位置出し装置５２０Ａ内に入った上記糊付一側
ディスク３Ａは、ディスク通過開口部５２１を通過し、
上記一側ディスク搭載部５１１上に位置する。このと
き、上記一側ディスク搭載部５１１のセンタ−ピン５１
１ａが上記糊付一側ディスク３Ａのセンタ−ホ−ル４に
嵌る。つまり、上記糊付一側ディスク３Ａは、停止する
ことなく上記一側ディスク受けテ−ブル５１０Ａに搭載
される。この後、上記一側ディスク受けテ−ブル５１０
Ａが１ステップだけ回動し、上記一側ディスク位置出し
装置５２０Ａの下方に次の一側ディスク搭載部５１１が
位置する。そして、以下上記動作が連続して繰り返され
る。

【００８０】次に、上記他側ディスク位置出し装置５２
０Ｂについて説明する。上記他側ディスク位置出し装置
５２０Ｂは、上記一側ディスク位置出し装置５２０Ａと
同様の装置であって、上記他側ディスク受けテ−ブル５
１０Ｂに上記糊付他側ディスク３Ｂを位置せしめるもの
である。そして、上記糊付他側ディスク供給コンベア４
３０Ｂから上記他側ディスク受けテ−ブル５１０Ｂへの
上記糊付他側ディスク３Ｂの受け渡しは、上記糊付一側
ディスク３Ａの受け渡しと同時に行なわれる。つまり、
上記一側及び他側ディスク受けテ−ブル５１０Ａ、５１
０Ｂには、上記糊付一側及び他側ディスク３Ａ、３Ｂそ
れぞれが同時に受け渡される。

【００８１】上記ディスク位置出し装置５２０による
と、上記糊付ディスク供給ゴンベア４３０から上記ディ
スク受けテ−ブル５１０へ上記糊付一側或いは他側ディ
スク３Ａ、３Ｂが受け渡されるとき、上記糊付ディスク
供給コンベア４３０を停止することがない。これによ
り、上記糊付一側或いは他側ディスク３Ａ、３Ｂの裏面
である透過面に上記糊付ディスク供給コンベア４３０の
スリップ跡、傷等が付かない。また、上記受け渡し時に
他の搬送装置を必要としない。加えて、上記ディスクの
糊付面及び裏面の透過面に上記他の搬送装置部材の接触
がないので、傷等が付かない。更に、上記受け渡しが正
確に行なえるものである。

【００８２】次に、図２及び図１７から図１９を参照し
て上記糊付ディスク搬送装置６００を説明する。上記糊
付ディスク搬送装置６００は、上記一側ディスク受けテ
−ブル５１０Ａから後述するディスク貼合せ装置７００
へ上記糊付一側ディスク３Ａを搬送する糊付一側ディス
ク搬送装置６００Ａと、上記他側ディスク受けテ−ブル
５１０Ｂから後述するディスク貼合せ装置７００へ上記
糊付他側ディスク３Ｂを搬送する糊付他側ディスク搬送
装置６００Ｂとを備えている。

【００８３】上記糊付一側ディスク搬送装置６００Ａ
は、先部にディスク挟持部６１０を備えている。上記デ
ィスク挟持部６１０は、前後方向Ｙに移動し、１枚の上
記糊付一側ディスク３Ａを側面から挟む。そして、上記
一側ディスク受けテ−ブル５１０Ａの挟持位置５１２Ａ
で上記糊付一側ディスク３Ａを挟んだ上記糊付一側ディ
スク搬送装置６００Ａは、平面から見て時計回りに回動
し、後述するディスク貼合せ装置７００の糊付一側ディ
スク搭載位置７１１Ａに上記糊付一側ディスク３Ａを搭
載する。このとき、上記糊付一側ディスク３Ａの糊付面
を上にして搭載する。尚、この例では上記ディスク挟持
部６１０は、一方及び他方が前後方向Ｙに沿って５ｍｍ
づつ移動する。

【００８４】次に、上記糊付他側ディスク搬送装置６０
０Ｂは、上記糊付一側ディスク搬送装置６００Ａと同様
の装置であって、上記他側ディスク受けテ−ブル５１０
Ｂの挟持位置５１２Ｂで上記糊付他側ディスク３Ｂを挟
んだ上記糊付他側ディスク搬送装置６００Ｂは、平面か
ら見て反時計回りに回動する。この際、上記糊付他側デ
ィスク搬送装置６００Ｂのディスク挟持部６１０は１８
０°回転し、上記糊付他側ディスク３Ｂの糊付面を下に
する（図１９参照）。そして、後述するディスク貼合せ
装置７００の糊付他側ディスク搭載位置７１１Ｂに位置
する上記糊付一側ディスク３Ａ上に上記糊付他側ディス
ク３Ａを搭載する。

【００８５】次に、上記ディスク貼合せ装置７００は、
ディスク貼合せテ−ブル７１０と、プレス装置７２０
と、貼合せディスク搬送装置７３０とを備えている。

【００８６】上記ディスク貼合せテ−ブル７１０は、８
箇所のディスク搭載部７１３を有し、このディスク搭載
部７１３は、上記ディスク貼合せテ−ブル７１０上にお
いて円周に沿って位置する。上記ディスク搭載部７１３
には、上記ディスク貼合せテ−ブル７１０と分離可能な
トレ−７１４がある。そして、上記ディスク貼合せテ−
ブル７１０は平面から見て時計回りに１ステップづつ回
動する。

【００８７】即ち、先ず上記糊付一側ディスク搭載位置
７１１Ａのトレ−７１４上に上記糊付一側ディスク３Ａ
が糊付面を上にして搭載される。次に、上記ディスク貼
合せテ−ブル７１０は１ステップだけ回動する。これに
より、上記糊付一側ディスク３Ａは、上記糊付他側ディ
スク搭載位置７１１Ｂに位置する。次に、上記糊付他側
ディスク３Ａ上に上記糊付他側ディスク３Ｂが糊付面を
下にして搭載されるものである。つまり、上記一側及び
他側ディスク３Ａ、３Ｂが重ねられる。そして、この糊
付他側ディスク搭載位置７１１Ｂでは、上記重ねた一側
及び他側ディスク３Ａ、３Ｂを仮プレスする。上記仮プ
レスには、仮プレス装置７４０が用いられる。図２０を
参照すると、上記仮プレス装置７４０は、下降シリンダ
−７４１を備えている。上記下降シリンダ−７４１は、
上記重ねたディスクの上方から下降し、上記重ねたディ
スクを押圧する。

【００８８】次に、上記プレス装置７２０は、上記重ね
たディスクをプレスする装置である。図２１を参照する
と、上記プレス装置７２０は、底のベ−スプレ−ト７２
１と、上記重ねたディスクをトレ−７１４ごと上方に突
き上げるシリンダ−７２２と、上記シリンダ−７１３突
き上げられた重ねディスクが押圧されるプレス受け７２
２とを備えている。

【００８９】即ち、上記ディスク貼合せテ−ブル７１０
の糊付他側ディスク搭載位置７１１Ｂで重ねられた一側
及び他側ディスク３Ａ、３Ｂは、この重ねられた状態で
１ステップ進み、上記プレス装置７２０内部に入る。上
記プレス装置７２０内部に入ったディスクは、上記シリ
ンダ−７２２に上記トレ−７１４ごと突き上げられる。
そして、上記突き上げられたディスクは、上記プレス受
け７２３に押圧され、この動作が以下３回行なわれ、上
記ディスクは合計４回プレスされる。

【００９０】そして、上記プレスされたディスクは、貼
合せディスク５として上記プレス装置７２０から出てき
て、上記ディスク貼合せテ−ブル７１０の予備位置７１
５に位置する。次に、上記貼合せディスク５は、上記予
備位置７１５から排出位置７１２へ１ステップだけ進
む。

【００９１】次に、上記貼合せディスク搬送装置７３０
は、上記排出位置７１２に位置した貼合せディスク５を
後述するディスク検査排出装置８００に搬送する装置で
ある。上記貼合せディスク搬送装置７３０は、回動する
ア−ム７３１を備え、このア−ム７３１の先部７３１ａ
に上記一側吸着搬送装置１３０Ａの吸着装置１３３と同
様の吸着装置を備えている。そして、上記貼合せディス
ク搬送装置７３０は、上記貼合せディスク５を後述する
ディスク検査排出装置８００の形成検査テ−ブル８１０
の搭載位置８１１に搭載する。

【００９２】次に、上記ディスク検査排出装置８００に
ついて説明する。上記ディスク検査排出装置８００は、
形成検査テ−ブル８１０と、外周形成装置８２０と、除
電装置８３０と、欠陥検査装置８４０と、刻印読取装置
８６０と、排出装置８７０とを備えている。

【００９３】上記形成検査テ−ブル８１０は、この形成
検査テ−ブル８１０上に、円周に沿って６つの貼合せデ
ィスク搭載部８１１を有し、平面から見て反時計回りに
回動する。

【００９４】上記外周形成装置８２０は、上記一側及び
他側ディスク３Ａ、３Ｂの貼合せで外周部にはみ出た糊
等を取り除き、貼合せディスク５の端面を形成する装置
であって、上記貼合せディスク５を高速回転せしめる回
転部と、上記貼合せディスク５の端面を切削する刃物と
を備えている。

【００９５】上記除電装置８３０は、上記外周形成装置
８２０において切削された切削粉を、静電除去しながら
吸収する装置であって、上記貼合せディスクをクリヤ−
にするものである。

【００９６】上記欠陥検査装置８４０は、上記貼合せデ
ィスク５の表面及び裏面に付着した塵や傷を検査する装
置であって、検査装置本体８４１と、ア−ム８４２と、
欠陥ディスクテ−ブル８４３を備えている。上記ア−ム
８４２の先部８４２ａには上記一側吸着搬送装置１３０
Ａの吸着装置１３３と同様の吸着装置が取り付けられて
いる。また、上記欠陥ディスクテ−ブル８４３には、２
本のポ−ルが垂直に立てられている。上記ポ−ルは欠陥
ディスクと判定された貼合せディスク５のセンタ−ホ−
ルに嵌るものである。

【００９７】つまり、上記形成検査テ−ブル８１０の検
査位置８１３にきた上記貼合せディスク５は、上記ア−
ム８４２によって吸着保持され、上記検査装置本体８４
１内部に搬送され、検査される。その結果、良好な貼合
せディスクは、上記検査位置８１３に返却され、そのま
ま次のステップへ進み、欠陥の貼合せディスク５は、上
記ア−ム８４２に吸着保持され、上記欠陥ディスクテ−
ブル８４３のポ−ルに投下される。

【００９８】上記刻印読取装置８６０は、上記貼合せデ
ィスク５の一側ディスク３Ａ及び他側ディスク３Ｂのそ
れぞれ異なった刻印番号を認識する装置である。上記刻
印読取装置８６０は、取り出しア−ム８６１を備えてい
る。上記取り出しア−ム８６１は、上記貼合せディスク
５の側面を両側から挟持するディスク保持部８６１ａを
備えている（図２２及び図２３参照）。

【００９９】即ち、上記刻印読取装置８６０は、上記形
成検査テ−ブル８１０の刻印読取位置８１４から上記貼
合せディスク５を引き出す。次に、上記貼合せディスク
５の他側ディスク３Ｂの刻印番号の良否が判定される。
次に、上記確認した刻印番号が他側ディスク３Ｂのもの
であった場合、上記取り出しア−ム８６１が１８０°回
転し、上記貼合せディスクを反転せしめる。逆に、上記
確認した刻印番号が他側ディスク３Ｂのものでない場
合、上記取り出しア−ム８６１が上記形成検査テ−ブル
８１０の刻印読取位置８１４に上記貼合せディスクを返
却する。上記他側ディスク３Ｂの刻印番号が確認され反
転された貼合せディスク５は、今度は一側ディスク３Ａ
の刻印番号が確認され、良否が判定される。この後、上
記貼合せディスク５は、上記形成検査テ−ブル８１０の
刻印読取位置８１４に返却される。

【０１００】次に、上記排出装置８７０は、上記貼合せ
ディスクを形成検査テ−ブル８１０から排出する装置で
ある。上記排出装置８７０は、排出ア−ム８７１と、貼
合せディスクテ−ブル８７２と、欠陥貼合せディスクテ
−ブル８７３とを備えている。

【０１０１】上記排出ア−ム８７１は、上記形成検査テ
−ブル８１０の排出位置８１５から上記貼合せディスク
５を排出するア−ムである。

【０１０２】上記貼合せディスクテ−ブル８７２は、製
品としての貼合せディスク５をストックするテ−ブルで
ある。この貼合せディスクテ−ブル８７２には５本のポ
−ルが円周に沿って垂直に立てられている。上記各ポ−
ルは、上記貼合せディスク５のセンタ−ホ−ルに嵌る。
そして、上記１本のポ−ルに上記貼合せディスク５が積
載され、いっぱいになると、上記貼合せディスクテ−ブ
ル８７２が回動し、次のポ−ルに上記貼合せディスク５
が積載されてゆく。

【０１０３】上記欠陥貼合せディスクテ−ブル８７３
は、欠陥の貼合せディスク５をストックするテ−ブルで
ある。この欠陥貼合せディスクテ−ブル８７３には２本
のポ−ルが円周に沿って垂直に立てられている。上記各
ポ−ルは、欠陥貼合せディスク５のセンタ−ホ−ルに嵌
る。そして、上記１本のポ−ルに欠陥貼合せディスク５
が積載され、いっぱいになると、上記欠陥貼合せディス
クテ−ブル８７３が回動し、次のポ−ルに上記欠陥貼合
せディスク５が積載される。つまり、上記刻印読取装置
８６０で良否を判定した貼合せディスクは、制御系統に
よって認識されており、上記排出位置８１５にきた貼合
せディスク５は自動的に仕分けされる。

【０１０４】以上のように、上記製造装置によると、製
品としての貼合せディスク５、つまり、２枚のディスク
が貼り合されて成る光学式情報記録媒体を得ることがで
きる。上記光学式情報記録媒体は、２枚のディスクの上
記保護膜層８の面どうしが貼り合されていて、表面及び
裏面が透過面と成っている。尚、９を金属反射膜層、１
０を糊付層とする（図２４及び図２５参照）。

【０１０５】

【発明の効果】以上詳述した如く、上記光学式情報記録
媒体の製造装置によると、記録膜層及び金属反射膜層並
びに保護膜層が形成された一側ディスク及び他側ディス
クを成形せしめ、以ってこの２枚のディスク、つまり上
記一側ディスク及び他側ディスクを貼り合せて成る光学
式情報記録媒体の製造装置を具体的に示すことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置の前工
程の製造装置を示した平面図である。

【図２】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置の後工
程の製造装置を示した平面図である。

【図３】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置の一側
１次冷却装置及び一側２次冷却装置を簡略的に示した平
面図である。

【図４】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置の一側
ディスクの平面図である。

【図５】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置の一側
１次冷却装置の吸着装置を示した側面図である。

【図６】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置の一側
吸着搬送装置の吸着装置を示した側面図である。

【図７】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置の一側
吸着搬送装置の吸着装置を示した平面図である。

【図８】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置の一側
２次冷却装置の内部側面図である。

【図９】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置の一側
２次冷却装置を簡略的に示した平面図である。

【図１０】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置の一
側２次冷却装置の保持装置の受片を示した断面拡大図で
ある。

【図１１】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置の一
側２次冷却装置の保持装置の天部カバ−を取った状態の
平面図である。

【図１２】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置の一
側２次冷却装置の保持装置の部分拡大平面図である。

【図１３】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置の一
側ディスク積載テ−ブルの簡略的な側面図である。

【図１４】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置の糊
付装置を簡略的に示した側面図である。

【図１５】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置の一
側ディスク位置出し装置の平面図である。

【図１６】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置の一
側ディスク位置だし装置の側面断面図である。

【図１７】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置の糊
付一側ディスク搬送装置の平面図である。

【図１８】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置の糊
付一側ディスク搬送装置の側面図である。

【図１９】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置の糊
付一側ディスク搬送装置の図１５のＤ−Ｄ線に沿った縦
断断面である。

【図２０】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置の仮
プレス装置の側面図である。

【図２１】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置のプ
レス装置の側面図である。

【図２２】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置の刻
印読取装置の平面図である。

【図２３】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置の刻
印読取装置の図２２のＥ−Ｅ線に沿った縦断断面図であ
る。

【図２４】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置の光
学式情報記録媒体の平面図である。

【図２５】本発明の光学式情報記録媒体の製造装置の光
学式情報記録媒体の図２４のＧ−Ｇ線に沿った縦断側面
図である。

【符号の説明】

１１０Ａ 一側成形機 １１０Ｂ 他側成形機 １２０Ａ 一側１次冷却装置 １２０Ｂ 他側１次冷却装置 １３０Ａ 一側吸着搬送装置 １３０Ｂ 他側吸着搬送装置 １４０Ａ 一側２次冷却装置 １４０Ｂ 他側２次冷却装置 １６０Ａ 一側搬送装置 １６０Ｂ 他側搬送装置 ２１０ 搬送テ−ブル ２２０ 金属反射膜成膜装置 ２３０ 取り出し搬送装置 ２４０ 保護膜塗布装置 ２５０ 検査テ−ブル ２５１ 搬送装置 ２５２ 欠陥検査機 ２５３ 刻印確認カメラ ２６０ 排出装置 ２７０ 欠陥ディスク積載ポ−ル ２８０ ディスク積載ポ−ル ３００ ディスク供給装置 ４００ ディスク糊付装置 ５００ ディスク受け装置 ６００ 糊付ディスク搬送装置 ７００ ディスク貼合せ装置 ８００ ディスク検査排出装置

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光学的に記録・再生可能な記録層が形成
   された一側ディスク基板２Ａに金属反射膜層及び保護膜
   層を成形せしめた一側ディスク３Ａと、光学的に記録・
   再生可能な記録層が形成された他側ディスク基板２Ｂに
   金属反射膜層及び保護膜層を成形せしめた他側ディスク
   ３Ｂと、の２枚のディスクが貼り合わされて成る光学式
   情報記録媒体の製造装置に於て；上記光学式情報記録媒
   体の製造装置は、前工程の装置と、後工程の装置と、か
   ら成り、 上記前工程の装置は、上記一側ディスク基板２Ａを成形
   ・搬送せしめる装置と、上記他側ディスク基板２Ｂを成
   形・搬送せしめる装置と、上記一側及び他側ディスク基
   板２Ａ、２Ｂに金属反射膜層及び保護膜層を成形せし
   め、搬送せしめる装置と、から成り、 上記一側ディスク基板２Ａを成形・搬送せしめる装置
   は、上記記録層が形成された一側ディスク基板２Ａを成
   形せしめる一側成形機１１０Ａと、上記一側成形機１１
   ０Ａから上記一側ディスク基板２Ａを取り出し、取り出
   した一側ディスク基板２Ａを垂直平面内の円周に沿って
   垂直に保持せしめた状態で冷却する一側１次冷却装置１
   ２０Ａと、上記一側１次冷却装置１２０Ａに保持された
   一側ディスク基板２Ａのクランピングエリア６を吸引保
   持して上記一側ディスク基板２Ａを搬送せしめる一側吸
   着搬送装置１３０Ａと、上記一側吸着搬送装置１３０Ａ
   によって搬送されてきた一側ディスク基板２Ａを水平平
   面内の円周に沿って垂直に保持せしめた状態で冷却する
   一側２次冷却装置１４０Ａと、上記一側２次冷却装置１
   ４０Ａに保持された一側ディスク基板２Ａの吸引領域部
   ２ｂを吸引保持して上記一側ディスク基板２Ａを搬送せ
   しめる一側搬送装置１６０Ａとから成り、 上記他側ディスク基板２Ｂを成形・搬送せしめる装置
   は、上記記録層が形成された他側ディスク基板２Ｂを成
   形せしめる他側成形機１１０Ｂと、上記他側成形機１１
   ０Ｂから上記他側ディスク基板２Ｂを取り出し、取り出
   した他側ディスク基板２Ｂを垂直平面内の円周に沿って
   垂直に保持せしめた状態で冷却する他側１次冷却装置１
   ２０Ｂと、上記他側１次冷却装置１２０Ｂに保持された
   他側ディスク基板２Ｂのクランピングエリア６を吸引保
   持して上記他側ディスク基板２Ｂを搬送せしめる他側吸
   着搬送装置１３０Ｂと、上記他側吸着搬送装置１３０Ｂ
   によって搬送されてきた他側ディスク基板２Ｂを水平平
   面内の円周に沿って垂直に保持せしめた状態で冷却する
   他側２次冷却装置１４０Ｂと、上記他側２次冷却装置１
   ４０Ｂに保持された他側ディスク基板２Ｂの吸引領域部
   ２ｂを吸引保持して上記他側ディスク基板２Ｂを搬送せ
   しめる他側搬送装置１６０Ｂとから成り、 上記一側及び他側ディスク基板２Ａ、２Ｂに金属反射膜
   層及び保護膜層を成形せしめ、搬送せしめる装置は、上
   記一側搬送装置１６０Ａ及び他側搬送装置１６０Ｂそれ
   ぞれから搬送されてくる一側ディスク基板２Ａ及び他側
   ディスク基板２Ｂを異なる時期に搭載する搬送テ−ブル
   ２１０と、上記搬送テ−ブル２１０上に搭載された一側
   及び他側ディスク基板２Ａ、２Ｂの記録層に金属反射膜
   層を成形せしめる金属反射膜成膜装置２２０と、上記金
   属反射膜層が成形された一側及び他側ディスク基板２
   Ａ、２Ｂを上記搬送テ−ブル２１０から搬送せしめる取
   り出し搬送装置２３０と、上記取り出し搬送装置２３０
   によって上記搬送テ−ブル２１０から搬送された一側及
   び他側ディスク基板２Ａ、２Ｂの金属反射膜層に保護膜
   層を成形せしめる保護膜塗布装置２４０と、上記取り出
   し搬送装置２３０によって搬送されくる上記金属反射膜
   層及び保護膜層が成形された一側ディスク３Ａ及び他側
   ディスク３Ｂを異なる時期に搭載する検査テ−ブル２５
   ０と、上記検査テ−ブル２５０上の一側及び他側ディス
   ク３Ａ、３Ｂを乾燥せしめる乾燥装置２５１と、上記検
   査テ−ブル２５０上の一側及び他側ディスク３Ａ、３Ｂ
   の塵付着・傷による欠陥及び保護膜塗布欠陥の検査を行
   なう欠陥検査機２５２と、上記検査テ−ブル２５０上に
   搭載された一側及び他側ディスク３Ａ、３Ｂのそれぞれ
   の刻印を確認せしめる刻印確認カメラ２５３と、上記検
   査テ−ブル２５０上の一側及び他側ディスク３Ａ、３Ｂ
   を仕分けして排出せしめると共に、上記刻印確認カメラ
   ２５３によって正常な刻印が確認されなかった一側及び
   他側ディスク３Ａ、３Ｂを上記検査テ−ブル２５０から
   排出せしめる排出装置２６０と、上記排出装置２６０に
   よって排出された欠陥がある一側及び他側ディスク３
   Ａ、３Ｂをそれぞれ積載せしめる欠陥一側ディスク積載
   ポ−ル２７０Ａ、及び欠陥他側ディスク積載テ−ブル２
   ７０Ｂから成る欠陥ディスク積載ポ−ル２７０と、上記
   排出装置２６０によって排出された一側及び他側ディス
   ク３Ａ、３Ｂをそれぞれ積載せしめる一側ディスク積載
   テ−ブル２８０Ａ、及び他側ディスク積載テ−ブル２８
   ０Ｂから成るディスク積載テ−ブル２８０と、から成
   り、 上記後工程の装置は、上記前工程の装置のディスク積載
   テ−ブル２８０に仕分けされて積載された一側及び他側
   ディスク３Ａ、３Ｂを搬送せしめるディスク供給装置３
   ００と、上記ディスク供給装置３００から同時に供給さ
   れる一側及び他側ディスク３Ａ、３Ｂの保護膜層上に糊
   付けするディスク糊付装置４００と、上記ディスク糊付
   装置４００で糊付けされた一側及び他側ディスク３Ａ、
   ３Ｂを受けるディスク受け装置５００と、上記ディスク
   受け装置５００にある一側及び他側ディスク３Ａ、３Ｂ
   をこのディスク受け装置５００から取り出し搬送せしめ
   る糊付ディスク搬送装置６００と、上記糊付ディスク搬
   送装置６００によって搬送されてきた上記糊付一側及び
   他側ディスク３Ａ、３Ｂを貼り合せるディスク貼合せ装
   置７００と、上記ディスク貼合せ装置７００によって貼
   り合された貼合せディスクを検査・排出するディスク検
   査排出装置８００とから成り、 上記ディスク供給装置３００は、上記一側ディスク３Ａ
   を搬送せしめる一側ディスク供給装置３１０Ａと、上記
   他側ディスク３Ｂを搬送せしめる他側ディスク搬送装置
   ３１０Ｂと、から成り、 上記一側ディスク供給装置３１０Ａは、上記一側ディス
   ク積載テ−ブル２８０Ａで積載された上記一側ディスク
   ３Ａが積載された状態で位置せしめられる一側ディスク
   供給テ−ブル３２０Ａと、上記一側ディスク供給テ−ブ
   ル３２０Ａから１枚づつ一側ディスク３Ａを搬送せしめ
   る一側ディスク搬送装置３３０Ａと、上記一側ディスク
   搬送装置３３０Ａによって搬送されてくる一側ディスク
   ３Ａを搭載せしめる一側ディスク配置テ−ブル３４０Ａ
   と、上記一側ディスク配置テ−ブル３４０Ａから上記一
   側ディスク３Ａを搬送せしめる一側ディスク取り出し装
   置３５０Ａと、から成り、 上記他側ディスク供給装置３１０Ｂは、上記他側デイス
   ク積載テ−ブル２８０Ｂで積載された上記他側ディスク
   ３Ｂが積載された状態で位置せしめられる他側ディスク
   供給テ−ブル３２０Ｂと、上記他側ディスク供給テ−ブ
   ル３２０Ｂから１枚づつ他側ディスク３Ｂを搬送せしめ
   る他側ディスク搬送装置３３０Ｂと、上記他側ディスク
   搬送装置３３０Ｂによって搬送されてくる他側ディスク
   ３Ｂを搭載せしめる他側ディスク配置テ−ブル３４０Ｂ
   と、上記他側ディスク配置テ−ブル３４０Ｂから上記他
   側ディスク３Ｂを搬送せしめる他側ディスク取り出し装
   置３５０Ｂと、から成り、 上記ディスク糊付装置４００は、上記一側ディスク取り
   出し装置３５０Ａ及び他側ディスク取り出し装置３５０
   Ｂによって搬送されてきた一側及び他側ディスク３Ａ、
   ３Ｂのそれぞれを区分して搬送するディスク供給コンベ
   ア４１０と、上記ディスク供給コンベア４１０によって
   搬送されてきた一側及び他側ディスク３Ａ、３Ｂのそれ
   ぞれを区分せしめて糊付けする糊付装置４２０と、上記
   糊付装置４２０によって糊付けされた一側及び他側ディ
   スク３Ａ、３Ｂのそれぞれを区分して搬送せしめる糊付
   ディスク供給コンベア４３０と、から成り、 上記ディスク受け装置５００は、上記糊付ディスク供給
   コンベア４３０によって搬送されてきた一側ディスク３
   Ａを受ける一側ディスク受けテ−ブル５１０Ａ、及び他
   側ディスク３Ｂを受ける他側ディスク受けテ−ブル５１
   ０Ｂから成るディスク受けテ−ブル５１０と、上記一側
   及び他側ディスク３Ａ、３Ｂを上記ディスク受けテ−ブ
   ル５１０上のそれぞれに位置出しを行なって搭載せしめ
   る為の装置であって、上記糊付一側ディスク３Ａの位置
   出しを行なう一側ディスク位置出し装置５２０Ａ、及び
   上記糊付他側ディスク３Ｂの位置出しを行なう他側ディ
   スク位置出し装置５２０Ｂから成り、上記一側ディスク
   位置出し装置５２０Ａは、上記糊付一側ディスク供給コ
   ンベア４３０Ａによって搬送されてきた一側ディスク３
   Ａを糊付面が上になる状態で落下せしめ、且つ上記一側
   ディスク３Ａを通過せしめる一側ディスク通過開口部５
   ２１が形成されていると共に、上記他側ディスク位置出
   し装置５２０Ｂは、上記糊付他側ディスク供給コンベア
   ４３０Ｂによって搬送されてきた他側ディスク３Ｂを糊
   付面が上になる状態で落下せしめ、且つ上記他側ディス
   ク３Ｂを通過せしめる他側ディスク通過開口部５２１が
   形成されて成るディスク位置出し装置５２０と、から成
   り、 上記糊付ディスク搬送装置６００は、上記一側ディスク
   受けテ−ブル５１０Ａから上記糊付一側ディスク３Ａを
   搬送せしめる糊付一側ディスク搬送装置６００Ａと、上
   記他側ディスク受けテ−ブル５１０Ｂから上記糊付他側
   ディスク３Ｂを搬送せしめる糊付他側ディスク搬送装置
   ６００Ｂと、から成り、 上記ディスク貼合せ装置７００は、上記糊付一側ディス
   ク搬送装置６００Ａによって搬送されてきた糊付一側デ
   ィスク３Ａを糊付面が上になるようにして搭載せしめる
   と共に、上記糊付他側ディスク搬送装置６００Ｂによっ
   て搬送されてきた糊付他側ディスク３Ｂを糊付面が下に
   なるようにして上記糊付一側ディスク３Ａに重ねて搭載
   せしめるディスク貼合せテ−ブル７１０と、上記ディス
   ク貼合せテ−ブル７１０上で重ねられたディスクをプレ
   スするプレス装置７２０と、上記プレス装置７２０によ
   ってプレスされた貼合せディスクを上記ディスク貼合せ
   テ−ブル７１０から搬送せしめる貼合せディスク搬送装
   置７３０と、から成り、 上記ディスク検査排出装置８００は、上記貼合せディス
   ク搬送装置７３０によって搬送されてきた貼合せディス
   クを搭載する形成検査テ−ブル８１０と、上記貼合せデ
   ィスクの外周を切削して形成せしめる外周形成装置８２
   ０と、上記外周形成装置８２０による貼合せディスク外
   周の切削によって生じた切削粉を除電除去しながら吸収
   する除電装置８３０と、上記貼合せディスクの塵付着、
   傷による欠陥を検査し、欠陥ディスクを上記形成検査テ
   −ブル８１０から排出する欠陥検査装置８４０と、上記
   貼合せディスクの一側ディスク３Ａ及び他側ディスク３
   Ｂそれぞれの刻印番号を確認する刻印読取装置８６０
   と、上記形成検査テ−ブル８１０上にあって、上記刻印
   読取装置８６０によって異常が確認されなかった貼合せ
   ディスクを上記形成検査テ−ブル８１０から排出すると
   共に、上記刻印読取装置８６０によって異常が確認され
   た貼合せディスクを上記形成検査テ−ブル８１０から排
   出する排出装置８７０と、から成ることを特徴とする光
   学式情報記録媒体の製造装置。