JPH08297868A - 光学式記録情報媒体の製造装置 - Google Patents
光学式記録情報媒体の製造装置Info
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- JPH08297868A JPH08297868A JP12943895A JP12943895A JPH08297868A JP H08297868 A JPH08297868 A JP H08297868A JP 12943895 A JP12943895 A JP 12943895A JP 12943895 A JP12943895 A JP 12943895A JP H08297868 A JPH08297868 A JP H08297868A
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Abstract
媒体の製造装置。 【構成】 光学的に記録・再生可能な記録層を形成した
一側ディスク基板2A、他側ディスク基板2Bを成形し
た一側成形機110A及び他側成形機110Bから搬送
したディスク基板2A及び2Bを、1次冷却する1次冷
却装置と、基板2A、2Bを2次冷却する2次冷却装置
と、基板の記録層上に金属反射膜層及び保護膜層を成形
し搬送する装置と、ディスク基板に金属反射膜層及び保
護膜層が形成した状態の一側ディスク3A、他側ディス
ク3Bの片側表面に糊付けする装置と、ディスク3A、
3Bの糊付面を上に搬送する装置と、搬送したディスク
を受け、糊付面同しを合せてプレスする装置と、ディス
クを搬送する装置からディスクを受け、糊付面同しを合
せてプレスする装置へディスクの、配置時、ディスクの
糊付面を上にしての位置出し装置を備える。
Description
造装置に係り、更に詳しくは、光学的に記録・再生可能
な記録層が形成された一側ディスク基板に金属反射膜層
及び保護膜層を成形せしめた一側ディスクと、光学的に
記録・再生可能な記録層が形成された他側ディスク基板
に金属反射膜層及び保護膜層を成形せしめた他側ディス
クと、の2枚のディスクが貼り合わされて成る光学式情
報記録媒体の製造装置に関する。
使用されている。上記光学式情報記録媒体は、高い記録
密度、速いアクセス、交換して使用可能、不揮発性等々
の特徴を持ち、ビデオやオ−ディオ等の分野や、情報処
理分野でも広く普及している。
みてみると、円盤状の薄いプラスチックのディスク基板
と、このディスク基板の表面上に凹凸のピット列が形成
された記録膜と、上記記録膜上に成形された金属反射膜
と、上記金属反射膜上に成形された保護膜層と、から成
る。
体の容量を増化させた光学式情報記録媒体の使用が考え
られるようになってきた。この大容量の光学式情報記録
媒体としては、上記記録膜層及び金属反射膜層並びに保
護膜層が形成されたディスクを2枚貼り合せて製造され
るものが考えられている。
せて成る光学式情報記録媒体を製造する製造装置が考え
られるようになってきた。
てみると、上記1枚のディスクから成る光学式情報記録
媒体の製造装置は多々出願されている。そして、この1
枚のディスクから成る光学式情報記録媒体を製造する為
の製造装置の部分部分を寄せ集めて、上記2枚のディス
クを張り合せて成る光学式情報記録媒体を製造する製造
装置も多々考えられる。
分をただ寄せ集めて構成した製造装置は考えられるもの
の、2枚のディスクの貼り合せを行う為の装置と、従来
からある装置とを組み合わせたときの全体の製造装置に
おける全体構成及び配置等が具体的に示されていなかっ
た。この為、上記2枚のディスクを貼り合せて製造せし
める光学式情報記録媒体を製造する為の製造装置を具体
的に示すことが求められていた。
ディスクを張り合せて製造する光学式情報記録媒体の製
造装置であって、上記光学式情報記録媒体を製造する為
の製造装置を具体的に示すことにある。
本発明は次の技術的手段を有する。即ち、実施例に対応
する添付図面中の符号を用いてこれを説明すると、本発
明は光学的に記録・再生可能な記録層が形成された一側
ディスク基板2Aに金属反射膜層及び保護膜層を成形せ
しめた一側ディスク3Aと、光学的に記録・再生可能な
記録層が形成された他側ディスク基板2Bに金属反射膜
層及び保護膜層を成形せしめた他側ディスク3Bと、の
2枚のディスクが貼り合わされて成る光学式情報記録媒
体の製造装置に於て;上記光学式情報記録媒体の製造装
置は、前工程の装置と、後工程の装置と、から成り、上
記前工程の装置は、上記一側ディスク基板2Aを成形・
搬送せしめる装置と、上記他側ディスク基板2Bを成形
・搬送せしめる装置と、上記一側及び他側ディスク基板
2A、2Bに金属反射膜層及び保護膜層を成形せしめ、
搬送せしめる装置と、から成り、上記一側ディスク基板
2Aを成形・搬送せしめる装置は、上記記録層が形成さ
れた一側ディスク基板2Aを成形せしめる一側成形機1
10Aと、上記一側成形機110Aから上記一側ディス
ク基板2Aを取り出し、取り出した一側ディスク基板2
Aを垂直平面内の円周に沿って垂直に保持せしめた状態
で冷却する一側1次冷却装置120Aと、上記一側1次
冷却装置120Aに保持された一側ディスク基板2Aの
吸引領域部2bを吸引保持して上記一側ディスク基板2
Aを搬送せしめる一側吸着搬送装置130Aと、上記一
側吸着搬送装置130Aによって搬送されてきた一側デ
ィスク基板2Aを水平平面内の円周に沿って垂直に保持
せしめた状態で冷却する一側2次冷却装置140Aと、
上記一側2次冷却装置140Aに保持された一側ディス
ク基板2Aの吸引領域部2bを吸引保持して上記一側デ
ィスク基板2Aを搬送せしめる一側搬送装置160Aと
から成り、上記他側ディスク基板2Bを成形・搬送せし
める装置は、上記記録層が形成された他側ディスク基板
2Bを成形せしめる他側成形機110Bと、上記他側成
形機110Bから上記他側ディスク基板2Bを取り出
し、取り出した他側ディスク基板2Bを垂直平面内の円
周に沿って垂直に保持せしめた状態で冷却する他側1次
冷却装置120Bと、上記他側1次冷却装置120Bに
保持された他側ディスク基板2Bのクランピングエリア
6を吸引保持して上記他側ディスク基板2Bを搬送せし
める他側吸着搬送装置130Bと、上記他側吸着搬送装
置130Bによって搬送されてきた他側ディスク基板2
Bを水平平面内の円周に沿って垂直に保持せしめた状態
で冷却する他側2次冷却装置140Bと、上記他側2次
冷却装置140Bに保持された他側ディスク基板2Bの
クランピングエリア6を吸引保持して上記他側ディスク
基板2Bを搬送せしめる他側搬送装置160Bとから成
り、上記一側及び他側ディスク基板2A、2Bに金属反
射膜層及び保護膜層を成形せしめ、搬送せしめる装置
は、上記一側搬送装置160A及び他側搬送装置160
Bそれぞれから搬送されてくる一側ディスク基板2A及
び他側ディスク基板2Bを異なる時期に搭載する搬送テ
−ブル210と、上記搬送テ−ブル210上に搭載され
た一側及び他側ディスク基板2A、2Bの記録層に金属
反射膜層を成形せしめる金属反射膜成膜装置220と、
上記金属反射膜層が成形された一側及び他側ディスク基
板2A、2Bを上記搬送テ−ブル210から搬送せしめ
る取り出し搬送装置230と、上記取り出し搬送装置2
30によって上記搬送テ−ブル210から搬送された一
側及び他側ディスク基板2A、2Bの金属反射膜層に保
護膜層を成形せしめる保護膜塗布装置240と、上記取
り出し搬送装置230によって搬送されくる上記金属反
射膜層及び保護膜層が成形された一側ディスク3A及び
他側ディスク3Bを異なる時期に搭載する検査テ−ブル
250と、上記検査テ−ブル250上の一側及び他側デ
ィスク3A、3Bを乾燥せしめる乾燥装置251と、上
記検査テ−ブル250上の一側及び他側ディスク3A、
3Bの塵付着・傷による欠陥及び保護膜塗布欠陥の検査
を行なう欠陥検査機252と、上記検査テ−ブル250
上に搭載された一側及び他側ディスク3A、3Bのそれ
ぞれの刻印を確認せしめる刻印確認カメラ253と、上
記検査テ−ブル250上の一側及び他側ディスク3A、
3Bを仕分けして排出せしめると共に、上記刻印確認カ
メラ253によって正常な刻印が確認されなかった一側
及び他側ディスク3A、3Bを上記検査テ−ブル250
から排出せしめる排出装置260と、上記排出装置26
0によって排出された欠陥がある一側及び他側ディスク
3A、3Bをそれぞれ積載せしめる欠陥一側ディスク積
載ポ−ル270A、及び欠陥他側ディスク積載テ−ブル
270Bから成る欠陥ディスク積載ポ−ル270と、上
記排出装置260によって排出された一側及び他側ディ
スク3A、3Bをそれぞれ積載せしめる一側ディスク積
載テ−ブル280A、及び他側ディスク積載テ−ブル2
80Bから成るディスク積載テ−ブル280と、から成
り、上記後工程の装置は、上記前工程の装置のディスク
積載テ−ブル280に仕分けされて積載された一側及び
他側ディスク3A、3Bを搬送せしめるディスク供給装
置300と、上記ディスク供給装置300から同時に供
給される一側及び他側ディスク3A、3Bの保護膜層上
に糊付けするディスク糊付装置400と、上記ディスク
糊付装置400で糊付けされた一側及び他側ディスク3
A、3Bを受けるディスク受け装置500と、上記ディ
スク受け装置500にある一側及び他側ディスク3A、
3Bをこのディスク受け装置500から取り出し搬送せ
しめる糊付ディスク搬送装置600と、上記糊付ディス
ク搬送装置600によって搬送されてきた上記糊付一側
及び他側ディスク3A、3Bを貼り合せるディスク貼合
せ装置700と、上記ディスク貼合せ装置700によっ
て貼り合された貼合せディスクを検査・排出するディス
ク検査排出装置800とから成り、上記ディスク供給装
置300は、上記一側ディスク3Aを搬送せしめる一側
ディスク供給装置310Aと、上記他側ディスク3Bを
搬送せしめる他側ディスク搬送装置310Bと、から成
り、上記一側ディスク供給装置310Aは、上記一側デ
ィスク積載テ−ブル280Aで積載された上記一側ディ
スク3Aが積載された状態で位置せしめられる一側ディ
スク供給テ−ブル320Aと、上記一側ディスク供給テ
−ブル320Aから1枚づつ一側ディスク3Aを搬送せ
しめる一側ディスク搬送装置330Aと、上記一側ディ
スク搬送装置330Aによって搬送されてくる一側ディ
スク3Aを搭載せしめる一側ディスク配置テ−ブル34
0Aと、上記一側ディスク配置テ−ブル340Aから上
記一側ディスク3Aを搬送せしめる一側ディスク取り出
し装置350Aと、から成り、上記他側ディスク供給装
置310Bは、上記他側デイスク積載テ−ブル280B
で積載された上記他側ディスク3Bが積載された状態で
位置せしめられる他側ディスク供給テ−ブル320B
と、上記他側ディスク供給テ−ブル320Bから1枚づ
つ他側ディスク3Bを搬送せしめる他側ディスク搬送装
置330Bと、上記他側ディスク搬送装置330Bによ
って搬送されてくる他側ディスク3Bを搭載せしめる他
側ディスク配置テ−ブル340Bと、上記他側ディスク
配置テ−ブル340Bから上記他側ディスク3Bを搬送
せしめる他側ディスク取り出し装置350Bと、から成
り、上記ディスク糊付装置400は、上記一側ディスク
取り出し装置350A及び他側ディスク取り出し装置3
50Bによって搬送されてきた一側及び他側ディスク3
A、3Bのそれぞれを区分して搬送するディスク供給コ
ンベア410と、上記ディスク供給コンベア410によ
って搬送されてきた一側及び他側ディスク3A、3Bの
それぞれを区分せしめて糊付けする糊付装置420と、
上記糊付装置420によって糊付けされた一側及び他側
ディスク3A、3Bのそれぞれを区分して搬送せしめる
糊付ディスク供給コンベア430と、から成り、上記デ
ィスク受け装置500は、上記糊付ディスク供給コンベ
ア430によって搬送されてきた一側ディスク3Aを受
ける一側ディスク受けテ−ブル510A、及び他側ディ
スク3Bを受ける他側ディスク受けテ−ブル510Bか
ら成るディスク受けテ−ブル510と、上記一側及び他
側ディスク3A、3Bを上記ディスク受けテ−ブル51
0上のそれぞれに位置出しを行なって搭載せしめる為の
装置であって、上記糊付一側ディスク3Aの位置出しを
行なう一側ディスク位置出し装置520A、及び上記糊
付他側ディスク3Bの位置出しを行なう他側ディスク位
置出し装置520Bから成り、上記一側ディスク位置出
し装置520Aは、上記糊付一側ディスク供給コンベア
430Aによって搬送されてきた一側ディスク3Aを糊
付面が上になる状態で落下せしめ、且つ上記一側ディス
ク3Aを通過せしめる一側ディスク通過開口部521が
形成されていると共に、上記他側ディスク位置出し装置
520Bは、上記糊付他側ディスク供給コンベア430
Bによって搬送されてきた他側ディスク3Bを糊付面が
上になる状態で落下せしめ、且つ上記他側ディスク3B
を通過せしめる他側ディスク通過開口部521が形成さ
れて成るディスク位置出し装置520と、から成り、上
記糊付ディスク搬送装置600は、上記一側ディスク受
けテ−ブル510Aから上記糊付一側ディスク3Aを搬
送せしめる糊付一側ディスク搬送装置600Aと、上記
他側ディスク受けテ−ブル510Bから上記糊付他側デ
ィスク3Bを搬送せしめる糊付他側ディスク搬送装置6
00Bと、から成り、上記ディスク貼合せ装置700
は、上記糊付一側ディスク搬送装置600Aによって搬
送されてきた糊付一側ディスク3Aを糊付面が上になる
ようにして搭載せしめると共に、上記糊付他側ディスク
搬送装置600Bによって搬送されてきた糊付他側ディ
スク3Bを糊付面が下になるようにして上記糊付一側デ
ィスク3Aに重ねて搭載せしめるディスク貼合せテ−ブ
ル710と、上記ディスク貼合せテ−ブル710上で重
ねられたディスクをプレスするプレス装置720と、上
記プレス装置720によってプレスされた貼合せディス
クを上記ディスク貼合せテ−ブル710から搬送せしめ
る貼合せディスク搬送装置730と、から成り、上記デ
ィスク検査排出装置800は、上記貼合せディスク搬送
装置730によって搬送されてきた貼合せディスクを搭
載する形成検査テ−ブル810と、上記貼合せディスク
の外周を切削して形成せしめる外周形成装置820と、
上記外周形成装置820による貼合せディスク外周の切
削によって生じた切削粉を除電除去しながら吸収する除
電装置830と、上記貼合せディスクの塵付着、傷によ
る欠陥を検査し、欠陥ディスクを上記形成検査テ−ブル
810から排出する欠陥検査装置840と、上記貼合せ
ディスクの一側ディスク3A及び他側ディスク3Bそれ
ぞれの刻印番号を確認する刻印読取装置860と、上記
形成検査テ−ブル810上にあって、上記刻印読取装置
860によって異常が確認されなかった貼合せディスク
を上記形成検査テ−ブル810から排出すると共に、上
記刻印読取装置860によって異常が確認された貼合せ
ディスクを上記形成検査テ−ブル810から排出する排
出装置870と、から成ることを特徴とする光学式情報
記録媒体の製造装置である。
並びに保護膜層が形成された一側ディスク2A及び他側
ディスク2Bを成形せしめ、この2枚の一側及び他側デ
ィスク2A、2Bを貼り合せて成る光学式情報記録媒体
の製造装置を具体的に示すことができる。
する。図1及び図2で示された装置が本発明の光学式情
報記録媒体の製造装置であって、図1で示された装置が
前工程の製造装置、図2で示された装置が後工程の製造
装置である。つまり、本装置は一側ディスク3Aと他側
ディスク3Bとが成形され、この2つのディスクを貼り
合せることによって成形される光学式情報記録媒体の製
造装置である。そして 、本発明では、厚さ0.6mm
の一側ディスク3Aと、厚さ0.6mmの他側ディスク
3Bとを貼り合せて成る1.2mmの光学式情報記録媒
体の製造装置である。
して上記前工程の製造装置の構成を説明する。図3から
図13までは図1で簡略的に示した各装置の部分詳細図
である。この前工程の製造装置は、一側ディスク基板2
Aを成形、搬送せしめる装置と、他側ディスク基板2B
を成形、搬送せしめる装置と、上記一側ディスク基板2
A及び他側ディスク基板2Bに金属反射膜層及び保護膜
層を成形せしめ搬送せしめる装置と、の3つの領域に別
れた装置群から成る。
送せしめる装置について説明する。この装置は、一側成
形機110Aと、一側1次冷却装置120Aと、一側吸
着搬送装置130Aと、一側2次冷却装置140Aと、
一側搬送装置160Aと、から成る。
スク基板2Aを成形せしめる装置である。上記一側ディ
スク基板2Aは、ポリカーボネート、アクリル等の樹脂
材料から成形されたディスク原板に、情報記録信号に対
応したピットが記録されたプラスチック基板である。
上記一側成形機110Aで成形された一側ディスク基板
2Aを上記一側成形機110A内部から搬出せしめ、除
電、除塵、冷却する装置である。詳しくは、冷却槽12
1内部に上記一側ディスク基板2Aを保持する保持装置
122がある。上記保持装置122は、垂直に位置した
円板形状を有し、この保持装置122の表側で円周に沿
って上記一側ディスク基板2Aが保持されている。この
とき、上記保持装置122の面と、上記一側ディスク基
板2Aの面とは、平行になっている。つまり、上記一側
ディスク基板2Aは、上記保持装置122によって垂直
に保持されている(図1及び図3参照)。
基板2Aを真空吸着により保持している。この例では、
上記保持装置122は、10枚の一側ディスク基板2A
を保持することが可能である。この為に上記保持装置1
22は、表面円周に10ケ所の吸着装置123を備えて
いる。また、上記一側1次冷却装置120Aは、除電装
置及び除塵装置を備えている。
えず8枚の一側ディスク基板2Aが保持され、冷却され
ている状態にある。そして、1枚は後述する一側2次冷
却装置140Aに一定時間毎に搬出され、残る1枚は一
定時間毎に上記一側成形機110Aから搬出され、保持
されている状態にある。つまり、上記一側1次冷却装置
120Aには、一定時間毎に一側成形機110Aから1
枚の一側ディスク基板2Aが供給される。このとき、上
記一側ディスク基板2Aの温度は約90゜C〜120゜
Cである。上記一側1次冷却装置120Aに供給された
一側ディスク基板2Aは、上記保持装置122に保持さ
れた状態で保持装置122の中心軸を中心に回動せしめ
られる。このとき、上記一側1次冷却装置120A内部
に導かれた冷却空気によって、上記一側ディスク基板2
Aの温度は60゜Cまで冷却せしめられる。そして、一
定角度回転した上記一側ディスク基板2Aは、後述する
一側2次冷却装置140Aに搬出される。
上記一側ディスク基板2Aを、垂直姿勢で保持している
ので、形状が変化しない。より詳しくは、上記一側ディ
スク基板2Aを一側成形機110Aで成形し、この一側
成形機110Aから搬出した直後は、上記一側ディスク
基板2Aの温度が90゜C〜120゜Cと比較的高い。
この為、上記一側ディスク基板2Aを、例えば水平状態
で保持した場合、ディスクの周縁部からディスク自体が
次第に垂れてくる恐れがあった。そこで、上記一側ディ
スク基板2Aを垂直状態で保持することで、上記垂れが
生じにくく、形状が変化しないものである。
着装置123に着目する。図4及び図5を参照すると、
上記吸着装置123はバキュ−ムパッド123aを備え
ている。上記バキュ−ムパッド123aは、3つの吸引
路123bにつながる3つの吸引孔123Cが形成され
ている。そして、上記各吸引孔123Cは、上記バキュ
−ムパッド123aの吸引面123dに開口している。
上記吸引面123dは、上記一側ディスク基板2Aのセ
ンタ−ホ−ル4を画成するクランピングエリア6の表面
に接触する面である。
ィスク基板2Aを吸着保持したき、バキュ−ムパッド1
23aの吸引面123dが上記一側ディスク基板2Aの
クランピングエリア6の表面に面する。そして、図4に
おいて、上記3つの吸引孔123cが上記一側ディスク
基板2Aのクランピングエリア6に対向する部分を一点
鎖線Fで示している。
−ムパッド123aの吸引面123dが上記一側ディク
ス基板2Aのクランピングエリア6の表面に吸着するこ
とから、上記一側ディスク基板2Aのセンタ−ホ−ル4
やクランピングエリア6、一側ディスク基板2Aの外周
に傷を付けることがない。而も、上記バキュ−ムパッド
123aをゴム等の材料から成形することで、この吸着
装置123からの熱が一側ディスク基板2Aに伝わりに
くく、上記一側ディスク基板2Aの冷却が均等に進行し
易い。更に、上記一側ディスク基板2Aの温度を早期に
所定温度まで(この例では60゜Cまで)冷却すること
ができる。
いて説明する。この一側吸着搬送装置130Aは、上記
一側1次冷却装置120Aから一側2次冷却装置140
Aへ上記一側ディスク基板2Aを搬送せしめる装置であ
る。図1を参照すると、回転軸131を中心にして回動
するア−ム132を備え、このア−ム132の端部に吸
着装置133が取り付けられている。そして、上記吸着
装置133により、上記一側1次冷却装置120A内部
で保持されている一側ディスク基板2Aを吸着保持す
る。そして、上記回転軸131を中心にして上記ア−ム
132を回動せしめる。上記ア−ム132の回動先には
上記一側2次冷却装置140Aがあり、この一側2次冷
却装置140A内部に上記一側ディスク基板2Aを収納
する。
3を説明すると、上記吸着装置133は3つのバキュー
ムパッド133aを備えている。上記各バキュームパッ
ド133aは、吸引路133bにつながる3つの吸引孔
133Cが形成されている。そして、上記各吸引孔13
3Cは、上記各バキュームパッド133aの吸引面13
3dに開口している。上記吸引面133dは、上記一側
ディスク基板2Aのセンターホール4を画成するクラン
ピングエリア6の表面に接触する面である。
ィスク基板2Aを吸着保持したとき、バキュームパッド
133aの吸引面133dが上記一側ディスク基板2A
のクランピングエリア6の表面に面する。
一側2次冷却装置140Aについて説明する。この一側
2次冷却装置140Aは、上記一側1次冷却装置120
Aで60゜Cの温度まで冷却した一側ディスク基板2A
を、更に40゜Cの温度まで冷却し、且つ一時的にディ
スクバッファとして用いる装置である。
141内部に一側ディスク基板2Aを保持する為の保持
装置142が配設されている。この保持装置142は、
モータ143で回転せしめられる出力軸144に下方か
ら軸支されている。更に、上記冷却槽141は、この冷
却槽141内部に冷却空気145を導く管が連結されて
いる。この管は、上記冷却槽141の底部141aに連
結した冷却空気導き管147であって、この冷却空気導
き管147の開口部147aが上記保持装置142の下
方に位置している。そして、上記冷却槽141の内部に
導いた冷却空気145を上記保持装置142に強制的に
導く手段としてファン148が配設されている。上記フ
ァン148は、上記保持装置142と、上記モータ14
3との間に位置し、ファンモータ149によって水平に
回転せしめられる。つまり、このファン148の回転に
より、上記冷却槽141の底部141aから導かれた冷
却空気145は、上記保持装置142に対して下方から
当たる。そして、上記保持装置142を通過した冷却空
気145は、上記冷却槽141の上部141bに連結さ
れた吸込ダクト146から冷却槽141外へ排出され
る。尚、上記冷却槽141内部に導く冷却空気145の
温度は、0°〜10°Cである。また、上記保持装置1
42の下部には除電バー151が配設されている。上記
除電バー151は、上記保持装置142に保持された一
側ディスク基板2A及び上記保持装置142に静電気が
帯電することを防止する手段である。
記保持装置142は、平面から見て円形状を有すると共
に、上下方向Zに沿って厚みTを有し、水平に位置せし
められている。そして、上記一側ディスク基板2Aを保
持する為に、平面からみて上記保持装置142を等分割
に区切った複数の一側ディスク基板収容部142aが形
成されている。
aのうち、隣り合う一側ディスク基板収容部142a
は、区画壁142bによって仕切られている。1つの一
側ディスク基板収容部142aは、平面から見たとき、
保持装置142の半径方向に沿って3つの受片150が
並んで形成されている。上記3つの受片150は、上記
一側ディスク基板2Aを受け止める部分である。そし
て、上記3つの受片150は、側面から見て同一円弧上
に位置し、各隣り合う受片150間には、冷却空気通過
穴142cが形成されている。また、上記一側ディスク
基板収容部142aから見て半径方向内側にも上記冷却
空気通過穴142cが形成されている。上記冷却空気通
過穴142cは、上記保持装置142の上方に位置する
上部空間142d及び下部空間142eに開口してい
る。
あり、この内の1つに着目すると、断面がM字形状に形
成され、開口した部分である谷部150aが上記一側デ
ィスク基板2Aを保持可能な程度の開口角度Rを有して
いる(図10参照)。
枚の一側ディスク基板2Aが位置せしめられる。つま
り、上記一側ディスク基板2Aは、上記3つの受片15
0によって保持装置142上に保持される。このとき上
記一側ディスク基板2Aの面が垂直となるように上記一
側ディスク基板2Aが立った状態で位置する。そして、
上記一側ディスク基板2Aの外周端部7が上記受片15
0に接している。
基板2Aの投入口142fから排出口142gまでの間
に、上記一側ディスク基板2Aを50枚収納せしめるこ
とが可能である。また、上記保持装置142は、平面か
ら見て反時計回りに沿った上記投入口142fから排出
口142gまでの間に、上記保持装置142に保持され
た一側ディスク基板2Aを覆う天部カバ−142hが取
り付けられている。
143によって平面から見て反時計回りに回動せしめら
れる。上記保持装置142は、上記投入口142fから
排出口142gまで回動せしめられる間の約4分間で上
記一側ディスク基板2Aを冷却する。
上記保持装置142によって複数の上記一側ディスク基
板2Aの各々が独立区分されて保持される。而も、この
一側ディスク基板2Aの保持状態は、垂直に立てられた
状態であり、且つ上記受片150によって、上記一側デ
ィスク基板2Aの端面に比較的少ない円弧範囲で上記受
片150を接触せしめている。更に、上記受片150間
に上記冷却空気通過穴142cが形成されている。この
ようにして上記保持装置142に一側ディスク基板2A
を保持することにより、上記保持装置142下部から冷
却空気145を当てたとき、上記一側ディスク基板2A
の各々に万遍なく冷却空気145が当たる。これによ
り、上記各々の一側ディスク基板2Aを効率良く冷却せ
しめ易い。また、上記受片150により一側ディスク基
板2Aを比較的少ない円弧範囲で受けているので、上記
一側ディスク基板2Aに傷が付きにくい。
説明する。この一側搬送装置160Aは、上記一側2次
冷却装置140Aから後述するスパッタ−テ−ブル21
0へ上記一側ディクス基板2Aを搬送せしめる装置であ
る。上記一側搬送装置160Aは、吸着ア−ム161を
備えている。上記吸着ア−ム161は、この吸着ア−ム
161の一側の軸部162を中心に上方へ回動する。そ
して、回動して垂直に立った状態から後述する搬送テ−
ブル210へ向けて回動する。後述する搬送テーブル2
10へ向けての回動は、上記上方への回動に対して直角
を成している。
は、上記一側吸着搬送装置130Aの吸着装置133が
取り付けられている。
搬送する装置について説明する。この装置は、上記一側
ディスク基板2Aを成形、搬送する装置と同様の装置で
ある。即ち、他側成形機110Bと、他側1次冷却装置
120Bと、他側吸着搬送装置130Bと、他側2次冷
却装置140Bと、他側搬送装置160Bとから成る。
ク基板2Bが成形され、上記一側ディスク基板2Aも位
置せしめられる後述する搬送テ−ブ−ル210に搬送さ
れる。
A、2Bに金属反射膜層及び保護膜層を成形し、搬送す
る装置について説明する。この装置は、搬送テ−ブル2
10と、金属反射膜成膜装置220と、取り出し搬送装
置230と、保護膜塗布装置240と、検査テ−ブル2
50と、乾燥装置251と、欠陥検査機252と、刻印
確認カメラ253と、排出装置260と、欠陥ディスク
積載ポ−ル270と、ディスク積載ポ−ル280から成
る。
ブル210上の一側ディスク基板2A或いは他側ディス
ク基板2Bを搬送するテ−ブルである。上記搬送テ−ブ
ル210は、上記一側ディスク基板2Aが搭載位置21
1に搭載されたとき、反時計回りに90°づつ回転し、
上記金属反射膜成膜装置220側へ一側ディスク基板2
Aを搬送する。また、上記他側ディスク基板2Bが搭載
されたとき、時計回りに90°づつ回転し、上記金属反
射膜成膜装置220側へ他側ディスク基板2Bを搬送す
る。
側ディスク基板2A或いは上記他側ディスク基板2Bの
記録層に金属反射膜を成膜する装置である。上記金属反
射膜成膜装置220は、回転ア−ム221を備え、この
回転ア−ム221の両端に上述した一側吸着搬送装置1
30Aの吸着装置133と同様の吸着装置が取り付けら
れている。そして、上記回転ア−ム221の吸着装置が
上記搬送テ−ブル210上の一側ディスク基板2A或い
は他側ディスク基板2Bを吸着せしめた後、180°回
転し、上記金属反射膜成膜装置220内部に上記一側或
いは他側ディスク基板2A、2Bを搬送する。上記金属
反射膜成膜装置220の処理時間は、2.5秒/1枚で
ある。
び他側2次冷却装置140Bのディスクバッファとして
の機能を説明する。例えば、上記一側成形機110A及
び他側成形機110Bの成形速度を1枚/5秒とする。
このとき、50枚のディスク基板を保持可能な上記一側
2次冷却装置140Aでは、1枚の一側ディスク基板2
Aにつき250秒の間保持され、冷却される。そこで、
上記一側2次冷却装置140Aから一側ディスク基板2
Aを50枚続けて上記搬送テ−ブル210へ搬送する。
そして、上記金属反射膜成膜装置220で上記一側ディ
スク基板2Aの成膜が終了する間に、上記他側2次冷却
装置140Bに上記他側ディスク基板2Bをストックす
る。上記金属反射膜成膜装置220の処理時間は、2.
5秒/1枚なので、上記他側ディスク基板2Bがストッ
クされる前に上記一側ディスク基板2Aを十分処理でき
る。そして、上記50枚の一側ディスク基板2Aの成膜
の終了が電気的確認制御によって確認されると、上記5
0枚の他側ディスク基板2Bが続けて上記金属反射膜成
膜装置220に搬送される。即ち、上記金属反射膜成膜
装置220には、一側ディスク基板2A及び他側ディス
ク基板2Bが交互に50枚づつ搬送されてくる。
記金属反射膜が成膜された一側ディスク基板2A或いは
他側ディスク基板2Bを上記搬送テ−ブル210から上
記保護膜塗布装置240に搬送する装置である。上記取
り出し搬送装置230は、4つのア−ム231を備え、
それぞれのア−ム231の先部231aに上述した一側
吸着搬送装置130Aの吸着装置133と同様の吸着装
置が取り付けられている。上記ア−ム231は、上記一
側ディスク基板2A或いは他側ディスク基板2Bを吸着
位置212で吸着せしめて回動する。回動方向は、平面
から見て時計回り及び反時計回りであって、後述する2
つの保護膜塗布装置240a、240bに向けて交互に
回動方向を変えて回動する。
金属反射膜が成膜された一側ディスク基板2A或いは他
側ディスク基板2Bの金属反射膜層に保護膜を塗布する
装置である。上記保護膜塗布装置240は、第一保護膜
塗布装置240aと、第二保護膜塗布装置240bとの
2台を備えている。そして、上記金属反射膜が成膜さ
れ、且つ保護膜が塗布された一側ディスク基板2A及び
他側ディスク基板2Bを以下それぞれ一側ディスク3A
及び他側ディスク3Bとする。
230によって保護膜塗布装置240から搬送された一
側ディスス3A或いは他側ディスク3Bを搭載する装置
である。上記検査テ−ブル250は、時計回りに1ステ
ップづつ回動する。この例では、上記検査テ−ブル25
0は、10ステップで1周する。
3A或いは他側ディスク3Bに塗布した保護膜を乾燥せ
しめる装置である。上記乾燥装置251は、この乾燥装
置251の直下に上記一側ディスク3A或いは他側ディ
スク3Bが位置するよう配設されている。そして、上記
検査テ−ブル250上に載った一側ディスク3A或いは
他側ディスク3Bを、上記乾燥装置251直下で移動せ
しめつつ乾燥せしめる。上記一側ディスク3A或いは他
側ディスク3Bは、上記検査テ−ブル250上に載って
回動移動しつつ乾燥せしめられるので、保護膜の乾燥ム
ラがない均一な乾燥が行なわれる。
ディスク3A或いは他側ディスク3Bの欠陥及び保護膜
塗布欠陥の検査を行なう機械である。上記欠陥検査機2
52は、取り出しア−ム252aを備え、この先部には
上述した一側吸着搬送装置130Aの吸着装置133と
同様の吸着装置が取り付けられている。そして、取り出
し位置250aで一側ディスク3A或いは他側ディスク
3Bを吸着保持した後、180°回動して上記欠陥検査
機252内部に運ぶものである。上記欠陥検査機252
内部では、上記一側ディスク3A或いは他側ディスク3
Bの検査が行なわれ、その検査した一側ディスク3A或
いは他側ディスク3Bの良否が判定される。上記良否の
判定が行なわれた一側ディスク3A或いは他側ディスク
3Bは、上記取り出しア−ム252aに吸着保持されて
再び上記検査テ−ブル250に戻され、次のステップへ
進む。
検査テ−ブル250上のディスクが一側ディスク3Aで
あるか他側ディスク3Bであるかを確認するものであ
る。上記一側ディスク3A或いは他側ディスク3Bに
は、それぞれ一側或いは他側を示す刻印がある。上記刻
印確認カメラ253は、この一側或いは他側を示す刻印
を上記検査テ−ブル上で確認する。刻印が確認された一
側ディスク3A或いは他側ディスク3Bはそのまま次の
ステップへ進む。
ィスク3A或いは他側ディスク3Bを検査テ−ブル25
0から排出する装置である。上記排出装置260は、上
記一側ディスク3Aを検査テ−ブル250から排出する
一側排出ア−ム261及び他側ディスク3Bを検査テ−
ブル250から排出する他側排出ア−ム262を備えて
いる。上記一側排出ア−ム261及び他側排出ア−ム2
62のそれぞれの先部261a、262aには、上述し
た一側吸着搬送装置130Aの吸着装置133と同様の
吸着装置が取り付けられている。通常、上記検査テ−ブ
ル250上に一側ディスク3Aがあるとき、上記一側排
出ア−ム261が上記一側ディスク3Aを吸着保持し、
後述する一側ディスク積載テ−ブル280aへ運ぶと共
に、上記検査テ−ブル250上に他側ディスク3Bがあ
るとき、上記他側排出ア−ム262が上記他側ディスク
3Bを吸着保持し、後述する他側ディスク積載テ−ブル
280Bへ運ぶ。
Bの仕分けは電気的制御によって行なわれている。そし
て、もし上記一側ディスク3Aと他側ディスク3Bとの
順列が間違った場合、又は停電等で制御不確認となった
場合、上記一側及び他側ディスク3A、3Bが混合され
て後述するディスク積載テ−ブル280に積載されるの
を防止する為、上記刻印確認カメラ253で一側或いは
他側の刻印を確認し、確実に一側ディスク3A及び他側
ディスク3Bを仕分けする。
他に、上記欠陥検査機252で欠陥ディスクと判定され
たディスクが積載される欠陥ディスク積載ポ−ル270
がある。上記欠陥ディスク積載ポ−ル270は、欠陥デ
ィスクと判定された一側ディスク3Aが積載される欠陥
一側ディスク積載ポ−ル270Aと、欠陥ディスクと判
定された他側ディスク3Bが積載される欠陥他側ディス
ク積載ポ−ル270Bとを備える。上記欠陥一側ディス
ク積載ポ−ル270A及び欠陥他側ディスク積載ポ−ル
270Bは、それぞれ垂直に立てられたポ−ルを有す
る。上記ポ−ルは、上記ディスクのセンタ−ホ−ル4に
通る直径を有する。そして、上記欠陥ディスクと判定さ
れた一側ディスク3A或いは他側ディスク3Bは、上記
排出装置260によって上記欠陥一側ディスク積載ポ−
ル270A或いは欠陥他側ディスク積載ポ−ル270B
それぞれに平積みに積載されてゆくものである。
スク積載テ−ブル280を説明する。上記ディスク積載
テ−ブル280は、上記一側ディスク3Aを積載する一
側ディスク積載テ−ブル280Aと、上記他側ディスク
3Bを積載する他側ディスク積載テ−ブル280Bとを
備えている。上記一側及び他側ディスク積載テ−ブル2
80A、280Bは、それぞれ複数のディスク積載部2
83を有する回動可能なテ−ブルである。上記ディスク
積載部283は、上記一側及び他側ディスク積載テ−ブ
ル280A、280B上で円周に沿って配置されてい
る。上記ディスク積載部283は、垂直に立てられたポ
−ル283aと、このポ−ル283aの下部で連結して
いる底部円板283bとを備えている。上記ポ−ル28
3aは、上記一側ディスク3A或いは他側ディスク3B
のセンタホ−ル4に通る直径を有する。そして、上記デ
ィスク積載部283は、上記ディスク積載テ−ブル28
0から取り外し可能である。
ディスク3A或いは他側ディスク3Bが平積みに積載さ
れる。そして、1つのディスク積載部283に所定枚数
のディスクが積載されると、上記ディスク積載テ−ブル
280が回転し、新しいディスク積載部283が積載位
置に位置する。上記一側或いは他側ディスク3A、3B
が積載されたディスク積載部283は、ディスクを積載
したまま、次の装置へ運ばれる。尚、この例では、1つ
のディスク積載部283に150枚の一側ディスク3A
或いは他側ディスク3Bが積載される。
2及び図14から図25を参照して後工程の製造装置を
説明する。この後工程の装置は、上記一側及び他側ディ
スク3A、3Bの貼合せ工程の装置であって、ディスク
供給装置300と、ディク糊付装置400と、ディスク
受け装置500と、糊付ディスク搬送装置600と、デ
ィスク貼合せ装置700と、ディスク検査排出装置80
0とから成る。
スク供給装置310Aと、他側ディスク供給装置310
Bとを備えている。
側ディスク供給テ−ブル320Aと、一側ディスク搬送
装置330Aと、一側ディスク配置テ−ブル340A
と、一側ディスク取り出し装置350Aとを供えてい
る。
は、回動可能なテ−ブルであって、この一側ディスク供
給テ−ブル320A上の円周に沿って複数の上記ディス
ク積載部283が設置される。この例では、上記ディス
ク積載部283が6つ設置される。そして、上記一側デ
ィスク供給テ−ブル320Aは、上記各ディスク積載部
283を昇降せしめる昇降装置を備えている。
は、上記ディスク積載部283から上記一側ディスク搬
送テ−ブル340Aへ上記一側ディスク3Aを1枚づつ
搬送する装置である。上記一側ディスク搬送装置330
Aは、搬送ア−ム330aを備え、この搬送ア−ム33
0aの先部330bに上述した一側吸着搬送装置130
Aの吸着装置133と同様の吸着装置が取り付けられて
いる。つまり、上記搬送ア−ム330aが上記ディスク
積載部283に積載された一側ディスク3Aを上から順
次1枚づつ搬送する。この際、上記一側ディスク供給テ
−ブル320Aの昇降装置が上記ディスク積載部283
を上記ディスクの搬送速度に合わせて段階的に上昇せし
める。
0Aは、上記一側ディスク供給テ−ブル320Aから搬
送されてくる一側ディスク3Aを配置するテ−ブルであ
る。上記一側ディスク配置テ−ブル340A上には、円
周に沿って8枚の一側ディスク3Aが配置可能である。
そして、上記一側ディスク配置テ−ブル340Aは、通
常1ステップづつ平面から見て時計回り方向へ回動す
る。この例では、8ステップで1周する。
0Aは、上記一側ディスク配置テ−ブル340A上の一
側ディスク3Aを後述する一側ディスク供給コンベア4
10Aの供給位置410aに運ぶ装置である。上記一側
ディスク取り出し装置350Aは、取り出しア−ム35
1を備えている。上記取り出しア−ム351の先部35
1aには、上述した一側吸着搬送装置130Aの吸着装
置133と同様の吸着装置が取り付けられている。
0Aと、一側ディスク搬送装置330Aと、一側ディス
ク配置テ−ブル340Aと、一側ディスク取り出し装置
350Aとの関連した動作を説明する。先ず、上記一側
ディスク配置テ−ブル340A上の一側ディスク3Aは
常時連続して1枚づつ後述する一側ディスク供給コンベ
ア410Aに供給されている。つまり、上記一側ディス
ク取り出し装置350Aによって、1枚の一側ディスク
3Aが取り出し位置341から取り出され、後述する一
側ディスク供給コンベア410Aに供給される。そし
て、上記一側ディスク配置テ−ブル340Aから1枚の
一側ディスク3Aが取り出されると、上記一側ディスク
配置テ−ブル340Aが1ステップだけ回動する。
0A上において、一側ディスク3Aがなくなった所に
は、上記一側ディスク供給テ−ブル320Aから1枚の
一側ディスク3Aが供給される。つまり、上記一側ディ
スク供給テ−ブル320A上の搬送位置321に位置す
る1つのディスク積載部283から上記一側ディスク配
置テ−ブル340A上の配置位置342へ上記一側ディ
スク3Aが1枚づつ搬送される。言い換えれば通常、上
記一側ディスク配置テ−ブル340A上では1枚の一側
ディスク3Aが排出され、1枚の一側ディスク3Aが供
給されている。尚、この例では、上記一側ディスク配置
テ−ブル340A上の配置位置342は、上記取り出し
位置341から平面から見て時計回り方向へ2ステップ
の所にあり、上記一側ディスク配置テ−ブル340A上
には常時7枚の一側ディスク3Aがある。
搬送位置321にある1つのディスク積載部283には
150枚の一側ディスク3Aが積載されている。そこ
で、上記1つのディスク積載部283に積載された一側
ディスク3Aがなくなると、上記一側ディスク供給テ−
ブル320Aが回動し、次のディスク積載部283に交
換される。この交換時間には7〜8秒を要する。
の一側ディスク3Aは、上記ディスク積載部283の交
換中も連続して後述する一側ディスク供給コンベア41
0Aに供給されている。つまり、上記ディスク積載部2
83の交換中に上記一側ディスク配置テ−ブル340A
上の一側ディスク3Aは、3〜4枚連続して後述する一
側ディスク供給コンベア410Aに供給され、この分だ
け上記一側ディスク配置テ−ブル340A上に一側ディ
スク3Aがない空の所ができる。そこで、上記ディスク
積載部283の交換が終了すると上記一側ディスク搬送
装置330A及び一側ディスク配置テ−ブル340Aの
動作が自動的に倍速になって上記一側ディスク配置テ−
ブル340A上の空の所に上記一側ディスク3Aが補充
される。
について説明すると、この他側ディスク供給装置310
Bは、上記一側ディスク供給装置310Aと同様の装置
を備えており、他側ディスク供給テ−ブル320Bと、
他側ディスク搬送装置330Bと、他側ディスク配置テ
−ブル340Bと、他側ディスク取り出し装置350B
とを備えている。そして、上記他側ディスク供給装置3
10Bから後述する他側ディスク供給コンベア410B
の供給位置410bへ上記他側ディスク3Bが供給され
るものである。
Aから後述する一側ディスク供給コンベア410Aヘ供
給される一側ディスク3Aと、上記他側ディスク供給装
置310Bから後述する他側ディスク供給コンベア41
0Bへ供給される他側ディスク3Bとは、同一タイミン
グで供給される。
て説明する。上記ディスク糊付装置400は、ディスク
供給コンベア410と、糊付け装置420と、糊付ディ
スク供給コンベア430とを備えている。
一側ディスク3Aが搬送される一側ディスク供給コンベ
ア410Aと、上記他側ディスク3Bが搬送される他側
ディスク供給コンベア410Bとを備えている。そし
て、上記一側及ぶ他側ディスク供給コンベア410A、
410B上のそれぞれの供給位置410a、410bか
ら上記糊付け装置420へ上記一側及び他側ディスク3
A、3Bそれぞれを搬送するものである。上記一側ディ
スク供給コンベア410Aは、駆動軸及び従動軸を備
え、この2つの軸間に2本の無端ベルトがかけられてい
る。これは、上記他側ディスク供給コンベア410Bで
も同様である。そして、上記一側ディスク3A及び他側
ディスク3Bは、それぞれ上記一側及び他側ディスク供
給コンベア410A、410Bの無端ベルトに載って搬
送される。このとき、上記一側及び他側ディスク3A、
3Bは、上記糊付け装置420へ同時に1枚づつ供給さ
れる。また、上記コンベア上の一側及び他側ディスク3
A、3Bは、保護膜層を上にしている。
付け装置420は、上記一側及び他側ディスク3A、3
Bに糊付けする装置である。上記糊付け装置420内部
には上下に位置する上部ロ−ラ421及び下部ロ−ラ4
22が配置されている。上記上部ロ−ラ421には加温
して溶融させることができるホットメルトタイプの接着
剤が付いている。そして、上記一側及び他側ディスク3
A、3Bを、上記上部及び下部ロ−ラ421、422間
に通し、ディスクの保護膜上に上記接着剤を均一に糊付
けする。上記糊付け装置420には、上記一側及び他側
ディスク3A、3Bが1枚づつ同時に供給されているの
で、上記一側及び他側ディスク3A、3Bは、1枚づつ
同時に糊付けされる。
0は、上記糊付けされた一側及び他側ディスク3A、3
Bを後述するディスク受け装置500に搬送するもので
ある。上記糊付ディスク供給コンベア430は、上記糊
付けされた一側ディスク3Aを搬送する糊付一側ディス
ク供給コンベア430Aと、上記糊付けされた他側ディ
スク3Bを搬送する糊付他側ディスク供給コンベア43
0Bとを備えている。上記糊付一側ディスク搬送コンベ
ア430Aは、駆動軸及び従動軸を備え、この2つの軸
間に2本の無端ベルトがかけられている。これは、上記
糊付他側ディスク搬送コンベア430Bでも同様であ
る。そして、上記一側ディスク3A及び他側ディスク3
Bは、それぞれ上記糊付一側及び他側ディスク供給コン
ベア430A、430Bの無端ベルトに載って搬送され
る。このとき、上記一側及び他側ディスク3A、3B
は、後述するディスク受け装置500へ1枚づつ同時に
供給される。
明する。上記ディスク受け装置500は、ディスク受け
テ−ブル510と、ディスク位置出し装置520とを備
えている。
糊付一側ディスク3Aを受ける一側ディスク受けテ−ブ
ル510Aと、上記糊付他側ディスク3Bを受ける他側
ディスク受けテ−ブル510Bとを備えている。
は、回動するテ−ブルであって、この一側ディスク受け
テ−ブル510A上には、上記糊付一側ディスク3Aを
載せる一側ディスク搭載部511が配設されている。上
記一側ディスク搭載部511は、上記一側ディスク受け
テ−ブル510A上に於て円周に沿って4つある。そし
て、上記各一側ディスク搭載部511の中央部には、上
記糊付一側ディスク3Aのセンタ−ホ−ル4に嵌るセン
タ−ピン511a(図15及び図16参照)が垂直に立
っている。
0Bは、上記一側ディスク受けテ−ブル510Aと同様
のテ−ブルである。
は、上記糊付一側ディスク3Aを上記一側ディスク受け
テ−ブル510Aに配置する一側ディスク位置出し装置
520Aと、上記糊付他側ディスク3Bを上記他側ディ
スク受けテ−ブル510Bに配置する他側ディスク位置
出し装置520Bとを備えている。
ディスク位置出し装置520Aは、ディスク通過開口部
521を有するカップ形状を有している。上記ディスク
通過開口部521は、上記糊付一側ディスク3Aが通過
する空間であって、上部から下部にかけて次第にその径
が小さくなっている。言い換えれば、上記一側ディスク
位置出し装置520Aの周壁522は、上部522aか
ら下部522bにかけて内側に傾斜している。この例で
は、上記周壁522の下部522bの上記ディスク通過
開口部521の径は、上記一側ディスク3Aの径よりも
0.5mm大きく、上記一側ディスク3Aが楽に通過す
る。
0Aの周壁522の上部522aには、上記糊付一側デ
ィスク供給コンベア430Aの長手方向に沿うガイド部
523が並行に2つ形成されている。上記ガイド部52
3は、上記糊付一側ディスク供給コンベア430Aの両
側に位置し、上記糊付一側ディスク供給コンベア430
Aから上記一側ディスク位置出し装置520Aへ上記一
側ディスク3Aが入るとき、上記一側ディスク3Aをガ
イドするものである。
0Aの周壁522の下部522bには、上記一側ディス
ク受けテ−ブル510Aの一側ディスク搭載部511の
センタ−ピン511aを通過可能にせしめるセンタ−ピ
ン通過切欠部524が形成されている。上記センタ−ピ
ン通過切欠部524は、上記センタ−ピン511aの回
動軌道上に位置し、上記周壁522に2箇所有する。
20Aは、上記糊付一側ディスク3Aが上記糊付一側デ
ィスク供給コンベア430Aによって搬送される先に固
定されて位置している。上記一側ディスク位置出し装置
520Aの周壁522の上端部522cは、上記糊付一
側ディスク供給コンベア430Aの上端部430aより
も低い位置にある。また、上記周壁522の下端部52
2dは、上記一側ディスク受けテ−ブル510Aの一側
ディスク搭載部511の上面511bからやや浮いた状
態の位置にある。そして、上記一側ディスク位置出し装
置520Aは、この例では上記糊付一側ディスク供給コ
ンベア430Aに固定部材を用いて固定されている。
尚、上記一側ディスク位置出し装置520Aは、アルミ
材から成り、表面をテフロン加工している。これによ
り、上記糊付一側ディスク3Aが上記一側ディスク位置
出し装置520A内に入ったとき、滑り易い。
0Aの働きを説明する。先ず、上記一側ディスク受けテ
−ブル510Aが回動し、上記一側ディスク位置出し装
置520Aの下方に、一側ディスク3Aが搭載されてい
ない空の一側ディスク搭載部511が位置する。次に、
上記糊付一側ディスク供給コンベア430Aによって搬
送されてきた糊付一側ディスク3Aが、上記一側ディス
ク位置出し装置520A内に自然落下して入る。このと
き、上記糊付一側ディスク3Aは糊付面が上のまま上記
一側ディスク位置出し装置520A内に入る。上記一側
ディスク位置出し装置520A内に入った上記糊付一側
ディスク3Aは、ディスク通過開口部521を通過し、
上記一側ディスク搭載部511上に位置する。このと
き、上記一側ディスク搭載部511のセンタ−ピン51
1aが上記糊付一側ディスク3Aのセンタ−ホ−ル4に
嵌る。つまり、上記糊付一側ディスク3Aは、停止する
ことなく上記一側ディスク受けテ−ブル510Aに搭載
される。この後、上記一側ディスク受けテ−ブル510
Aが1ステップだけ回動し、上記一側ディスク位置出し
装置520Aの下方に次の一側ディスク搭載部511が
位置する。そして、以下上記動作が連続して繰り返され
る。
0Bについて説明する。上記他側ディスク位置出し装置
520Bは、上記一側ディスク位置出し装置520Aと
同様の装置であって、上記他側ディスク受けテ−ブル5
10Bに上記糊付他側ディスク3Bを位置せしめるもの
である。そして、上記糊付他側ディスク供給コンベア4
30Bから上記他側ディスク受けテ−ブル510Bへの
上記糊付他側ディスク3Bの受け渡しは、上記糊付一側
ディスク3Aの受け渡しと同時に行なわれる。つまり、
上記一側及び他側ディスク受けテ−ブル510A、51
0Bには、上記糊付一側及び他側ディスク3A、3Bそ
れぞれが同時に受け渡される。
と、上記糊付ディスク供給ゴンベア430から上記ディ
スク受けテ−ブル510へ上記糊付一側或いは他側ディ
スク3A、3Bが受け渡されるとき、上記糊付ディスク
供給コンベア430を停止することがない。これによ
り、上記糊付一側或いは他側ディスク3A、3Bの裏面
である透過面に上記糊付ディスク供給コンベア430の
スリップ跡、傷等が付かない。また、上記受け渡し時に
他の搬送装置を必要としない。加えて、上記ディスクの
糊付面及び裏面の透過面に上記他の搬送装置部材の接触
がないので、傷等が付かない。更に、上記受け渡しが正
確に行なえるものである。
て上記糊付ディスク搬送装置600を説明する。上記糊
付ディスク搬送装置600は、上記一側ディスク受けテ
−ブル510Aから後述するディスク貼合せ装置700
へ上記糊付一側ディスク3Aを搬送する糊付一側ディス
ク搬送装置600Aと、上記他側ディスク受けテ−ブル
510Bから後述するディスク貼合せ装置700へ上記
糊付他側ディスク3Bを搬送する糊付他側ディスク搬送
装置600Bとを備えている。
は、先部にディスク挟持部610を備えている。上記デ
ィスク挟持部610は、前後方向Yに移動し、1枚の上
記糊付一側ディスク3Aを側面から挟む。そして、上記
一側ディスク受けテ−ブル510Aの挟持位置512A
で上記糊付一側ディスク3Aを挟んだ上記糊付一側ディ
スク搬送装置600Aは、平面から見て時計回りに回動
し、後述するディスク貼合せ装置700の糊付一側ディ
スク搭載位置711Aに上記糊付一側ディスク3Aを搭
載する。このとき、上記糊付一側ディスク3Aの糊付面
を上にして搭載する。尚、この例では上記ディスク挟持
部610は、一方及び他方が前後方向Yに沿って5mm
づつ移動する。
0Bは、上記糊付一側ディスク搬送装置600Aと同様
の装置であって、上記他側ディスク受けテ−ブル510
Bの挟持位置512Bで上記糊付他側ディスク3Bを挟
んだ上記糊付他側ディスク搬送装置600Bは、平面か
ら見て反時計回りに回動する。この際、上記糊付他側デ
ィスク搬送装置600Bのディスク挟持部610は18
0°回転し、上記糊付他側ディスク3Bの糊付面を下に
する(図19参照)。そして、後述するディスク貼合せ
装置700の糊付他側ディスク搭載位置711Bに位置
する上記糊付一側ディスク3A上に上記糊付他側ディス
ク3Aを搭載する。
ディスク貼合せテ−ブル710と、プレス装置720
と、貼合せディスク搬送装置730とを備えている。
箇所のディスク搭載部713を有し、このディスク搭載
部713は、上記ディスク貼合せテ−ブル710上にお
いて円周に沿って位置する。上記ディスク搭載部713
には、上記ディスク貼合せテ−ブル710と分離可能な
トレ−714がある。そして、上記ディスク貼合せテ−
ブル710は平面から見て時計回りに1ステップづつ回
動する。
711Aのトレ−714上に上記糊付一側ディスク3A
が糊付面を上にして搭載される。次に、上記ディスク貼
合せテ−ブル710は1ステップだけ回動する。これに
より、上記糊付一側ディスク3Aは、上記糊付他側ディ
スク搭載位置711Bに位置する。次に、上記糊付他側
ディスク3A上に上記糊付他側ディスク3Bが糊付面を
下にして搭載されるものである。つまり、上記一側及び
他側ディスク3A、3Bが重ねられる。そして、この糊
付他側ディスク搭載位置711Bでは、上記重ねた一側
及び他側ディスク3A、3Bを仮プレスする。上記仮プ
レスには、仮プレス装置740が用いられる。図20を
参照すると、上記仮プレス装置740は、下降シリンダ
−741を備えている。上記下降シリンダ−741は、
上記重ねたディスクの上方から下降し、上記重ねたディ
スクを押圧する。
たディスクをプレスする装置である。図21を参照する
と、上記プレス装置720は、底のベ−スプレ−ト72
1と、上記重ねたディスクをトレ−714ごと上方に突
き上げるシリンダ−722と、上記シリンダ−713突
き上げられた重ねディスクが押圧されるプレス受け72
2とを備えている。
の糊付他側ディスク搭載位置711Bで重ねられた一側
及び他側ディスク3A、3Bは、この重ねられた状態で
1ステップ進み、上記プレス装置720内部に入る。上
記プレス装置720内部に入ったディスクは、上記シリ
ンダ−722に上記トレ−714ごと突き上げられる。
そして、上記突き上げられたディスクは、上記プレス受
け723に押圧され、この動作が以下3回行なわれ、上
記ディスクは合計4回プレスされる。
合せディスク5として上記プレス装置720から出てき
て、上記ディスク貼合せテ−ブル710の予備位置71
5に位置する。次に、上記貼合せディスク5は、上記予
備位置715から排出位置712へ1ステップだけ進
む。
は、上記排出位置712に位置した貼合せディスク5を
後述するディスク検査排出装置800に搬送する装置で
ある。上記貼合せディスク搬送装置730は、回動する
ア−ム731を備え、このア−ム731の先部731a
に上記一側吸着搬送装置130Aの吸着装置133と同
様の吸着装置を備えている。そして、上記貼合せディス
ク搬送装置730は、上記貼合せディスク5を後述する
ディスク検査排出装置800の形成検査テ−ブル810
の搭載位置811に搭載する。
ついて説明する。上記ディスク検査排出装置800は、
形成検査テ−ブル810と、外周形成装置820と、除
電装置830と、欠陥検査装置840と、刻印読取装置
860と、排出装置870とを備えている。
検査テ−ブル810上に、円周に沿って6つの貼合せデ
ィスク搭載部811を有し、平面から見て反時計回りに
回動する。
他側ディスク3A、3Bの貼合せで外周部にはみ出た糊
等を取り除き、貼合せディスク5の端面を形成する装置
であって、上記貼合せディスク5を高速回転せしめる回
転部と、上記貼合せディスク5の端面を切削する刃物と
を備えている。
820において切削された切削粉を、静電除去しながら
吸収する装置であって、上記貼合せディスクをクリヤ−
にするものである。
ィスク5の表面及び裏面に付着した塵や傷を検査する装
置であって、検査装置本体841と、ア−ム842と、
欠陥ディスクテ−ブル843を備えている。上記ア−ム
842の先部842aには上記一側吸着搬送装置130
Aの吸着装置133と同様の吸着装置が取り付けられて
いる。また、上記欠陥ディスクテ−ブル843には、2
本のポ−ルが垂直に立てられている。上記ポ−ルは欠陥
ディスクと判定された貼合せディスク5のセンタ−ホ−
ルに嵌るものである。
査位置813にきた上記貼合せディスク5は、上記ア−
ム842によって吸着保持され、上記検査装置本体84
1内部に搬送され、検査される。その結果、良好な貼合
せディスクは、上記検査位置813に返却され、そのま
ま次のステップへ進み、欠陥の貼合せディスク5は、上
記ア−ム842に吸着保持され、上記欠陥ディスクテ−
ブル843のポ−ルに投下される。
ィスク5の一側ディスク3A及び他側ディスク3Bのそ
れぞれ異なった刻印番号を認識する装置である。上記刻
印読取装置860は、取り出しア−ム861を備えてい
る。上記取り出しア−ム861は、上記貼合せディスク
5の側面を両側から挟持するディスク保持部861aを
備えている(図22及び図23参照)。
成検査テ−ブル810の刻印読取位置814から上記貼
合せディスク5を引き出す。次に、上記貼合せディスク
5の他側ディスク3Bの刻印番号の良否が判定される。
次に、上記確認した刻印番号が他側ディスク3Bのもの
であった場合、上記取り出しア−ム861が180°回
転し、上記貼合せディスクを反転せしめる。逆に、上記
確認した刻印番号が他側ディスク3Bのものでない場
合、上記取り出しア−ム861が上記形成検査テ−ブル
810の刻印読取位置814に上記貼合せディスクを返
却する。上記他側ディスク3Bの刻印番号が確認され反
転された貼合せディスク5は、今度は一側ディスク3A
の刻印番号が確認され、良否が判定される。この後、上
記貼合せディスク5は、上記形成検査テ−ブル810の
刻印読取位置814に返却される。
ディスクを形成検査テ−ブル810から排出する装置で
ある。上記排出装置870は、排出ア−ム871と、貼
合せディスクテ−ブル872と、欠陥貼合せディスクテ
−ブル873とを備えている。
−ブル810の排出位置815から上記貼合せディスク
5を排出するア−ムである。
品としての貼合せディスク5をストックするテ−ブルで
ある。この貼合せディスクテ−ブル872には5本のポ
−ルが円周に沿って垂直に立てられている。上記各ポ−
ルは、上記貼合せディスク5のセンタ−ホ−ルに嵌る。
そして、上記1本のポ−ルに上記貼合せディスク5が積
載され、いっぱいになると、上記貼合せディスクテ−ブ
ル872が回動し、次のポ−ルに上記貼合せディスク5
が積載されてゆく。
は、欠陥の貼合せディスク5をストックするテ−ブルで
ある。この欠陥貼合せディスクテ−ブル873には2本
のポ−ルが円周に沿って垂直に立てられている。上記各
ポ−ルは、欠陥貼合せディスク5のセンタ−ホ−ルに嵌
る。そして、上記1本のポ−ルに欠陥貼合せディスク5
が積載され、いっぱいになると、上記欠陥貼合せディス
クテ−ブル873が回動し、次のポ−ルに上記欠陥貼合
せディスク5が積載される。つまり、上記刻印読取装置
860で良否を判定した貼合せディスクは、制御系統に
よって認識されており、上記排出位置815にきた貼合
せディスク5は自動的に仕分けされる。
品としての貼合せディスク5、つまり、2枚のディスク
が貼り合されて成る光学式情報記録媒体を得ることがで
きる。上記光学式情報記録媒体は、2枚のディスクの上
記保護膜層8の面どうしが貼り合されていて、表面及び
裏面が透過面と成っている。尚、9を金属反射膜層、1
0を糊付層とする(図24及び図25参照)。
媒体の製造装置によると、記録膜層及び金属反射膜層並
びに保護膜層が形成された一側ディスク及び他側ディス
クを成形せしめ、以ってこの2枚のディスク、つまり上
記一側ディスク及び他側ディスクを貼り合せて成る光学
式情報記録媒体の製造装置を具体的に示すことができ
る。
程の製造装置を示した平面図である。
程の製造装置を示した平面図である。
1次冷却装置及び一側2次冷却装置を簡略的に示した平
面図である。
ディスクの平面図である。
1次冷却装置の吸着装置を示した側面図である。
吸着搬送装置の吸着装置を示した側面図である。
吸着搬送装置の吸着装置を示した平面図である。
2次冷却装置の内部側面図である。
2次冷却装置を簡略的に示した平面図である。
側2次冷却装置の保持装置の受片を示した断面拡大図で
ある。
側2次冷却装置の保持装置の天部カバ−を取った状態の
平面図である。
側2次冷却装置の保持装置の部分拡大平面図である。
側ディスク積載テ−ブルの簡略的な側面図である。
付装置を簡略的に示した側面図である。
側ディスク位置出し装置の平面図である。
側ディスク位置だし装置の側面断面図である。
付一側ディスク搬送装置の平面図である。
付一側ディスク搬送装置の側面図である。
付一側ディスク搬送装置の図15のD−D線に沿った縦
断断面である。
プレス装置の側面図である。
レス装置の側面図である。
印読取装置の平面図である。
印読取装置の図22のE−E線に沿った縦断断面図であ
る。
学式情報記録媒体の平面図である。
学式情報記録媒体の図24のG−G線に沿った縦断側面
図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 光学的に記録・再生可能な記録層が形成
された一側ディスク基板2Aに金属反射膜層及び保護膜
層を成形せしめた一側ディスク3Aと、光学的に記録・
再生可能な記録層が形成された他側ディスク基板2Bに
金属反射膜層及び保護膜層を成形せしめた他側ディスク
3Bと、の2枚のディスクが貼り合わされて成る光学式
情報記録媒体の製造装置に於て;上記光学式情報記録媒
体の製造装置は、前工程の装置と、後工程の装置と、か
ら成り、 上記前工程の装置は、上記一側ディスク基板2Aを成形
・搬送せしめる装置と、上記他側ディスク基板2Bを成
形・搬送せしめる装置と、上記一側及び他側ディスク基
板2A、2Bに金属反射膜層及び保護膜層を成形せし
め、搬送せしめる装置と、から成り、 上記一側ディスク基板2Aを成形・搬送せしめる装置
は、上記記録層が形成された一側ディスク基板2Aを成
形せしめる一側成形機110Aと、上記一側成形機11
0Aから上記一側ディスク基板2Aを取り出し、取り出
した一側ディスク基板2Aを垂直平面内の円周に沿って
垂直に保持せしめた状態で冷却する一側1次冷却装置1
20Aと、上記一側1次冷却装置120Aに保持された
一側ディスク基板2Aのクランピングエリア6を吸引保
持して上記一側ディスク基板2Aを搬送せしめる一側吸
着搬送装置130Aと、上記一側吸着搬送装置130A
によって搬送されてきた一側ディスク基板2Aを水平平
面内の円周に沿って垂直に保持せしめた状態で冷却する
一側2次冷却装置140Aと、上記一側2次冷却装置1
40Aに保持された一側ディスク基板2Aの吸引領域部
2bを吸引保持して上記一側ディスク基板2Aを搬送せ
しめる一側搬送装置160Aとから成り、 上記他側ディスク基板2Bを成形・搬送せしめる装置
は、上記記録層が形成された他側ディスク基板2Bを成
形せしめる他側成形機110Bと、上記他側成形機11
0Bから上記他側ディスク基板2Bを取り出し、取り出
した他側ディスク基板2Bを垂直平面内の円周に沿って
垂直に保持せしめた状態で冷却する他側1次冷却装置1
20Bと、上記他側1次冷却装置120Bに保持された
他側ディスク基板2Bのクランピングエリア6を吸引保
持して上記他側ディスク基板2Bを搬送せしめる他側吸
着搬送装置130Bと、上記他側吸着搬送装置130B
によって搬送されてきた他側ディスク基板2Bを水平平
面内の円周に沿って垂直に保持せしめた状態で冷却する
他側2次冷却装置140Bと、上記他側2次冷却装置1
40Bに保持された他側ディスク基板2Bの吸引領域部
2bを吸引保持して上記他側ディスク基板2Bを搬送せ
しめる他側搬送装置160Bとから成り、 上記一側及び他側ディスク基板2A、2Bに金属反射膜
層及び保護膜層を成形せしめ、搬送せしめる装置は、上
記一側搬送装置160A及び他側搬送装置160Bそれ
ぞれから搬送されてくる一側ディスク基板2A及び他側
ディスク基板2Bを異なる時期に搭載する搬送テ−ブル
210と、上記搬送テ−ブル210上に搭載された一側
及び他側ディスク基板2A、2Bの記録層に金属反射膜
層を成形せしめる金属反射膜成膜装置220と、上記金
属反射膜層が成形された一側及び他側ディスク基板2
A、2Bを上記搬送テ−ブル210から搬送せしめる取
り出し搬送装置230と、上記取り出し搬送装置230
によって上記搬送テ−ブル210から搬送された一側及
び他側ディスク基板2A、2Bの金属反射膜層に保護膜
層を成形せしめる保護膜塗布装置240と、上記取り出
し搬送装置230によって搬送されくる上記金属反射膜
層及び保護膜層が成形された一側ディスク3A及び他側
ディスク3Bを異なる時期に搭載する検査テ−ブル25
0と、上記検査テ−ブル250上の一側及び他側ディス
ク3A、3Bを乾燥せしめる乾燥装置251と、上記検
査テ−ブル250上の一側及び他側ディスク3A、3B
の塵付着・傷による欠陥及び保護膜塗布欠陥の検査を行
なう欠陥検査機252と、上記検査テ−ブル250上に
搭載された一側及び他側ディスク3A、3Bのそれぞれ
の刻印を確認せしめる刻印確認カメラ253と、上記検
査テ−ブル250上の一側及び他側ディスク3A、3B
を仕分けして排出せしめると共に、上記刻印確認カメラ
253によって正常な刻印が確認されなかった一側及び
他側ディスク3A、3Bを上記検査テ−ブル250から
排出せしめる排出装置260と、上記排出装置260に
よって排出された欠陥がある一側及び他側ディスク3
A、3Bをそれぞれ積載せしめる欠陥一側ディスク積載
ポ−ル270A、及び欠陥他側ディスク積載テ−ブル2
70Bから成る欠陥ディスク積載ポ−ル270と、上記
排出装置260によって排出された一側及び他側ディス
ク3A、3Bをそれぞれ積載せしめる一側ディスク積載
テ−ブル280A、及び他側ディスク積載テ−ブル28
0Bから成るディスク積載テ−ブル280と、から成
り、 上記後工程の装置は、上記前工程の装置のディスク積載
テ−ブル280に仕分けされて積載された一側及び他側
ディスク3A、3Bを搬送せしめるディスク供給装置3
00と、上記ディスク供給装置300から同時に供給さ
れる一側及び他側ディスク3A、3Bの保護膜層上に糊
付けするディスク糊付装置400と、上記ディスク糊付
装置400で糊付けされた一側及び他側ディスク3A、
3Bを受けるディスク受け装置500と、上記ディスク
受け装置500にある一側及び他側ディスク3A、3B
をこのディスク受け装置500から取り出し搬送せしめ
る糊付ディスク搬送装置600と、上記糊付ディスク搬
送装置600によって搬送されてきた上記糊付一側及び
他側ディスク3A、3Bを貼り合せるディスク貼合せ装
置700と、上記ディスク貼合せ装置700によって貼
り合された貼合せディスクを検査・排出するディスク検
査排出装置800とから成り、 上記ディスク供給装置300は、上記一側ディスク3A
を搬送せしめる一側ディスク供給装置310Aと、上記
他側ディスク3Bを搬送せしめる他側ディスク搬送装置
310Bと、から成り、 上記一側ディスク供給装置310Aは、上記一側ディス
ク積載テ−ブル280Aで積載された上記一側ディスク
3Aが積載された状態で位置せしめられる一側ディスク
供給テ−ブル320Aと、上記一側ディスク供給テ−ブ
ル320Aから1枚づつ一側ディスク3Aを搬送せしめ
る一側ディスク搬送装置330Aと、上記一側ディスク
搬送装置330Aによって搬送されてくる一側ディスク
3Aを搭載せしめる一側ディスク配置テ−ブル340A
と、上記一側ディスク配置テ−ブル340Aから上記一
側ディスク3Aを搬送せしめる一側ディスク取り出し装
置350Aと、から成り、 上記他側ディスク供給装置310Bは、上記他側デイス
ク積載テ−ブル280Bで積載された上記他側ディスク
3Bが積載された状態で位置せしめられる他側ディスク
供給テ−ブル320Bと、上記他側ディスク供給テ−ブ
ル320Bから1枚づつ他側ディスク3Bを搬送せしめ
る他側ディスク搬送装置330Bと、上記他側ディスク
搬送装置330Bによって搬送されてくる他側ディスク
3Bを搭載せしめる他側ディスク配置テ−ブル340B
と、上記他側ディスク配置テ−ブル340Bから上記他
側ディスク3Bを搬送せしめる他側ディスク取り出し装
置350Bと、から成り、 上記ディスク糊付装置400は、上記一側ディスク取り
出し装置350A及び他側ディスク取り出し装置350
Bによって搬送されてきた一側及び他側ディスク3A、
3Bのそれぞれを区分して搬送するディスク供給コンベ
ア410と、上記ディスク供給コンベア410によって
搬送されてきた一側及び他側ディスク3A、3Bのそれ
ぞれを区分せしめて糊付けする糊付装置420と、上記
糊付装置420によって糊付けされた一側及び他側ディ
スク3A、3Bのそれぞれを区分して搬送せしめる糊付
ディスク供給コンベア430と、から成り、 上記ディスク受け装置500は、上記糊付ディスク供給
コンベア430によって搬送されてきた一側ディスク3
Aを受ける一側ディスク受けテ−ブル510A、及び他
側ディスク3Bを受ける他側ディスク受けテ−ブル51
0Bから成るディスク受けテ−ブル510と、上記一側
及び他側ディスク3A、3Bを上記ディスク受けテ−ブ
ル510上のそれぞれに位置出しを行なって搭載せしめ
る為の装置であって、上記糊付一側ディスク3Aの位置
出しを行なう一側ディスク位置出し装置520A、及び
上記糊付他側ディスク3Bの位置出しを行なう他側ディ
スク位置出し装置520Bから成り、上記一側ディスク
位置出し装置520Aは、上記糊付一側ディスク供給コ
ンベア430Aによって搬送されてきた一側ディスク3
Aを糊付面が上になる状態で落下せしめ、且つ上記一側
ディスク3Aを通過せしめる一側ディスク通過開口部5
21が形成されていると共に、上記他側ディスク位置出
し装置520Bは、上記糊付他側ディスク供給コンベア
430Bによって搬送されてきた他側ディスク3Bを糊
付面が上になる状態で落下せしめ、且つ上記他側ディス
ク3Bを通過せしめる他側ディスク通過開口部521が
形成されて成るディスク位置出し装置520と、から成
り、 上記糊付ディスク搬送装置600は、上記一側ディスク
受けテ−ブル510Aから上記糊付一側ディスク3Aを
搬送せしめる糊付一側ディスク搬送装置600Aと、上
記他側ディスク受けテ−ブル510Bから上記糊付他側
ディスク3Bを搬送せしめる糊付他側ディスク搬送装置
600Bと、から成り、 上記ディスク貼合せ装置700は、上記糊付一側ディス
ク搬送装置600Aによって搬送されてきた糊付一側デ
ィスク3Aを糊付面が上になるようにして搭載せしめる
と共に、上記糊付他側ディスク搬送装置600Bによっ
て搬送されてきた糊付他側ディスク3Bを糊付面が下に
なるようにして上記糊付一側ディスク3Aに重ねて搭載
せしめるディスク貼合せテ−ブル710と、上記ディス
ク貼合せテ−ブル710上で重ねられたディスクをプレ
スするプレス装置720と、上記プレス装置720によ
ってプレスされた貼合せディスクを上記ディスク貼合せ
テ−ブル710から搬送せしめる貼合せディスク搬送装
置730と、から成り、 上記ディスク検査排出装置800は、上記貼合せディス
ク搬送装置730によって搬送されてきた貼合せディス
クを搭載する形成検査テ−ブル810と、上記貼合せデ
ィスクの外周を切削して形成せしめる外周形成装置82
0と、上記外周形成装置820による貼合せディスク外
周の切削によって生じた切削粉を除電除去しながら吸収
する除電装置830と、上記貼合せディスクの塵付着、
傷による欠陥を検査し、欠陥ディスクを上記形成検査テ
−ブル810から排出する欠陥検査装置840と、上記
貼合せディスクの一側ディスク3A及び他側ディスク3
Bそれぞれの刻印番号を確認する刻印読取装置860
と、上記形成検査テ−ブル810上にあって、上記刻印
読取装置860によって異常が確認されなかった貼合せ
ディスクを上記形成検査テ−ブル810から排出すると
共に、上記刻印読取装置860によって異常が確認され
た貼合せディスクを上記形成検査テ−ブル810から排
出する排出装置870と、から成ることを特徴とする光
学式情報記録媒体の製造装置。
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1995
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