JPH08297511A

JPH08297511A - プロセス信号の異常診断装置

Info

Publication number: JPH08297511A
Application number: JP12441095A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiko Watanabe; 一彦渡辺; Takashi Yoshida; 尚吉田; Masayuki Kumazaki; 昌幸熊崎; Akio Ito; 明男伊藤
Original assignee: Hitachi Engineering Co Ltd; Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Engineering Co Ltd; Hitachi Ltd
Priority date: 1995-04-25
Filing date: 1995-04-25
Publication date: 1996-11-12

Abstract

(57)【要約】【目的】プロセス信号の異常時に、通常制御中の正常
なプロセス信号を保持し、プラントの運転制御を通常の
状態で継続可能とするに好適なプロセス信号の異常診断
装置を提供することにある。【構成】サンプリング周期毎にプロセス信号１を取り
込み、該プロセス信号の異常を診断して制御信号として
出力するプロセス信号の異常診断装置において、前記周
期毎に取り込むプロセス信号が予め設定された許容範囲
を超えた時に異常検出するモニタリレーと、前記取り込
んだプロセス信号の予め設定した時間前の正常時のプロ
セス信号を出力するむだ時間器と、前記正常時のプロセ
ス信号を保持する信号保持手段１０と、信号異常時に
は、前記保持された正常時のプロセス信号を選択する信
号切替器１７を具備することを特徴とする。また、むだ
時間手段の代りに変化率制限手段を使用してもよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プラントの制御装置に
おける信号の異常診断装置に係り、特に、信号の突変や
振り切れを検出するプロセス信号の異常診断装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】プラントの制御装置において、プラント
の自動制御や監視を行なうために、多くのプロセス信号
（温度・圧力・流量等）を制御装置に入力している。最
近の制御装置においては、ディジタル化が進んだことに
より、プロセス信号の異常診断を容易に行える様になっ
てきた。これにより、制御装置に入力するプロセス信号
について、その信号の突変または振り切れを検出するこ
とで異常と診断している回路を設置している例が多い。
従来のプロセス信号の異常診断装置を図７に示す。図７
において、異常診断装置は、制御装置内において所定の
演算周期（例えば、１００〜２００ｍｓｅｃ）で演算が
実行される。従ってその演算周期ごとに、ディジタル変
換されたプロセス信号１は、異常診断装置に入力され、
信号保持手段１０、モニタリレー１１，１３及び遅延器
１２に並列に伝達される。遅延器１２には、プロセス信
号１に係るプロセス（図示せず）が有する通常変化特性
における変化の時定数（例えば、蒸気温度制御系の蒸気
温度信号のときは４秒程度）を持った１次遅れ要素を構
成し、モニタリレー１１に対するもう１つの入力として
１次遅れ信号７を出力する。モニタリレー１１は、現在
のプロセス信号１と１次遅れ信号７を比較し、その差が
異常と診断するべき上、下限値より大きい時、異常（突
変）と判断して、突変検出信号４を出力する。モニタり
れー１３は、現在のプロセス信号１が許容される上、下
限値を超えた場合に異常（振り切れ）と診断して、振り
切れ検出信号５を出力する。異常検出信号４及び５は、
警報出力、異常処理のインターロック条件として使用す
るため、外部に引出されると共に、フリップフロップ回
路１４に導かれて、フリップフロップ信号３がＯＮす
る。このフリップフロップ信号３も外部に引出されると
共に、信号保持手段１０に導かれ、そのスイッチをプロ
セス信号１の入力側から保持回路側に切替える。いま、
プロセス信号１が正常状態であるとき、信号保持手段１
０のスイッチがプロセス信号１の入力側に接続され、演
算周期ごとに入力されるプロセス信号１がメモリに書き
込まれると同時に、出力信号２として外部へ引き出され
る。ここで、出力信号２は制御信号として使用される。
ところで、プロセス信号１が突変状態となった場合に、
モニタリレー１１がこれを検出して異常と診断し、突変
検出信号４を出力し、フリップフロップ回路１４をＯＮ
し、異常検出信号３により信号保持手段１０のスイッチ
を保持回路側に切替える。このため、突変したプロセス
信号１はメモリに記憶されず、１演算周期前のメモリ中
のプロセス信号１でメモリ書き替えを行なう。したがっ
て、出力信号２として外部へ引き出される信号は、突変
異常によりフリップフロップ回路１４がＯＮした時点の
１演算周期前に保持されているプロセス信号１である。
なお、フリップフロップ回路１４は、外部からのリセッ
ト信号６によってリセットされ、フリップフロップ信号
３をＯＦＦする。また、プロセス信号１が振り切れ状態
となった場合も、モニタリレー１３がこれを検出して異
常と診断し、振り切れ検出信号５を出力し、以下突変異
常と同様に動作し、出力信号２として外部へ引き出され
る信号は、振り切れ異常によりフリップフロップ回路１
４がＯＮした時点の１演算周期前に保持されているプロ
セス信号１である。このようなプロセス信号の異常診断
装置は、参考関連公知技術には特開昭５８−１２４５２
号公報に記載されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、異常
診断時に、制御信号として出力される信号は、メモリに
異常発生時点の１演算周期前に保持されているプロセス
信号であり、この保持されている信号は、異常診断装置
が演算される周期で決定されてしまうため、異常と診断
するべき値または上、下限値に限りなく近いプロセス信
号を保持する場合もあり、必らずしも正常な値のプロセ
ス信号が保持されるとは限らない、という問題がある。
制御信号としては、異常と診断するべき値または上、下
限値に限りなく近いプロセス信号を使用するより正常な
値のプロセス信号を使用することが好ましいが、上記従
来技術には、この点の配慮がなされていない。

【０００４】本発明の目的は、プロセス信号の異常時
に、通常制御中の正常なプロセス信号を保持し、プラン
トの運転制御を通常の状態で継続可能とするに好適なプ
ロセス信号の異常診断装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的は、サンプリン
グ周期毎に取り込むプロセス信号が予め設定された許容
範囲を超えた時に異常検出するモニタ手段と、前記取り
込んだプロセス信号の予め設定した時間前の正常時のプ
ロセス信号を出力するむだ時間手段、または、前記取り
込んだプロセス信号の予め設定した正常時のプロセス信
号の変化率制限値を出力する変化率制限手段と、前記正
常時のプロセス信号、または、前記変化率制限値を保持
する信号保持手段と、信号異常時には、前記保持された
正常時のプロセス信号、または、前記変化率制限値を選
択する信号切替手段を具備することによって、達成され
る。また、サンプリング周期毎に取り込むプロセス信号
と１周期前のプロセス信号を比較して、プロセス信号が
上がり方向の変化か下がり方向の変化かを検出する高
値、低値選択手段と、前記取り込んだプロセス信号と前
記１周期前のプロセス信号の値が予め設定された許容範
囲を超えた時に異常検出するモニタ手段と、前記異常検
出した時の前記１周期前のそれぞれのプロセス信号を保
持する信号保持手段と、信号異常時には、前記保持され
た１周期前のプロセス信号の値を選択する信号切替手段
を設けることによって、達成される。

【０００６】

【作用】本発明は、プロセス信号の異常時には、Ｎサン
プリング周期前にホールドされたプロセス信号、また、
正常な変化率で変化したときの値で保持された変化率制
限信号を正常な値の制御信号として出力し、プロセス信
号の異常時における制御信号を通常の制御信号に近い値
とする。これにより、プラントの運転制御を通常の状態
で継続することが可能とする。また、プロセス信号が下
がる方向または上がる方向に突変する異常時には、予め
異常の兆しが出た時点で保持していた正常な値を出力
し、プロセス信号の異常時における制御信号を通常の制
御信号に近い値とする。これにより、プラントの運転制
御を通常の状態で継続することが可能とする。なお、プ
ロセス信号の異常が継続する場合でも、同様に制御可能
となる。

【０００７】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。図１は、本発明の一実施例を示すプロセス信号の異
常診断装置である。プロセス信号の異常診断装置は、信
号保持手段１０、モニタリレー１１、遅延器１２、モニ
タリレー１３、フリップフロップ回路１４、むだ時間器
１５、信号切替器１７から構成する。本実施例と図７の
従来例と異なるところは、プロセス信号の異常時に正常
なプロセス信号が出力できるようにむだ時間器１５を追
加し、異常時には、むだ時間が経過する前の信号が選択
できるように信号切換器１７を設ける点にある。その他
は図７の従来例と同様である。むだ時間器１５は、予め
むだ時間が設定され、入力したプロセス信号１を予め設
定されたむだ時間の経過後、つまり設定されたむだ時間
分遅れて出力する。ここで、むだ時間とは、所定の複数
の演算周期（例えばＮサンプリング周期）を経過するに
要する時間を云う。また、むだ時間の設定は、プロセス
信号、例えば温度、圧力、流量等の特性に合わせて決め
られる。信号切替器１７は、プロセス信号１の正常時
は、異常検出信号３がＯＦＦのため、プロセス信号１を
選択する。従って、出力信号２０は、プロセス信号１を
そのまま出力することになる。プロセス信号１に異常が
発生すると、フリップフロップ回路１４がセットされ
て、異常検出信号３がＯＮし、信号保持手段１０のメモ
リに保持されているプロセス信号１を選択する。いま、
プロセス信号１の正常時は、異常検出信号３がＯＦＦで
あり、信号切替器１７はプロセス信号１を選択し、出力
信号２０としては、現時点のプロセス信号１をそのまま
外部へ引き出し、制御信号として使用している。一方、
信号保持手段１０のスイッチはむだ時間器１５を選択
し、信号保持手段１０のメモリには入力したプロセス信
号１が予め設定されたむだ時間分遅れて、つまり現時点
から複数の演算周期前に入力したむだ時間信号８が書き
込まれる。ところで、プロセス信号１が突変状態となっ
た場合、突変したプロセス信号１と遅延器１２の１次遅
れ信号７が入力されたモニタリレー１１は、現在のプロ
セス信号１と１次遅れ信号７を比較し、その差が異常と
診断するべき上、下限値より大きい時、異常（突変）と
診断し、突変検出信号４を出力する。フリップフロップ
回路１４がＯＮし、異常検出信号３により信号保持手段
１０のスイッチを保持回路側に切替え、同時に信号切替
器１７を信号保持手段１０に切替える。このため、スイ
ッチを保持回路側に切替えられたメモリは、現時点から
複数の演算周期（Ｎサンプリング周期）前に保持したプ
ロセス信号１でメモリ書き替えを行なうことになり、出
力信号（制御信号）２０としては、突変異常が発生した
時点からＮサンプリング周期前に保持したプロセス信号
２が外部へ引き出されることになる。次いで、プロセス
信号１が正常に復帰すると、リセット信号６がＯＮし、
フリップフロップ回路１４の異常検出信号３がリセット
され、信号保持手段１０のスイッチはむだ時間器１５を
選択し、信号切替器１７はプロセス信号１を選択し、こ
れにより、出力信号２０は通常時のプロセス信号１に切
替わる。また、プロセス信号１が振り切れ状態となった
場合も、モニタリレー１３がこれを検出して異常と診断
し、振り切れ検出信号５を出力し、以下突変異常と同様
に動作し、出力信号２０としては、振り切れ異常が発生
した現時点から複数の演算周期前に保持したプロセス信
号２が制御信号として外部へ引き出されることになる。

【０００８】図２に、異常発生時の出力信号２０の値の
変化を示す。図２において、プロセス信号１は、異常が
発生して実線のようにサンプリング周期毎に低下したと
する。信号保持手段１０のメモリには、設定されたむだ
時間分遅れて破線のように信号（むだ時間信号）８とし
て保持される。プロセス信号１が異常と診断するべき下
限値つまり異常検出点（・印）に達すると、信号保持手
段１０のスイッチが保持回路側に切替わり、同時に信号
切替器１７が信号保持手段１０に切替わり、出力信号２
０として、Ｎサンプリング周期前に保持した正常な値の
プロセス信号２が外部へ引き出されることになる。本実
施例は、異常診断時にプロセス信号、例えば温度、圧
力、流量等の特性に合せて保持する信号を時間的にどの
程度ひき戻した値にするべきかを設定できることに特徴
があり、プロセス信号１の異常時には、むだ時間器１５
の時間的な任意設定により、Ｎサンプリング周期前にホ
ールドされたプロセス信号１の正常な値を制御信号とし
て出力することが可能となり、従って、従来のような異
常検出値前の異常に近い値がホールドされ、その信号に
より制御が実行されることがなくなる。この結果、本実
施例では、従来例と比べ、プロセス信号１の異常時にお
ける制御信号を通常の制御信号に近い値とすることがで
き、プラントの運転制御を通常の状態で継続することが
可能とする。

【０００９】図３は、本発明の他の実施例を示す。本実
施例は、図１の実施例におけるむだ時間器１５を変化率
制限器１８に置き換えた構成が特徴である。プロセス信
号には、その値が高い変化率で上昇または下降したと
き、異常が発生したと診断するケースがある。例えば、
温度に関するプロセス信号は、通常、その値が低い変化
率で上昇または下降するので、このプロセス信号が高い
変化率で変化したとき、異常が発生したと診断する。そ
こで、変化率制限器１８には、プロセス信号、温度、圧
力、流量等の特性に応じて変化率制限信号を予め設定し
ておき、入力したプロセス信号１がこの設定した変化率
より高い変化率で変化した時、この時点で予め設定した
変化率制限信号９を出力する。いま、プロセス信号１の
正常時は、異常検出信号３がＯＦＦであり、信号保持手
段１０のスイッチは変化率制限器１８を選択し、信号保
持手段１０のメモリには予め設定した変化率制限信号９
が書き込まれる。一方、信号切替器１７はプロセス信号
１を選択し、出力信号２０として現時点のプロセス信号
１をそのまま外部へ引き出し、制御信号として使用され
る。ところで、プロセス信号１が突変状態となった場合
に、モニタリレー１１がこれを検出して異常と診断し、
突変検出信号４を出力し、フリップフロップ回路１４を
ＯＮし、異常検出信号３により信号保持手段１０のスイ
ッチを保持回路側に切替え、同時に信号切替器１７を信
号保持手段１０に切替える。一方、変化率制限器１８
は、入力したプロセス信号１の変化率が高いため、この
プロセス信号１を予め設定した変化率制限信号９に抑え
込んでメモリの書き替えを行なう。出力信号２０として
は、予め設定した変化率制限信号９が制御信号として外
部へ引き出されることになる。次いで、プロセス信号１
が正常に復帰すると、リセット信号６がＯＮし、フリッ
プフロップ回路１４の異常検出信号３がリセットされ、
信号保持手段１０のスイッチは変化率制限器１８を選択
し、信号切替器１７はプロセス信号１を選択し、これに
より、出力信号２０は通常時のプロセス信号１に切替わ
る。また、プロセス信号１が振り切れ状態となった場合
も、モニタリレー１３がこれを検出して異常と診断し、
振り切れ検出信号５を出力し、以下突変異常と同様に動
作し、出力信号２０としては、予め設定した変化率制限
信号９が制御信号として外部へ引き出されることにな
る。

【００１０】図４に、異常発生時の出力信号２０の値の
変化を示す。図４において、プロセス信号１は、異常が
発生して実線のようにサンプリング周期毎に低下したと
する。信号保持手段１０のメモリには、破線のような予
め設定した変化率制限信号９が保持される。プロセス信
号１が異常と診断するべき下限値つまり異常検出点（・
印）に達すると、信号保持手段１０のスイッチが保持回
路側に切替わり、同時に信号切替器１７が信号保持手段
１０に切替わり、一方、異常検出点（・印）のプロセス
信号１の変化率は、予め設定した変化率制限信号９の変
化率より高いので、この点のプロセス信号１を予め設定
した変化率制限信号９に抑え込む。これにより、出力信
号２０として、予め設定した変化率制限信号９が外部へ
引き出されることになる。本実施例は、プロセス信号の
異常時には、変化率制限器１８の任意の設定により、正
常な変化率で変化したときの値で保持された変化率制限
信号を出力信号とすることが可能となり、従って、従来
のような異常検出値前の異常に近い値がホールドされ、
その信号により制御が実行されることがなくなる。この
結果、本実施例では、従来例と比べ、プロセス信号１の
異常時における制御信号を通常の制御信号に近い値とす
ることができ、プラントの運転制御を通常の状態で継続
することが可能とする。

【００１１】図５は、本発明の他の実施例を示す。プロ
セス信号には、突変の異常状態として、図６に示すよう
に、その値が下がる方向に突変する場合と、上がる方向
に突変する場合がある。本実施例は、プロセス信号の突
変異常時に、突変の状態に応じて、正常時の信号を保持
し、制御信号として出力することに特徴がある。本実施
例のプロセス信号の異常診断装置は、むだ時間器３５、
高値選択器３６、低値選択器３７、信号保持手段３８，
３９、モニタ手段４０，４１、フリップフロップ回路４
２，４３、信号切替器１７，４４から構成する。むだ時
間器３５は、１サンプリング周期前の信号すなわちむだ
時間信号２５を出力する。高値選択器３６は、プロセス
信号１とむだ時間信号２５との比較を行ない、高い信号
を選択する。低値選択器３７は、プロセス信号１とむだ
時間信号２５との比較を行ない、低い信号を選択する。
モニタリレー４０は、高値選択器３６により選択された
信号が１サンプリング周期前の信号であれば、偏差が限
度以内であると診断し、仮に、高値選択器３６により１
サンプリング周期前のむだ時間信号２５が選ばれた時に
は、信号のプロセス値が下がったことを意味し、高かっ
た１サンプリング周期前の信号２５を正常時のプロセス
信号１と診断する。一方、高値選択器３６により選択さ
れた１サンプリング周期前の信号と入力したプロセス信
号１の偏差が限度以上のときは突変異常と診断する。モ
ニタリレー４１は、低値選択器３７により選択された信
号が１サンプリング周期前の信号であれば、偏差が限度
以内であると診断し、仮に、低値選択器３７により１サ
ンプリング周期前のむだ時間信号２５が選ばれた時に
は、信号のプロセス値が上がったことを意味し、低かっ
た１サンプリング周期前の信号２５を正常時のプロセス
信号１と診断する。一方、低値選択器３７により選択さ
れた１サンプリング周期前の信号と入力したプロセス信
号１の偏差が限度以上のときは突変異常と診断する。信
号保持手段３８は、プロセス値が下がった異常時に高値
選択器３６において高いプロセス値をメモリに書き込
み、保持する。信号保持手段３９は、プロセス値が上が
った異常時に低値選択器３７において低いプロセス値を
メモリに書き込み、保持する。信号切替器４４は、モニ
タリレー４０が偏差の限度を超えて異常と判断した場合
は、保持信号（下がり方向）２６にセットし、それ以外
は保持信号（上がり方向）２７にセットする。信号切替
器１７は、モニタリレー４０またはモニタリレー４１が
偏差の限度を超えて異常と判断した場合は、プロセス信
号１から保持信号２８に切替わる。

【００１２】以下、本実施例の動作を説明する。まず、
プロセス信号の値が下がる方向に突変する場合について
説明する。いま、プロセス信号１が正常である時は、異
常検出信号３０がＯＦＦであり、信号切替器１７はプロ
セス信号１を選択し、出力信号２０としては、現時点の
プロセス信号１をそのまま外部へ引き出し、制御信号と
して使用している。一方、信号保持手段１０のスイッチ
は高値選択器３６を選択し、信号保持手段１０のメモリ
には、高値選択器３６により比較されたプロセス信号１
とその１サンプリング周期前の信号すなわちむだ時間信
号２５のうち、プロセス信号１が書き込まれる。また、
モニタリレー４０では、高値選択器３６により選択され
たプロセス信号１と１サンプリング周期前の信号との偏
差は限度以内であるので、正常と診断し、突変検出信号
４８を出力しない。ところで、プロセス信号１が下がる
方向の突変となった場合、入力したプロセス信号１より
むだ時間器３５のむだ時間信号２５の値が高く、高値選
択器３６はむだ時間信号２５の値を出力すると同時に、
下がり方向検出信号４６を出力する。モニタリレー４０
では、むだ時間信号２５と入力したプロセス信号１の偏
差が限度以上に高いので、突変異常と診断し、突変検出
信号４８を出力する。フリップフロップ回路４２をセッ
トし、異常検出信号３０により信号切替器４４を信号保
持手段３８に切替えると共に、信号切替器１７を保持信
号２８に切替える。また、同時に、下がり方向検出信号
４６により信号保持手段３８のスイッチを保持回路側に
切替える。このため、スイッチを保持回路側に切替えら
れたメモリは、高値選択器３６により選択された１サン
プリング周期前のむだ時間信号２５でメモリの書き替え
を行なうことになる。１サンプリング周期前の信号は、
信号切替器４４、信号切替器１７を介して出力信号２０
として出力される。この結果、出力信号２０は、信号保
持手段３８がリセットされない限り、すなわち、プロセ
ス値が下がり続ける限り、メモリの値は下がり始める前
の値で保持されており、この値が正常時の値として出力
する制御信号となる。この場合、信号保持手段３８のメ
モリに書き込まれる値は、１サンプリング周期前の信号
が大きい値で始まった時点、すなわち、プロセス値が下
がり始める最初の高い値である。なお、フリップフロッ
プ４２は外部からのリセット信号６によりリセットされ
る。次に、プロセス信号の値が上がる方向に突変する場
合も、上述したしと同様に動作する。すなわち、低値選
択器３７によって選択された信号がモニタリレー４１に
より異常と診断された場合には、出力信号２０として
は、信号保持手段３９によって保持された値が正常時の
値として出力する。この場合、信号保持手段３９のメモ
リに書き込まれる値は、１サンプリング周期前の信号が
小さい値で始まった時点、すなわち、プロセス値が上が
り始める最初の低い値である。本実施例によれば、プロ
セス信号が下がる方向または上がる方向に突変する異常
時には、予め異常の兆しが出た時点でメモリに書き込ん
でいた正常な値を出力するので、従来のような異常検出
値前の異常に近い値がホールドされ、その信号により制
御が実行されることがなくなる。この結果、従来例と比
べ、プロセス信号の異常時における制御信号を通常の制
御信号に近い値とすることができ、プラントの運転制御
を通常の状態で継続することが可能とする。

【００１３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
プロセス信号の異常時には、Ｎサンプリング周期前にホ
ールドされたプロセス信号、または、正常な変化率で変
化したときの値で保持された変化率制限信号を正常な値
の制御信号として出力するようにしたので、従来のよう
な異常検出値前の異常に近い値がホールドされ、その信
号により制御が実行されることがなくなり、この結果、
従来例と比べ、プロセス信号の異常時における制御信号
を通常の制御信号に近い値とすることができ、プラント
の運転制御を通常の状態で継続することが可能とする。
また、プロセス信号が下がる方向または上がる方向に突
変する異常時には、予め異常の兆しが出た時点でホール
ドしていた正常な値を出力するので、従来のような異常
検出値前の異常に近い値がホールドされ、その信号によ
り制御が実行されることになり、この結果、従来例と比
べ、プロセス信号の異常時における制御信号を通常の制
御信号に近い値とすることができ、プラントの運転制御
を通常の状態で継続することが可能とする。また、プロ
セス信号の異常が下がる方向または上がる方向に継続し
た場合にも、同様の効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示すプロセス信号の異常診
断装置である。

【図２】図１の異常発生時における出力信号の説明図で
ある。

【図３】本発明の他の実施例を示す。

【図４】図３の異常発生時における出力信号の説明図で
ある。

【図５】本発明の他の実施例を示す。

【図６】プロセス信号の突変の異常状態を示す。

【図７】従来のプロセス信号の異常診断装置の構成を示
す。

【符号の説明】

１０，３８，３９信号保持手段１２遅延器１７，４４信号切替器１５，３５むだ時間器１８変化率制限器３６高値選択器３７低値選択器１１，１３，４０，４１モニタリレー１４，４２，４３フリップフロップ回路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者熊崎昌幸茨城県日立市幸町三丁目２番１号日立エンジニアリング株式会社内 (72)発明者伊藤明男茨城県日立市大みか町五丁目２番１号株式会社日立製作所大みか工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】サンプリング周期毎にプロセス信号を取
り込み、該プロセス信号の異常を診断して制御信号とし
て出力するプロセス信号の異常診断装置において、前記
周期毎に取り込むプロセス信号が予め設定された許容範
囲を超えた時に異常検出するモニタ手段と、前記取り込
んだプロセス信号の予め設定した時間前の正常時のプロ
セス信号を出力するむだ時間手段と、前記正常時のプロ
セス信号を保持する信号保持手段と、信号異常時には、
前記保持された正常時のプロセス信号を選択する信号切
替手段を具備することを特徴とするプロセス信号の異常
診断装置。
【請求項２】サンプリング周期毎にプロセス信号を取
り込み、該プロセス信号の異常を診断して制御信号とし
て出力するプロセス信号の異常診断装置において、前記
周期毎に取り込むプロセス信号が予め設定された許容範
囲を超えた時に異常検出するモニタ手段と、前記取り込
んだプロセス信号の予め設定した正常時のプロセス信号
の変化率制限値を出力する変化率制限手段と、前記変化
率制限値を保持する信号保持手段と、信号異常時には、
前記保持された変化率制限値を選択する信号切替手段を
具備することを特徴とするプロセス信号の異常診断装
置。
【請求項３】請求項１または請求項２において、モニ
タ手段は、サンプリング周期毎に取り込むプロセス信号
と、該プロセス信号を所定時間遅延させて出力する遅延
信号または該プロセス信号の上限値ないしは下限値とを
比較することを特徴とするプロセス信号の異常診断装
置。
【請求項４】サンプリング周期毎にプロセス信号を取
り込み、該プロセス信号の異常を診断して制御信号とし
て出力するプロセス信号の異常診断装置において、前記
周期毎に取り込むプロセス信号と１周期前のプロセス信
号を比較して、プロセス信号が上がり方向の変化か下が
り方向の変化かを検出する高値、低値選択手段と、前記
取り込んだプロセス信号と前記１周期前のプロセス信号
の値が予め設定された許容範囲を超えた時に異常検出す
るモニタ手段と、前記異常検出した時の前記１周期前の
それぞれのプロセス信号を保持する信号保持手段と、信
号異常時には、前記保持された１周期前のプロセス信号
の値を選択する信号切替手段を設けることを特徴とする
プロセス信号の異常診断装置。
【請求項５】請求項４において、プロセス信号が上が
り方向の変化または下がり方向の変化が継続していると
き、信号保持手段は、異常検出した時の１周期前のプロ
セス信号を継続して保持することを特徴とするプロセス
信号の異常診断装置。