JPH08290361A - サンドブラスト装置及び気体放電型表示装置の隔壁形成方法 - Google Patents
サンドブラスト装置及び気体放電型表示装置の隔壁形成方法Info
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- JPH08290361A JPH08290361A JP7094852A JP9485295A JPH08290361A JP H08290361 A JPH08290361 A JP H08290361A JP 7094852 A JP7094852 A JP 7094852A JP 9485295 A JP9485295 A JP 9485295A JP H08290361 A JPH08290361 A JP H08290361A
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- sandblasting
- forming
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 超微細な開口部を備える放電セルを構成でき
る隔壁を高い寸法精度で得る。 【構成】 複数の噴射ガン１６ａ，１６ｂ，１６ｃおよ
び１６ｄにより、背面板３上に塗布されたリブペースト
１２のマスクパターン１４が設けられていない部分をそ
れぞれの噴射ガンの噴射圧力、噴射距離、各噴射ガンの
ノズル口径または研磨砂の粒径を調整しながら切削除去
して隔壁を形成する。
る隔壁を高い寸法精度で得る。 【構成】 複数の噴射ガン１６ａ，１６ｂ，１６ｃおよ
び１６ｄにより、背面板３上に塗布されたリブペースト
１２のマスクパターン１４が設けられていない部分をそ
れぞれの噴射ガンの噴射圧力、噴射距離、各噴射ガンの
ノズル口径または研磨砂の粒径を調整しながら切削除去
して隔壁を形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は基板上に形成された表面
物質にガラスビーズ等の研磨砂の粉末を高圧空気を用い
て噴射させることによってその表面物質を選択的に除去
するサンドブラスト装置に関し、特に気体放電型表示装
置の放電セル構成のための隔壁を迅速に、かつ微細加工
することができるサンドブラスト装置および気体放電型
表示装置の隔壁形成方法に関する。
物質にガラスビーズ等の研磨砂の粉末を高圧空気を用い
て噴射させることによってその表面物質を選択的に除去
するサンドブラスト装置に関し、特に気体放電型表示装
置の放電セル構成のための隔壁を迅速に、かつ微細加工
することができるサンドブラスト装置および気体放電型
表示装置の隔壁形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、気体放電型表示装置（プラズマデ
ィスプレイパネル、以下ＰＤＰという）は平面型の表示
装置として携帯型コンピュータなどの情報端末機に利用
され、その鮮明な表示と液晶パネルに比べて視野角の広
さによってその応用分野が拡大してきている。
ィスプレイパネル、以下ＰＤＰという）は平面型の表示
装置として携帯型コンピュータなどの情報端末機に利用
され、その鮮明な表示と液晶パネルに比べて視野角の広
さによってその応用分野が拡大してきている。
【０００３】さらにテレビ受像機の大型化が進み、その
対応として投射ブラウン管または液晶パネルによる投射
型テレビ等も商品化されてきているが、いずれも画面の
輝度や装置の大きさに課題が残っている。
対応として投射ブラウン管または液晶パネルによる投射
型テレビ等も商品化されてきているが、いずれも画面の
輝度や装置の大きさに課題が残っている。
【０００４】一方ＰＤＰは最近そのカラー化技術が著し
く進歩し、ブラウン管に代わって奥行きを大幅に薄型化
できる表示装置として脚光を浴びつつあり、ハイビジョ
ン用の”壁掛けテレビ”の最右翼として注目され、忠実
な色再現と輝度および寿命の向上が期待されている。
く進歩し、ブラウン管に代わって奥行きを大幅に薄型化
できる表示装置として脚光を浴びつつあり、ハイビジョ
ン用の”壁掛けテレビ”の最右翼として注目され、忠実
な色再現と輝度および寿命の向上が期待されている。
【０００５】次に一般的なメモリ駆動方式の直流形ＰＤ
Ｐの一例について図４を参照しながら説明する。図４に
示すように従来の直流形ＰＤＰは、透明ガラス等よりな
る前面板１に形成された陰極線２の群と、背面板３に形
成された陽極母線４ａ群とが互いに直交する配置で隔壁
５を挟んで対向し、その交点には多数の放電セル６がマ
トリックス状に形成されている。組み合わされた前面板
１と背面板３とはその周囲を低融点ガラスなどで封止さ
れ、内部には希ガスを主体とした放電ガスが封入されて
いる。
Ｐの一例について図４を参照しながら説明する。図４に
示すように従来の直流形ＰＤＰは、透明ガラス等よりな
る前面板１に形成された陰極線２の群と、背面板３に形
成された陽極母線４ａ群とが互いに直交する配置で隔壁
５を挟んで対向し、その交点には多数の放電セル６がマ
トリックス状に形成されている。組み合わされた前面板
１と背面板３とはその周囲を低融点ガラスなどで封止さ
れ、内部には希ガスを主体とした放電ガスが封入されて
いる。
【０００６】それぞれの放電セル６の背面板側のアノー
ド電極４ｂの上には表示電極体７が設置され、抵抗体８
によって陽極母線４ａに接続されており、表示電極体７
と陰極線２とによって一対の放電電極を構成している。
したがって陰極線２が放電セル６における放電電極の陰
極、表示電極体７が陽極となる。背面板３上には表示電
極体７の部分を除いて蛍光体９が塗布されている。
ド電極４ｂの上には表示電極体７が設置され、抵抗体８
によって陽極母線４ａに接続されており、表示電極体７
と陰極線２とによって一対の放電電極を構成している。
したがって陰極線２が放電セル６における放電電極の陰
極、表示電極体７が陽極となる。背面板３上には表示電
極体７の部分を除いて蛍光体９が塗布されている。
【０００７】前面板１において陰極線２以外の部分は透
明であり、放電セル６を通して蛍光体９の表面を直接観
察できる状態にある。また陽極母線４ａ、アノード電極
４ｂおよび抵抗体８が形成されている背面板３と蛍光体
９との間には層間絶縁層１０が設けられており、放電セ
ル６内にあるプラズマと陽極母線４や抵抗体８との間の
放電を防止している。
明であり、放電セル６を通して蛍光体９の表面を直接観
察できる状態にある。また陽極母線４ａ、アノード電極
４ｂおよび抵抗体８が形成されている背面板３と蛍光体
９との間には層間絶縁層１０が設けられており、放電セ
ル６内にあるプラズマと陽極母線４や抵抗体８との間の
放電を防止している。
【０００８】陰極線２、陽極母線４ａ、アノード電極４
ｂ、表示電極体７、抵抗体８、層間絶縁層１０、蛍光体
９および隔壁５などは厚膜印刷技術を用いてガラス板等
よりなる前面板１または背面板３上に形成されており、
極めて安価に製造することができる。
ｂ、表示電極体７、抵抗体８、層間絶縁層１０、蛍光体
９および隔壁５などは厚膜印刷技術を用いてガラス板等
よりなる前面板１または背面板３上に形成されており、
極めて安価に製造することができる。
【０００９】上記構成において、前記したハイビジョン
テレビ画像のように画素密度を高め、高精細化した映像
を再生するためには各画素を構成する放電セル形成のた
めの隔壁を超微細に形成する必要があり、高さ１６０〜
２００μｍ、幅５０〜６０μｍの形状寸法を有する微細
な隔壁を形成しなければならない。特にカラー画像を表
示するためには１ドットをＲ，Ｇ，Ｂの３個の放電セル
で構成しなければならないので高精細度の表示画像を得
ようとすれば極めて微細かつ高精度に形成された隔壁が
必要となる。
テレビ画像のように画素密度を高め、高精細化した映像
を再生するためには各画素を構成する放電セル形成のた
めの隔壁を超微細に形成する必要があり、高さ１６０〜
２００μｍ、幅５０〜６０μｍの形状寸法を有する微細
な隔壁を形成しなければならない。特にカラー画像を表
示するためには１ドットをＲ，Ｇ，Ｂの３個の放電セル
で構成しなければならないので高精細度の表示画像を得
ようとすれば極めて微細かつ高精度に形成された隔壁が
必要となる。
【００１０】つぎに従来のサンドブラスト装置および気
体放電型表示装置の隔壁形成方法について図面を参照し
ながら説明する。図５（ａ）〜（ｅ）は従来の隔壁形成
方法における工程を示すものであり、図６はそのサンド
ブラスト工程を示す略図である。図５は気体放電型表示
装置の隔壁部分を形成する工程を簡略化して示したもの
であり、隔壁形成に関係ない構成要素に関しては説明を
省略する。
体放電型表示装置の隔壁形成方法について図面を参照し
ながら説明する。図５（ａ）〜（ｅ）は従来の隔壁形成
方法における工程を示すものであり、図６はそのサンド
ブラスト工程を示す略図である。図５は気体放電型表示
装置の隔壁部分を形成する工程を簡略化して示したもの
であり、隔壁形成に関係ない構成要素に関しては説明を
省略する。
【００１１】まずアノード電極４ｂが設けられた背面板
３となるガラス基板上に隔壁を形成するためのリブペー
スト１２をナイフコート法によって塗布し（ａ）、乾燥
固化した後感光性フィルム１３をその上に展着する
（ｂ）。つぎにこの感光性フィルム１３に隔壁パターン
が形成されている露光マスクを介して紫外線を照射し、
感光した部分を現像除去してマスクパターン１４を形成
する（ｃ）。
３となるガラス基板上に隔壁を形成するためのリブペー
スト１２をナイフコート法によって塗布し（ａ）、乾燥
固化した後感光性フィルム１３をその上に展着する
（ｂ）。つぎにこの感光性フィルム１３に隔壁パターン
が形成されている露光マスクを介して紫外線を照射し、
感光した部分を現像除去してマスクパターン１４を形成
する（ｃ）。
【００１２】つぎに図５（ｄ）に示すように噴射ガン１
５を備えるサンドブラスト装置によりガラスビーズ等よ
りなる研磨砂をリブペースト１２上に吹き付けてマスク
パターン１４が設けられている部分を除いて切削して行
くことにより、背面板３上に隔壁５が形成される
（ｅ）。上記の工程中、サンドブラスト装置は図６に示
すように一方向に移動する背面板３上に設けられたリブ
ペースト１２の上部を背面板３の移動方向に対して直角
方向に往復運動をしながら噴射ガン１５のノズルからガ
ラスビーズ等の研磨砂を噴射してマスクパターン１４が
設けられていない部分のリブペースト１２を切削除去し
て行く。
５を備えるサンドブラスト装置によりガラスビーズ等よ
りなる研磨砂をリブペースト１２上に吹き付けてマスク
パターン１４が設けられている部分を除いて切削して行
くことにより、背面板３上に隔壁５が形成される
（ｅ）。上記の工程中、サンドブラスト装置は図６に示
すように一方向に移動する背面板３上に設けられたリブ
ペースト１２の上部を背面板３の移動方向に対して直角
方向に往復運動をしながら噴射ガン１５のノズルからガ
ラスビーズ等の研磨砂を噴射してマスクパターン１４が
設けられていない部分のリブペースト１２を切削除去し
て行く。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来のＰ
ＤＰは上記したように、隔壁となるリブペースト１２を
一旦基板上の全面に塗布したのち、サンドブラストによ
り不要部分を除去し、隔壁を形成する場合、図５または
図６に示すようにリブペースト１２のサンドブラストに
よる切削除去は一つの噴射ガン１５を有するサンドブラ
スト装置によって行われるのが一般的であった。つぎに
一つの噴射ガン１５によるサンドブラストにおける研磨
砂の噴射圧力や噴射距離すなわちリブペースト１２と噴
射ガンとの距離がリブペーストの切削速度または隔壁の
サイドエッチ量に与える影響を図７に示す。図７より明
らかなように噴射圧力を上げることによって切削レート
は上昇するが同時に隔壁のサイドエッチ量は切削レート
の上昇程度よりもさらに大きく増加してしまう。したが
って噴射圧力の相対値をサイドエッチの少ない３以下に
下げ、低下した切削レートを上げるために噴射距離を短
くしようとすると図８に見られるように再びサイドエッ
チ量も上昇してしまい、図９（ａ）に示すように本来そ
の断面が矩形状であるべき隔壁が（ｂ）に見られるよう
な凹曲面を有する逆太鼓状の隔壁となってしまい隔壁と
しての精度、強度共に劣化してしまうという課題を有し
ていた。
ＤＰは上記したように、隔壁となるリブペースト１２を
一旦基板上の全面に塗布したのち、サンドブラストによ
り不要部分を除去し、隔壁を形成する場合、図５または
図６に示すようにリブペースト１２のサンドブラストに
よる切削除去は一つの噴射ガン１５を有するサンドブラ
スト装置によって行われるのが一般的であった。つぎに
一つの噴射ガン１５によるサンドブラストにおける研磨
砂の噴射圧力や噴射距離すなわちリブペースト１２と噴
射ガンとの距離がリブペーストの切削速度または隔壁の
サイドエッチ量に与える影響を図７に示す。図７より明
らかなように噴射圧力を上げることによって切削レート
は上昇するが同時に隔壁のサイドエッチ量は切削レート
の上昇程度よりもさらに大きく増加してしまう。したが
って噴射圧力の相対値をサイドエッチの少ない３以下に
下げ、低下した切削レートを上げるために噴射距離を短
くしようとすると図８に見られるように再びサイドエッ
チ量も上昇してしまい、図９（ａ）に示すように本来そ
の断面が矩形状であるべき隔壁が（ｂ）に見られるよう
な凹曲面を有する逆太鼓状の隔壁となってしまい隔壁と
しての精度、強度共に劣化してしまうという課題を有し
ていた。
【００１４】本発明は上記従来の課題を解決するもので
あり、高精細度のカラー画像を表示するのに適した放電
セルの形成に必要な隔壁構造を形成することができるサ
ンドブラスト装置および気体放電型表示装置の隔壁形成
方法を提供することを目的とする。
あり、高精細度のカラー画像を表示するのに適した放電
セルの形成に必要な隔壁構造を形成することができるサ
ンドブラスト装置および気体放電型表示装置の隔壁形成
方法を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、マスクパターン等を介して選択的に必要と
する部分以外の基板上の表面物質を高圧空気により研磨
砂を吹き付けて除去するサンドブラスト装置において、
複数の噴射ガンを備えるものである。またその複数の噴
射ガンがそれぞれ異なった切削速度を有するものであ
り、複数の噴射ガンの切削速度がそれぞれ調整可能であ
り、それぞれの噴射ガンが異なるノズル口径を有するも
のであり、そのノズル先端と基板上の表面物質との距離
をそれぞれ異なった距離に設定可能とするものである。
また複数の噴射ガンより噴射する研磨砂の粒径がそれぞ
れ異なるものである。
に本発明は、マスクパターン等を介して選択的に必要と
する部分以外の基板上の表面物質を高圧空気により研磨
砂を吹き付けて除去するサンドブラスト装置において、
複数の噴射ガンを備えるものである。またその複数の噴
射ガンがそれぞれ異なった切削速度を有するものであ
り、複数の噴射ガンの切削速度がそれぞれ調整可能であ
り、それぞれの噴射ガンが異なるノズル口径を有するも
のであり、そのノズル先端と基板上の表面物質との距離
をそれぞれ異なった距離に設定可能とするものである。
また複数の噴射ガンより噴射する研磨砂の粒径がそれぞ
れ異なるものである。
【００１６】さらに気体放電型表示装置の隔壁を形成す
る方法において、ガラス等よりなる背面板上に陽極母線
の群およびその陽極母線にそれぞれ抵抗体を介して接続
されたアノード電極を形成する工程と、アノード電極の
表示電極体を形成する部分を除いて基板全面に層間絶縁
膜を形成する工程と、その層間絶縁膜の上面に隔壁形成
用のリブペーストを塗布する工程と、そのリブペースト
の上面に耐サンドブラスト性のマスクパターンを設ける
工程と、複数の噴射ガンを備えるサンドブラスト装置を
用いて各噴射ガンの切削速度を制御しながらマスクパタ
ーンの形成されていない部分のリブペーストを除去する
工程と、マスクパターンを隔壁の上面から除去したのち
加熱焼成して隔壁を形成する工程とを有するものであ
る。
る方法において、ガラス等よりなる背面板上に陽極母線
の群およびその陽極母線にそれぞれ抵抗体を介して接続
されたアノード電極を形成する工程と、アノード電極の
表示電極体を形成する部分を除いて基板全面に層間絶縁
膜を形成する工程と、その層間絶縁膜の上面に隔壁形成
用のリブペーストを塗布する工程と、そのリブペースト
の上面に耐サンドブラスト性のマスクパターンを設ける
工程と、複数の噴射ガンを備えるサンドブラスト装置を
用いて各噴射ガンの切削速度を制御しながらマスクパタ
ーンの形成されていない部分のリブペーストを除去する
工程と、マスクパターンを隔壁の上面から除去したのち
加熱焼成して隔壁を形成する工程とを有するものであ
る。
【００１７】
【作用】したがって本発明によれば、隔壁を形成するた
めのサンドブラスト装置に複数の噴射ガンを備え、その
複数の噴射ガンがそれぞれ調整可能な切削速度やノズル
口径または噴射距離等を有しており、これらの切削条件
を任意に、かつ最適状態に微調整することによってサイ
ドエッチ量を最低限に抑制し、寸法精度に優れた超微細
な放電セルを構成できる隔壁を装置のスループットを低
下することなく作ることが可能となる。
めのサンドブラスト装置に複数の噴射ガンを備え、その
複数の噴射ガンがそれぞれ調整可能な切削速度やノズル
口径または噴射距離等を有しており、これらの切削条件
を任意に、かつ最適状態に微調整することによってサイ
ドエッチ量を最低限に抑制し、寸法精度に優れた超微細
な放電セルを構成できる隔壁を装置のスループットを低
下することなく作ることが可能となる。
【００１８】
【実施例】以下、本発明の一実施例のサンドブラスト装
置について図面を参照しながら説明する。なお、本発明
が従来と異なる点はサンドブラスト装置の構造にあり、
図面中の従来と同一部分には同一符号を付して説明す
る。
置について図面を参照しながら説明する。なお、本発明
が従来と異なる点はサンドブラスト装置の構造にあり、
図面中の従来と同一部分には同一符号を付して説明す
る。
【００１９】図１は本発明の一実施例におけるサンドブ
ラスト装置の概略を示すものであり、図２は本発明の一
実施例の隔壁形成方法におけるサンドブラスト工程を示
すものである。図１に示すように本実施例においては４
個の噴射ガンを備え、そのサンドブラスト装置は一方向
に移動する背面板３上に設けられたリブペースト１２の
上部を背面板の移動方向に対して直角方向に往復運動を
しながらそれぞれの噴射ガン１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，
１６ｄのノズルからガラスビーズ等の研磨砂を噴射して
マスクパターン１４が設けられていない部分のリブペー
スト１２を切削除去して行く。このときの切削状態を図
２に示す。図２は従来の隔壁形成方法を図示した図４
（ｄ）におけるサンドブラスト工程を本実施例のサンド
ブラスト装置を用いて実施したときの状態を示すもので
あり、図より明らかなようにそれぞれの噴射ガン１６
ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄの下部にあるリブペースト
１２はそれぞれ異なった切削条件によって切削されてい
る。図２は複数の噴射ガンがそれぞれ異なった噴射距離
を設定して切削を行っている状態を示しているが、同時
に噴射圧力、噴射ガンの口径または研磨砂の粒径等を変
更してそれぞれの噴射ガンすなわち１６ａ，１６ｂ，１
６ｃ，１６ｄの切削レートを調整することも可能であ
る。
ラスト装置の概略を示すものであり、図２は本発明の一
実施例の隔壁形成方法におけるサンドブラスト工程を示
すものである。図１に示すように本実施例においては４
個の噴射ガンを備え、そのサンドブラスト装置は一方向
に移動する背面板３上に設けられたリブペースト１２の
上部を背面板の移動方向に対して直角方向に往復運動を
しながらそれぞれの噴射ガン１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，
１６ｄのノズルからガラスビーズ等の研磨砂を噴射して
マスクパターン１４が設けられていない部分のリブペー
スト１２を切削除去して行く。このときの切削状態を図
２に示す。図２は従来の隔壁形成方法を図示した図４
（ｄ）におけるサンドブラスト工程を本実施例のサンド
ブラスト装置を用いて実施したときの状態を示すもので
あり、図より明らかなようにそれぞれの噴射ガン１６
ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄの下部にあるリブペースト
１２はそれぞれ異なった切削条件によって切削されてい
る。図２は複数の噴射ガンがそれぞれ異なった噴射距離
を設定して切削を行っている状態を示しているが、同時
に噴射圧力、噴射ガンの口径または研磨砂の粒径等を変
更してそれぞれの噴射ガンすなわち１６ａ，１６ｂ，１
６ｃ，１６ｄの切削レートを調整することも可能であ
る。
【００２０】つぎに複数の噴射ガンの噴射条件を変更し
た場合について説明する。 第１の実施例 噴射ガンのノズル口径は９ｍｍに固定し、研磨砂の平均
粒径を２０μｍとしたときの各噴射ガンの噴射圧力を相
対値で示す。
た場合について説明する。 第１の実施例 噴射ガンのノズル口径は９ｍｍに固定し、研磨砂の平均
粒径を２０μｍとしたときの各噴射ガンの噴射圧力を相
対値で示す。
【００２１】噴射ガン１６ａ： ４.０ 噴射ガン１６ｂ： ２.５ 噴射ガン１６ｃ： １.０ 噴射ガン１６ｄ： ０.５ 第２の実施例 噴射圧力一定（２ｋｇ／ｃｍ2）、研磨砂の平均粒径を
２０μｍとしたときの各噴射ガンのノズル口径 噴射ガン１６ａ： ６ｍｍ 噴射ガン１６ｂ： ９ｍｍ 噴射ガン１６ｃ： １２ｍｍ 噴射ガン１６ｄ： １５ｍｍ 第３の実施例 噴射圧力一定（２ｋｇ／ｃｍ2）、研磨砂の平均粒径を
２０μｍ、ノズル口径９ｍｍとしたときの噴射距離 噴射ガン１６ａ： ５０ｍｍ 噴射ガン１６ｂ： １００ｍｍ 噴射ガン１６ｃ： １５０ｍｍ 噴射ガン１６ｄ： ２００ｍｍ 第４の実施例 噴射圧力一定（２ｋｇ／ｃｍ2）、ノズル口径９ｍｍ、
噴射距離１００ｍｍとしたときの研磨砂の平均粒径 噴射ガン１６ａ： １５μｍ 噴射ガン１６ｂ： ３５μｍ 噴射ガン１６ｃ： ６０μｍ 噴射ガン１６ｄ： １００μｍ なお、研磨砂の粒径は隔壁形成用のマスクパターンが設
けられていない部分では切削速度に影響はみられない
が、マスクパターンで囲まれた部分では一般的に粒径の
小さい方が切削速度は大きい。
２０μｍとしたときの各噴射ガンのノズル口径 噴射ガン１６ａ： ６ｍｍ 噴射ガン１６ｂ： ９ｍｍ 噴射ガン１６ｃ： １２ｍｍ 噴射ガン１６ｄ： １５ｍｍ 第３の実施例 噴射圧力一定（２ｋｇ／ｃｍ2）、研磨砂の平均粒径を
２０μｍ、ノズル口径９ｍｍとしたときの噴射距離 噴射ガン１６ａ： ５０ｍｍ 噴射ガン１６ｂ： １００ｍｍ 噴射ガン１６ｃ： １５０ｍｍ 噴射ガン１６ｄ： ２００ｍｍ 第４の実施例 噴射圧力一定（２ｋｇ／ｃｍ2）、ノズル口径９ｍｍ、
噴射距離１００ｍｍとしたときの研磨砂の平均粒径 噴射ガン１６ａ： １５μｍ 噴射ガン１６ｂ： ３５μｍ 噴射ガン１６ｃ： ６０μｍ 噴射ガン１６ｄ： １００μｍ なお、研磨砂の粒径は隔壁形成用のマスクパターンが設
けられていない部分では切削速度に影響はみられない
が、マスクパターンで囲まれた部分では一般的に粒径の
小さい方が切削速度は大きい。
【００２２】上記実施例はいずれも気体放電型表示装置
の放電セルの開口部寸法が５５０μｍ×４５０μｍ、隔
壁の高さが２００μｍのものを形成した場合について実
験したものであり、図３に本発明において得られた気体
放電型表示装置のスループットと隔壁のサイドエッチ状
態を従来例との比較において示す。図から明らかなよう
に従来の隔壁形成方法において装置のスループットを上
げようとすると隔壁のサイドエッチ量が増加したのに対
して本発明によって得られた気体放電型表示装置の隔壁
はスループットに関係なくその寸法精度は極めて高く、
かつ装置のスループットを早めても隔壁のサイドエッチ
量は極めて少なく抑えることができ、気体放電型表示装
置の量産性向上に貢献できる。
の放電セルの開口部寸法が５５０μｍ×４５０μｍ、隔
壁の高さが２００μｍのものを形成した場合について実
験したものであり、図３に本発明において得られた気体
放電型表示装置のスループットと隔壁のサイドエッチ状
態を従来例との比較において示す。図から明らかなよう
に従来の隔壁形成方法において装置のスループットを上
げようとすると隔壁のサイドエッチ量が増加したのに対
して本発明によって得られた気体放電型表示装置の隔壁
はスループットに関係なくその寸法精度は極めて高く、
かつ装置のスループットを早めても隔壁のサイドエッチ
量は極めて少なく抑えることができ、気体放電型表示装
置の量産性向上に貢献できる。
【００２３】なお、上記実施例において噴射ガンの数を
４個使用した例について説明したが、この他噴射ガンの
数を２個から１０個使用することも可能であり、これら
の条件は目的とする気体放電型表示装置の大きさ、使用
目的、放電セルの形状等によって変更できるものであ
る。
４個使用した例について説明したが、この他噴射ガンの
数を２個から１０個使用することも可能であり、これら
の条件は目的とする気体放電型表示装置の大きさ、使用
目的、放電セルの形状等によって変更できるものであ
る。
【００２４】
【発明の効果】本発明は、マスクパターン等を介して選
択的に必要とする部分以外の基板上の表面物質に高圧空
気により研磨砂を吹き付けて除去するサンドブラスト装
置に複数の噴射ガンを備え、噴射圧力、噴射距離、噴射
ガンのノズル口径または研磨砂の粒径等の条件を設定す
ることにより、製造装置のスループットを低下させるこ
となく極めて超微細、かつ正確な寸法形状を有する隔壁
をサイドエッチを生じることなく容易に形成することが
でき、高精細度テレビ画像の再生に適した気体放電型表
示装置の製造に極めて有効である。
択的に必要とする部分以外の基板上の表面物質に高圧空
気により研磨砂を吹き付けて除去するサンドブラスト装
置に複数の噴射ガンを備え、噴射圧力、噴射距離、噴射
ガンのノズル口径または研磨砂の粒径等の条件を設定す
ることにより、製造装置のスループットを低下させるこ
となく極めて超微細、かつ正確な寸法形状を有する隔壁
をサイドエッチを生じることなく容易に形成することが
でき、高精細度テレビ画像の再生に適した気体放電型表
示装置の製造に極めて有効である。
【図１】本発明の一実施例におけるサンドブラスト装置
の概略説明図
の概略説明図
【図２】本発明の一実施例における隔壁形成方法を示す
サンドブラスト工程断面図
サンドブラスト工程断面図
【図３】同実施例および従来例における装置のスループ
ットと隔壁のサイドエッチ量との関係を示す特性図
ットと隔壁のサイドエッチ量との関係を示す特性図
【図４】一般的な気体放電型表示装置の部分断面図
【図５】従来の気体放電型表示装置の隔壁形成方法を示
す工程断面図
す工程断面図
【図６】従来のサンドブラスト装置の概略説明図
【図７】噴射圧力と切削レートおよびサイドエッチ量と
の関係を示す特性図
の関係を示す特性図
【図８】噴射距離と切削レートおよびサイドエッチ量と
の関係を示す特性図
の関係を示す特性図
【図９】隔壁の正常状態およびサイドエッチ状態を示す
断面図
断面図
３ 背面板 １２ リブペースト １４ マスクパターン １６ 複数の噴射ガン
Claims (7)
- 【請求項１】 マスクパターン等を介して選択的に必要
とする部分以外の背面板等の基板上の表面物質を高圧空
気により研磨砂を吹き付けて除去するサンドブラスト装
置において、複数の噴射ガンを備えることを特徴とする
サンドブラスト装置。 - 【請求項２】 複数の噴射ガンがそれぞれ異なった切削
速度を有することを特徴とする請求項１記載のサンドブ
ラスト装置。 - 【請求項３】 複数の噴射ガンの切削速度がそれぞれ調
整可能であることを特徴とする請求項１または２記載の
サンドブラスト装置。 - 【請求項４】 複数の噴射ガンがそれぞれ異なるノズル
口径を有することを特徴とする請求項１記載のサンドブ
ラスト装置。 - 【請求項５】 複数の噴射ガンのノズル先端と基板上の
表面物質との距離をそれぞれ異なった噴射距離に設定可
能であることを特徴とする請求項１記載のサンドブラス
ト装置。 - 【請求項６】 複数の噴射ガンより噴射する研磨砂の粒
径がそれぞれ異なるものであることを特徴とする請求項
１から５のいずれかに記載するサンドブラスト装置。 - 【請求項７】 気体放電型表示装置の隔壁を形成する方
法において、ガラス等よりなる背面板上に陽極母線の群
およびその陽極母線にそれぞれ抵抗体を介して接続され
たアノード電極を形成する工程と、アノード電極の表示
電極体を形成する部分を除いて前記基板全面に層間絶縁
膜を形成する工程と、その層間絶縁膜の上面に隔壁形成
用のリブペーストを塗布する工程と、そのリブペースト
の上面に耐サンドブラスト性のマスクパターンを印刷す
る工程と、複数の噴射ガンを備えるサンドブラスト装置
を用いて各噴射ガンの切削速度を制御しながら前記マス
クパターンの形成されていない部分のリブペーストを除
去する工程と、前記マスクパターンを隔壁の上面から除
去したのち加熱焼成して隔壁を形成する工程とを有する
気体放電型表示装置の隔壁形成方法。
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7094852A JP2953985B2 (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | サンドブラスト装置及び気体放電型表示装置の製造方法 |
| TW085104600A TW320732B (ja) | 1995-04-20 | 1996-04-16 | |
| US08/634,375 US5876542A (en) | 1995-04-20 | 1996-04-18 | Gas discharge display panel and its fabrication method |
| EP96106081A EP0739026B1 (en) | 1995-04-20 | 1996-04-18 | Method of fabrication of a gas discharge display panel |
| DE69632762T DE69632762T2 (de) | 1995-04-20 | 1996-04-18 | Herstellungsverfahren für eine Gasentladungsanzeigetafel |
| KR1019960011849A KR100287498B1 (ko) | 1995-04-20 | 1996-04-19 | 기체방전형 표시장치와 그 제조방법 |
| CA002174613A CA2174613C (en) | 1995-04-20 | 1996-04-19 | Gas discharge display panel and its fabrication method |
| CNB001306650A CN1196162C (zh) | 1995-04-20 | 1996-04-20 | 气体放电型显示装置的制造方法 |
| CN96110362A CN1073273C (zh) | 1995-04-20 | 1996-04-20 | 气体放电型显示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7094852A JP2953985B2 (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | サンドブラスト装置及び気体放電型表示装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08290361A true JPH08290361A (ja) | 1996-11-05 |
| JP2953985B2 JP2953985B2 (ja) | 1999-09-27 |
Family
ID=14121568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7094852A Expired - Lifetime JP2953985B2 (ja) | 1995-04-20 | 1995-04-20 | サンドブラスト装置及び気体放電型表示装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2953985B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005050559A (ja) * | 2003-07-29 | 2005-02-24 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 表示装置の製造方法 |
| JP2007290106A (ja) * | 2006-04-21 | 2007-11-08 | Toyo Seimitsu Kogyo Kk | 薄板フェライト基板に小径貫通穴をあける方法とこれに用いる装置 |
| JP2009533207A (ja) * | 2006-04-13 | 2009-09-17 | ローランド ニード | ジェットミルを用いて非常に微細な粒子を生成する方法 |
-
1995
- 1995-04-20 JP JP7094852A patent/JP2953985B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005050559A (ja) * | 2003-07-29 | 2005-02-24 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 表示装置の製造方法 |
| JP2009533207A (ja) * | 2006-04-13 | 2009-09-17 | ローランド ニード | ジェットミルを用いて非常に微細な粒子を生成する方法 |
| JP2007290106A (ja) * | 2006-04-21 | 2007-11-08 | Toyo Seimitsu Kogyo Kk | 薄板フェライト基板に小径貫通穴をあける方法とこれに用いる装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2953985B2 (ja) | 1999-09-27 |
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