JPH0828940B2 - 直流高圧電源のスパーク抑制回路 - Google Patents
直流高圧電源のスパーク抑制回路Info
- Publication number
- JPH0828940B2 JPH0828940B2 JP4121052A JP12105292A JPH0828940B2 JP H0828940 B2 JPH0828940 B2 JP H0828940B2 JP 4121052 A JP4121052 A JP 4121052A JP 12105292 A JP12105292 A JP 12105292A JP H0828940 B2 JPH0828940 B2 JP H0828940B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diode
- voltage
- power supply
- capacitor
- resistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Direct Current Feeding And Distribution (AREA)
- Rectifiers (AREA)
- Emergency Protection Circuit Devices (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、直流高圧電源、特に、
高圧トランスで昇圧された交流高電圧を整流回路で全波
整流した後、コンデンサにチャージし、フィルタ回路で
平滑して出力端子とグランド端子間に直流高電圧を出力
する直流高圧電源において、出力端子とグランド端子間
の短絡時に生ずるスパークを抑制するスパーク抑制回路
に関する。
高圧トランスで昇圧された交流高電圧を整流回路で全波
整流した後、コンデンサにチャージし、フィルタ回路で
平滑して出力端子とグランド端子間に直流高電圧を出力
する直流高圧電源において、出力端子とグランド端子間
の短絡時に生ずるスパークを抑制するスパーク抑制回路
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の直流高圧電源の回路構成を図２に
示す。この直流高圧電源は、高圧トランスＴで昇圧され
た交流高電圧を、ダイオードＤ１〜Ｄ４をブリッジ接続
した整流回路で全波整流した後、コンデンサＣ１にチャ
ージし、該コンデンサＣ１の両端間に生ずる電圧を平滑
用チョークＬ１と平滑用コンデンサＣ２とからなるフィ
ルタ回路で平滑し、それによるリップル分だけ減少した
電圧を抵抗Ｒ１を通して出力端子（電極）ＯＵＴとグラ
ンド端子ＧＮＤ間に出力する。
示す。この直流高圧電源は、高圧トランスＴで昇圧され
た交流高電圧を、ダイオードＤ１〜Ｄ４をブリッジ接続
した整流回路で全波整流した後、コンデンサＣ１にチャ
ージし、該コンデンサＣ１の両端間に生ずる電圧を平滑
用チョークＬ１と平滑用コンデンサＣ２とからなるフィ
ルタ回路で平滑し、それによるリップル分だけ減少した
電圧を抵抗Ｒ１を通して出力端子（電極）ＯＵＴとグラ
ンド端子ＧＮＤ間に出力する。
【０００３】一方、分圧用抵抗Ｒ３・Ｒ４で分圧した出
力の一部、つまり抵抗Ｒ４の両端電圧を制御系（図示せ
ず）に定電圧フィードバックすることにより出力を定電
圧化している。また、出力端子ＯＵＴがグランド端子Ｇ
ＮＤと短絡した場合、グランド側の抵抗Ｒ２に流れる電
流信号を検出して入力側を可及的速やかに遮断するよう
にしている。
力の一部、つまり抵抗Ｒ４の両端電圧を制御系（図示せ
ず）に定電圧フィードバックすることにより出力を定電
圧化している。また、出力端子ＯＵＴがグランド端子Ｇ
ＮＤと短絡した場合、グランド側の抵抗Ｒ２に流れる電
流信号を検出して入力側を可及的速やかに遮断するよう
にしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、出力端子ＯＵ
Ｔがグランド端子ＧＮＤと短絡した場合、コンデンサＣ
１及びＣ２に残っている高い電荷エネルギーは平滑用チ
ョークＬ１及び抵抗Ｒ１を通して出力端子ＯＵＴからグ
ランド端子ＧＮＤへと放電する。その放電エネルギーＪ
はＪ＝１／２ＣＶ2 で表され、電圧Ｖが高いほど放電エ
ネルギーが大きく、出力端子ＯＵＴとグランド端子ＧＮ
Ｄ間で放電してスパークが生ずる。
Ｔがグランド端子ＧＮＤと短絡した場合、コンデンサＣ
１及びＣ２に残っている高い電荷エネルギーは平滑用チ
ョークＬ１及び抵抗Ｒ１を通して出力端子ＯＵＴからグ
ランド端子ＧＮＤへと放電する。その放電エネルギーＪ
はＪ＝１／２ＣＶ2 で表され、電圧Ｖが高いほど放電エ
ネルギーが大きく、出力端子ＯＵＴとグランド端子ＧＮ
Ｄ間で放電してスパークが生ずる。
【０００５】スパークが生じると、特に除電器やピニン
グ装置等のように、直流高電圧電源を使用して空中に電
界を発生させるとか空中にイオンを発生させるような、
オープン状態で放電させて負荷を処理するものでは、負
荷に大きなダメージを与える。例えば、ピニング装置で
はスパークによりフィルムに孔をあけてしまうとか、フ
ィルムにピンホールがあったときアース用ロールの表面
を損傷させ、その研磨やメッキ等の補修に経費を要する
等の経済的損失があった。
グ装置等のように、直流高電圧電源を使用して空中に電
界を発生させるとか空中にイオンを発生させるような、
オープン状態で放電させて負荷を処理するものでは、負
荷に大きなダメージを与える。例えば、ピニング装置で
はスパークによりフィルムに孔をあけてしまうとか、フ
ィルムにピンホールがあったときアース用ロールの表面
を損傷させ、その研磨やメッキ等の補修に経費を要する
等の経済的損失があった。
【０００６】これを避けるため、上記のように抵抗Ｒ２
に流れる電流信号Ｉを検出して入力側を可及的速やかに
遮断するようにしてはいるが、コンデンサＣ１・Ｃ２の
残留静電容量やケーブル等に起因したストレー容量によ
る放電エネルギーの解消にはならなく、かと言って静電
容量を極力減らすと、電圧安定度及びリップル率の低下
を招くため、効果的な対策にはならなかった。
に流れる電流信号Ｉを検出して入力側を可及的速やかに
遮断するようにしてはいるが、コンデンサＣ１・Ｃ２の
残留静電容量やケーブル等に起因したストレー容量によ
る放電エネルギーの解消にはならなく、かと言って静電
容量を極力減らすと、電圧安定度及びリップル率の低下
を招くため、効果的な対策にはならなかった。
【０００７】また、抵抗Ｒ１はそもそも高圧出力側に設
置するものであるうえに、上記のようにスパークが生じ
ると該抵抗Ｒ１の両端に高い電圧が発生するため、それ
を考慮してこの抵抗Ｒ１に特に耐高電圧用のものを使用
しなければならない。更に、出力電流容量が大きいと、
該抵抗Ｒ１によるドロップ電圧が大きくなるため、該抵
抗Ｒ１の電力容量を大きくしなければならず、そうする
と発熱量が増え、装置を大きくしなければならなくなる
等の問題があった。
置するものであるうえに、上記のようにスパークが生じ
ると該抵抗Ｒ１の両端に高い電圧が発生するため、それ
を考慮してこの抵抗Ｒ１に特に耐高電圧用のものを使用
しなければならない。更に、出力電流容量が大きいと、
該抵抗Ｒ１によるドロップ電圧が大きくなるため、該抵
抗Ｒ１の電力容量を大きくしなければならず、そうする
と発熱量が増え、装置を大きくしなければならなくなる
等の問題があった。
【０００８】本発明の目的は、出力端子とグランド端子
間が短絡した場合の放電エネルギーを逃がす単純な回路
を付加するだけでスパークの発生を簡単に抑制できるよ
うにすることにある。
間が短絡した場合の放電エネルギーを逃がす単純な回路
を付加するだけでスパークの発生を簡単に抑制できるよ
うにすることにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、図１に示す実
施例のように、高圧トランスＴで昇圧された交流高電圧
を整流回路Ｄ１〜Ｄ４で全波整流した後、コンデンサＣ
１にチャージし、フィルタ回路で平滑して出力端子ＯＵ
Ｔとグランド端子ＧＮＤ間に直流高電圧を出力する直流
高圧電源において、コンデンサＣ１とグランド端子ＧＮ
Ｄとの間に、順方向のダイオードＤ５と高抵抗Ｒ５とを
並列接続して設けたものである。
施例のように、高圧トランスＴで昇圧された交流高電圧
を整流回路Ｄ１〜Ｄ４で全波整流した後、コンデンサＣ
１にチャージし、フィルタ回路で平滑して出力端子ＯＵ
Ｔとグランド端子ＧＮＤ間に直流高電圧を出力する直流
高圧電源において、コンデンサＣ１とグランド端子ＧＮ
Ｄとの間に、順方向のダイオードＤ５と高抵抗Ｒ５とを
並列接続して設けたものである。
【００１０】整流回路Ｄ１〜Ｄ４とダイオードＤ５との
間に、該ダイオードＤ５に直流順方向のバイアスを与え
るためのバイアス用ダイオードＤ６と抵抗Ｒ６とを直列
接続して設けると良い。
間に、該ダイオードＤ５に直流順方向のバイアスを与え
るためのバイアス用ダイオードＤ６と抵抗Ｒ６とを直列
接続して設けると良い。
【００１１】
【作用】出力端子ＯＵＴとグランド端子ＧＮＤとの間が
短絡すると、コンデンサＣ１・Ｃ２の残留電荷による放
電エネルギーはダイオードＤ５には流れないで高抵抗Ｒ
５を通る。このときの電流ＩはＩ＝Ｖ／Ｒ５となるの
で、出力端子ＯＵＴとグランド端子ＧＮＤとの間におけ
るスパークの発生を抑制できる。
短絡すると、コンデンサＣ１・Ｃ２の残留電荷による放
電エネルギーはダイオードＤ５には流れないで高抵抗Ｒ
５を通る。このときの電流ＩはＩ＝Ｖ／Ｒ５となるの
で、出力端子ＯＵＴとグランド端子ＧＮＤとの間におけ
るスパークの発生を抑制できる。
【００１２】ダイオードＤ５は高耐圧としなければなら
ないため、単にこのダイオードＤ５を設けただけではそ
れによる順方向電圧降下が大きく、コンデンサＣ１・Ｃ
２の効果が減殺されるが、このダイオードＤ５にバイア
ス用ダイオードＤ６と抵抗Ｒ６とを介して直流バイアス
をかければ、該ダイオードＤ５による順方向電圧降下を
無くすことができる。
ないため、単にこのダイオードＤ５を設けただけではそ
れによる順方向電圧降下が大きく、コンデンサＣ１・Ｃ
２の効果が減殺されるが、このダイオードＤ５にバイア
ス用ダイオードＤ６と抵抗Ｒ６とを介して直流バイアス
をかければ、該ダイオードＤ５による順方向電圧降下を
無くすことができる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１に基づいて説
明する。図１に示す直流高圧電源も、高圧トランスＴで
昇圧された交流高電圧をダイオードＤ１〜Ｄ４による整
流回路で全波整流した後、コンデンサＣ１にチャージ
し、平滑用チョークＬ１と平滑用コンデンサＣ２とによ
るフィルタ回路で平滑して出力端子ＯＵＴとグランド端
子ＧＮＤ間に直流高電圧を出力すること、抵抗Ｒ３・Ｒ
５で電圧を分圧して外部出力すること、抵抗Ｒ２を流れ
る電流信号を外部出力することについては、図２に示し
た従来例と同じである。
明する。図１に示す直流高圧電源も、高圧トランスＴで
昇圧された交流高電圧をダイオードＤ１〜Ｄ４による整
流回路で全波整流した後、コンデンサＣ１にチャージ
し、平滑用チョークＬ１と平滑用コンデンサＣ２とによ
るフィルタ回路で平滑して出力端子ＯＵＴとグランド端
子ＧＮＤ間に直流高電圧を出力すること、抵抗Ｒ３・Ｒ
５で電圧を分圧して外部出力すること、抵抗Ｒ２を流れ
る電流信号を外部出力することについては、図２に示し
た従来例と同じである。
【００１４】しかし、この直流高圧電源では、スパーク
発生抑止のために、コンデンサＣ１と抵抗Ｒ２との間
に、順方向の高耐圧型ダイオードＤ５と高抵抗Ｒ５とを
並列接続して設けている。また、該ダイオードＤ５に直
流バイアスをかけるため、該ダイオードＤ５と整流回路
Ｄ１〜Ｄ４との間に順方向のバイアス用ダイオードＤ６
と抵抗Ｒ６とを直列接続して設けるとともに、このダイ
オードＤ６と抵抗Ｒ２との間にバイアス電圧生成用コン
デンサＣ３を接続したものである。
発生抑止のために、コンデンサＣ１と抵抗Ｒ２との間
に、順方向の高耐圧型ダイオードＤ５と高抵抗Ｒ５とを
並列接続して設けている。また、該ダイオードＤ５に直
流バイアスをかけるため、該ダイオードＤ５と整流回路
Ｄ１〜Ｄ４との間に順方向のバイアス用ダイオードＤ６
と抵抗Ｒ６とを直列接続して設けるとともに、このダイ
オードＤ６と抵抗Ｒ２との間にバイアス電圧生成用コン
デンサＣ３を接続したものである。
【００１５】この図１に示す構成においても、コンデン
サＣ１はそれに接続されたダイオードＤ５が順方向であ
るため充電され、通常は出力端子ＯＵＴとグランド端子
ＧＮＤ間に従来と同様に直流高電圧が出力される。ダイ
オードＤ５には、ダイオードＤ６とコンデンサＣ３とに
よる直流順方向のバイアスが抵抗Ｒ６を通じてかかって
いるため、該ダイオードＤ５による順方向の電圧降下は
無い。
サＣ１はそれに接続されたダイオードＤ５が順方向であ
るため充電され、通常は出力端子ＯＵＴとグランド端子
ＧＮＤ間に従来と同様に直流高電圧が出力される。ダイ
オードＤ５には、ダイオードＤ６とコンデンサＣ３とに
よる直流順方向のバイアスが抵抗Ｒ６を通じてかかって
いるため、該ダイオードＤ５による順方向の電圧降下は
無い。
【００１６】出力端子ＯＵＴとグランド端子ＧＮＤ間が
短絡すると、コンデンサＣ１・Ｃ２の残留電荷による放
電エネルギーは抵抗Ｒ２から高抵抗Ｒ５へと流れるが、
ダイオードＤ５には流れない。このように短絡時に生ず
る電流は高抵抗Ｒ５を流れるため電流値が小さくなり、
出力端子ＯＵＴとグランド端子ＧＮＤ間でのスパークの
発生が抑制される。
短絡すると、コンデンサＣ１・Ｃ２の残留電荷による放
電エネルギーは抵抗Ｒ２から高抵抗Ｒ５へと流れるが、
ダイオードＤ５には流れない。このように短絡時に生ず
る電流は高抵抗Ｒ５を流れるため電流値が小さくなり、
出力端子ＯＵＴとグランド端子ＧＮＤ間でのスパークの
発生が抑制される。
【００１７】なお、本発明は、除電器やピニング装置に
限らず、半導体製造装置に使用される直流高圧電源であ
って、真空槽内でイオンビームを打ち込む際のスパーク
の抑制にも適用できる。
限らず、半導体製造装置に使用される直流高圧電源であ
って、真空槽内でイオンビームを打ち込む際のスパーク
の抑制にも適用できる。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、出力端子とグランド端
子間が短絡した場合、コンデンサの残留電荷による放電
エネルギーを高抵抗へ流してその電流値を減少させるた
め、出力端子とグランド端子間でのスパークの発生を抑
制できる。しかも、ダイオードと高抵抗とを付加するだ
けで抑制できるので、経済的である。
子間が短絡した場合、コンデンサの残留電荷による放電
エネルギーを高抵抗へ流してその電流値を減少させるた
め、出力端子とグランド端子間でのスパークの発生を抑
制できる。しかも、ダイオードと高抵抗とを付加するだ
けで抑制できるので、経済的である。
【００１９】請求項２によれば、上記ダイオードによる
順方向の電圧降下を無くすことができるので、出力電圧
低下やリップル率の低下を招くことなくスパークの発生
を抑制できる。
順方向の電圧降下を無くすことができるので、出力電圧
低下やリップル率の低下を招くことなくスパークの発生
を抑制できる。
【図１】本発明の一実施例の回路構成図である。
【図２】従来例の回路構成図である。
Ｔ 高圧トランス Ｄ１〜Ｄ２ 整流回路を構成するダイオード Ｃ１ コンデンサ Ｌ１ フィルタ回路を構成する平滑用チョーク Ｃ２ フィルタ回路を構成するコンデンサ Ｄ５ ダイオード Ｒ５ 高抵抗 Ｄ６ バイアス用コンデンサ Ｒ６ 抵抗
Claims (2)
- 【請求項１】高圧トランスで昇圧された交流高電圧を整
流回路で全波整流した後、コンデンサにチャージし、フ
ィルタ回路で平滑して出力端子とグランド端子間に直流
高電圧を出力する直流高圧電源において、前記コンデン
サと前記グランド端子との間に、順方向のダイオードと
高抵抗とを並列接続して設けたことを特徴とする直流高
圧電源のスパーク抑制回路。 - 【請求項２】前記整流回路と前記ダイオードとの間に、
該ダイオードに直流順方向のバイアスを与えるためのバ
イアス用ダイオードと抵抗とを直列接続して設けたこと
を特徴とする請求項１に記載の直流高圧電源のスパーク
抑制回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4121052A JPH0828940B2 (ja) | 1992-04-16 | 1992-04-16 | 直流高圧電源のスパーク抑制回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4121052A JPH0828940B2 (ja) | 1992-04-16 | 1992-04-16 | 直流高圧電源のスパーク抑制回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05300648A JPH05300648A (ja) | 1993-11-12 |
| JPH0828940B2 true JPH0828940B2 (ja) | 1996-03-21 |
Family
ID=14801647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4121052A Expired - Lifetime JPH0828940B2 (ja) | 1992-04-16 | 1992-04-16 | 直流高圧電源のスパーク抑制回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0828940B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011211785A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 電流分配装置 |
-
1992
- 1992-04-16 JP JP4121052A patent/JPH0828940B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05300648A (ja) | 1993-11-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4386395A (en) | Power supply for electrostatic apparatus | |
| US3622839A (en) | Control system for electrostatic precipitator power supply | |
| JPS59216479A (ja) | 電気集塵機用パルス電源 | |
| JP3392915B2 (ja) | 電子機器用電源装置 | |
| JPH0828940B2 (ja) | 直流高圧電源のスパーク抑制回路 | |
| JPH06133535A (ja) | 電源装置 | |
| US2320224A (en) | Rectifier circuit | |
| JP2002272143A (ja) | パルス電源装置 | |
| JP2567338B2 (ja) | 静電処理装置の保護回路 | |
| JPS6387176A (ja) | 整流回路 | |
| JPH07308070A (ja) | 自励式整流回路のノイズ抑制回路 | |
| JPH0727097U (ja) | 除電器 | |
| JP3573733B2 (ja) | 電源回路 | |
| JP3331973B2 (ja) | 力率改善回路 | |
| JP2567446Y2 (ja) | 放電灯点灯装置 | |
| JPS61128719A (ja) | 回路遮断器 | |
| JPH0370358B2 (ja) | ||
| JP2002374620A (ja) | サージアブソーバ回路 | |
| JPH0416637Y2 (ja) | ||
| JPH07336877A (ja) | 過電圧保護装置 | |
| JP3004841B2 (ja) | コレクタ電源 | |
| KR0121314Y1 (ko) | 초기 과전류 제거기능을 구비한 과전압 보호회로 | |
| JPS6334425Y2 (ja) | ||
| JPS6333615B2 (ja) | ||
| JP2004282843A (ja) | タイマ用電源装置 |