JP2002272143A - パルス電源装置 - Google Patents

パルス電源装置

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JP2002272143A
JP2002272143A JP2001062360A JP2001062360A JP2002272143A JP 2002272143 A JP2002272143 A JP 2002272143A JP 2001062360 A JP2001062360 A JP 2001062360A JP 2001062360 A JP2001062360 A JP 2001062360A JP 2002272143 A JP2002272143 A JP 2002272143A
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power supply
capacitor
pulse
voltage
resistor
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Fumihiko Endo
藤 文 彦 遠
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Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 パルス発生手段のパルス電圧に起因するサー
ジ電圧を抑制することによって、不要な振動電圧が直流
電源に印加されることを防ぎ、信頼性の向上及び長寿命
化を図ることのできるパルス電源装置を提供する。 【解決手段】 第1のコンデンサに充電されたエネルギ
ーをパルス電圧として取り出し、第2のコンデンサを介
して、放電負荷に供給するパルス発生手段と、出力段に
第3のコンデンサを有し、この第3のコンデンサの両端
の直流電圧を放電負荷に連続的に印加する直流電源とを
備えるパルス電源装置において、パルス発生手段と直流
電源とが接続される経路に、パルス電圧に起因する共振
現象を阻止する第1の抵抗を接続したことを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、排ガス中
の有害物質をパルスコロナ放電を用いて分解処理する排
ガス処理装置や、各種加工に用いるパルスレーザ装置
等、パルスパワー応用装置を駆動するためのパルス電源
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、パルスコロナ放電を用いてN
、ダイオキシン類などの有害物質を分解処理する排
ガス処理装置や、物体の超精密加工に用いるエキシマレ
ーザ装置等、放電を利用したパルスパワー応用装置に対
する産業上の需要が高まってきている。この種のパルス
パワー応用装置を駆動するには、波高値が数10kV〜
数100kVの高電圧パルスを発生するパルス電源が必
要不可欠である。
【0003】図5はこの種の従来のパルス電源装置の構
成を示す回路図である。同図において、充電電源11
は、直流電源電圧をインバータ回路及び昇圧トランスに
よって生成される共振電流を整流回路にて高圧の直流電
圧に変換する装置であり、これによってコンデンサ12
が充電される。このコンデンサ12の両端には、スイッ
チ13を介して、放電負荷20が接続されている。ここ
で、スイッチ13を閉成させると、コンデンサ12の両
端電圧が放電負荷20に印加され、これによって放電負
荷20にパルス電圧が供給される。従って、充電電源1
1、コンデンサ12及びスイッチ13がパルス発生手段
10を構成している。
【0004】しかるに、図5に示したパルス電源装置は
回路電圧が高いため、大きな絶縁距離を必要とすること
から、パルス発生手段10を構成する充電電源11、コ
ンデンサ12及びスイッチ13の大型化、高コスト化は
免れなかった。
【0005】図6はパルス発生手段10の小型化、低コ
スト化を実現するものとして、最近積極的に利用されて
いるもう一つ他のパルス電源装置の構成を示す回路図で
ある。この装置は、パルス発生手段10の他に直流電源
30を備えている。この直流電源30は、図示を省略し
た高圧の交流電圧発生回路の出力を整流回路31で整流
し、コンデンサ32を充電する構成になっている。そし
て、コンデンサ32の両端電圧を放電負荷20に連続的
に印加した状態でパルス発生手段10からパルス電圧を
供給する。この場合、パルス発生手段10と放電負荷2
0との間に、直流電圧を遮断するカップリングコンデン
サ41と、このカップリングコンデンサ41のパルス電
圧の供給側を接地する接地用リアクトル42とが設けら
れている。また、放電負荷20と直流電源30との間に
はパルス電圧が直流電源30に印加されることを阻止す
る充電用リアクトル43が設けられている。
【0006】以下、図7に示す時間tと電圧Vの関係を
示す線図を用いて、図6に示すパルス電源装置の動作を
説明する。パルス発生手段10においては、充電電源1
1によってコンデンサ12が高圧に充電される。一方、
直流電源30の直流電圧Vdcによってカップリングコン
デンサ41が充電されると共に、この直流電圧Vdcが放
電負荷20に印加される。この場合、直流電圧Vdcは放
電負荷20の放電開始電圧以下であるため、放電負荷2
0において放電は発生しない。
【0007】この状態で、例えば、図7の時刻t1にお
いて、スイッチ13を投入すると直流電圧Vdcにパルス
電圧Vpulse が重畳され、その電圧が放電負荷20の
放電開始電圧Vdis 以上になると放電負荷20の絶縁が
破壊されて放電が発生する。このとき、コンデンサ12
→スイッチ13→カップリングコンデンサ41→放電負
荷20→コンデンサ12の経路でエネルギーが放電負荷
20に注入される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】図6に示した従来のパ
ルス電源装置においては、パルス発生手段10からのパ
ルス電圧によるサージ電圧が、コンデンサ12→スイッ
チ13→カップリングコンデンサ41→充電用リアクト
ル43→直流電源30→コンデンサ12の経路で直流電
源30に印加される。この場合、充電用リアクトル43
の値を適切に選択することによってサージ電圧を抑制す
ることができる。しかし、直流電源30はコンデンサ3
2を含んで構成されており、これをコンデンサ要素とし
て充電用リアクトル43との間で共振が起こる。この共
振現象は、直流電源30の出力端子に連続して共振電圧
を発生させるため、直流電源30を構成する整流回路3
1に不要な電圧を印加する要因となり、場合によっては
整流回路31を構成する、例えば、ダイオードを破壊さ
せることがあるため、装置の信頼性を低下させると同時
に寿命が著しく短くなるという問題があった。
【0009】本発明は上記の問題点を解決するためにな
されたもので、パルス発生手段のパルス電圧に起因する
サージ電圧を抑制することによって、不要な振動電圧が
直流電源に印加されることを防ぎ、信頼性の向上及び長
寿命化を図ることのできるパルス電源装置を提供するこ
とを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
第1のコンデンサに充電されたエネルギーをパルス電圧
として取り出し、第2のコンデンサを介して、放電負荷
に供給するパルス発生手段と、出力段に第3のコンデン
サを有し、この第3のコンデンサの両端の直流電圧を放
電負荷に連続的に印加する直流電源とを備えるパルス電
源装置において、パルス発生手段と直流電源とが接続さ
れる経路に、パルス電圧に起因する共振現象を阻止する
第1の抵抗を接続したことを特徴とする。
【0011】請求項2に係る発明は、請求項1に記載の
パルス電源装置において、第1の抵抗の抵抗値をRb、
第2のコンデンサから直流電源までの配線のインダクタ
ンスをLs1、第3のコンデンサの静電容量をCdcとする
とき、次式の関係を満たすことを特徴とする。
【0012】Rb≧(Ls1/Cdc)1/2 請求項3に係る発明は、第1のコンデンサに充電された
エネルギーをパルス電圧として取り出し、第2のコンデ
ンサを介して、放電負荷に供給するパルス発生手段と、
出力段に第3のコンデンサを有し、この第3のコンデン
サの両端の直流電圧を放電負荷に連続的に印加する直流
電源とを備えるパルス電源装置において、パルス発生手
段と直流電源とが接続される経路に、パルス電圧に起因
する共振現象を阻止する抵抗とリアクトルとを直列に接
続したことを特徴とする。
【0013】請求項4に係る発明は、請求項3に記載の
パルス電源装置において、抵抗の抵抗値をRb、リアク
トルのインダクタンスをLb、第2のコンデンサから直
流電源までの配線のインダクタンスをLs1、第3のコン
デンサの静電容量をCdcとするとき、次式の関係を満た
すことを特徴とする。
【0014】Rb≧{(Ls1+Lb)/Cdc}1/2 請求項5に係る発明は、請求項1乃至5のいずれか1項
に記載のパルス電源装置において、直流電源の出力端子
間にサージ電圧抑制のための第4のコンデンサを接続し
たことを特徴とする。
【0015】請求項6に係る発明は、請求項3に記載の
パルス電源装置において、さらに、直流電源の出力端子
間にサージ電圧抑制のための第4のコンデンサを接続
し、抵抗の抵抗値をRb、リアクトルのインダクタンス
をLb、第2のコンデンサから直流電源までの配線のイ
ンダクタンスをLs1、第3のコンデンサの静電容量をC
dc、第4のコンデンサの静電容量をCpとするとき、次
式の関係を満たすことを特徴とする。
【0016】 Rb≧{(Ls1+Lb)/(Cp+Cdc)}1/2 請求項7に係る発明は、請求項5又は6に記載のパルス
電源装置において、さらに、直流電源と第4のコンデン
サとの接続経路にダンピング用の第2の抵抗を接続した
ことを特徴とする。
【0017】請求項8に係る発明は、請求項7に記載の
パルス電源装置において、第2の抵抗の抵抗値をRd、
第3のコンデンサの静電容量をCdc、第4のコンデンサ
の静電容量をCp、直流電源の出力端子から第4のコン
デンサが接続される端子までの配線のインダクタンスを
Ls2とするとき、次式の関係を満たすことを特徴とす
る。
【0018】 Rd≧{(Ls2/(Cp・Cdc)/(Cp+Cdc)}1/2
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す好適な
実施形態に基づいて詳細に説明する。図1は本発明に係
るパルス電源装置の第1の実施形態の構成を示す回路図
であり、図中、従来装置を示す図6と同一の要素には同
一の符号を付してその説明を省略する。この実施形態は
図6中の充電用リアクトル43を除去し、新たにブロッ
キング抵抗44を接続した点が図6と構成を異にしてい
る。なお、直流電源30とカップリングコンデンサ41
との間の配線のインダクタンスを配線インダクタンス4
5として表している。
【0020】ここで、パルス発生手段10からのパルス
電圧によって直流電源30にサージ電圧が印加される。
このサージ電圧は、コンデンサ12→スイッチ13→カ
ップリングコンデンサ41→配線インダクタンス45→
ブロッキング抵抗44→直流電源30→コンデンサ12
の経路で流れるが、このとき、ブロッキング抵抗44の
抵抗値を次式に従って決定することによって上記経路に
共振現象が発生しないようにしている。
【0021】Rb≧(Ls1/Cdc)1/2 …(1) ただし、 Rb :ブロッキング抵抗44の抵抗値[Ω] Ls1:配線インダクタンス45の値 [H] Cdc:直流電源30のコンデンサ32の静電容量[F] である。
【0022】回路定数を(1)式のように決定すること
により振動モードになることを防ぎ、サージ電圧を速や
かに消滅させることができる。
【0023】かくして、第1の実施形態によれば、パル
ス発生手段のパルス電圧に起因するサージ電圧を抑制す
ることができ、整流回路31の破損を未然に防止するこ
とができる。
【0024】なお、本実施形態におけるコンデンサ12
が本発明の第1のコンデンサに、カップリングコンデン
サ41が本発明の第2のコンデンサに、コンデンサ32
が本発明の第3のコンデンサに、ブロッキング抵抗44
が本発明の第1の抵抗にそれぞれ対応している。
【0025】図2は本発明に係るパルス電源装置の第2
の実施形態の構成を示す回路図であり、図中、第1の実
施形態を示す図1と同一の要素には同一の符号を付して
その説明を省略する。この実施形態はカップリングコン
デンサ41とブロッキング抵抗44との間に、新たに配
線インダクタンス45よりも十分に大きなインダクタン
スを持つブロッキングリアクトル46を接続した点が図
1と構成を異にしている。
【0026】ここで、パルス発生手段10からのパルス
電圧によって直流電源30にサージ電圧が印加される。
このサージ電圧は、コンデンサ12→スイッチ13→カ
ップリングコンデンサ41→配線インダクタンス45→
ブロッキングリアクトル46→ブロッキング抵抗44→
直流電源30→コンデンサ12の経路で流れるが、この
とき、ブロッキング抵抗44の抵抗値を次式に従って決
定することによって上記経路に共振現象が発生しないよ
うにしている。
【0027】 Rb≧{(Ls1+Lb)/Cdc}1/2 …(2) ただし、 Rb :ブロッキング抵抗44の抵抗値[Ω] Ls1:配線インダクタンス45の値 [H] Cdc:直流電源30のコンデンサ32の静電容量[F] である。
【0028】回路定数を(2)式のように決定すること
により振動モードになることを防ぎ、サージ電圧を速や
かに消滅させることができる。
【0029】かくして、第2の実施形態によれば、パル
ス発生手段のパルス電圧に起因するサージ電圧を抑制す
ることができ、整流回路31の破損を未然に防止するこ
とができる。
【0030】図3は本発明に係るパルス電源装置の第3
の実施形態の構成を示す回路図であり、図中、第1の実
施形態を示す図1と同一の要素には同一の符号を付して
その説明を省略する。この実施形態は直流電源30の出
力端子間に第4のコンデンサとしてサージ抑制用コンデ
ンサ47を接続した点が図1と構成を異にしている。
【0031】ここで、パルス発生手段10からのパルス
電圧によって直流電源30にサージ電圧が印加される。
このサージ電圧は、コンデンサ12→スイッチ13→カ
ップリングコンデンサ41→配線インダクタンス45→
ブロッキング抵抗44→直流電源30→コンデンサ12
の経路で流れる。この電流経路に対して、直流電源30
の出力端子間にサージ抑制用コンデンサ47を接続する
ことによって、サージ電圧に対する直流電源30のイン
ピーダンスを低減することができる。このとき、ブロッ
キング抵抗44の抵抗値を次式に従って決定することに
よって上記経路に共振現象が発生しないようにしてい
る。
【0032】 Rb≧{(Ls1+Lb)/Cdc}1/2 …(2) ただし、 Rb :ブロッキング抵抗44の抵抗値[Ω] Ls1:配線インダクタンス45の値 [H] Cdc:直流電源30のコンデンサ32の静電容量[F] である。
【0033】回路定数を(2)式のように決定すること
により振動モードになることを防ぎ、サージ電圧を速や
かに消滅させることができる。
【0034】かくして、第3の実施形態によれば、パル
ス発生手段のパルス電圧に起因するサージ電圧を抑制す
ることができ、整流回路31の破損を未然に防止するこ
とができる。
【0035】図4は本発明に係るパルス電源装置の第4
の実施形態の構成を示す回路図であり、図中、第3の実
施形態を示す図3と同一の要素には同一の符号を付して
その説明を省略する。この実施形態は直流電源30とサ
ージ抑制用コンデンサ47との間に、ダンピング抵抗4
8を新たに接続した点が図3と構成を異にしている。な
お、直流電源30とサージ抑制用コンデンサ47が接続
される部位までの配線インダクタンスを配線インダクタ
ンス49で表し、サージ抑制用コンデンサ47が接続さ
れる部位からカップリングコンデンサ41までの配線の
インダクタンスを配線インダクタンス45として表して
いる。
【0036】ここで、パルス発生手段10からのパルス
電圧によって直流電源30にサージ電圧が印加される。
図3に示した第3の実施形態では、サージ電圧によっ
て、サージ抑制用コンデンサ47→配線インダクタンス
49→直流電源30→サージ抑制用コンデンサ47の閉
回路によって新たな共振現象が発生し、直流電源30を
構成する整流回路31に不要な電圧を印加する要因とな
り、場合によっては整流回路31を構成する例えばダイ
オードを破壊させることが考えられる。そこで、この実
施形態はサージ抑制用コンデンサ47と直流電源30と
の間にダンピング抵抗48を挿入し、ブロッキング抵抗
44の抵抗値を次式に従って決定することによって上記
の共振現象が発生しないようにしている。
【0037】 Rd≧{(Ls2/(Cp・Cdc)/(Cp+Cdc)}1/2…(4) ただし、 Rd :ダンピング抵抗48の抵抗値[Ω] Ls2:直流電源30、ダンピング抵抗48及びサージ抑
制用コンデンサ47の直列接続回路の配線インダクタン
ス[H] Cp :サージ抑制用コンデンサ47の静電容量[F] Cdc:直流電源30のコンデンサ32の静電容量[F] である。
【0038】サージ抑制用コンデンサ47と直流電源3
0との間に(4)式の関係を満たすダンピング抵抗48
を挿入することによって不要な振動電圧の発生を抑制す
ることができ、サージ電圧を速やかに消滅させることが
できる。
【0039】かくして、第4の実施形態によれば、パル
ス発生手段のパルス電圧に起因するサージ電圧を抑制す
ることができ、整流回路31の破損を未然に防止するこ
とができる。
【0040】
【発明の効果】以上の説明によって明らかなように、本
発明によれば、パルス発生手段のパルス電圧に起因する
サージ電圧を抑制することによって、不要な振動電圧が
直流電源に印加されることを防ぎ、信頼性の向上及び長
寿命化を図ることのできるパルス電源装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るパルス電源装置の第1の実施形態
の構成を示す回路図。
【図2】本発明に係るパルス電源装置の第2の実施形態
の構成を示す回路図。
【図3】本発明に係るパルス電源装置の第3の実施形態
の構成を示す回路図。
【図4】本発明に係るパルス電源装置の第4の実施形態
の構成を示す回路図。
【図5】従来のパルス電源装置の構成を示す回路図。
【図6】従来のもう一つ他のパルス電源装置の構成を示
す回路図。
【図7】図6に示したパルス電源装置の動作を説明する
ために、時間と電圧との関係を示した線図。
【符号の説明】
10 パルス発生手段 11 充電電源 12 コンデンサ 13 スイッチ 20 放電負荷 30 直流電源 31 整流回路 32 コンデンサ 41 カップリングコンデンサ 42 接地用リアクトル 43 充電用リアクトル 44 ブロッキング抵抗 45 配線インダクタンス 46 ブロッキングリアクトル 47 サージ抑制用コンデンサ 48 ダンピング抵抗 49 配線インダクタンス

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】第1のコンデンサに充電されたエネルギー
    をパルス電圧として取り出し、第2のコンデンサを介し
    て、放電負荷に供給するパルス発生手段と、出力段に第
    3のコンデンサを有し、この第3のコンデンサの両端の
    直流電圧を前記放電負荷に連続的に印加する直流電源と
    を備えるパルス電源装置において、 前記パルス発生手段と前記直流電源とが接続される経路
    に、前記パルス電圧に起因する共振現象を阻止する第1
    の抵抗を接続したことを特徴とするパルス電源装置。
  2. 【請求項2】前記第1の抵抗の抵抗値をRb、前記第2
    のコンデンサから前記直流電源までの配線のインダクタ
    ンスをLs1、前記第3のコンデンサの静電容量をCdcと
    するとき、次式の関係を満たすことを特徴とする請求項
    1に記載のパルス電源装置。 Rb≧(Ls1/Cdc)1/2
  3. 【請求項3】第1のコンデンサに充電されたエネルギー
    をパルス電圧として取り出し、第2のコンデンサを介し
    て、放電負荷に供給するパルス発生手段と、出力段に第
    3のコンデンサを有し、この第3のコンデンサの両端の
    直流電圧を前記放電負荷に連続的に印加する直流電源と
    を備えるパルス電源装置において、 前記パルス発生手段と前記直流電源とが接続される経路
    に、前記パルス電圧に起因する共振現象を阻止する抵抗
    とリアクトルとを直列に接続したことを特徴とするパル
    ス電源装置。
  4. 【請求項4】前記抵抗の抵抗値をRb、前記リアクトル
    のインダクタンスをLb、前記第2のコンデンサから前
    記直流電源までの配線のインダクタンスをLs1、前記第
    3のコンデンサの静電容量をCdcとするとき、次式の関
    係を満たすことを特徴とする請求項3に記載のパルス電
    源装置。 Rb≧{(Ls1+Lb)/Cdc}1/2
  5. 【請求項5】前記直流電源の出力端子間にサージ電圧抑
    制のための第4のコンデンサを接続したことを特徴とす
    る請求項1乃至5のいずれか1項に記載のパルス電源装
    置。
  6. 【請求項6】前記直流電源の出力端子間にサージ電圧抑
    制のための第4のコンデンサを接続し、前記抵抗の抵抗
    値をRb、前記リアクトルのインダクタンスをLb、前記
    第2のコンデンサから前記直流電源までの配線のインダ
    クタンスをLs1、前記第3のコンデンサの静電容量をC
    dc、前記第4のコンデンサの静電容量をCpとすると
    き、次式の関係を満たすことを特徴とする請求項3に記
    載のパルス電源装置。 Rb≧{(Ls1+Lb)/(Cp+Cdc)}1/2
  7. 【請求項7】前記直流電源と前記第4のコンデンサとの
    接続経路にダンピング用の第2の抵抗を接続したことを
    特徴とする請求項5又は6に記載のパルス電源装置。
  8. 【請求項8】前記第2の抵抗の抵抗値をRd、前記第3
    のコンデンサの静電容量をCdc、前記第4のコンデンサ
    の静電容量をCp、前記直流電源の出力端子から前記第
    4のコンデンサが接続される端子までの配線のインダク
    タンスをLs2とするとき、次式の関係を満たすことを
    特徴とする請求項7に記載のパルス電源装置。 Rd≧{(Ls2/(Cp・Cdc)/(Cp+Cdc)}1/2
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