JPH08264405A

JPH08264405A - プロセスフロー生成装置

Info

Publication number: JPH08264405A
Application number: JP3300596A
Authority: JP
Inventors: Yasunari Ito; 康成伊藤
Original assignee: NipponDenso Co Ltd
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 1995-01-26
Filing date: 1996-01-25
Publication date: 1996-10-11
Anticipated expiration: 2016-01-25
Also published as: JP3304741B2

Abstract

(57)【要約】【課題】流動中のロットに対して、処理や流動を停止さ
せることなく、変更されたプロセスフローを適正な時期
に反映させること。【解決手段】更新された品名固有フロー及び変更位置
は、時間経過と共に更新される世代毎に区別して記憶さ
れる。品名固有フローのうち、そのロット固有フローに
未だ反映されていない世代の品名固有フローであって、
それらの世代の変更位置と注目ロットが存在する現在位
置との位置関係に基づいて、ロット固有フローにその世
代の品名固有フローを反映できるか否かが判定される。
反映可能と判定された場合には、ロット固有フロー更新
手段により、注目ロットに対するロット固有フローに反
映可能と判定された各世代の品名固有フローの変更可能
な変更部分が反映され、そのロット固有フローが更新さ
れる。これにより、未だ反映されていない世代の品名固
有フローの変更可能な工程の更新が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、製造に長時間要す
る半導体装置の自動化された製造工場において、現在、
流動中のロットに対しても、処理順序や処理内容の変更
をリアルタイムに反映させて製品品質の適正化を図った
システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造は、洗浄、気相成長、
拡散、フォトリソグラフ、エッチング、ダイシング等、
極めて多数の処理を必要とし、しかも、多品種且つ多量
生産が要請される。多品種、多量生産に適するように、
ロット単位で各製造装置に任意の順序で搬入搬出できる
いわゆるワークショップ方式が採用されている。このよ
うな方式を用いた完全自動化工場では、コンピュータシ
ステムにより、オーダーに従って製造計画が立てられ、
納期に間に合うように且つ装置の稼働効率、他の製品の
製造効率等を考慮して、各製造装置への最適な搬入時期
が制御される。このようなシステムにおいて、半導体装
置の微細化が進み、より高精度な製品を製造するため処
理工程数が増大し、その製造には、必然的に長時間を要
し、例えば、１〜３か月間必要となる。

【０００３】一方、このようなシステムにおいては、ロ
ットを各製造装置にどのような順序で流動させ、各製造
装置においてどのような手順及び条件で処理させるかを
規定したマスタデータの作成が必要となる。ある製造装
置における処理は多数存在するが、この処理を最小作業
単位（以下、この作業単位を「工程」ともいう）に区分
して、最小作業単位毎に温度、時間、圧力等の処理条件
や処理方法（レシピ）を記述してデータベース化してい
る。そして、ある半導体装置の製造依頼があれば、その
仕様に基づいて、作業内容を新規に生成する必要があれ
ば、それを生成し、製造に必要な最小作業単位である工
程を拾い出し、その工程名を処理順に記述したプロセス
フローデータ（以下、単に、「プロセスフロー」とい
う）を生成している。

【０００４】このプロセスフローに従ってロットは規定
された順序で順次作業単位が処理されるように製造装置
に搬入搬出され、ロットが製造装置に搬入された時に、
データベースから工程名により検索された作業内容がそ
の製造装置に指令されることで、ロットの処理が順次行
われる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述したよ
うに半導体装置の製造には長時間かかり、その間に工場
を流動しているロットも多数存在する。このような場合
に、ある品名の最先に導入されたロットの各作業単位又
は最終製品での品質を測定して、その品質を仕様通りに
するために、作業内容や工程順序を変更したい場合があ
る。又、工場内の環境の変化や処理技術の進歩等を即刻
反映させ、作業内容や工程順序を変更したい場合があ
る。

【０００６】このような場合には、プロセスフローのあ
る工程名の作業内容に変化があれば、その工程名をその
変化した作業内容を示す別の工程名に変更したり、工程
順序の変更も同様に工程名の並び代え変更により行って
いる。このプロセスフローの変更は、変更後に新規に工
場に投入されるロットに対しては、どの工程も未だ実行
されていないため、その反映が可能である。しかし、流
動中のロットに対しては、プロセスフローの変更後、そ
れを直ちに適用することはできない。何故ならば、半導
体製造工程においては、複数の工程における作業内容が
密接に関連しており、前工程の処理条件を変更すれば、
関連する後工程の処理条件も変更しなければならないと
いう場合が多い。この場合に、その前工程が既に実施さ
れたロットに対して、その関連ある後工程の処理条件を
変更することはできない。よって、流動中の変更対象と
なる全てのロットに関して、プロセスフローを即刻変更
することは出来ない。

【０００７】従来のシステムでは、このような流動中の
ロットに対してプロセスフローの変更を反映させる場合
には、ロットの流動を一時停止させ、各ロット毎に、プ
ロセスフローの変更が可能か否かを作業者が判断してい
た。このような作業は多品種、多量ロットの場合におい
ては、作業が極めて複雑であり、製造効率の低下の原因
となっていた。特に、結果から処理内容をフィードバッ
クさせる場合には、プロセスフローの変更が頻繁とな
り、その場合には、製造効率の低下はさらに大きくな
る。

【０００８】さらに、流動中の対象ロットに対して、プ
ロセスフローの反映を即刻反映させたとしても、一斉に
変更する結果、コンピュータの処理負荷が大きくなり、
変更だけで数時間程度の時間を要し、その間はロットの
処理や流動を停止させなければならないという問題があ
る。

【０００９】従って本発明の目的は、流動中のロットに
対して、処理や流動を停止させることなく、変更された
プロセスフローを適正な時期に反映させることで、不良
製品の発生を極力防止し且つ製品の品質を向上させ、し
かも、製造効率を向上させることである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、製造すべき半
導体装置の各品名毎に最小作業単位を示す工程名を処理
順序に従って記述した品名固有フローに基づいて、ロッ
ト単位で流動させ処理を行うために、ロット毎に順次実
行すべき工程を指令するための工程名を記述したロット
固有フローを生成するプロセスフロー生成装置である。

【００１１】請求項１の構成によれば、ロット毎にロッ
ト固有フローがロット固有フロー記憶手段に記憶され、
品名固有フロー更新手段により、品名固有フローは、更
新に対して相互に同期して変更を必要とする複数の工程
名毎に更新され、ロットの流動順に関して最も最初に位
置する変更工程の位置が変更位置として設定される。こ
の変更位置を設定することで、後述するように、更新さ
れた品名固有フローを反映できるロットを選別すること
ができる。

【００１２】又、更新された品名固有フロー及び変更位
置は、時間経過と共に更新される世代毎に区別して更新
履歴記憶手段に記憶され、初期値設定手段により、半導
体製造ラインに新規に導入されるロットに対して、更新
履歴記憶手段に記憶されている最新であってそのロット
に対応する品名の品名固有フローが、その初期値とし
て、ロット固有フロー記憶手段に設定される。これによ
り、製造ラインに新規に投入されるロットは、先ずは、
最新に設定された処理条件と処理手順に従って処理され
る予定となる。

【００１３】流動中のある注目ロットに対するロット固
有フローの更新は、次のように行われる。判定手段によ
り、更新履歴記憶手段に記憶されている品名固有フロー
のうち、そのロット固有フローに未だ反映されていない
世代の品名固有フローであって、それらの世代の変更位
置と注目ロットが存在する現在位置との位置関係に基づ
いて、ロット固有フローにその世代の品名固有フローを
反映できるか否かが判定される。この位置関係により、
そのロットは変更された複数の工程の最も手前にある工
程が実施されたか否かの判定が可能となり、品名固有フ
ローの反映の可否を世代別に判定することができる。

【００１４】反映可能と判定された場合には、ロット固
有フロー更新手段により、注目ロットに対するロット固
有フローに反映可能と判定された各世代の品名固有フロ
ーの変更可能な変更部分が反映され、そのロット固有フ
ローが更新される。これにより、未だ反映されていない
世代の品名固有フローの変更可能な工程の更新が可能と
なる。

【００１５】このようにして、流動中のロットにおい
て、現在位置と変更位置との関係で品名固有フローの変
更がロット固有フローに反映されるため、プロセスフロ
ーの論理性を保持した変更が可能となる結果、不良品の
発生を極力防止し、品質向上を図ることができる。又、
品名固有フローは、時間の経過と共に多数回更新される
が、その更新は履歴として記憶されるため、流動中のロ
ットへの反映は、更新時期と完全に同期させる必要がな
い。これにより、流動中の更新の対象となる全ロットに
対して、一斉に、ロット固有フローの更新をする必要が
ないため、負荷分散が可能となり、他の製造管理システ
ムへの影響がなく、製造効率を低下させない。尚、品名
は仕様の異なる製品の識別情報の意味で用いており、品
番やその他の識別情報を含む概念である。

【００１６】請求項２の発明では、判定手段は、注目ロ
ットの現在位置が変更位置に対して流動順に見て手前に
存在する時に反映可能と判定し、変更位置が注目ロット
の現在位置に対して手前に存在する時に反映不可と判定
する。現在位置が変更位置よりも手前に存在すれば、そ
の変更位置よりも後に存在する工程は未だ実施していな
いので、その変更位置よりも後に存在する複数の変更工
程名を、そのロットのロット固有フローにおいて反映さ
せることが可能となる。この反映は、未だ反映されてい
ない世代の品名固有フローの全てに対して実施される。
これにより、流動中のロットは、以後、最新の処理条件
及び手順で処理されることになり、製造効率を低下させ
ることなく品質の向上が図れる。

【００１７】請求項３の発明では、ロット固有フロー更
新手段は、反映可能と判定された各世代の品名固有フロ
ーの変更可能な変更部分の反映に際し、古い世代から順
に反映させている。品名固有フローの更新は、１つ前の
世代に対する変更であるので、ロット固有フローが変更
工程に対応する１つ前の変更前工程を有していないと、
変更の対象とはならない。このような場合は、ロット固
有フローに反映できなかった世代の品名固有フローが存
在する場合に発生し得る。この結果、古い世代から順に
反映させれば、更新不可能な工程が少なくなり、ロット
固有フローの更新に際して、反映可能な工程を多くする
ことができ、流動中のロットに対する品質の向上をより
実現することができる。

【００１８】請求項４の発明では、ロット固有フロー更
新手段は、品名固有フローの反映が可能と判定された世
代の変更位置のうち、流動順の最も手前にある最前変更
位置に注目ロットが達するまでの任意時刻においてロッ
ト固有フローを更新するようにしている。この結果、流
動中の更新の対象となる全ロットに対するロット固有フ
ローの更新時期を分散させることで負荷分散が可能とな
り、他の製造管理システムへの影響がなく、製造効率を
低下させない。

【００１９】請求項５の発明では、ロット固有フロー更
新手段は、最前変更位置に注目ロットが達するまでの余
裕時間に基づいて、そのロット固有フローの更新時期を
決定している。即ち、ロット固有フローの更新を行う時
点での最前変更位置にロットが到達するまでに更新が行
えれば、最新の処理条件等の変更を反映させることがで
きる。余裕時間が短いロットを優先して更新し、余裕時
間が長いロットは、更新時期を後に繰り下げる等の操作
が可能となる。これにより、更新の適正な負荷分散が可
能となり、他の製造管理システムへの影響がなく製造効
率を低下させずに、流動中のロットから製品の品質を向
上させることができる。

【００２０】請求項６の発明では、ロット固有フロー更
新手段は、最前変更位置に注目ロットが達するまでの余
裕時間及び更新手段にかかる負荷に応じて、そのロット
固有フローの更新時期を決定している。よって、請求項
５と同様な効果を奏する。

【００２１】請求項７の発明では、判定手段は、流動中
のロットが各工程の処理が終了した時刻で、判定演算を
実行している。ロットがある工程の処理を実施されてい
る時には、その工程の処理条件の変更はできないので、
工程の終了時期で判定すれば、最新の処理条件を反映す
ることが可能となる。工場を流動するロットの各工程の
終了時期は不均一である。よって、判定要求はランダム
に発生することになるので、判定更新演算の負荷分散が
可能となり、他の製造管理システムへの影響がなく製造
効率を低下させずに、流動中のロットから製品の品質を
向上させることができる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体的な実施例に
基づいて説明する。1.全体構成図１は、本発明の具体的な実施例にかかるプロセスフロ
ー生成装置５０を含む完全自動半導体製造システムの構
成を示したブロック図である。本システムはコンピュー
タシステムで構成されており、図１は、ソフトウエア上
の処理単位別にブロック化した図である。本システム
は、工場内に半導体製造装置を複数配設し、ロットを指
令された工程順にそれらの半導体製造装置に順次搬入し
て加工処理することで、完全自動による多品種、大量生
産を可能とするシステムである。本製造システムでは、
ワークショップ方式により、多数のロットが各ロット毎
に独自の工程順及び処理手順に従って処理されて行く。
このようなシステムでは製品が完成するまでに長時間要
し、その間に、ロットの各作業単位又は最終製品での品
質を測定して、その品質を仕様通りにするために、作業
内容や工程順序が変更される。又、工場内の環境の変化
や処理技術の進歩等を即刻反映させて、作業内容や工程
順序を変更する。これらの変更に伴いプロセスフローが
変更され、流動中のロットに対して、効率良くその変更
が反映される。

【００２３】図１において、原単位管理システム３１
は、品名毎のプロセスフロー、プロセスフローの各工程
名に対応した各作業単位の作業内容、及び、設備制御・
工程管理・生産管理・品質管理等の自動化に必要な他の
情報（以下、自動製造において基礎となるこれらの情報
を全て総称して、「マスタデータ」という）を作成する
システムである。生産管理システム３２は、製品の受注
量に応じて製造ラインに新規に投入するロット数を日単
位で決定する等の工場生産計画を作成するシステムであ
る。スケジューリングシステム３３は、工場生産計画及
びマスタデータ等に基づいて、個々の半導体製造装置に
いつどのロットを仕掛けるべきかを規定した計画を最適
化し、その計画に従って指示を出すシステムである。こ
のスケジューリングシステム３３により、工場全体の設
備の稼働効率を向上させるように、各製造装置における
ロットの仕掛かり時期が制御されている。

【００２４】設備制御システム３５は、自動化された半
導体製造装置３７やロットの自動搬入及び搬出を行うた
めのＡＧＶ（自動搬送車）３８との間でデータ交換を行
い、それらの各装置の動作を指令するシステムである。
ロットトラッキングシステム３４は、設備制御システム
３５から入力される情報に基づいて、ロットのプロセス
フロー上における現在位置やロットの加工状態を記憶し
管理すると共に、スケジューリングシステム３３で作成
されたその時のスケジュールやロットのプロセスフロー
に従って設備制御システム３５に指令を出し、ロットの
搬入、搬出、工程の処理開始等を制御するシステムであ
る。

【００２５】履歴管理システム３６は、スケジューリン
グシステム３３、ロットトラッキングシステム３４、設
備制御システム３５から出力される実行結果を示す実績
データを履歴データとして格納し、それらの実績データ
を個々の各システム３１〜３５へフィードバックする装
置である。これにより、各システム３１〜３５における
各種のデータは、現実の製造状態が反映された最適なも
のとなる。例えば、ある製品のロットの工程の消化が遅
延していれば、その遅延を補償するように計画が立てら
れる。又、ある工程を終了したロットの品質結果によ
り、その工程の処理条件を変更して、後のロットにその
変更を反映した処理が可能なように、原単位管理システ
ム３１で生成されるプロセスフロー、各工程の作業内容
の記述が変更される。

【００２６】本発明にかかるプロセスフロー生成装置５
０は、製品の仕様により品名毎に決定されるプロセスフ
ロー（以下、「品名固有フロー」という）の更新に対し
て、流動中のロット毎のプロセスフロー（以下、「ロッ
ト固有フロー」という）に変更を加えて、ロット固有フ
ローを更新する装置である。この装置により、流動中の
ロットから、各工程の処理内容の変更を反映させること
ができる。プロセスフロー生成装置５０は、最新のロッ
ト固有フローをロットトラッキングシステム３４に出力
する。ロットトラッキングシステム３４はそのロット固
有フローの工程名によりそのロットを搬入すべき製造装
置を決定し、その製造装置へ搬入し、その製造装置にそ
の工程名での処理を行うことを設備制御システム３５を
介して指令する。このプロセスフロー生成装置５０は、
原単位管理システム３１の一構成要素である。

【００２７】2.品名固有フローの生成及び変更品名固有フローを生成するために、原単位管理システム
３１が設けられており、そのシステム３１の詳細な構成
は図２に示されている。図２において、プロセスフロー
編集装置４１は品名固有フローを編集するための装置で
あり、工場外の工程設計者が利用できる多数の箇所に設
けられている。品名固有フローは、品名毎の最小作業単
位である工程の流れを記述したものである。ここでは、
品名固有フローはこの工程名の羅列により記述されてい
る。プロセスパーツ編集装置４２は、各最小作業単位の
内容、即ち、レシピをパーツ群毎に記述し変更する装置
である。工程の処理条件等を変更する場合であって、他
の工程名では対応できない場合は、プロセスパーツ編集
装置４２を用いて、その条件で処理される作業内容を新
規に記述し、新しい工程名が定義される。データベース
（ＤＢ）コンパイラー４３は、品名固有フローや作業内
容をプロセスフロー生成装置５０や他のステム３２〜３
５で解読可能なようなデータ形式に変換する装置であ
る。又、マスターデータ展開装置４４は、工場内に分散
している複数のプロセスフロー生成装置５０に対して、
全く同一に、データベースから読み出し、品名固有フロ
ーを展開する装置である。

【００２８】ある品名固有フローを生成して、その品名
固有フローに従って製造が開始された後、上述したよう
に、各種の要因により工程順序や工程の処理内容に変更
を加えたい場合がある。その場合にも、プロセスフロー
編集装置４１により、品名固有フローの変更が加えられ
る。その変更は、マスターデータ展開装置４４を介し
て、プロセスフロー生成装置５０に出力され、その装置
５０によって、ロット固有フローに変更が加えられる。

【００２９】図２において、プロセスフロー編集装置４
１は、半導体装置製造プロセスの基本フローを設計・変
更したりする編集を行う基本フロー編集装置１、及び、
品名毎のオプション部分のみを設計・変更する品名フロ
ー変更編集装置２を有している。各装置１、２で独立に
編集されたそれぞれのプロセスフローは品名固有フロー
生成装置４に出力され、ＤＢコンパイラ４３によって、
各設備に対する指令コード群からなる品名固有フローに
変換され、品名固有フロー生成装置４に記憶される。

【００３０】１つの品名固有フローは数千工程程度を含
み、製品の品名毎に異なるものであるが、これらを品名
毎に最初から生成したのでは、多くの労力を必要とす
る。又、同様な変更を全ての品名固有フローに対して行
う必要がある場合に、個別的に変更していたのでは効率
が悪い。そこで、半導体製造工場で一般的に共通に使用
される工程をまとめて、予め、基本フローを生成してお
く。そして、各品名固有フローは、基本フローに対して
異なった部分だけからなる品名フロー変更を作成して、
それらの合成により生成することで、その生成が容易に
なる。

【００３１】この基本フローは工場におけるプロセスフ
ローの基幹部であり、最も規模の大きなデータ構成とな
る。又、個々の品名ごとに調整する工程部分は、基本フ
ローとは別に品名フロー編集装置２で編集され、その変
更部を記述した品名フロー変更は一つの品名に対して、
一つのデータファイルとして取り扱われる。ただし編集
する場合、図４に示すように、品名フロー変更７のデー
タのみでは意味を成さないので、元となる基本フロー６
と共に表示される。しかし、実際に作成される部分は品
名フロー変更７に含まれるオプション部分のみである。

【００３２】このように品名固有フローを基本フローと
品名フロー変更とに完全に分離して構成できるのは次の
理由があるからである。 (1) 品名固有フローは、工程の集合であり、その工程の
順序からなる情報の集合体である。従って、品名固有フ
ローは、自由に分割構成することが可能である。 (2) 個々の工程の作業を実施するのに必要な製造装置が
あり、その製造装置を実際に稼働する際に、その製造装
置を稼働するための指令情報が必要となる。 (3) 製造装置に属する情報、例えば、加工条件、温度条
件、可動部分の駆動指示等の詳細な条件は品名固有フロ
ーの記述とは独立したものである。 (4) 品名毎に使用される製造装置とその装置での処理条
件が異なる。 (5) 従って、仕様が類似した製品は、共通の基本フロー
が使用でき、その基本フローに対する変更部分を、品名
フロー変更として付加することによって個々の製品の品
名固有フローが生成できる。

【００３３】図４は、基本フローと品名フロー変更との
関係を示す説明図である。図４(a)は品名固有フローの
構成を示した概念図で、基本フロー６をベースとして品
名フロー変更７がオーバーラップしたイメージとなって
いる。従って、全体として変更部分が基本フローをマス
クしている形となり、基本フロー６の変更前の工程名は
そのまま残されている。言い換えれば、基本フロー６を
ベースにして品名フロー変更７というオプションが付け
加えられているので、このオプション部分をいろいろ変
更すれば、別の製品のための品名固有フローを容易に構
築することができる。

【００３４】図４(a) の(1) では一つの基本フロー６に
品名フロー変更７を設けているが、図４(a) の(2) では
複数用意されている基本フローI,II,IIIのそれぞれ必要
部分を寄せ合わせて一つの基本フロー６’として構成し
た場合のイメージを示している。品名フロー変更は、特
定の基本フローだけでなく複数の異なる基本フローに対
しても関連付けることができるので、基本フローをパー
ツのように扱うことができる。例えば、半導体装置が同
一構造であればＭＯＳ系とバイポーラ系とで同一工程を
適用できる可能性があるため、共通の工程を利用でき
る。

【００３５】品名フロー変更７は基本フロー６に含まれ
る工程名を持つ必要がなく、各製品にとって必要な基本
フローからの変更部分であるオプション部分のみを有し
て記憶しておけば良いので、編集における負担も発生せ
ず、取扱いが容易である。このように構成することで膨
大なデータ量となる基本フロー６をそのつど作成する必
要がなくなり、複数の基本フローをパーツのように管理
することができて扱いが容易になる利点がある。

【００３６】品名フロー変更７に含まれる工程は、個々
の製品のガラスマスク指定等のためのデータ、個々の製
品特有のオプション工程、その設備固有のレシピ（条
件）、測定作業等の指示、等々で構成される。図４(b)
で、基本フロー６の構成が作業単位である工程Ａ〜Ｋま
でであるとする。品名フロー変更(1) として工程Ｄ、
Ｇ、Ｈを工程ｄ',ｇ',ｈ' に変更するとき、品名フロー
変更７の構成は、品名フロー変更(1) に示されたその三
つの工程に関する変更データのみで良い。従ってデータ
量が基本フロー６に比べて十分少なく、取扱いが容易で
ある。そして、その品名に対しては、品名フロー変更７
と基本フロー６の合成により、品名固有フロー(1) が生
成される。

【００３７】そして別の製品を構成する品名フロー変更
(2) として、工程ｂ',ｅ',ｇ”が指定されているとする
と、この品名に対して基本フロー６とともにまた別の品
名固有フロー(2) が形成される。このようにして、各製
品ごとに品名フロー変更７が形成され、そのデータは基
本フロー６に比べて十分小さく、多数準備することが可
能となる。従ってこの製造工場で製造される製品におい
ては、このような基本フロー６を柱として品名フロー変
更７で細かく規定される単位毎に、製品のグループ化が
成されることにもなる。

【００３８】次に、基本フロー６が、基本フロー編集装
置１で修正されて、図４(b) の基本フロー変更[1] のよ
うに変更されたとする。この変更は工程ＤとＪが削除さ
れ、工程Ｘが工程ＥとＦの間に挿入される基本フロー変
更の場合を示している。このような基本フローの変更は
すべての品名フロー変更(1),(2) に反映する。反映させ
たフローが品名固有フロー(1)'および(2)'である。基本
フロー変更[1] では工程Ｄが削除されているので、それ
に対して変更を加えている品名フロー変更(1)の工程ｄ'
はマスクするべき元の工程がないため変更することが
できずに削除される。なお、工程Ｘが追加されているの
で工程Ｆ以降の表示位置が品名固有フロー(1) とずれて
いる。

【００３９】品名固有フロー(2)'では、工程ＤおよびＪ
が削除されていることは品名固有フロー(1)'と同様であ
るが、品名フロー変更(2) で工程Ｅを工程ｅ' に変更し
ているために、新たに挿入された工程Ｘの入るべき位置
を示す工程Ｅがないため、工程Ｘの挿入が反映されない
ようになっている。

【００４０】ところで、製品を製造するラインは通常長
く、複数の製品ロットが常時流れており、それぞれのロ
ットに対してロット固有フローが決められている。それ
は、製造途中で、変更があった場合などで、同じ製品で
も製造工程が異なる場合が存在し得るからである。従っ
て、自動化工場等におけるロット管理はそれぞれのロッ
ト毎のプロセスフローをも考慮しなければならない。こ
のため、それらのロット毎のプロセスフローに対しても
編集結果がかかわることから、品名フロー変更のデータ
量が少ないとは言え、変更のための編集時に、このプロ
セスフロー編集装置４１の負担が大きくなる。しかし、
本実施例システムでは、編集装置４１とは、別に、独立
して、ロット固有フローを更新するためのプロセスフロ
ー生成装置５０が設けられているために、編集装置４１
での負荷増大はない。即ち、編集とロット固有フローの
更新は並行して実行されるので、編集装置４１はロット
固有フローの変更まで関与する必要はなく、品名固有フ
ローの変更だけを行えば良い。

【００４１】品名固有フローと基本フローとのさらに詳
しい関係が図５に示されている。図５において、基本フ
ローが図５(a) に示すように、工程群Ａ〜工程群Ｋで構
成され、各工程群は作業単位である作業A1〜A4、作業B1
〜B4、〜作業K1〜K4で構成されている。工程群は単に複
数の作業を管理し易くするために群別化したに過ぎな
い。又、作業は、最小作業単位であり、今までに述べた
工程の意味である。

【００４２】この基本フローを用いて、図５(b) に示す
ように、品名固有フロー(1) を形成する場合、品名フロ
ー変更(1) は、図５(c) のような構成として表すことが
できる。即ち、品名フロー編集装置２で編集されるデー
タは基本フロー（図５(a))と異なる部分を記述して行く
ことで構成される。

【００４３】品名フロー変更(1) は、図５(c) と図５
(b) と比較して判るように、例えば、工程群Ａでは作業
A2が削除されているが、その削除を指示するために、ス
キップA2という命令語を有し、又、作業A3と作業A4とに
対しては、処理条件等の異なる作業A5と作業A6に変更す
る命令語を有している。又、工程群Ｂの作業は全て基本
フローと同一であるので工程群Ｂに関する指令は不要で
あり、工程群Ｃでは全ての作業が省略されるので工程群
Ｃ全体を削除するスキップＣの命令語が与えられてい
る。工程群Ｋでは、作業K2がスキップされ、さらに作業
K5が作業K3と作業K4との間に挿入される指示（インサー
トK5）が与えられている。

【００４４】このように、品名フロー編集装置２での編
集は、図５(c) の例で言えば、各工程群に含まれる作業
単位の工程を決定していくことである。このような工程
の処理内容は、工程名が付されてデータベース化されて
おり、編集が容易に実施できるようになっている。品名
フロー変更(1) に記述されていない工程名は、基本フロ
ーの工程名がそのまま反映されるので、基本フローに関
する情報を持つ必要がなく、品名フローの編集は品名固
有フロー全体を作成するよりも遙に簡単である。そし
て、実際に必要となる品名固有フローは、品名固有フロ
ー生成装置４により、図５(a) の基本フローの上に図５
(c) の品名フロー変更が重畳されて生成される。その生
成された品名固有フローは、ＤＢコンパイラー４３によ
り他のシスムテで解読可能な形式に変換される。

【００４５】3.プロセスフロー生成装置図３は、図２におけるプロセスフロー生成装置５０の詳
細な構成を示したブロック図である。図３において、プ
ロセスフロー変更履歴管理手段５１は、品名固有フロー
の更新に対して、各世代毎に品名固有フローを更新履歴
記憶手段５６に記憶するための品名固有フロー更新手段
５２、製造ラインに新規に投入されるロットに対してロ
ット固有フローの初期値を設定する初期値設定手段５４
を有している。又、プロセスフロー反映管理手段７１
は、各世代の品名固有フローの変更工程がロット固有フ
ローに反映できるか否かを判定する判定手段７２、その
判定手段７２の判定結果に基づいて、実際に、反映可能
な世代の品名固有フローの変更工程をロット固有フロー
に反映させるロット固有フロー更新手段７４を有してい
る。さらに、プロセスフロー生成装置５０には、時間の
経過に伴って更新される各世代の品名固有フロー、各世
代の変更位置を記憶する更新履歴記憶手段５６、多数の
流動中のロットに関して、それぞれのロット固有フロー
を記憶するロット固有フロー記憶手段５８が設けられて
いる。

【００４６】4.プロセスフローのデータ構成プロセスフローは品名固有フローとロット固有フローの
総称である。品名固有フローは図６に示すように構成さ
れている。図６では、品名を１〜ｍの番号で表してい
る。この品名ｉ毎に、図５に示す最小作業単位を示す工
程名A1,A2,…K4等を処理順に並べて品名固有フローが構
成されている。又、各品名ｉ毎に、品名固有フローの履
歴は、図８に示すように更新の古い順に形成される。そ
して、データの世代を示すために世代レベル（以下、単
に「レベル」という）が記憶されている。図８では、レ
ベル０〜現レベルZ(i)まで表示されている。現レベルZ
(i)の品名固有フローが最新に更新されたデータであ
る。

【００４７】図８では、レベル０の品名固有フローに対
して、レベル１では工程A6がA7に、工程B3がB5に変更さ
れたことが示されている。そして、工程A7と工程B5とは
同期して変更する必要がある。即ち、工程B5を実施する
ためには、先行して工程A7が実施されている必要があ
る。例えば、工程A6は1000℃で成膜する工程、工程A7は
1200℃で成膜する工程、工程B3は10分間エッチングして
その膜を一部除去する工程、工程B5が20分間エッチング
してその膜を一部除去する工程とする。成膜温度が高く
なると成膜速度が大きくなり、膜が厚くなる。よって、
エッチグ工程ではその分だけエッチング時間も長くする
必要がある。このように、半導体製造システムでは関連
して工程を同時に変更する必要がある場合が多い。この
関連した同時変更を必要とする複数の工程毎に、品名固
有フローの更新を行うことになる。

【００４８】このような、関連した変更工程のうち流動
方向に対して最前( 最も先に実施される工程) にある工
程の位置( 流動方向に工程位置を決定するｙ軸を設定)
を示すポインタP(i,k)が品名ｉ、レベルｋ毎に記憶され
る。ポインタP(i,Z)は、品名ｉ、現レベルZ(i)の品名固
有フローの変更位置を意味する。

【００４９】ロット固有フローのデータは、図７に示す
ように構成されている。図７では、ロットは（品名，ロ
ット番号）で特定され、品名１のロット番号は１〜n₁、
品名ｍのロット番号は１〜n_mを使用している。任意のロ
ットは(i,j) で特定される。又、各ロット固有フローに
はチェックレベルL(i,j)が設けられている。これは、各
ロット固有フローが時間の経過に伴って、品名固有フロ
ーを反映して更新されて行くが、現ロット固有フローが
品名固有フローのどのレベルまで、反映のための処理が
実施されたかを示す。例えば、チェックレベルL(i,j)が
現レベルZ(i)に等しいなら、そのロット固有フローは、
最新レベルまでの品名固有フローの反映のための操作が
行われことを意味する。但し、後述するように、ロット
固有フローの更新は、そのロットの反映操作実行時の現
在位置と各レベルのポインタP(i,k)との位置関係で決定
されるので、反映操作が実行されても、そのレベルの品
名固有フローに変更されたことを必ずしも意味しない。
又、ロットの現在位置よりも手前に記載されている工程
名は、そのロットが実際に処理された工程名であり、そ
のロットの工程履歴となる。ロットの現在位置よりも先
方( 時間的に後) に記載されている工程名は、現時点に
おけるロットがこれから処理される工程予定を示してい
る。

【００５０】5.ロット固有フローの初期設定ロットトラッキングシステム３４から、製造ラインにこ
れから新規に投入されるロットの識別情報(i,j) が入力
される。即ち、これらか、品名ｉの製品をロット番号ｊ
で製造することが指令される。図１０のプログラムは、
初期設定手段５４により実行され、ロットの新規投入時
に起動される。ステップ２００で、ロットトラッキング
システム３４からロットの識別情報(i,j) を受信して、
ステップ２０２において、更新履歴記憶手段５６に記憶
されている品名ｉ、最新レベルZ(i)の品名固有フローが
ロット固有フロー記憶手段５８に転送されて、そのロッ
トに対するロット固有フローが生成される。この後、こ
のロットはこのロット固有フローに記述された工程に従
って順次処理されて行く。ロットが製造ラインを流動し
ている間にも、製造結果のフィードバックや環境の変化
等に伴い、製造条件を変更したい場合がある。この時に
は、その品名の品名固有フローが更新される。この更新
状況は、以下に述べるように、可能な限り流動中のロッ
トにも適用れる。

【００５１】6.ロット固有フローの更新流動中のロットに対するロット固有フローの更新手順に
ついて、図９に基づいて説明する。図９のプログラム
は、プロセスフロー反映管理手段７１により実行され
る。ロットトラッキングシステム３４からは、各ロット
が１工程を終了する毎に、完了信号が出力される。この
タイミングでロット固有フローを更新するか否かを判定
し、更新できる場合には、更新演算を実行する。以下、
その手順を説明する。

【００５２】ステップ１００において、ロットトラッキ
ングシステム３４から作業完了信号が出力されたロット
の識別情報(i,j) を入力する。次に、ステップ１０２に
おいて、そのロットのチェックレベルL(i,j)がその品名
の現レベルZ(i)に等しいか否かが判定される。チェック
レベルL(i,j)がその品名の現レベルZ(i)に等しいなら、
そのロットのロット固有フローは、その現レベルZ(i)ま
での反映処理が完了していることを意味しているので、
本処理を終了する。この後、他のロットの１工程が終了
すると、そのロットに対して同様に本プログラムが起動
されることになる。このように、本反映処理は、各ロッ
トが１工程終了する毎に実施され、各ロットの工程終了
時刻は一様ではない。よって、全てのロットが一斉に反
映処理を要求することがなく、演算負荷が分散される。

【００５３】一方、チェックレベルL(i,j)がその品名ｉ
の現レベルZ(i)に等しくない場合には、そのロットのロ
ット固有フローは、未だ、その品名ｉの今までに更新さ
れた品名固有フローを反映していないことを意味する。
よって、以下の反映のための処理が実行される。ステッ
プ１０４において、そのロットの現在位置y(i,j)がロッ
トトラッキングシステム３４から入力される。そして、
ステップ１０６において、チェックレベルL(i,j)から現
レベルZ(i)までの各レベルのポインタP(i,k)のうち、y
(i,j)＜P(i,k)を満たし、且つ、現在位置y(i,j)に最も
近いポインタP(i,s)（以下、このポインタを「最前ポイ
ンタ」という）を決定する。

【００５４】y(i,j)＜P(i,k)を満たさないレベルｋの品
名固有フローは反映させることができない。このロット
が既に、このレベルの品名固有フローで変更された関連
ある工程の最前に位置する工程を実行することなく通過
したので、関連ある後工程を実施するとことができない
ためである。例えば、図１１に示すように、そのロット
はレベル２まで反映処理が完了しており、現レベルZ(i)
はレベル５とする。そして、各レベルのポインタP(i,k)
が図示する位置にあるとする。反映の対象となる品名固
有フローは、レベル４、５となり、レベル３はy(i,j)＜
P(i,k)の位置条件（以下、この条件を単に、「位置条
件」という）を満たさないため反映の対象とはならな
い。そして、最前ポインタP(i,s)はレベル４のポインタ
P(i,4)である。

【００５５】次に、ステップ１０８において、最前ポイ
ンタP(i,s)−現在位置y(i,j)により、最前ポインタP(i,
s)に至るまでの時間ｈが算定される。これは、現在位置
y(i,j)から最前ポインタP(i,s)までに存在する工程名に
より推定することができる。次に、ステップ１１０でこ
の余裕時間ｈが所定値Thと比較され、余裕時間ｈが所定
値Thよりも小さいなら、ロット固有フローを更新しない
と、最前ポインタP(i,s)の変更工程を実施できないた
め、ステップ112 以下のロット固有フローの更新が実行
される。

【００５６】一方、ステップ１１０で余裕時間ｈが所定
値Thよりも大きいなら、まだ、この時期にこのロットに
関するロット固有フローを更新しなくとも、最前ポイン
タP(i,s)に至るまでに、そのロットは多数回の工程を終
了するため、更新の機会は多数ある。このように、更新
は最前ポインタP(i,s)にある程度接近したロットから更
新されるのが、更新効率の上からも望ましい。

【００５７】例えば、あるロットが、ある工程を終了し
た時に実行される図９に示すプログラムのステップ１１
０の判定で余裕時間ｈ＞Thと判定されて、更新されなか
ったとする。即ち、現レベルZ(i)が５で、図１１に示す
関係にあって、そのロットのロット固有フローは更新さ
れなかったとする。その後、直ちに、その品名の品名固
有フローが更新され、図１１の破線で示すように、現レ
ベルのポインタP(i,Z)がそのロットに対して、最前ポイ
ンタP(i,s)になったとする。そのロットは次の工程を終
了後、図１１のプログラムが実行され、ステップ１１０
が実行されるが、この時、余裕時間ｈ≦Thが満たされる
と、チェックレベルL(i,j)から現レベルZ(i)までの品名
固有フローの変更部をロット固有フローに反映させる処
理がこの時に行われる。このようにすることで、ロット
が極めて多数存在しても、ロット固有フローの更新操作
が競合しないようにすることができる。

【００５８】次に、ステップ１１２におけるロット固有
フローの更新操作について説明する。y(i,j)＜P(i,k)を
満たすレベルの品名固有フローを決定し、このうち、古
いレベルから順に、品名固有フローをロット固有フロー
へ反映させる。その更新対象の工程は、レベルｋの品名
固有フローのうち、そのレベルｋで新規に変更された工
程名の部分である。あるレベルの品名固有フローの変更
は、１つ前のレベルの品名固有フローに対する変更であ
るので、その変更工程にかかる１つの前のレベルにおけ
る変更前の工程名を現在のロット固有フローが有してい
る場合に、その工程名が新規な工程名に書き換えられ
る。

【００５９】例えば、図１２に示すように、レベルｋの
変更を反映する時、変更工程B2,C1の１つ前のレベルk-1
における変更前工程はB1,C5 である。この工程B1,C5
を現在のロット固有フローは有している。よって、この
更新により、ロット固有フローは、工程B1,C5 が、それ
ぞれ、工程B2,C1 に変更され、レベルｋの品名固有フロ
ーの変更部が反映されたことになる。

【００６０】一方、図１３に示すようなロット固有フロ
ーにおいては、変更工程B2に対応する変更前工程はB8で
あり、B1ではない。よって、この場合には、レベルｋの
品名固有フローの変更部はロット固有フローに反映され
ない。このようにする理由は、次の通りである。即ち、
品名固有フローにおいて、１つ前のレベルの対応工程B1
は現在のロット固有フローのチェックレベルL(i,j)より
も前のレベルで変更されたものである場合がある。しか
し、ロット固有フローにおいては、その工程B1への変更
は、ロットの位置とポインタとの位置関係で反映されず
に、工程B8となっている場合がある。この場合に、工程
B1を実施するためには、工程B1に変更したレベルにおい
て共に変更された前工程X1が実施されている必要があ
る。しかし、このロットはこのレベルの変更を反映して
いないので、その前工程X1を実施していない。このよう
な状態で、工程B8に代えて工程B2を実施することはでき
ない。何故なら、工程B2は工程B1に対する変更であるの
で、工程B2を適正に実施するためには、当然に、前工程
X1が実施されていなければならない。よって、このよう
な処理を実施している。以上のことは、品名固有フロー
のロット固有フローへの反映において、あるレベルの品
名固有フローが反映されずに飛ばされた場合に起こり得
る。

【００６１】以上のようにして、現レベルZ(i)とチェッ
クレベルL(i,j)との間のレベルであって、現在位置とポ
インタとの位置関係を満たす品名固有フローの変更部が
レベルの古い順にロット固有レベルに反映される。レベ
ルの古い順に反映させるのは、上記したような反映され
ない変更工程を少なくするためのである。

【００６２】ところで、あるレベルの品名固有フローに
おいて、他の変更工程と関係がなく独立して変更できる
工程名を独立であることを示す指標と共に含ませること
ができる。この場合には、y(i,j)＜P(i,k)の条件と無関
係にy(i,j)と独立指標のある工程名の位置との関係だけ
で、工程名を変更するか否かを決定することができる。
即ち、現在位置y(i,j)より後方の独立指標のある工程名
は変更が可能である。尚、あるレベルの全ての変更工程
が相互関係がないなら、流動順の手前にある変更工程か
ら順に１変更工程を含む品名固有フローに分解し、そら
れを各レベルの変更された品名固有フローとする。そし
て、ポインタの設定値は、各変更工程の位置とする。こ
れにより独立指標と同様な効果が得られる。

【００６３】次に、ステップ１１４において、チェック
レベルL(i,j)を現レベルZ(i)に更新する。チェックレベ
ルL(i,j)の値により、このロットのロット固有フローは
現レベルZ(i)まで反映処理が実施されたことを知ること
ができる。

【００６４】尚、更新履歴として記憶されている各レベ
ルの品名固有フローにおいて、流動中のロットのチェッ
クレベルL(i,j)の最も低いレベルよりも、低いレベルの
品名固有フローは、今後、反映処理に使用されることが
ないので、保持しておく必要がない。従って、ＣＰＵ負
荷の極端に低い任意の時期に、反映漏れが工場全体にお
いて存在しないかを確認して、この消去処理を実施する
ことで、更新履歴記憶手段５６の記憶容量を節約するこ
とができる。

【００６５】又、図９のステップ１１０での更新可否判
定において、演算装置にかかる負荷を計算して、その負
荷も加味した判定を行っても良い。即ち、ロットの工程
終了時に発生される更新要求を待ち行列で管理して、そ
の競合度が高ければ、変更可能とする所定値Thを小さく
して、反映を後送りさせることが考えられる。さらに、
ロット固有フローの更新に要する演算時間等を算出し、
他の処理要求等の関係で、他の処理をすることが要求さ
れている場合には、同様に、所定値Thを小さくして、反
映を後送りさせることが考えられる。又、品名毎、又
は、ロット毎に品名固有フローの変更をロット固有フロ
ーに反映させる優先度を定義しておき、その優先度を考
慮して、反映可否判定を行っても良い。

【００６６】このようなシステムで、実際に、ロットに
対する加工処理がどのように進行して行くかを図１４に
従って説明する。図示された全てのロットは同一品名ｉ
に属するロットである。工程更新が第１レベルL(i,1)(
以下、図１４の説明において「第１世代」という、以
下、第２から第４レベルについても同じ）の場合におい
て、流れているロットは〜まであり、図１４の第１
世代の更新のような各工程位置にあるとする。図１４の
各ロットの位置は直前の工程が終了してロットが払出さ
れた状態にあるものとする。但し実際には同時に終了す
るとは限らない。第１世代における変更工程はＤ、Ｇ、
Ｈで、変更を意味するダッシュおよびハッチングが付さ
れている。ここで、ポインタP(i,1)は工程Ｄの直前に置
かれる。従ってロットは、工程Ｈが終了しているの
で、どの変更も無関係である。それでロットに対して
は、そのまま従来のロット固有フローが適用される。

【００６７】ロットに関しては、工程Ｅが終了した状
態であるが、ポインタP(i,1)の方が手前に存在するの
で、変更は適用されない。それは既に変更前の工程Ｄを
実施しており、その工程と合わせて変更された工程Ｇ',
Ｈ' が適用されると、不具合が生じる可能性があるため
である。そのため、ポインタP(i,1)の位置を確認するこ
とで、ロットに対して適切な対応がとれることにな
る。ロットに関しては、工程Ｂが終了した段階である
ので、工程Ｄの前にあるポインタP(i,1)はロットより
後に位置するため、ロット対しては、更新したプロセ
スＤ',Ｇ',Ｈ' の全てを実施する。

【００６８】次に第２世代の更新が発生した段階を考え
る。この状態において、第１世代における各ロット〜
が移動しており、ロットは工程Ｆを完了した段階で
ある。しかしロットは、第１世代で説明したように、
第１世代の変更工程が適用されないので、工程Ｇ' は適
用されず、工程Ｇが実施される。そして第２世代におい
ても、ポインタP(i,2)がロットの現在位置より手前に
あるので、ロットに対して第２世代の変更工程である
工程Ｇ" は適用されない。

【００６９】仮に、工程Ｆ’の変更がなくてポインタP
(i,2)が工程Ｇ' の前（点線の矢印の位置）にあるとす
る。その場合はロットはポインタP(i,2)の手前に位置
するが、工程Ｇ" は工程Ｇ' に対する変更であるが、ロ
ットは工程Ｇ' を予定していない。よって、ロット
においては、工程Ｇ" への変更は実行されない。ロット
に対してはポインタP(i,2)の方が後にあるため、変更
工程が全てが適用される。従ってロットは、第１世代
および第２世代双方の変更工程を考慮し、以後、変更工
程Ｆ',Ｇ",Ｈ’を実施することになる。

【００７０】続いて第３世代の更新が発生した段階を考
える。更新されたものは工程Ｉのみであるが、この時点
で流れているロット〜のすべてがポインタP(i,3)の
手前にあるため、この変更工程Ｉは全てのロット〜
に適用される。又、第４世代の更新が実施された時点で
は、流動ロットは〜であるが、ポインタP(i,4)は工
程Ｂの前に存在するので、新しいロットのみ第４世代
の変更工程が適用される。残りのロット〜は、それ
以前までの世代の変更工程が適用される。即ちロット
、は、更新された工程Ｄ',Ｆ',Ｇ",Ｈ',Ｉ’が適用
され、工程Ｂ',Ｇ"'は適用されないことになる。

【００７１】なお、複数ある変更工程の内容によって
は、ポインタＰの前にあっても変更工程を実施しても良
いような場合がある。例えば半導体ウエハの洗浄工程の
洗浄時間を１割長くするというような変更は、どのロッ
トに対して実施してもプロセス自体には影響しない。従
って、各ロットに対して、ポインタＰの位置に係わらず
どのロットに対しても変更を実施してよいので、独立工
程であることを示すパラメータを品名固有フローに付加
しても良い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の具体的な実施例にかかるプロセスフロ
ー生成装置を含む半導体製造システムの全体の構成を示
したブロック図。

【図２】原単位管理システムの構成を示したブロック
図。

【図３】プロセスフロー生成装置の構成を示したブロッ
ク図。

【図４】プロセスフロー編集装置で生成される基本フロ
ーと品名フロー変更との関係を示した説明図。

【図５】基本フローと品名固有フローと品名フロー変更
との相互関係を示した説明図。

【図６】品名固有フローのデータ構造を示した構成図。

【図７】ロット固有フローのデータ構造を示した構成
図。

【図８】品名固有フローの更新履歴を説明する説明図。

【図９】ロット固有フローの更新手順を示したフローチ
ャート。

【図１０】ロット固有フローの初期設定手順を示したフ
ローチャート。

【図１１】更新された品名固有フローをロット固有フロ
ーに反映させる方法を示した説明図。

【図１２】更新された品名固有フローをロット固有フロ
ーに反映させる方法を示した説明図。

【図１３】更新された品名固有フローをロット固有フロ
ーに反映させる方法を示した説明図。

【図１４】ロットの流れとロットが実行する工程との関
係を示した説明図。

【符号の説明】

３１…原単位システム３４…ロットトラッキングシステム５０…プロセスフロー生成装置。５２…品名固有フロー更新手段５４…初期設定手段５６…更新履歴記憶手段５８…ロット固有フロー記憶手段７２…判定手段７４…ロット固有フロー更新手段

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】製造すべき半導体装置の各品名毎に最小作
業単位を示す工程名を処理順序に従って記述した品名固
有フローに基づいて、ロット単位で流動させ処理を行う
ようにした半導体製造ラインに接続され、前記ロット毎
に順次実行すべき工程を指令するための工程名を記述し
たロット固有フローを生成するプロセスフロー生成装置
において、前記ロット毎に前記ロット固有フローを記憶するロット
固有フロー記憶手段と、前記処理順序又は前記作業単位の内容の変更に伴って必
要となる前記品名固有フローの更新に対して、相互に同
期して変更を必要とする複数の工程名毎に更新し、ロッ
トの流動順に関して最も最初に位置する変更工程の位置
を変更位置として設定する品名固有フロー更新手段と、前記品名固有フロー更新手段により更新された品名固有
フロー及び前記変更位置を、時間経過と共に更新される
世代毎に区別して記憶する更新履歴記憶手段と、前記半導体製造ラインに新規に導入されるロットに対し
て、前記更新履歴記憶手段に記憶されている最新であっ
てそのロットに対応する品名の品名固有フローを前記ロ
ット固有フロー記憶手段に設定する初期設定手段と、流動中のある注目ロットに対する前記ロット固有フロー
の更新に際し、前記更新履歴記憶手段に記憶されている
品名固有フローのうち、そのロット固有フローに未だ反
映されていない世代の品名固有フローであって、それら
の世代の変更位置と前記注目ロットが存在する現在位置
との位置関係に基づいて、ロット固有フローにその世代
の品名固有フローを反映できるか否かを判定する判定手
段と、前記判定手段により反映可能と判定された場合には、前
記注目ロットに対する前記ロット固有フローに反映可能
と判定された各世代の品名固有フローの変更可能な変更
部分を反映させてそのロット固有フローを更新するロッ
ト固有フロー更新手段とを有し、その更新された最新の
ロット固有フローに従って流動中のロットの工程を制御
するようにしたことを特徴とするプロセスフロー生成装
置。
【請求項２】前記判定手段は、前記注目ロットの現在
位置が前記変更位置に対して流動順に見て手前に存在す
る時に反映可能と判定し、前記変更位置が前記注目ロッ
トの現在位置に対して手前に存在する時に反映不可と判
定することを特徴とする請求項１に記載のプロセスフロ
ー生成装置。
【請求項３】前記ロット固有フロー更新手段は、反映
可能と判定された各世代の品名固有フローの変更可能な
変更部分の反映に際し、古い世代から順に反映させてそ
のロット固有フローを順次更新することを特徴とする請
求項１に記載のプロセスフロー生成装置。
【請求項４】前記ロット固有フロー更新手段は、前記
品名固有フローの反映が可能と判定された世代の前記変
更位置のうち、流動順の最も手前にある最前変更位置に
前記注目ロットが達するまでの任意時刻において前記ロ
ット固有フローを更新することを特徴とする請求項１に
記載のプロセスフロー生成装置。
【請求項５】前記ロット固有フロー更新手段は、前記
最前変更位置に前記注目ロットが達するまでの余裕時間
に基づいて、そのロット固有フローの更新時期を決定す
ることを特徴とする請求項４に記載のプロセスフロー生
成装置。
【請求項６】前記ロット固有フロー更新手段は、前記
最前変更位置に前記注目ロットが達するまでの余裕時間
及び更新手段にかかる負荷に応じて、そのロット固有フ
ローの更新時期を決定することを特徴とする請求項４に
記載のプロセスフロー生成装置。
【請求項７】前記判定手段は、流動中のロットが各工
程の処理が終了した時刻で、判定演算を実行することを
特徴とする請求項１に記載のプロセスフロー生成装置。