JPH08261940A - ガス分析計 - Google Patents
ガス分析計Info
- Publication number
- JPH08261940A JPH08261940A JP9183495A JP9183495A JPH08261940A JP H08261940 A JPH08261940 A JP H08261940A JP 9183495 A JP9183495 A JP 9183495A JP 9183495 A JP9183495 A JP 9183495A JP H08261940 A JPH08261940 A JP H08261940A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output
- photodiode
- signal
- comparator
- spike noise
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単かつ安価な構成でありながらも、フォト
ダイオードから出力される信号が中途半端な大きさのも
のであっても、これをスパイクノイズと確実に区別する
ことができ、精度の高い測定を行うことができるガス分
析計を提供すること。 【構成】 検出センサとして一つのフォトダイオード２
を設け、このフォトダイオード２の出力Ａを二つの互い
に異なるレベルで立上がりと立下がりを検出し、立上が
り後所定時間内に立下がりを検出したとき前記出力Ａを
スパイクノイズと判定し、そのときのフォトダイオード
２の出力Ａをホールドするようにした。
ダイオードから出力される信号が中途半端な大きさのも
のであっても、これをスパイクノイズと確実に区別する
ことができ、精度の高い測定を行うことができるガス分
析計を提供すること。 【構成】 検出センサとして一つのフォトダイオード２
を設け、このフォトダイオード２の出力Ａを二つの互い
に異なるレベルで立上がりと立下がりを検出し、立上が
り後所定時間内に立下がりを検出したとき前記出力Ａを
スパイクノイズと判定し、そのときのフォトダイオード
２の出力Ａをホールドするようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、化学発光式ガス分析
計（ＣｈｅｍｉｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅＡｎａｌｙｚ
ｅｒ、以下、ＣＬＡという）などのガス分析計に関し、
特にその信号処理に関する。
計（ＣｈｅｍｉｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅＡｎａｌｙｚ
ｅｒ、以下、ＣＬＡという）などのガス分析計に関し、
特にその信号処理に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、ＣＬＡにおいては、光電子増倍
管よりも安価で、常温における効率が良好で、しかも、
小型化が可能であることから、測光素子としてフォトダ
イオードを用いることが多い。
管よりも安価で、常温における効率が良好で、しかも、
小型化が可能であることから、測光素子としてフォトダ
イオードを用いることが多い。
【０００３】しかしながら、フォトダイオードで微弱な
光を測定する場合、所謂サーマルノイズとは別に宇宙線
あるいは周辺物質から放出されるα線によるスパイクノ
イズが問題となる。このスパイクノイズは、毎時数発〜
数１００発の間欠的なノイズであり、長時間にわたる連
続測定においては測定結果に誤差を生じさせるなど正確
な測定に重大な影響を与える。
光を測定する場合、所謂サーマルノイズとは別に宇宙線
あるいは周辺物質から放出されるα線によるスパイクノ
イズが問題となる。このスパイクノイズは、毎時数発〜
数１００発の間欠的なノイズであり、長時間にわたる連
続測定においては測定結果に誤差を生じさせるなど正確
な測定に重大な影響を与える。
【０００４】そこで、上記フォトダイオードに固有のス
パイクノイズの影響を排除する手段として、例えば次の
ような手段がある。すなわち、 実公平５−８４９８号公報に示されるように、測定対
象に対して二つのフォトダイオードを互いに並列に設
け、これら両フォトダイオードの出力を比較して差が生
じたときに両フォトダイオードの出力の和をホールドす
る。 実公平７−４５５３号公報に示されるように、測定対
象に対して測定用フォトダイオードと比較用フォトダイ
オードとを互いに並列に設け、これら両フォトダイオー
ドの差が予め設定されているレベルより大きいとき信号
用フォトダイオードの出力をホールドする。 実公平５−２０９９３号公報に示されるように、測定
対象に対して一つのフォトダイオードのみを設け、この
フォトダイオードの出力を互いに並列に接続されたバン
ドパスフィルタとハイパスフィルタに通し、ハイパスフ
ィルタ出力が所定レベル以上であるときバンドパスフィ
ルタの出力をサンプルホールドする。などある。
パイクノイズの影響を排除する手段として、例えば次の
ような手段がある。すなわち、 実公平５−８４９８号公報に示されるように、測定対
象に対して二つのフォトダイオードを互いに並列に設
け、これら両フォトダイオードの出力を比較して差が生
じたときに両フォトダイオードの出力の和をホールドす
る。 実公平７−４５５３号公報に示されるように、測定対
象に対して測定用フォトダイオードと比較用フォトダイ
オードとを互いに並列に設け、これら両フォトダイオー
ドの差が予め設定されているレベルより大きいとき信号
用フォトダイオードの出力をホールドする。 実公平５−２０９９３号公報に示されるように、測定
対象に対して一つのフォトダイオードのみを設け、この
フォトダイオードの出力を互いに並列に接続されたバン
ドパスフィルタとハイパスフィルタに通し、ハイパスフ
ィルタ出力が所定レベル以上であるときバンドパスフィ
ルタの出力をサンプルホールドする。などある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記
，の手法はともに、二つのフォトダイオードを設け
る必要があり、高価になるといった欠点がある。そし
て、前記の手法は一つの判定レベルを有するコンパレ
ータを用いるが、スパイクノイズとガスの立上がりを判
別することが困難である。
，の手法はともに、二つのフォトダイオードを設け
る必要があり、高価になるといった欠点がある。そし
て、前記の手法は一つの判定レベルを有するコンパレ
ータを用いるが、スパイクノイズとガスの立上がりを判
別することが困難である。
【０００６】これに対して、図４に示すように構成する
ことが考えられる。すなわち、この図４において、１は
反応セルで、例えば測定対象としてのＮＯガスを含むサ
ンプルガスとオゾン（Ｏ3 ）ガスとが導入されるように
してある。２はこの反応セル１のセル窓（図示してな
い）の外部に取り付けられ、前記ＮＯガスとＯ3 ガスと
の反応によって生ずる光を検出するためのフォトダイオ
ードで、例えばシリコンダイオードよりなる。３はこの
フォトダイオード２の出力（この出力はＮＯガスの濃度
に比例している）を適宜波形整形および増幅を行うプリ
アンプである。
ことが考えられる。すなわち、この図４において、１は
反応セルで、例えば測定対象としてのＮＯガスを含むサ
ンプルガスとオゾン（Ｏ3 ）ガスとが導入されるように
してある。２はこの反応セル１のセル窓（図示してな
い）の外部に取り付けられ、前記ＮＯガスとＯ3 ガスと
の反応によって生ずる光を検出するためのフォトダイオ
ードで、例えばシリコンダイオードよりなる。３はこの
フォトダイオード２の出力（この出力はＮＯガスの濃度
に比例している）を適宜波形整形および増幅を行うプリ
アンプである。
【０００７】前記プリアンプ３の出力側は二つの信号ラ
イン４，５に分岐し、一方の信号ライン４にはサンプル
ホールド回路６が設けられている。７は出力端子であ
る。
イン４，５に分岐し、一方の信号ライン４にはサンプル
ホールド回路６が設けられている。７は出力端子であ
る。
【０００８】他方の信号ライン５にはスパイクノイズを
通しやすい周波数特性を有するフィルタ８と、基準電圧
信号源９からの判定レベルＶref が入力され、フィルタ
８の出力信号Ｂの大きさと前記判定レベルＶref とを比
較するコンパレータ回路１０と、このコンパレータ回路
１０からハイレベルになってから一定時間内にローレベ
ルとなったコンパレータ出力Ｃが出力されたとき、サン
プルホールド指令ＳＨをサンプルホールド回路６に対し
て出力する制御回路１１とが設けられている。
通しやすい周波数特性を有するフィルタ８と、基準電圧
信号源９からの判定レベルＶref が入力され、フィルタ
８の出力信号Ｂの大きさと前記判定レベルＶref とを比
較するコンパレータ回路１０と、このコンパレータ回路
１０からハイレベルになってから一定時間内にローレベ
ルとなったコンパレータ出力Ｃが出力されたとき、サン
プルホールド指令ＳＨをサンプルホールド回路６に対し
て出力する制御回路１１とが設けられている。
【０００９】上記のように構成された回路によれば、図
５に示すように、スパイクノイズ（同図において符号
（ａ）で示す）と大きなガス信号（同図において符号
（ｂ）で示す）とは明確に区別できるが、中途半端な大
きさの信号（同図において符号（ｃ）で示す）とスパイ
クノイズとの区別を明確に行えないことがある。
５に示すように、スパイクノイズ（同図において符号
（ａ）で示す）と大きなガス信号（同図において符号
（ｂ）で示す）とは明確に区別できるが、中途半端な大
きさの信号（同図において符号（ｃ）で示す）とスパイ
クノイズとの区別を明確に行えないことがある。
【００１０】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、簡単かつ安価な構成でありながらも、フォト
ダイオードから出力される信号が中途半端な大きさのも
のであっても、これをスパイクノイズと確実に区別する
ことができ、精度の高い測定を行うことができるガス分
析計を提供することを目的としている。
たもので、簡単かつ安価な構成でありながらも、フォト
ダイオードから出力される信号が中途半端な大きさのも
のであっても、これをスパイクノイズと確実に区別する
ことができ、精度の高い測定を行うことができるガス分
析計を提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明のガス分析計は、検出センサとして一つの
フォトダイオードを設け、このフォトダイオードの出力
を二つの互いに異なるレベルで立上がりと立下がりを検
出し、立上がり後所定時間内に立下がりを検出したとき
前記出力をスパイクノイズと判定し、そのときのフォト
ダイオードの出力をホールドするようにしたことを特徴
としている。
め、この発明のガス分析計は、検出センサとして一つの
フォトダイオードを設け、このフォトダイオードの出力
を二つの互いに異なるレベルで立上がりと立下がりを検
出し、立上がり後所定時間内に立下がりを検出したとき
前記出力をスパイクノイズと判定し、そのときのフォト
ダイオードの出力をホールドするようにしたことを特徴
としている。
【００１２】
【作用】上記構成のガス分析計においては、入力された
フォトダイオードの出力（ガス信号）を二つの異なった
レベルを用いてその立上がりと立下がりを検出するもの
であるので、スパイクノイズと大きなガス信号との区別
は勿論のこと、スパイクノイズと中途半端な大きさのガ
ス信号との区別を明確に行うことができ、精度の高い測
定を行うことができる。
フォトダイオードの出力（ガス信号）を二つの異なった
レベルを用いてその立上がりと立下がりを検出するもの
であるので、スパイクノイズと大きなガス信号との区別
は勿論のこと、スパイクノイズと中途半端な大きさのガ
ス信号との区別を明確に行うことができ、精度の高い測
定を行うことができる。
【００１３】
【実施例】以下、この発明の詳細を、図を参照しながら
説明する。なお、以下の説明において、図４に示す符号
と同一の符号は同一物または相当物であるので、その説
明は省略する。
説明する。なお、以下の説明において、図４に示す符号
と同一の符号は同一物または相当物であるので、その説
明は省略する。
【００１４】図１および図２は、この発明のガス分析計
の一実施例を示し、まず、図１において、１２，１３は
フィルタ８の出力側に互いに並列的に設けられる第１コ
ンパレータ、第２コンパレータ、１４，１５はこれらの
コンパレータ１２，１３にそして、判定レベルＶref1，
Ｖref2を与えるための基準電圧信号源である。そして、
これらの判定レベルＶref1，Ｖref2は、図２に示すよう
に、第１コンパレータ１２の立上がり判定レベルＶref1
が第２コンパレータ１３の立下がり判定レベルＶref2よ
り高くなるように設定されている。
の一実施例を示し、まず、図１において、１２，１３は
フィルタ８の出力側に互いに並列的に設けられる第１コ
ンパレータ、第２コンパレータ、１４，１５はこれらの
コンパレータ１２，１３にそして、判定レベルＶref1，
Ｖref2を与えるための基準電圧信号源である。そして、
これらの判定レベルＶref1，Ｖref2は、図２に示すよう
に、第１コンパレータ１２の立上がり判定レベルＶref1
が第２コンパレータ１３の立下がり判定レベルＶref2よ
り高くなるように設定されている。
【００１５】１６は前記両コンパレータ１２，１３から
出力されるコンパレータ出力Ｃ1 ，Ｃ2 が入力される判
定回路で、第１コンパレータ１２の出力Ｃ1 がハイレベ
ルとなってから一定時間Ｔ経過後に第２コンパレータ１
３の出力Ｃ2 がローレベルとなっているときにのみ、ス
パイクノイズであるといった論理で判定を行い、サンプ
ルホールド指令ＳＨをサンプルホールド回路６に対して
出力する。
出力されるコンパレータ出力Ｃ1 ，Ｃ2 が入力される判
定回路で、第１コンパレータ１２の出力Ｃ1 がハイレベ
ルとなってから一定時間Ｔ経過後に第２コンパレータ１
３の出力Ｃ2 がローレベルとなっているときにのみ、ス
パイクノイズであるといった論理で判定を行い、サンプ
ルホールド指令ＳＨをサンプルホールド回路６に対して
出力する。
【００１６】上記構成における信号処理について、図２
を参照しながら説明する。測定対象としてのＮＯガスを
含むサンプルガスとＯ3 ガスとが反応セル１内に導入さ
れることにより、反応セル１内では所定の反応が行われ
て、ＮＯガスの濃度に比例した光が発せられる。この光
はフォトダイオード２によって受光され、このフォトダ
イオード２から発せられる光電流はプリアンプ３を経て
信号Ａとなる。
を参照しながら説明する。測定対象としてのＮＯガスを
含むサンプルガスとＯ3 ガスとが反応セル１内に導入さ
れることにより、反応セル１内では所定の反応が行われ
て、ＮＯガスの濃度に比例した光が発せられる。この光
はフォトダイオード２によって受光され、このフォトダ
イオード２から発せられる光電流はプリアンプ３を経て
信号Ａとなる。
【００１７】今、前記信号Ａに、図２（Ａ）の第１段Ｉ
に示すようなスパイクノイズが含まれている場合、フィ
ルタ８の出力（コンパレータ１２，１３の入力、以下同
じ）Ｂは、図２（Ａ）の第２段IIに示すようになる。そ
して、前記出力Ｂは、第１コンパレータ１２、第２コン
パレータ１３にそれぞれ入力され、これらのコンパレー
タ１２，１３からは図２（Ａ）の第３段III に示すよう
な示すような出力Ｃ1，Ｃ2 が得られ、これらの出力Ｃ
1 ，Ｃ2 は、判定回路１６に入力される。
に示すようなスパイクノイズが含まれている場合、フィ
ルタ８の出力（コンパレータ１２，１３の入力、以下同
じ）Ｂは、図２（Ａ）の第２段IIに示すようになる。そ
して、前記出力Ｂは、第１コンパレータ１２、第２コン
パレータ１３にそれぞれ入力され、これらのコンパレー
タ１２，１３からは図２（Ａ）の第３段III に示すよう
な示すような出力Ｃ1，Ｃ2 が得られ、これらの出力Ｃ
1 ，Ｃ2 は、判定回路１６に入力される。
【００１８】この場合、第１コンパレータ１２の出力Ｃ
1 がハイレベルとなってから一定時間Ｔ経過した後に、
第２コンパレータ１３の出力Ｃ2 がローレベルとなって
いるので、スパイクノイズと判定し、サンプルホールド
指令ＳＨがサンプルホールド回路６に入力される。この
サンプルホールド指令ＳＨを受けたサンプルホールド回
路６が信号ライン４を経て入力されるプリアンプ３の出
力Ａをホールドすることにより、出力端子７に出力され
る最終出力には、スパイクノイズが含まれることがな
い。
1 がハイレベルとなってから一定時間Ｔ経過した後に、
第２コンパレータ１３の出力Ｃ2 がローレベルとなって
いるので、スパイクノイズと判定し、サンプルホールド
指令ＳＨがサンプルホールド回路６に入力される。この
サンプルホールド指令ＳＨを受けたサンプルホールド回
路６が信号ライン４を経て入力されるプリアンプ３の出
力Ａをホールドすることにより、出力端子７に出力され
る最終出力には、スパイクノイズが含まれることがな
い。
【００１９】次に、前記信号Ａが図２（Ｂ）の第１段Ｉ
に示すように、大きなガス信号の場合、フィルタ８の出
力Ｂは、図２（Ｂ）の第２段IIに示すようになる。そし
て、前記出力Ｂは、第１コンパレータ１２、第２コンパ
レータ１３にそれぞれ入力され、これらのコンパレータ
１２，１３からは図２（Ａ）の第３段III に示すような
示すような出力Ｃ1 ，Ｃ2 が得られ、これらの出力
Ｃ1 ，Ｃ2 は、判定回路１３に入力される。
に示すように、大きなガス信号の場合、フィルタ８の出
力Ｂは、図２（Ｂ）の第２段IIに示すようになる。そし
て、前記出力Ｂは、第１コンパレータ１２、第２コンパ
レータ１３にそれぞれ入力され、これらのコンパレータ
１２，１３からは図２（Ａ）の第３段III に示すような
示すような出力Ｃ1 ，Ｃ2 が得られ、これらの出力
Ｃ1 ，Ｃ2 は、判定回路１３に入力される。
【００２０】この場合、第１コンパレータ１２の出力Ｃ
1 がハイレベルとなってから一定時間Ｔ経過した後も、
第２コンパレータ１３の出力Ｃ2 がハイレベルを維持し
ている。したがって、この場合はスパイクノイズと判定
されない。そして、サンプルホールド回路６は、信号ラ
イン４を経て入力されるプリアンプ３の出力Ａをホール
ドすることなく、出力端子７に出力する。
1 がハイレベルとなってから一定時間Ｔ経過した後も、
第２コンパレータ１３の出力Ｃ2 がハイレベルを維持し
ている。したがって、この場合はスパイクノイズと判定
されない。そして、サンプルホールド回路６は、信号ラ
イン４を経て入力されるプリアンプ３の出力Ａをホール
ドすることなく、出力端子７に出力する。
【００２１】また、前記信号Ａが図２（Ｃ）の第１段Ｉ
に示すように、中途半端な大きさのガス信号であった場
合、図２（Ｃ）第３段III に示すように、上記大きなガ
ス信号の場合と同様に、第１コンパレータ１２の出力Ｃ
1 がハイレベルとなってから一定時間Ｔ経過した後も、
第２コンパレータ１３の出力Ｃ2 がハイレベルを維持し
ている。したがって、この場合もサンプルホールド回路
６は、信号ライン４を経て入力されるプリアンプ３の出
力Ａをホールドすることなく、出力端子７に出力する。
に示すように、中途半端な大きさのガス信号であった場
合、図２（Ｃ）第３段III に示すように、上記大きなガ
ス信号の場合と同様に、第１コンパレータ１２の出力Ｃ
1 がハイレベルとなってから一定時間Ｔ経過した後も、
第２コンパレータ１３の出力Ｃ2 がハイレベルを維持し
ている。したがって、この場合もサンプルホールド回路
６は、信号ライン４を経て入力されるプリアンプ３の出
力Ａをホールドすることなく、出力端子７に出力する。
【００２２】上述の説明から理解されるように、この発
明のガス分析計においては、スパイクノイズと大きなガ
ス信号との区別は勿論のこと、スパイクノイズと中途半
端な大きさのガス信号との峻別を明確に行うことがで
き、それだけ、Ｓ／Ｎが向上し、測定精度が向上する。
明のガス分析計においては、スパイクノイズと大きなガ
ス信号との区別は勿論のこと、スパイクノイズと中途半
端な大きさのガス信号との峻別を明確に行うことがで
き、それだけ、Ｓ／Ｎが向上し、測定精度が向上する。
【００２３】上述の実施例では、フィルタ８の出力側に
二つのコンパレータ１２，１３を用いていたが、図３に
示すように、フィルタ８の出力側に一つのコンパレータ
１７を設け、このコンパレータ１７にレベルが異なる二
つの判定レベルＶref1，Ｖref2を切換えスイッチ１８を
入力するようにしてもよい。なお、１９，２０は前記判
定レベルＶref1，Ｖref2をそれぞれ出力する基準電圧信
号源である。
二つのコンパレータ１２，１３を用いていたが、図３に
示すように、フィルタ８の出力側に一つのコンパレータ
１７を設け、このコンパレータ１７にレベルが異なる二
つの判定レベルＶref1，Ｖref2を切換えスイッチ１８を
入力するようにしてもよい。なお、１９，２０は前記判
定レベルＶref1，Ｖref2をそれぞれ出力する基準電圧信
号源である。
【００２４】そして、上述の各実施例において、基準電
圧信号源１４，１５，１９，２０を可変とし、判定レベ
ルＶref1，Ｖref2を任意の値に設定できるようにしてあ
ってもよい。
圧信号源１４，１５，１９，２０を可変とし、判定レベ
ルＶref1，Ｖref2を任意の値に設定できるようにしてあ
ってもよい。
【００２５】また、上述の各実施例では、信号をアナロ
グ回路によって処理するようにしていたが、これに代え
て、プリアンプ３の出力をＡＤ変換し、その出力をマイ
クロコンピュータに入力して、上述の回路と同様の処理
をプログラム的に行うようにしてもよい。
グ回路によって処理するようにしていたが、これに代え
て、プリアンプ３の出力をＡＤ変換し、その出力をマイ
クロコンピュータに入力して、上述の回路と同様の処理
をプログラム的に行うようにしてもよい。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、検出センサとして一つのフォトダイオードを設け、
このフォトダイオードの出力を二つの互いに異なるレベ
ルで立上がりと立下がりを検出し、立上がり後所定時間
内に立下がりを検出したとき前記出力をスパイクノイズ
と判定し、そのときのフォトダイオードの出力をホール
ドするようにしているので、構成が簡単であるにもかか
わらず、スパイクノイズと中途半端な大きさのガス信号
との区別を明確に行うことができ、精度の高い測定を行
うことができる。
ば、検出センサとして一つのフォトダイオードを設け、
このフォトダイオードの出力を二つの互いに異なるレベ
ルで立上がりと立下がりを検出し、立上がり後所定時間
内に立下がりを検出したとき前記出力をスパイクノイズ
と判定し、そのときのフォトダイオードの出力をホール
ドするようにしているので、構成が簡単であるにもかか
わらず、スパイクノイズと中途半端な大きさのガス信号
との区別を明確に行うことができ、精度の高い測定を行
うことができる。
【図１】この発明の一実施例に係るガス分析計の信号処
理回路を概略的に示す図である。
理回路を概略的に示す図である。
【図２】前記信号処理回路の動作を説明するための図で
ある。
ある。
【図３】この発明の他の実施例に係るガス分析計の信号
処理回路を概略的に示す図である。
処理回路を概略的に示す図である。
【図４】従来の信号処理回路を概略的に示す図である。
【図５】前記従来の信号処理回路の動作を説明するため
の図である。
の図である。
２…フォトダイオード、Ａ…フォトダイオードの出力。
Claims (1)
- 【請求項１】 検出センサとして一つのフォトダイオー
ドを設け、このフォトダイオードの出力を二つの互いに
異なるレベルで立上がりと立下がりを検出し、立上がり
後所定時間内に立下がりを検出したとき前記出力をスパ
イクノイズと判定し、そのときのフォトダイオードの出
力をホールドするようにしたことを特徴とするガス分析
計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9183495A JPH08261940A (ja) | 1995-03-25 | 1995-03-25 | ガス分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9183495A JPH08261940A (ja) | 1995-03-25 | 1995-03-25 | ガス分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08261940A true JPH08261940A (ja) | 1996-10-11 |
Family
ID=14037633
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9183495A Pending JPH08261940A (ja) | 1995-03-25 | 1995-03-25 | ガス分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08261940A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007107965A (ja) * | 2005-10-12 | 2007-04-26 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 赤外線ガス分析計 |
| JP2009216411A (ja) * | 2008-03-07 | 2009-09-24 | Advanced Mask Inspection Technology Kk | 試料検査装置及び試料検査方法 |
-
1995
- 1995-03-25 JP JP9183495A patent/JPH08261940A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007107965A (ja) * | 2005-10-12 | 2007-04-26 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 赤外線ガス分析計 |
| JP2009216411A (ja) * | 2008-03-07 | 2009-09-24 | Advanced Mask Inspection Technology Kk | 試料検査装置及び試料検査方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3967933A (en) | Dual channel nitrogen oxides analyzer | |
| EP0083761B1 (en) | Output control device for light detectors for photometers | |
| JPH0248872B2 (ja) | ||
| US4469946A (en) | Fluorescent gas analyzer | |
| JP3357132B2 (ja) | 被検物質の濃度測定のための分光測光法およびこの方法を実施するための分光光度計 | |
| JPH08261940A (ja) | ガス分析計 | |
| US8957363B2 (en) | Differential photodiode integrator circuit for absorbance measurements | |
| JPH08145889A (ja) | 蛍光測定装置 | |
| JP3783991B2 (ja) | 煙感知装置 | |
| JPS59182341A (ja) | 試料発光の異方性測定装置 | |
| EP1005630A1 (en) | Calibration system for a photomultiplier tube | |
| US6411380B1 (en) | Detection device for a spectrophotometer | |
| EP1923668A1 (en) | Method of processing an analog sensor signal in a gas sensor arrangement and measured value processing device | |
| JPH08247722A (ja) | 寸法測定装置 | |
| CN212008234U (zh) | 一种厨房清洁度检测传感器 | |
| JPH0520993Y2 (ja) | ||
| Ananda et al. | Development of LED Based Enzyme-Linked Immunosorbent Assay Reader | |
| SU1723455A1 (ru) | Способ определени оптических характеристик образца и устройство дл его осуществлени | |
| SU1167482A1 (ru) | Газоанализатор | |
| CN113109275A (zh) | 一种降低温漂、提高水体污染因子检测精度的方法和系统 | |
| JPH058498Y2 (ja) | ||
| JPS59151039A (ja) | 光散乱式粒子計数装置 | |
| JPS62226038A (ja) | 測光装置 | |
| JP2934007B2 (ja) | 物体検知装置 | |
| JPH0249459B2 (ja) | Kyukobunsekikei |