JP2007107965A - 赤外線ガス分析計 - Google Patents
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Abstract
【課題】定常的なノイズやスパイクノイズを除去して安定した測定値が得られる赤外線ガス分析計を提供する。
【解決手段】赤外線検出器33の出力信号をサンプリングするAD変換手段44と、ノイズ検知手段42により検出したノイズ成分に基づき、チョッパ36によるチョッピング動作とAD変換手段44によるサンプリング動作とを同期させて行うためのタイミング信号を生成するタイミング信号生成手段43と、AD変換手段44の出力信号からチョッピング周波数成分を抽出するDFT演算手段51と、その出力の振幅から被分析対象ガスの濃度を算出する濃度換算手段52とを備える。
【選択図】図1
【解決手段】赤外線検出器33の出力信号をサンプリングするAD変換手段44と、ノイズ検知手段42により検出したノイズ成分に基づき、チョッパ36によるチョッピング動作とAD変換手段44によるサンプリング動作とを同期させて行うためのタイミング信号を生成するタイミング信号生成手段43と、AD変換手段44の出力信号からチョッピング周波数成分を抽出するDFT演算手段51と、その出力の振幅から被分析対象ガスの濃度を算出する濃度換算手段52とを備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、測定ガスに含まれる特定成分の濃度を測定するための赤外線ガス分析計に関し、詳しくは、濃度測定信号に含まれるノイズを除去可能とした赤外線ガス分析計に関するものである。
図9は、後述する特許文献1に記載された従来技術としての赤外線ガス分析計を示している。
図9において、1は、測定ガスSの入口2及び出口3を有するサンプルセルであり、その両端部は赤外透過性のセル窓4,5によって封止されている。6は、セル1の一方のセル窓4側に設けられてセル1内に赤外光を照射するための赤外線光源であり、6Aはフィラメントである。
図9において、1は、測定ガスSの入口2及び出口3を有するサンプルセルであり、その両端部は赤外透過性のセル窓4,5によって封止されている。6は、セル1の一方のセル窓4側に設けられてセル1内に赤外光を照射するための赤外線光源であり、6Aはフィラメントである。
7は、赤外線光源6とセル1との間に介装された光チョッパであり、図示されていないモータによって軸7Aを中心に回転駆動され、赤外線光源6から発せられる赤外光を一定周期で断続(チョッピング)するように構成されている。また、8は光チョッパ7の回転周期を検出するフォトカプラであり、その出力信号(整流用同期信号)aは移相回路9により適宜移相されて同期整流回路20に入力されている。
10は、セル1の他方のセル窓5側に設けられた検出部であり、複数(図では4個)の赤外線検出器11〜14を互いに光学的に並列配置して構成されている。この検出部10は、例えばCO測定用、CO2測定用、HC測定用、比較用として、円周を4等分し、かつ同心円上に設けられた4つの赤外線検出器(以下、単に検出器という)11,12,13,14(図9では、便宜的に一直線上に表している)と、これらの検出器11〜14の受光側にそれぞれ対応して設けられた光学フィルタ15〜18とからなっている。
上記赤外線検出器11〜14(測定用検出器11〜13及び比較用検出器14からなる)は、例えば半導体検出器によって構成され、測定用検出器11〜13に対応する光学フィルタ15〜17は、特定の測定対象成分のみの吸収帯域の赤外線を通過させるバンドパスフィルタからなっている。すなわち、CO測定用検出器11に対応する光学フィルタ15はCOの吸収帯域の赤外線のみを、CO2測定用検出器12に対応する光学フィルタ16はCO2の吸収帯域の赤外線のみを、HC測定用検出器13に対応する光学フィルタ17はHCの吸収帯域の赤外線のみを、それぞれ通過させるバンドパスフィルタにて構成されている。
更に、比較用検出器14に対応する光学フィルタ18は、測定ガスS中のCO,CO2,HCのいずれに対しても吸収帯域のない帯域の波長の赤外線を通過させるバンドパスフィルタからなる。
19は、前記各検出器11〜14の出力に基づいて濃度演算を行う演算制御部であり、同期整流回路20及び平滑回路21からなっている。
更に、比較用検出器14に対応する光学フィルタ18は、測定ガスS中のCO,CO2,HCのいずれに対しても吸収帯域のない帯域の波長の赤外線を通過させるバンドパスフィルタからなる。
19は、前記各検出器11〜14の出力に基づいて濃度演算を行う演算制御部であり、同期整流回路20及び平滑回路21からなっている。
上述のように構成された従来の赤外線ガス分析計においては、赤外線光源6によりセル1を照射すると共に、光チョッパ7が所定の周期で回転している状態で測定ガスSをセル1に供給すると、検出器11〜14から、測定対象成分であるCO,CO2,HCの各濃度に対応した交流信号及び比較信号としての交流信号が出力され、これらの信号が同期整流回路20に入力される。
同期整流回路20には、移相回路9によって適宜移相された整流用同期信号aが入力されているので、この同期信号aにより各ガスの濃度に対応した交流信号が同期整流され、整流後の信号は平滑回路21によって平滑処理される。
そして、CO,CO2,HC,COの各濃度は、測定用検出器11〜13の出力から比較用検出器14の出力をそれぞれ減算することにより、ガス濃度信号として出力されるものである。
そして、CO,CO2,HC,COの各濃度は、測定用検出器11〜13の出力から比較用検出器14の出力をそれぞれ減算することにより、ガス濃度信号として出力されるものである。
上記構成の赤外線ガス分析計においては、測定用検出器11〜13の出力を、フォトカプラ8により得た整流用同期信号aに基づいて同期整流しているため、ゼロ入力時のノイズを低減できる反面、前記同期信号aを生成し移相するためにフォトカプラ8や移相回路9が必要であり、装置の構成、特に機械的構成が複雑になる。
上記の点に鑑み、特許文献1には、整流用同期信号を生成するために特別な装置を必要とせず、構成を簡略化することができる赤外線ガス分析計が開示されている。
図10は、この改良された赤外線ガス分析計の概略的な構成図であり、図9におけるフォトカプラ8や移相回路9を除去すると共に、光チョッパ7を光学フィルタ15〜17とセル窓5との間に配置して構成されている。
このガス分析計では、比較用検出器14の出力をモニタして光チョッパ7による断続周期を検出し、この周期に基づいて測定用検出器11〜13の出力を同期整流している。
図10は、この改良された赤外線ガス分析計の概略的な構成図であり、図9におけるフォトカプラ8や移相回路9を除去すると共に、光チョッパ7を光学フィルタ15〜17とセル窓5との間に配置して構成されている。
このガス分析計では、比較用検出器14の出力をモニタして光チョッパ7による断続周期を検出し、この周期に基づいて測定用検出器11〜13の出力を同期整流している。
図10の従来技術によれば、図9に比べてフォトカプラ8や移相回路9が不要になり、構成を簡略化できるという利点がある。
しかしながら、比較用検出器14の出力を用いて測定用検出器11〜13の出力をサンプリングする周期と、測定用検出器11〜13の出力に含まれる商用電源ノイズ等の定常ノイズの周期との比がほぼ一定であると、その周期の差による低周波数のビート現象が発生し、測定信号(ガス濃度信号)が変化して安定しないという問題があった。
また、従来技術では一般にスパイクノイズに対して敏感であり、スパイクノイズの影響が測定信号に直接影響するという問題もあった。
しかしながら、比較用検出器14の出力を用いて測定用検出器11〜13の出力をサンプリングする周期と、測定用検出器11〜13の出力に含まれる商用電源ノイズ等の定常ノイズの周期との比がほぼ一定であると、その周期の差による低周波数のビート現象が発生し、測定信号(ガス濃度信号)が変化して安定しないという問題があった。
また、従来技術では一般にスパイクノイズに対して敏感であり、スパイクノイズの影響が測定信号に直接影響するという問題もあった。
そこで本発明の解決課題は、定常ノイズやスパイクノイズを除去して安定した測定信号が得られるようにした赤外線ガス分析計を提供することにある。
上記課題を解決するため、請求項1に記載した発明は、測定セルに導入された測定ガスに赤外線を照射し、測定ガス中の被分析対象ガスの濃度に応じた赤外線吸収量を検出器により検出して被分析対象ガスの濃度を測定する赤外線ガス分析計であって、赤外線を所定周期でオンオフさせて測定セルに入射させるためのチョッパと、このチョッパを駆動するための駆動手段と、を備えた赤外線ガス分析計において、
前記チョッパによるチョッピング動作に同期して前記検出器の出力信号をサンプリングするAD変換手段と、前記チョッパによるチョッピング動作及び前記AD変換手段によるサンプリング動作を行うためのタイミング信号を生成するタイミング生成手段と、前記AD変換手段の出力信号からチョッピング周波数成分を抽出する離散フーリエ変換演算手段と、この離散フーリエ変換演算手段の出力信号の振幅から被分析対象ガスの濃度を算出する濃度換算手段と、を備えたものである。
前記チョッパによるチョッピング動作に同期して前記検出器の出力信号をサンプリングするAD変換手段と、前記チョッパによるチョッピング動作及び前記AD変換手段によるサンプリング動作を行うためのタイミング信号を生成するタイミング生成手段と、前記AD変換手段の出力信号からチョッピング周波数成分を抽出する離散フーリエ変換演算手段と、この離散フーリエ変換演算手段の出力信号の振幅から被分析対象ガスの濃度を算出する濃度換算手段と、を備えたものである。
請求項2に記載した発明は、測定セルに導入された測定ガスに赤外線を照射し、測定ガス中の被分析対象ガスの濃度に応じた赤外線吸収量を検出器により検出して被分析対象ガスの濃度を測定する赤外線ガス分析計であって、赤外線を所定周期でオンオフさせて測定セルに入射させるためのチョッパと、このチョッパを駆動するための駆動手段と、を備えた赤外線ガス分析計において、
前記チョッパによるチョッピング動作を行うためのタイミング信号を生成するタイミング生成手段と、前記検出器の出力信号をサンプリングして全波整流する全波整流手段と、この全波整流手段の出力信号を平滑する平滑手段と、この平滑手段の出力信号の大きさから被分析対象ガスの濃度を算出する濃度換算手段と、を備えたものである。
前記チョッパによるチョッピング動作を行うためのタイミング信号を生成するタイミング生成手段と、前記検出器の出力信号をサンプリングして全波整流する全波整流手段と、この全波整流手段の出力信号を平滑する平滑手段と、この平滑手段の出力信号の大きさから被分析対象ガスの濃度を算出する濃度換算手段と、を備えたものである。
請求項3に記載した発明は、請求項1または2において、
前記検出器の出力信号からノイズ成分を抽出するノイズ検知手段を備え、
前記タイミング生成手段は、前記ノイズ検知手段により検知したノイズ成分の周期に基づいて前記タイミング信号を生成するものである。
前記検出器の出力信号からノイズ成分を抽出するノイズ検知手段を備え、
前記タイミング生成手段は、前記ノイズ検知手段により検知したノイズ成分の周期に基づいて前記タイミング信号を生成するものである。
請求項4に記載した発明は、請求項3において、
前記ノイズ検知手段は、ノイズ成分の周波数を通過周波数とするフィルタと、このフィルタの出力信号を設定値と比較するコンパレータと、を備え、
前記タイミング生成手段は、前記コンパレータの出力信号に同期させて前記タイミング信号を生成するものである。
前記ノイズ検知手段は、ノイズ成分の周波数を通過周波数とするフィルタと、このフィルタの出力信号を設定値と比較するコンパレータと、を備え、
前記タイミング生成手段は、前記コンパレータの出力信号に同期させて前記タイミング信号を生成するものである。
請求項5に記載した発明は、請求項4において、
前記コンパレータの出力信号の周期を測定するタイマと、このタイマによる測定周期を所定値と比較する比較手段と、を備え、
前記タイミング生成手段は、前記比較手段の出力に基づいて前記タイミング信号を生成するものである。
前記コンパレータの出力信号の周期を測定するタイマと、このタイマによる測定周期を所定値と比較する比較手段と、を備え、
前記タイミング生成手段は、前記比較手段の出力に基づいて前記タイミング信号を生成するものである。
請求項6に記載した発明は、請求項1または2において、
商用電源電圧を変圧するトランスと、このトランスの出力電圧を設定値と比較するコンパレータと、を備え、
前記タイミング生成手段は、前記コンパレータの出力信号に同期させて前記タイミング信号を生成するものである。
商用電源電圧を変圧するトランスと、このトランスの出力電圧を設定値と比較するコンパレータと、を備え、
前記タイミング生成手段は、前記コンパレータの出力信号に同期させて前記タイミング信号を生成するものである。
請求項7に記載した発明は、請求項1〜6の何れか1項において、
前記検出器はマスフローセンサを備え、このマスフローセンサの出力信号の基本周波数成分に基づいて被分析対象ガスの濃度を測定するものである。
前記検出器はマスフローセンサを備え、このマスフローセンサの出力信号の基本周波数成分に基づいて被分析対象ガスの濃度を測定するものである。
本発明によれば、商用電源ノイズ等の定常的なノイズや、あるいは商用電源電圧に同期してチョッピング動作やAD変換器のサンプリング動作を行うことにより、低周波のビート現象をなくして安定した測定信号を得ることができる。
また、ガス濃度の演算に離散フーリエ変換を用いることで、チョッピング周波数以外のスパイクノイズの影響を除去し、高精度な濃度測定が可能になる。
また、ガス濃度の演算に離散フーリエ変換を用いることで、チョッピング周波数以外のスパイクノイズの影響を除去し、高精度な濃度測定が可能になる。
以下、図に沿って本発明の実施形態を説明する。図1は本発明の第1実施形態に係る赤外線ガス分析計の構成図であり、請求項1,3,7に係る発明に相当するものである。
図1において、分析計本体30は、赤外線光源31と、被分析対象ガスを含む測定ガスが導入される測定セル32と、マスフローセンサ34を備えた赤外線検出器33と、モータ35により回転駆動されるチョッパ36とを備えており、いわゆるシングルビーム方式の赤外線ガス分析計である。
図1において、分析計本体30は、赤外線光源31と、被分析対象ガスを含む測定ガスが導入される測定セル32と、マスフローセンサ34を備えた赤外線検出器33と、モータ35により回転駆動されるチョッパ36とを備えており、いわゆるシングルビーム方式の赤外線ガス分析計である。
周知のように、分析計本体30では、測定セル32に測定ガスを流入させると共に、被分析対象ガスが封入された検出器33内の2室のセルで赤外線を吸収させ、その赤外線吸収量の差から発生する圧力差つまり流量をマスフローセンサ34によって検出し、この流量に基づいて被分析対象ガスの濃度を測定している。なお、この種のガス分析計の動作は、「マスフローセンサおよびこのマスフローセンサを用いた赤外線ガス分析計」に係る特開平8−5433号公報の段落[0037],[0038]、図8等に記載されている。
上記マスフローセンサ34による検出信号波形(時間応答)は、例えば図2に示すような波形である。
上記マスフローセンサ34による検出信号波形(時間応答)は、例えば図2に示すような波形である。
ここで、図2の波形を周波数に分解すると、図3のごとく、基本周波数成分以外に高次の周波数成分を含んだ形になっている。
マスフローセンサを用いる場合、通常は図2に示した波形の面積を積分により求めて被分析対象のガス濃度を測定しているが、本実施形態では、面積に比例する基本周波数成分を離散フーリエ変換(DFT)により求め、この基本周波数成分からガス濃度を測定することとした。
マスフローセンサを用いる場合、通常は図2に示した波形の面積を積分により求めて被分析対象のガス濃度を測定しているが、本実施形態では、面積に比例する基本周波数成分を離散フーリエ変換(DFT)により求め、この基本周波数成分からガス濃度を測定することとした。
これにより、マスフローセンサ34の出力信号にスパイクノイズが含まれる場合でも、その時刻が出力信号のサンプリング時刻に一致していなければ測定信号に影響を与えることはない。また、仮にサンプリング時刻にスパイクノイズが含まれたとしても、基本周波数成分とは異なるので、同様に測定信号には影響を与えない。
更に、サンプリングしたデータから単純に面積積分する方法に比べ、DFTにより正弦波の振幅として測定する方が、誤差が小さくなって有効である。なお、マスフローセンサ34の出力信号には前述の如く高調波成分が含まれるが、赤外線ガス分析を行うレベルでは基本波と高調波との比が等しいので、基本波を代表値として測定可能である。
更に、サンプリングしたデータから単純に面積積分する方法に比べ、DFTにより正弦波の振幅として測定する方が、誤差が小さくなって有効である。なお、マスフローセンサ34の出力信号には前述の如く高調波成分が含まれるが、赤外線ガス分析を行うレベルでは基本波と高調波との比が等しいので、基本波を代表値として測定可能である。
図1において、検出器33の出力を用いたガス濃度の測定系及びモータ35の駆動系は、以下のように構成されている。
図1において、マスフローセンサ34の出力信号は増幅手段41により増幅され、AD変換手段44によりディジタル信号に変換された後、演算装置50内のDFT演算手段51に入力されて後述する数式1の演算が実行される。ここで、AD変換手段44により入力アナログ信号をサンプリングしてディジタル信号に変換するタイミング(サンプリングタイミング)は、タイミング生成手段43からのタイミング信号によって決定される。
図1において、マスフローセンサ34の出力信号は増幅手段41により増幅され、AD変換手段44によりディジタル信号に変換された後、演算装置50内のDFT演算手段51に入力されて後述する数式1の演算が実行される。ここで、AD変換手段44により入力アナログ信号をサンプリングしてディジタル信号に変換するタイミング(サンプリングタイミング)は、タイミング生成手段43からのタイミング信号によって決定される。
DFT演算手段51は、サンプリングデータをx(nT)とすると、数式1によりDFT演算を行う。なお、数式1において、Tはサンプリング周期、nはサンプリングの番号を示す自然数、Nはサンプリングの総数、ωは基本周波数(チョッピング周波数)である。
仮に、一周期に12回サンプリングする場合には、基本周波数はω=2π/(12T)となり、図1の濃度換算手段52は、DFT演算結果であるチョッピング周波数成分の複素数X(jω)の振幅(絶対値)を求めて被分析対象ガスの濃度を算出し、ガス濃度信号として出力する。
上述したように、AD変換手段44によるサンプリングのタイミングはタイミング生成手段43からのタイミング信号により決定し、また、チョッパ36によるチョッピングのタイミングも上記タイミング信号を用いて決定する。このタイミング信号は、図1に示すように、増幅手段41の後段に接続されたノイズ検知手段42によりマスフローセンサ34の出力信号に含まれるノイズ成分を検出し、このノイズ成分をタイミング生成手段43に取り込んで生成するようになっている。
図4は、ノイズ検知手段42の構成図であり、請求項4に係る発明に相当する。
前述したように、通常、マスフローセンサ34では、検出器33内の2室の赤外線吸収量を感熱抵抗により検出してその差を求めているが、ここでは、マスフローセンサ34の一方の室の出力信号のみを増幅手段41を介してノイズ検知手段42に取り込み、図4の増幅回路421により増幅した後、通過周波数(中心周波数)が例えば商用周波数(50Hzまたは60Hz)であるバンドパスフィルタ422に入力する。このバンドパスフィルタ422を通過した商用周波数のノイズ成分はコンパレータ423により設定値と比較され、所定の大きさを持つノイズ信号のみが検出される。
前述したように、通常、マスフローセンサ34では、検出器33内の2室の赤外線吸収量を感熱抵抗により検出してその差を求めているが、ここでは、マスフローセンサ34の一方の室の出力信号のみを増幅手段41を介してノイズ検知手段42に取り込み、図4の増幅回路421により増幅した後、通過周波数(中心周波数)が例えば商用周波数(50Hzまたは60Hz)であるバンドパスフィルタ422に入力する。このバンドパスフィルタ422を通過した商用周波数のノイズ成分はコンパレータ423により設定値と比較され、所定の大きさを持つノイズ信号のみが検出される。
このようにして、マスフローセンサ34の出力信号に含まれる商用周波数のノイズ信号を検出することができる。そして、このノイズ信号のタイミング(周期が20msまたは約16.6ms)に同期させて、図1のタイミング生成手段43が、AD変換手段44に与えるタイミング信号、及び、駆動手段45を介してモータ35に与えられるチョッピングのタイミング信号を生成する。
なお、タイミング生成手段43により生成されるタイミング信号は、図4のバンドパスフィルタ422の出力が小さく、コンパレータ423からノイズ信号が出力されない場合に欠損するおそれがある。この問題を解決するための対策を図5のフローチャートに示す。
この図5は、請求項5に係る発明に相当するものである。
この図5は、請求項5に係る発明に相当するものである。
すなわち、図1のタイミング生成手段43以降のハードウェアを、前記コンパレータ423の出力が変化したタイミングで割り込みが入るように構成し、図5のフローチャートを実行する。コンパレータ423による割り込みが入ったとき、前回の割り込みからの経過時間をタイマにより確認し、そのタイマ値が(推定ノイズ周期−α)以上である場合には(ステップS1YES)、サンプリング及びチョッピングのためのタイミング信号をタイミング生成手段43から出力し(S2)、タイマ値をクリアしてから、タイマに(推定ノイズ周期+α)を設定する(S3)。
また、コンパレータ423からの割り込みがない場合には、タイマによる設定時間が経過したときに、タイマ割り込みルーチンとして、サンプリング及びチョッピングのためのタイミング信号をタイミング生成手段43から出力し(S2)、タイマ値をクリアしてから、タイマに(推定ノイズ周期+α)を設定する(S3)。
ここで、推定ノイズ周期とは、例えば、50Hzのノイズに対しては20msを指し、αはノイズ信号に欠損が生じてサンプリングできない状態になっても許容される時間を表すと共に、電源投入時にノイズとサンプリングタイミングとが同期していない場合に両者が同期するまでの時間にも関係している。
上記のような処理を行うことにより、ノイズ信号の大小に関わらずタイミング信号を生成することができる。
ここで、推定ノイズ周期とは、例えば、50Hzのノイズに対しては20msを指し、αはノイズ信号に欠損が生じてサンプリングできない状態になっても許容される時間を表すと共に、電源投入時にノイズとサンプリングタイミングとが同期していない場合に両者が同期するまでの時間にも関係している。
上記のような処理を行うことにより、ノイズ信号の大小に関わらずタイミング信号を生成することができる。
図6は、赤外線ガス分析計を50Hzの商用周波数地域で使用する場合において、増幅手段41の出力信号の1周期(120ms)の間に12回サンプリングする際のタイミング信号を示している。
この場合、50Hzの商用周波数の周期つまり商用電源ノイズの周期(20ms)は、サンプリング周期つまりタイミング信号の周期(10ms)の整数倍であって一定であり、両者が同期していない場合は、周期の差による低周波数のビート現象が発生してノイズ信号の位相が次第に変化し、それによって測定値も変動してしまう。
しかし、AD変換手段44によるサンプリングのタイミング信号、及び、駆動手段45よモータ35を介したチョッピングのタイミング信号を、ノイズ検知手段42から出力されるノイズ信号に同期させることにより、前記ビート現象の発生を抑制して安定した測定信号を得ることができ、高精度な濃度測定を行うことができる。
この場合、50Hzの商用周波数の周期つまり商用電源ノイズの周期(20ms)は、サンプリング周期つまりタイミング信号の周期(10ms)の整数倍であって一定であり、両者が同期していない場合は、周期の差による低周波数のビート現象が発生してノイズ信号の位相が次第に変化し、それによって測定値も変動してしまう。
しかし、AD変換手段44によるサンプリングのタイミング信号、及び、駆動手段45よモータ35を介したチョッピングのタイミング信号を、ノイズ検知手段42から出力されるノイズ信号に同期させることにより、前記ビート現象の発生を抑制して安定した測定信号を得ることができ、高精度な濃度測定を行うことができる。
次に、図7は本発明の第2実施形態に係る赤外線ガス分析計の構成図であり、請求項6,7に係る発明に相当するものである。
この実施形態では、図1におけるノイズ検知手段42に代えて、商用電源電圧を所定値に変圧するトランス46と、その出力電圧を所定の設定値と比較して商用電源周波数に同期した信号を出力するコンパレータ47とを設け、タイミング生成手段43が、前記コンパレータ47から出力される信号に同期させて、AD変換手段44及び駆動手段45に与えるタイミング信号を生成する。
この実施形態によれば、商用電源周波数に基づいてサンプリング等のタイミング信号を生成できるため、前述したようなタイミング信号の欠損は生じなくなる。
この実施形態では、図1におけるノイズ検知手段42に代えて、商用電源電圧を所定値に変圧するトランス46と、その出力電圧を所定の設定値と比較して商用電源周波数に同期した信号を出力するコンパレータ47とを設け、タイミング生成手段43が、前記コンパレータ47から出力される信号に同期させて、AD変換手段44及び駆動手段45に与えるタイミング信号を生成する。
この実施形態によれば、商用電源周波数に基づいてサンプリング等のタイミング信号を生成できるため、前述したようなタイミング信号の欠損は生じなくなる。
図8は、本発明の第3実施形態に係る赤外線ガス分析計の構成図であり、請求項2,3,7に係る発明に相当する。
この実施形態では、図1におけるDFT演算手段51の代わりに平滑手段54を備えた演算装置53を用い、増幅手段41の出力をサンプリングし、全波整流手段48に入力してその出力を前記平滑手段54により平滑するようにした。すなわち、増幅手段41の出力を全波整流手段48及び平滑手段54により整流平滑し、その出力信号の大きさを濃度換算手段52が被分析対象ガスの濃度に換算してガス濃度信号を出力するものである。
この実施形態では、図1におけるDFT演算手段51の代わりに平滑手段54を備えた演算装置53を用い、増幅手段41の出力をサンプリングし、全波整流手段48に入力してその出力を前記平滑手段54により平滑するようにした。すなわち、増幅手段41の出力を全波整流手段48及び平滑手段54により整流平滑し、その出力信号の大きさを濃度換算手段52が被分析対象ガスの濃度に換算してガス濃度信号を出力するものである。
この実施形態では、ノイズ検知手段42から出力されるノイズ信号に同期させてチョッピングのタイミング信号を生成し、このタイミング信号を駆動手段45に入力するように構成されており、ノイズ信号に同期してチョッピングを行うことにより、第1実施形態と同様に低周波数のビート現象が抑制することができる。
なお、タイミング信号の欠損をなくすためのアルゴリズムとしては、前述した図5のフローチャートを適用することができる。
また、本実施形態においても、図7と同様にトランス46及びコンパレータ47を用い、商用電源に基づいてチョッピングのタイミング信号を生成しても良い。
なお、タイミング信号の欠損をなくすためのアルゴリズムとしては、前述した図5のフローチャートを適用することができる。
また、本実施形態においても、図7と同様にトランス46及びコンパレータ47を用い、商用電源に基づいてチョッピングのタイミング信号を生成しても良い。
なお、上記各実施形態ではシングルビーム方式の赤外線ガス分析計を示したが、本発明はダブルビーム方式の赤外線ガス分析計にも適用可能である。
30:分析計本体
31:赤外線光源
32:測定セル
33:赤外線検出器
34:マスフローセンサ
35:モータ
36:チョッパ
41:増幅手段
42:ノイズ検知手段
421:増幅回路
422:バンドパスフィルタ
423:コンパレータ
43:タイミング生成手段
44:AD変換手段
45:駆動手段
46:トランス
47:コンパレータ
48:全波整流手段
50,53:演算装置
51:DFT演算手段
52:濃度換算手段
54:平滑手段
31:赤外線光源
32:測定セル
33:赤外線検出器
34:マスフローセンサ
35:モータ
36:チョッパ
41:増幅手段
42:ノイズ検知手段
421:増幅回路
422:バンドパスフィルタ
423:コンパレータ
43:タイミング生成手段
44:AD変換手段
45:駆動手段
46:トランス
47:コンパレータ
48:全波整流手段
50,53:演算装置
51:DFT演算手段
52:濃度換算手段
54:平滑手段
Claims (7)
- 測定セルに導入された測定ガスに赤外線を照射し、測定ガス中の被分析対象ガスの濃度に応じた赤外線吸収量を検出器により検出して被分析対象ガスの濃度を測定する赤外線ガス分析計であって、赤外線を所定周期でオンオフさせて測定セルに入射させるためのチョッパと、このチョッパを駆動するための駆動手段と、を備えた赤外線ガス分析計において、
前記チョッパによるチョッピング動作に同期して前記検出器の出力信号をサンプリングするAD変換手段と、
前記チョッパによるチョッピング動作及び前記AD変換手段によるサンプリング動作を行うためのタイミング信号を生成するタイミング生成手段と、
前記AD変換手段の出力信号からチョッピング周波数成分を抽出する離散フーリエ変換演算手段と、
この離散フーリエ変換演算手段の出力信号の振幅から被分析対象ガスの濃度を算出する濃度換算手段と、
を備えたことを特徴とする赤外線ガス分析計。 - 測定セルに導入された測定ガスに赤外線を照射し、測定ガス中の被分析対象ガスの濃度に応じた赤外線吸収量を検出器により検出して被分析対象ガスの濃度を測定する赤外線ガス分析計であって、赤外線を所定周期でオンオフさせて測定セルに入射させるためのチョッパと、このチョッパを駆動するための駆動手段と、を備えた赤外線ガス分析計において、
前記チョッパによるチョッピング動作を行うためのタイミング信号を生成するタイミング生成手段と、
前記検出器の出力信号をサンプリングして全波整流する全波整流手段と、
この全波整流手段の出力信号を平滑する平滑手段と、
この平滑手段の出力信号の大きさから被分析対象ガスの濃度を算出する濃度換算手段と、
を備えたことを特徴とする赤外線ガス分析計。 - 請求項1または2に記載した赤外線ガス分析計において、
前記検出器の出力信号からノイズ成分を抽出するノイズ検知手段を備え、
前記タイミング生成手段は、
前記ノイズ検知手段により検知したノイズ成分の周期に基づいて前記タイミング信号を生成することを特徴とする赤外線ガス分析計。 - 請求項3に記載した赤外線ガス分析計において、
前記ノイズ検知手段は、ノイズ成分の周波数を通過周波数とするフィルタと、このフィルタの出力信号を設定値と比較するコンパレータと、を備え、
前記タイミング生成手段は、
前記コンパレータの出力信号に同期させて前記タイミング信号を生成することを特徴とする赤外線ガス分析計。 - 請求項4に記載した赤外線ガス分析計において、
前記コンパレータの出力信号の周期を測定するタイマと、
このタイマによる測定周期を所定値と比較する比較手段と、を備え、
前記タイミング生成手段は、
前記比較手段の出力に基づいて前記タイミング信号を生成することを特徴とする赤外線ガス分析計。 - 請求項1または2に記載した赤外線ガス分析計において、
商用電源電圧を変圧するトランスと、
このトランスの出力電圧を設定値と比較するコンパレータと、を備え、
前記タイミング生成手段は、
前記コンパレータの出力信号に同期させて前記タイミング信号を生成することを特徴とする赤外線ガス分析計。 - 請求項1〜6の何れか1項に記載した赤外線ガス分析計において、
前記検出器はマスフローセンサを備え、このマスフローセンサの出力信号の基本周波数成分に基づいて被分析対象ガスの濃度を測定することを特徴とする赤外線ガス分析計。
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