JPH08234180A - ガラス基板のセンタリング機構 - Google Patents
ガラス基板のセンタリング機構Info
- Publication number
- JPH08234180A JPH08234180A JP5800495A JP5800495A JPH08234180A JP H08234180 A JPH08234180 A JP H08234180A JP 5800495 A JP5800495 A JP 5800495A JP 5800495 A JP5800495 A JP 5800495A JP H08234180 A JPH08234180 A JP H08234180A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- roller
- cassette
- large diameter
- centering mechanism
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- Liquid Crystal (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 カセットにより生じたガラス基板の位置ズレ
を、修正して検査台に載置する。 【構成】 ベース板ＢにＸ方向に移動可能として設けら
れ、対象のガラス基板１の最大の縦幅ＷH に等しい長さ
ＷY をそれぞれ有する、２組のローラー部61,62により
構成され、両ローラー部61,62 は、互いに接近して平行
に軸支され、直径の大きい駆動ローラー613,623 と、直
径の小さいフリーローラー614,624 よりなり、両駆動ロ
ーラー613,623 の外周の最内側の間隔をガラス基板の横
幅に設定し、両駆動ローラー613,623 の外周の上面を、
それぞれ内側に回転するモータ615,625 を設けて構成さ
れる。
を、修正して検査台に載置する。 【構成】 ベース板ＢにＸ方向に移動可能として設けら
れ、対象のガラス基板１の最大の縦幅ＷH に等しい長さ
ＷY をそれぞれ有する、２組のローラー部61,62により
構成され、両ローラー部61,62 は、互いに接近して平行
に軸支され、直径の大きい駆動ローラー613,623 と、直
径の小さいフリーローラー614,624 よりなり、両駆動ロ
ーラー613,623 の外周の最内側の間隔をガラス基板の横
幅に設定し、両駆動ローラー613,623 の外周の上面を、
それぞれ内側に回転するモータ615,625 を設けて構成さ
れる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ガラス基板の横方向
に対するセンタリング機構に関する。
に対するセンタリング機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶パネルのカラーフィルタとＴＦＴ基
板は、ガラス基板を素材として製作される。このガラス
基板に、欠陥や付着異物が存在すると液晶パネルの品質
が劣化するので、検査装置により欠陥や付着異物の有無
が検査される。図３は、液晶パネル用のガラス基板１の
サイズを説明するもので、縦横の幅ＷH,ＷL は、３００
ｍｍ×４００ｍｍ程度のものが多く、その厚さｔは、各
サイズともに、０．７または１．１ｍｍとされている。
ただし最近では、１枚のガラス基板１に対して、図示の
ように、例えば４枚のカラーフィルタ２a 〜２d を形成
する、いわゆる４枚どりのものがあり、そのサイズは６
００ｍｍ〜７００ｍｍ角で、その厚さｔは上記と同様で
ある。
板は、ガラス基板を素材として製作される。このガラス
基板に、欠陥や付着異物が存在すると液晶パネルの品質
が劣化するので、検査装置により欠陥や付着異物の有無
が検査される。図３は、液晶パネル用のガラス基板１の
サイズを説明するもので、縦横の幅ＷH,ＷL は、３００
ｍｍ×４００ｍｍ程度のものが多く、その厚さｔは、各
サイズともに、０．７または１．１ｍｍとされている。
ただし最近では、１枚のガラス基板１に対して、図示の
ように、例えば４枚のカラーフィルタ２a 〜２d を形成
する、いわゆる４枚どりのものがあり、そのサイズは６
００ｍｍ〜７００ｍｍ角で、その厚さｔは上記と同様で
ある。
【０００３】被検査のガラス基板１はカセットに収容さ
れ、搬送機構により搬送されて、検査装置の検査台に載
置されて検査される。カセットと搬送機構、および検査
台間の搬送システムを図４により説明する。図４(a) に
おいて、カセット３には複数枚のガラス基板１が適当な
上下間隔で水平に収容される。搬送機構４は、移動部４
a と、移動部４a に設けたロボットハンド４b よりな
る。ロボットハンド４b の形式には、吸着方式や支持方
式などの各種があるが、図には例としてＨ形のフォーク
によるものを示す。移動部４aはＺ移動して、ロボット
ハンド４b は目的のガラス基板１に対応し、Ｙ方向に前
進してガラス基板１の下面を支持し、ついで後退して検
査台５まで搬送し、ここで前進、下降してガラス基板１
を検査台５に載置する。図４(b) は検査台５の表面の一
例を示し、その１隅には、Ｌ形の交点Ｐを位置決め点と
する位置決め具５a が、また他の３隅には、やはりＬ形
の３個の押圧具５b 〜５d がそれぞれ設けられ、これら
は予め、ガラス基板１のサイズよりやや大きい間隔に設
定される。搬送されたガラス基板１は、この４隅の載置
範囲内に載置し、各押圧具５b 〜５d によりＸまたはＹ
方向に順次に押圧して移動し、点Ｐに位置決めして検査
される。
れ、搬送機構により搬送されて、検査装置の検査台に載
置されて検査される。カセットと搬送機構、および検査
台間の搬送システムを図４により説明する。図４(a) に
おいて、カセット３には複数枚のガラス基板１が適当な
上下間隔で水平に収容される。搬送機構４は、移動部４
a と、移動部４a に設けたロボットハンド４b よりな
る。ロボットハンド４b の形式には、吸着方式や支持方
式などの各種があるが、図には例としてＨ形のフォーク
によるものを示す。移動部４aはＺ移動して、ロボット
ハンド４b は目的のガラス基板１に対応し、Ｙ方向に前
進してガラス基板１の下面を支持し、ついで後退して検
査台５まで搬送し、ここで前進、下降してガラス基板１
を検査台５に載置する。図４(b) は検査台５の表面の一
例を示し、その１隅には、Ｌ形の交点Ｐを位置決め点と
する位置決め具５a が、また他の３隅には、やはりＬ形
の３個の押圧具５b 〜５d がそれぞれ設けられ、これら
は予め、ガラス基板１のサイズよりやや大きい間隔に設
定される。搬送されたガラス基板１は、この４隅の載置
範囲内に載置し、各押圧具５b 〜５d によりＸまたはＹ
方向に順次に押圧して移動し、点Ｐに位置決めして検査
される。
【０００４】ガラス基板１は、上記のように厚さｔに比
較して縦横幅ＷH,ＷL が非常に大きいので、あたかも硬
質紙のように湾曲し易く、また破損し易い。このような
ガラス基板１の出し入れを容易にするために、カセット
３には横幅に十分な余裕を設けてある。これを図５によ
り説明する。図５(a) において、カセット３は立方形の
フレーム31と、その内部に設けた複数段の棚32とにより
構成される。フレーム31は、間口の横幅ＷL’は、収容
するガラス基板１の横幅ＷL より、例えば３０ｍｍほど
大きい余裕Δｘが設けられ、従って各棚32に載置された
ガラス基板１には、中心位置に対して１５ｍｍ以内で、
左または右側に位置ズレし、または傾斜するものがあ
り、これらはそのまま、(b) に示すようにロボットハン
ド４b に支持される。例えば２点鎖線のガラス基板１’
は、中心線Ｃがロボットハンド４b の中心線Ｃ’に対し
て右方に位置ズレし、また３点鎖線のガラス基板１”
は、中心線Ｃが左方に位置ズレし、さらに右方に傾斜し
ている。（これらを一括して位置ズレとする）。これに
対してロボットハンド４b には位置ズレを修正する機能
がないので、そのまま検査台５まで搬送される。なお、
上記においては縦Ｙ方向の位置ズレは小さくて問題がな
い。一方、検査台５の位置決め具５a と押圧具５b 〜５
d の載置範囲は、このような大きい位置ズレに対する余
裕がないので、載置されたガラス基板１は載置範囲から
はみ出して位置決めに支障する。
較して縦横幅ＷH,ＷL が非常に大きいので、あたかも硬
質紙のように湾曲し易く、また破損し易い。このような
ガラス基板１の出し入れを容易にするために、カセット
３には横幅に十分な余裕を設けてある。これを図５によ
り説明する。図５(a) において、カセット３は立方形の
フレーム31と、その内部に設けた複数段の棚32とにより
構成される。フレーム31は、間口の横幅ＷL’は、収容
するガラス基板１の横幅ＷL より、例えば３０ｍｍほど
大きい余裕Δｘが設けられ、従って各棚32に載置された
ガラス基板１には、中心位置に対して１５ｍｍ以内で、
左または右側に位置ズレし、または傾斜するものがあ
り、これらはそのまま、(b) に示すようにロボットハン
ド４b に支持される。例えば２点鎖線のガラス基板１’
は、中心線Ｃがロボットハンド４b の中心線Ｃ’に対し
て右方に位置ズレし、また３点鎖線のガラス基板１”
は、中心線Ｃが左方に位置ズレし、さらに右方に傾斜し
ている。（これらを一括して位置ズレとする）。これに
対してロボットハンド４b には位置ズレを修正する機能
がないので、そのまま検査台５まで搬送される。なお、
上記においては縦Ｙ方向の位置ズレは小さくて問題がな
い。一方、検査台５の位置決め具５a と押圧具５b 〜５
d の載置範囲は、このような大きい位置ズレに対する余
裕がないので、載置されたガラス基板１は載置範囲から
はみ出して位置決めに支障する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記した位置ズレに対
する修正方法として、従来は、カセット３の両側の窓部
で、適当な棒を各ガラス基板１の側面に押圧して移動さ
せる方法がとられている。しかし、単に側面を押圧して
もガラス基板１は思うように移動せず、むしろ押圧され
た部分が破損することさえある。そこで、このような欠
点のない有効な修正手段が必要とされている。この発明
は以上に鑑みてなされたもので、カセット３により生じ
たガラス基板１の位置ズレを、修正するセンタリング機
構を提供することを目的とする。
する修正方法として、従来は、カセット３の両側の窓部
で、適当な棒を各ガラス基板１の側面に押圧して移動さ
せる方法がとられている。しかし、単に側面を押圧して
もガラス基板１は思うように移動せず、むしろ押圧され
た部分が破損することさえある。そこで、このような欠
点のない有効な修正手段が必要とされている。この発明
は以上に鑑みてなされたもので、カセット３により生じ
たガラス基板１の位置ズレを、修正するセンタリング機
構を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は上記の目的を
達成したガラス基板のセンタリング機構であって、カセ
ットと検査台の中間に配設され、ベース板と、ベース板
に設けた２個の軸支具に、互いに接近して平行に軸支さ
れた、直径の大きいローラーとこれより直径の小さいロ
ーラーよりなるローラー部を２組有し、直径の大きいロ
ーラーを外側、直径の小さいローラーを内側として、直
径の大きいローラーの外周の最内側の間隔をガラス基板
の横幅に設定するものである。なお、上記において、２
組のローラー部の長さを、対象とする各種サイズのガラ
ス基板の最大の縦幅に等しくし、かつ、各軸支具を横方
向に移動可能として、直径の大きいローラーの外周の最
内側の間隔を、ガラス基板の任意の横幅に対応して設定
するとよい。また、直径の大きいローラーは、モータに
より回転駆動するようにして、駆動ローラーとし、両駆
動ローラーの外周の上面を、それぞれ内側に回転するモ
ータを設けて構成してもよいが、特に、直径の大きいロ
ーラーは、基板の重量があるものでは駆動力を外部から
加えなくても基板の重量で回転するフリーローラーで充
分である。さらに、これらローラーは、ローラーの重量
を小さくするため、いくつにも分割されていてもよい。
達成したガラス基板のセンタリング機構であって、カセ
ットと検査台の中間に配設され、ベース板と、ベース板
に設けた２個の軸支具に、互いに接近して平行に軸支さ
れた、直径の大きいローラーとこれより直径の小さいロ
ーラーよりなるローラー部を２組有し、直径の大きいロ
ーラーを外側、直径の小さいローラーを内側として、直
径の大きいローラーの外周の最内側の間隔をガラス基板
の横幅に設定するものである。なお、上記において、２
組のローラー部の長さを、対象とする各種サイズのガラ
ス基板の最大の縦幅に等しくし、かつ、各軸支具を横方
向に移動可能として、直径の大きいローラーの外周の最
内側の間隔を、ガラス基板の任意の横幅に対応して設定
するとよい。また、直径の大きいローラーは、モータに
より回転駆動するようにして、駆動ローラーとし、両駆
動ローラーの外周の上面を、それぞれ内側に回転するモ
ータを設けて構成してもよいが、特に、直径の大きいロ
ーラーは、基板の重量があるものでは駆動力を外部から
加えなくても基板の重量で回転するフリーローラーで充
分である。さらに、これらローラーは、ローラーの重量
を小さくするため、いくつにも分割されていてもよい。
【０００７】
【作用】上記のセンタリング機構においては、カセット
に収容され位置ズレしたガラス基板は、ロボットハンド
により搬送されて、２組のローラー部に載置される。ガ
ラス基板が、左方に位置ズレしている場合は、その左辺
が左側の駆動ローラーに乗り、右辺は右側のフリーロー
ラーに乗る。左側の駆動ローラーの外周の右方向の回転
によりガラス基板は右方に移動し、右辺は駆動ローラー
の外周から離れて左側のフリーローラーに乗り移って、
両辺が両フリーローラーに支持される。ガラス基板が右
側に位置ズレしている場合は、上記と反対に、左方に移
動して両辺が両フリーローラーに支持され、いずれの場
合も、ガラス基板は中心線がロボットハンドの中心線に
一致して位置ズレが修正される。修正されたガラス基板
は、ロボットハンドにより再び搬送されて検査台の載置
範囲内に載置され、円滑に位置決めされて検査される。
上記において、２組のローラー部の長さは、対象とする
各種サイズのガラス基板の最大の縦幅に等しくされ、ま
た、各軸支具を横方向に移動して、両駆動ローラーの外
周の最内側の間隔を、ガラス基板の横幅に調整すること
により、縦横幅が任意のガラス基板に適用することがで
きる。
に収容され位置ズレしたガラス基板は、ロボットハンド
により搬送されて、２組のローラー部に載置される。ガ
ラス基板が、左方に位置ズレしている場合は、その左辺
が左側の駆動ローラーに乗り、右辺は右側のフリーロー
ラーに乗る。左側の駆動ローラーの外周の右方向の回転
によりガラス基板は右方に移動し、右辺は駆動ローラー
の外周から離れて左側のフリーローラーに乗り移って、
両辺が両フリーローラーに支持される。ガラス基板が右
側に位置ズレしている場合は、上記と反対に、左方に移
動して両辺が両フリーローラーに支持され、いずれの場
合も、ガラス基板は中心線がロボットハンドの中心線に
一致して位置ズレが修正される。修正されたガラス基板
は、ロボットハンドにより再び搬送されて検査台の載置
範囲内に載置され、円滑に位置決めされて検査される。
上記において、２組のローラー部の長さは、対象とする
各種サイズのガラス基板の最大の縦幅に等しくされ、ま
た、各軸支具を横方向に移動して、両駆動ローラーの外
周の最内側の間隔を、ガラス基板の横幅に調整すること
により、縦横幅が任意のガラス基板に適用することがで
きる。
【０００８】
【実施例】図１は、この発明の一実施例におけるセンタ
リング機構６構成図を示し、図２はセンタリング機構６
の動作説明図である。図１において、センタリング機構
６は、ベース板Ｂ上に設けた２組のローラー部61,62 に
より構成され、カセット３と検査台５の中間の適当な位
置に配置され、カセット３よりロボットハンド４b によ
り搬送されたガラス基板１は、両ローラー部61,62 に載
置される。両ローラー部61,62 は、ベース板ＢにＹ方向
に設けられ、Ｘ方向に移動可能なそれぞれ２個の軸支具
611,612 、621,622 と、これらに対して、互いに接近し
て平行に軸支され、直径の大きい駆動ローラー613,623
と、直径の小さいフリーローラー614,624 、および両駆
動ローラー613,623 を回転するモータ615,625 よりな
り、両駆動ローラー613,623 を外側、両フリーローラー
614,624 を内側に配列する。両ローラー部61,62 をそれ
ぞれの軸支具によりＸ方向に移動し、両駆動ローラー61
3,623 の外周の最内側の間隔を、対象とするガラス基板
１の横幅ＷL に一致させる。また両ローラー部61,62 の
長さＷY は、対象のガラス基板１の最大の縦幅ＷH に等
しくする。これらにより、任意のサイズのガラス基板１
に適用することができる。各モータ615,625 は、両駆動
ローラー61,62 をそれぞれＣＷ，ＣＣＷの方向に常に回
転し、また両フリーローラー614,624 の軸支にはベアリ
ングを使用して回転抵抗を極力小さくする。
リング機構６構成図を示し、図２はセンタリング機構６
の動作説明図である。図１において、センタリング機構
６は、ベース板Ｂ上に設けた２組のローラー部61,62 に
より構成され、カセット３と検査台５の中間の適当な位
置に配置され、カセット３よりロボットハンド４b によ
り搬送されたガラス基板１は、両ローラー部61,62 に載
置される。両ローラー部61,62 は、ベース板ＢにＹ方向
に設けられ、Ｘ方向に移動可能なそれぞれ２個の軸支具
611,612 、621,622 と、これらに対して、互いに接近し
て平行に軸支され、直径の大きい駆動ローラー613,623
と、直径の小さいフリーローラー614,624 、および両駆
動ローラー613,623 を回転するモータ615,625 よりな
り、両駆動ローラー613,623 を外側、両フリーローラー
614,624 を内側に配列する。両ローラー部61,62 をそれ
ぞれの軸支具によりＸ方向に移動し、両駆動ローラー61
3,623 の外周の最内側の間隔を、対象とするガラス基板
１の横幅ＷL に一致させる。また両ローラー部61,62 の
長さＷY は、対象のガラス基板１の最大の縦幅ＷH に等
しくする。これらにより、任意のサイズのガラス基板１
に適用することができる。各モータ615,625 は、両駆動
ローラー61,62 をそれぞれＣＷ，ＣＣＷの方向に常に回
転し、また両フリーローラー614,624 の軸支にはベアリ
ングを使用して回転抵抗を極力小さくする。
【０００９】図２において、両ローラー部61,62 に載置
されたガラス基板１が、図示の一点鎖線のように左方に
位置ズレ（傾斜を含む）している場合は、その左辺ｅ1
は左側の駆動ローラー613 に乗り、右辺ｅ2 は右側のフ
リーローラー624 に乗る。駆動ローラー613 のＣＷ回転
によりガラス基板１は右方に移動して、左辺ｅ1 がフリ
ーローラー614 に乗り移り、ガラス基板１はセンタリン
グされて両フリーローラー614,624 に支持され、以後は
移動しない。このセンタリングによりガラス基板１は、
その中心線Ｃがロボットハンド４b の中心線Ｃ’に一致
して位置ズレが修正される。ガラス基板１の位置ズレが
右方の場合も同様にセンタリングされて修正される。
されたガラス基板１が、図示の一点鎖線のように左方に
位置ズレ（傾斜を含む）している場合は、その左辺ｅ1
は左側の駆動ローラー613 に乗り、右辺ｅ2 は右側のフ
リーローラー624 に乗る。駆動ローラー613 のＣＷ回転
によりガラス基板１は右方に移動して、左辺ｅ1 がフリ
ーローラー614 に乗り移り、ガラス基板１はセンタリン
グされて両フリーローラー614,624 に支持され、以後は
移動しない。このセンタリングによりガラス基板１は、
その中心線Ｃがロボットハンド４b の中心線Ｃ’に一致
して位置ズレが修正される。ガラス基板１の位置ズレが
右方の場合も同様にセンタリングされて修正される。
【００１０】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明のセンタ
リング機構においては、位置ズレしたまま搬送されたガ
ラス基板は、センタリングされてその中心線がロボット
ハンドの中心線に一致し、検査台の所定の載置範囲内に
載置されて位置決めが支障なくなされるもので、任意の
サイズのガラス基板に適用できるように考慮されてお
り、ガラス基板検査装置に寄与する効果には、大きいも
のがある。
リング機構においては、位置ズレしたまま搬送されたガ
ラス基板は、センタリングされてその中心線がロボット
ハンドの中心線に一致し、検査台の所定の載置範囲内に
載置されて位置決めが支障なくなされるもので、任意の
サイズのガラス基板に適用できるように考慮されてお
り、ガラス基板検査装置に寄与する効果には、大きいも
のがある。
【図１】図１は、この発明の一実施例におけるセンタリ
ング機構の構成図である。
ング機構の構成図である。
【図２】図２は、センタリング機構の動作説明図であ
る。
る。
【図３】図３は、ガラス基板のサイズの説明図である。
【図４】図４は、カセットと搬送機構、および検査台の
構成の説明図である。
構成の説明図である。
【図５】図５は、カセットに収容されたガラス基板に生
ずる位置ズレと、その弊害の説明図である。
ずる位置ズレと、その弊害の説明図である。
１…液晶パネル用のガラス基板、２a 〜２d …カラーフ
ィルタ、３…カセット、31…フレーム、32…棚、４…搬
送機構、４a …移動部、４b …ロボットハンド、５…検
査台、５a …位置決め具、５b 〜５d …押圧具、６…セ
ンタリング機構、61,62 …ローラー部、611,612,621,62
2 …軸支具、613,623 …駆動ローラー、614,624 …フリ
ーローラー、615,625 …モータ、ＷH …ガラス基板の縦
幅、ＷL …同横幅、ＷL ’…カセットの間口の横幅、Ｐ
…位置決め点、Ｃ…ガラス基板の中心線、Ｃ’…ロボッ
トハンドの中心線、Ｂ…ベース板、ＷY …ローラー部の
長さ、ｅ1 …ガラス基板の左辺、ｅ2 …同右辺。
ィルタ、３…カセット、31…フレーム、32…棚、４…搬
送機構、４a …移動部、４b …ロボットハンド、５…検
査台、５a …位置決め具、５b 〜５d …押圧具、６…セ
ンタリング機構、61,62 …ローラー部、611,612,621,62
2 …軸支具、613,623 …駆動ローラー、614,624 …フリ
ーローラー、615,625 …モータ、ＷH …ガラス基板の縦
幅、ＷL …同横幅、ＷL ’…カセットの間口の横幅、Ｐ
…位置決め点、Ｃ…ガラス基板の中心線、Ｃ’…ロボッ
トハンドの中心線、Ｂ…ベース板、ＷY …ローラー部の
長さ、ｅ1 …ガラス基板の左辺、ｅ2 …同右辺。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川井 美津久 東京都渋谷区東３丁目16番３号 日立電子 エンジニアリング株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】液晶パネル用のガラス基板を収容し、該ガ
ラス基板の横幅より十分大きい横幅を有するカセットを
具備し、該カセットに収容されて横方向に位置ズレした
該ガラス基板を、ロボットハンドにより搬送して、検査
台の所定の範囲内に載置するガラス基板の搬送システム
において、前記カセットと検査台の中間に配設され、ベ
ース板と、該ベース板に設けた２個の軸支具に対して、
互いに接近して平行に軸支され、直径の大きいローラー
とこれより直径の小さいローラーよりなるローラー部を
２組有し、該直径の大きいローラーを外側、該直径の小
さいローラーを内側として、該直径の大きいローラーの
外周の最内側の間隔を前記ガラス基板の横幅に設定し
た、該直径の大きいローラーの外周の上面を、それぞれ
内側に回転するモータを設けて構成されたことを特徴と
する、ガラス基板のセンタリング機構。 - 【請求項２】、該直径の大きいローラーの外周の上面
を、それぞれ内側に回転するモータを設け、前記２組の
ローラー部の長さを、対象とする各種サイズのガラス基
板の最大の縦幅に等しくし、かつ、前記各軸支具を横方
向に移動可能として、前記両駆動ローラーの外周の最内
側の間隔を、前記ガラス基板の任意の横幅に対応して設
定することを特徴とする、請求項１記載のガラス基板の
センタリング機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5800495A JPH08234180A (ja) | 1995-02-22 | 1995-02-22 | ガラス基板のセンタリング機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5800495A JPH08234180A (ja) | 1995-02-22 | 1995-02-22 | ガラス基板のセンタリング機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08234180A true JPH08234180A (ja) | 1996-09-13 |
Family
ID=13071843
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5800495A Pending JPH08234180A (ja) | 1995-02-22 | 1995-02-22 | ガラス基板のセンタリング機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08234180A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100358820C (zh) * | 2005-12-02 | 2008-01-02 | 友达光电股份有限公司 | 基板校正装置 |
| KR101474473B1 (ko) * | 2013-08-29 | 2014-12-22 | (주) 에스디시 | 디스플레이 패널의 글라스 센터링을 위한 센터링 헤드 |
-
1995
- 1995-02-22 JP JP5800495A patent/JPH08234180A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100358820C (zh) * | 2005-12-02 | 2008-01-02 | 友达光电股份有限公司 | 基板校正装置 |
| KR101474473B1 (ko) * | 2013-08-29 | 2014-12-22 | (주) 에스디시 | 디스플레이 패널의 글라스 센터링을 위한 센터링 헤드 |
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