JPH08233547A - 三次元形状測定装置 - Google Patents
三次元形状測定装置Info
- Publication number
- JPH08233547A JPH08233547A JP7061743A JP6174395A JPH08233547A JP H08233547 A JPH08233547 A JP H08233547A JP 7061743 A JP7061743 A JP 7061743A JP 6174395 A JP6174395 A JP 6174395A JP H08233547 A JPH08233547 A JP H08233547A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- laser displacement
- irradiation
- optical distance
- measured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定の信頼性を低下させることなく、複数の
光距離センサを用いて各光距離センサによる同時計測を
行い、測定時間を短縮させる。 【構成】 レーザー変位計２１，２２の各々の照射部２
１Ａ，２２Ａは、互いに異なる波長λ1，λ2のレーザー
光を同時に照射する。レーザー変位計２１の受光部２１
Ｂは波長λ1の光を受光するとともに波長λ2の光を受光
せず、レーザー変位計２２の受光部２２Ｂは波長λ2の
光を受光するとともに波長λ1の光を受光しない。これ
により、レーザー変位計２１，２２間の相互干渉が防止
される。
光距離センサを用いて各光距離センサによる同時計測を
行い、測定時間を短縮させる。 【構成】 レーザー変位計２１，２２の各々の照射部２
１Ａ，２２Ａは、互いに異なる波長λ1，λ2のレーザー
光を同時に照射する。レーザー変位計２１の受光部２１
Ｂは波長λ1の光を受光するとともに波長λ2の光を受光
せず、レーザー変位計２２の受光部２２Ｂは波長λ2の
光を受光するとともに波長λ1の光を受光しない。これ
により、レーザー変位計２１，２２間の相互干渉が防止
される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザー変位計等の光
距離センサを用いて、被測定物の三次元形状を測定する
三次元形状測定装置に関するものである。
距離センサを用いて、被測定物の三次元形状を測定する
三次元形状測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】被測定物に対して照射光を照射する照射
部と被測定物からの反射光を受光する受光部とを備えた
光距離センサを用いて、非接触で被測定物の三次元形状
を測定することが、従来から広く行われている。
部と被測定物からの反射光を受光する受光部とを備えた
光距離センサを用いて、非接触で被測定物の三次元形状
を測定することが、従来から広く行われている。
【０００３】このような光距離センサの一つとして、三
角測量の原理を利用するとともにレーザー光を用いた三
角測距式レーザー変位計がある。
角測量の原理を利用するとともにレーザー光を用いた三
角測距式レーザー変位計がある。
【０００４】図４は、一般的な三角測距式レーザー変位
計１の測定原理を示す説明図である。
計１の測定原理を示す説明図である。
【０００５】図４に示すように、このレーザー変位計１
は、被測定物６に対してスポット状のレーザー光（拡が
りのないレーザービーム）を照射する照射部２と、被測
定物６からの反射光を受光する受光部３とを備えてい
る。受光部３は、受光位置に応じた信号を出力するＰＳ
Ｄ（position sensitive device、半導体位置検出器）
やＣＣＤなどの１次元受光センサ４と、前記反射光（被
測定物６上の照射光による像）を前記１次元受光センサ
４の受光面上に投影させる受光レンズ５とから構成され
ている。
は、被測定物６に対してスポット状のレーザー光（拡が
りのないレーザービーム）を照射する照射部２と、被測
定物６からの反射光を受光する受光部３とを備えてい
る。受光部３は、受光位置に応じた信号を出力するＰＳ
Ｄ（position sensitive device、半導体位置検出器）
やＣＣＤなどの１次元受光センサ４と、前記反射光（被
測定物６上の照射光による像）を前記１次元受光センサ
４の受光面上に投影させる受光レンズ５とから構成され
ている。
【０００６】このレーザー変位計１によれば、照射部２
から発したレーザー光は、被測定物６に照射され、その
反射光が受光レンズ５を介し受光センサ４により受光さ
れる。このとき、図４に示すように、被測定物６の面の
位置に応じて、受光センサ４に入る反射光の位置が変化
する。したがって、受光センサ４から、被測定物６上の
レーザー光照射位置までの距離を示す出力が得られる。
から発したレーザー光は、被測定物６に照射され、その
反射光が受光レンズ５を介し受光センサ４により受光さ
れる。このとき、図４に示すように、被測定物６の面の
位置に応じて、受光センサ４に入る反射光の位置が変化
する。したがって、受光センサ４から、被測定物６上の
レーザー光照射位置までの距離を示す出力が得られる。
【０００７】なお、前記レーザー変位計１において、前
記照射部２としてスリット状のレーザー光を照射するも
のを用いるとともに、前記受光センサとして２次元受光
センサを用いたレーザー変位計も、知られている。この
レーザー変位計は、前記レーザー変位計１と同一の原理
に基づくものであるが、スリット状のレーザー光により
照射された被測定物６上の線状の照射位置（光切断線の
位置）の距離が、一括して前記２次元受光センサの出力
として得られるものである。
記照射部２としてスリット状のレーザー光を照射するも
のを用いるとともに、前記受光センサとして２次元受光
センサを用いたレーザー変位計も、知られている。この
レーザー変位計は、前記レーザー変位計１と同一の原理
に基づくものであるが、スリット状のレーザー光により
照射された被測定物６上の線状の照射位置（光切断線の
位置）の距離が、一括して前記２次元受光センサの出力
として得られるものである。
【０００８】そして、従来から、前述したようなレーザ
ー変位計を複数用いた三次元形状測定装置が提供されて
いる。図２は、このような従来の三次元形状測定装置の
一例の概略の構成を示す側面図である。
ー変位計を複数用いた三次元形状測定装置が提供されて
いる。図２は、このような従来の三次元形状測定装置の
一例の概略の構成を示す側面図である。
【０００９】この従来の三次元形状測定装置は、図２に
示すように、被測定物１０の側面方向の距離を測定する
側面測定用のレーザー変位計１１と、被測定物１０の上
面方向の距離を測定する上面測定用のレーザー変位計１
２と、レーザー変位計１１を図２中の上下方向（鉛直方
向、Ｚ方向）に移動させるＺステージ１３と、レーザー
変位計１２を図２中の左右方向に移動させるＲステージ
１４と、被測定物１０を鉛直方向に延びる回転軸Ｏを中
心として回転させるθステージ１５と、θステージ１５
上に搭載され水平面内において被測定物１０を格子状に
移動させるＸ−Ｙステージ１６と、各ステージ１３，１
４，１５を支持する基盤１７と、を備えている。
示すように、被測定物１０の側面方向の距離を測定する
側面測定用のレーザー変位計１１と、被測定物１０の上
面方向の距離を測定する上面測定用のレーザー変位計１
２と、レーザー変位計１１を図２中の上下方向（鉛直方
向、Ｚ方向）に移動させるＺステージ１３と、レーザー
変位計１２を図２中の左右方向に移動させるＲステージ
１４と、被測定物１０を鉛直方向に延びる回転軸Ｏを中
心として回転させるθステージ１５と、θステージ１５
上に搭載され水平面内において被測定物１０を格子状に
移動させるＸ−Ｙステージ１６と、各ステージ１３，１
４，１５を支持する基盤１７と、を備えている。
【００１０】前記レーザー変位計１１，１２は、図４に
示した変位計１と同一の構成を有しており、それぞれ照
射部１１Ａ，１２Ａと受光部１１Ｂ，１２Ｂとを有して
いる。そして、レーザー変位計１１，１２として全く同
一のレーザー変位計が用いられており、照射部１１Ａ，
１２Ａは同一波長λ0のレーザー光を照射し、受光部１
１Ｂ，１２Ｂはその波長λ0の光を受光する。
示した変位計１と同一の構成を有しており、それぞれ照
射部１１Ａ，１２Ａと受光部１１Ｂ，１２Ｂとを有して
いる。そして、レーザー変位計１１，１２として全く同
一のレーザー変位計が用いられており、照射部１１Ａ，
１２Ａは同一波長λ0のレーザー光を照射し、受光部１
１Ｂ，１２Ｂはその波長λ0の光を受光する。
【００１１】図２に示す従来の装置では、次のようにし
て被測定物１０の三次元形状が測定される。
て被測定物１０の三次元形状が測定される。
【００１２】まず、Ｒステージ１４を駆動してレーザー
変位計１２の照射光軸をθステージ１５の回転軸Ｏと一
致させるとともに、Ｘ−Ｙステージ１６を駆動して被測
定物１０の中心をθステージ１５の回転軸Ｏとほぼ一致
させる。また、Ｚステージ１３を駆動してレーザー変位
計１１の照射光軸を被測定物１０の最下位置に当てる。
これらの位置が初期位置である。
変位計１２の照射光軸をθステージ１５の回転軸Ｏと一
致させるとともに、Ｘ−Ｙステージ１６を駆動して被測
定物１０の中心をθステージ１５の回転軸Ｏとほぼ一致
させる。また、Ｚステージ１３を駆動してレーザー変位
計１１の照射光軸を被測定物１０の最下位置に当てる。
これらの位置が初期位置である。
【００１３】次に、レーザー変位計１２の照射部１２Ａ
からのレーザー光の照射を継続しつつ、レーザー変位計
１２による被測定物１０の上面の測定を行う。すなわ
ち、まず、被測定物１０の上面における回転軸Ｏ上の点
までの距離をレーザー変位計１２で測定する。その後、
Ｒステージ１４を駆動してレーザー変位計１２を所定量
動かした後、θステージ１５により被測定物１０を回転
させながら一定角度ごとの被測定物１０の上面までの距
離をレーザー変位計１２で測定する。被測定物１０が１
回転すると、レーザー変位計１２をＲステージ１４によ
り同じ向きに更に所定量移動させて、同様に、被測定物
１０を回転させながら被測定物１０の上面までの距離を
レーザー変位計１２で測定する。これを繰り返し、レー
ザー変位計１２からのレーザー光が被測定物１０に当た
らなくなれば、レーザー変位計１２による被測定物１０
の上面の三次元形状の測定が終了する。なお、レーザー
変位計１２による測定中には、レーザー変位計１１の照
射部１１Ａからのレーザー光の照射は、停止されてい
る。
からのレーザー光の照射を継続しつつ、レーザー変位計
１２による被測定物１０の上面の測定を行う。すなわ
ち、まず、被測定物１０の上面における回転軸Ｏ上の点
までの距離をレーザー変位計１２で測定する。その後、
Ｒステージ１４を駆動してレーザー変位計１２を所定量
動かした後、θステージ１５により被測定物１０を回転
させながら一定角度ごとの被測定物１０の上面までの距
離をレーザー変位計１２で測定する。被測定物１０が１
回転すると、レーザー変位計１２をＲステージ１４によ
り同じ向きに更に所定量移動させて、同様に、被測定物
１０を回転させながら被測定物１０の上面までの距離を
レーザー変位計１２で測定する。これを繰り返し、レー
ザー変位計１２からのレーザー光が被測定物１０に当た
らなくなれば、レーザー変位計１２による被測定物１０
の上面の三次元形状の測定が終了する。なお、レーザー
変位計１２による測定中には、レーザー変位計１１の照
射部１１Ａからのレーザー光の照射は、停止されてい
る。
【００１４】次に、レーザー変位計１２の照射部１２Ａ
からのレーザー光の照射を停止し、レーザー変位計１１
の照射部１１Ａからのレーザー光の照射を継続しつつ、
レーザー変位計１１による被測定物１０の側面の測定を
行う。すなわち、θステージ１５により被測定物１０を
回転させながら、被測定物１０の最下位置における一定
角度ごとの被測定物１０の側面までの距離をレーザー変
位計１１で測定する。被測定物１０が１回転すると、レ
ーザー変位計１１をＺステージ１３により上方に所定量
移動させて、同様に、被測定物１０を回転させながら被
測定物１０の側面までの距離をレーザー変位計１１で測
定する。これを繰り返し、レーザー変位計１１からのレ
ーザー光が被測定物１０に当たらなくなれば、レーザー
変位計１１による被測定物１０の側面の三次元形状の測
定が終了する。
からのレーザー光の照射を停止し、レーザー変位計１１
の照射部１１Ａからのレーザー光の照射を継続しつつ、
レーザー変位計１１による被測定物１０の側面の測定を
行う。すなわち、θステージ１５により被測定物１０を
回転させながら、被測定物１０の最下位置における一定
角度ごとの被測定物１０の側面までの距離をレーザー変
位計１１で測定する。被測定物１０が１回転すると、レ
ーザー変位計１１をＺステージ１３により上方に所定量
移動させて、同様に、被測定物１０を回転させながら被
測定物１０の側面までの距離をレーザー変位計１１で測
定する。これを繰り返し、レーザー変位計１１からのレ
ーザー光が被測定物１０に当たらなくなれば、レーザー
変位計１１による被測定物１０の側面の三次元形状の測
定が終了する。
【００１５】その後、レーザー変位計１２により得た被
測定物１０の上面の三次元形状データとレーザー変位計
１１により得た被測定物１０の側面の三次元形状データ
とを合成することにより、被測定物１０の全体の三次元
形状データが得られる。
測定物１０の上面の三次元形状データとレーザー変位計
１１により得た被測定物１０の側面の三次元形状データ
とを合成することにより、被測定物１０の全体の三次元
形状データが得られる。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図２に
示す従来の三次元形状測定装置では、前述したように、
レーザー変位計１２による被測定物１０の上面の測定と
レーザー変位計１１による被測定物１０の側面の測定
を、同時ではなく、順次に行っていたので、測定時間が
長いという欠点がある。
示す従来の三次元形状測定装置では、前述したように、
レーザー変位計１２による被測定物１０の上面の測定と
レーザー変位計１１による被測定物１０の側面の測定
を、同時ではなく、順次に行っていたので、測定時間が
長いという欠点がある。
【００１７】そこで、本件発明者は、測定時間を短縮す
るべく、図２に示す三次元形状測定装置において、レー
ザー変位計１２による被測定物１０の上面の測定とレー
ザー変位計１１による被測定物１０の側面の測定を、同
時に行うようにしてみた。
るべく、図２に示す三次元形状測定装置において、レー
ザー変位計１２による被測定物１０の上面の測定とレー
ザー変位計１１による被測定物１０の側面の測定を、同
時に行うようにしてみた。
【００１８】すなわち、測定中は、前記初期位置レーザ
ー変位計１１，１２の照射部１１Ａ，１２Ａから同時に
レーザー光を照射させる。そして、まず、被測定物１０
の上面における回転軸Ｏ上の点までの距離をレーザー変
位計１２で測定する。その後、Ｒステージ１４を駆動し
てレーザー変位計１２を所定量動かした後、θステージ
１５により被測定物１０を回転させながら、一定角度ご
との被測定物１０の上面までの距離をレーザー変位計１
２で測定すると同時に、被測定物１０の最下位置におけ
る一定角度ごとの被測定物１０の側面までの距離をレー
ザー変位計１１で測定する。被測定物１０が１回転する
と、レーザー変位計１２をＲステージ１４により更に所
定量移動させるとともに、レーザー変位計１１をＺステ
ージ１３により上方に所定量移動させた後、同様に、θ
ステージ１５により被測定物１０を回転させながら、一
定角度ごとの被測定物１０の上面までの距離をレーザー
変位計１２で測定すると同時に、一定角度ごとの被測定
物１０の側面までの距離をレーザー変位計１１で測定す
る。そして、これを繰り返し、レーザー変位計１２から
のレーザー光が被測定物１０に当たらなくなれば、レー
ザー変位計１２による被測定物１０の上面の三次元形状
の測定が終了し、レーザー変位計１１からのレーザー光
が被測定物１０に当たらなくなれば、レーザー変位計１
１による被測定物１０の側面の三次元形状の測定が終了
する。
ー変位計１１，１２の照射部１１Ａ，１２Ａから同時に
レーザー光を照射させる。そして、まず、被測定物１０
の上面における回転軸Ｏ上の点までの距離をレーザー変
位計１２で測定する。その後、Ｒステージ１４を駆動し
てレーザー変位計１２を所定量動かした後、θステージ
１５により被測定物１０を回転させながら、一定角度ご
との被測定物１０の上面までの距離をレーザー変位計１
２で測定すると同時に、被測定物１０の最下位置におけ
る一定角度ごとの被測定物１０の側面までの距離をレー
ザー変位計１１で測定する。被測定物１０が１回転する
と、レーザー変位計１２をＲステージ１４により更に所
定量移動させるとともに、レーザー変位計１１をＺステ
ージ１３により上方に所定量移動させた後、同様に、θ
ステージ１５により被測定物１０を回転させながら、一
定角度ごとの被測定物１０の上面までの距離をレーザー
変位計１２で測定すると同時に、一定角度ごとの被測定
物１０の側面までの距離をレーザー変位計１１で測定す
る。そして、これを繰り返し、レーザー変位計１２から
のレーザー光が被測定物１０に当たらなくなれば、レー
ザー変位計１２による被測定物１０の上面の三次元形状
の測定が終了し、レーザー変位計１１からのレーザー光
が被測定物１０に当たらなくなれば、レーザー変位計１
１による被測定物１０の側面の三次元形状の測定が終了
する。
【００１９】その後、レーザー変位計１２により得た被
測定物１０の上面の三次元形状データとレーザー変位計
１１により得た被測定物１０の側面の三次元形状データ
とを合成することにより、被測定物１０の全体の三次元
形状データが得られる。
測定物１０の上面の三次元形状データとレーザー変位計
１１により得た被測定物１０の側面の三次元形状データ
とを合成することにより、被測定物１０の全体の三次元
形状データが得られる。
【００２０】しかし、このようにしてレーザー変位計１
１，１２による同時測定を行った場合には、測定時間は
大幅に短縮するものの、三次元形状データ中に誤ったデ
ータが含まれ、測定の信頼性が低下してしまうことが判
明した。
１，１２による同時測定を行った場合には、測定時間は
大幅に短縮するものの、三次元形状データ中に誤ったデ
ータが含まれ、測定の信頼性が低下してしまうことが判
明した。
【００２１】以上説明した事情は、三角測距式レーザー
変位計のみならず、合焦方式の光距離センサなど他の種
々の光距離センサについても同様である。
変位計のみならず、合焦方式の光距離センサなど他の種
々の光距離センサについても同様である。
【００２２】本発明は、前記事情に鑑みてなされたもの
で、測定の信頼性を低下させることなく、複数の光距離
センサを用いて各光距離センサによる同時計測を行うこ
とができ、測定時間を短縮させることができる三次元形
状測定装置を提供することを目的とする。
で、測定の信頼性を低下させることなく、複数の光距離
センサを用いて各光距離センサによる同時計測を行うこ
とができ、測定時間を短縮させることができる三次元形
状測定装置を提供することを目的とする。
【００２３】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明による三次元形状測定装置は、各々が、被測
定物に対して照射光を照射する照射部と、前記被測定物
からの反射光を受光する受光部とを備えた複数の光距離
センサと、前記複数の光距離センサと前記被測定物との
間の相対位置を変更させる位置変更手段と、前記複数の
光距離センサの各々と前記被測定物との間の各相対位置
に応じた前記複数の光距離センサの受光部の出力に基づ
いて、前記被測定物の三次元形状データを作製する三次
元形状データ作製手段と、を備えた三次元形状測定装置
において、前記複数の光距離センサの照射部から同時に
照射光が照射されるように、前記複数の光距離センサを
駆動する駆動手段を更に備え、前記複数の光距離センサ
の各々の照射部は、前記照射光として互いに異なる波長
の光を照射し、前記複数の光距離センサの各々の受光部
は、当該光距離センサの照射部から照射された照射光と
同一の波長の光を受光するとともに他の光距離センサの
照射部から照射された照射光と同一の波長の光は受光し
ないものである。
め、本発明による三次元形状測定装置は、各々が、被測
定物に対して照射光を照射する照射部と、前記被測定物
からの反射光を受光する受光部とを備えた複数の光距離
センサと、前記複数の光距離センサと前記被測定物との
間の相対位置を変更させる位置変更手段と、前記複数の
光距離センサの各々と前記被測定物との間の各相対位置
に応じた前記複数の光距離センサの受光部の出力に基づ
いて、前記被測定物の三次元形状データを作製する三次
元形状データ作製手段と、を備えた三次元形状測定装置
において、前記複数の光距離センサの照射部から同時に
照射光が照射されるように、前記複数の光距離センサを
駆動する駆動手段を更に備え、前記複数の光距離センサ
の各々の照射部は、前記照射光として互いに異なる波長
の光を照射し、前記複数の光距離センサの各々の受光部
は、当該光距離センサの照射部から照射された照射光と
同一の波長の光を受光するとともに他の光距離センサの
照射部から照射された照射光と同一の波長の光は受光し
ないものである。
【００２４】前記複数の光距離センサの各々の受光部
は、光入射側に、当該光距離センサから照射された照射
光と同一の波長の光を透過させるとともに他の光距離セ
ンサから照射された照射光と同一の波長の光を遮光する
フィルタを有していてもよい。
は、光入射側に、当該光距離センサから照射された照射
光と同一の波長の光を透過させるとともに他の光距離セ
ンサから照射された照射光と同一の波長の光を遮光する
フィルタを有していてもよい。
【００２５】
【作用】前述したようにして、図２に示す三次元形状測
定装置において、レーザー変位計１２による被測定物１
０の上面の測定とレーザー変位計１１による被測定物１
０の側面の測定を同時に行う場合に、三次元形状データ
中に誤ったデータが含まれ、測定の信頼性が低下してし
まう原因は、本件発明者の研究により、レーザー変位計
１１，１２間の相互干渉であることが判明した。
定装置において、レーザー変位計１２による被測定物１
０の上面の測定とレーザー変位計１１による被測定物１
０の側面の測定を同時に行う場合に、三次元形状データ
中に誤ったデータが含まれ、測定の信頼性が低下してし
まう原因は、本件発明者の研究により、レーザー変位計
１１，１２間の相互干渉であることが判明した。
【００２６】すなわち、前述したようにしてレーザー変
位計１１，１２による同時測定を行うと、例えば、図３
に示すような、レーザー変位計１１，１２の位置関係及
び被測定物１０の形状の場合には、レーザー変位計１１
の受光部１１Ｂは、自分の照射部１１Ａから照射された
レーザー光１８ａによる反射光１８ｂを受光するのみな
らず、レーザー変位計１２の照射部１２Ａから照射され
たレーザー光１９ａによる反射光１９ｃをも受光してし
まう。なお、レーザー光１９ａによる反射光１９ｂがレ
ーザー変位計１２による測定に用いられるものである
が、反射光１９ｃも、被測定物１０の形状による乱反射
により生ずるのである。したがって、レーザー変位計１
１の出力が異常となり、その場合に得られたデータが誤
ったものとなる。
位計１１，１２による同時測定を行うと、例えば、図３
に示すような、レーザー変位計１１，１２の位置関係及
び被測定物１０の形状の場合には、レーザー変位計１１
の受光部１１Ｂは、自分の照射部１１Ａから照射された
レーザー光１８ａによる反射光１８ｂを受光するのみな
らず、レーザー変位計１２の照射部１２Ａから照射され
たレーザー光１９ａによる反射光１９ｃをも受光してし
まう。なお、レーザー光１９ａによる反射光１９ｂがレ
ーザー変位計１２による測定に用いられるものである
が、反射光１９ｃも、被測定物１０の形状による乱反射
により生ずるのである。したがって、レーザー変位計１
１の出力が異常となり、その場合に得られたデータが誤
ったものとなる。
【００２７】本発明は、このような知見に基づいてなさ
れたもので、複数の光距離センサによる同時測定時にお
ける光距離センサ間の相互干渉を防ぎ、測定の信頼性を
低下させることなく、測定時間の短縮を図ることができ
るものである。
れたもので、複数の光距離センサによる同時測定時にお
ける光距離センサ間の相互干渉を防ぎ、測定の信頼性を
低下させることなく、測定時間の短縮を図ることができ
るものである。
【００２８】すなわち、本発明によれば、前記複数の光
距離センサの各々の照射部は、前記照射光として互いに
異なる波長の光を照射し、前記複数の光距離センサの各
々の受光部は、当該光距離センサの照射部から照射され
た照射光と同一の波長の光を受光するとともに他の光距
離センサの照射部から照射された照射光と同一の波長の
光は受光しない。したがって、従来と同様に、ある光距
離センサの受光部には他の光距離センサの照射部から照
射された照射光による反射光が入射しようとする場合が
あるが、その場合であっても当該受光部は他の光距離セ
ンサによる反射光を受光しない。その結果、複数の光距
離センサによる同時測定時における光距離センサ間の相
互干渉が防止され、測定の信頼性が低下することなく、
測定時間が短縮する。
距離センサの各々の照射部は、前記照射光として互いに
異なる波長の光を照射し、前記複数の光距離センサの各
々の受光部は、当該光距離センサの照射部から照射され
た照射光と同一の波長の光を受光するとともに他の光距
離センサの照射部から照射された照射光と同一の波長の
光は受光しない。したがって、従来と同様に、ある光距
離センサの受光部には他の光距離センサの照射部から照
射された照射光による反射光が入射しようとする場合が
あるが、その場合であっても当該受光部は他の光距離セ
ンサによる反射光を受光しない。その結果、複数の光距
離センサによる同時測定時における光距離センサ間の相
互干渉が防止され、測定の信頼性が低下することなく、
測定時間が短縮する。
【００２９】光距離センサの受光部が特定の波長の光を
受光するとともに他の特定の波長の光を受光しないよう
にする具体的な手法としては種々あるが、前述したよう
に、光距離センサの受光部が、光入射側に、当該光距離
センサから照射された照射光と同一の波長の光を透過さ
せるとともに他の光距離センサから照射された照射光と
同一の波長の光を遮光するフィルタを有することが好ま
しい。この場合には、一般的に市販されているレーザー
変位計（このレーザー変位計の受光部は通常は当該波長
選択特性を有していない。）を、その受光窓に当該フィ
ルタを付加するだけで、用いることができる利点があ
る。
受光するとともに他の特定の波長の光を受光しないよう
にする具体的な手法としては種々あるが、前述したよう
に、光距離センサの受光部が、光入射側に、当該光距離
センサから照射された照射光と同一の波長の光を透過さ
せるとともに他の光距離センサから照射された照射光と
同一の波長の光を遮光するフィルタを有することが好ま
しい。この場合には、一般的に市販されているレーザー
変位計（このレーザー変位計の受光部は通常は当該波長
選択特性を有していない。）を、その受光窓に当該フィ
ルタを付加するだけで、用いることができる利点があ
る。
【００３０】
【実施例】以下、本発明の一実施例による三次元形状測
定装置について、図１を参照して説明する。
定装置について、図１を参照して説明する。
【００３１】図１は、本発明の一実施例による三次元形
状測定装置の全体構成を示す図である。本実施例では、
被測定物２０は、歯科用作業模型とする。もっとも、被
測定物２０はこれに限定されるものではなく、本発明に
よる三次元形状測定装置は他の任意のものも測定するこ
とができる。
状測定装置の全体構成を示す図である。本実施例では、
被測定物２０は、歯科用作業模型とする。もっとも、被
測定物２０はこれに限定されるものではなく、本発明に
よる三次元形状測定装置は他の任意のものも測定するこ
とができる。
【００３２】本実施例による三次元形状測定装置は、図
１に示すように、被測定物２０の側面方向の距離を測定
する側面測定用の光距離センサとしてのレーザー変位計
２１と、被測定物２０の上面方向の距離を測定する上面
測定用の光距離センサとしてのレーザー変位計２２と、
レーザー変位計２１を図１中の上下方向（鉛直方向、Ｚ
方向）に移動させるＺステージ２３と、レーザー変位計
２２を図１中の左右方向に移動させるＲステージ２４
と、被測定物２０を鉛直方向に延びる回転軸Ｏを中心と
して回転させるθステージ２５と、θステージ２５上に
搭載され水平面内において被測定物２０を格子状に移動
させるＸ−Ｙステージ２６、各ステージ２３，２４，２
５を支持する基盤２７と、を備えている。
１に示すように、被測定物２０の側面方向の距離を測定
する側面測定用の光距離センサとしてのレーザー変位計
２１と、被測定物２０の上面方向の距離を測定する上面
測定用の光距離センサとしてのレーザー変位計２２と、
レーザー変位計２１を図１中の上下方向（鉛直方向、Ｚ
方向）に移動させるＺステージ２３と、レーザー変位計
２２を図１中の左右方向に移動させるＲステージ２４
と、被測定物２０を鉛直方向に延びる回転軸Ｏを中心と
して回転させるθステージ２５と、θステージ２５上に
搭載され水平面内において被測定物２０を格子状に移動
させるＸ−Ｙステージ２６、各ステージ２３，２４，２
５を支持する基盤２７と、を備えている。
【００３３】前記レーザー変位計２１，２２は、図４に
示した変位計１と基本的には同様の構成を有している。
すなわち、レーザー変位計２１は、被測定物２０に対し
てスポット状のレーザ光を照射する照射部２１Ａと、被
測定物２０からの反射光を受光する受光部２１Ｂとを有
している。受光部２１Ｂは、受光位置に応じた信号を出
力するＰＳＤやＣＣＤなどの１次元受光センサ（図示せ
ず）と、前記反射光（被測定物２０上の照射光による
像）を前記１次元受光センサの受光面上に投影させる受
光レンズ（図示せず）とを有している。同様に、レーザ
ー変位計２２は、被測定物２０に対してスポット状のレ
ーザ光を照射する照射部２２Ａと、被測定物２０からの
反射光を受光する受光部２２Ｂとを有している。受光部
２２Ｂは、受光位置に応じた信号を出力する１次元受光
センサ（図示せず）と、前記反射光（被測定物２０上の
照射光による像）を前記１次元受光センサの受光面上に
投影させる受光レンズ（図示せず）とを有している。
示した変位計１と基本的には同様の構成を有している。
すなわち、レーザー変位計２１は、被測定物２０に対し
てスポット状のレーザ光を照射する照射部２１Ａと、被
測定物２０からの反射光を受光する受光部２１Ｂとを有
している。受光部２１Ｂは、受光位置に応じた信号を出
力するＰＳＤやＣＣＤなどの１次元受光センサ（図示せ
ず）と、前記反射光（被測定物２０上の照射光による
像）を前記１次元受光センサの受光面上に投影させる受
光レンズ（図示せず）とを有している。同様に、レーザ
ー変位計２２は、被測定物２０に対してスポット状のレ
ーザ光を照射する照射部２２Ａと、被測定物２０からの
反射光を受光する受光部２２Ｂとを有している。受光部
２２Ｂは、受光位置に応じた信号を出力する１次元受光
センサ（図示せず）と、前記反射光（被測定物２０上の
照射光による像）を前記１次元受光センサの受光面上に
投影させる受光レンズ（図示せず）とを有している。
【００３４】そして、本実施例では、従来の三次元形状
測定装置と異なり、各照射部２１Ａ，２２Ａは互いに異
なる波長λ1，λ2のレーザー光を照射する。ここでは、
照射部２１Ａが波長６７０ｎｍのレーザー光を照射し、
照射部２２Ａが波長８７０ｎｍのレーザー光を照射する
ものとする。もっとも、各波長λ1，λ2は、これらに限
定されるものではなく、互いに異なっていればよい。
測定装置と異なり、各照射部２１Ａ，２２Ａは互いに異
なる波長λ1，λ2のレーザー光を照射する。ここでは、
照射部２１Ａが波長６７０ｎｍのレーザー光を照射し、
照射部２２Ａが波長８７０ｎｍのレーザー光を照射する
ものとする。もっとも、各波長λ1，λ2は、これらに限
定されるものではなく、互いに異なっていればよい。
【００３５】また、従来の三次元形状測定装置と異な
り、受光部２１Ｂは、照射部２１Ａから照射されたレー
ザー光と同一の波長６７０ｎｍの光を受光し、照射部２
２Ａから照射されたレーザー光と同一の波長８７０ｎｍ
の光は受光しない。同様に、受光部２２Ｂは、照射部２
２Ａから照射されたレーザー光と同一の波長８７０ｎｍ
の光を受光し、照射部２１Ａから照射されたレーザー光
と同一の波長６７０ｎｍの光は受光しない。
り、受光部２１Ｂは、照射部２１Ａから照射されたレー
ザー光と同一の波長６７０ｎｍの光を受光し、照射部２
２Ａから照射されたレーザー光と同一の波長８７０ｎｍ
の光は受光しない。同様に、受光部２２Ｂは、照射部２
２Ａから照射されたレーザー光と同一の波長８７０ｎｍ
の光を受光し、照射部２１Ａから照射されたレーザー光
と同一の波長６７０ｎｍの光は受光しない。
【００３６】具体的には、本実施例では、受光部２１Ｂ
は、光入射側に、主として波長６７０ｎｍの光のみを透
過させるとともに波長８７０ｎｍの光を遮光するフィル
タ２１ｂを有している。また、受光部２２Ｂは、光入射
側に、主として波長８７０ｎｍの光のみを透過させると
ともに波長６７０ｎｍの光を遮光するフィルタ２２ｂを
有している。本実施例では、このように受光部２１Ｂ，
２２Ｂがフィルタ２１ｂ，２２ｂを有する構成であるの
で、レーザー変位計２１，２２として、一般的に市販さ
れているレーザー変位計（このレーザー変位計の受光部
は通常は当該波長選択特性を有していない。）を、その
受光窓に当該フィルタ２１ｂ，２２ｂを装着するだけ
で、用いることができる。
は、光入射側に、主として波長６７０ｎｍの光のみを透
過させるとともに波長８７０ｎｍの光を遮光するフィル
タ２１ｂを有している。また、受光部２２Ｂは、光入射
側に、主として波長８７０ｎｍの光のみを透過させると
ともに波長６７０ｎｍの光を遮光するフィルタ２２ｂを
有している。本実施例では、このように受光部２１Ｂ，
２２Ｂがフィルタ２１ｂ，２２ｂを有する構成であるの
で、レーザー変位計２１，２２として、一般的に市販さ
れているレーザー変位計（このレーザー変位計の受光部
は通常は当該波長選択特性を有していない。）を、その
受光窓に当該フィルタ２１ｂ，２２ｂを装着するだけ
で、用いることができる。
【００３７】なお、被測定物２０が、材質が超硬石膏で
ある直径１０ｍｍ、高さ１０ｍｍ程度の歯科用作業模型
である場合には、例えば、Ｚステージ２３は図１中の上
下方向に±１０ｍｍの可動範囲を持ち、Ｒステージ２４
は図１中の左右方向に±１０ｍｍの可動範囲を持ち、Ｘ
−Ｙステージ２６は±２５ｍｍの可動範囲を持つ。θス
テージ２５は、Ｘ−Ｙステージ２６及び被測定物２０を
３６０°往復回転させる。
ある直径１０ｍｍ、高さ１０ｍｍ程度の歯科用作業模型
である場合には、例えば、Ｚステージ２３は図１中の上
下方向に±１０ｍｍの可動範囲を持ち、Ｒステージ２４
は図１中の左右方向に±１０ｍｍの可動範囲を持ち、Ｘ
−Ｙステージ２６は±２５ｍｍの可動範囲を持つ。θス
テージ２５は、Ｘ−Ｙステージ２６及び被測定物２０を
３６０°往復回転させる。
【００３８】また、本実施例による三次元形状測定装置
は、図１に示すように、各ステージ２３，２４，２５，
２６の駆動モータ（図示せず）を駆動するモータ駆動回
路２８と、各レーザー変位計２１，２２を駆動するセン
サ駆動回路２９と、各種の演算及び制御を行う演算・制
御部３０と、測定者が演算・制御部３０に各種の指令を
与えるためのキーボード等の入力装置３１と、各ステー
ジ２３〜２６の位置（又は駆動量）を検出するエンコー
ダ等の位置検出器（図示せず）と、を備えている。
は、図１に示すように、各ステージ２３，２４，２５，
２６の駆動モータ（図示せず）を駆動するモータ駆動回
路２８と、各レーザー変位計２１，２２を駆動するセン
サ駆動回路２９と、各種の演算及び制御を行う演算・制
御部３０と、測定者が演算・制御部３０に各種の指令を
与えるためのキーボード等の入力装置３１と、各ステー
ジ２３〜２６の位置（又は駆動量）を検出するエンコー
ダ等の位置検出器（図示せず）と、を備えている。
【００３９】演算・制御部３０は、マイクロコンピュー
タ等から構成され、主として、モータ駆動回路２８及び
センサ駆動回路２９の動作を制御する駆動制御部３２と
しての機能と、レーザー変位計２１，２２からの出力及
び前記位置検出器からの出力（各ステージの位置検出信
号）に基づいて三次元形状データを作製する三次元形状
データ作製部３３としての機能を担う。
タ等から構成され、主として、モータ駆動回路２８及び
センサ駆動回路２９の動作を制御する駆動制御部３２と
しての機能と、レーザー変位計２１，２２からの出力及
び前記位置検出器からの出力（各ステージの位置検出信
号）に基づいて三次元形状データを作製する三次元形状
データ作製部３３としての機能を担う。
【００４０】なお、本実施例では、三次元形状データ作
製部３３で作製された三次元形状データは、これを利用
するＣＡＤ装置３４に供給されるようになっている。
製部３３で作製された三次元形状データは、これを利用
するＣＡＤ装置３４に供給されるようになっている。
【００４１】次に、本実施例による三次元形状測定装置
の動作の一例について、説明する。
の動作の一例について、説明する。
【００４２】まず、Ｒステージ２４を駆動してレーザー
変位計２２の照射光軸をθステージ２５の回転軸Ｏと一
致させるとともに、Ｘ−Ｙステージ２６を駆動して被測
定物２０の中心をθステージ２５の回転軸Ｏとほぼ一致
させる。また、Ｚステージ２３を駆動してレーザー変位
計２１の照射光軸を被測定物２０の最下位置に当てる。
これらの位置が初期位置である。なお、レーザー変位計
２１の照射光軸とレーザー変位計２２の照射光軸とは、
直交している。
変位計２２の照射光軸をθステージ２５の回転軸Ｏと一
致させるとともに、Ｘ−Ｙステージ２６を駆動して被測
定物２０の中心をθステージ２５の回転軸Ｏとほぼ一致
させる。また、Ｚステージ２３を駆動してレーザー変位
計２１の照射光軸を被測定物２０の最下位置に当てる。
これらの位置が初期位置である。なお、レーザー変位計
２１の照射光軸とレーザー変位計２２の照射光軸とは、
直交している。
【００４３】この初期状態において、駆動制御部３２に
よる制御を受けたセンサ駆動回路２９が、レーザー変位
計２１，２２の照射部２１Ａ，２２Ａからのレーザー光
の照射を開始させ、以後測定が完了するまで、それらの
同時照射が継続される。
よる制御を受けたセンサ駆動回路２９が、レーザー変位
計２１，２２の照射部２１Ａ，２２Ａからのレーザー光
の照射を開始させ、以後測定が完了するまで、それらの
同時照射が継続される。
【００４４】そして、まず、被測定物２０の上面におけ
る回転軸Ｏ上の点までの距離をレーザー変位計２２で測
定する。その後、Ｒステージ２４を駆動してレーザー変
位計２２を所定量動かした後、θステージ２５により被
測定物２０を回転させながら、一定角度ごとの被測定物
２０の上面までの距離をレーザー変位計２２で測定する
と同時に、被測定物２０の最下位置における一定角度ご
との被測定物２０の側面までの距離をレーザー変位計２
１で測定する。被測定物２０が１回転すると、レーザー
変位計２２をＲステージ２４により更に所定量移動させ
るとともに、レーザー変位計２１をＺステージ２３によ
り上方に所定量移動させた後、同様に、θステージ２５
により被測定物２０を回転させながら、一定角度ごとの
被測定物２０の上面までの距離をレーザー変位計２２で
測定すると同時に、一定角度ごとの被測定物２０の側面
までの距離をレーザー変位計２１で測定する。そして、
これを繰り返し、レーザー変位計２２からのレーザー光
が被測定物２０に当たらなくなれば、レーザー変位計２
２による被測定物２０の上面の三次元形状の測定が終了
し、レーザー変位計２１からのレーザー光が被測定物２
０に当たらなくなれば、レーザー変位計２１による被測
定物２０の側面の三次元形状の測定が終了する。
る回転軸Ｏ上の点までの距離をレーザー変位計２２で測
定する。その後、Ｒステージ２４を駆動してレーザー変
位計２２を所定量動かした後、θステージ２５により被
測定物２０を回転させながら、一定角度ごとの被測定物
２０の上面までの距離をレーザー変位計２２で測定する
と同時に、被測定物２０の最下位置における一定角度ご
との被測定物２０の側面までの距離をレーザー変位計２
１で測定する。被測定物２０が１回転すると、レーザー
変位計２２をＲステージ２４により更に所定量移動させ
るとともに、レーザー変位計２１をＺステージ２３によ
り上方に所定量移動させた後、同様に、θステージ２５
により被測定物２０を回転させながら、一定角度ごとの
被測定物２０の上面までの距離をレーザー変位計２２で
測定すると同時に、一定角度ごとの被測定物２０の側面
までの距離をレーザー変位計２１で測定する。そして、
これを繰り返し、レーザー変位計２２からのレーザー光
が被測定物２０に当たらなくなれば、レーザー変位計２
２による被測定物２０の上面の三次元形状の測定が終了
し、レーザー変位計２１からのレーザー光が被測定物２
０に当たらなくなれば、レーザー変位計２１による被測
定物２０の側面の三次元形状の測定が終了する。
【００４５】なお、以上の説明において、レーザー変位
計２１，２２による距離の測定は、三次元形状データ作
製部３３が各ステージの位置検出信号に応じてレーザー
変位計２１，２２の出力を取り込むことにより行われ
る。
計２１，２２による距離の測定は、三次元形状データ作
製部３３が各ステージの位置検出信号に応じてレーザー
変位計２１，２２の出力を取り込むことにより行われ
る。
【００４６】その後、三次元形状データ作製部３３が、
レーザー変位計２２により得た被測定物２０の上面の三
次元形状データとレーザー変位計２１により得た被測定
物２０の側面の三次元形状データとを合成することによ
り、被測定物２０の全体の三次元形状データが得られ
る。
レーザー変位計２２により得た被測定物２０の上面の三
次元形状データとレーザー変位計２１により得た被測定
物２０の側面の三次元形状データとを合成することによ
り、被測定物２０の全体の三次元形状データが得られ
る。
【００４７】このようにして、レーザー変位計２１，２
２による同時測定が行われるので、従来に比べて測定時
間が大幅に短縮する。
２による同時測定が行われるので、従来に比べて測定時
間が大幅に短縮する。
【００４８】そして、本実施例では、前述したように、
レーザー変位計２１，２２の各々の照射部２１Ａ，２２
Ａは、互いに異なる波長λ1，λ2のレーザー光を照射
し、レーザー変位計２１の受光部２１Ｂは波長λ1の光
を受光するとともに波長λ2の光を受光せず、レーザー
変位計２２の受光部２２Ｂは波長λ2の光を受光すると
ともに波長λ1の光を受光しない。したがって、従来と
同様に、一方のレーザー変位計２１又は２２の受光部２
１Ｂ又は２２Ｂには他方のレーザー変位計２２又は２１
の照射部２２Ａ又は２１Ａから照射された照射光による
反射光が入射しようとする場合があるが、その場合であ
っても当該受光部は他方のレーザー変位計による反射光
を受光しない。その結果、複数のレーザー変位計２１，
２２による同時測定時におけるレーザー変位計２１，２
２間の相互干渉が防止され、測定の信頼性が低下するこ
とない。
レーザー変位計２１，２２の各々の照射部２１Ａ，２２
Ａは、互いに異なる波長λ1，λ2のレーザー光を照射
し、レーザー変位計２１の受光部２１Ｂは波長λ1の光
を受光するとともに波長λ2の光を受光せず、レーザー
変位計２２の受光部２２Ｂは波長λ2の光を受光すると
ともに波長λ1の光を受光しない。したがって、従来と
同様に、一方のレーザー変位計２１又は２２の受光部２
１Ｂ又は２２Ｂには他方のレーザー変位計２２又は２１
の照射部２２Ａ又は２１Ａから照射された照射光による
反射光が入射しようとする場合があるが、その場合であ
っても当該受光部は他方のレーザー変位計による反射光
を受光しない。その結果、複数のレーザー変位計２１，
２２による同時測定時におけるレーザー変位計２１，２
２間の相互干渉が防止され、測定の信頼性が低下するこ
とない。
【００４９】以上、本発明の一実施例について説明した
が、本発明はこの実施例に限定されるものではない。
が、本発明はこの実施例に限定されるものではない。
【００５０】例えば、前記実施例では、光距離センサと
してスポット状のレーザ光を利用する三角測距式レーザ
ー変位計が用いられていたが、本発明では、光距離セン
サとして、スリット状のレーザー光を利用する三角測距
式レーザー変位計を用いてもよいし、合焦方式の光距離
センサなど種々の光距離センサを用いてもよい。
してスポット状のレーザ光を利用する三角測距式レーザ
ー変位計が用いられていたが、本発明では、光距離セン
サとして、スリット状のレーザー光を利用する三角測距
式レーザー変位計を用いてもよいし、合焦方式の光距離
センサなど種々の光距離センサを用いてもよい。
【００５１】また、本発明では、光距離センサの数も、
３つ以上にすることができる。
３つ以上にすることができる。
【００５２】さらに、前記実施例では、レーザー変位計
２１，２２と被測定物２０との間の相対位置を変更させ
る位置変更手段としてステージ２３〜２６が採用され、
移動ステージ５軸の構成が採用されていたが、その相対
位置を所望の三次元形状を得るのに必要な位置にするこ
とができれば、位置変更手段として任意の構成を採用す
ることができる。
２１，２２と被測定物２０との間の相対位置を変更させ
る位置変更手段としてステージ２３〜２６が採用され、
移動ステージ５軸の構成が採用されていたが、その相対
位置を所望の三次元形状を得るのに必要な位置にするこ
とができれば、位置変更手段として任意の構成を採用す
ることができる。
【００５３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
測定の信頼性を低下させることなく、複数の光距離セン
サを用いて各光距離センサによる同時計測を行うことが
でき、測定時間を短縮させることができる。
測定の信頼性を低下させることなく、複数の光距離セン
サを用いて各光距離センサによる同時計測を行うことが
でき、測定時間を短縮させることができる。
【図１】本発明の一実施例による三次元形状測定装置の
全体構成図である。
全体構成図である。
【図２】従来の三次元形状測定装置の概略構成を示す側
面図である。
面図である。
【図３】従来の三次元形状測定装置におけるエラー発生
の原理を示す説明図である。
の原理を示す説明図である。
【図４】一般的な三角測距式レーザー変位計の測定原理
を示す説明図である。
を示す説明図である。
２０ 被測定物 ２１，２２ レーザー変位計（光距離センサ） ２１Ａ，２２Ａ 照射部 ２１Ｂ，２２Ｂ 受光部 ２１ｂ，２２ｂ フィルタ ２３ Ｚステージ ２４ Ｒステージ ２５ θステージ ２６ Ｘ−Ｙステージ ２８ モータ駆動回路 ２９ センサ駆動回路 ３０ 演算制御部 ３２ 駆動制御部 ３３ 三次元形状データ作製部
Claims (2)
- 【請求項１】 各々が、被測定物に対して照射光を照射
する照射部と、前記被測定物からの反射光を受光する受
光部とを備えた複数の光距離センサと、 前記複数の光距離センサと前記被測定物との間の相対位
置を変更させる位置変更手段と、 前記複数の光距離センサの各々と前記被測定物との間の
各相対位置に応じた前記複数の光距離センサの受光部の
出力に基づいて、前記被測定物の三次元形状データを作
製する三次元形状データ作製手段と、 を備えた三次元形状測定装置において、 前記複数の光距離センサの照射部から同時に照射光が照
射されるように、前記複数の光距離センサを駆動する駆
動手段を更に備え、 前記複数の光距離センサの各々の照射部は、前記照射光
として互いに異なる波長の光を照射し、 前記複数の光距離センサの各々の受光部は、当該光距離
センサの照射部から照射された照射光と同一の波長の光
を受光するとともに他の光距離センサの照射部から照射
された照射光と同一の波長の光は受光しない、 ことを特徴とする三次元形状測定装置。 - 【請求項２】 前記複数の光距離センサの各々の受光部
は、光入射側に、当該光距離センサから照射された照射
光と同一の波長の光を透過させるとともに他の光距離セ
ンサから照射された照射光と同一の波長の光を遮光する
フィルタを有することを特徴とする請求項１記載の三次
元形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7061743A JPH08233547A (ja) | 1995-02-24 | 1995-02-24 | 三次元形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7061743A JPH08233547A (ja) | 1995-02-24 | 1995-02-24 | 三次元形状測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08233547A true JPH08233547A (ja) | 1996-09-13 |
Family
ID=13179972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7061743A Pending JPH08233547A (ja) | 1995-02-24 | 1995-02-24 | 三次元形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08233547A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000046514A (ja) * | 1998-07-27 | 2000-02-18 | Aisin Takaoka Ltd | 鋳物の加工穴位置検出方法 |
| WO2004113833A1 (ja) * | 2003-06-25 | 2004-12-29 | Hitachi, Ltd. | 立体形状計測装置、加工装置、および半導体デバイス製造方法 |
| JP2006325838A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Olympus Medical Systems Corp | 内視鏡システム |
| JP2007024795A (ja) * | 2005-07-20 | 2007-02-01 | Horiba Ltd | 形態計測装置 |
| JP2013521524A (ja) * | 2010-03-04 | 2013-06-10 | シュナイダー、ゲゼルシャフト、ミット、ベシュレンクテル、ハフツング、ウント、コンパニー、コマンディト、ゲゼルシャフト | 眼鏡フレームを測定するための測定装置 |
| JP2015087295A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | 株式会社Ihi | 形状検査装置及び形状検査方法 |
-
1995
- 1995-02-24 JP JP7061743A patent/JPH08233547A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000046514A (ja) * | 1998-07-27 | 2000-02-18 | Aisin Takaoka Ltd | 鋳物の加工穴位置検出方法 |
| WO2004113833A1 (ja) * | 2003-06-25 | 2004-12-29 | Hitachi, Ltd. | 立体形状計測装置、加工装置、および半導体デバイス製造方法 |
| JP2005017062A (ja) * | 2003-06-25 | 2005-01-20 | Hitachi Ltd | 立体形状計測装置、加工装置、および半導体デバイス製造方法 |
| US7511828B2 (en) | 2003-06-25 | 2009-03-31 | Hitachi, Ltd. | Three-dimensional shape measuring unit, processing unit, and semiconductor device manufacturing method |
| JP2006325838A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Olympus Medical Systems Corp | 内視鏡システム |
| JP2007024795A (ja) * | 2005-07-20 | 2007-02-01 | Horiba Ltd | 形態計測装置 |
| JP2013521524A (ja) * | 2010-03-04 | 2013-06-10 | シュナイダー、ゲゼルシャフト、ミット、ベシュレンクテル、ハフツング、ウント、コンパニー、コマンディト、ゲゼルシャフト | 眼鏡フレームを測定するための測定装置 |
| JP2015087295A (ja) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | 株式会社Ihi | 形状検査装置及び形状検査方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7022962B2 (en) | Position determining apparatus | |
| JP2002116025A (ja) | 位置測定設定システム | |
| JP3678915B2 (ja) | 非接触三次元測定装置 | |
| JPH07248213A (ja) | 三次元形状測定装置 | |
| JP7223939B2 (ja) | 形状測定機及びその制御方法 | |
| JPH07181022A (ja) | ３次元形状測定装置 | |
| JPH08233547A (ja) | 三次元形状測定装置 | |
| JP3678916B2 (ja) | 非接触三次元測定方法 | |
| JP4571256B2 (ja) | 逐次２点法による形状精度測定装置および逐次２点法による形状精度測定用レーザ変位計間隔測定方法 | |
| KR100434445B1 (ko) | 3차원 형상/표면조도 측정장치 | |
| JP2001330430A (ja) | 平面度測定方法および平面度測定装置 | |
| JPH08233517A (ja) | 三次元形状測定装置 | |
| JPH08233518A (ja) | 三次元形状測定装置 | |
| JPH0769151B2 (ja) | 表面形状測定装置 | |
| JPH0123041B2 (ja) | ||
| JPH09178439A (ja) | ３次元形状測定装置 | |
| JPH07253304A (ja) | 多軸位置決めユニットおよびこれにおける測長方法 | |
| JPH08327337A (ja) | ３次元形状測定装置 | |
| JPH08304040A (ja) | ３次元形状測定装置 | |
| JP3029572B2 (ja) | 被測定体の断面輪郭形状測定方法及び３次元形状測定方法 | |
| JP2005189205A (ja) | ３次元形状計測装置および方法 | |
| JPH08233519A (ja) | 三次元形状測定装置 | |
| JPH08327336A (ja) | ３次元形状測定装置 | |
| JPH10332349A (ja) | ３次元形状測定方法 | |
| KR101264370B1 (ko) | 3차원 곡면의 홈 패터닝 장치 |