JPH08304040A

JPH08304040A - ３次元形状測定装置

Info

Publication number: JPH08304040A
Application number: JP13734495A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Sato; 剛佐藤
Original assignee: Technology Research Association of Medical and Welfare Apparatus
Current assignee: Technology Research Association of Medical and Welfare Apparatus
Priority date: 1995-05-11
Filing date: 1995-05-11
Publication date: 1996-11-22

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】被測定面の傾きに起因する測定誤差を低減
し、安定して高い精度で被測定物の３次元形状を測定す
る。【構成】被測定物１３に対して照射光１４ａを照射す
る照射部１４と、２次元配列された受光素子からなる受
光部と、照射光１４ａによる反射光を受光する受光部１
５，１５’とを備えた光距離測定器１２と、光距離測定
器１２と被測定物１３との間の位置設定変更機構１１
と、２次元受光センサの出力信号及び２次元受光センサ
の出力信号を用いて、被測定物１３からの反射光像の幅
及び最大輝度が所定範囲内にあるか否かを検知すること
により、相対位置におけるデータ作成用の出力信号及び
相対位置を変更したときのデータ作成用の出力信号を選
択する信号選択部１８ｂと、１８ｂにより選択された出
力信号に基づいて、被測定物１３の３次元形状データを
作成する形状データ作成部１８ｃと、を備えた３次元形
状測定装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、スリット状の照射光を
利用した光距離測定器（例えば、レーザー変位計）を用
いて、被測定物の３次元形状を測定する３次元形状測定
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、３次元形状測定の対象は、従来の
高さ測定、長さ測定等の１次元測定を組み合わせたもの
だけでなく、自由曲面を有する３次元物体にも及んでき
ておりそれらに関する研究も進んでいる。測定方法とし
ては、接触式プローブを被測定物に接触させながら行う
従来の接触式の測定方法に加えて、最近めざましく発展
しているレーザ変位計等の光距離測定器を用いた非接触
の測定方法がある。

【０００３】このような非接触の測定方法では、プロー
ブを被測定物に接触させる必要がないので、ゴムのよう
に軟らかい物でも精度よく測定を行うことが可能であ
り、また従来の接触式の測定方法と比較して、測定時間
が短縮できるという利点を有する。しかしながら、レー
ザ変位計等の光距離測定器を用いた非接触の測定方法で
も任意の自由曲面を有する物体を精度良く、全周にわた
ってくまなく測定できるまでには至っていない。

【０００４】その理由は、被測定物上にある点（被測定
点）の法線の傾きは不可知であり、レーザー等の光を照
射して行う測定では、被測定物への光の照射角度や被測
定物からの反射光の角度に（即ち、被測定点がある面の
傾きにより）測定精度が大きく左右され、前記角度が所
定の大きさ以上になると、測定不能となる場合があるか
らである。

【０００５】なお、当然のことながら、照射光の届かな
い範囲にある被測定物の測定は不可能である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】光投射による３次元形
状測定においては、例えばスリット状の照射光を被測定
物の被測定面に投射して、その反射光をＣＣＤ等の受光
部により受けて照射光の反射像を検出し、その反射像の
中心位置から３次元座標を求めている。しかし、同じ測
定装置を用いても、被測定物の被測定面の傾き（即ち、
被測定物への光の照射角度や被測定物からの反射光の角
度）により、測定精度が大きく影響を受ける場合がある
という問題点があった。

【０００７】例えば、被測定面の傾きによっては、反射
像が非常に幅広になる、反射像の輝度が極度に低下す
る、反射光が受光部に入射しない、などの事態が発生し
て、その結果、被測定物の一部の測定ができない、測定
できたとしても測定精度が悪く測定誤差の原因となると
いう問題点があった。本発明は、かかる問題点に鑑みて
なされたものであり、被測定物の被測定面の傾きに起因
する測定誤差を低減し、安定して高い精度で被測定物の
３次元形状を測定することができる３次元形状測定装置
を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】そのため、本発明は第一
に「少なくとも、被測定物に対してスリット状の照射光
を照射する照射部と、２次元配列された複数の受光素子
からなる２次元受光センサを有する受光部であって、前
記照射光による前記被測定物からの反射光を前記２次元
受光センサ上で受光する複数の受光部とを備えた光距離
測定器と、前記光距離測定器と前記被測定物との間の相
対位置を設定する位置設定機構と前記相対位置における
前記２次元受光センサの出力信号を用いて、被測定物か
らの反射光像の幅及び最大輝度が所定範囲内にあるか否
かを検知することによりデータ作成用の出力信号を選択
する信号選択部と、前記信号選択部により選択された出
力信号に基づいて、前記被測定物の３次元形状データを
作成する形状データ作成部と、を備えた３次元形状測定
装置（請求項１）」を提供する。

【０００９】また、本発明は第二に「少なくとも、被測
定物に対してスリット状の照射光を照射する照射部と、
２次元配列された複数の受光素子からなる２次元受光セ
ンサを有する受光部であって、前記照射光による前記被
測定物からの反射光を前記２次元受光センサ上で受光す
る複数の受光部とを備えた光距離測定器と、前記光距離
測定器と前記被測定物との間の相対位置を設定及び変更
する位置設定変更機構と、前記相対位置における前記２
次元受光センサの出力信号及び前記相対位置を変更した
ときの前記２次元受光センサの出力信号を用いて、被測
定物からの反射光像の幅及び最大輝度が所定範囲内にあ
るか否かを検知することにより、前記相対位置における
データ作成用の出力信号及び前記相対位置を変更したと
きのデータ作成用の出力信号をそれぞれ選択する信号選
択部と、前記信号選択部により選択された出力信号に基
づいて、前記被測定物の３次元形状データを作成する形
状データ作成部と、を備えた３次元形状測定装置（請求
項２）」を提供する。

【００１０】また、本発明は第三に「前記位置設定機構
及び前記照射部の動作を制御する制御部と前記位置設定
機構の位置または駆動量を検出する位置検出機構とを更
に備えたことを特徴とする請求項１記載の３次元形状測
定装置（請求項３）」を提供する。また、本発明は第四
に「前記位置設定変更機構及び前記照射部の動作を制御
する制御部と前記位置設定変更機構の位置または駆動量
を検出する位置検出機構とを更に備えたことを特徴とす
る請求項２記載の３次元形状測定装置（請求項４）」を
提供する。

【００１１】

【作用】本発明の３次元形状測定装置（請求項１〜４）
では、被測定物からの反射光像の幅及び最大輝度が所定
範囲内にある（条件）か否かを検知することにより、デ
ータ作成用の出力信号を選択し、即ち、複数の２次元受
光センサの出力信号の中から前記条件を満たす最適な出
力信号を選択し、該選択した出力信号に基づいて、被測
定物の３次元形状データを作成するので、被測定物の被
測定面の傾きに起因する測定誤差を低減し、安定して高
い精度で被測定物の３次元形状を測定することができ
る。

【００１２】本発明の３次元形状測定装置は、前記位置
設定機構及び前記照射部の動作を制御する制御部と前記
位置設定機構の位置または駆動量を検出する位置検出機
構とを更に備えていることが好ましい（請求項３）。ま
た、本発明の３次元形状測定装置は、前記位置設定変更
機構及び前記照射部の動作を制御する制御部と前記位置
設定変更機構の位置または駆動量を検出する位置検出機
構とを更に備えていることが好ましい（請求項４）。

【００１３】さらに、本発明の３次元形状測定装置は、
データ作成用の出力信号が選択できないときに、測定不
能を示す信号を出力する機構を更に設けることが好まし
い。或いは、本発明の３次元形状測定装置は、データ作
成用の出力信号が選択できないときに、測定不能を示す
信号を出力する機構、及び／または、前記位置変更設定
機構に相対位置の変更を指示する信号を出力する機構を
更に設けることが好ましい。

【００１４】かかる機構をさらに設けると、誤った形状
測定データが作成されることがなくまた、再測定が必要
な測定点を知ることができる。或いは、再測定が必要な
測定点を知ることができると共に、再測定が必要な測定
点に対して、相対位置を変えて再測定を行うことによ
り、データ作成用の出力信号が得られるようにすること
ができるので、より正確な形状測定データを得ることが
できる。

【００１５】以下、本発明にかかる測定原理を図を参照
して説明するが、本発明はこの図の例に限定されるもの
ではない。測定方法は、光切断法をベースにしている。
先ず、スリット状のレーザー照射光２が被測定物１の被
測定面に向けて照射部３から照射される。被測定面によ
り反射された光の一部は、各受光部４、５により受光さ
れる（図１参照）。

【００１６】図１の例においては、各受光部４、５の各
光軸４ａ、５ａまわりの位置関係は被測定物１の被測定
面が照射光２の光軸３ａに対して垂直な平面である場合
に、被測定物１からの反射光の像が各受光部４、５の２
次元受光素子受光面７上の走査線８に垂直になるように
設定されている。被測定面が平面であり、しかも照射光
２の光軸３ａに対して垂直であるならば受光された反射
光の像６は直線的な帯状となり、２次元受光素子の受光
面７の中央部に位置するようになるが（図２（ａ）参
照）、図３の被測定物１３のように被測定面が曲面であ
る場合の反射光の像６’は、歪曲した帯状となる（図２
（ｂ）参照）。

【００１７】反射光の像６、６’の幅（Ｘ１方向）は、
照射光２，１４ａの幅、被測定面の形状、被測定面の焦
点面からの距離等によって変化するが、おおよそ数ピク
セル（素子）から数十ピクセル程度となる。反射光の像
は、複数の受光部の各受光面に投影されるので、被測定
物の各被測定点について複数の像がそれぞれ得られる。

【００１８】図１のように、二つの受光部４、５がその
光軸４ａ，５ａと照射部３の光軸３ａとなす角度θ₁，
θ₂が等しくなるように配置されているときに、被測定
面が平面である場合には、各受光部４、５の受光面には
同じ（または略同じ）像が投影される。しかし、被測定
面が３次元自由曲面である場合には、同一被測定点から
の像であっても、被測定点がある面（被測定面）が傾斜
しているので、各受光面には異なる像が投影される。そ
の違いとして顕著なものは、像の幅と最大輝度である。

【００１９】例えば、被測定面が右下がりに傾斜してい
る場合、反射光は受光部５よりも受光部４の方に向かい
やすい。そのため、受光部４で高輝度の像が得られる一
方、受光部５では低輝度の像しか得られないので、ノイ
ズの影響を受けやすくなって測定の信頼性が低下する。
また、受光部４で得られる高輝度の像も前記傾斜が特に
大きい場合には、像の幅が大きくなりすぎて、像の中心
位置を求めることが困難となり、測定の信頼性が低下す
ることもある。

【００２０】従って、反射光像の幅及び最大輝度が適切
な範囲にあるときに、測定の信頼性が高いということが
できる。そこで、本発明では、複数の受光部に投影され
た反射光像の幅及び最大輝度を目安として測定の信頼性
を判断することで、複数の受光部からの出力信号の中か
ら最も信頼性が高い信号を選択して、これを形状データ
とするのである。

【００２１】ところで、反射光の像６、６’の輝度分布
はガウス分布となるので、中央部で高輝度、周辺部で低
輝度となる。反射光の像６、６’の中心位置（Ｘ１方
向）をサブピクセル処理により推定することで、被測定
点までの距離を求める。ここで、サブピクセル処理につ
いて図２、３を参照して説明する。被測定物１３に照射
部１４からスリット状の照射光１４ａを照射させると、
被測定物１３の形状に沿った切断線１３ａが形成され、
この切断線１３ａが受光部１５、１５’により撮像され
る。即ち、例えば図２（ｂ）に示すように、受光部１
５、１５’の２次元受光素子の受光面７上には、前記切
断線１３ａの像６’が投影される。

【００２２】図２（ａ）、（ｂ）中の縦軸は、図１中の
Ｙ方向（即ち、スリット状の照射光１４ａの拡がり方
向）に対応するＹ１方向の前記受光面上の位置を示して
いる。図２（ａ）、（ｂ）中の横軸は、前記Ｙ１方向に
垂直なＸ１方向の位置を示している。像６’の幅（Ｘ１
方向）は、通常一つの受光素子のＸ１方向の長さよりも
大きく、例えば約１０素子（ピクセル）分程度の長さに
なっている。図２（ｂ）のＹ１方向のある位置において
Ｘ１方向に並んだ１列の受光素子に対応する２次元受光
素子の出力レベルの分布（２次元受光素子の受光面７上
の、Ｙ１方向のある位置においてＸ１方向に沿った、受
光量の分布に相当）は、図２（ｃ）に示すようになる。

【００２３】Ｙ１方向のこの位置における像６’のＸ１
方向の位置は、図２（ｃ）中の出力レベルが大きい位置
に相当することになる。図２（ｃ）に示すような分布の
形状から像６’のＸ１方向の中心位置を推定する処理
が、いわゆるサブピクセル処理である。具体的には、図
２（ｃ）中の所定の閾値（受光量）以上の部分の加重平
均を以て、像６’のＸ１方向の中心位置とする。この中
心位置がＹ１方向のある位置に対応する被測定物１３の
測定点までの距離を示すことになる。

【００２４】本発明では、信号選択部１８ｂにより選択
された出力信号に基づいて、前記被測定物１３の３次元
形状データを作成する形状データ作成部１８ｃにより前
記サブピクセル処理が行われる。即ち、本発明では、信
号選択部１８ｂにより、複数の受光部の２次元受光素子
の出力信号の中から、反射光像の幅及び最大輝度が所定
範囲内にある（条件）か否かを検知することにより、前
記条件を満たす最適な出力信号を選択した上で、形状デ
ータ作成部１８ｃにより、前記サブピクセル処理を行っ
て各距離データを求めている。

【００２５】以下、本発明を実施例により更に詳細に説
明するが、本発明はこの例に限定されるものではない。

【００２６】

【実施例】図３は、本実施例の３次元形状測定装置の全
体構成を模式的に示す図である。本実施例の３次元形状
測定装置は、図３に示すように、本体基板（不図示）の
上に取り付けられたＸ方向に移動可能なＸステージ１１
と、Ｘステージ１１の上方において前記本体基板に取り
付けられたレーザー変位計（光距離測定器の一例）１２
とを備えている。

【００２７】被測定物１３は、Ｘステージ１１の上に載
せられる。Ｘステージ１１は、レーザー変位計１２と被
測定物１３との間の相対位置を設定及び変更する位置設
定変更機構を構成している。なお、図３において、Ｘス
テージ１１の動きの理解を容易にするため、Ｘステージ
１１の固定部を１１ａで示し、Ｘステージ１１の可動部
を１１ｂで示している。

【００２８】レーザー変位計１２は、被測定物１３に対
して、Ｙ方向（Ｘ方向に垂直）に拡がったスリット状の
照射光１４ａを照射する照射部１４と、被測定物１３か
らの反射光を受光する二つの受光部１５、１５’を有し
ている。照射部１４から照射されるレーザー光は、６７
０ｎｍの半導体レーザー光であるが、感度特性が大きい
受光部１５、１５’とすることにより、他の波長のレー
ザーを用いることもできる。

【００２９】本実施例ではシリンドリカルレンズを用い
て、半導体レーザー光をスリット状の照射光１４ａとし
ている。そのため、スリットを用いてスリット状にする
場合のように、輝度が低下することがなく、またポリゴ
ンミラーを用いる場合のように、装置の大型化を招くこ
とがない。二つの受光部１５、１５’は、その各光軸１
５ａ、１５ａ’が照射光１４ａの光軸に対して、それぞ
れ角度θ１，θ２をなすように配置されている。

【００３０】図には示していないが、各受光部１５、１
５’は、２次元配列された複数の受光素子からなる２次
元ＣＣＤなどの２次元受光センサを有し、各受光部１
５、１５’として例えばＣＣＤカメラを使用することが
できる。各受光部１５、１５’の各光軸１５ａ、１５
ａ’まわりの位置関係は、被測定物の被測定面が照射光
１４ａの光軸に対して垂直な平面である場合に、被測定
物からの反射光の像が各受光部１５、１５’の２次元受
光センサ面の走査線８に垂直になるように設定されてい
る。

【００３１】なお、照射部１４及び各受光部１５、１
５’は、両方とも前記本体基板に固定されている。ま
た、本実施例の３次元形状測定装置は、図３に示すよう
に、Ｘステージ１１の駆動モータ（不図示）を駆動する
モータ駆動回路１６と、レーザー変位計１２の照射部１
４を駆動する照射部駆動回路１７と、制御・処理部１８
と、測定者が制御・処理部１８に各種の指令を与えるた
めの入力部（例えば、キーボード）１９と、Ｘステージ
１１の位置（または駆動量）を検出する位置検出機構
（例えばエンコーダ、不図示）と、を備えている。

【００３２】ここで、制御・処理部１８は、不図示の記
憶装置やＣＰＵ等を内蔵したマイクロコンピュータ等か
ら構成され、モータ駆動回路１６及び照射部駆動回路
１７の動作を制御する制御部１８ａとしての機能、各
受光部１５、３１を構成する２次元受光素子の出力信号
を用いて、被測定物からの反射光像の幅及び最大輝度が
所定範囲内にあるか否かを検知することにより、データ
作成用の出力信号を選択する（即ち、複数の２次元受光
センサの出力信号の中から最適な出力信号を選択する）
信号選択部１８ｂとしての機能、信号選択部１８ｂに
より選択された出力信号に基づいて、前記サブピクセル
処理を行うとともに、信号選択部１８ｂにより選択され
た出力信号と位置検出機構からの出力信号（Ｘステージ
１１の位置検出信号）に基づいて、被測定物の３次元形
状データを作成する形状データ作成部１８ｃとしての機
能、などの各種の機能を担う。

【００３３】なお、本実施例では、形状データ作成部１
８ｃにて作成された３次元形状測定データは、これを利
用するＣＡＤ装置２０に供給されるようになっている。
以下、本実施例の３次元形状測定装置の動作の一例につ
いて説明する。先ず、被測定物１３である歯科用模型の
測定に必要な測定箇所は、歯の咬合面及び側面であるか
ら、測定不要な面が下になるように、被測定物１３をＸ
ステージ１１に仮り止めする。

【００３４】この状態で、制御・処理部１８の中の制御
部１８ａは、測定者により入力部１９から与えられた測
定開始指令に応答して、照射部駆動回路１７に制御信号
を与えて、照射部１４から被測定物１３にスリット光１
４ａを照射させる。そして被測定物１３の形状に沿った
切断線１３ａが形成される。この切断線１３ａが受光部
１５、１５’により斜めから撮像される。即ち、図２
（ｂ）に示すように、受光部１５、１５’の各２次元受
光センサの受光面７上には、切断線１３ａの像６’がそ
れぞれ投影される。その結果、それらの像に応じた出力
信号が受光部１５、１５’の各２次元受光センサから得
られる。

【００３５】制御・処理部１８の中の信号選択部１８ｂ
は、受光部１５、１５’の各２次元受光センサからの出
力の中から、反射光像の幅及び最大輝度が所定範囲内に
ある（条件）か否かを検知することにより、前記条件を
満たす最適な出力信号を選択する。また、制御・処理部
１８の中の形状データ作成部１８ｃは、信号選択部１８
ｂにより選択された出力信号をフレームメモリ（不図
示）に一旦記憶する。そして、この出力信号としての画
像データに対して、前記サブピクセル処理を行うことに
より、Ｙ１方向の各位置において切断線１３ａの像６’
のＸ１方向の中心位置を求め、そのデータをＸステージ
の位置データと対応させてメモリ（不図示）に記憶させ
る。

【００３６】これで、一つの切断線１３ａに対する測定
が終了する。被測定物１３の全体を測定するためには、
Ｘステージ１１を所定量のピッチで動かした後、同様の
手順で測定を繰り返せば良い。被測定物１３の全域が所
定のピッチで測定できたならば、すべての測定が終了し
たことになる。すべての測定により得られた各測定デー
タは、同様にメモリに記憶させる。そして、メモリに記
憶された各データを用いて、形状データ作成部１８ｃ
は、被測定物１３の３次元形状データを作成する。

【００３７】本実施例の３次元形状測定装置では、被測
定物からの反射光像の幅及び最大輝度が所定範囲内にあ
るか否かを検知することにより、データ作成用の出力信
号を選択し、即ち、複数の２次元受光センサの出力信号
の中から最適な出力信号を選択し、該選択した出力信号
に基づいて、被測定物の３次元形状データを作成するの
で、被測定物の被測定面の傾きに起因する測定誤差を低
減し、安定して高い精度で被測定物の３次元形状を測定
することができる。

【００３８】以上、本実施例について説明したが、本発
明はこの実施例に限定されるものではない。例えば、本
実施例では、単一のレーザー変位計（光距離測定器）を
用いているが、複数のレーザー変位計を用いてもよい。
また、本実施例では、レーザー変位計と被測定物との間
の相対位置を設定及び変更させる位置設定変更機構とし
てＸステージを採用しているが、その相対位置を所望の
３次元形状を得るのに必要な位置に設定及び変更するこ
とができれば、位置設定変更機構として任意の構成を採
用することができる。

【００３９】

【発明の効果】以上詳しく説明した通り、本発明の３次
元形状測定装置によれば、被測定物からの反射光像の幅
及び最大輝度が所定範囲内にあるか否かを検知すること
によりデータ作成用の出力信号を選択し、即ち、複数の
２次元受光センサの出力信号の中から最適な出力信号を
選択し、該選択した出力信号に基づいて、被測定物の３
次元形状データを作成するので、被測定物の被測定面の
傾きに起因する測定誤差を低減し、安定して高い精度で
被測定物の３次元形状を測定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】は、本発明にかかる測定原理を説明するための
概略側面図である。

【図２】は、受光部の受光面に投影された像の様子を示
す説明図（ａ），（ｂ）と像におけるＸ１方向の輝度分
布を示す説明図（ｃ）である。

【図３】は、実施例の３次元形状測定装置の全体構成を
模式的に示す図である。

【主要部分の符号の説明】

１・・・被測定物２・・・スリット状の照射光３・・・照射部３ａ・・照射光２の光軸４・・・受光部４ａ・・受光部４の光軸５・・・受光部５ａ・・受光部５の光軸６・・・被測定物からの反射光像６’・・被測定物からの反射光像７・・・２次元受光素子の受光面８・・・走査線１１・・Ｘステージ１２・・光距離測定器１３・・被測定物１３ａ・・切断線１４・・照射部１５・・受光部１５ａ・・受光部１５の光軸１５’・・受光部１５’ａ・・受光部１５’の光軸１６・・モータ駆動回路１７・・照射部駆動回路１８・・制御処理部１８ａ・・制御部１８ｂ・・信号選択部１８ｃ・・データ作成部１９・・入力部２０・・・ＣＡＤ装置以上

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも、被測定物に対してスリット状の照射光を照射する照射部
と、２次元配列された複数の受光素子からなる２次元受
光センサを有する受光部であって、前記照射光による前
記被測定物からの反射光を前記２次元受光センサ上で受
光する複数の受光部とを備えた光距離測定器と、前記光距離測定器と前記被測定物との間の相対位置を設
定する位置設定機構と前記相対位置における前記２次元
受光センサの出力信号を用いて、被測定物からの反射光
像の幅及び最大輝度が所定範囲内にあるか否かを検知す
ることによりデータ作成用の出力信号を選択する信号選
択部と、前記信号選択部により選択された出力信号に基づいて、
前記被測定物の３次元形状データを作成する形状データ
作成部と、を備えた３次元形状測定装置。
【請求項２】少なくとも、被測定物に対してスリット状の照射光を照射する照射部
と、２次元配列された複数の受光素子からなる２次元受
光センサを有する受光部であって、前記照射光による前
記被測定物からの反射光を前記２次元受光センサ上で受
光する複数の受光部とを備えた光距離測定器と、前記光距離測定器と前記被測定物との間の相対位置を設
定及び変更する位置設定変更機構と、前記相対位置における前記２次元受光センサの出力信号
及び前記相対位置を変更したときの前記２次元受光セン
サの出力信号を用いて、被測定物からの反射光像の幅及
び最大輝度が所定範囲内にあるか否かを検知することに
より、前記相対位置におけるデータ作成用の出力信号及
び前記相対位置を変更したときのデータ作成用の出力信
号をそれぞれ選択する信号選択部と、前記信号選択部により選択された出力信号に基づいて、
前記被測定物の３次元形状データを作成する形状データ
作成部と、を備えた３次元形状測定装置。
【請求項３】前記位置設定機構及び前記照射部の動作
を制御する制御部と前記位置設定機構の位置または駆動
量を検出する位置検出機構とを更に備えたことを特徴と
する請求項１記載の３次元形状測定装置。
【請求項４】前記位置設定変更機構及び前記照射部の
動作を制御する制御部と前記位置設定変更機構の位置ま
たは駆動量を検出する位置検出機構とを更に備えたこと
を特徴とする請求項２記載の３次元形状測定装置。