JPH08221683A - センサ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】伝送線路の電線数を削減でき、複数の検出部を
使用するシステムの小型および軽量化を実現できるとと
もに、信号の精度向上が可能となるセンサ装置を提供す
る事。 【構成】各種の物理量を検出し電気信号に変換して出力
する検出手段１１と、この検出手段１１から、出力信号
をシリアルのディジタル信号に変換するシリアル出力型
Ａ−Ｄ変換手段１３と、この変換手段１３で変換された
信号に応じて電源線Ｌ１、Ｌ２に流れる電流を変化させ
る電圧−電流変換手段１４とからなる検出部１を備える
とともに、電流線に流れる電流信号を電圧信号に変換す
る電流−電圧変換手段２１と、この電流−電圧変換手段
２１にて変換された電圧信号をアナログ信号に変換する
シリアル入力型のＤ−Ａ変換手段２３とからなるデータ
処理部２を具備。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プラント、ビル、橋
梁、機械などの分野において、圧力、温度、歪み、変
位、振動などのさまざまな物理的、機械的な量を計測・
監視する場合に用いられるセンサ装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】図８は従来のこの種のセンサ装置を示す
図である。図８の（ａ）は検出部５１とデータ処理部５
４との間の信号伝送の例を示したものであり、検出部５
１はセンサ５２と増幅回路５３とで構成されている。セ
ンサ５２は例えば温度・湿度・圧力などの物理量を検出
して電気信号に変換するもので、増幅回路５３はセンサ
５２からの出力信号を適当なレベルまで増幅するもので
ある。

【０００３】図８の（ｂ）はセンサ５２の出力に対する
検出部５１としての出力すなわち増幅回路５３の出力の
関係の例を示した図であり、図示のように両出力は正比
例の関係にある。

【０００４】データ処理部５４は、直流電源５５からの
電源を電源線を介して検出部５１に供給するとともに、
検出部５１からの電気信号を信号線を介して入力し表示
や記録などの処理を行なうものである。検出部５１とデ
ータ処理部５４とを接続する送電線路には、直流電源５
５から検出部５１に電源を供給するための電源線と、検
出部５１から出力される信号をデータ処理部５４に伝送
するための信号線とがある。そしてこれら送電線路の本
数の違いにより、電源線が２本および信号線が２本から
なる４線式や、図８の（ａ）に示すような電源線が２本
と信号線のプラス側が１本とからなり、前記電源線のマ
イナス側と信号線のマイナス側とを共通とした３線式等
が用いられている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、検出
部５１とデータ処理部５４との間には最低３本の電線が
必要であり、多数の検出部を使用して計測する場合には
それに応じて電線数が多くなるため、それら電線が占め
る重量・径が多大なものとなる。これに対して、システ
ムの小型および軽量化のために電線数を減らしたいとの
要求があり、これを実現するには複数の検出部を並列に
接続しなければならないが、従来の構成からなる検出部
を並列に接続することは配線構成上、極めて困難であ
る。このように従来のセンサ装置では検出部の数に応じ
た電線数が必要であり、複数の検出部を使用する場合に
は電線数が極めて多くなるため装置の小型・軽量化、コ
スト低減などの妨げになるとともに、これら電線の占め
る重量が大きくなり、電線移動などの作業性が悪いとい
う欠点があった。

【０００６】本発明の目的は、伝送線路の電線数を削減
でき、複数の検出部を使用するシステムの小型、軽量化
を実現できるとともに、信号の精度向上が可能となるセ
ンサ装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、本発明のセンサ装置は以下の如く構成
されている。 （１）本発明のセンサ装置は、各種の物理量を検出し電
気信号に変換して出力する検出手段と、この検出手段か
ら、出力信号をシリアルのディジタル信号に変換するシ
リアル出力型Ａ−Ｄ変換手段と、この変換手段で変換さ
れた信号に応じて電源線に流れる電流を変化させる電圧
−電流変換手段とからなる検出部を備えている。 （２）本発明のセンサ装置は、電流線に流れる電流信号
を電圧信号に変換する電流−電圧変換手段と、この電流
−電圧変換手段にて変換された電圧信号をアナログ信号
に変換するシリアル入力型のＤ−Ａ変換手段とからなる
データ処理部を備えている。 （３）本発明のセンサ装置は、電流線に流れる電流信号
を電圧信号に変換する電流−電圧変換手段と、この電流
−電圧変換手段にて変換された電圧信号をアナログ信号
に変換するシリアル入力型のシリアル−パラレル変換手
段とからなるデータ処理部を備えている。 （４）本発明のセンサ装置は、上記（１）に記載の装置
であって、かつ上記検出部の内部にアドレス判定手段を
設け、このアドレス判定手段の判定結果に基づいて上記
電源線に流れる電流を制御することにより、複数の検出
部を並列接続可能としている。 （５）本発明のセンサ装置は、上記（４）に記載の装置
であって、かつ複数の検出部の中から一つの検出部を指
定するためのアドレス信号を出力させるマイクロプロセ
ッサを備え、上記アドレス信号を検出部へ供給するデー
タ処理部を備えている。 （６）本発明のセンサ装置は、上記（５）に記載の装置
であって、かつ上記データ処理部から出力されるアドレ
ス信号を検出するアドレス検出器と、自らのアドレスを
設定するアドレス設定器とを備え、前記アドレス検出器
で検出されたアドレス信号と前記アドレス設定器で設定
されたアドレス信号とを比較し、両アドレスが一致した
とき、検出信号を電源線に出力する検出部を備えてい
る。

【０００８】

【作用】上記手段（１）（２）を講じた結果、次のよう
な作用が生じる。電源線と信号線を共用できるので、２
本の電線で検出部とデータ処理部との間の信号伝送が可
能となるため、電線の占める重量・径が小さくなり、シ
ステムの小型・軽量化、コスト低減が可能となり、また
電線移動などの作業性が改善がされる。また、検出部内
でディジタル信号に変換するため、電線の線路抵抗によ
る電圧降下やノイズの影響を受けにくくなり、信号の精
度向上を実現することが可能となる。

【０００９】上記手段（３）を講じた結果、次のような
作用が生じる。シリアル−パラレル変換手段を用いたの
で、ディジタル信号を得ることができ、これによりディ
ジタル信号処理が可能となる。

【００１０】上記手段（４）〜（６）を講じた結果、次
のような作用が生じる。データ処理部から指定された以
外の検出部は伝送線路に信号を出力せず、回路を動作さ
せるための電流だけになるので、複数の検出部を並列に
接続できるため、検出部を複数適用しても検出部とデー
タ処理部との間の電線数が２本で済み、システムの小型
・軽量化を実現できる。また、伝送線路にはデータ処理
部から指定された検出部からの信号しか存在しないの
で、複数の検出部を並列に接続しても伝送線路上にて信
号が混在することがなくなる。

【００１１】

【実施例】

（第１実施例）図１は本発明の第１実施例に係るセンサ
装置の構成を示す図である。図１に示すセンサ装置は検
出部１およびデータ処理部２からなり、検出部１とデー
タ処理２との間では２本の伝送線路を用いて信号伝送を
行なう。

【００１２】検出部１は、センサ１１、増幅回路１２、
シリアル出力型のＡ−Ｄ変換回路１３、電圧−電流変換
機能を有する電流制御回路１４により構成されている。
検出手段としてのセンサ１１は例えば温度・湿度・圧力
などの物理量を検出して電気信号に変換するものであ
り、その電気信号は増幅回路１２により適当なレベルま
で増幅される。増幅回路１２から出力されるアナログ信
号は、Ａ−Ｄ変換器１３でシリアルのディジタル信号に
変換され、電流制御回路１４に入力する。電流制御回路
１４では、上記変換信号に応じて伝送線路（電源線）Ｌ
１、Ｌ２に流れる電流を変化させる。

【００１３】またデータ処理部２は、検出部１に電源線
Ｌ１、Ｌ２を介して電流を供給するとともに、検出部１
からの電気信号を入力し、必要な処理を行ない表示や記
録などを行なうものである。データ処理部２は、検出部
１に電源を供給するための直流電源２２、伝送線路から
の電流信号を電圧信号に変換する電流−電圧変換回路２
１、シリアルのディジタル信号をアナログ信号に変換す
るシリアル入力型のＤ−Ａ変換回路２３で構成されてい
る。

【００１４】図２は、電流制御回路１４の回路構成を示
す図であり、演算増幅器１４１、抵抗１４２および１４
３、トランジスタ１４４、フィードバック抵抗１４５で
構成されている。電流制御回路１４は、検出部１のＡ−
Ｄ変換回路１３の出力信号がＬレベルの場合は検出部１
の内部の回路を動作させるための電流すなわちオフセッ
ト電流のみを流し、Ａ−Ｄ変換回路１３の出力信号がＨ
レベルの場合は所定の比較レベル以上の電流を流すもの
である。例えば、一般的に用いられる４−２０ｍＡ電流
のように、Ａ−Ｄ変換回路１３の出力信号がＬレベルの
場合のオフセット電流を４ｍＡにし、Ａ−Ｄ変換回路１
３の出力信号がＨレベルの場合に２０ｍＡを流すように
している。

【００１５】図３の（ａ）は、電流−電圧変換回路２１
の回路構成を示す図であり、抵抗器２１１、比較器２１
２、基準電圧源２１３の組合せにより構成されている。
電流−電圧変換回路２１は、伝送線路に流れる電流信号
を抵抗器２１１により電圧信号に変換し、これと基準電
圧源２１３の電圧とを比較器２１２で比較することによ
り、検出部１のＡ−Ｄ変換回路１３の出力と同じ波形の
信号を再生するものである。

【００１６】図３の（ｂ）は、Ａ−Ｄ変換回路１３と電
流−電圧変換回路２１とで出力される信号の波形の一例
を示している。電流−電圧変換回路２１において電流−
電圧変換を行なう場合、基準電圧源２１３により図３の
（ｂ）に示す如き比較レベルを設ける。このとき前記比
較レベル以下を信号ＯＦＦ、前記比較レベル以上を信号
ＯＮとすると、検出部１の内部の回路による不安定さや
ノイズに対して余裕ができる。電流−電圧変換回路２１
の出力は、Ｄ−Ａ変換回路２３にてアナログ信号に変換
され検出部１の増幅回路１２の出力と同じアナログ信号
が再生される。

【００１７】このように第１実施例では、検出部１のセ
ンサ１１で得られる信号を検出部１内でディジタル信号
に変換し、電源線Ｌ１、Ｌ２に流れる電流をディジタル
信号のＯＮ／ＯＦＦ状態に応じて変化させ、データ処理
部２では電源線Ｌ１、Ｌ２に流れる電流の変化を電圧信
号に変換し、検出部１のディジタル信号と同じ信号を復
元することにより、２本の電線で電源線と信号線の機能
を共用させている。なお、上記Ｄ−Ａ変換回路２３の代
わりにシリアル−パラレル変換回路を用いるとディジタ
ル信号が得られ、これによりディジタル信号処理が可能
となる。

【００１８】（第２実施例）図４および図５は、本発明
の第２実施例に係るセンサ装置の構成を示す図である。
本実施例のセンサ装置は、検出部３およびデータ処理部
４からなる。なおデータ処理部４には、検出部３以外に
も検出部３と同様の構成をなす図示しない複数の検出部
が接続されている。

【００１９】図４は検出部３の回路構成を示す図であ
り、この検出部３は端子Ｔ１、Ｔ２を介して、図５に示
すデータ処理部４と接続されている。検出部３はセンサ
３１、増幅部３２、Ａ−Ｄ変換部３３、マイクロプロセ
ッサ３４、電流制御回路３５（アドレス検出回路３６を
含んでいる）より構成されている。センサ３１、増幅部
３２およびＡ−Ｄ変換器３３は上記第１実施例に示した
１１、１２、１３と同様の機能を有するものであり、セ
ンサ３１から出力された電気信号は増幅部３２にて増幅
され、そのアナログ信号がＡ−Ｄ変換器３３にてシリア
ルのディジタル信号に変換され、マイクロプロセッサ３
４に入力される。

【００２０】図５はデータ処理部４の回路構成を示す図
であり、このデータ処理部４は端子Ｔ１、Ｔ２を介し
て、図４に示す検出部３に接続されている。データ処理
部４はトランジスタ４１、電流−電圧変換回路４２、Ｓ
−Ｐ（シリアル−パラレル）変換回路４３、マイクロプ
ロセッサ４４、直流電源４５により構成されている。電
流−電圧変換回路４２は直流電源４５を介して流れる伝
送線路の電流信号を電圧信号に変換する。Ｓ−Ｐ変換回
路４３はシリアルのディジタル信号をアナログ信号に変
換する。マイクロプロセッサ４４は複数の検出部のいず
れか一つを指定するためにアドレス信号をトランジスタ
４１に出力したり、検出部３から信号を入力するための
制御を行なう。電流−電圧変換回路４２と並列に接続さ
れるトランジスタ４１は、マイクロプロセッサ４４から
のアドレス信号に対応して伝送線路に流れる電流を変化
させるものである。

【００２１】図６は、図４に示した検出部３における電
流制御回路３５およびアドレス検出回路３６の回路構成
を示す図である。アドレス検出回路３６は、図６に示す
ように抵抗器３６１、アドレス検出器３６２、アドレス
設定器３６３で構成されている。このアドレス検出回路
３６は、伝送線路に流れる電流から検出されるデータ処
理部４からのアドレス信号とアドレス設定器３６３のア
ドレスとを比較する。そして、一致していれば検出部３
内のマイクロプロセッサ３４にＨレベルのアドレス検出
信号３５５を出力し、一致していなければＬレベルの信
号を出力する。マイクロプロセッサ３４はアドレス検出
回路３６からのアドレス検出信号３５５を入力し、アド
レスが一致していればＡ−Ｄ変換データを電流制御回路
３５に供給し、一致していなければＡ−Ｄ変換データの
供給を行なわない。

【００２２】電流制御回路３５は、図６に示すように上
記第１実施例の電流制御回路１４と同様、演算増幅器３
５１、抵抗３５２および３５３、トランジスタ３５４、
フィードバック抵抗３５６で構成されている。この電流
制御回路３５は、マイクロプロセッサ３４の出力信号が
Ｌレベルの場合には、検出部３内部の回路を動作させる
ための電流すなわちオフセット電流のみを流し、マイク
ロプロセッサ３４の出力信号がＨレベルの場合には比較
レベル以上の電流を流すものである。

【００２３】次に、以上のように構成された第２実施例
に係るセンサ装置の検出部３とデータ処理部４との間の
データ伝送手順を図７に基づき説明する。データ処理部
４のマイクロプロセッサ４４からアドレス信号が送信さ
れる（Ｓ１）。検出部３のアドレス検出回路３６がその
アドレス信号を受信したことを確認する（Ｓ２）。検出
部３のマイクロプロセッサ３４はアドレス検出回路３６
からのアドレス検出信号を入力し、アドレスの比較判定
を行なう（Ｓ３）。そして一致していれば（Ｓ４）、Ａ
−Ｄ変換器３３のデータをデータ処理部４に送信する
（Ｓ５）。一致していなければデータの送信は行なわな
い。検出部３から送信されたデータはデータ処理部４に
て受信される（Ｓ６）。

【００２４】かくして、データ処理部４に複数の検出部
３を接続したとしても、伝送線路にはデータ処理部４か
ら指定された検出部３にのみ信号が出力されるため、複
数の検出部３の出力信号が混在することはない。

【００２５】（実施例のまとめ）実施例に示された構成
および作用効果をまとめると次の通りである。 ［１］実施例に示されたセンサ装置は、各種の物理量を
検出し電気信号に変換して出力する検出手段１１と、こ
の検出手段１１から、出力信号をシリアルのディジタル
信号に変換するシリアル出力型Ａ−Ｄ変換手段１３と、
この変換手段１３で変換された信号に応じて電源線Ｌ
１、Ｌ２に流れる電流を変化させる電圧−電流変換手段
１４とからなる検出部１を備えている。

【００２６】したがって上記センサ装置においては、電
源線と信号線を共用できるので、２本の電線で信号伝送
が可能となるため、電線の占める重量・径が小さくな
り、システムの小型および軽量化、コスト低減が可能と
なり、また電線移動などの作業性が改善がされる。ま
た、検出部１内でディジタル信号に変換するため、電線
の線路抵抗による電圧降下やノイズの影響を受けにくく
なり、信号の精度向上を実現することが可能となる。 ［２］実施例に示されたセンサ装置は、電流線に流れる
電流信号を電圧信号に変換する電流−電圧変換手段２１
と、この電流−電圧変換手段２１にて変換された電圧信
号をアナログ信号に変換するシリアル入力型のＤ−Ａ変
換手段２３とからなるデータ処理部２を備えている。

【００２７】したがって上記センサ装置においては、電
源線と信号線を共用できるので、２本の電線で信号伝送
が可能となるため、電線の占める重量・径が小さくな
り、システムの小型および軽量化、コスト低減が可能と
なり、また電線移動などの作業性が改善がされる。 ［３］実施例に示されたセンサ装置は、電流線に流れる
電流信号を電圧信号に変換する電流−電圧変換手段２１
と、この電流−電圧変換手段２１にて変換された電圧信
号をアナログ信号に変換するシリアル入力型のシリアル
−パラレル変換手段とからなるデータ処理部２を備えて
いる。

【００２８】したがって上記センサ装置においては、シ
リアル−パラレル変換手段を用いたので、ディジタル信
号を得ることができ、これによりディジタル信号処理が
可能となる。 ［４］実施例に示されたセンサ装置は、上記［１］に記
載の装置であって、かつ検出部３の内部にアドレス判定
手段３６を設け、このアドレス判定手段３６の判定結果
に基づいて電源線に流れる電流を制御することにより、
複数の検出部３を並列接続可能としている。

【００２９】したがって上記センサ装置においては、ア
ドレス判定手段３６の判定結果に係わらない検出部３は
伝送線路に信号を出力せず、回路を動作させるための電
流だけになるので、複数の検出部３を並列に接続できる
ため、検出部３を複数適用しても電線数が２本で済み、
システムの小型および軽量化を実現できる。 ［５］実施例に示されたセンサ装置は、上記［４］に記
載の装置であって、かつ複数の検出部３の中から一つの
検出部３を指定するためのアドレス信号を出力させるマ
イクロプロセッサ４４を備え、上記アドレス信号を検出
部３へ供給するデータ処理部４を備えている。

【００３０】したがって上記センサ装置においては、デ
ータ処理部４から指定された以外の検出部３は伝送線路
に信号を出力せず、回路を動作させるための電流だけに
なるので、複数の検出部３を並列に接続でき、その結
果、検出部３を複数適用しても検出部３とデータ処理部
４との間の電線数が２本で済み、システムの小型・軽量
化を実現できる。また、伝送線路にはデータ処理部４か
ら指定された検出部３からの信号しか存在しないので、
複数の検出部３を並列に接続しても伝送線路上にて信号
が混在することがなくなる。 ［６］実施例に示されたセンサ装置は、上記［５］に記
載の装置であって、かつ上記データ処理部４から出力さ
れるアドレス信号を検出するアドレス検出器３６２と、
自らのアドレスを設定するアドレス設定器３６３とを備
え、前記アドレス検出器３６２で検出されたアドレス信
号と前記アドレス設定器３６３で設定されたアドレス信
号とを比較し、両アドレスが一致したとき、検出信号を
電源線に出力する検出部３を備えている。

【００３１】したがって上記センサ装置においては、デ
ータ処理部４から指定された以外の検出部３は伝送線路
に信号を出力せず、回路を動作させるための電流だけに
なるので、複数の検出部３を並列に接続できるため、検
出部３を複数適用しても検出部３とデータ処理部４との
間の電線数が２本で済み、システムの小型・軽量化を実
現できる。また、伝送線路にはデータ処理部４から指定
された検出部３からの信号しか存在しないので、複数の
検出部３を並列に接続しても伝送線路上にて信号が混在
することがなくなる。さらにアドレス設定器３６３によ
って所望のアドレスを設定することができるため、使用
上の自由度が大きく、かつ製造も簡素化する。

【００３２】

【発明の効果】本発明によれば、伝送線路の電線数を削
減でき、複数の検出部を使用するシステムの小型、軽量
化を実現できるとともに、信号の精度向上が可能となる
センサ装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係るセンサ装置の構成を
示す図。

【図２】本発明の第１実施例に係る電流制御回路の回路
構成を示す図。

【図３】本発明の第１実施例に係る図であり、（ａ）は
電流−電圧変換回路の回路構成を示す図、（ｂ）はＡ−
Ｄ変換回路と電流−電圧変換回路とで出力される信号の
波形の一例を示す図。

【図４】本発明の第２実施例に係る検出部の回路構成を
示す図。

【図５】本発明の第２実施例に係るデータ処理部の回路
構成を示す図。

【図６】本発明の第２実施例に係る検出部における電流
制御回路およびアドレス検出回路の回路構成を示す図。

【図７】本発明の第２実施例に係るセンサ装置の検出部
とデータ処理部との間のデータ伝送手順を示す図。

【図８】従来のセンサ装置に係る図であり、（ａ）は検
出部とデータ処理部との間の信号伝送の例を示した図、
（ｂ）はセンサの出力に対する検出部の出力の関係を示
した図。

【符号の説明】

１…検出部 １１…センサ １２…増幅回路 １３…Ａ−Ｄ変換
回路 １４…電流制御回路 ２…データ処理
部 ２１…電流−電圧変換回路 ２２…直流電源 ２３…Ｄ−Ａ変換回路 Ｌ１…伝送線路
（電源線） Ｌ２…伝送線路（電源線） １４１…演算増幅器 １４２…抵抗 １４３…抵抗 １４４…トランジスタ １４５…フィード
バック抵抗 ２１１…抵抗器 ２１２…比較器 ２１３…基準電圧源 ３…検出部 ３１…センサ ３２…増幅部 ３３…Ａ−Ｄ変換器 ３４…マイクロプ
ロセッサ ３５…電流制御回路 ３６…アドレス検
出回路 ４…データ処理部 ４１…トランジスタ ４２…電流−電圧変換回路 ４３…Ｓ−Ｐ変換
回路 ４４…マイクロプロセッサ ４５…直流電源 ３５１…演算増幅器 ３５２…抵抗 ３５３…抵抗 ３５４…トランジ
スタ ３５５…アドレス検出信号 ３５６…フィード
バック抵抗 ３６１…抵抗器 ３６２…アドレス
検出器 ３６３…アドレス設定器

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】各種の物理量を検出し電気信号に変換して
   出力する検出手段と、 この検出手段から、出力信号をシリアルのディジタル信
   号に変換するシリアル出力型Ａ−Ｄ変換手段と、 この変換手段で変換された信号に応じて電源線に流れる
   電流を変化させる電圧−電流変換手段と、 からなる検出部を備えたことを特徴とするセンサ装置。
2. 【請求項２】電流線に流れる電流信号を電圧信号に変換
   する電流−電圧変換手段と、 この電流−電圧変換手段にて変換された電圧信号をアナ
   ログ信号に変換するシリアル入力型のＤ−Ａ変換手段
   と、 からなるデータ処理部を備えたことを特徴とするセンサ
   装置。
3. 【請求項３】電流線に流れる電流信号を電圧信号に変換
   する電流−電圧変換手段と、 この電流−電圧変換手段にて変換された電圧信号をアナ
   ログ信号に変換するシリアル入力型のシリアル−パラレ
   ル変換手段と、 からなるデータ処理部を備えたことを特徴とするセンサ
   装置。
4. 【請求項４】検出部の内部にアドレス判定手段を設け、
   このアドレス判定手段の判定結果に基づいて上記電源線
   に流れる電流を制御することにより、複数の検出部を並
   列接続可能としたことを特徴とする請求項１に記載のセ
   ンサ装置。
5. 【請求項５】複数の検出部の中から一つの検出部を指定
   するためのアドレス信号を出力させるマイクロプロセッ
   サを備え、上記アドレス信号を検出部へ供給するデータ
   処理部を備えたことを特徴とする請求項４に記載のセン
   サ装置。
6. 【請求項６】データ処理部から出力されるアドレス信号
   を検出するアドレス検出器と、自らのアドレスを設定す
   るアドレス設定器とを備え、前記アドレス検出器で検出
   されたアドレス信号と前記アドレス設定器で設定された
   アドレス信号とを比較し、両アドレスが一致したとき、
   検出信号を電源線に出力する検出部を備えたことを特徴
   とする請求項５に記載のセンサ装置。