JPH08211099A - 電気信号測定用の電極保持器及び電気信号測定用の電極ユニットならびにこれらの製法 - Google Patents
電気信号測定用の電極保持器及び電気信号測定用の電極ユニットならびにこれらの製法Info
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- JPH08211099A JPH08211099A JP3616795A JP3616795A JPH08211099A JP H08211099 A JPH08211099 A JP H08211099A JP 3616795 A JP3616795 A JP 3616795A JP 3616795 A JP3616795 A JP 3616795A JP H08211099 A JPH08211099 A JP H08211099A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 破損や変形などを生じない電気信号測定用の
電極保持器及び電極ユニットならびに容易に短時間、か
つ安価に多品種少量生産に対応できる製法を提供する。 【構成】 プリント配線板用の補強基材である不織布や
織布に樹脂を含浸し、硬化させた絶縁体３が所定の間隔
で絶縁性の支持体６１に接合されている電気信号測定用
の電極保持器７１及び絶縁体３に沿ってコンタクトピン
が装着された電極ユニット。また、（ａ）プリント配線
板用の補強基材である不織布や織布に樹脂を含浸したプ
リプレグもしくはプリプレグを硬化させた絶縁層と、金
属板とを交互に積層接着した後、積層方向に沿って切断
もしくは切削加工して薄板状の積層体を得るステップ、
（ｂ）該薄板状の積層体を絶縁性の支持体６１に接合し
た後、エッチング処理により該金属板を溶解除去し、所
定の間隔の絶縁体３を形成するステップに基づくことを
特徴とする電気信号測定用の電極保持器７１の製法。
電極保持器及び電極ユニットならびに容易に短時間、か
つ安価に多品種少量生産に対応できる製法を提供する。 【構成】 プリント配線板用の補強基材である不織布や
織布に樹脂を含浸し、硬化させた絶縁体３が所定の間隔
で絶縁性の支持体６１に接合されている電気信号測定用
の電極保持器７１及び絶縁体３に沿ってコンタクトピン
が装着された電極ユニット。また、（ａ）プリント配線
板用の補強基材である不織布や織布に樹脂を含浸したプ
リプレグもしくはプリプレグを硬化させた絶縁層と、金
属板とを交互に積層接着した後、積層方向に沿って切断
もしくは切削加工して薄板状の積層体を得るステップ、
（ｂ）該薄板状の積層体を絶縁性の支持体６１に接合し
た後、エッチング処理により該金属板を溶解除去し、所
定の間隔の絶縁体３を形成するステップに基づくことを
特徴とする電気信号測定用の電極保持器７１の製法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体、ソケット、コネ
クタ−等の電子部品の電極から電気信号を測定するため
に用いる電極保持器、電極ユニット、及びこれらの製法
に関するものである。
クタ−等の電子部品の電極から電気信号を測定するため
に用いる電極保持器、電極ユニット、及びこれらの製法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、図１６に示されるように半導
体のリ−ド、ソケットなどの電子部品の電極から電気信
号を測定するために用いられる電極ユニット（８９）に
は射出成形、または切削加工で製造したプラスチック製
の電極保持具（７９）にベリリウム銅やリン青銅などの
材質の板バネやニ−ドルなどのコンタクトピン（９２）
を接合したものが知られており、一般に隣合う電極のシ
ョ−トを防ぐために電極保持具（７９）に凹部を形成
し、この凹部にコンタクトピン（９２）を接合してい
る。例えば、ＱＦＰ（Ｑｕａｄ Ｆｌａｔ Ｐａｃｋａ
ｇｅ）型半導体から電気信号を計測する場合には電極保
持具の四辺にコンタクトピンを接合した電極ユニットを
使用し、半導体のリ−ドにコンタクトピンを接触させて
導通をとり電気信号を測定するものとなっている。
体のリ−ド、ソケットなどの電子部品の電極から電気信
号を測定するために用いられる電極ユニット（８９）に
は射出成形、または切削加工で製造したプラスチック製
の電極保持具（７９）にベリリウム銅やリン青銅などの
材質の板バネやニ−ドルなどのコンタクトピン（９２）
を接合したものが知られており、一般に隣合う電極のシ
ョ−トを防ぐために電極保持具（７９）に凹部を形成
し、この凹部にコンタクトピン（９２）を接合してい
る。例えば、ＱＦＰ（Ｑｕａｄ Ｆｌａｔ Ｐａｃｋａ
ｇｅ）型半導体から電気信号を計測する場合には電極保
持具の四辺にコンタクトピンを接合した電極ユニットを
使用し、半導体のリ−ドにコンタクトピンを接触させて
導通をとり電気信号を測定するものとなっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
従来技術による電極保持具や電極ユニットには次の様な
欠点を有していた。電極保持具の凸部は外力により変
形しやすく、特に０．５ｍｍピッチ以下のファインピッ
チの電極ユニットの場合、凸部の幅が細くなり、変形を
生じたり破損しやすくなり、その結果コンタクトピン同
士がショ−トしたり、被測定電極（半導体リ−ドやソケ
ットの電極など）に正確に接触できず、正確な電気信号
の測定ができないという問題があった。
従来技術による電極保持具や電極ユニットには次の様な
欠点を有していた。電極保持具の凸部は外力により変
形しやすく、特に０．５ｍｍピッチ以下のファインピッ
チの電極ユニットの場合、凸部の幅が細くなり、変形を
生じたり破損しやすくなり、その結果コンタクトピン同
士がショ−トしたり、被測定電極（半導体リ−ドやソケ
ットの電極など）に正確に接触できず、正確な電気信号
の測定ができないという問題があった。
【０００４】また、射出成形の技術で電極保持具を製
造する場合、被測定電極のピッチや電極数の違いにより
金型や治具などをその都度製作しなければならないため
製造日数も２〜３か月要し、コスト高になるばかりか多
品種少量生産が困難なものとなっていた。
造する場合、被測定電極のピッチや電極数の違いにより
金型や治具などをその都度製作しなければならないため
製造日数も２〜３か月要し、コスト高になるばかりか多
品種少量生産が困難なものとなっていた。
【０００５】更に、電極ピッチが０．３ｍｍ以下のフ
ァインピッチの場合、電極保持具の凸部の間隔が０．１
５ｍｍ以下となり射出成形の技術では樹脂の流れ性によ
り凸部の形成が困難であり、また、切削加工による技術
ではコンタクトピンが接合される凹部の幅が０．１５ｍ
ｍ程度となり切削が困難であった。すなわち射出成形、
切削加工いづれの技術をもってしても適切な電極保持具
が得られないという製造上の問題があり、そのためファ
インピッチの電極ユニットを得ることができなかった。
ァインピッチの場合、電極保持具の凸部の間隔が０．１
５ｍｍ以下となり射出成形の技術では樹脂の流れ性によ
り凸部の形成が困難であり、また、切削加工による技術
ではコンタクトピンが接合される凹部の幅が０．１５ｍ
ｍ程度となり切削が困難であった。すなわち射出成形、
切削加工いづれの技術をもってしても適切な電極保持具
が得られないという製造上の問題があり、そのためファ
インピッチの電極ユニットを得ることができなかった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明はかかる状況に鑑
み検討されたもので、プリント配線板用の補強基材であ
る不織布や織布に樹脂を含浸し、硬化させた絶縁体が所
定の間隔で絶縁性の支持体に接合されている電気信号測
定用の電極保持器、
み検討されたもので、プリント配線板用の補強基材であ
る不織布や織布に樹脂を含浸し、硬化させた絶縁体が所
定の間隔で絶縁性の支持体に接合されている電気信号測
定用の電極保持器、
【０００７】また、プリント配線板用の補強基材である
不織布や織布に樹脂を含浸し、硬化させた絶縁体が所定
の間隔で絶縁性の支持体に少なくとも一対、相対向して
接合されている電気信号測定用の電極保持器、
不織布や織布に樹脂を含浸し、硬化させた絶縁体が所定
の間隔で絶縁性の支持体に少なくとも一対、相対向して
接合されている電気信号測定用の電極保持器、
【０００８】更に、プリント配線板用の補強基材である
不織布や織布に樹脂を含浸し、硬化させた絶縁体が所定
の間隔で絶縁性の支持体に接合されるとともに絶縁体に
沿ってコンタクトピンが装着されている電気信号測定用
の電極ユニット、
不織布や織布に樹脂を含浸し、硬化させた絶縁体が所定
の間隔で絶縁性の支持体に接合されるとともに絶縁体に
沿ってコンタクトピンが装着されている電気信号測定用
の電極ユニット、
【０００９】更にまた、プリント配線板用の補強基材で
ある不織布や織布に樹脂を含浸し、硬化させた絶縁体が
所定の間隔で絶縁性の支持体に少なくとも一対、相対向
して接合されるとともに絶縁体に沿ってコンタクトピン
が装着されている電気信号測定用の電極ユニットとする
ことにより前記課題のを解決することができる。
ある不織布や織布に樹脂を含浸し、硬化させた絶縁体が
所定の間隔で絶縁性の支持体に少なくとも一対、相対向
して接合されるとともに絶縁体に沿ってコンタクトピン
が装着されている電気信号測定用の電極ユニットとする
ことにより前記課題のを解決することができる。
【００１０】さらに前記の課題、すなわち製造上の
課題については、次の（ａ）、（ｂ）のステップに基づ
くこと、（ａ）プリント配線板用の補強基材である不織
布や織布に樹脂を含浸したプリプレグもしくはプリプレ
グを硬化させた絶縁層と、金属板とを交互に積層接着し
た後、積層方向に沿って薄板状の積層体に切断もしくは
切削加工するステップ、（ｂ）該薄板状の積層体を絶縁
性の支持体に接合した後、エッチング処理により該金属
板を溶解除去し、所定の間隔の絶縁体を形成するステッ
プ、
課題については、次の（ａ）、（ｂ）のステップに基づ
くこと、（ａ）プリント配線板用の補強基材である不織
布や織布に樹脂を含浸したプリプレグもしくはプリプレ
グを硬化させた絶縁層と、金属板とを交互に積層接着し
た後、積層方向に沿って薄板状の積層体に切断もしくは
切削加工するステップ、（ｂ）該薄板状の積層体を絶縁
性の支持体に接合した後、エッチング処理により該金属
板を溶解除去し、所定の間隔の絶縁体を形成するステッ
プ、
【００１１】また、次の（ｃ）、（ｄ）のステップに基
づくこと、（ｃ）プリント配線板用の補強基材である不
織布や織布に樹脂を含浸したプリプレグもしくはプリプ
レグを硬化させた絶縁層と、金属板とを交互に積層接着
した後、積層方向に沿って薄板状の積層体に切断もしく
は切削加工するステップ、（ｄ）該薄板状の積層体を少
なくとも一対、相対向して絶縁性の支持体に接合した
後、エッチング処理により該金属板を溶解除去し、所定
の間隔の絶縁体を形成するステップ、
づくこと、（ｃ）プリント配線板用の補強基材である不
織布や織布に樹脂を含浸したプリプレグもしくはプリプ
レグを硬化させた絶縁層と、金属板とを交互に積層接着
した後、積層方向に沿って薄板状の積層体に切断もしく
は切削加工するステップ、（ｄ）該薄板状の積層体を少
なくとも一対、相対向して絶縁性の支持体に接合した
後、エッチング処理により該金属板を溶解除去し、所定
の間隔の絶縁体を形成するステップ、
【００１２】更に、次の（ｅ）、（ｆ）、（ｇ）のステ
ップに基づくこと、（ｅ）プリント配線板用の補強基材
である不織布や織布に樹脂を含浸したプリプレグもしく
はプリプレグを硬化させた絶縁層と、金属板とを交互に
積層接着した後、積層方向に沿って薄板状の積層体に切
断もしくは切削加工するステップ、（ｆ）該薄板状の積
層体を絶縁性の支持体に接合した後、エッチング処理に
より該金属板を溶解除去し、所定の間隔の絶縁体を形成
するステップ、（ｇ）該絶縁体に沿ってコンタクトピン
を装着するステップ、
ップに基づくこと、（ｅ）プリント配線板用の補強基材
である不織布や織布に樹脂を含浸したプリプレグもしく
はプリプレグを硬化させた絶縁層と、金属板とを交互に
積層接着した後、積層方向に沿って薄板状の積層体に切
断もしくは切削加工するステップ、（ｆ）該薄板状の積
層体を絶縁性の支持体に接合した後、エッチング処理に
より該金属板を溶解除去し、所定の間隔の絶縁体を形成
するステップ、（ｇ）該絶縁体に沿ってコンタクトピン
を装着するステップ、
【００１３】更にまた、次の（ｈ）、（ｉ）、（ｊ）の
ステップに基づくこと、（ｈ）プリント配線板用の補強
基材である不織布や織布に樹脂を含浸したプリプレグも
しくはプリプレグを硬化させた絶縁層と、金属板とを交
互に積層接着した後、積層方向に沿って薄板状の積層体
に切断もしくは切削加工するステップ、（ｉ）該薄板状
の積層体を少なくとも一対、相対向して絶縁性の支持体
に接合した後、エッチング処理により該金属板を溶解除
去し、所定の間隔の絶縁体を形成するステップ、（ｊ）
該絶縁体に沿ってコンタクトピンを装着するステップ、
により解決することができる。以下本発明について詳細
に説明する。
ステップに基づくこと、（ｈ）プリント配線板用の補強
基材である不織布や織布に樹脂を含浸したプリプレグも
しくはプリプレグを硬化させた絶縁層と、金属板とを交
互に積層接着した後、積層方向に沿って薄板状の積層体
に切断もしくは切削加工するステップ、（ｉ）該薄板状
の積層体を少なくとも一対、相対向して絶縁性の支持体
に接合した後、エッチング処理により該金属板を溶解除
去し、所定の間隔の絶縁体を形成するステップ、（ｊ）
該絶縁体に沿ってコンタクトピンを装着するステップ、
により解決することができる。以下本発明について詳細
に説明する。
【００１４】本発明の電気信号測定用の電極保持器の所
定間隔の絶縁体はプリント配線板用の補強基材として用
いられる紙、ガラスペ−パ−、アラミド繊維などの不織
布や、ガラスクロスの如き織布にエポキシ樹脂、不飽和
ポリエステル樹脂等の熱硬化性樹脂やポリイミド樹脂、
ビスマレイミドトリアジン等の耐熱性樹脂を含浸したプ
リプレグを硬化させたものが適用できる。
定間隔の絶縁体はプリント配線板用の補強基材として用
いられる紙、ガラスペ−パ−、アラミド繊維などの不織
布や、ガラスクロスの如き織布にエポキシ樹脂、不飽和
ポリエステル樹脂等の熱硬化性樹脂やポリイミド樹脂、
ビスマレイミドトリアジン等の耐熱性樹脂を含浸したプ
リプレグを硬化させたものが適用できる。
【００１５】製法的にはプリプレグもしくはプリプレグ
を硬化させた絶縁層と、金属板とを所定のピッチで交互
に積層接着した後、被測定物の形状に応じて積層方向に
沿ってＬ字形やＩ字形に切断もしくは切削加工して薄板
状の積層体を得、次いでこの薄板状の積層体を絶縁性の
支持体に接合し、しかる後エッチング処理することによ
り金属板を溶解除去し、所定の間隔の絶縁体を形成する
ことによって得られ、更に電気信号測定用の電極ユニッ
トは絶縁体に沿ってコンタクトピンを装着することによ
って得られる。
を硬化させた絶縁層と、金属板とを所定のピッチで交互
に積層接着した後、被測定物の形状に応じて積層方向に
沿ってＬ字形やＩ字形に切断もしくは切削加工して薄板
状の積層体を得、次いでこの薄板状の積層体を絶縁性の
支持体に接合し、しかる後エッチング処理することによ
り金属板を溶解除去し、所定の間隔の絶縁体を形成する
ことによって得られ、更に電気信号測定用の電極ユニッ
トは絶縁体に沿ってコンタクトピンを装着することによ
って得られる。
【００１６】プリプレグもしくはプリプレグを硬化させ
た絶縁層は１枚もしくは複数枚使用され、金属板ともに
積層接着され多層積層体となるが、基材としてはとりわ
けフレキシブルで強度的にも優れるガラスクロスを用
い、樹脂としては耐熱性に優れるエポキシ樹脂を選択す
るのが好ましく、被測定電極のピッチや電極幅に応じて
絶縁層の厚みは基材の種類、樹脂含浸率、成形用プリプ
レグの使用枚数などにより適宜調整される。
た絶縁層は１枚もしくは複数枚使用され、金属板ともに
積層接着され多層積層体となるが、基材としてはとりわ
けフレキシブルで強度的にも優れるガラスクロスを用
い、樹脂としては耐熱性に優れるエポキシ樹脂を選択す
るのが好ましく、被測定電極のピッチや電極幅に応じて
絶縁層の厚みは基材の種類、樹脂含浸率、成形用プリプ
レグの使用枚数などにより適宜調整される。
【００１７】金属板には、銅板、銅箔、アルミ箔等の単
独、あるいはこれらを複合化した複合板などエッチング
可能な材料を用いることができ、とりわけ汎用性のある
銅板や銅箔を用いるのが好ましく、被測定電極のピッチ
や電極幅により金属板の厚みは適宜選択される。
独、あるいはこれらを複合化した複合板などエッチング
可能な材料を用いることができ、とりわけ汎用性のある
銅板や銅箔を用いるのが好ましく、被測定電極のピッチ
や電極幅により金属板の厚みは適宜選択される。
【００１８】プリプレグもしくはプリプレグを硬化させ
た絶縁層と、金属板との積層接着の一手段としては真空
プレス法、ハイドロプレス法などが採用されるが、プリ
プレグを用いる場合は特に真空プレス法の方が望まし
い。この理由は、高圧にてエアーを外部に除去するハイ
ドロプレス法では外部から高圧を付与するためプリプレ
グ内部の樹脂が流出して厚み精度が得られない欠点があ
るが、プリプレグ内部やプリプレグと銅箔等との界面に
残留するエアーが比較的容易に外部に除去される真空プ
レス法においては、このような欠点が解消されるからで
ある。また、プリプレグを硬化させた絶縁層を用いる場
合にはエポキシ樹脂接着剤やアクリル樹脂接着剤などの
接着剤を用い積層接着すればよい。
た絶縁層と、金属板との積層接着の一手段としては真空
プレス法、ハイドロプレス法などが採用されるが、プリ
プレグを用いる場合は特に真空プレス法の方が望まし
い。この理由は、高圧にてエアーを外部に除去するハイ
ドロプレス法では外部から高圧を付与するためプリプレ
グ内部の樹脂が流出して厚み精度が得られない欠点があ
るが、プリプレグ内部やプリプレグと銅箔等との界面に
残留するエアーが比較的容易に外部に除去される真空プ
レス法においては、このような欠点が解消されるからで
ある。また、プリプレグを硬化させた絶縁層を用いる場
合にはエポキシ樹脂接着剤やアクリル樹脂接着剤などの
接着剤を用い積層接着すればよい。
【００１９】プリプレグもしくはプリプレグ硬化させた
絶縁層と、金属板とが接着性が乏しいケースでは、接着
面にプライマーが塗布されたり、金属板の接着面がエッ
チング処理等により粗面化されたり、両者間に接着シー
トが介在されるなどして、接着性が改善される。
絶縁層と、金属板とが接着性が乏しいケースでは、接着
面にプライマーが塗布されたり、金属板の接着面がエッ
チング処理等により粗面化されたり、両者間に接着シー
トが介在されるなどして、接着性が改善される。
【００２０】絶縁性の支持体としてはポリイミド、エポ
キシ樹脂などのプラスチックが適用でき、ＱＦＰ（Ｑｕ
ａｄ Ｆｌａｔ Ｐａｃｋａｇｅ）型半導体の電気信号
を測定するには絶縁性の支持体の対向する側面すべての
面に薄板状の積層体をエポキシ樹脂接着剤や瞬間接着剤
などを用いて接合した後エッチング処理し、コンタクト
ピンを装着したものを用いれば測定の作業も一回ででき
効率がよい。また、ＤＩＰ（Ｄｕａｌ Ｉｎｌｉｎｅ
Ｐａｃｋａｇｅ）型半導体やＳＯＰ（Ｓｍａｌｌ Ｏｕ
ｔｌｉｎｅ Ｐａｃｋａｇｅ）型半導体の電気信号を測
定するには絶縁性の支持体の対向する一対の側面に薄板
状の積層体を接合した後エッチング処理し、コンタクト
ピンを装着すればよい。また、一方向に電極を有するも
の、例えばパソコンのコネクタの電気信号を測定するに
は絶縁性の支持体の一側面のみに薄板状の積層体を接合
した後エッチング処理し、コンタクトピンを装着すれば
よく、被測定電極の形状により適宜接合加工される。コ
ンタクトピンは通常公知のものを用いればよい。
キシ樹脂などのプラスチックが適用でき、ＱＦＰ（Ｑｕ
ａｄ Ｆｌａｔ Ｐａｃｋａｇｅ）型半導体の電気信号
を測定するには絶縁性の支持体の対向する側面すべての
面に薄板状の積層体をエポキシ樹脂接着剤や瞬間接着剤
などを用いて接合した後エッチング処理し、コンタクト
ピンを装着したものを用いれば測定の作業も一回ででき
効率がよい。また、ＤＩＰ（Ｄｕａｌ Ｉｎｌｉｎｅ
Ｐａｃｋａｇｅ）型半導体やＳＯＰ（Ｓｍａｌｌ Ｏｕ
ｔｌｉｎｅ Ｐａｃｋａｇｅ）型半導体の電気信号を測
定するには絶縁性の支持体の対向する一対の側面に薄板
状の積層体を接合した後エッチング処理し、コンタクト
ピンを装着すればよい。また、一方向に電極を有するも
の、例えばパソコンのコネクタの電気信号を測定するに
は絶縁性の支持体の一側面のみに薄板状の積層体を接合
した後エッチング処理し、コンタクトピンを装着すれば
よく、被測定電極の形状により適宜接合加工される。コ
ンタクトピンは通常公知のものを用いればよい。
【００２１】エッチングに使用するエッチング溶液及び
処理条件については特に制約はなく、エッチング溶液と
しては塩化第二鉄系のエッチング溶液、塩化第二銅系の
エッチング溶液、過硫酸塩系のエッチング溶液などが挙
げられ金属板の種類に応じて適宜選択して用いることが
できる。処理条件については金属板の種類や厚みにより
多少異なるが金属板を溶解除去できればよく、概ね温度
２０〜５０℃、時間１０〜３００分であればよい。
処理条件については特に制約はなく、エッチング溶液と
しては塩化第二鉄系のエッチング溶液、塩化第二銅系の
エッチング溶液、過硫酸塩系のエッチング溶液などが挙
げられ金属板の種類に応じて適宜選択して用いることが
できる。処理条件については金属板の種類や厚みにより
多少異なるが金属板を溶解除去できればよく、概ね温度
２０〜５０℃、時間１０〜３００分であればよい。
【００２２】
【作用】本発明の電気信号測定用の電極保持器や電極ユ
ニットはプリント配線板用の補強基材である不織布や織
布、とりわけフレキシブルで強度があるガラスクロスや
アラミド繊維を用いることにより変形や破損がなく、耐
久性に優れたものとなり、ファインピッチの半導体やソ
ケットなどの被測定電極からの電気信号の測定が容易に
できる。また、エッチング処理により金属板を除去し、
絶縁体に沿ってコンタクトピンを装着するといった手段
を用いているため、特別な治具や技術を要することなく
容易に製造することができる。
ニットはプリント配線板用の補強基材である不織布や織
布、とりわけフレキシブルで強度があるガラスクロスや
アラミド繊維を用いることにより変形や破損がなく、耐
久性に優れたものとなり、ファインピッチの半導体やソ
ケットなどの被測定電極からの電気信号の測定が容易に
できる。また、エッチング処理により金属板を除去し、
絶縁体に沿ってコンタクトピンを装着するといった手段
を用いているため、特別な治具や技術を要することなく
容易に製造することができる。
【００２３】
実施例１ 次に本発明の電気信号測定用の電極保持器、及び電極ユ
ニットの実施例を図面に基づいてより詳細に説明する。
図１〜図３は実施例１の電極保持器（７１）の製法を示
し、図４は電極保持器（７１）の斜視図、図５は電極ユ
ニット（８１）の分解斜視図、図６は平面図、図７は正
面図を示すものである。製法について詳述する。アラミ
ド繊維にエポキシ樹脂を含浸した厚み０．１３ｍｍのプ
リプレグ（１）と厚み０．１７ｍｍの銅板（２）を交互
に積層し、真空プレスにより熱圧成形した後、積層方向
に沿って厚み０．５ｍｍのＩ字形の薄板状に切断し薄板
状の積層体（５１）を得た後、薄板状の積層体（５１）
をポリイミドよりなる絶縁性の支持体（６１）の対向す
る一対の側面にエポキシ樹脂系の接着剤を用いて接合し
た。次に温度５０℃の塩化第二銅系のエッチング溶液に
４０分間浸漬して銅板を溶解除去し、実施例１の電気信
号測定用の電極保持器（７１）を得た。更にこの電極保
持器（７１）の絶縁体（３）に沿って間にベリリウム銅
製のコンタクトピン（９１）を装着し０．３ｍｍピッチ
の電極ユニット（８１）を得た。
ニットの実施例を図面に基づいてより詳細に説明する。
図１〜図３は実施例１の電極保持器（７１）の製法を示
し、図４は電極保持器（７１）の斜視図、図５は電極ユ
ニット（８１）の分解斜視図、図６は平面図、図７は正
面図を示すものである。製法について詳述する。アラミ
ド繊維にエポキシ樹脂を含浸した厚み０．１３ｍｍのプ
リプレグ（１）と厚み０．１７ｍｍの銅板（２）を交互
に積層し、真空プレスにより熱圧成形した後、積層方向
に沿って厚み０．５ｍｍのＩ字形の薄板状に切断し薄板
状の積層体（５１）を得た後、薄板状の積層体（５１）
をポリイミドよりなる絶縁性の支持体（６１）の対向す
る一対の側面にエポキシ樹脂系の接着剤を用いて接合し
た。次に温度５０℃の塩化第二銅系のエッチング溶液に
４０分間浸漬して銅板を溶解除去し、実施例１の電気信
号測定用の電極保持器（７１）を得た。更にこの電極保
持器（７１）の絶縁体（３）に沿って間にベリリウム銅
製のコンタクトピン（９１）を装着し０．３ｍｍピッチ
の電極ユニット（８１）を得た。
【００２４】実施例２ 図８は実施例２の電気信号測定用の電極保持器（７２）
を示す斜視図である。ポリイミドよりなる絶縁性の支持
体（６１）の側面すべてにＩ字形の薄板状の積層体を接
合した以外は実施例１と同様に加工し、実施例２の電気
信号測定用の電極保持器（７２）、及び電気信号測定用
の０．３ｍｍピッチの電極ユニット（８２）を得た。図
９に実施例２の電極ユニット（８２）の平面図を示す。
を示す斜視図である。ポリイミドよりなる絶縁性の支持
体（６１）の側面すべてにＩ字形の薄板状の積層体を接
合した以外は実施例１と同様に加工し、実施例２の電気
信号測定用の電極保持器（７２）、及び電気信号測定用
の０．３ｍｍピッチの電極ユニット（８２）を得た。図
９に実施例２の電極ユニット（８２）の平面図を示す。
【００２５】実施例３ 図１０は実施例３の電極保持器（７３）の斜視図、図１
１は実施例３の電極ユニット（８３）の分解斜視図であ
る。ガラスクロスにエポキシ樹脂を含浸した厚み０．１
ｍｍのプリプレグと厚み０．１５ｍｍの銅板を交互に積
層し真空プレスにより熱圧成形した後、積層方向に沿っ
て０．４ｍｍのＩ字形の薄板状に切断して薄板状の積層
体を得た後、ポリイミドよりなる絶縁性の支持体（６
１）の対向する一対の側面にエポキシ樹脂系の接着剤を
用いて接合した。次に温度５０℃の塩化第二鉄系のエッ
チング溶液に３０分間浸漬して銅板を溶解除去し、実施
例３の電気信号測定用の電極保持器（７３）を得た。更
にこの電極保持器（７３）の絶縁体（４）に沿ってベリ
リウム銅製のコンタクトピン（９２）を装着し、０．２
５ｍｍピッチの電極ユニット（８３）を得た。
１は実施例３の電極ユニット（８３）の分解斜視図であ
る。ガラスクロスにエポキシ樹脂を含浸した厚み０．１
ｍｍのプリプレグと厚み０．１５ｍｍの銅板を交互に積
層し真空プレスにより熱圧成形した後、積層方向に沿っ
て０．４ｍｍのＩ字形の薄板状に切断して薄板状の積層
体を得た後、ポリイミドよりなる絶縁性の支持体（６
１）の対向する一対の側面にエポキシ樹脂系の接着剤を
用いて接合した。次に温度５０℃の塩化第二鉄系のエッ
チング溶液に３０分間浸漬して銅板を溶解除去し、実施
例３の電気信号測定用の電極保持器（７３）を得た。更
にこの電極保持器（７３）の絶縁体（４）に沿ってベリ
リウム銅製のコンタクトピン（９２）を装着し、０．２
５ｍｍピッチの電極ユニット（８３）を得た。
【００２６】実施例４ 図１２は電極ユニット（８４）の分解斜視図である。実
施例３においてＩ字形の薄板状の積層体（５４）をポリ
イミドよりなる絶縁性の支持体（６３）の一側面のみに
接合した以外は実施例３と同様に加工して、電気信号測
定用の電極保持器（７４）、及び０．２５ｍｍピッチの
電極ユニット（８４）を得た。
施例３においてＩ字形の薄板状の積層体（５４）をポリ
イミドよりなる絶縁性の支持体（６３）の一側面のみに
接合した以外は実施例３と同様に加工して、電気信号測
定用の電極保持器（７４）、及び０．２５ｍｍピッチの
電極ユニット（８４）を得た。
【００２７】実施例５ 図１３は電極ユニット（８５）の平面図、図１４は透視
正面図を示す。実施例３においての積層方向に沿って断
面Ｌ字形の０．４ｍｍの薄板状に切削加工してＬ字状の
積層体（４´）を得た後、ポリイミドよりなる絶縁性の
支持体（６３）の一側面のみに接合した以外は実施例３
と同様に加工して、電気信号測定用の電極保持器、及び
０．２５ｍｍピッチの電極ユニット（８５）を得た。
正面図を示す。実施例３においての積層方向に沿って断
面Ｌ字形の０．４ｍｍの薄板状に切削加工してＬ字状の
積層体（４´）を得た後、ポリイミドよりなる絶縁性の
支持体（６３）の一側面のみに接合した以外は実施例３
と同様に加工して、電気信号測定用の電極保持器、及び
０．２５ｍｍピッチの電極ユニット（８５）を得た。
【００２８】実施例６ 図１５は半導体リ−ド（１３）の電気信号を測定するた
めの電極ユニット（８６）の使用状態を示す正面図であ
る。実施例３において絶縁体（４）より短いコンタクト
ピン（９２´）を用いた以外は実施例３と同様に加工し
て、電気信号測定用の電極保持器、及び０．２５ｍｍピ
ッチの電極ユニット（８６）を得た。この電極ユニット
（８６）の絶縁体（４）は半導体リ−ド間に挿入しやす
いものとなっている。
めの電極ユニット（８６）の使用状態を示す正面図であ
る。実施例３において絶縁体（４）より短いコンタクト
ピン（９２´）を用いた以外は実施例３と同様に加工し
て、電気信号測定用の電極保持器、及び０．２５ｍｍピ
ッチの電極ユニット（８６）を得た。この電極ユニット
（８６）の絶縁体（４）は半導体リ−ド間に挿入しやす
いものとなっている。
【００２９】評価結果を示す。従来の電極ユニット（８
９）と本発明の電極ユニット（８１、８２、８３、８
４、８５、８６）とを比較してみると、従来のファイン
ピッチ（０．５ｍｍピッチ以下）の電極ユニット（８
９）では繰返し使用するとコンタクトピン（９２）の変
形や電極保持具（７９）の凸部の変形や破損により被測
定電極に正確に接触できなかったが、本発明の電極ユニ
ット（８１、８２、８３、８４、８５、８６）では絶縁
体（３、４、４´）の変形や破損が生ずることなく被測
定電極に正確に接触でき、電気信号の測定ができた。
９）と本発明の電極ユニット（８１、８２、８３、８
４、８５、８６）とを比較してみると、従来のファイン
ピッチ（０．５ｍｍピッチ以下）の電極ユニット（８
９）では繰返し使用するとコンタクトピン（９２）の変
形や電極保持具（７９）の凸部の変形や破損により被測
定電極に正確に接触できなかったが、本発明の電極ユニ
ット（８１、８２、８３、８４、８５、８６）では絶縁
体（３、４、４´）の変形や破損が生ずることなく被測
定電極に正確に接触でき、電気信号の測定ができた。
【００３０】
【発明の効果】本発明の電気信号測定用の電極保持器
は、絶縁体がフレキシブルで強度的にも優れるプリント
配線板用の補強基材に樹脂を含浸し硬化させたものより
なるため破損することなく変形も生じない。従ってコン
タクトピンを装着してなる電気信号測定用の電極ユニッ
トにおいては電気信号を測定する際隣合う電極間のショ
−トが発生することがなく、半導体リ−ドやソケット電
極などの被測定物に確実に接触させることができ、正確
な電気信号の測定ができる。
は、絶縁体がフレキシブルで強度的にも優れるプリント
配線板用の補強基材に樹脂を含浸し硬化させたものより
なるため破損することなく変形も生じない。従ってコン
タクトピンを装着してなる電気信号測定用の電極ユニッ
トにおいては電気信号を測定する際隣合う電極間のショ
−トが発生することがなく、半導体リ−ドやソケット電
極などの被測定物に確実に接触させることができ、正確
な電気信号の測定ができる。
【００３１】また、電極保持器に接合される絶縁体はフ
レキシブルで強度があるため半導体パッケ−ジに装着す
る際、絶縁体を半導体リ−ド間に挿入しうる構造にする
ことができ、電極保持器に装着されたコンタクトピンが
隣合う半導体リ−ドにショ−トすることがなく確実に接
触でき電気信号を正確に測定することができる。
レキシブルで強度があるため半導体パッケ−ジに装着す
る際、絶縁体を半導体リ−ド間に挿入しうる構造にする
ことができ、電極保持器に装着されたコンタクトピンが
隣合う半導体リ−ドにショ−トすることがなく確実に接
触でき電気信号を正確に測定することができる。
【００３２】また、絶縁体と金属板の厚みや枚数を適宜
変えることにより所望のピッチの電極保持器が得られ、
更にこの電極保持器にコンタクトピンを装着することに
より、コンタクトピンの間隔が一定に保たれた電極ユニ
ットを形成することができる。とりわけ切削加工技術や
射出成形技術では困難とされていた０．３ｍｍピッチ以
下のファインピッチの電極ユニットも容易に構成するこ
とができる。
変えることにより所望のピッチの電極保持器が得られ、
更にこの電極保持器にコンタクトピンを装着することに
より、コンタクトピンの間隔が一定に保たれた電極ユニ
ットを形成することができる。とりわけ切削加工技術や
射出成形技術では困難とされていた０．３ｍｍピッチ以
下のファインピッチの電極ユニットも容易に構成するこ
とができる。
【００３３】更に、本発明の製法は従来のような切削加
工技術や射出成形技術によるものではなく積層技術とエ
ッチング処理技術を用いているため、ピッチや電極の数
の違いにより特別な治具、金型、高度な技術が不要であ
る。従って容易に、短時間に、かつ安価に電極保持器や
電極ユニットを製造することができ、多品種少量生産に
対応しやすく工業上極めて有益なものとなる。
工技術や射出成形技術によるものではなく積層技術とエ
ッチング処理技術を用いているため、ピッチや電極の数
の違いにより特別な治具、金型、高度な技術が不要であ
る。従って容易に、短時間に、かつ安価に電極保持器や
電極ユニットを製造することができ、多品種少量生産に
対応しやすく工業上極めて有益なものとなる。
【図１】絶縁層と銅板を積層した状態を示す斜視図。
【図２】薄板状の積層体（５１）の斜視図。
【図３】薄板状の積層体（５１）を絶縁性の支持体（６
１）に接合した状態を示す斜視図。
１）に接合した状態を示す斜視図。
【図４】実施例１の電気信号測定用の電極保持器（７
１）の斜視図。
１）の斜視図。
【図５】実施例１の電気信号測定用の電極ユニット（８
１）の分解斜視図。
１）の分解斜視図。
【図６】実施例１の電気信号測定用の電極ユニット（８
１）の平面図。
１）の平面図。
【図７】実施例１の電気信号測定用の電極ユニット（８
１）の正面図。
１）の正面図。
【図８】実施例２の電気信号測定用の電極保持器（７
２）の斜視図。
２）の斜視図。
【図９】実施例２の電気信号測定用の電極ユニット（８
２）の平面図。
２）の平面図。
【図１０】実施例３の電極保持器（７３）の斜視図。
【図１１】実施例３の電気信号測定用の電極ユニット
（８３）の分解斜視図。
（８３）の分解斜視図。
【図１２】実施例４の電気信号測定用の電極ユニット
（８４）の分解斜視図。
（８４）の分解斜視図。
【図１３】実施例５の電気信号測定用の電極ユニット
（８５）の平面図。
（８５）の平面図。
【図１４】実施例５の電気信号測定用の電極ユニット
（８５）の透視正面図。
（８５）の透視正面図。
【図１５】実施例６の電気信号測定用の電極ユニット
（８６）の使用状態を示す正面図。
（８６）の使用状態を示す正面図。
【図１６】従来の電極ユニットの分解斜視図。
１ プリプレグ ２ 銅板 ３ 絶縁体 ４ 絶縁体 ４´ 絶縁体 １０ 半導体 １３ 半導体リ−ド ５１ 薄板状の積層体 ６１ 絶縁性の支持体 ６３ 絶縁性の支持体 ７１ 電気信号測定用の電極保持器 ７２ 電気信号測定用の電極保持器 ７３ 電気信号測定用の電極保持器 ７４ 電気信号測定用の電極保持器 ７９ 電極保持具 ８１ 電気信号測定用の電極ユニット ８２ 電気信号測定用の電極ユニット ８３ 電気信号測定用の電極ユニット ８４ 電気信号測定用の電極ユニット ８５ 電気信号測定用の電極ユニット ８６ 電気信号測定用の電極ユニット ８９ 従来の電極ユニット ９１ コンタクトピン ９２ コンタクトピン ９２´コンタクトピン
Claims (8)
- 【請求項１】 プリント配線板用の補強基材である不織
布や織布に樹脂を含浸し、硬化させた絶縁体が所定の間
隔で絶縁性の支持体に接合されていることを特徴とする
電気信号測定用の電極保持器。 - 【請求項２】 プリント配線板用の補強基材である不織
布や織布に樹脂を含浸し、硬化させた絶縁体が所定の間
隔で絶縁性の支持体に少なくとも一対、相対向して接合
されていることを特徴とする電気信号測定用の電極保持
器。 - 【請求項３】 プリント配線板用の補強基材である不織
布や織布に樹脂を含浸し、硬化させた絶縁体が所定の間
隔で絶縁性の支持体に接合されるとともに該絶縁体に沿
ってコンタクトピンが装着されていることを特徴とする
電気信号測定用の電極ユニット。 - 【請求項４】 プリント配線板用の補強基材である不織
布や織布に樹脂を含浸し、硬化させた絶縁体が所定の間
隔で絶縁性の支持体に少なくとも一対、相対向して接合
されるとともに該絶縁体に沿ってコンタクトピンが装着
されていることを特徴とする電気信号測定用の電極ユニ
ット。 - 【請求項５】 次の（ａ）、（ｂ）のステップに基づく
ことを特徴とする電気信号測定用の電極保持器の製法。 （ａ）プリント配線板用の補強基材である不織布や織布
に樹脂を含浸したプリプレグもしくはプリプレグを硬化
させた絶縁層と、金属板とを交互に積層接着した後、積
層方向に沿って切断もしくは切削加工して薄板状の積層
体を得るステップ、（ｂ）該薄板状の積層体を絶縁性の
支持体に接合した後、エッチング処理により該金属板を
溶解除去し、所定の間隔の絶縁体を形成するステップ。 - 【請求項６】 次の（ｃ）、（ｄ）のステップに基づく
ことを特徴とする電気信号測定用の電極保持器の製法。 （ｃ）プリント配線板用の補強基材である不織布や織布
に樹脂を含浸したプリプレグもしくはプリプレグを硬化
させた絶縁層と、金属板とを交互に積層接着した後、積
層方向に沿って切断もしくは切削加工して薄板状の積層
体を得るステップ、（ｄ）該薄板状の積層体を少なくと
も一対、相対向して絶縁性の支持体に接合するステッ
プ。 - 【請求項７】 次の（ｅ）〜（ｇ）のステップに基づく
ことを特徴とする電気信号測定用の電極ユニットの製
法。 （ｅ）プリント配線板用の補強基材である不織布や織布
に樹脂を含浸したプリプレグもしくはプリプレグを硬化
させた絶縁層と、金属板とを交互に積層接着した後、積
層方向に沿って切断もしくは切削加工して薄板状の積層
体を得るステップ、（ｆ）該薄板状の積層体を絶縁性の
支持体に接合した後、エッチング処理により該金属板を
溶解除去し、所定の間隔の絶縁体を形成するステップ、
（ｇ）該絶縁体に沿ってコンタクトピンを装着するステ
ップ。 - 【請求項８】 次の（ｈ）〜（ｊ）のステップに基づく
ことを特徴とする電気信号測定用の電極ユニットの製
法。 （ｈ）プリント配線板用の補強基材である不織布や織布
に樹脂を含浸したプリプレグもしくはプリプレグを硬化
させた絶縁層と、金属板とを交互に積層接着した後、積
層方向に沿って切断もしくは切削加工して薄板状の積層
体を得るステップ、（ｉ）該薄板状の積層体を少なくと
も一対、相対向して絶縁性の支持体に接合した後、エッ
チング処理により該金属板を溶解除去し、所定の間隔の
絶縁体を形成するステップ、（ｊ）該絶縁体に沿ってコ
ンタクトピンを装着するステップ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3616795A JPH08211099A (ja) | 1995-01-31 | 1995-01-31 | 電気信号測定用の電極保持器及び電気信号測定用の電極ユニットならびにこれらの製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3616795A JPH08211099A (ja) | 1995-01-31 | 1995-01-31 | 電気信号測定用の電極保持器及び電気信号測定用の電極ユニットならびにこれらの製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08211099A true JPH08211099A (ja) | 1996-08-20 |
Family
ID=12462207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3616795A Pending JPH08211099A (ja) | 1995-01-31 | 1995-01-31 | 電気信号測定用の電極保持器及び電気信号測定用の電極ユニットならびにこれらの製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08211099A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006507512A (ja) * | 2002-11-22 | 2006-03-02 | フィコム コーポレイション | 平板表示素子検査用プローブおよびその製造方法 |
| DE102016007156A1 (de) * | 2016-06-10 | 2017-05-11 | Diehl Aircabin Gmbh | Faserverbundmaterial, Prepregmaterial und Herstellungsverfahren |
-
1995
- 1995-01-31 JP JP3616795A patent/JPH08211099A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006507512A (ja) * | 2002-11-22 | 2006-03-02 | フィコム コーポレイション | 平板表示素子検査用プローブおよびその製造方法 |
| DE102016007156A1 (de) * | 2016-06-10 | 2017-05-11 | Diehl Aircabin Gmbh | Faserverbundmaterial, Prepregmaterial und Herstellungsverfahren |
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