JPH08201483A - タイミング発生器 - Google Patents

タイミング発生器

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JPH08201483A
JPH08201483A JP7027432A JP2743295A JPH08201483A JP H08201483 A JPH08201483 A JP H08201483A JP 7027432 A JP7027432 A JP 7027432A JP 2743295 A JP2743295 A JP 2743295A JP H08201483 A JPH08201483 A JP H08201483A
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JP
Japan
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signal
timing
bit
delay
output
Prior art date
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JP7027432A
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English (en)
Inventor
Masakatsu Suda
昌克 須田
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Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、高速タイミング用の場合と低速タ
イミング用で、使用されないビットに着目して回路規模
を大きく増加すること無く幅広いテスト周期99rateに
対応可能なタイミング信号発生器を安価に実現する。 【構成】 設定データ格納メモリ40からの遅延量デー
タ40dat信号を受け、高速タイミング用と低速タイミ
ング用の切り替えに使用するレンジ切り替え信号12re
ngeを受けて、この遅延量データ40dat信号のビット長
40lenに固定論理レベルのMビット長を加えた拡張ビ
ット信号を入力端に受けて、前記レンジ切り替え信号1
2rengeにより切り替えて出力するレンジ切り替え器1
2手段を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、ICテストシステム
において、被試験デバイスに与えるタイミング信号、及
び被試験デバイスの出力信号の判定タイミング信号を生
成するタイミング発生器に関する。
【0002】
【従来の技術】被試験デバイス(DUT)には、高速か
ら低速までの、様々な動作速度のデバイスがある。IC
テストシステムでは、これに対応した試験速度で測定す
る必要があり、DUTの試験速度に対応したテスト周期
(レート)を基準に各種タイミングを決めている。この
発生レートは、低速デバイスでは数百μsであり、高速
デバイスでは数十nsである。このように発生レートの
時間幅が大きい。タイミング信号発生器では、テスト周
期99rate毎にオンザフライ(on the fly)で任意の時
間遅延したタイミング信号を発生出力するものであり、
低速から高速に至るテスト周期に対応した時間遅延回路
を設ける必要がある。しかも、このタイミング信号発生
器を多数チャンネル設けている。
【0003】従来技術の例としては、遅延量データ長が
20ビット長の分解能を有するタイミング信号発生器の
例がある。これについて、図4と図5を参照して説明す
る。本装置の構成は、図4に示すように、設定データ格
納メモリ40と、クロック単位遅延部50と、微少遅延
部60と出力ゲート75とで構成している。
【0004】設定データ格納メモリ40は、例えばビッ
ト長40len=20ビット長分解能の遅延量データ40d
atを16点格納しているメモリであって、タイミングセ
ット選択信号70tsをアドレス信号として受けて、テス
ト周期を決めるレートクロック99clk毎に同期して、
次の遅延量データ40datを読み出して出力する。
【0005】クロック単位遅延部50は、ここの例で
は、レートクロック99clkの1/4周期であるクロッ
ク90refclk単位の整数倍の遅延を受け持つものであっ
て、設定データ格納メモリ40から読みだした遅延量デ
ータ40datの上位遅延ビットデータ40upを受けて、
この遅延時間後に一致信号54outを出力する。このク
ロック単位遅延部50の内部構成は、カウンタ52と、
比較器54とでなる。
【0006】微少遅延部60は、クロック90refclk単
位未満の遅延を受け持つものであって、設定データ格納
メモリ40から読みだした遅延量データ40datの下位
遅延ビットデータ40lowを受けて、入力クロック80c
lkを所定時間遅延した遅延信号60outを繰り返し出力
している。ここで、クロック80clkは、1/4クロッ
ク時間位相をずらした4本のクロック信号であって、内
部の微少遅延素子を軽減する為と遅延信号60outであ
るパルス信号を出力する為に使用している。
【0007】出力ゲート75は、目的とする遅延タイミ
ング信号75outを出力するものであって、クロック単
位遅延部50からの一致信号54outを受け、微少遅延
部60からの繰り返し遅延信号60outを受けて、一致
信号54out位置にある遅延信号60outを出力する。
【0008】これらについて、図5を示してタイミング
動作を説明する。タイミング信号発生器のテスト周期9
9rate毎に、遅延量データ40datに対応して所定の時
間遅延したタイミング信号75outを出力する。図5の
例では、初回の上位遅延ビットデータ40upを2とし、
2回目を1とし、下位遅延ビットデータ40lowを40d
ly1とし、2回目を40dly2とする。ここで、クロック
90refclkは、テスト周期99rate毎の4クロックであ
るとする。一方の微少遅延部60からの遅延信号60ou
tの初回は、クロック90refclk基準に対して、40dly
1時間遅延したクロックを繰り返し4回出力している。
他方のカウンタ52へのロード信号92loadは、レート
クロック99clkと同じタイミングでカウンタ52を0
にセットする。カウント値52outは、クロック90ref
clk毎に0、1、2、3とカウントアップしている。一
致信号54outは、このカウント値と上位遅延ビットデ
ータ40up=2と一致した時出力される。タイミング信
号75outは、一致信号54outにある遅延信号60out
とでANDした信号として出力される。これにより、上
位遅延ビットデータ40upと下位遅延ビットデータ40
lowに対応した遅延時間のタイミング信号75outが出力
されることが判る。同様にして2回目のタイミング信号
75outは、上位遅延ビットデータ40up=1の位置に
ある40dly2時間遅延したタイミング信号75outが出
力される。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】上記説明のように、I
Cテストシステムでは、多ピンのDUTを試験する為に
数百チャンネルもの多数のタイミング信号発生器を必要
とする。この為、回路をLSI化に集積していて、回路
規模では、設定データ格納メモリ40が半分近くを占め
ている。他方、DUTの試験速度は、高速から低速まで
幅広く存在する為、全てに対応したタイミング信号発生
器を実現しようとすると設定データ格納メモリ40のビ
ット長を多くする必要があり、メモリの回路規模が一層
大きくなってくる難点があり、コスト高になってしま
う。
【0010】ところで、低速デバイスでは、例えば1n
s未満の設定は不要で使用されない点があり、高速デバ
イスでは、テスト周期99rateを例えば1000nsを
越える大きなテスト周期99rateで使用されない点があ
る。そこで、本発明が解決しようとする課題は、高速タ
イミング用の場合と低速タイミング用で、前記説明のよ
うに使用されないビットに着目して回路規模を大きく増
加すること無く幅広いテスト周期99rateに対応可能な
タイミング信号発生器を安価に実現することを目的とす
る。
【0011】
【課題を解決する為の手段】第1図は、本発明による第
1の解決手段を示している。上記課題を解決するため
に、本発明の構成では、設定データ格納メモリ40から
の遅延量データ40dat信号を受け、高速タイミング用
と低速タイミング用の切り替えに使用するレンジ切り替
え信号12rengeを受けて、この遅延量データ40dat信
号のビット長40lenに固定論理レベルのMビット長を
加えた拡張ビット信号を入力端に受けて、前記レンジ切
り替え信号12rengeにより切り替えて出力するレンジ
切り替え器12手段を設ける構成手段にする。これによ
り、設定データ格納メモリ40と、クロック単位遅延部
20と、微少遅延部60とを有して、テスト周期99ra
te毎にタイミング信号を発生する高速から低速まで広い
範囲のタイミング信号発生器を実現する。
【0012】第2図は、本発明による第2の解決手段を
示している。上記課題を解決するために、本発明の構成
では、設定データ格納メモリ40からの遅延量データ4
0dat信号を受けて、遅延量データ40dat信号の1ビッ
トをレンジ切り替え信号12rengeとして使用し、この
レンジ切り替え信号12rengeの1ビットを除いた残り
のビット長40lenに固定論理レベルのMビット長を加
えた拡張ビット信号を入力端に受けて、前記レンジ切り
替え信号12rengeにより切り替えて出力するレンジ切
り替え器12手段を設ける構成手段にする。
【0013】上記のレンジ切り替え器12は、レンジ切
り替え信号12rengeを高速タイミング用と低速タイミ
ング用の切り替えに使用し、高速タイミング用の場合
には、拡大ビット長Mに対応して、レンジ切り替え器1
2の上位出力ビットの固定論理レベルのMビットを出力
し、残りの出力ビットを遅延量データ40datの出力ビ
ットを出力し、低速タイミング用の場合に、拡大ビッ
ト長Mに対応して、レンジ切り替え器12の下位出力ビ
ットの固定論理レベルのMビットを出力し、残りの出力
ビットとして遅延量データ40datを出力する。これに
よって、Mビット拡大した遅延データとすることができ
る。
【0014】
【作用】レンジ切り替え器12は、レンジ切り替え信号
12rengeで高速タイミング用の場合と低速タイミング
用の場合とに分け、タイミング発生の遅延分解能の重み
付けを切替えて出力することで、例えば、ビット長40
len=20ビット長をM=10ビット加えた30ビット
長に拡大して出力する作用が得られる。このときのクロ
ック単位遅延部20は、高速タイミング用の場合には、
例えば20ビット中の上位10ビットの値は0値が与え
る。また、微少遅延部60は、低速タイミング用の場合
には、固定した遅延量による動作になる。
【0015】図2に示す設定データ格納メモリ40の遅
延量データ40datのビットを1ビット追加し、このビ
ットをレンジ切り替え信号12rengeとするように構成
した場合では、M=10ビットとする場合、設定データ
格納メモリ40の僅かな回路規模増加で21ビット長の
遅延量データ40datから(21−1)+M=30ビッ
ト長に拡大したタイミング発生器を実現できる。
【0016】
【実施例】本発明の実施例としては、拡大ビット長M=
10の例であって、20ビット長の遅延量データ40da
tとレンジ切り替え信号で30ビット長の分解能を有す
る遅延回路を実現するタイミング信号発生器の例であ
る。これについて、図1を参照して説明する。
【0017】本発生器は、設定データ格納メモリ40
と、レンジ切り替え器12と、クロック単位遅延部20
と、微少遅延部60と出力ゲート75とで構成してい
る。この構成で、設定データ格納メモリ40と微少遅延
部60と出力ゲート75は従来説明と同様である。
【0018】レンジ切り替え器12は、レンジ切り替え
信号12rengeで高速タイミング用の場合と低速タイミ
ング用の場合とに分けて、タイミング発生の遅延分解能
の重み付けを切替えて20ビット長を30ビット長に拡
大して出力するものである。このレンジ切り替え信号1
2rengeを、DUTに対応して半固定的に使用しても良
いし、あるいは、テスト周期99rate毎に切り替えるよ
うに制御して使用しても良い。即ち、設定データ格納メ
モリ40からのビット長40len=20ビット長の遅延
量データ40datを受けて、第1に、高速タイミング用
の場合には、30ビット出力データの中で、上位10ビ
ットの遅延量データ12upを全て固定論理レベル0値を
与え、遅延量データ40datを中位10ビット遅延量デ
ータ12midと下位10ビット遅延量データ12lowに割
り付けるように選択して出力する。また、第2に、低速
タイミング用の場合には、逆に、30ビット出力データ
の中で、遅延量データ40datを上位10ビット遅延量
データ12upと中位10ビット遅延量データ12midに
割り付け、下位10ビット遅延量データ12lowに固定
論理レベルを与えるように選択して出力する。ここで、
上位10ビット遅延量データ12upとは、例えば102
4usec以上の遅延量を担当し、中位10ビット遅延
量データ12midとは、2nsec〜512usec区
間の遅延量を担当し、下位10ビット遅延量データ12
lowとは、2nsec未満の微少遅延量を担当する設定
データとする。
【0019】クロック単位遅延部20は、従来のクロッ
ク単位遅延部50の10ビット長を20ビット長に拡大
して構成したものであって、内部構成は、20ビット長
のカウンタ22と、20ビット長の比較器24とでな
る。動作については、従来と同様である。これによって
遅延範囲は、20ビット長になり、低速デバイスにも余
裕を持って十分対応可能な長い遅延時間を与えることが
可能となる。無論高速タイミング用の場合には、20ビ
ット中の上位10ビットの値は固定論理レベル0値が与
えられる。
【0020】また、微少遅延部60は、従来と同様であ
る。但し、低速タイミング用の場合には、下位10ビッ
ト遅延量データ12lowは固定した固定論理レベルによ
り固定の遅延を持たせる動作になる。
【0021】上記説明の様に構成することで、20ビッ
ト長の遅延量データ40datとレンジ切り替え信号12r
engeにより、等価的に30ビット長の遅延分解能を有す
る遅延回路を実現できることとなり、幅広いテスト周期
99rateに対応可能なタイミング信号発生器を最小の回
路規模の追加で実現できる。
【0022】上記実施例の説明では、レンジ切り替え器
12のレンジ切り替え信号12rengeを外部手段で切り
替える例で説明していたが、図2に示すように、設定デ
ータ格納メモリ40からの出力ビットを1ビット追加し
て、この出力ビット信号をレンジ切り替え信号12reng
eとして使用するように制御構成しても良く、同様にし
て実施可能である。この場合でも、設定データ格納メモ
リ40の僅かな回路規模増加で21ビット長の遅延量デ
ータ40datから30ビット長に拡大したタイミング発
生器を実現できる。
【0023】また、上記実施例の説明では、設定データ
格納メモリ40からの全出力ビットをレンジ切り替え器
12に供給して選択的に出力する様に構成していたが、
図3に示すように、中位10ビット遅延量データ12mi
dあるいは所望ビットを選択せず直接クロック単位遅延
部20や微少遅延部60に供給するように接続構成して
も良く、同様にして実施可能である。この場合は、レン
ジ切り替え器12の回路規模を軽減できる。
【0024】上記実施例の説明では、上位遅延量データ
12upと、中位遅延量データ12midと、下位遅延量デ
ータ12lowを10ビットの場合で説明していたが、ビ
ット長40lenと拡大する拡大ビット長M=10ビット
を所望の拡大ビット長Mでも良く、同様に適用可能であ
る。
【0025】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。レ
ンジ切り替え器12は、レンジ切り替え信号12renge
で高速タイミング用の場合と低速タイミング用の場合と
に分け、タイミング発生の遅延分解能の重み付けを切替
えて出力することで、20ビット長を30=(20+
M)ビット長に拡大して出力する効果が得られる。しか
も、これに対応する回路規模の増加は、レンジ切り替え
器12自身と、クロック単位遅延部20のカウンタ22
と、比較器24の僅かな回路増で済む効果が得られ、L
SI化して集積するゲート数を低減して比較的安価に実
現できる。このように、高速タイミング用の場合と低速
タイミング用で使用されないビットに着目して回路規模
を大きく増加すること無く幅広いテスト周期99rateに
対応可能なタイミング信号発生器を安価に実現可能とな
る。
【0026】図2に示す設定データ格納メモリ40の出
力ビットを1ビット追加し、この出力ビット信号をレン
ジ切り替え信号12rengeとするように構成た場合で
は、設定データ格納メモリ40の僅かな回路規模増加で
21ビット長の遅延量データ40datから30=(20
+M)ビット長に拡大したタイミング発生器を実現する
効果が得られる。
【0027】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の、拡大ビット長M=10とした場合
の、20ビット長の遅延量データ40datを30ビット
長の分解能を有するタイミング信号発生器の構成例であ
る。
【図2】本発明の、レンジ切り替え信号12rengeを設
定データ格納メモリ40の出力ビットを使用した場合の
タイミング信号発生器の構成例である。
【図3】本発明の、一部の遅延量データ40datを直接
クロック単位遅延部20に供給するように構成した場合
のタイミング信号発生器の構成例である。
【図4】従来の、タイミング信号発生器の構成例であ
る。
【図5】タイミング信号発生器の動作を説明する図であ
る。
【符号の説明】
12 レンジ切り替え器 12renge レンジ切り替え信号 12up、40dat、12mid、12low 遅延量データ 20、50 クロック単位遅延部 22、52 カウンタ 24、54 比較器 40 設定データ格納メモリ 40up 上位遅延ビットデータ 40low 下位遅延ビットデータ 52out カウント値 54out 一致信号 60 微少遅延部 60out 遅延信号 70ts タイミングセット選択信号 75 出力ゲート 75out タイミング信号 80clk、90refclk クロック 92load ロード信号 99rate テスト周期 99clk レートクロック

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 設定データ格納メモリ(40)と、クロ
    ック単位遅延部(20)と、微少遅延部(60)とを有
    して、テスト周期(99rate)毎にタイミング信号を発
    生するタイミング信号発生器において、 設定データ格納メモリ(40)からの遅延量データ(4
    0dat)信号を受け、レンジ切り替え信号(12renge)
    を受けて、この遅延量データ(40dat)信号のビット
    長(40len)に固定論理レベルのMビット長を加えた
    拡張ビット信号を入力端に受けて、前記レンジ切り替え
    信号(12renge)により切り替えて出力するレンジ切
    り替え器(12)手段を設け、 以上を具備していることを特徴としたタイミング発生
    器。
  2. 【請求項2】 設定データ格納メモリ(40)と、クロ
    ック単位遅延部(20)と、微少遅延部(60)とを有
    して、テスト周期(99rate)毎にタイミング信号を発
    生するタイミング信号発生器において、 設定データ格納メモリ(40)からの遅延量データ(4
    0dat)信号を受けて、遅延量データ(40dat)信号の
    1ビットをレンジ切り替え信号(12renge)として使
    用し、このレンジ切り替え信号(12renge)の1ビッ
    トを除いた残りのビット長(40len)に固定論理レベ
    ルのMビット長を加えた拡張ビット信号を入力端に受け
    て、前記レンジ切り替え信号(12renge)により切り
    替えて出力するレンジ切り替え器(12)手段を設け、 以上を具備していることを特徴としたタイミング発生
    器。
  3. 【請求項3】 レンジ切り替え器(12)は、 レンジ切り替え信号(12renge)を高速タイミング用
    と低速タイミング用の切り替えに使用し、高速タイミン
    グ用の場合には、拡大ビット長(M)に対応して、レン
    ジ切り替え器(12)の上位出力ビットには固定論理レ
    ベルのMビットを出力し、残りの出力ビットには遅延量
    データ(40dat)の出力ビットを出力し、低速タイミ
    ング用の場合に、拡大ビット長(M)に対応して、レン
    ジ切り替え器(12)の下位出力ビットには固定論理レ
    ベルのMビットを出力し、残りの出力ビットには遅延量
    データ(40dat)を出力する請求項1、2記載のタイ
    ミング発生器。
JP7027432A 1995-01-24 1995-01-24 タイミング発生器 Pending JPH08201483A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008117622A1 (ja) * 2007-03-23 2008-10-02 Advantest Corporation 試験装置および電子デバイス

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US7539592B2 (en) 2007-03-23 2009-05-26 Advantest Corporation Test apparatus and electronic device
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Legal Events

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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20040608