JPH08186989A

JPH08186989A - 静電アクチュエータ

Info

Publication number: JPH08186989A
Application number: JP33975294A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Tanaka; 猛田中; Tomoyuki Kikuta; 知之菊田
Original assignee: Asmo Co Ltd
Current assignee: Asmo Co Ltd
Priority date: 1994-12-29
Filing date: 1994-12-29
Publication date: 1996-07-16

Abstract

(57)【要約】【目的】静電アクチュエータにおける移動子及び固定
子の製造コストの低減。【構成】複数の駆動用電極１７ａ〜１７ｃを配設した
固定子１１と、複数の駆動用電極２０ａ〜２０ｃを配設
した移動子１２とを備え、移動子の駆動用電極と固定子
の駆動用電極の間に生じる静電気による吸引力、反発力
により移動子を固定子に対して駆動する。固定子及び移
動子は、基板２１の一方の面２１ｄに間隔をあけて帯状
の駆動用電極を複数個設けると共に、基板の他方の面２
１ｅに駆動用電極と交差するように帯状の接続用電極２
２ａ〜２２ｂを複数個設け、基板を一方の面から他方に
面に貫通するように設けた貫通孔２１ｆに導電部材２４
を配置して、駆動用電極と接続用電極を接続している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、車両用のサンバイザ
ー、ムーンルーフ、リアウインド等の遮光装置の動力源
として好適に使用される静電アクチュエータに関するも
のであり、詳しくは、固定子に設けた複数の駆動用電極
と、移動子に設けた複数の駆動用電極との間に発生する
静電気による吸引力、反発力により、移動子を駆動する
静電アクチュエータにおける移動子及び固定子の構造に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の静電アクチュエータとし
て、本出願人は先に実願平５−４２８４８号において、
図７に示す静電アクチュエータを提案した。この静電ア
クチュエータの移動子１は、複数の駆動用電極３ａ，３
ｂ，３ｃ，・・・３ａ，３ｂ，３ｃ，・・・を備え、こ
れらの駆動用電極３ａ，３ｂ，３ｃのうち２つ置きに位
置する駆動用電極３ａ，３ｂ，３ｃを相互に接続して３
相（ａ相，ｂ相，ｃ相）とし、さらにａ相の駆動用電極
３ａとｂ相の駆動用電極３ｂを相互に接続している。一
方、固定子４は、複数の駆動用電極６ａ，６ｂ，６ｃ，
・・・６ａ，６ｂ，６ｃ，・・・を備え、これらの駆動
用電極６ａ，６ｂ，６ｃのうち２つ置きに位置する駆動
用電極６ａ，６ｂ，６ｃを相互に接続して３相（Ｕ相，
Ｖ相，Ｗ相）としている。

【０００３】移動子１を駆動する際には、図８に示すよ
うに、上記移動子１のａ相，ｂ相の駆動用電極３ａ，３
ｂに対して負（以下、“−”と表記する。）の高電圧
を、ｃ相の駆動用電極３ｃに対しては正（以下、“＋”
と表記する。）の高電圧をそれぞれ固定的に印加する。
一方、固定子４には、周期的に極性を切り替えて、すな
わち、等しい時間間隔（時間α）の連続する３つのステ
ップＳ１，Ｓ２，Ｓ３からなるサイクルＣを繰り返し、
かつ、各相のサイクルＣを１ステップ分づつ位相をずら
して固定子４の駆動用電極６ａ，６ｂ，６ｃに対して高
電圧を印加する。

【０００４】Ｕ相の駆動用電極６ａに対しては、第１ス
テップＳ１は“＋”、第２ステップＳ２は“−”、第３
ステップＳ３は“＋”というパターンで高電圧を印加す
る。また、Ｖ相の駆動用電極６ｂ、Ｗ相の駆動用電極６
ｃに対しては、上記Ｕ相の駆動用電極３ａよりもそれぞ
れ１ステップ分、２ステップ分だけ位相を進めて、同一
パターンで高電圧を印加する。かかる高電圧の印加によ
り、移動子１の駆動用電極３ａ〜３ｃと固定子４の駆動
用電極６ａ〜６ｃとの間に静電気による吸引力、反発力
が作用し、第１ステップから第３ステップＳ１，Ｓ２，
Ｓ３の各ステップ毎に、移動子１は、上記駆動用電極３
ａ〜３ｃ，６ａ〜６ｃの間隔の分だけ図中左側に移動す
る。

【０００５】上記移動子１は、一般に図９に示すような
構造である。基板７の一方の面７ａには、細長い帯状の
膜状電極からなる駆動用電極３ａ，３ｂ，３ｃ…を間隔
あけて配置している。Ｕ相の各駆動用電極３ａ，３ａ…
は、基板７の図９中左側縁部に沿って設けた接続用電極
８ａに接続しており、この接続用電極８ａの端部に設け
た端子部８ｂが高電圧源側に接続されている。また、Ｖ
相の各駆動用電極３ｂ，３ｂ…は、基板７の図８中右側
縁部沿って設けた接続用電極８ｃに接続しており、この
接続用電極８ｃの端部に設けた端子部８ｄが高電圧源側
に接続されている。上記基板７の他方の面７ｂには、上
記駆動電極３ａ，３ｂ，３ｃとほぼ直交する向きに接続
用電極８ｅを設け、基板７に設けた貫通孔９，９…に配
置した導電部材１０により、Ｗ相の駆動用電極３ｃを接
続用電極８ｅに接続しており、接続用電極８ｅの端部に
設けた端子部８ｆがリレーを介して高電圧源側に接続し
ている。また、上記固定子４も移動子１と同様の構造で
あり、櫛歯状に駆動用電極６ａ，６ｂ，６ｃを設けてい
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、移動子１や固
定子４を、上記のように基板７上に駆動電極３ａ〜３
ｃ，６ａ〜６ｃを櫛歯状に配置した構造とした場合、以
下の不都合がある。まず、駆動用電極３ａ，３ｂの接続
用電極８ａ，８ｃが基板７の左右両端部に形成されてい
るため、幅Ｗが異なる移動子１、固定子４では接続用電
極８ａ，８ｃの位置も異なる。よって、幅Ｗ方向の寸法
の異なる複数種類の移動子１や固定子４が必要である場
合には、その幅Ｗに応じて基板７上に駆動用電極３ａ〜
３ｃ，６ａ〜６ｃや接続用電極８ａ，８ｃ，８ｅを形成
した複数種類の移動子１や固定子４を製作する必要があ
り、製造コストが増大する一因となる。また、移動子
１、固定子４の形状が異なる場合にも、その形状毎に、
複数種類の移動子１や固定子４を製作する必要があり、
製造コストが増大する一因となる。

【０００７】また、移動子１と固定子４の駆動用電極３
ａ〜３ｃ，６ａ〜６ｃの幅ｄ１及び間隔ｅ１が同一パタ
ーンである場合には、移動子１と固定子４は同一構造の
ものを使用することができるが、上記各相の駆動用電極
３ａ〜３ｃを高電圧源側と接続する端子部８ｂ，８ｄ，
８ｆは基板７の図中上下方向一端側に設けられているた
め、移動子１と固定子４の駆動用電極３ａ〜３ｃ，６ａ
〜６ｃの幅ｄ１及び間隔ｅ１のパターンが図７中左右方
向（矢印Ｈで示す。）に１８０°対称な場合であって
も、移動子１と固定子４は同一構造のものを使用するこ
とができない。すなわち、移動子１と固定子４の駆動用
電極３ａ〜３ｃ，６ａ〜６ｃの幅ｄ１及び間隔ｅ１のパ
ターンが図７中左右方向に対称な場合、移動子１に対し
て固定子４を図７中左右方向１８０°反転させて配置す
ると、駆動用電極３ａ〜３ｃ，８ａ〜８ｃは所望のパタ
ーンとなるが、上記端子部８ｂ，８ｄ，８ｆの位置が、
移動子１と固定子４で左右反対側に位置することになる
ため、上記移動子１と固定子４の駆動用電極３ａ〜３
ｃ，６ａ〜６ｃの幅ｄ１及び間隔ｅ１のパターンが同一
の場合と高電圧側との配線が相違することになり、静電
アクチュエータ全体の構造を変更する必要が生じる。よ
って、この場合、移動子１と固定子４を別々に製造する
必要があり、製造コストが増大する一因となる。

【０００８】本発明は、上記静電アクチュエータにおけ
る問題を解決し、幅方向の寸法が異なる数種類の移動子
や固定子が必要となる場合や、固定子と移動子の駆動用
電極の幅及び間隔のパターンが異なる場合の製造コスト
の低減を図ることを目的としてなされたものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】従って、請求項１は、複
数の駆動用電極を配設した固定子と、複数の駆動用電極
を配設し、上記固定子と対向して配置される移動子とを
備え、上記固定子の駆動用電極と移動子の駆動用電極の
いずれか一方に極性を固定して電圧を印加すると共に、
いずれか他方に極性を切り替えて電圧を印加し、移動子
の駆動用電極と固定子の駆動用電極の間に生じる静電気
による吸引力、反発力により移動子を固定子に対して駆
動する構成とした静電アクチュエータであって、上記固
定子及び移動子は、基板の一方の面に間隔をあけて帯状
の駆動用電極を複数個設けると共に、基板の他方の面に
駆動用電極と交差するように帯状の接続用電極を複数個
設け、基板を一方の面から他方に面に貫通するように設
けた貫通孔に導電部材を配置して、駆動用電極と接続用
電極を接続する構成としていることを特徴とする静電ア
クチュエータを提供するものである。

【００１０】

【作用】請求項１の静電アクチュエータでは、固定子及
び移動子は、基板の一方の面に間隔をあけて帯状の駆動
用電極を複数個設けると共に、基板の他方の面に駆動用
電極と交差するように帯状の接続用電極を複数個設け、
基板を一方の面から他方に面に貫通するように設けた貫
通孔に導電部材を配置して、駆動用電極と接続用電極を
接続する構成としているため、長尺な帯状の基材の一方
の面に駆動用電極を設けると共に、他方の面に接続用電
極を設けておいて、所望の位置、間隔で切断すれば、所
望の幅、形状を有する移動子や固定子を製造することが
できるため、製造コストの低減を図ることができる。

【００１１】請求項２に静電アクチュエータでは、上記
のように移動子及び固定子の接続用電極の両端に端子部
を設けているため、移動子と固定子の駆動用電極の幅及
び間隔のパターンが対称である場合に、上記一方の面に
駆動用電極を設けると共に、他方の面に接続用電極を適
宜間隔を設けた長尺な基板から、端子部が基板の反対側
に位置するように移動子と固定子を切り出し、この移動
子と固定子１８０°反転させて配置すればよい。

【００１２】

【実施例】次に、図面に示す実施例に基づいて本発明に
ついて詳細に説明する。図１及び図２は、本発明の第１
実施例に係る静電アクチュエータを示している。この静
電アクチュエータは、移動子１１、固定子１２、制御手
段１３、操作スイッチ１４及び高電圧源１５を備えてい
る。

【００１３】移動子１１は、複数の駆動用電極１７ａ，
１７ｂ，１７ｃを備え、これらの駆動用電極１７ａ，１
７ｂ，１７ｃを２つ置きに位置する電極１７ａ，１７
ｂ，１７ｃ毎に互いに接続して３相（ａ相、ｂ相、ｃ
相）とし、さらに、ａ相の駆動用電極１７ｂとｂ相の駆
動用電極１７ｃを接続して２相としている。

【００１４】上記固定子１２は、複数の駆動用電極２０
ａ，２０ｂ，２０ｃを備え、これらの駆動用電極２０
ａ，２０ｂ，２０ｃを２つ置きに位置する電極２０ａ，
２０ｂ，２０ｃ毎に互いに接続して３相の（Ｕ相、Ｖ
相、Ｗ相）としている。

【００１５】上記移動子１１の電極１７ａ〜１７ｃのう
ち、ａ相及びｂ相の駆動用電極１７ａ，１７ｂはリレー
Ｒ１に接続されている。このリレーＲ１は制御手段１３
からの指令に応じてａ側とｂ側に切り替えられ、ａ側に
切り替えられるとａ相の駆動用電極１７ａが高電圧源１
５の“−”に接続され、ｂ側に切り替えられるとａ相の
駆動用電極１７ａが電位“０”に接続される。ｃ相の駆
動用電極１７ｃはリレーＲ２に接続されている。このリ
レーＲ２は、制御手段１３からの指令に応じてａ側とｂ
側に切り替えられ、ａ側に切り替えられるとｂ相の駆動
用電極１７ｂが高電圧源１５の“＋”に接続され、ｂ側
に切り替えられると、ｂ相の駆動用電極１７ｂが電位
“０”に接続される。

【００１６】上記固定子１２の駆動用電極２０ａ〜２０
ｃのうち、Ｕ相の駆動用電極２０ａはリレーＲ３に接続
されている。このリレーＲ３は、制御手段１３の指令に
応じてｃ側とｄ側とに切り替えられ、ｃ側に切り替わる
とＵ相の駆動用電極２０ａがリレーＲ６，Ｒ９側に接続
され、ｄ側に切り替わるとＵ相の駆動用電極２０ａが電
位“０”に接続される。リレーＲ６，Ｒ９はそれぞれ高
電圧源１５の“＋”、“−”に接続されており、上記制
御手段１３からの指令に応じてＵ相の駆動用電極２０ａ
と高電圧源１５の“＋”側、“−”側との間を連通、遮
断する。上記固定子１２のＶ相の駆動用電極２０ｂは、
上記Ｕ相の電極２０ａと同様に、リレーＲ４，Ｒ７，Ｒ
１０を介して高電圧源１５に接続されている。また、上
記固定子１２のＷ相の駆動用電極２０ｃも、リレーＲ
５，Ｒ８，Ｒ１１を介して高電圧源１５に接続されてい
る。

【００１７】この静電アクチュエータは、操作スイッチ
１３が“オン”状態となると、上記制御手段１３がリレ
ーＲ１〜Ｒ１１を切り替えて、上記図８に示すように、
移動子１１の駆動用電極１７ａ〜１７ｃに対して極性を
固定して高電圧を印加する一方、固定子１２の駆動用電
極２０ａ〜２０ｃに対して極性を切り替えて高電圧を印
加し、移動子１１の駆動用電極１７ａ〜１７ｃと固定子
１２の電極２０ａ〜２０ｃの間に作用する静電気による
吸引力、反発力により移動子１１を駆動する。

【００１８】まず、固定子１２のＵ相の駆動用電極２０
ａに対しては、第１ステップＳ１は“＋”、第２ステッ
プＳ２は“−”、第３ステップＳ３は“＋”というパタ
ーンで高電圧を印加する。また、Ｖ相の電極２０ｂ、Ｗ
相の電極２０ｃに対しては、上記Ｕ相の駆動用電極１７
ａよりもそれぞれ１ステップ分、２ステップ分だけ位相
を進めて、同一パターンで高電圧を印加する。かかる高
電圧の印加により、移動子１１の駆動用電極１７ａ〜１
７ｃと固定子１２の電極２０ａ〜２０ｃとの間に静電気
による吸引力、反発力が作用し、第１ステップから第３
ステップＳ１，Ｓ２，Ｓ３の各ステップ毎に、移動子１
１は、上記駆動用電極１７ａ〜１７ｃ，２０ａ〜２０ｃ
の間隔ｅ２の分だけ図中左側に移動する。

【００１９】第１実施例では移動子１１及び固定子１２
は、同一の構造である。以下、図２（Ａ），（Ｂ）に基
づいて、移動子１１の構造を説明する。移動子１１は、
ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等の樹脂製の膜
体からなる基板２１を備えている。この基板２１は、図
２中上方側の幅Ｗ１より下方側の幅Ｗ２を大きく設定し
た台形状であり、長さＬ方向の両端部２１ａ，２１ｂの
うち、図２中下方側の端部２１ｂの幅Ｗ１，Ｗ２方向の
中央部分に、矩形状の端子配置部２１ｃを設けている。
基板２１の一方の面２１ｄには、銅等の導電体で形成さ
れた膜状電極からなる駆動用電極１７ａ，１７ｂ，１７
ｃ，…，１７ａ，１７ｂ，１７ｃを設けており、これら
の駆動用電極１７ａ，１７ｂ，１７ｃは同一形状であ
り、一定の幅ｄ２を有する細長い帯状である。これらの
駆動用電極１７ａ，１７ｂ，１７ｃは基板２１の長さＬ
方向に一定の間隔ｅ２をあけて互いに平行に配置してい
る。

【００２０】上記基板２１の他方の面２１ｄには、上記
駆動用電極１７ａ，１７ｂ，１７ｃを相互に接続するた
めの、接続用電極２２ａ，２２ｂ，２２ｃを設けてい
る。この接続用電極２２ａ，２２ｂ，２２ｃは、上記駆
動用電極１７ａ，１７ｂ，１７ｃと同様に銅等の導電体
で形成された膜状体からなる。接続用電極２２ａ，２２
ｂ，２２ｃは一定の幅ｄ２を有する細長い長方形状であ
り、駆動用電極１７ａ，１７ｂ，１７ｃの長さ方向中央
部分と対応する位置に、これらの駆動用電極１７ａ，１
７ｂ，１７ｃとほぼ直交する方向、すなわち基板２１の
長さＬ方向に延在するように設けている。

【００２１】駆動用電極１７ａと接続用電極２２ａが交
差する部分、駆動用電極１７ｂと接続用電極２２ｂが交
差する部分、及び駆動用電極１７ｃと接続用電極２２ｃ
が交差する部分には、基板２１に一方側の面２１ｄから
他方側の面２１ｅに貫通する貫通孔２１ｆを設けてお
り、この貫通孔２１ｆに配置した銅等の導電性材料から
なる導電部材２４により各駆動用電極１７ａ，１７ｂ，
１７ｃをそれぞれ接続用電極２２ａ，２２ｂ，２２ｃに
接続している。上記接続電極２２ａ，２２ｂ，２２ｃ
は、それぞれ電極１７ａ，１７ｂ，１７ｃ…をａ相、ｂ
相、ｃ相毎に接続するリード線として機能し、上記基板
２１の端子配置部２１ｃに位置する接続用電極２２ａ，
２２ｂ，２２ｃの端部を、駆動用電極１７ａ，１７ｂ，
１７ｃに印加する極性を切り替えるためのリレーＲ１，
Ｒ２側に接続される端子部２３ａ，２３ｂ，２３ｃとし
ている。

【００２２】上記基板２１の両面２１ｄ，２１ｅには、
駆動用電極１７ａ〜１７ｃ、接続用電極２２ａ〜２２ｃ
を被覆するように、絶縁層２５を設けている。図２
（Ａ）に示すように、基板２１の上方側の端部２１ａに
は、接続用電極２２ａ〜２２ｃ及び基板２１の端面を覆
うように絶縁層２５を設け、接続用電極２２ａ〜２２ｃ
を保護している。同様に、基板２１の左右両側の端部２
１ｈ，２１ｉでも、駆動用電極１７ａ〜１７ｃ及び基板
２１の端面を覆うように絶縁層２４を設け、駆動用電極
１７ａ〜１７ｃの端面を保護している。

【００２３】上記したように第１実施例では、移動子１
１と固定子１２は同一構造であるが、固定子１２の場合
には、図２中の駆動用電極１７ａ〜１７ｃがそれぞれ固
定子１２のＵ相、Ｖ相及びＷ相の電極２０ａ〜２０ｃと
なる。

【００２４】上記移動子１１及び固定子１２を製造する
場合には、まず、図３に示すように、長尺な帯状の基材
３０の一方の面３０ａに、この基板３０の長さ方向に延
在するように、膜状電極３１ａ，３１ａ，３１ｂ（この
膜状電極３１ａ，３１ｂ，３１ｃは、移動子１１の場合
には駆動用電極１７ａ，１７ｂ，１７ｃとなり、固定子
１２の場合には駆動用電極２０ａ，２０ｂ，２０ｃとな
る。）を上記した幅ｄ１及び間隔ｅ１で形成する。また
基板３０の他方の面３０ｂに所定の間隔をあけて膜状電
極３３ａ，３３ｂ，３３ｃ（この膜状電極３３ａ，３３
ｂ，３３ｃが接続用電極２２ａ，２２ｂ，２２ｃとな
る。）を形成する。このとき、膜状電極３３ａ，３３
ｂ，３３ｃの両端部３４ａ，３４ｂは、上記一方の面３
０ａに設けた膜状電極３１ａ，３１ｂ，３１ｃ…の上端
及び下端から突出させる。

【００２５】次に、上記膜状電極３３ａ，３３ｂ，３３
ｃを含むように、図３中、二点鎖線で示す一対の切断線
Ｘ１，Ｘ２で上記帯状の基板３０を切断し、図４に示す
ように台形状の基板２１を切り出す。この図４の状態
で、基板２１の所定の位置に貫通孔２１ｆを設け、さら
に、この貫通孔２１ｆに導通部材２４を配置し、膜状電
極３２ａ，３２ｂ，３２ｂと膜状電極３３ａ，３３ｂ，
３３ｃを接続する。さらに、図４中一点鎖線Ｙ１，Ｙ２
で示すように、基板２１を切断して、所定の形状に形成
した後、基板２１の両面２１ｄ，２１ｅに上記絶縁層２
５を形成する。

【００２６】このように本実施例に係る移動子１１及び
固定子１２は一つ長尺な帯状の基材３０を切断すること
により製作することができる。よって、図３に示すよう
に、幅Ｗ１’，Ｗ２’が異なる寸法が異なる移動子１１
や固定子１２を製作する場合には、基材３０から基板２
１を切断するときに図３中Ｘ３，Ｘ４で示すように切断
線の位置を異ならせればよい。また、図２に示すような
台形状でなく、長方形状の固定子１１や固定子１２を製
作する場合にも、図３中切断線Ｘ５，Ｘ６で示すように
基板３０から基板２１を切り出すときの切断線Ｘ５，Ｘ
６の設定を変えるだけでよい。このように、本実施例で
は、幅や形状が異なる数種類の移動子１１や固定子１２
を一つの基材３０から容易に製作することができ、製造
コストの低減を図ることができる。

【００２７】また、本実施例では、図５（Ａ），（Ｂ）
に示すように、移動子１１’と固定子１２’の駆動用電
極１７ａ〜１７ｃ，２０ａ〜２０ｃの幅及び間隔のパタ
ーンが矢印Ｈで示す方向に対称な場合にも、同一の基材
３０から形成することができる。上記図５（Ａ）に示す
移動子１１’では、上記図２の示すように駆動用電極１
７ａ〜１７ｃの幅ｄ２及び間隔ｅ２が一定の場合に対し
て、ｂ相の電極１７ｂをｆだけ図中上方にシフトした位
置に位置するように、駆動用電極１７ａ〜１７ｃを配置
している。一方、上記図５（Ｂ）に示す移動子１２’で
は、駆動用電極２０ａ〜２０ｃの幅ｄ２及び間隔ｅ２が
一定の場合に対して、Ｖ相の電極２０ｂをｆだけ図中下
方にシフトした位置に位置するように、駆動用電極１７
ａ〜１７ｃを配置している。駆動用電極１７ａ〜１７
ｃ，２０ａ〜２０ｃの幅及び間隔を上記のように設定す
れば、移動子１１’と固定子１２’では駆動用電極の幅
及び間隔のパターンは矢印Ｈで示す方向に１８０°対称
である。

【００２８】この場合、基材３０を図３の切断線Ｘ１，
Ｘ２で切断して移動子１１’を形成する一方、基材３０
を図３の切断線Ｘ２，Ｘ７で切断して、上記移動子１
１’に対して図３中上下方向が逆にして固定子１２’を
形成すれば、図５（Ａ），（Ｂ）で示すように、１８０
°対称な駆動電極のパターンを有する移動子１１’と固
定子１２’が得られる。本実施例では、上記のように駆
動電極１７ａ〜１７ｃ，２０ａ〜２０ｃの幅及び間隔の
パターンが対称な場合にも、一つの基材３０から移動子
１１’と固定子１２’の両方を製作することができるた
め、製造コストの低減を図ることができる。

【００２９】なお、本発明は、上記実施例に限定される
ものではなく、種々の変形が可能である。例えば、図６
に示すように、一対の接続用電極４１ａ，４１ｂを設
け、各接続用電極４１ａ，４１ｂに１つおきに接続する
駆動用電極４２ａ，４２ｂ…を接続した２相構造として
もよい。この場合も、移動子１１’’、固定子１２’’
の幅方向の寸法や形状が異なる場合にも一つの基材から
製作することができ、かつ、移動子１１’’と固定子１
２’’の駆動用電極４２ａ，４２ｂの配設のパターンが
対称である場合にも一つの基材から移動子１１’’と固
定子１２’’の両方を製作することができる。

【００３０】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１の静電アクチュエータでは、固定子及び移動子は、基
板の一方の面に間隔をあけて帯状の駆動用電極を複数個
設ける共に、基板の他方の面に駆動用電極と交差するよ
うに帯状の接続用電極を複数個設け、基板を一方の面か
ら他方に面に貫通するように設けた貫通孔に導電部材を
配置して、駆動用電極と接続用電極を接続する構成とし
ているため、長尺な帯状の基材の一方の面に駆動用電極
を設けると共に、他方の面に接続用電極を適宜間隔を設
けておいて、所定幅で切断すれば、移動子と固定子の両
方を形成できるため、製造コストの低減を図ることがで
きる。

【００３１】また、請求項１の静電アクチュエータで
は、上記のように長尺な帯状の基板の一方の面に駆動用
電極を設けると共に、他方の面に接続用電極を適宜間隔
を設けておいて、所望の寸法、形状に切断すれば寸法、
形状の異なる移動子及び固定子を製造することができる
ため、製造コストの低減を図ることができる。

【００３２】さらに、請求項１の静電アクチュエータで
は、移動子と固定子の電極の幅及び間隔のパターンが対
称である場合には、上記長尺な基材から、対称な位置関
係で移動子及び固定子を切り出し、対称に配置すればよ
いため、製造コストの低減を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係る静電アクチュエータを
示す概略回路図である。

【図２】（Ａ）は移動子の構造を示す平面図、（Ｂ）
は（Ａ）のII−II線での部分断面図である。

【図３】移動子及び固定子を製造するための基材を示
す平面図である。

【図４】基材から切り出した移動子、固定子を示す平
面図である。

【図５】動用電極の配設のパターンが移動子と固定子
である場合を示し、（Ａ）は移動子を示す平面図、
（Ｂ）は固定子を示す平面図である。

【図６】本発明の変形例を示す平面図である。

【図７】従来の静電アクチュエータを示す概略図であ
る。

【図８】静電アクチュエータの作動を説明するための
波形図である。

【図９】従来の静電アクチュエータにおける移動子の
構造を示す平面図である。

【符号の説明】

１１移動子１２固定子１７ａ〜１７ｃ，２０ａ〜２０ｃ駆動用電極２１基板２１ｆ貫通孔２２ａ〜２２ｃ接続用電極２４絶縁層３０基材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の駆動用電極を配設した固定子と、
複数の駆動用電極を配設し、上記固定子と対向して配置
される移動子とを備え、上記固定子の駆動用電極と移動
子の駆動用電極のいずれか一方に極性を固定して電圧を
印加すると共に、いずれか他方に極性を切り替えて電圧
を印加し、移動子の駆動用電極と固定子の駆動用電極の
間に生じる静電気による吸引力、反発力により移動子を
固定子に対して駆動する構成とした静電アクチュエータ
であって、上記固定子及び移動子は、基板の一方の面に間隔をあけ
て帯状の駆動用電極を複数個設けると共に、基板の他方
の面に駆動用電極と交差するように帯状の接続用電極を
複数個設け、基板を一方の面から他方に面に貫通するよ
うに設けた貫通孔に導電部材を配置して、駆動用電極と
接続用電極を接続する構成としていることを特徴とする
静電アクチュエータ。