JPH08146426A - 液晶表示素子の製造方法およびその装置 - Google Patents

液晶表示素子の製造方法およびその装置

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JPH08146426A
JPH08146426A JP31241894A JP31241894A JPH08146426A JP H08146426 A JPH08146426 A JP H08146426A JP 31241894 A JP31241894 A JP 31241894A JP 31241894 A JP31241894 A JP 31241894A JP H08146426 A JPH08146426 A JP H08146426A
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rubbing
liquid crystal
crystal display
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alignment
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JP31241894A
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English (en)
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Yasushi Nakajima
靖 中島
Manabu Takei
学 武居
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Casio Computer Co Ltd
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Casio Computer Co Ltd
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
    • G02F1/133753Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers with different alignment orientations or pretilt angles on a same surface, e.g. for grey scale or improved viewing angle

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡易なラビング配向処理法と装置でもって、
例えば1画素内に液晶分子の配向形態が異なる複数種の
ミクロドメインを形成し、観察方向の制限が少なくて視
野角を拡大でき、高表示品位の液晶表示素子が得られる
製造方法とその製造装置を提供する。 【構成】 数種の刷毛ストライプ(毛足区画)A1
2,A3・・・、B1,B2,B3・・・が交互に配列さ
れたラビングシート42を回転ローラ40に巻着してラ
ビング配向処理の設定条件に基づいて回転駆動させ、一
方と他方の各基板10、20上の配向膜12、22をラ
ビングシート42で擦って表面に刷毛ストライプA1
2,A3・・・、B1,B2,B3・・・に対応した異種
のラビング帯域a1,a2,a3・・・、b1,b2,b3
・・を交互に形成し、一方の配向膜12に形成された上
記ラビング帯域が他方の配向膜の異なる種類のラビング
帯域に対向するよう、両基板10、20を対向させて組
み立てる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、液晶表示素子の製造
方法およびその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図8は、一般に液晶表示素子として知ら
れるものの一例を示している。ガラス等による透明な2
枚の基板1、1が上下方向に対向配置され、相手基板に
対向するそれぞれの面にはITO膜などによる透明電極
2、2がセグメント表示方式もしくはマトリクス表示方
式でパターン形成されている。透明電極2、2上には基
板間の短絡を防止するために絶縁膜3、3が形成され、
この絶縁膜3、3の上から液晶分子の配向方向を規制す
るための配向膜4、4が形成されている。このように形
成された両基板1、1を枠状シール6を介して接合し、
これらに囲まれた空間内に液晶5を封入することで液晶
表示素子が得られ、それぞれの透明電極2、2が液晶5
を介して対向する1区画領域が1画素となる。配向膜4
は、その表面に配向処理法の一つであるラビング処理法
でもって配向処理が施され、その配向処理の方向に沿っ
て近傍の液晶分子を配向させる。配向方向は、例えばT
FT(薄膜トランジスタ)駆動式の液晶表示素子の場
合、基板の一方と他方の配向処理方向が互いに90゜に
直交するよう設定されていて、これによって液晶分子の
個々の配向が基板の一方側から他方側へ向かって漸次変
化し、最終的には液晶分子全体で90゜捩れるようにし
て並んだ配列状態となる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】こうしたTFT駆動式
の液晶表示素子において、液晶分子が基板に対してなす
プレチルト角が一定であるモノドメイン配向形態の場
合、電圧(V)と透過率(T)の関係は図9のようにな
る。すなわち、印加電圧が電気光学的でいうしきい値電
圧(オン電圧)Vthよりも低くオフ電圧Vaよりも高
いとき、それぞれTN型の液晶表示素子ではその視角依
存性が小さい。また、印加電圧がVthとVaとの間の
中間調をとるときは視角依存性が大きくなり、特に画面
の上下方向でのコントラスト低下や色調反転などが発生
し、有効視角領域(視野角)が非常に狭くなるという問
題があった。したがって、この発明の目的は、全ての観
察方向で視野角が広く高表示品位の液晶表示素子が得ら
れる製造方法とその製造装置を提供するものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明による液晶表示素子の製造方法は、一対の
基板に夫々透明電極と液晶分子の配向を規制する配向膜
とを積層し、各配向膜の表面にラビングによる配向処理
を施した後各配向膜を対向させて一対の基板を所定の間
隙を隔てて接合し、対向する配向膜間に液晶を封入し、
双方の基板の各透明電極が液晶を介して対向する1画素
領域内に液晶の配向状態が異なる複数の微小領域を形成
するにあたり、毛足特性が異なる複数種の毛足区画を画
素幅に対応したピッチで同種の毛足区画が位置する配列
で帯状に形成してなるラビングシートを回転ローラに巻
着し、この回転ローラを所定の速度で回転させつつラビ
ング処理すべき基板に対し所定の相対速度で所定方向に
移動させ、基板の配向膜表面にラビングシートの毛足を
摺擦させることにより、各基板の配向膜表面に毛足区画
に対応して複数種のラビング帯域を形成し、ラビング処
理された各基板を、少なくとも1画素内で種類の異なる
ラビング帯域が対向する微小領域が2個所以上形成され
るよう一対の基板を接合する。この発明の液晶表示素子
の製造方法では、一対の基板の一方は、毛足区画の長手
方向が回転ローラの回転軸方向に沿うようにラビングシ
ートを巻着してラビング処理すると共に、他方の基板
は、毛足区画の長手方向が回転ローラの回転軸方向と直
角の周方向に沿うようにラビングシートを巻着してラビ
ング処理することができる。また、この発明の液晶表示
素子の製造方法では、一対の基板の双方ともに、毛足区
画の長手方向が回転軸方向に沿うようにラビングシート
を巻着するか、あるいは毛足区画の長手方向が回転軸方
向と直角の周方向に沿うようにラビングシートを巻着し
た回転ローラによってラビング処理することができる。
また、この発明の液晶表示素子の製造方法では、一対の
基板を夫々の配向膜にラビングシートを摺擦させた際の
回転ローラの移動方向が直交するように接合させること
ができる。一方、この発明の液晶表示素子の製造装置
は、対向配置した一対の基板の各対向面に夫々透明電極
と液晶分子の配向を規制する配向膜を設け、この配向膜
の表面を、透明電極が対向する1画素領域内に液晶の配
向形態の異なる複数の微小領域が形成されるようにラビ
ング処理する装置であって、所定の回転速度で駆動回転
される回転ローラの周面に、毛足特性が異なる複数種の
毛足区画を画素幅に対応したピッチで同種の毛足区画が
位置する配列で帯状に形成してなるラビングシートを巻
着したラビング装置を備えている。また、この発明の液
晶表示素子の製造装置にあっては、ラビングシートの毛
足区画をその長手方向が回転ローラの回転軸方向に沿う
ように形成したラビング装置か、あるいはラビングシー
トの毛足区画をその長手方向が回転ローラの回転軸方向
と直角の周方向に沿うように形成したラビング装置を備
えて構成できる。また、この発明の液晶表示素子の製造
装置では、毛足区画毎に異なる毛足特性が植毛密度、材
質、毛足太さであるようにすることができる。
【0005】
【作用】この発明の製造方法では、回転ローラをラビン
グ配向処理の設定条件に基づいて回転駆動させ、一方と
他方の各基板上の配向膜をラビングシートで擦って表面
に毛足区画に対応した異種のラビング帯域を交互に形成
する。一方の配向膜に形成された前記ラビング帯域のラ
ビング方向が他方の配向膜のラビング帯域のラビング方
向に直交するよう、一方と他方の基板を対向させて組み
立てる。また、このとき基板間の少なくとも1画素の領
域で種類の異なるラビング帯域が対向する微小領域が2
個所以上形成されるようにして一対に基板を接合させ
る。これにより、1画素内に配向状態の異なる複数のド
メインが得られ、視角依存性が小さく、また方向制限も
少なく視野角を拡大させることができる。また、製造装
置では、ラビング配向処理の設定条件に基づいて回転駆
動する回転ローラにラビングシートを巻着した簡易なも
のであり、交互に配列した数種の毛足区画を有するラビ
ングシートとしては、例えば、複数の回転ローラに対し
てそれらの外周に多様に組み合わせが可能で対応性が広
く、配向膜を擦ってその表面に毛足区画に対応した異種
のラビング帯域を交互に形成することで、1画素に液晶
分子の配向形態が異なる複数種の微小領域を簡易に形成
できる。
【0006】
【実施例】以下、この発明による液晶表示素子の製造方
法およびその装置の実施例について図面に基づいて説明
する。図1は、実施例の液晶表示素子における1画素の
区画を拡大して示す断面図である。この液晶表示素子を
製造する方法の要旨は、対向配置した2枚の基板10、
20の各対向面にそれぞれ透明電極11、21を設け、
これら透明電極11、21上に設けられた配向膜12、
22の表面にラビング配向処理を施してから、基板1
0、20間に液晶30を封入し、双方の透明電極11、
21が液晶30を介して対向する区画領域を1画素とす
る。
【0007】図2は、上記配向膜12、22の各表面に
ラビング配向処理を施すラビング装置を示す。図のよう
に、毛足特性の異なる刷毛群44、45をそれぞれ1画
素幅の半分の幅を有する帯状に延在させてなる2種類
の、この発明でいう毛足区画としての刷毛ストライプA
とBを交互に配列したラビングシート42が回転ローラ
40に巻着してある。ラビングシート42は、刷毛スト
ライプA、Bの長手方向がローラ軸方向と平行するよう
に回転ローラ40に巻着される。この回転ローラ40を
ラビング条配向処理の設定条件に基づいて回転駆動さ
せ、ラビングシート42により配向膜12、22を擦っ
て表面に刷毛ストライプA,Bに対応した2種のラビン
グ帯域a1,a2,a3・・・とb1,b2,b3・・・を交
互に形成し、基板10、20に形成されたそれぞれのラ
ビング帯域が直交するように2枚の基板10、20をシ
ール材6(図8参照)を介して貼り合わせ、これら2枚
の基板10、20間に液晶30を封入してセルを組み立
てるものである。
【0008】また、図3は、この発明の製造装置の要部
であるラビング配向処理装置において、図2とは形態の
異なる回転ローラ50を示している。図2の回転ローラ
40の場合、回転軸線C上で図示せぬラビング装置駆動
源に連結されて回転自在に支持され、ローラ本体41の
外周面の全周にわたってラビングシート42が巻着され
ている。このラビングシート42は、実施例では、台シ
ート43をベースにしてこの上に毛足特性の異なる2種
の刷毛群44、45を、刷毛ストライプA(A1,A2
3・・・)と(B,B2,B3・・・)が画素幅の半分
のピッチで交互に配置して形成されるように植毛したも
のである。このように、台シート43上の刷毛群44、
45を植毛した形態に限らず、台シート43を用いず刷
毛群44、45を交互に織って形成した織布としてもよ
い。この異種の毛足区画A(A1,A2,A3・・・)と
B(B1,B2,B3・・・)はローラ回転軸線Cに平行
に配置され、全体で縞模様を形成している。
【0009】図3の回転ローラ50の場合も同じく、回
転軸線C上で図示せぬラビング装置駆動源に連結されて
回転自在に支持され、ローラ本体51の外周全周にわた
ってラビングシート52が巻着されている。このラビン
グシート52は上記ラビングシート42と異なるもの
で、台シート53上の毛足特性の異なる2種の刷毛群5
4、55による毛足区画A(A1,A2,A3・・・)と
B(B1,B2,B3・・・)が、回転軸線Cに直角な周
方向の延在し、回転軸方向に交互に配置されたものであ
る。
【0010】一般に、ラビングシートの材料としては、
織布、ラバー、フェルト、刷毛等が用いられる。そし
て、毛足特性として、材質、植毛密度、毛足の長さや太
さ、あるいは弾性率等を異なったものにすることによ
り、ラビングシートにおける異なる刷毛群を形成するこ
とができる。その一例を示すと、表1のようになる。
【表1】
【0011】上記装置を用い、液晶表示素子を以下のよ
うに製造することができる。その一実施例として、例え
ば2種の回転ローラ40、50を用い、一方の基板10
に対しては回転ローラ40でラビング配向処理を施し、
他方の基板20に対しては回転ローラ50でラビング配
向処理する。このようにしてそれぞれ配向処理パターン
の異なる一方の基板10と他方の基板20を対向配置
し、基板10、20間に液晶30を封入して液晶セルを
組み立てるものである。
【0012】まず、一方の基板10において、例えばス
ピンコート装置に基板10をセットして回転数100〜500
rpmで回転させ、ポリイミドをN,Nジメチルホルムア
ミド等の溶媒に固形分濃度0〜10%の範囲で溶解した
ものを、回転中の基板10上に摘下して成膜する。かか
るスピンコーティング後、成膜厚を均一化して焼成する
ことでイミド化処理が行われる。但し、配向膜12を形
成する前に、一般的には透明電極11上に相手基板との
短絡防止のための絶縁膜(図示せず)を形成しておくこ
とが好ましい。
【0013】配向膜12が成膜された基板10は、一方
の回転ローラ40に対応して位置決めされてラビング配
向処理が施される。すなわち、回転ローラ40は、ラビ
ング方向、回転速度、処理回数、そして配向膜12に対
する押圧力など、様々なラビング配向処理の設定条件に
基づいて回転駆動する。また、駆動は配向膜12に対す
るローラの毛足押し込み量が一定になるような制御のも
とで行われる。回転ローラ40および基板10のいずれ
か一方を設定速度で移動させながら、図の矢印方向に回
転ローラ40が設定回転速度で回転する。基板10上の
配向膜12の表面は回転ローラ40上のラビングシート
42によって擦られ、図4に示すように、毛足特性の異
なる2種の刷毛ストライプA(A1,A2,A3・・・)
とB(B1,B2,B3・・・)に対応した異種のラビン
グ帯域a1,a2,a3・・・、b1,b2,b3・・・が配
向膜12の表面に交互に形成される。この場合、各ラビ
ング帯域a、bのラビング方向Rは各帯域の長手方向に
直角となる。ラビング帯域a1,a2,a3・・・とラビ
ング帯域b1,b2,b3・・・の各ピッチPは1画素に
ほぼ等しくされている。以上の工程踏まえて、基板10
上には数Å〜数千Åの厚さの配向膜12が形成され、こ
れを超音波を照射しつつ純水で洗浄する。
【0014】一方、他方の基板20の場合も同様に、ス
ピンコート装置に基板20をセットし、イミド化処理ま
で同じ工程と方法で配向膜22が形成される。配向膜2
2を成膜した基板20は図3の回転ローラ50に対応し
て位置決めされる。この場合の配向処理パターンは、図
5に示すように、毛足特性の異なる2種の刷毛ストライ
プA(A1,A2,A3・・・)とB(B1,B2,B3・・
・)に対応した異種のラビング帯域a1,a2,a3・・
・、b1,b2,b3・・・が配向膜22の表面に交互
に、回転ローラ50の回転軸線Cに直角な周方向に沿っ
て延在するように形成される。この場合、各ラビング帯
域a、bのラビング方向Rは各帯域の長手方向に平行と
なる。
【0015】次に、上述のように配向処理が施された基
板10、20を用いてセルを組み立てる。まず、一対に
基板10、20をそれらの各配向膜12、22が対向
し、各配向膜12、22に施されたラビング処理方向R
が互いに直交するように対向配置し、上記図8のように
シール材6を介して接合する。本例では、それぞれのラ
ビング帯域a、bが平行に重なるように一対の基板1
0、20を配置する。次いで、対向配置されスペーサで
所定の間隙に保持された一対の基板10、20間に液晶
30を注入し、液晶層厚(ギャップ)を調整した後、液
晶注入口を封止剤で封止することにより、液晶セルが得
られる。
【0016】1画素の区画を示す図1の液晶表示素子
は、以上のような実施例の製造方法で得られたものであ
る。基板10では配向膜12のラビング方向Rに沿って
近傍の液晶分子が配向され、基板20では配向膜22の
ラビング方向Rに沿って近傍の液晶分子が配向される。
その結果、1画素の区画において、液晶分子が基板1
0、20に対してなす角度、つまりプレチルト角度が異
なる異種の2つのミクロドメインが隣合って存在する構
造となる。すなわち、図6で模式図に示すように、1画
素の区画に、プレチルト角が異なるラビング帯域aとラ
ビング帯域bが対向する2つのミクロドメインD1、D2
が形成される。これを図1の模式的断面図で説明する
と、1画素の右半分のミクロドメインD1は、上側の基
板20側に低(low)プレチルト角αが得られるラビン
グ帯域a、下の基板10側に高(High)プレチルト角β
が得られるラビング帯域bがそれぞれ配置され、左半分
のミクロドメインD2はその逆の構成、つまり上側の基
板20側に高(High)プレチルト角βが得られるラビン
グ帯域b、下の基板10側に低(low)プレチルト角α
が得られるラビング帯域aがそれぞれ配置された構成と
なっている。ミクロドメインD1、D2は共に液晶分子が
90°にわたり捩じれるように並んではいるが、液晶層
厚方向における同じ位置での液晶分子の配向が異なって
おり、液晶分子の配向形態が異なる異種のミクロドメイ
ンである。
【0017】上記のように1画素に異種のラビング帯域
が対向し液晶配向状態が互いに異なる2つのミクロドメ
インD1、D2が形成された液晶表示素子によれば、ミク
ロドメインD1、D2が観察方向によるコントラストの低
下を互いに補償し合い、表示素子全体の視野角が拡大す
る。
【0018】また、この発明では、他の実施例として、
上記実施例のように2種の回転ローラ40、50を用い
ず、例えば図2の回転ローラ40のみ、あるいは回転ロ
ーラ50のみで、上下の基板10、20に同一のラビン
グ処理を施す製造方法も可能である。すなわち、両基板
10、20の各配向膜12、22にそれぞれ同一のラビ
ング帯域a1,a2,a3・・・、b1,b2,b3・・・を
形成して、形成後に双方のラビング方向が直交するよう
に両基板10、20を組み合わせることも可能である。
この場合、図7の模式図で示すように、同じラビング帯
域が対向するミクロドメインD3、D4が形成される(図
中斜線部)。これは低(low)プレチルト角が得られる
ラビング帯域aと、高(High)プレチルト角が得られる
ラビング帯域bとが対向するものではなく、視野角改善
にさほど寄与しない。しかし、この実施例では、上下の
ラビング帯域の種類が異なる図6で示されたようなミク
ロドメイD1、D2も形成されているから、これらにより
視角依存性が相当に解消され、視野角が拡大する。
【0019】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、この発
明の液晶表示素子の製造方法とその装置によれば、ラビ
ング配向処理法により、1画素中に液晶分子の配向状態
が異なる複数の液晶配向ドメインを容易に形成すること
ができる。これにより、観察方向によるコントラストの
低下を複数の液晶配向ドメインが相互に補償し合い、表
示素子全体としての視野角が拡大する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による製造方法と装置で得られた実施例
の液晶表示素子の1画素における断面図。
【図2】本発明の装置主要部となる回転ローラでのラビ
ング配向処理形態を示す斜視図。
【図3】別の形態の回転ローラを示す斜視図。
【図4】図2の回転ローラでラビング配向処理された配
向膜の表面を示す平面図。
【図5】図3の回転ローラでラビング配向処理された配
向膜の表面を示す平面図。
【図6】図2と図3の両回転ローラによりラビング配向
処理された異種の基板による液晶配向ドメインを概略的
に示した模式図。
【図7】図2の回転ローラ単独でラビング配向処理され
た同種の基板により形成される液晶配向ドメインを概略
的に示した模式図。
【図8】一例として示された一般的な液晶表示素子の断
面図。
【図9】液晶表示素子の電圧(V)と透過率(T)との
関係を示す特性グラフ。
【符号の説明】 10、20 基板 11、21 透明電極 12、22 配向膜 30 液晶 40、50 回転ローラ 42、52 ラビングシート A,B 刷毛ストライプ(毛足区画) a,b ラビング帯域

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一対の基板に夫々透明電極と液晶分子の
    配向を規制する配向膜とを積層し、各配向膜の表面にラ
    ビングによる配向処理を施した後各配向膜を対向させて
    一対の基板を所定の間隙を隔てて接合し、対向する配向
    膜間に液晶を封入し、双方の基板の各透明電極が液晶を
    介して対向する1画素領域内に液晶の配向状態が異なる
    複数の微小領域を形成した液晶表示素子の製造方法にお
    いて、 毛足特性が異なる複数種の毛足区画を画素幅に対応した
    ピッチで同種の毛足区画が位置する配列で帯状に形成し
    てなるラビングシートを回転ローラに巻着し、 この回転ローラを所定の速度で回転させつつラビング処
    理すべき基板に対し所定の相対速度で所定方向に移動さ
    せ、基板の配向膜表面に前記ラビングシートの毛足を摺
    擦させることにより、各基板の配向膜表面に前記毛足区
    画に対応して複数種のラビング帯域を形成し、 ラビング処理された一対の基板を、1画素内で種類の異
    なるラビング帯域が対向する微小領域が少なくとも2個
    所以上形成されるように接合することを特徴とする液晶
    表示素子の製造方法。
  2. 【請求項2】 前記毛足区画の長手方向が回転ローラの
    回転軸方向に沿うようにラビングシートを巻着して前記
    一対の基板の一方をラビング処理し、前記毛足区画の長
    手方向が回転ローラの回転軸方向と直角の周方向に沿う
    ようにラビングシートを巻着して他方の基板をラビング
    処理する請求項1記載の液晶表示素子の製造方法。
  3. 【請求項3】 前記一対の基板の双方を、前記毛足区画
    の長手方向が回転軸方向に沿うようにラビングシートを
    巻着した回転ローラによってラビング処理する請求項1
    記載の液晶表示素子の製造方法。
  4. 【請求項4】 前記一対の基板の双方を、前記毛足区画
    の長手方向が回転軸方向と直角の周方向に沿うようにラ
    ビングシートを巻着した回転ローラによってラビング処
    理する請求項1記載の液晶表示素子の製造方法。
  5. 【請求項5】 前記一対の基板を夫々の配向膜にラビン
    グシートを摺擦させた際の前記回転ローラの移動方向が
    直交するように接合させる請求項1乃至4記載の液晶表
    示素子の製造方法。
  6. 【請求項6】 対向配置した一対の基板の各対向面に夫
    々透明電極と液晶分子の配向を規制する配向膜を設け、
    この配向膜の表面を、透明電極が対向する1画素領域内
    に液晶の配向形態の異なる複数の微小領域が形成される
    ようにラビング処理する液晶表示素子の製造装置であっ
    て、 所定の回転速度で駆動回転される回転ローラの周面に、
    毛足特性が異なる複数種の毛足区画を画素幅に対応した
    ピッチで同種の毛足区画が位置する配列で帯状に形成し
    てなるラビングシートを巻着したラビング装置を備えた
    ことを特徴とする液晶表示素子の製造装置。
  7. 【請求項7】 前記ラビングシートの毛足区画をその長
    手方向が前記回転ローラの回転軸方向に沿うように形成
    したラビング装置を備えた請求項6記載の液晶表示素子
    の製造装置。
  8. 【請求項8】 前記ラビングシートの毛足区画をその長
    手方向が前記回転ローラの回転軸方向と直角の周方向に
    沿うように形成したラビング装置を備えた請求項6記載
    の液晶表示素子の製造装置。
  9. 【請求項9】 前記毛足区画毎に異なる毛足特性が植毛
    密度である請求項6乃至8記載の液晶表示素子の製造装
    置。
  10. 【請求項10】 前記毛足区画毎に異なる毛足特性が材
    質である請求項6乃至8記載の液晶表示素子の製造装
    置。
  11. 【請求項11】 前記毛足区画毎に異なる毛足特性が毛
    足太さである請求項6乃至8記載の液晶表示素子の製造
    装置。
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