JPH08146034A - 加速度検出装置 - Google Patents
加速度検出装置Info
- Publication number
- JPH08146034A JPH08146034A JP6286841A JP28684194A JPH08146034A JP H08146034 A JPH08146034 A JP H08146034A JP 6286841 A JP6286841 A JP 6286841A JP 28684194 A JP28684194 A JP 28684194A JP H08146034 A JPH08146034 A JP H08146034A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acceleration
- package substrate
- abnormality
- weight
- pedestal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P21/00—Testing or calibrating of apparatus or devices covered by the preceding groups
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/12—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by alteration of electrical resistance
- G01P15/122—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by alteration of electrical resistance by metal resistance strain gauges, e.g. wire resistance strain gauges
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/0825—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0828—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass for one single degree of freedom of movement of the mass the mass being of the paddle type being suspended at one of its longitudinal ends
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 装置の異常をすぐに検出し、測定の信頼性を
向上させる加速度検出装置を得る。 【構成】 パッケージ基板７ａ上の台座５に、片持ち式
に加速度検出梁３が設けられ、加速度検出梁３の先端に
設けられた重り６の振れにより生じるひずみを、４つの
ゲージ抵抗１からなるブリッジ回路１Ａを用いて検出す
る加速度検出装置において、台座５がパッケージ基板７
ａから剥離するという異常が起こると、重り６に設けら
れた異常検出用電極１２がＧＮＤであるパッケージ基板
７ａに電気的に接触することにより、出力がＬｏｗ（ま
たはＨｉｇｈ）レベルに固定され、異常を知らせる。
向上させる加速度検出装置を得る。 【構成】 パッケージ基板７ａ上の台座５に、片持ち式
に加速度検出梁３が設けられ、加速度検出梁３の先端に
設けられた重り６の振れにより生じるひずみを、４つの
ゲージ抵抗１からなるブリッジ回路１Ａを用いて検出す
る加速度検出装置において、台座５がパッケージ基板７
ａから剥離するという異常が起こると、重り６に設けら
れた異常検出用電極１２がＧＮＤであるパッケージ基板
７ａに電気的に接触することにより、出力がＬｏｗ（ま
たはＨｉｇｈ）レベルに固定され、異常を知らせる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、加速度検出装置に関
し、特に、自動車等に使用されるＡＢＳ（Antilock Bra
ke System）及びエアバックシステム等のための加速度
検出装置に関する。
し、特に、自動車等に使用されるＡＢＳ（Antilock Bra
ke System）及びエアバックシステム等のための加速度
検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来の加速度検出装置の構造を示
した断面図である。この従来の加速度検出装置は、ピエ
ゾ抵抗効果を利用したひずみゲージ形の加速度検出装置
であり、図４に示されるように、コバール等から成るパ
ッケージ基板７ａ上にシリコン等から成る台座５が設け
られており、台座５には、シリコン等から成り片持ち式
に一端が固定された加速度検出梁３が設けられている。
加速度検出梁３の台座５とは反対側の他端には重り６が
固着されており、また、加速度検出梁３上の一箇所には
４つのゲージ抵抗１からなるブリッジ回路１Ａが設けら
れている（図５参照）。ブリッジ回路１Ａは、この加速
度検出装置が実装されている自動車等の被検出体の加速
度による重り６の振れから生じる加速度検出梁３のひず
みを検出するためのセンサ手段である。動作については
後述する。ブリッジ回路１Ａが設けられている部分の加
速度検出梁３は、ひずみを検出するブリッジ回路１Ａの
感度を向上させるために薄肉化され、ダイアフラム４を
形成している。ダイフラム４は、このように、加速度検
出梁３を薄肉化して形成してもよいが、その場合に限ら
ず、別個に形成して加速度検出梁３と一体化するように
接合したものを用いてもよい。
した断面図である。この従来の加速度検出装置は、ピエ
ゾ抵抗効果を利用したひずみゲージ形の加速度検出装置
であり、図４に示されるように、コバール等から成るパ
ッケージ基板７ａ上にシリコン等から成る台座５が設け
られており、台座５には、シリコン等から成り片持ち式
に一端が固定された加速度検出梁３が設けられている。
加速度検出梁３の台座５とは反対側の他端には重り６が
固着されており、また、加速度検出梁３上の一箇所には
４つのゲージ抵抗１からなるブリッジ回路１Ａが設けら
れている（図５参照）。ブリッジ回路１Ａは、この加速
度検出装置が実装されている自動車等の被検出体の加速
度による重り６の振れから生じる加速度検出梁３のひず
みを検出するためのセンサ手段である。動作については
後述する。ブリッジ回路１Ａが設けられている部分の加
速度検出梁３は、ひずみを検出するブリッジ回路１Ａの
感度を向上させるために薄肉化され、ダイアフラム４を
形成している。ダイフラム４は、このように、加速度検
出梁３を薄肉化して形成してもよいが、その場合に限ら
ず、別個に形成して加速度検出梁３と一体化するように
接合したものを用いてもよい。
【０００３】また、加速度検出梁３上には、ゲージ抵抗
１の結線２ａとそれに接続された配線導体２ｂとが設け
られて、結線２ａと配線導体２ｂとが配線手段２を構成
している。また、電気信号を外部に出力するための出力
手段であるリードピン８がパッケージ基板７ａを貫通し
て設けられており、リードピン８とパッケージ基板７ａ
とは、ガラス部材２０等により電気的に絶縁されてい
る。また、パッケージ基板７ａをブリッジ回路１Ａの接
地端子にするためのリードピン９がパッケージ基板７ａ
と一体に形成されている。リードピン８及び９と配線手
段２とはワイヤ１０により接続されており、ブリッジ回
路１Ａで検出されたひずみを示す電気信号は、配線手段
２及びワイヤ１０を介して、リードピン８及び９に伝達
される。また、台座５、加速度検出梁３及び重り６等を
外部から保護するための鉄またはＳＰＣ等の金属から構
成されたカバー７ｂがパッケージ基板７ａに接合されて
おり、パッケージ基板７ａ及びカバー７ｂとは外装７を
構成している。
１の結線２ａとそれに接続された配線導体２ｂとが設け
られて、結線２ａと配線導体２ｂとが配線手段２を構成
している。また、電気信号を外部に出力するための出力
手段であるリードピン８がパッケージ基板７ａを貫通し
て設けられており、リードピン８とパッケージ基板７ａ
とは、ガラス部材２０等により電気的に絶縁されてい
る。また、パッケージ基板７ａをブリッジ回路１Ａの接
地端子にするためのリードピン９がパッケージ基板７ａ
と一体に形成されている。リードピン８及び９と配線手
段２とはワイヤ１０により接続されており、ブリッジ回
路１Ａで検出されたひずみを示す電気信号は、配線手段
２及びワイヤ１０を介して、リードピン８及び９に伝達
される。また、台座５、加速度検出梁３及び重り６等を
外部から保護するための鉄またはＳＰＣ等の金属から構
成されたカバー７ｂがパッケージ基板７ａに接合されて
おり、パッケージ基板７ａ及びカバー７ｂとは外装７を
構成している。
【０００４】図５は、図４の加速度検出装置の構成を示
す回路図である。上記外装７の外部に設けられている差
動増幅器１１の正の入力側に４つのゲージ抵抗１から成
るブリッジ回路１Ａの正の出力が接続され、負の入力側
にブリッジ回路１Ａの負の出力が接続されている。動作
について簡単に説明すれば、自動車等の被検出体の加速
度により、台座５を支柱にして加速度検出梁３に固着さ
れた重り６が動かされ、それによりダイアフラム４にひ
ずみが生じて、それをゲージ抵抗１が受けるとピエゾ抵
抗効果により抵抗値が変化し、ブリッジ回路１Ａの平衡
がくずれる。このとき、ブリッジ回路１Ａに電圧を印加
しておけば、不平衡分を電圧差として検出することがで
きるので、ブリッジ回路１Ａの正の出力と負の出力とを
差動増幅器１１に入力することにより、差動増幅器１１
の出力信号から加速度を測定することができる。
す回路図である。上記外装７の外部に設けられている差
動増幅器１１の正の入力側に４つのゲージ抵抗１から成
るブリッジ回路１Ａの正の出力が接続され、負の入力側
にブリッジ回路１Ａの負の出力が接続されている。動作
について簡単に説明すれば、自動車等の被検出体の加速
度により、台座５を支柱にして加速度検出梁３に固着さ
れた重り６が動かされ、それによりダイアフラム４にひ
ずみが生じて、それをゲージ抵抗１が受けるとピエゾ抵
抗効果により抵抗値が変化し、ブリッジ回路１Ａの平衡
がくずれる。このとき、ブリッジ回路１Ａに電圧を印加
しておけば、不平衡分を電圧差として検出することがで
きるので、ブリッジ回路１Ａの正の出力と負の出力とを
差動増幅器１１に入力することにより、差動増幅器１１
の出力信号から加速度を測定することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上のように構成され
た従来の加速度検出装置においては、自動車等の振動等
により、図６に示すように、台座５がパッケージ基板７
ａから剥離してしまうことがあるが、その場合において
も、ワイヤ１０が切断されていなければ、ブリッジ回路
１Ａからの電圧信号がリードピン８を介して差動増幅器
１１に入力され、差動増幅器１１からそれに基づく信号
が出力されてしまうので、台座５がパッケージ基板７ａ
から剥離しているという異常に全く気付かず、誤った加
速度を測定してしまうということがあった。
た従来の加速度検出装置においては、自動車等の振動等
により、図６に示すように、台座５がパッケージ基板７
ａから剥離してしまうことがあるが、その場合において
も、ワイヤ１０が切断されていなければ、ブリッジ回路
１Ａからの電圧信号がリードピン８を介して差動増幅器
１１に入力され、差動増幅器１１からそれに基づく信号
が出力されてしまうので、台座５がパッケージ基板７ａ
から剥離しているという異常に全く気付かず、誤った加
速度を測定してしまうということがあった。
【０００６】この発明は、上記のような課題を解決する
ためになされたものであり、台座５がパッケージ基板７
ａから剥離しているというような異常をすぐに検出する
ことができ、それにより、誤った加速度を検出してしま
うことを防ぎ、測定の信頼性を向上させた加速度検出装
置を得ることを目的とする。
ためになされたものであり、台座５がパッケージ基板７
ａから剥離しているというような異常をすぐに検出する
ことができ、それにより、誤った加速度を検出してしま
うことを防ぎ、測定の信頼性を向上させた加速度検出装
置を得ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、導体
からなるパッケージ基板と、パッケージ基板上に設けら
れた台座と、台座に一端が固定され、他端が自由端であ
る加速度検出梁と、加速度検出梁の自由端に設けられた
重りと、加速度検出梁上に設けられ、加速度検出梁のひ
ずみを検出するためのセンサ手段と、センサ手段からの
検出信号を外部に出力するための出力手段と、パッケー
ジ基板に電気的に接続された接地端子と、重りのパッケ
ージ基板に対向している面に設けられ、センサ手段と出
力手段との間に電気的に接続されて、台座がパッケージ
基板から剥離した時にパッケージ基板に電気的に接触し
てセンサ手段と出力手段との間に接地端子を接続するた
めの異常検出用電極とを備えた加速度検出装置である。
からなるパッケージ基板と、パッケージ基板上に設けら
れた台座と、台座に一端が固定され、他端が自由端であ
る加速度検出梁と、加速度検出梁の自由端に設けられた
重りと、加速度検出梁上に設けられ、加速度検出梁のひ
ずみを検出するためのセンサ手段と、センサ手段からの
検出信号を外部に出力するための出力手段と、パッケー
ジ基板に電気的に接続された接地端子と、重りのパッケ
ージ基板に対向している面に設けられ、センサ手段と出
力手段との間に電気的に接続されて、台座がパッケージ
基板から剥離した時にパッケージ基板に電気的に接触し
てセンサ手段と出力手段との間に接地端子を接続するた
めの異常検出用電極とを備えた加速度検出装置である。
【０００８】請求項２の発明は、異常検出用電極と重り
とが導電性の高い導体から一体に形成されてなる加速度
検出装置である。
とが導電性の高い導体から一体に形成されてなる加速度
検出装置である。
【０００９】
【作用】請求項１の発明においては、台座に一端が固定
された加速度検出梁の他端に設けられた重りのパッケー
ジ基板に対向した面に異常検出用電極を設け、かつ、異
常検出用電極をセンサ手段と出力手段との間に接続する
ようにしたので、台座がパッケージ基板から剥離すると
いう異常が発生すると、重りが平衡を失ってパッケージ
基板に接触するため、異常検出用電極がパッケージ基板
の接地端子に接続され、結果として、センサ手段と出力
手段との間に接地端子が接続されるので、出力手段から
出力される検出信号がＬｏｗ（またはＨｉｇｈ）レベル
に固定される。
された加速度検出梁の他端に設けられた重りのパッケー
ジ基板に対向した面に異常検出用電極を設け、かつ、異
常検出用電極をセンサ手段と出力手段との間に接続する
ようにしたので、台座がパッケージ基板から剥離すると
いう異常が発生すると、重りが平衡を失ってパッケージ
基板に接触するため、異常検出用電極がパッケージ基板
の接地端子に接続され、結果として、センサ手段と出力
手段との間に接地端子が接続されるので、出力手段から
出力される検出信号がＬｏｗ（またはＨｉｇｈ）レベル
に固定される。
【００１０】請求項２の発明においては、異常検出用電
極と重りとが一体に形成されているので、構造が容易で
ある。
極と重りとが一体に形成されているので、構造が容易で
ある。
【００１１】
実施例１．以下、本発明の実施例について説明する。基
本的な構成は上述の図４の従来例と同じであるため、同
一部分については同一符号を付し、ここでは説明を省略
する。この実施例においては、図１に示すように、重り
６の下側の表面全体にニッケルめっき等により異常検出
用電極１２が形成されている。異常検出用電極１２が設
けられた重り６と加速度検出梁３とは銀ペースト等の導
電性の樹脂１３により接着されている。また、加速度検
出梁３には、ゲージ抵抗１から成るブリッジ回路１Ａに
接続された拡散配線１４が、重り６との接着部分にまで
延びて設けられている。ここで、拡散配線１４はブリッ
ジ回路１Ａの正の出力に接続されている。また、拡散配
線１４と異常検出用電極１２とは導電性の樹脂１３を介
して接続されるが、必要であれば、蒸着等によりアルミ
電極１５を形成してそれにより接続するようにしてもよ
い。アルミ電極１５の形成方法としては、加速度検出梁
３上に熱酸化によりＳｉＯ2 膜を形成し、アルミ電極形
成予定領域にエッチングによりコンタクトホールを形成
し、そのコンタクトホール部分に蒸着によりアルミニウ
ムを形成する。
本的な構成は上述の図４の従来例と同じであるため、同
一部分については同一符号を付し、ここでは説明を省略
する。この実施例においては、図１に示すように、重り
６の下側の表面全体にニッケルめっき等により異常検出
用電極１２が形成されている。異常検出用電極１２が設
けられた重り６と加速度検出梁３とは銀ペースト等の導
電性の樹脂１３により接着されている。また、加速度検
出梁３には、ゲージ抵抗１から成るブリッジ回路１Ａに
接続された拡散配線１４が、重り６との接着部分にまで
延びて設けられている。ここで、拡散配線１４はブリッ
ジ回路１Ａの正の出力に接続されている。また、拡散配
線１４と異常検出用電極１２とは導電性の樹脂１３を介
して接続されるが、必要であれば、蒸着等によりアルミ
電極１５を形成してそれにより接続するようにしてもよ
い。アルミ電極１５の形成方法としては、加速度検出梁
３上に熱酸化によりＳｉＯ2 膜を形成し、アルミ電極形
成予定領域にエッチングによりコンタクトホールを形成
し、そのコンタクトホール部分に蒸着によりアルミニウ
ムを形成する。
【００１２】以上のように構成されたこの実施例におい
ては、台座５がパッケージ基板７ａから剥離し、図６に
示したような状態となると、重り６が平衡を失ってパッ
ケージ基板７ａに接触するようになるため、その場合に
は、異常検出用電極１２とパッケージ基板７ａとが電気
的に接触し、図２の回路図からわかるように、ブリッジ
回路１Ａの正の出力電位に帯電していた異常検出用電極
１２がＧＮＤ電位に帯電しているパッケージ基板７ａに
接触することになるので、差動増幅器１１の正の入力電
位が接地され、その出力はＬｏｗレベルに固定される。
そのため、台座５の剥離等の異常をすぐに検出すること
ができ、誤った加速度を異常と気付かずに測定してしま
うことを防ぐことができる。
ては、台座５がパッケージ基板７ａから剥離し、図６に
示したような状態となると、重り６が平衡を失ってパッ
ケージ基板７ａに接触するようになるため、その場合に
は、異常検出用電極１２とパッケージ基板７ａとが電気
的に接触し、図２の回路図からわかるように、ブリッジ
回路１Ａの正の出力電位に帯電していた異常検出用電極
１２がＧＮＤ電位に帯電しているパッケージ基板７ａに
接触することになるので、差動増幅器１１の正の入力電
位が接地され、その出力はＬｏｗレベルに固定される。
そのため、台座５の剥離等の異常をすぐに検出すること
ができ、誤った加速度を異常と気付かずに測定してしま
うことを防ぐことができる。
【００１３】この実施例においては、ブリッジ回路１Ａ
の正の出力を拡散配線１４に接続した場合について示し
たが、その場合に限らず、ブリッジ回路１Ａの負の出力
を拡散配線１４に接続するようにしてもよく、その場合
には、台座５が剥離するという異常が発生すると、差動
増幅器１１からの出力はＨｉｇｈレベルに固定されるの
で、上述の場合と同様に、異常をすぐに検出することが
できる。
の正の出力を拡散配線１４に接続した場合について示し
たが、その場合に限らず、ブリッジ回路１Ａの負の出力
を拡散配線１４に接続するようにしてもよく、その場合
には、台座５が剥離するという異常が発生すると、差動
増幅器１１からの出力はＨｉｇｈレベルに固定されるの
で、上述の場合と同様に、異常をすぐに検出することが
できる。
【００１４】このように、本発明における加速度検出装
置は、台座５がパッケージ基板７ａから剥離した場合、
ワイヤ１０が切断されなくても、差動増幅器１１の出力
がＬｏｗまたはＨｉｇｈレベルに固定されるため、異常
を容易に検出することができるため、検出の信頼性を向
上させることができる。
置は、台座５がパッケージ基板７ａから剥離した場合、
ワイヤ１０が切断されなくても、差動増幅器１１の出力
がＬｏｗまたはＨｉｇｈレベルに固定されるため、異常
を容易に検出することができるため、検出の信頼性を向
上させることができる。
【００１５】尚、この実施例においては、ピエゾ抵抗効
果を利用した半導体形のひずみゲージ形の加速度検出装
置について説明したが、その場合に限らず、加速度検出
梁と重りとを有するようなひずみゲージ形の加速度検出
装置であれば、本発明を適用することができる。
果を利用した半導体形のひずみゲージ形の加速度検出装
置について説明したが、その場合に限らず、加速度検出
梁と重りとを有するようなひずみゲージ形の加速度検出
装置であれば、本発明を適用することができる。
【００１６】実施例２．図３は、本発明の他の実施例の
構造を示したものである。上述の実施例１においては、
重り６の表面に異常検出用電極１２を形成する例につい
て示したが、この実施例においては、異常検出用電極１
２を設けずに、重り２６自体を銅、銀またはＳＰＣ等の
導電性の高い導体で形成するようにしたものである。
構造を示したものである。上述の実施例１においては、
重り６の表面に異常検出用電極１２を形成する例につい
て示したが、この実施例においては、異常検出用電極１
２を設けずに、重り２６自体を銅、銀またはＳＰＣ等の
導電性の高い導体で形成するようにしたものである。
【００１７】この実施例においては、重り２６自体を導
電性の高い導体で形成するようにしたので、異常検出用
電極１２を設ける必要もなくなり、上述の実施例１と同
様の効果が得られるとともに製造工程を容易にすること
ができ、安価に製造することができる。
電性の高い導体で形成するようにしたので、異常検出用
電極１２を設ける必要もなくなり、上述の実施例１と同
様の効果が得られるとともに製造工程を容易にすること
ができ、安価に製造することができる。
【００１８】
【発明の効果】請求項１の発明によれば、台座に一端が
固定された加速度検出梁の他端に設けられた重りのパッ
ケージ基板に対向した面に異常検出用電極を設けるよう
にしたので、台座がパッケージ基板から剥離し、重りが
平衡を失ってパッケージ基板に接触するような異常が発
生すると、異常検出用電極がパッケージ基板の接地端子
に接続され、出力手段から出力される検出信号がＨｉｇ
ｈまたはＬｏｗレベルに固定されるので、容易に異常を
検出することができ、誤った加速度を異常と気付かずに
測定することを防止する効果が得られる。
固定された加速度検出梁の他端に設けられた重りのパッ
ケージ基板に対向した面に異常検出用電極を設けるよう
にしたので、台座がパッケージ基板から剥離し、重りが
平衡を失ってパッケージ基板に接触するような異常が発
生すると、異常検出用電極がパッケージ基板の接地端子
に接続され、出力手段から出力される検出信号がＨｉｇ
ｈまたはＬｏｗレベルに固定されるので、容易に異常を
検出することができ、誤った加速度を異常と気付かずに
測定することを防止する効果が得られる。
【００１９】請求項２の発明によれば、異常検出用電極
と重りとが一体に形成されているので、請求項１の発明
と同様の効果が得られるともに、製造工程を容易にする
ことができ、安価に製造することができる。
と重りとが一体に形成されているので、請求項１の発明
と同様の効果が得られるともに、製造工程を容易にする
ことができ、安価に製造することができる。
【図１】 本発明の実施例１における加速度検出装置の
構造を示した断面図である。
構造を示した断面図である。
【図２】 図１の加速度検出装置の構成を示した回路図
である。
である。
【図３】 本発明の実施例２における加速度検出装置の
構造を示した断面図である。
構造を示した断面図である。
【図４】 従来の加速度検出装置の構造を示した断面図
である。
である。
【図５】 図４の加速度検出装置の構成を示した回路図
である。
である。
【図６】 図４の加速度検出装置の台座がパッケージ基
板から剥離した状態を示した断面図である。
板から剥離した状態を示した断面図である。
１ ゲージ抵抗、１Ａ ブリッジ回路、３ 加速度検出
梁、６ 重り、７ パッケージ基板、１２ 異常検出用
電極。
梁、６ 重り、７ パッケージ基板、１２ 異常検出用
電極。
Claims (2)
- 【請求項１】 導体からなるパッケージ基板と、 上記パッケージ基板上に設けられた台座と、 上記台座に一端が固定され、他端が自由端である加速度
検出梁と、 上記加速度検出梁の自由端に設けられた重りと、 上記加速度検出梁上に設けられ、上記加速度検出梁のひ
ずみを検出するためのセンサ手段と、 上記センサ手段からの検出信号を外部に出力するための
出力手段と、 上記パッケージ基板に電気的に接続された接地端子と、 上記重りの上記パッケージ基板に対向している面に設け
られ、かつ、上記センサ手段と上記出力手段との間に電
気的に接続されて、上記台座が上記パッケージ基板から
剥離した時に上記パッケージ基板に電気的に接触して上
記センサ手段と上記出力手段との間に上記接地端子を接
続するための異常検出用電極と、 を備えたことを特徴とする加速度検出装置。 - 【請求項２】 上記異常検出用電極と上記重りとが導電
性の高い導体から一体に形成されてなることを特徴とす
る請求項１記載の加速度検出装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6286841A JPH08146034A (ja) | 1994-11-21 | 1994-11-21 | 加速度検出装置 |
| US08/552,073 US5614673A (en) | 1994-11-21 | 1995-11-02 | Acceleration sensing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6286841A JPH08146034A (ja) | 1994-11-21 | 1994-11-21 | 加速度検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08146034A true JPH08146034A (ja) | 1996-06-07 |
Family
ID=17709730
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6286841A Pending JPH08146034A (ja) | 1994-11-21 | 1994-11-21 | 加速度検出装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5614673A (ja) |
| JP (1) | JPH08146034A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09318653A (ja) * | 1996-05-28 | 1997-12-12 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体センサ及びその出力調整方法 |
| US6392527B1 (en) * | 1996-09-04 | 2002-05-21 | Sensitron, Inc. | Impact detection system |
| DE19649715C2 (de) * | 1996-11-30 | 2001-07-12 | Telefunken Microelectron | Anordnung zur Messung von Beschleunigungen |
| SE9701721D0 (sv) * | 1997-05-07 | 1997-05-07 | Pacesetter Ab | Sensor |
| JP2011226941A (ja) * | 2010-04-21 | 2011-11-10 | Seiko Epson Corp | 振動型力検出センサー、及び振動型力検出装置 |
| JP2013050321A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Seiko Epson Corp | 物理量検出器及び電子機器 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0669788B2 (ja) * | 1989-07-21 | 1994-09-07 | アスコ株式会社 | 車輌用安全装置 |
| JPH05119060A (ja) * | 1991-10-23 | 1993-05-14 | Nippondenso Co Ltd | 加速度センサ |
| JPH05249141A (ja) * | 1992-03-10 | 1993-09-28 | Omron Corp | 半導体加速度センサの故障検出回路 |
| JPH0627137A (ja) * | 1992-07-08 | 1994-02-04 | Murata Mfg Co Ltd | 加速度センサ |
| JPH06186249A (ja) * | 1992-12-16 | 1994-07-08 | Mitsubishi Electric Corp | 容量式加速度検出装置 |
| JP2804874B2 (ja) * | 1992-12-25 | 1998-09-30 | 三菱電機株式会社 | 半導体加速度検出装置 |
| JPH06213918A (ja) * | 1993-01-14 | 1994-08-05 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体加速度検出装置 |
-
1994
- 1994-11-21 JP JP6286841A patent/JPH08146034A/ja active Pending
-
1995
- 1995-11-02 US US08/552,073 patent/US5614673A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5614673A (en) | 1997-03-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3020426B2 (ja) | トランスデューサアセンブリ、回路基板に取り付けるためのトランスデューサデバイス、及び回路基板にトランスデューサを取り付ける方法 | |
| JP3278363B2 (ja) | 半導体加速度センサ | |
| US5554806A (en) | Physical-quantity detecting device | |
| US6566742B1 (en) | Structure for mounting components | |
| US5864063A (en) | Electrostatic capacity-type acceleration sensor | |
| US5438859A (en) | Acceleration sensor having fault diagnosing device | |
| JP3401790B2 (ja) | 加速度センサ及びこの加速度センサを用いた加速度装置 | |
| JP2006275660A (ja) | 半導体センサおよびその製造方法 | |
| US5460044A (en) | Semiconductor acceleration detecting apparatus | |
| KR100487038B1 (ko) | 반도체 디바이스 | |
| JP3274034B2 (ja) | 半導体加速度検出装置 | |
| JPS6153873B2 (ja) | ||
| US5606128A (en) | Semiconductor acceleration detecting device | |
| US5415044A (en) | Semiconductor acceleration sensor including means for detecting weight detachment | |
| JP2007240250A (ja) | 圧力センサ、圧力センサパッケージ、圧力センサモジュール、及び電子部品 | |
| JP3281217B2 (ja) | 半導体式加速度センサと該センサのセンサ素子の特性評価方法 | |
| JPH08146034A (ja) | 加速度検出装置 | |
| US6883381B2 (en) | Acceleration sensor and method for manufacturing an acceleration sensor | |
| JP2005127750A (ja) | 半導体センサおよびその製造方法 | |
| JP2877034B2 (ja) | 加速度検出装置および加速度センサ | |
| US5481915A (en) | Acceleration sensor with direct mounting | |
| JPH09145512A (ja) | 圧力センサ，容量型センサ，電気的装置およびその製造方法 | |
| JPH0694744A (ja) | 半導体加速度検出装置 | |
| JP2005114440A (ja) | 故障診断可能な静電容量検出型加速度センサ | |
| JP4706634B2 (ja) | 半導体センサおよびその製造方法 |