JPH08139162A - ウエハの位置決め搬送装置及び方法 - Google Patents
ウエハの位置決め搬送装置及び方法Info
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- JPH08139162A JPH08139162A JP27748494A JP27748494A JPH08139162A JP H08139162 A JPH08139162 A JP H08139162A JP 27748494 A JP27748494 A JP 27748494A JP 27748494 A JP27748494 A JP 27748494A JP H08139162 A JPH08139162 A JP H08139162A
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- Japan
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- guide
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- carrier
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウエハガイド及びウエハチャックとキャリア
とが相対的に位置ずれしていても、またウエハのオリフ
ラ面がキャリアの正規の位置に位置していなくても、ウ
エハをウエハチャックに対して正しく位置決めすること
ができる。 【構成】 ウエハ押出し機構７の押出し部９は、キャリ
ア４に収容されているウエハ３を第１の所定量だけ押出
す。この後に、ウエハガイド５がＸ方向に移動して、そ
の円弧面５ａによってウエハ３の外周面を押して、ウエ
ハ３を第２の所定量だけ押込む。この押込みによって、
ウエハ３は必ずその外周面が円弧面５ａの全面に接触
し、ウエハチャック６に対して正しく位置決めされる。
とが相対的に位置ずれしていても、またウエハのオリフ
ラ面がキャリアの正規の位置に位置していなくても、ウ
エハをウエハチャックに対して正しく位置決めすること
ができる。 【構成】 ウエハ押出し機構７の押出し部９は、キャリ
ア４に収容されているウエハ３を第１の所定量だけ押出
す。この後に、ウエハガイド５がＸ方向に移動して、そ
の円弧面５ａによってウエハ３の外周面を押して、ウエ
ハ３を第２の所定量だけ押込む。この押込みによって、
ウエハ３は必ずその外周面が円弧面５ａの全面に接触
し、ウエハチャック６に対して正しく位置決めされる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体デバイス製造工
程で使用されるウエハの位置決め搬送装置及び方法に係
り、特にウエハを位置決めした状態でキャリアから取出
して他の場所に搬送するウエハの位置決め搬送装置に関
する。
程で使用されるウエハの位置決め搬送装置及び方法に係
り、特にウエハを位置決めした状態でキャリアから取出
して他の場所に搬送するウエハの位置決め搬送装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】半導体デバイス製造工程では、シリコン
などのウエハが非常に多数使用され、これらのウエハは
予めキャリアに収容されており、このキャリアから一枚
ずつ取出されて次工程の処理部に搬送される。
などのウエハが非常に多数使用され、これらのウエハは
予めキャリアに収容されており、このキャリアから一枚
ずつ取出されて次工程の処理部に搬送される。
【０００３】図６及び図７は従来のウエハの位置決め搬
送装置を示したもので、キャリア昇降装置１にはキャリ
ア本体２が載置され、このキャリア本体２の内側には多
数の円形状ウエハ３を水平に支持するキャリア４を有す
る。キャリア４は傾斜した当接部４ａ、４ｂを有し、こ
れらの当接部４ａ、４ｂは互いに離間し、両者の間に間
隙が形成されている。ウエハ３は、オリエンテーション
フラット面（以下、オリフラ面と称する）３ａが両当接
部４ａ、４ｂの間に位置し、かつ外周面の二点が当接部
４ａ、４ｂに当接することによってキャリア４に対して
位置決めされている。
送装置を示したもので、キャリア昇降装置１にはキャリ
ア本体２が載置され、このキャリア本体２の内側には多
数の円形状ウエハ３を水平に支持するキャリア４を有す
る。キャリア４は傾斜した当接部４ａ、４ｂを有し、こ
れらの当接部４ａ、４ｂは互いに離間し、両者の間に間
隙が形成されている。ウエハ３は、オリエンテーション
フラット面（以下、オリフラ面と称する）３ａが両当接
部４ａ、４ｂの間に位置し、かつ外周面の二点が当接部
４ａ、４ｂに当接することによってキャリア４に対して
位置決めされている。
【０００４】ウエハガイド５は、ウエハ３の半径に等し
い半径を有する円弧面５ａを有する。このウエハガイド
５からはバキュームチャック６が一体的に突設され、こ
のバキュームチャック６は吸引口６ａにおいてウエハ３
の下面を吸引して保持する。ウエハガイド５とバキュー
ムチャック６とがウエハ３の方に、水平移動され、バキ
ュームチャック６がウエハ３の下方に進入して、ウエハ
ガイド円弧面５ａの全面がウエハ３の外周面に当接す
る。この当接によって、バキュームチャック６とウエハ
３との間の位置決めが完了する。この位置決め完了後
に、バキュームチャック６の吸引口６ａがウエハ３の下
面に接触するまで、ウエハガイド５とバキュームチャッ
ク６とが上昇移動され、バキュームチャック６がウエハ
３を吸引保持した状態で、ウエハ３を他の場所に搬送す
る。
い半径を有する円弧面５ａを有する。このウエハガイド
５からはバキュームチャック６が一体的に突設され、こ
のバキュームチャック６は吸引口６ａにおいてウエハ３
の下面を吸引して保持する。ウエハガイド５とバキュー
ムチャック６とがウエハ３の方に、水平移動され、バキ
ュームチャック６がウエハ３の下方に進入して、ウエハ
ガイド円弧面５ａの全面がウエハ３の外周面に当接す
る。この当接によって、バキュームチャック６とウエハ
３との間の位置決めが完了する。この位置決め完了後
に、バキュームチャック６の吸引口６ａがウエハ３の下
面に接触するまで、ウエハガイド５とバキュームチャッ
ク６とが上昇移動され、バキュームチャック６がウエハ
３を吸引保持した状態で、ウエハ３を他の場所に搬送す
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した従
来のウエハの位置決め搬送装置は、ウエハガイド及びバ
キュームチャックとキャリアとが相対的に位置ずれして
しまった場合や、ウエハのオリフラ面がキャリアの正規
の位置に位置していなかった場合などには、ウエハガイ
ドによるウエハの位置決めの際にウエハに過度なストレ
スを発生させるといった問題や、ウエハがウエハチャッ
クに正確に位置決めされないために次工程への搬送ミス
などが発生するといった問題が存在する。これらの問題
を以下に詳細に説明する。
来のウエハの位置決め搬送装置は、ウエハガイド及びバ
キュームチャックとキャリアとが相対的に位置ずれして
しまった場合や、ウエハのオリフラ面がキャリアの正規
の位置に位置していなかった場合などには、ウエハガイ
ドによるウエハの位置決めの際にウエハに過度なストレ
スを発生させるといった問題や、ウエハがウエハチャッ
クに正確に位置決めされないために次工程への搬送ミス
などが発生するといった問題が存在する。これらの問題
を以下に詳細に説明する。
【０００６】図７において、二点鎖線で示したウエハガ
イド５Ａ及びバキュームチャック６Ａは、正規の取付け
位置のウエハガイド５及びバキュームチャック６に対し
て横方向にδ１だけずれている。このようにウエハガイ
ド５Ａ及びバキュームチャック６Ａがセンターずれを起
こしている場合には、ウエハガイド５Ａの円弧面５ａは
その全面でウエハ３の外周面に接触するのではなく、図
示のように端部でのみ接触する。このため、バキューム
チャック６Ａとウエハ３との位置合わせが正しく行われ
ず、バキュームチャック６Ａはウエハ３を次工程に高精
度に搬送することができず、搬送ミスを招来する。
イド５Ａ及びバキュームチャック６Ａは、正規の取付け
位置のウエハガイド５及びバキュームチャック６に対し
て横方向にδ１だけずれている。このようにウエハガイ
ド５Ａ及びバキュームチャック６Ａがセンターずれを起
こしている場合には、ウエハガイド５Ａの円弧面５ａは
その全面でウエハ３の外周面に接触するのではなく、図
示のように端部でのみ接触する。このため、バキューム
チャック６Ａとウエハ３との位置合わせが正しく行われ
ず、バキュームチャック６Ａはウエハ３を次工程に高精
度に搬送することができず、搬送ミスを招来する。
【０００７】更に、ウエハガイド５Ａの円弧面５ａの端
部とウエハ３との接触は、正規のウエハガイド５がウエ
ハ３に接触する時点よりも早期に起きるため、ウエハガ
イド５Ａは円弧面５ａの端部とウエハ３との接触後も更
に移動され、この移動によってウエハ３を強く押圧し、
ウエハ３に過度なストレスが発生することになる。ま
た、図８において実線で示したウエハ３Ａは、オリフラ
面がキャリア当接部４ａに位置した状態でキャリア４に
収容されている。従って、このウエハ３Ａのセンター位
置は、一点鎖線で示した正規位置のウエハ３、即ちその
オリフラ面が両当接部４ａと４ｂとの間に位置するウエ
ハ３に対して、Ｘ方向にδ２だけ、Ｙ方向にδ３だけ夫
々ずれてしまう。この状態で、ウエハガイド５の円弧面
５ａをウエハ３Ａに接触させると、図７の場合と同様
に、円弧面５ａは全面がウエハ３Ａの外周面に接触する
のではなく、一部のみが接触する。従って、バキューム
チャック６とウエハ３Ａとの位置合わせが正しく行われ
ず、バキュームチャック６はウエハ３Ａを次工程に高精
度に搬送することができない。
部とウエハ３との接触は、正規のウエハガイド５がウエ
ハ３に接触する時点よりも早期に起きるため、ウエハガ
イド５Ａは円弧面５ａの端部とウエハ３との接触後も更
に移動され、この移動によってウエハ３を強く押圧し、
ウエハ３に過度なストレスが発生することになる。ま
た、図８において実線で示したウエハ３Ａは、オリフラ
面がキャリア当接部４ａに位置した状態でキャリア４に
収容されている。従って、このウエハ３Ａのセンター位
置は、一点鎖線で示した正規位置のウエハ３、即ちその
オリフラ面が両当接部４ａと４ｂとの間に位置するウエ
ハ３に対して、Ｘ方向にδ２だけ、Ｙ方向にδ３だけ夫
々ずれてしまう。この状態で、ウエハガイド５の円弧面
５ａをウエハ３Ａに接触させると、図７の場合と同様
に、円弧面５ａは全面がウエハ３Ａの外周面に接触する
のではなく、一部のみが接触する。従って、バキューム
チャック６とウエハ３Ａとの位置合わせが正しく行われ
ず、バキュームチャック６はウエハ３Ａを次工程に高精
度に搬送することができない。
【０００８】そこで、本発明の目的は、ウエハガイド及
びウエハチャックとキャリアとが相対的に位置ずれして
いても、またウエハのオリフラ面がキャリアの正規の位
置に位置していなくても、ウエハをウエハチャックに対
して正しく位置決めすることができるウエハの位置決め
搬送装置及び方法を提供することにある。
びウエハチャックとキャリアとが相対的に位置ずれして
いても、またウエハのオリフラ面がキャリアの正規の位
置に位置していなくても、ウエハをウエハチャックに対
して正しく位置決めすることができるウエハの位置決め
搬送装置及び方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に請求項１に記載の発明は、ほぼ円形状のウエハの外周
面の離間した二か所に当接する一対の当接部を有するウ
エハ収容用のキャリアと、上記ウエハとほぼ同一半径の
円弧面を有し、上記円弧面が上記キャリアに収容された
ウエハの外周面に当接するように水平方向に移動される
ウエハガイドと、上記ウエハガイドと一体的に構成さ
れ、上記ウエハガイドの円弧面との当接によって位置決
めされたウエハを保持するウエハチャックとを具備する
ウエハの位置決め搬送装置において、上記キャリアの一
対の当接部の間から上記ウエハに当接して上記ウエハを
第１の所定量だけ上記当接面から離間する方向に押出す
ウエハ押出し機構を更に具備し、上記ウエハガイドは上
記移動によって押出されたウエハの外周面に当接して上
記ウエハチャックが上記ウエハを第２の所定量だけ上記
当接面に近付く方向に移動させることを特徴とするもの
である。
に請求項１に記載の発明は、ほぼ円形状のウエハの外周
面の離間した二か所に当接する一対の当接部を有するウ
エハ収容用のキャリアと、上記ウエハとほぼ同一半径の
円弧面を有し、上記円弧面が上記キャリアに収容された
ウエハの外周面に当接するように水平方向に移動される
ウエハガイドと、上記ウエハガイドと一体的に構成さ
れ、上記ウエハガイドの円弧面との当接によって位置決
めされたウエハを保持するウエハチャックとを具備する
ウエハの位置決め搬送装置において、上記キャリアの一
対の当接部の間から上記ウエハに当接して上記ウエハを
第１の所定量だけ上記当接面から離間する方向に押出す
ウエハ押出し機構を更に具備し、上記ウエハガイドは上
記移動によって押出されたウエハの外周面に当接して上
記ウエハチャックが上記ウエハを第２の所定量だけ上記
当接面に近付く方向に移動させることを特徴とするもの
である。
【００１０】この構成にあっては、上記第１の所定量
は、上記第２の所定量よりも大きいことが望ましく、ま
た、上記ウエハはオリエンテイションフラット面を有
し、上記第２の所定量は上記上記ウエハのオリエンテイ
ションフラット面のカット寸法よりも大きく定められて
いることが好ましい。
は、上記第２の所定量よりも大きいことが望ましく、ま
た、上記ウエハはオリエンテイションフラット面を有
し、上記第２の所定量は上記上記ウエハのオリエンテイ
ションフラット面のカット寸法よりも大きく定められて
いることが好ましい。
【００１１】上記の目的を達成するために請求項４に記
載の発明は、ウエハガイドの円弧面を円形状のウエハの
外周面に当接させて上記ウエハを位置決めした後に、上
記ウエハガイドと一体構成のウエハチャックによって上
記位置決めされたウエハを保持して搬送するウエハの位
置決め搬送方法において、キャリアに収容されたウエハ
をウエハ押出し機構によって第１の所定量だけ上記ウエ
ハガイドの方に移動させ、その後上記ウエハガイドを逆
方向に移動させることによって上記円弧面を上記ウエハ
の外周面に当接させたまま上記ウエハを上記ウエハの移
動方向と逆方向に第２の所定量だけ移動させて、この間
にウエハの向きを修正し、その後上記ウエハチャックに
よって上記ウエハを保持することを特徴とするものであ
る。この構成にあっては、上記ウエハはオリエンテイシ
ョンフラット面を有し、上記第２の所定量は上記上記ウ
エハはオリエンテイションフラット面のカット寸法より
も大きく定められ、上記第１の所定量は上記第２の所定
量よりも大きく定められていることが望ましい。
載の発明は、ウエハガイドの円弧面を円形状のウエハの
外周面に当接させて上記ウエハを位置決めした後に、上
記ウエハガイドと一体構成のウエハチャックによって上
記位置決めされたウエハを保持して搬送するウエハの位
置決め搬送方法において、キャリアに収容されたウエハ
をウエハ押出し機構によって第１の所定量だけ上記ウエ
ハガイドの方に移動させ、その後上記ウエハガイドを逆
方向に移動させることによって上記円弧面を上記ウエハ
の外周面に当接させたまま上記ウエハを上記ウエハの移
動方向と逆方向に第２の所定量だけ移動させて、この間
にウエハの向きを修正し、その後上記ウエハチャックに
よって上記ウエハを保持することを特徴とするものであ
る。この構成にあっては、上記ウエハはオリエンテイシ
ョンフラット面を有し、上記第２の所定量は上記上記ウ
エハはオリエンテイションフラット面のカット寸法より
も大きく定められ、上記第１の所定量は上記第２の所定
量よりも大きく定められていることが望ましい。
【００１２】
【作用】ウエハ押出し機構はキャリアに収容されたウエ
ハを第１の所定量だけウエハガイドの方に移動させる。
その後に、ウエハガイドの移動によってウエハガイドの
円弧面がウエハの外周面に当接し、ウエハを上記のウエ
ハ移動方向と逆方向に第２の所定量だけ移動させる。こ
の第２所定量の移動中に、ウエハガイドの円弧面はその
全面がウエハの外周面に接触してウエハの向きを修正し
たのち、ウエハチャックに対するウエハの位置決めが完
了する。この後にウエハチャックがウエハを保持する。
ハを第１の所定量だけウエハガイドの方に移動させる。
その後に、ウエハガイドの移動によってウエハガイドの
円弧面がウエハの外周面に当接し、ウエハを上記のウエ
ハ移動方向と逆方向に第２の所定量だけ移動させる。こ
の第２所定量の移動中に、ウエハガイドの円弧面はその
全面がウエハの外周面に接触してウエハの向きを修正し
たのち、ウエハチャックに対するウエハの位置決めが完
了する。この後にウエハチャックがウエハを保持する。
【００１３】このように、ウエハは、ウエハ押出し機構
によって第１の所定量だけ移動されて前後左右に移動可
能な状態になった後に、ウエハガイドによって逆方向に
移動されるため、たとえウエハの中心とウエハガイドの
中心線とにずれが存在していても、この逆方向移動中
に、ウエハはウエハガイド円弧面に倣って、ウエハの中
心がウエハガイドの中心線に一致するように変位する。
これによって、ウエハガイド円弧面の全面がウエハの外
周面に当接し、ウエハチャックとウエハとの位置決めが
正確に行われる。
によって第１の所定量だけ移動されて前後左右に移動可
能な状態になった後に、ウエハガイドによって逆方向に
移動されるため、たとえウエハの中心とウエハガイドの
中心線とにずれが存在していても、この逆方向移動中
に、ウエハはウエハガイド円弧面に倣って、ウエハの中
心がウエハガイドの中心線に一致するように変位する。
これによって、ウエハガイド円弧面の全面がウエハの外
周面に当接し、ウエハチャックとウエハとの位置決めが
正確に行われる。
【００１４】
【実施例】以下に、本発明によるウエハの位置決め搬送
装置及び方法の実施例を図６乃至図８と同一部分には同
一符号を付して示した図１乃至図５を参照して説明す
る。
装置及び方法の実施例を図６乃至図８と同一部分には同
一符号を付して示した図１乃至図５を参照して説明す
る。
【００１５】図１及び図２において、キャリア昇降装置
１にはキャリア本体２が載置され、このキャリア本体２
は多数の円形状ウエハ３を水平に支持するキャリア４を
有する。キャリア４は傾斜した当接部４ａ、４ｂを有
し、これらの当接部４ａ、４ｂは互いに離間し、両者の
間に間隙が形成されている。ウエハ３は、オリフラ面３
ａが両当接部４ａ、４ｂの間に位置し、かつ外周面の二
点が当接部４ａ、４ｂに当接することによってキャリア
４に対して位置決めされている。
１にはキャリア本体２が載置され、このキャリア本体２
は多数の円形状ウエハ３を水平に支持するキャリア４を
有する。キャリア４は傾斜した当接部４ａ、４ｂを有
し、これらの当接部４ａ、４ｂは互いに離間し、両者の
間に間隙が形成されている。ウエハ３は、オリフラ面３
ａが両当接部４ａ、４ｂの間に位置し、かつ外周面の二
点が当接部４ａ、４ｂに当接することによってキャリア
４に対して位置決めされている。
【００１６】ウエハガイド５は、ウエハ３の半径に等し
い半径を有する円弧面５ａを有する。このウエハガイド
５からはバキュームチャック６が一体的に突設され、こ
のバキュームチャック６の吸引口６ａがウエハ３の下面
を吸引して保持する。なお、以上の構成は上述した従来
のウエハの位置決め搬送装置の構成と同一であり、本発
明にあっては、以上の構成に加えてウエハ押出し機構７
が設けられている。このウエハ押出し機構７は、エアシ
リンダなどの駆動部８と、この駆動部８によって移動さ
れる押出し部９とから構成されると共に、ウエハガイド
５とほぼ同一高さに配置されている。押出し部９の外面
９ａは、ウエハガイド５の円弧面５ａと同様に、ウエハ
３の半径と同一半径の円弧面に形成されている。制御装
置１０は、キャリア昇降装置１とウエハ押出し機構７と
ウエハガイド５及びバキュームチャック６とを制御す
る。
い半径を有する円弧面５ａを有する。このウエハガイド
５からはバキュームチャック６が一体的に突設され、こ
のバキュームチャック６の吸引口６ａがウエハ３の下面
を吸引して保持する。なお、以上の構成は上述した従来
のウエハの位置決め搬送装置の構成と同一であり、本発
明にあっては、以上の構成に加えてウエハ押出し機構７
が設けられている。このウエハ押出し機構７は、エアシ
リンダなどの駆動部８と、この駆動部８によって移動さ
れる押出し部９とから構成されると共に、ウエハガイド
５とほぼ同一高さに配置されている。押出し部９の外面
９ａは、ウエハガイド５の円弧面５ａと同様に、ウエハ
３の半径と同一半径の円弧面に形成されている。制御装
置１０は、キャリア昇降装置１とウエハ押出し機構７と
ウエハガイド５及びバキュームチャック６とを制御す
る。
【００１７】次に、この実施例の作用を説明する。キャ
リア４から抜取ろうとするウエハ３がウエハ押出し機構
７の押出し部９と同一高さになるように、キャリア昇降
装置１はキャリア本体２を上下方向に移動させる。この
後に、図２中に二点鎖線で示したようにウエハ押出し機
構７の駆動部８が押出し部９をウエハ３に向けて移動す
る。これによって、押出し部９は、キャリア４の当接部
４ａ、４ｂの間の間隙を通過してウエハ３の外周面に当
接し、このウエハ３を第１の所定量Ｄ１だけ押出す。こ
れによって、ウエハ３はキャリア４の当接部４ａ、４ｂ
から離間して、水平面内で前後左右に所定量だけ移動自
在となる。
リア４から抜取ろうとするウエハ３がウエハ押出し機構
７の押出し部９と同一高さになるように、キャリア昇降
装置１はキャリア本体２を上下方向に移動させる。この
後に、図２中に二点鎖線で示したようにウエハ押出し機
構７の駆動部８が押出し部９をウエハ３に向けて移動す
る。これによって、押出し部９は、キャリア４の当接部
４ａ、４ｂの間の間隙を通過してウエハ３の外周面に当
接し、このウエハ３を第１の所定量Ｄ１だけ押出す。こ
れによって、ウエハ３はキャリア４の当接部４ａ、４ｂ
から離間して、水平面内で前後左右に所定量だけ移動自
在となる。
【００１８】この後に、図３に示したようにウエハガイ
ド５及びバキュームチャック６がＸ方向、即ちウエハ３
に向けて移動され、バキュームチャック６がウエハ３の
下方に入込むと共に、ウエハガイド５の円弧面５ａがウ
エハ３の外周面に当接する。この当接開始時に、ウエハ
ガイド５及びバキュームチャック６の中心線Ｌとウエハ
３の中心とが一致していた場合には、図３のようにウエ
ハガイド円弧面５ａの全面がウエハ３の外周面に接触
し、他方、ウエハガイド５の中心線Ｌとウエハ３の中心
とがＹ方向にずれていた場合には、ウエハガイド円弧面
５ａの一部がウエハ３の外周面に接触する。
ド５及びバキュームチャック６がＸ方向、即ちウエハ３
に向けて移動され、バキュームチャック６がウエハ３の
下方に入込むと共に、ウエハガイド５の円弧面５ａがウ
エハ３の外周面に当接する。この当接開始時に、ウエハ
ガイド５及びバキュームチャック６の中心線Ｌとウエハ
３の中心とが一致していた場合には、図３のようにウエ
ハガイド円弧面５ａの全面がウエハ３の外周面に接触
し、他方、ウエハガイド５の中心線Ｌとウエハ３の中心
とがＹ方向にずれていた場合には、ウエハガイド円弧面
５ａの一部がウエハ３の外周面に接触する。
【００１９】この当接後に、ウエハガイド５及びバキュ
ームチャック６は、第２の所定量Ｄ２だけ更にＸ方向に
移動して、ウエハ３をＸ方向、即ちキャリア４の当接部
４ａ、４ｂに接近する方向に実質的に同一距離Ｄ２だけ
移動させる。この時に、ウエハガイド５の中心線Ｌとウ
エハ３の中心とがずれていた場合には、ウエハ３は、Ｘ
方向へ第２の所定量Ｄ２だけ移動される際に、ウエハガ
イド円弧面５ａに倣ってウエハ３の中心がウエハガイド
５の中心線に一致するようにＹ方向に変位する。こうし
て、第２の所定量Ｄ２の移動後には、必ずウエハガイド
円弧面５ａの全面がウエハ３の外周面に接触し、ウエハ
３がバキュームチャック６に対して位置決めされる、即
ちウエハ３とバキュームチャック６との位置合わせが行
われる。
ームチャック６は、第２の所定量Ｄ２だけ更にＸ方向に
移動して、ウエハ３をＸ方向、即ちキャリア４の当接部
４ａ、４ｂに接近する方向に実質的に同一距離Ｄ２だけ
移動させる。この時に、ウエハガイド５の中心線Ｌとウ
エハ３の中心とがずれていた場合には、ウエハ３は、Ｘ
方向へ第２の所定量Ｄ２だけ移動される際に、ウエハガ
イド円弧面５ａに倣ってウエハ３の中心がウエハガイド
５の中心線に一致するようにＹ方向に変位する。こうし
て、第２の所定量Ｄ２の移動後には、必ずウエハガイド
円弧面５ａの全面がウエハ３の外周面に接触し、ウエハ
３がバキュームチャック６に対して位置決めされる、即
ちウエハ３とバキュームチャック６との位置合わせが行
われる。
【００２０】この位置決めの後に、バキュームチャック
６の吸引口６ａがウエハ３の下面に接触するまで、ウエ
ハガイド５とバキュームチャック６とが僅かに上昇移動
され、バキュームチャック６がウエハ３を吸引保持した
状態で、ウエハ３を他の場所に搬送する。以上に説明し
たキャリア昇降装置１やウエハ押出し機構７やウエハガ
イド５及びバキュームチャック６の一連の動作は、制御
装置１０によってシーケンシャルに制御される。
６の吸引口６ａがウエハ３の下面に接触するまで、ウエ
ハガイド５とバキュームチャック６とが僅かに上昇移動
され、バキュームチャック６がウエハ３を吸引保持した
状態で、ウエハ３を他の場所に搬送する。以上に説明し
たキャリア昇降装置１やウエハ押出し機構７やウエハガ
イド５及びバキュームチャック６の一連の動作は、制御
装置１０によってシーケンシャルに制御される。
【００２１】なお、上述の第１の所定量Ｄ１と第２の所
定量Ｄ２とは、以下の値に選定することが好ましい。す
なわち、図４に示したようにウエハ３のオリフラ面３ａ
のカット寸法をｄとした時に、第２の所定量Ｄ２はこの
オリフラカット寸法ｄよりも大きくなるように選定さ
れ、第１の所定量Ｄ１は第２の所定量Ｄ２よりも十分大
きく選定される。例えば、ウエハ３が６インチの寸法で
あった場合には、第１の所定量Ｄ１が約１２ｍｍであ
り、第２の所定量Ｄ２が約１０ｍｍである。このよう
に、ウエハガイド５によるウエハ３の押込み量Ｄ２をウ
エハ押出し機構７によるウエハ３の押出し量Ｄ１よりも
小さく選定した理由は、ウエハ３の押込み時にウエハ３
がキャリア当接部４ａ、４ｂに接触してしまい、ウエハ
ガイド円弧面５ａから離間していまうことを防止するた
めである。即ち、図３に示したようにウエハ３はウエハ
ガイド５によって押込み量Ｄ２だけ押込まれても、キャ
リア当接部４ａ、４ｂには接触せずに、キャリア当接部
４ａ、４ｂから所定量だけ離れている。
定量Ｄ２とは、以下の値に選定することが好ましい。す
なわち、図４に示したようにウエハ３のオリフラ面３ａ
のカット寸法をｄとした時に、第２の所定量Ｄ２はこの
オリフラカット寸法ｄよりも大きくなるように選定さ
れ、第１の所定量Ｄ１は第２の所定量Ｄ２よりも十分大
きく選定される。例えば、ウエハ３が６インチの寸法で
あった場合には、第１の所定量Ｄ１が約１２ｍｍであ
り、第２の所定量Ｄ２が約１０ｍｍである。このよう
に、ウエハガイド５によるウエハ３の押込み量Ｄ２をウ
エハ押出し機構７によるウエハ３の押出し量Ｄ１よりも
小さく選定した理由は、ウエハ３の押込み時にウエハ３
がキャリア当接部４ａ、４ｂに接触してしまい、ウエハ
ガイド円弧面５ａから離間していまうことを防止するた
めである。即ち、図３に示したようにウエハ３はウエハ
ガイド５によって押込み量Ｄ２だけ押込まれても、キャ
リア当接部４ａ、４ｂには接触せずに、キャリア当接部
４ａ、４ｂから所定量だけ離れている。
【００２２】上述の実施例では、ウエハチャックとして
バキュームチャック６を使用した。しかしながら、この
ウエハチャックとしては図５に示したようにメカニカル
チャック１１を使用することもできる。このメカニカル
チャック１１はウエハガイド円弧面５ａに対向する突起
部１２を有し、この突起部１２はウエハ３の半径と同一
半径の内周面１２ａを有し、この内周面１２ａとウエハ
ガイド円弧面５ａとの間隔がウエハ３の直径に等しくな
るように定められている。従って、このメカニカルチャ
ック１１は、ウエハガイド円弧面５ａと突起部１２との
間でウエハ３を保持する。
バキュームチャック６を使用した。しかしながら、この
ウエハチャックとしては図５に示したようにメカニカル
チャック１１を使用することもできる。このメカニカル
チャック１１はウエハガイド円弧面５ａに対向する突起
部１２を有し、この突起部１２はウエハ３の半径と同一
半径の内周面１２ａを有し、この内周面１２ａとウエハ
ガイド円弧面５ａとの間隔がウエハ３の直径に等しくな
るように定められている。従って、このメカニカルチャ
ック１１は、ウエハガイド円弧面５ａと突起部１２との
間でウエハ３を保持する。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、ウエハをウエハ押出し機構によって第１の所定
量だけ押出したあとに、ウエハガイドによって逆方向に
第２の所定量だけ押込み、この押込み移動中に、ウエハ
ガイドの円弧面の全面をウエハの外周面に接触させるこ
とができる。従って、ウエハガイド及びウエハチャック
とキャリアとが相対的に位置ずれしている場合や、ウエ
ハのオリフラ面がキャリアの正規の位置に位置していな
かった場合にも、ウエハはウエハチャックに対して正確
に位置決めされ、ウエハの過度なストレスの発生を防止
することができると共に、ウエハの搬送ミスなどを防止
することができる。
よれば、ウエハをウエハ押出し機構によって第１の所定
量だけ押出したあとに、ウエハガイドによって逆方向に
第２の所定量だけ押込み、この押込み移動中に、ウエハ
ガイドの円弧面の全面をウエハの外周面に接触させるこ
とができる。従って、ウエハガイド及びウエハチャック
とキャリアとが相対的に位置ずれしている場合や、ウエ
ハのオリフラ面がキャリアの正規の位置に位置していな
かった場合にも、ウエハはウエハチャックに対して正確
に位置決めされ、ウエハの過度なストレスの発生を防止
することができると共に、ウエハの搬送ミスなどを防止
することができる。
【図１】本発明によるウエハの位置決め搬送装置及び方
法の実施例を概略的に示した正面図。
法の実施例を概略的に示した正面図。
【図２】実施例のウエハ押出し機構とキャリアとウエハ
とウエハガイドなどを拡大して示した断面図。
とウエハガイドなどを拡大して示した断面図。
【図３】実施例のウエハ押出し機構とキャリアとウエハ
とウエハガイドなどを拡大して示した断面図。
とウエハガイドなどを拡大して示した断面図。
【図４】ウエハのオリフラ面のカット寸法を示したた平
面図。
面図。
【図５】ウエハチャックの変形例を示した側面図と平面
図。
図。
【図６】従来のウエハの位置決め搬送装置を概略的に示
した正面図。
した正面図。
【図７】従来のウエハの位置決め搬送装置におけるキャ
リアとウエハとウエハガイドなどの関係を示した断面
図。
リアとウエハとウエハガイドなどの関係を示した断面
図。
【図８】従来のウエハの位置決め搬送装置におけるキャ
リアとウエハとウエハガイドなどの関係を示した断面
図。
リアとウエハとウエハガイドなどの関係を示した断面
図。
３ ウエハ ４ キャリア ５ ウエハガイド ６ ウエハチャック ７ ウエハ押出し機構
Claims (5)
- 【請求項１】ほぼ円形状のウエハの外周面の離間した二
か所に当接する一対の当接部を有するウエハ収容用のキ
ャリアと、上記ウエハとほぼ同一半径の円弧面を有し、
上記円弧面が上記キャリアに収容されたウエハの外周面
に当接するように水平方向に移動されるウエハガイド
と、上記ウエハガイドと一体的に構成され、上記ウエハ
ガイドの円弧面との当接によって位置決めされたウエハ
を保持するウエハチャックとを具備するウエハの位置決
め搬送装置において、上記キャリアの一対の当接部の間
から上記ウエハに当接して上記ウエハを第１の所定量だ
け上記当接面から離間する方向に押出すウエハ押出し機
構を更に具備し、上記ウエハガイドは上記移動によって
押出されたウエハの外周面に当接し、上記ウエハチャッ
クが上記ウエハを第２の所定量だけ上記当接面に近付く
方向に移動させることを特徴とするウエハの位置決め搬
送装置。 - 【請求項２】上記第１の所定量は、上記第２の所定量よ
りも大きいことを特徴とする請求項１に記載のウエハの
位置決め搬送装置。 - 【請求項３】上記ウエハはオリエンテーションフラット
面を有し、上記第２の所定量は上記ウエハのオリエンテ
ーションフラット面のカット寸法よりも大きく定められ
ていることを特徴とする請求項２に記載の位置決め搬送
装置。 - 【請求項４】ウエハガイドの円弧面を円形状のウエハの
外周面に当接させて上記ウエハを位置決めした後に、上
記ウエハガイドと一体構成のウエハチャックによって上
記位置決めされたウエハを保持して搬送するウエハの位
置決め搬送方法において、キャリアに収容されたウエハ
をウエハ押出し機構によって第１の所定量だけ上記ウエ
ハガイドの方に移動させ、その後、上記ウエハガイドを
逆方向に移動させることによって上記円弧面を上記ウエ
ハの外周面に当接させたまま第２の所定量だけ移動させ
て、この間にウエハの向きを修正し、その後上記ウエハ
チャックによって上記ウエハを保持することを特徴とす
るウエハの位置決め搬送方法。 - 【請求項５】上記ウエハはオリエンテーションフラット
面を有し、上記第２の所定量は上記ウエハのオリエンテ
ーションフラット面のカット寸法よりも大きく定めら
れ、上記第１の所定量は上記第２の所定量よりも大きく
定められていることを特徴とする請求項４に記載のウエ
ハの位置決め搬送方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27748494A JPH08139162A (ja) | 1994-11-11 | 1994-11-11 | ウエハの位置決め搬送装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27748494A JPH08139162A (ja) | 1994-11-11 | 1994-11-11 | ウエハの位置決め搬送装置及び方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08139162A true JPH08139162A (ja) | 1996-05-31 |
Family
ID=17584244
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27748494A Pending JPH08139162A (ja) | 1994-11-11 | 1994-11-11 | ウエハの位置決め搬送装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08139162A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999021223A1 (fr) * | 1997-10-17 | 1999-04-29 | Olympus Optical Co., Ltd. | Dispositif de transfert de plaquettes |
| CN100413048C (zh) * | 2003-11-28 | 2008-08-20 | 奥林巴斯株式会社 | 盒基座及晶片检查装置 |
-
1994
- 1994-11-11 JP JP27748494A patent/JPH08139162A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999021223A1 (fr) * | 1997-10-17 | 1999-04-29 | Olympus Optical Co., Ltd. | Dispositif de transfert de plaquettes |
| US6309166B1 (en) | 1997-10-17 | 2001-10-30 | Olympus Optical Co., Ltd. | Wafer transfer device |
| CN100413048C (zh) * | 2003-11-28 | 2008-08-20 | 奥林巴斯株式会社 | 盒基座及晶片检查装置 |
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