JPH08139110A

JPH08139110A - 物体規制装置

Info

Publication number: JPH08139110A
Application number: JP5163270A
Authority: JP
Inventors: Toshizou Torigoe; 聡蔵鳥越
Original assignee: Kaijo Corp
Current assignee: Kaijo Corp
Priority date: 1993-06-08
Filing date: 1993-06-08
Publication date: 1996-05-31

Abstract

(57)【要約】【目的】規制対象物体の表面に凹凸があろうとも作業
者を煩わせることなく確実にこれを規制することができ
且つその有無を検知することもできると共に、作業者に
よる調整作業を行わずとも規制対象物体と規制部材との
隙間を常に正確に設定することが可能であり、しかも部
品点数を削減することによる原価低減が図り易い物体規
制装置を提供すること。【構成】各規制部材７３、７４、７５が規制対象物体
Ｍに直接係合してそれ以上移動し得ないことによる駆動
手段３５、４５、６５の停止を、信号発生手段４０、５
０、７０からの信号が絶たれたことにより確認し、これ
を以て規制完了及び規制対象物体の存在の検知としてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、物体を所望の位置に位
置決め規制する物体規制装置に関する。

【０００２】

【従来技術】従来、この種の物体規制装置として、例え
ば半導体部品製造用として供されるワイヤボンディング
装置に備えられているものがあり、該ワイヤボンディン
グ装置の一例を図１２乃至図１４に示す。なお、当該装
置は実開平４−２０２３２号公報において開示されてい
る。

【０００３】図１２に示すように、当該ワイヤボンディ
ング装置においては、複数枚のリードフレームＬ＼Ｆを
配列収容（紙面に対して垂直な方向において配列）した
規制対象物体としてのマガジンＭが、マガジン位置決め
装置としてのローダ１５１に装填される。該各リードフ
レームＬ＼Ｆにはその長手方向に沿って複数のＩＣチッ
プ１５３が等ピッチにて装着されている。

【０００４】装填されたマガジンＭ内の各リードフレー
ムＬ＼Ｆのうち例えば最下段の１枚が、図示しないフレ
ーム移送手段によって押出され、ヒータープレート１５
５上に搬送される。なお、該フレーム移送手段により搬
送されるリードフレームＬ＼Ｆは、その両側に対応する
ように配置された１対のガイドレール１５７，１５８に
より案内される。図において矢印Ｎにて示すように、こ
れらガイドレール１５７，１５８は相互の間隔が調整自
在になっており、幅寸法の異なる種々のリードフレーム
に対応可能である。

【０００５】上記のようにリードフレームＬ＼Ｆがヒー
タープレート１５５上に達すると、上記フレーム移送手
段は該リードフレームＬ＼ＦをＩＣチップ１５３の配列
ピッチずつ間欠送りし、これに伴って各ＩＣチップ１５
３と該リードフレームに形成されているリード（図示せ
ず）とが、ボンディング手段１６０により導電性のワイ
ヤを用いてボンディング接続される。そして、ボンディ
ングを完了したリードフレームＬ＼Ｆは、上記フレーム
移送手段によって更に後送され、ローダ１５１と同様の
構成を有するアンローダ１６２に装填されている空のマ
ガジンＭ内に収容される。

【０００６】次に、ローダ１５１において、マガジンＭ
がその収容したリードフレームＬ＼Ｆの配列ピッチの１
ピッチ分だけ下降せられ、上記の一連の動作が最下段か
ら２枚目のリードフレームについて行われる。以下、マ
ンガンＭ内の各リードフレームＬ＼Ｆについてボンディ
ングを終了するまで繰返される。

【０００７】ここで、上記ローダ１５１について詳述す
る。なお、前述したように、アンローダ１６２に関して
はローダ１５１と同様の構成である故、その説明を省略
する。

【０００８】図１２にその概略を示すように、ローダ１
５１は、マガジンＭ内に配列収容された各リードフレー
ムＬ＼Ｆを前述したフレーム移送手段をして１枚ずつ取
り出させるために該マガジンＭをリードフレームＬ＼Ｆ
の配列ピッチずつ下降若しくは上昇（紙面に対して垂直
な方向）させて位置決めする位置決め手段１６５と、該
位置決め手段１６５を搭載した可動ベース１６６と、該
可動ベース１６６上に設けられて規制対象物体たる該マ
ガジンＭをその移動方向に対して垂直な水平面内におい
て規制する物体規制装置としての規制手段１６７とを有
している。

【０００９】上記可動ベース１６６は、当該ワイヤボン
ディング装置の本体である架台１７０上に図示しない案
内機構を介して取付けられ、矢印０にて示す方向、すな
わち前述の両ガイドレール１５７，１５８の可動方向Ｔ
と平行な方向において可動となっている。

【００１０】物体規制装置として作用する上記規制手段
１６７は、図１３に示すように構成されている。

【００１１】図１３に示すように、この規制手段１６７
は、略Ｌ字状に形成されたフレーム１９０を有してお
り、該フレーム１９０は上記可動ベース１６６に対して
固定されている。また、該フレーム１９０の屈曲部の近
傍には断面形状がＬ字状の規制部材１９２が配置されて
おり、これも上記可動ベース１６６に対して固定されて
いる。

【００１２】上記フレーム１９０の一辺には、上記の規
制部材１９２と協働してマガジンＭをその幅方向（矢印
Ｒ方向）において規制するための規制部材１９３が該幅
方向において移動可能に取付けられている。この規制部
材１９３にはナット１９４が固着され、フレーム１９０
に該規制部材１９３の移動方向と平行に取付けられたね
じ軸１９５に該ナット１９４が螺合している。また、フ
レーム１９０上には、該ねじ軸１９５を回転駆動するパ
ルスモータ１９７が固設されている。なお、両規制部材
１９２，１９３は、その各々の長さ（紙面に対して垂直
な方向の寸法）が、マガジンＭを少なくとも１つ以上ガ
イドできるように設定されている。

【００１３】一方、フレーム１９０の他方の辺には、固
定側としての上記規制部材１９２と協働してマガジンＭ
をその長さ方向（矢印Ｓ方向）において規制するための
規制部材２０３が該長さ方向において移動可能に取付け
られている。該規制部材２０３にはナット２０４が固着
され、フレーム１９０に該規制部材２０３の移動方向と
平行に取付けられたねじ軸２０５に該ナット２０４が螺
合している。また、フレーム１９０には、該ねじ軸２０
５を回転駆動するパルスモータ２０７が固設されてい
る。なお、該規制部材２０３は上記した規制部材１９２
及び１９３と略同じ長さを有している。

【００１４】なお、上記規制部材２０３の所定位置には
マガジンプッシャー２１０が設けられている。

【００１５】また、上記両規制部材１９３及び２０３に
は、各規制部材１９２、１９３及び２０３によるマガジ
ンＭの規制が完了したことを検知するための検知手段２
１２及び２１３が設けられている。

【００１６】ここで、該検知手段２１２及び２１３につ
いて、図１４に基づいて説明する。なお、両検知手段２
１２、２１３は同様に構成されている故、一方の検知手
段２１２についてのみ説明する。

【００１７】図１４に示すように、この検知手段２１２
は、支持ピン２１７、ストパブロック２１８及びセンサ
２１９を有しており、これらはすべて上記規制部材１９
３に固着されている。該支持ピン２１７により、アーム
２２１が揺動自在に支持されている。このアーム２２１
の一端には円板２２２が回転可能に設けられ、他端には
センサ検知板２２３が設けられている。そして、該セン
サ検知板２２３が設けられた部分と上記ストッパブロッ
ク２１８とにはばね２２５が架設され、アーム２２１は
このばね２２５によって図における時計方向に付勢され
ている。また、該ばね２２５によるアーム２２１の回動
を所定範囲内にて規制するためのストッパ２２７が設け
られている。

【００１８】次に、上記した構成のローダ１５１の動作
について説明する。

【００１９】まず、図１３に示す各規制部材１９２，１
９３及び２０３により囲まれる空間内に、上方から、例
えば２つのマガジンＭを重ねるようにして挿入し、図１
２に示す位置決め手段１６５上に載置する。この状態で
作動指令信号が発せられ、図１３に示す各パルスモータ
１９７，２０７が共に正回転せられる。これにより、両
規制部材１９３及び２０３が各々規制部材１９２に向け
て移動し、両マガジンＭは規制される。なお、この規制
動作が完了したことは、図１４に示す検知手段２１２
（他の検知手段２１３も同様である）が下記のように作
用することにより検知される。

【００２０】すなわち、図１３に示す規制部材１９３が
マガジンＭに近接すると、円板２２２が該マガジンＭの
側面に当接する。この当接後、更に規制部材１９３が同
方向に移動することにより該円板２２２を介してアーム
２２１が反力を受け、図における反時計方向に揺動す
る。これによって、センサ検知板２２３がセンサ２１９
から離脱し、図示しない制御回路内の論理が変わり（例
えば、ｈｉｇｈ→ｌｏｗ若しくはｌｏｗ→ｈｉｇｈ）、
これを以て検知とする。この検知出力により制御回路は
パルスモータ１９７（２０７）の回転を停止する信号を
発し、規制部材１９３（２０３）を停止させる。

【００２１】なお、上述の規制動作の後、又は同時に、
図１２に示す可動ベース１６６が移動せられ、該図に示
す各ガイドレール１５７、１５８により画定されるフレ
ーム搬送路に対してマガジンＭ内のリードフレームＬ＼
Ｆが円滑に流入すべく、マガジンＭの幅方向の位置出し
が行われる。但し、このとき、上記各規制部材１９２、
１９３、２０３とマガジンＭとの間には適当な隙間が設
けられ、図１２に示す位置決め手段１６５の作動による
マガジンＭの下降（若しくは上昇）動作を可能とする。

【００２２】次いで、図１２に示す位置決め手段１６５
が作動せられ、両マガジンＭは収容しているリードフレ
ームＬ＼Ｆの配列ピッチずつ下降する。前述したよう
に、このマガジンＭの下降動作に連動して、リードフレ
ームＬ＼Ｆが１枚ずつマガジン外に取出され、ボンディ
ングが行われる。

【００２３】かくして１つ目のマガジンＭ内のすべての
リードフレームＬ＼Ｆについてボンディングが終了する
と、図１３に示したマガジンプッシャー２１０が突出動
作せられ、上方に位置する２つ目のマガジンが規制部材
１９２に対して押圧固定される。そして、空になった１
つ目のマガジンＭは更に下降せられて位置決め手段１６
５から取外され回収される。

【００２４】１つ目のマガジンが回収されると、上記マ
ガジンプッシャー２１０が引込動作せられ、２つ目のマ
ガジンＭが上記位置決め手段１６５により担持される。
以下、１つ目のマガジンに対すると同様の一連の動作が
行われ、この２つ目のマガジンＭ内の各リードフレーム
Ｌ＼Ｆに関してもボンディングが施される。

【００２５】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の物体規
制装置たる規制手段１６７においては、駆動源としてパ
ルスモータ１９７及び２０７を具備していることから、
各規制部材１９３及び２０３の移動量を自動的にデジタ
ル制御することによってマガジンの品種交換に迅速に対
処できるものである。しかしながら、下記の問題を擁し
ている。

【００２６】すなわち、図１５に示すように、その表面
に凹部２３１及び凸部２３２が形成されているマガジン
Ｍを使用する場合、この凹凸のわずかなずれ等により、
図１４に示した検知手段２１２が正確に作動しないこと
が考えられ、この場合、該マガジンＭの規制が確実に行
われなくなると共に、これを改善するため調整を行うな
どの気遣いを常に作業者に負わせるという欠点がある。

【００２７】また、図１２に示した位置決め手段１６５
の作動によるマガジンＭの下降（若しくは上昇）動作を
可能とするために各規制部材１９２、１９３及び２０３
とマガジンＭとの間には適当な隙間が設けられるのであ
るが、この隙間の大きさの設定はマガジンの品種が変わ
る度に図１４におけるストッパ２２７を作業者が調整す
ることにより行われ、該調整は必ずしも容易ではないと
共に常に正確な設定を期待することができないという欠
点がある。

【００２８】また、上記検知手段２１２（２１３）の部
品点数が多く、その組立工数及び加工工数も増すこと
が、原価低減の妨げになるという欠点もある。

【００２９】本発明は上記従来技術の欠点に鑑みてなさ
れたものであって、規制対象物体の表面に凹凸があろう
とも作業者を煩わせることなく確実にこれを規制するこ
とができ且つその有無を検知することもできると共に、
作業者による調整作業を行わずとも規制対象物体と規制
部材との隙間を常に正確に設定することが可能であり、
しかも部品点数を削減することによる原価低減が図り易
い物体規制装置を提供することを目的としている。

【００３０】

【課題を解決するための手段】本発明による物体規制装
置は、互いに接離自在にして規制対象物体を規制する規
制部材と、該規制部材各々を移動させる駆動手段と、前
記駆動手段の作動量に応じた信号を発生する信号発生手
段を備え、前記規制部材が前記規制対象物体を規制した
こと及び該規制対象物体の有無を検知する検知手段を有
するように構成したものである。

【００３１】

【実施例】次に、本発明の実施例としての物体規制装置
を具備したワイヤボンディング装置を添付図面を参照し
つつ説明する。なお、当該ワイヤボンディング装置は以
下に説明する部分以外は図１２乃至図１４に示した従来
のワイヤボンディング装置と同様に構成されている故、
ワイヤボンディング装置全体としての説明は省略し、要
部のみの説明に留める。また、以下の説明において、該
従来のワイヤボンディング装置の構成部材と同一の構成
部材に関しては同じ参照符号を付している。

【００３２】図１乃至図３において参照符号１にて示す
のはマガジン位置決め装置としてのアンローダであり、
該アンローダ１は図１２における各ガイドレール１５
７，１５８及びボンディング手段１６０の左側、すなわ
ちリードフレーム搬送方向下流側に配置される。該アン
ローダ１にはリードフレームＬ＼Ｆを多数配列収容し得
る空のマガジンＭが装填され、該ボンディング手段１６
０によりボンディングを施されて搬送されてくるリード
フレームＬ＼Ｆを該マガジンＭ内に順次取入れて配列収
納することを行う。なお、図１２における各ガイドレー
ル１５７，１５８の右側には、未ボンディング状態のリ
ードフレームを収容した状態で装填されたマガジンから
該リードフレームを１枚ずつ取出してボンディング手段
１６０に向けて供給するマガジン位置決め装置としての
ローダ（図示せず）が配設されるが、該ローダは上記ア
ンローダ１とほぼ対称の構成である故、その説明は省略
し、アンローダ１についてのみ説明する。

【００３３】アンローダ１は、図２乃至図４において参
照符号５にて示す位置決め手段を有している。この位置
決め手段５には空のマガジンＭが装着され、該マガジン
Ｍをその収容すべきリードフレームＬ＼Ｆの配列ピッチ
ずつ間欠的に下降させて位置決めすることを行う。この
間欠的な位置決め動作に合わせ、上記ボンディング手段
１６０によりボンディングを施されたリードフレームＬ
＼Ｆが図示しないフレーム移送手段により順次持ち来さ
れ、該マガジンＭ内に収容される。

【００３４】上記位置決め手段５は下記のように構成さ
れている。

【００３５】図４から特に明らかなように、この位置決
め手段５は装置架台１７０に固定されたベース８上に設
けられており、矢印Ｚにて示す上下方向において延在し
て設けられて軸受１０を介して該ベース８に取付けられ
たねじ軸１２と、該ねじ軸１２を回転駆動するパルスモ
ータ１３と、該ねじ軸１２に螺合した昇降部材１４と、
該昇降部材１４に結合し、マガジンＭを受けるマガジン
受部１５とを有している。ねじ軸１２の上端部及びパル
スモータ１３の出力軸１３ａには夫々歯付ベルト車１２
ｂ，１３ｂが嵌着され、該両歯付ベルト車に歯付ベルト
１７が掛回されており、これによって動力の伝達がなさ
れる。なお、これらパルスモータ１３等は図１にも示し
ている。また、パルスモータ１３はブラケット１９を介
して上記ベース８に取付けられている。

【００３６】ローダ１は、上述の位置決め手段５により
移動せられるマガジンＭをその移動方向に対して垂直な
面内において規制する規制手段を有しており、以下、こ
の規制手段について説明する。なお、該規制手段も上記
位置決め手段５と共に上記ベース８上に設けられ、装置
架台１７０に対して固定された状態となっている。

【００３７】図１乃至図３に示すように、当該規制手段
は、上記ベース８上に固設された固定フレーム２１と、
各々固定フレーム２１上に矢印Ｇにて示す方向において
往復動自在に設けられた一対の可動フレーム２３及び２
４と、該各可動フレーム２３，２４を夫々移動させる駆
動手段２６及び２７とを有している。両可動フレーム２
３，２４と固定フレーム２１との間には、トラックレー
ル２９ａ，３０ａ及びスライダ２９ｂ，３０ｂからなる
直動案内ユニットが介装され、これによって該両可動フ
レーム２３，２４が矢印Ｇ方向において可動となってい
る。

【００３８】上記各駆動手段２６及び２７については次
のように構成されている。

【００３９】まず、駆動手段２６は、図１及び図２に示
すようにこれが駆動すべき可動フレーム２３の移動方向
Ｇにおいて延在して設けられて軸受３３を介して固定フ
レーム２１に取付けられたねじ軸３４と、該ねじ軸３４
を回転駆動するパルスモータ３５と、該ねじ軸３４に螺
合すると共に可動フレーム２３に固着されたナット３６
とを有している。ねじ軸３４の一端部及びパルスモータ
３５の出力軸３５ａには各々歯付ベルト車３４ｂ，３５
ｂが嵌着され、該両歯付ベルト車に歯付ベルト３７が掛
回されており、これによってパルスモータ３５よりの動
力がねじ軸３４に伝達される。また、ねじ軸３４の一端
部にはカップリング３９を介して信号発生手段としての
エンコーダ４０が連結されている。このエンコーダ４０
は、上記パルスモータ３５の回転量に応じたパルス信号
を発する。

【００４０】一方、可動フレーム２４を駆動する駆動手
段２７に関しても同様であり、図１及び図３に示すよう
に、可動フレーム２４の移動方向Ｇにおいて延在して設
けられて軸受４３を介して固定フレーム２１に取付けら
れたねじ軸４４と、該ねじ軸４４を回転駆動するパルス
モータ４５と、該ねじ軸４４に螺合すると共に可動フレ
ーム２４に固着されたナット４６とを有している。ねじ
軸４４の一端部及びパルスモータ４５の出力軸４５ａに
は各々歯付ベルト車４４ｂ，４５ｂが嵌着され、該両歯
付ベルト車に歯付ベルト４７が掛回されており、これに
よって動力伝達が行われる。また、ねじ軸４４の一端部
にはカップリング４９を介して信号発生手段としてのエ
ンコーダ５０が連結されている。このエンコーダ５０
は、上記パルスモータ４５の回転量に応じたパルス信号
を発する。

【００４１】図１及び図３に示すように、上記した可動
フレーム２４上には、可動ブラケット５３が矢印Ｈ（図
１参照）にて示す方向において往復動自在に設けられて
いる。詳しくは、この可動ブラケット５３と可動フレー
ム２４との間にはトラックレール５４ａ及びスライダ５
４ｂからなる直動案内ユニットが介装され、これによっ
て該可動ブラケット５３が可動となっている。

【００４２】なお、上記矢印Ｈ方向は前述した矢印Ｇ方
向に対して垂直であり、マガジンＭの長さ方向及び幅方
向がこれら矢印Ｈ及びＧ方向に夫々一致するようになさ
れている。

【００４３】上記可動ブラケット５３を移動させる駆動
手段５６が設けられており、該駆動手段５６は次のよう
に構成されている。

【００４４】図１乃至図３に示すように、この駆動手段
５６は、可動ブラケット５３が移動すべき矢印Ｈ方向
（図１参照）において延在して設けられて軸受６３を介
して可動フレーム２４に取付けられたねじ軸６４と、該
ねじ軸６４を回転駆動するパルスモータ６５と、該ねじ
軸６４に螺合すると共に可動ブラケット５３に固着され
たナット６６とを有している。ねじ軸６４の一端部及び
パルスモータ６５の出力軸６５ａには各々歯付ベルト車
６４ｂ，６５ｂが嵌着され、該両歯付ベルト車に歯付ベ
ルト６７が掛回されており、これによってパルスモータ
６５よりの動力がねじ軸６４に伝達される。また、ねじ
軸６４の一端部にはカップリング６９を介して信号発生
手段としてのエンコーダ７０が連結されている。このエ
ンコーダ７０は、上記パルスモータ６５の回転量に応じ
たパルス信号を発する。

【００４５】図１乃至図３に示すように、前述した各可
動フレーム２３及び２４並びに可動ブラケット５３に
は、マガジンＭを規制するための長尺の規制部材７３，
７４及び７５が上下方向（矢印Ｚ方向）において延在し
た状態にて取付けられている。これら規制部材７３乃至
７５は、これらを夫々搭載した可動フレーム２３，２４
並びに可動ブラケット５３の作動により、互いに相対的
に近接及び離間する。

【００４６】図から明らかなように、規制部材７３は全
体として矩形板状に形成され、一対設けられている。ま
た、他の規制部材７４及び７５は１本ずつ設けられ、図
１から明らかなように各々断面形状はＬ字状となってい
る。マガジンＭは、該両規制部材７４及び７５の各一辺
に形成された規制面７４ａ，７５ａと、上記の矩形板状
の規制部材７３とによってその幅方向において規制され
る。また、両規制部材７４及び７５の各他辺に形成され
た規制面７４ｂ，７５ｂにより、マガジンＭの長さ方向
の規制が行われる。なお、図２に示すように、規制部材
７４には、ボンディングが施された後のリードフレーム
Ｌ＼ＦをマガジンＭ内に収納させる際に該リードフレー
ムＬ＼Ｆを通過させるためのスリット７４ｄが形成され
ている。

【００４７】ここで、上記から明らかなように、当該装
置においては、互いに協動してマガジンＭをその幅方向
において規制すべく該マガジンＭを挾んで位置する各規
制部材７３並びに７４及び７５が、夫々可動フレーム２
３，２４を介して固定フレーム２１上に個別に取付けら
れ、互いに独立して作動するようになされている。かか
る構成の故、該各規制部材７３，７４，７５を夫々マガ
ジン幅方向において駆動するために設けられた２組の駆
動手段２６，２７が具備する送り機構が含むねじ軸３４
及び３５同士を、互いに同じ長さのものとすることがで
き、これにより部品の共通化が可能となっている。

【００４８】何んとなれば、本実施例においてはマガジ
ンＭの片側に配置された規制部材７４，７５を搭載した
可動フレーム２４がトラックレール３０ａ及びスライダ
３０ｂからなる直動案内ユニットを介して固定フレーム
２１に可動に取付けられているが、仮に、他側に配置さ
れた規制部材７３を搭載した可動フレーム２３上にこの
可動フレーム２４を該直動案内ユニットを介して同じ方
向に可動に取付けることを考え、該両可動フレーム２
３，２４の駆動も夫々上述のねじ軸３４，４４及びナッ
ト３６，４６からなる送り機構を以て行うこととする。

【００４９】この場合、上記規制部材７３をマガジンＭ
に近接させるべく可動フレーム２３を例えばａだけ移動
させると、該可動フレーム２３上に搭載されている可動
フレーム２４も同方向にａだけ移動し、該可動フレーム
２４上に設けられている規制部材７４，７５は逆にマガ
ジンＭからａだけ離間する状態となる。従って、この規
制部材７４，７５をマガジンＭに近接させるには、これ
らを搭載した可動フレーム２４を上記可動フレーム２３
の移動量の倍、すなわち２ａだけ移動させねばならな
い。故に、該両可動フレーム２３，２４を夫々送り駆動
するためのねじ軸３４，４４については、一方のねじ軸
３４の有効長さをＬとするなら、他方のねじ軸４４の有
効長さをその倍の２Ｌとする必要があり、両ねじ軸を共
通化することはできない。

【００５０】本実施例においては、前述の構成を採用し
たことにより、両ねじ軸３４，４４の長さは同じでよ
く、両者を共通の部品とすることができるのである。な
お、かかる本実施例の構成によれば、マガジンＭの片側
に配置された規制部材７３と他側に配置された規制部材
７４，７５との各移動速度を互いに相対的に等速とする
ことが容易である。よって、リードフレームＬ＼Ｆを案
内するために設けられた図１２に示す一対のガイドレー
ル１５７及び１５８の相対的な等速運動に対して上記各
規制部材７３，７４，７５の近接離間動作を合わせるた
めの制御が簡単となっている。

【００５１】ところで、図１及び図２に示すように、マ
ガジンＭの幅方向における片側に配置された各規制部材
７３には、リードフレーム搬送レベル８０に対応する位
置を始めとして、その長手方向に沿って複数の回転部材
としてのローラ８１が設けられている。これらのローラ
８１のうち、特に、リードフレーム搬送レベル８０に対
応するものは、マガジンＭをその他側に設けられた規制
部材７４，７５に向けて付勢するためのものであり、該
ローラには該ローラをマガジンＭに当接させるべく押圧
するための下記の機構が付加されている。なお、各ロー
ラ８１及びこれに付加される機構は夫々同様に構成され
ている故、１つのローラ及びその付加機構についてのみ
説明する。また、該各ローラ及びそれらに付加された各
機構については、その数及び配置位置等は適宜可変であ
ることは言うまでもない。

【００５２】図５及び図６に示すように、規制部材７３
の側面にピン８３により支持プレート８４が揺動自在に
取付けられており、ローラ８１は該支持プレート８４の
自由端部に回転自在に設けられている。すなわち、ロー
ラ８１はこの支持プレート８４の揺動によってマガジン
Ｍに対して近接及び離間する。なお、ローラ８１の回転
軸はマガジンＭの移動方向Ｚに対して垂直に設定されて
いる。

【００５３】支持プレート８４の上端部には例えば三角
形状の突部８４ａが形成されており、該突部８４ａに押
圧部材としてのコイルスプリング８６の一端が連結され
ている。このコイルスプリング８６の他端は、支持プレ
ート８４の上方にて規制部材７３に植設されたピン８７
に連結されている。すなわち、支持プレート８４が該コ
イルスプリング８６により図５における反時計方向に付
勢され、以てローラ８１がマガジンＭに当接するのであ
る。なお、支持プレート８４の上方にはナット８９が配
置され、かつ、規制部材７３に固着されており、該ナッ
ト８９に螺合したねじ９０が支持プレート８１の突部８
４ａに係合している。これにより、支持プレート８４の
揺動が所定位置にて規制される。

【００５４】上記したローラ８１と、支持プレート８４
と、コイルスプリング８６と、これらの周辺の関連部材
とにより、マガジンＭを規制部材７４，７５に向けて付
勢する付勢手段が構成されている。かかる構成の故、マ
ガジンＭは位置決め手段５による下降（若しくは上昇）
動作中、常に規制部材７４，７５に対して適当な押圧力
を以て接触し、傾きを生ずることがない。このように、
マガジンＭが傾くことがないから、図１２に示すヒータ
ープレート１５５上にてボンディングを施されて両ガイ
ドレール１５７，１５８を通じて搬出されてくる各リー
ドフレームＬ＼Ｆは、マガジンＭの入口部に引掛ること
なく円滑に収納され、引掛り等によるリードフレームＬ
＼Ｆの損傷等を防止することが可能であり、信頼性が高
まっている。

【００５５】因に、図１２乃至図１４に示した従来のワ
イヤボンディング装置においては、本願における上記付
勢手段が設けられてはおらず、マガジンＭを位置決め手
段１６５上に搭載させた状態において、該マガジンＭの
底面と側面との直角度の誤差によって該マガジンが傾き
を生ずる。このようにマガジンが傾きを生ずると、ガイ
ドレール１５７，１５８を経て搬送されて来るリードフ
レームＬ＼ＦがマガジンＭの入口部に引掛るなどの不都
合が発生するのである。このため、従来のワイヤボンデ
ィング装置においては、底面と側面との直角度を高い精
度を以て設定しなければならないという制約がある。

【００５６】本実施例においては、底面と側面の直角度
の精度が多少低いマガジンＭを用いようとも、上記した
付勢手段の作用によって該マガジンＭの傾きは防止され
るので、マガジンＭの製作精度の高低に係わらずあらゆ
る種類のマガジンに対応することが可能であり、フレキ
シブル性の高いボンディング装置の提供に寄与するもの
である。

【００５７】なお、本発明に係る装置においては、上記
付勢手段の構成部材としてローラ８１を利用し、位置決
め手段５の作動によるマガジンＭの下降（若しくは上
昇）に伴って該ローラ８１が該マガジンＭの側面に当接
しつつ回転するようになしている。かかる構成を採用し
たことによって、該ローラ８１を押圧するコイルスプリ
ング８６を強力なものにしようとも、マガジンＭの下降
（若しくは上昇）時の抵抗は低く抑えられ、抵抗増大に
よるマガジンＭの引掛りや、摩耗等の発生を防止するこ
とができる。但し、この場合、該ローラ８１に対してマ
ガジンＭを挾んで反対側に位置する規制部材７４、７５
に関し、少なくとも該マガジンＭとの摺接部について、
摩擦係数が小さい材質により形成し、マガジンＭの昇降
を円滑化する。また、このような摩擦力低減の構成を用
いない場合には、上記ローラ８１がマガジンＭから若干
離間するように規制部材７３を移動させるべく制御して
押圧力を弱め、マガジンＭの昇降動作の円滑化を図る。

【００５８】図７に示すように、前述した各エンコーダ
４０，５０及び７０より発せられるパルス信号は当該ワ
イヤボンディング装置の作動制御を司る制御部（以下、
ＣＰＵと称する）９５に送られ、該ＣＰＵはこれらの信
号や、キーボード９６及び撮像装置９７（図１２に示す
ヒータープレート１５５の上方に配置されている）等よ
り送信される信号を受けて、各パルスモータ３５，４
５，６５及び１３並びにフレーム移送手段（図７のみに
示すだけであり、具体的には図示してはいない）９９及
びボンディング手段１６０（図１２参照）を後述のタイ
ミングを以て作動させる。

【００５９】次に、上記構成のワイヤボンディング装置
において、取り扱われるリードフレームＬ＼Ｆの種類が
変更される場合の調整動作について、図８乃至図１１を
も参照しつつ説明する。この場合、上記ＣＰＵ９５（図
７参照）はＲＯＭ（ＲｅａｄＯｎｌｙＭｅｍｏｒｙ）
１０１に予め入力されている作業手順情報を読み出して
これに基づき作動制御を行う。また、後述のように、Ｒ
ＡＭ（ＲａｎｄｏｍＡｃｃｅｓｓＭｅｍｏｒｙ）１０
２に情報を入力し、記憶させる。

【００６０】まず、キーボード９６（図７参照）が操作
されることなどによって指令信号が発せられると、ＣＰ
Ｕ９５は、図１に示す各パルスモータ３５，４５及び６
５を夫々逆回転させて各ねじ軸３４，４４及び６４を回
転駆動し、以て各可動フレーム２３，２４及び可動ブラ
ケット５３を移動させ、各規制部材７３，７４及び７５
を図８に示すように外側、すなわち互いに離間する方向
に移動させ、夫々の基準位置に位置決めする。この各規
制部材７３，７４，７５の相互離間方向における基準位
置を第１基準位置と称する。また、各規制部材７３，７
４，７５の相互近接方向における基準位置も第２基準位
置として設定している。各規制部材７３，７４及び７５
がこの第２基準位置にあるとき、当該ワイヤボンディン
グ装置にて取扱われるべき最小寸法のマガジンでも、こ
れら規制部材間に挿入することはできない。すなわち、
該第２基準位置とは、各規制部材７３，７４，７５の相
互の間隔が、この最小のマガジンの外径寸法よりも小と
なるように設定されているのである。

【００６１】従って、ＣＰＵ９５は、各規制部材７３，
７４，７５が互いに近接する方向への移動を開始した
後、該第２基準位置に至ると、これを以てマガジンが装
填されていない状態の検知と判定する。また、各規制部
材７３，７４，７５が上記第１基準位置より発進して第
２基準位置に向う間に各エンコーダ４０，５０及び７０
よりのパルス信号が得られなくなると、これを以て、マ
ガジンＭの規制完了及びその存在の検知とする。

【００６２】すなわち、マガジンＭが存在する場合にお
いては、各規制部材７３，７４，７５がマガジンＭに係
合した状態となればそれ以上移動し得ないことから、上
記各エンコーダ４０，５０，７０よりのパルス信号が断
たれる。この状態を以て検知として該各パルスモータを
停止する訳である。かかる構成においては、各規制部材
７３、７４、７５が夫々平面的に広い範囲でマガジンＭ
に接触するため、該マガジンＭの表面に凹凸が形成され
ていても確実に規制でき且つマガジンの有無を検知する
ことができる。また、各規制部材７３、７４、７５がマ
ガジンＭに係合した後、単に各パルスモータ３５、４
５、６５を予め定めた作動量だけ逆回転させることによ
りマガジンＭと各規制部材７３、７４、７５との隙間を
常に正確に設定することができる。

【００６３】さて、前述のように、各規制部材７３，７
４，７５が相互に離間して第１基準位置に達すると、こ
の状態で該各規制部材の間に新たに取り扱うべきリード
フレームを収容すべき空のマガジンＭを例えば２つ、上
下に重ねた状態で上方から挿入し、位置決め手段５が具
備するマガジン受部１５上に載置する。

【００６４】この状態で作動指令信号が発せられ、例え
ば、マガジンＭの幅方向における片側に位置する規制部
材７３を駆動するためのパルスモータ３５が正回転せら
れ、図９に示すように該規制部材７３が他側の規制部材
７４，７５に向けて移動する。これにより、マガジンＭ
は該規制部材７３により押圧されて該両規制部材７４，
７５に押し付けられ、各規制部材７３，７４，７５によ
り幅方向において挾持された状態となる。但し、規制部
材７３に関してはそれ自体がマガジンＭに当接するので
はなく、図１及び図２並びに図５及び図６に示すローラ
８１が当接する。この挾持状態になると、移動して来た
規制部材７３はそれ以上移動し得ないことからパルスモ
ータ３５が停止し、エンコーダ４０からのパルス信号が
得られなくなる。ＣＰＵ９５（図７参照）はこの状態を
以てマガジン幅方向の規制完了と共にマガジンの存在を
確認してパルスモータ３５への給電を停止する。なお、
この際、パルスモータ３５がその慣性によって数パルス
分は余分に回転してしまうことを考慮し、パルスモータ
停止後にこの数パルス分だけ逆回転させることが好まし
い。

【００６５】この後、上記パルスモータ３５が僅かに逆
回転せられる。これにより、上記各規制部材７３，７
４，７５とマガジンＭの側面との間に適当な隙間（図示
せず）が設けられる。

【００６６】次に、パルスモータ６５が正回転せられ
て、マガジンＭの長さ方向における片側に位置する規制
部材７５が図１０に示すように他側に位置する規制部材
７４に向けて移動する。これにより、マガジンＭは該規
制部材７５により押圧されて規制部材７４に押し付けら
れ、該両規制部材７４，７５により長さ方向において挾
持された状態となる。上記規制部材７３の近接動作時と
同様に、このように挾持状になると、規制部材７５はそ
れ以上移動し得ないことからパルスモータ６５が停止
し、エンコーダ７０からのパルス信号が得られなくな
る。上記ＣＰＵ９５はこの状態を以てマガジン長さ方向
の規制完了を確認してパルスモータ６５への給電を停止
する。この後、パルスモータ６５が僅かに逆回転せられ
る。これにより、上記両規制部材７４，７５とマガジン
Ｍの端面との間に適当な隙間（図示せず）が設けられ
る。

【００６７】かくして、マガジンＭは、各規制部材７
３，７４，７５により囲まれた状態にて上下方向におい
て移動自在となり、位置決め手段５によるマガジンＭの
昇降動作が可能となる。

【００６８】次いで、パルスモータ３５が逆回転せられ
ると共にパルスモータ４５が正回転せられ、図１１に示
すように、各規制部材７３，７４，７５がマガジン幅方
向に同じ分解能及び同じ速度にて同期して移動せられ、
リードフレームＬ＼Ｆを案内すべき経路の中心１０５に
対して、マガジンＭの幅方向における中心が一致した時
点で停止せられる。

【００６９】上記のようにマガジンＭの幅方向中心をリ
ードフレーム搬送経路の中心１０５に一致させるべく各
規制部材７３，７４，７５を同じ方向に移動させる際
（図１１に図示の状態）、これら各規制部材の移動量に
ついては、その前工程として行われる一方の規制部材７
３のみの第１基準位置から停止位置までの移動量をＷと
するならば、Ｗ／２に設定される。

【００７０】なお、上記のマガジンＭの位置出し動作と
並行して図１２に示すガイドレール１５７，１５８が、
該マガジンＭに収容されるべきリードフレームＬ＼Ｆを
搬送し得るようにそのレール間隔を調整される。このレ
ール間隔の調整は上記各規制部材７３，７４及び７５の
調整と同様に行われる。

【００７１】上述のようにして、新たに取り扱うべきリ
ードフレームＬ＼Ｆ及びマガジンＭに応じた調整が完了
する。ＣＰＵ９５（図７参照）は、上記のようにして調
整を完了すると、各規制部材７３，７４及び７５並びに
各ガイドレール１５７，１５８（図１２参照）の設定位
置をＲＡＭ１０１（図７参照）に入力して記憶させる。
そして、再び同種のリードフレームＬ＼Ｆ及びマガジン
Ｍが取り扱われる際にこの記憶した情報を読み出して直
ちに位置設定を行う。このように、各規制部材７３，７
４，７５並びに各ガイドレール１５７，１５８の位置設
定を自動的にデジタル制御にて行い、品種毎のデータを
記憶し、必要に応じて該データを読み出すので品種交換
時の設定が容易に行え、時間の短縮、作業の簡素化が図
られる。

【００７２】上述のように調整が完了すると、当該ワイ
ヤボンディング装置がボンディングのための作動を開始
し、ローダ（図示せず）に装填されているマガジン内に
収容されているリードフレームが１枚ずつ順に取り出さ
れてボンディングが施され、ボンディング後のリードフ
レームは前述のアンローダ１上のマガジンＭ内に収容さ
れる。そして、アンローダ１において、所定数のリード
フレームを収容したマガジンＭは、図２に示すプッシャ
１１０により前方に押し出され、ストッカ１１１（図１
に示す）上にストックされる。

【００７３】なお、本実施例においては、各規制部材７
３，７４及び７５並びに両ガイドレール１５７，１５８
の位置調整に際した作動時の基準位置を、これら規制部
材同士及びガイドレール同士が互いに離間する方向にお
ける移動限界位置著しくはその近傍に設定しているが、
この他、任意の位置、例えば新たに取り扱うべきリード
フレームの前に取り扱われていたリードフレームがあれ
ば、この以前のリードフレームＬ＼Ｆ及びこれを収容す
るマガジンＭに合致する位置を基準位置として、新たな
リードフレーム及びマガジンに合致する位置をこの元の
基準位置に基づいて演算処理により得ることも可能であ
る。

【００７４】また、本実施例においては、リードフレー
ムＬ＼Ｆを案内すべき経路の中心１０５（図８乃至図１
１参照）に対してマガジンＭの幅方向中心を一致させる
べく各規制部材７３、７４、７５を同じ方向に移動させ
るのに先立ち、マガジンＭの片側の規制部材７４、７５
を固定状態として他側の規制部材７３のみを移動させる
ことを行っているが、その逆に該規制部材７３を固定と
して規制部材７４、７５を移動させてもよいし、各規制
部材７３、７４、７５を互いに近接するように同時に移
動させてもよい。

【００７５】また、本実施例においてはワイヤボンディ
ング装置におけるマガジンＭを規制対象物体としている
が、リードフレームＬ＼Ｆを規制対象部材として扱って
もよいし、他の装置に本発明を適用してもよい。例え
ば、ワイヤーボンディング作業の前工程として行われる
ウエハーを扱う装置において、該ウエハー自体やこれを
収容するウエハーカセットを規制対象物体として扱うこ
とが可能である。

【００７６】また、本実施例においては、各エンコーダ
４０、５０及び７０は各パルスモータ３５、４５及び６
５の回転量に応じたパルス信号を発するものが設けられ
ているが、この他、例えば、各規制部材７３、７４、７
５の直線的移動量に応じたパルス信号を発するエンコー
ダを設置してもよい。

【００７７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明による物体
規制装置においては、各規制部材が規制対象物体に直接
係合してそれ以上移動し得ないことによる駆動手段の停
止を、信号発生手段からの信号が絶たれたことにより確
認し、これを以て規制完了及び規制対象物体の存在の検
知としている。かかる構成においては、規制部材が平面
的に広い範囲で規制対象物体に接触するため、規制対象
物体の表面に凹凸が形成されていても確実に規制でき且
つ規制対象物体の有無を検知することができ、作業者の
気遣いを必要としないという効果がある。また、規制部
材が規制対象物体に係合してから検知と判断するまでの
所要時間は常に一定となり、従来の検知手段（２１２、
２１３）を設けた場合に生ずるであろう装置間の検知判
定所要時間の機差を無くすことができるという効果があ
る。更に、各規制部材が規制対象物体に係合した後に単
に駆動手段を予め定めた作動量だけ逆作動させることに
より規制対象物体と規制部材との隙間を常に正確に設定
することができるので、作業者による煩雑な調整作業を
行う必要がないという効果がある。また、従来、規制対
象物体と係合すべく規制部材上に装備されていた検知手
段が不要である故に部品点数が少なく、組立及び加工の
工数の低減も可能となり、以て原価の低減が図り易くな
るという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明に係るワイヤボンディング装置
の要部の、一部断面を含む平面図である。

【図２】図２は、図１に関する、一部断面を含むＡ−Ａ
矢視図である。

【図３】図３は、図１に関するＢ−Ｂ矢視図である。

【図４】図４は、図１に関する、一部断面を含むＣ−Ｃ
矢視図である。

【図５】図５は、図２における部分Ｄの拡大図である。

【図６】図６は、図５に関するＥ−Ｅ矢視図である。

【図７】図７は、図１乃至図６に示したワイヤボンディ
ング装置の動作制御系を示すブロック図である。

【図８】図８は、図１乃至図６に示したワイヤボンディ
ング装置の動作説明図である。

【図９】図９は、図１乃至図６に示したワイヤボンディ
ング装置の動作説明図である。

【図１０】図１０は、図１乃至図６に示したワイヤボン
ディング装置の動作説明図である。

【図１１】図１１は、図１乃至図６に示したワイヤボン
ディング装置の動作説明図である。

【図１２】図１２は、従来のワイヤボンディング装置の
平面図である。

【図１３】図１３は、図１２に示したワイヤボンディン
グ装置が具備する規制手段の平面図である。

【図１４】図１４は、図１３に示した規制手段が具備す
る検知手段とマガジンの側面図である。

【図１５】図１５は、マガジンの斜視図である。

【符号の説明】

Ｍマガジン（規制対象物体）Ｌ＼Ｆリードフレーム１アンローダ（マガジン位置決め装置）５位置決め手段８ベース１２，３４，４４，６４ねじ軸１２ｂ，１３ｂ，３４ｂ，３５ｂ，４４ｂ，４５ｂ，６
４ｂ，６５ｂ歯付ベルト車１３，３５，４５，６５パルスモータ１４昇降部材１５マガジン受部１７，３７，４７，６７歯付ベルト２１固定フレーム２３，２４可動フレーム２６，２７，５６駆動手段３６，４６，６６ナット４０，５０，７０エンコーダ（信号発生手段）５３可動ブラケット７３，７４，７５規制部材８１ローラ（回転部材）８６コイルスプリング（押圧部材）９５制御部（ＣＰＵ）９６キーボード９９フレーム移送手段１０１ＲＯＭ１０２ＲＡＭ１０５（リードフレーム案内路の）中心１５５ヒータープレート１５７，１５８ガイドレール１７０装置架台

【手続補正書】

【提出日】平成６年２月１７日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図面の簡単な説明

【補正方法】変更

【補正内容】

【図面の簡単な説明】

【図３】図３は、図１に関するＢ−Ｂ矢視図である。

【図５】図５は、図２における部分Ｄの拡大図である。

【図６】図６は、図５に関するＥ−Ｅ矢視図である。

【図１２】図１２は、従来のワイヤボンデイング装置の
平面図である。

【図１５】図１５は、マガジンの斜視図である。

【符号の説明】Ｍマガジン（規制対象物体）Ｌ＼Ｆリードフレーム１アンローダ（マガジン位置決め装置）５位置決め手段８ベース１２，３４，４４，６４ねじ軸１２ｂ，１３ｂ，３４ｂ，３５ｂ，４４ｂ，４５ｂ，６
４ｂ，６５ｂ歯付ベルト車１３，３５，４５，６５パルスモータ１４昇降部材１５マガジン受部１７，３７，４７，６７歯付ベルト２１固定フレーム２３，２４可動フレーム２６，２７，５６駆動手段３６，４６，６６ナット４０，５０，７０エンコーダ（信号発生手段）５３可動ブラケット７３，７４，７５規制部材８１ローラ（回転部材）８６コイルスプリング（押圧部材）９５制御部（ＣＰＵ）９６キーボード９９フレーム移送手段１０１ＲＯＭ１０２ＲＡＭ１０５（リードフレーム案内路の）中心１５５ヒータープレート１５７，１５８ガイドレール１７０装置架台 ─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成７年１０月２６日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００７７

【補正方法】変更

【補正内容】

【００７７】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】互いに接離自在にして規制対象物体を規
制する規制部材と、該規制部材各々を移動させる駆動手
段と、前記駆動手段の作動量に応じた信号を発生する信
号発生手段とを備え、前記規制部材が前記規制対象物体
を規制したこと及び該規制対象物体の有無を検知する検
知手段を有することを特徴とする物体規制装置。
【請求項２】前記規制部材各々の相互離間方向におけ
る基準位置を第１基準位置、相互近接方向における基準
位置を第２基準位置として設定し、前記規制部材が該第
１基準位置から第２基準位置に向う間に前記信号発生手
段からの信号が得られなくなったことを以て、前記規制
対象物体の規制完了及びその存在の検知とすることを特
徴とする請求項１記載の物体規制装置。
【請求項３】前記規制部材が前記第２基準位置に至っ
たことを以て、前記規制対象物体の不存在の検知とする
ことを特徴とする請求項２記載の物体規制装置。