JP2799942B2

JP2799942B2 - ボンディング装置及び該装置に供される治具並びに該装置における可動体の作動基準位置設定方法

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Publication number: JP2799942B2
Application number: JP16748993A
Authority: JP
Inventors: 聡蔵鳥越
Original assignee: Kaijo Corp
Current assignee: Kaijo Corp
Priority date: 1993-06-14
Filing date: 1993-06-14
Publication date: 1998-09-21
Anticipated expiration: 2013-09-21
Also published as: JPH077036A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ボンディング装置と、
該装置に供されるべき治具と、該装置が具備する可動体
の作動基準位置設定方法とに関する。

【０００２】

【従来技術】この種の装置の一例として、図１２及び図
１３に示すワイヤボンディング装置がある。なお、当該
装置は実開平４−２０２３２号公報において開示されて
いる。

【０００３】図１２に示すように、当該ワイヤボンディ
ング装置においては、複数枚のリードフレームＬ＼Ｆを
配列収容（紙面に対して垂直な方向において配列）した
規制対象物体としてのマガジンＭが、ローダ１５１に装
填される。該各リードフレームＬ＼Ｆにはその長手方向
に沿って複数のＩＣチップ１５３が等ピッチにて装着さ
れている。

【０００４】ローダ１５１に装填されたマガジンＭ内の
各リードフレームＬ＼Ｆのうち例えば最下段の１枚が、
図示しないフレーム移送手段によって押出され、ヒータ
ープレート１５５上に搬送される。該フレーム移送手段
により搬送されるリードフレームＬ＼Ｆは、その両側に
対応するように配置された１対のガイドレール１５７１
５８により案内される。図において矢印Ｎにて示すよう
に、これらガイドレール１５７、１５８は相互の間隔が
調整自在になっており、幅寸法の異なる種々のリードフ
レームに対応可能である。

【０００５】上記のようにリードフレームＬ＼Ｆがヒー
タープレート１５５上に達すると、上記フレーム移送手
段は該リードフレームＬ＼ＦをＩＣチップ１５３の配列
ピッチずつ間欠送りし、これに伴って各ＩＣチップ１５
３と該リードフレームに形成されているリード（図示せ
ず）とが、ボンディング手段１６０により導電性のワイ
ヤを用いてボンディング接続される。そして、ボンディ
ングを完了したリードフレームＬ＼Ｆは、上記フレーム
移送手段によって更に後送され、ローダ１５１と同様の
構成を有するアンローダ１６２に装填されている空のマ
ガジンＭ内に収容される。

【０００６】次に、ローダ１５１が作動し、該ローダ１
５１に装填されているマガジンＭがその収容したリード
フレームＬ＼Ｆの配列ピッチの１ピッチ分だけ下降せら
れ、上記の一連の動作が最下段から２枚目のリードフレ
ームについて行われる。以下、マンガンＭ内の各リード
フレームＬ＼Ｆについてボンディングを終了するまで繰
返される。

【０００７】ここで、上記ローダ１５１について詳述す
る。なお、前述したように、アンローダ１６２に関して
はローダ１５１と同様の構成である故、その説明を省略
する。

【０００８】図１２にその概略を示すように、ローダ１
５１は、マガジンＭ内に配列収容された各リードフレー
ムＬ＼Ｆを前述したフレーム移送手段をして１枚ずつ取
り出させるために該マガジンＭをリードフレームＬ＼Ｆ
の配列ピッチずつ下降若しくは上昇（紙面に対して垂直
な方向）させて位置決めする位置決め手段１６５と、該
位置決め手段１６５を搭載した可動ベース１６６と、該
可動ベース１６６上に設けられてマガジンＭをその移動
方向に対して垂直な水平面内において規制する規制手段
１６７とを有している。

【０００９】上記可動ベース１６６は、当該ワイヤボン
ディング装置の本体である架台１７０上に図示しない案
内機構を介して取付けられ、矢印０にて示す方向、すな
わち前述の両ガイドレール１５７、１５８の可動方向Ｔ
と平行な方向において可動となっている。

【００１０】上記規制手段１６７は、図１３に示すよう
に構成されている。

【００１１】図１３に示すように、この規制手段１６７
は、略Ｌ字状に形成されたフレーム１９０を有してお
り、該フレーム１９０は上記可動ベース１６６に対して
固定されている。また、該フレーム１９０の屈曲部の近
傍には断面形状がＬ字状の規制部材１９２が配置されて
おり、これも上記可動ベース１６６に対して固定されて
いる。

【００１２】上記フレーム１９０の一辺には、上記の規
制部材１９２と協働してマガジンＭをその幅方向（矢印
Ｒ方向）において規制するための規制部材１９３すなわ
ち可動体が、該幅方向において移動可能に取付けられて
いる。この規制部材１９３にはナット１９４が固着さ
れ、フレーム１９０に該規制部材１９３の移動方向と平
行に取付けられたねじ軸１９５に該ナット１９４が螺合
している。また、フレーム１９０上には、該ねじ軸１９
５を回転駆動するパルスモータ１９７が固設されてい
る。なお、両規制部材１９２、１９３は、その各々の長
さ（紙面に対して垂直な方向の寸法）が、マガジンＭを
少なくとも１つ以上ガイドできるように設定されてい
る。

【００１３】一方、フレーム１９０の他方の辺には、固
定側としての上記規制部材１９２と協働してマガジンＭ
をその長さ方向（矢印Ｓ方向）において規制するための
規制部材２０３すなわち可動体が、該長さ方向において
移動可能に取付けられている。該規制部材２０３にはナ
ット２０４が固着され、フレーム１９０に該規制部材２
０３の移動方向と平行に取付けられたねじ軸２０５に該
ナット２０４が螺合している。また、フレーム１９０に
は、該ねじ軸２０５を回転駆動するパルスモータ２０７
が固設されている。なお、該規制部材２０３は上記した
規制部材１９２及び１９３と略同じ長さを有している。

【００１４】なお、上記規制部材２０３の所定位置には
マガジンプッシャー２１０が設けられている。

【００１５】また、上記両規制部材１９３及び２０３に
は、各規制部材１９２、１９３及び２０３によるマガジ
ンＭの規制が完了したことを検知するための検知手段２
１２及び２１３が設けられている。

【００１６】次に、上記した構成のローダ１５１の動作
について説明する。

【００１７】まず、図１３に示す各パルスモータ１９７
及び２０７が共に逆回転せられ、各規制部材１９３及び
２０３が固定側である規制部材１９２から離間する方向
に移動し、基準位置に位置決めされる。そして、これら
各規制部材１９２、１９３及び２０３により囲まれる空
間内に、上方から、例えば２つのマガジンＭを重ねるよ
うにして挿入し、図１２に示す位置決め手段１６５上に
載置する。この状態で作動指令信号が発せられ、図１３
に示す各パルスモータ１９７、２０７が共に正回転せら
れる。これにより、両規制部材１９３及び２０３が各々
規制部材１９２に向けて移動し、両マガジンＭは規制さ
れる。なお、この規制動作が完了したことは、各検知手
段２１２（他の検知手段２１３も同様である）により検
知される。

【００１８】上述の規制動作の後、又は同時に、図１２
に示す可動ベース１６６が移動せられ、該図に示す各ガ
イドレール１５７、１５８により画定されるフレーム搬
送路に対してマガジンＭ内のリードフレームＬ＼Ｆが円
滑に流入すべく、マガジンＭの幅方向の位置出しが行わ
れる。但し、このとき、上記各規制部材１９２、１９
３、２０３とマガジンＭとの間には適当な隙間が設けら
れ、図１２に示す位置決め手段１６５の作動によるマガ
ジンＭの下降（若しくは上昇）動作を可能とする。ま
た、説明は省略するが、上記ガイドレール１５７、１５
８についても、上記各規制部材１９２、１９３及び２０
３のマガジン規制動作と同様にして作動せられ、該各ガ
イドレールの間隔が調整される。

【００１９】次いで、図１２に示す位置決め手段１６５
が作動せられ、両マガジンＭは収容しているリードフレ
ームＬ＼Ｆの配列ピッチずつ下降する。前述したよう
に、このマガジンＭの下降動作に連動して、リードフレ
ームＬ＼Ｆが１枚ずつマガジン外に取出され、ボンディ
ングが行われる。

【００２０】かくして１つ目のマガジンＭ内のすべての
リードフレームＬ＼Ｆについてボンディングが終了する
と、図１３に示したマガジンプッシャー２１０が突出動
作せられ、上方に位置する２つ目のマガジンが規制部材
１９２に対して押圧固定される。そして、空になった１
つ目のマガジンＭは更に下降せられて位置決め手段１６
５から取外され回収される。

【００２１】１つ目のマガジンが回収されると、上記マ
ガジンプッシャー２１０が引込動作せられ、２つ目のマ
ガジンＭが上記位置決め手段１６５により担持される。
以下、１つ目のマガジンに対すると同様の一連の動作が
行われ、この２つ目のマガジンＭ内の各リードフレーム
Ｌ＼Ｆに関してもボンディングが施される。

【００２２】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来のワイヤ
ボンディング装置においては、ローダ１５１（アンロー
ダ１６２も）におけるマガジンＭの規制調整と、両ガイ
ドレール１５７、１５８の間隔調整とを自動的にデジタ
ル制御することによって、マガジンＭ及びこれに収容さ
れるリードフレームＬ＼Ｆの品種交換に迅速に対処でき
ると共に、作業者への負担を低減し、しかも、作業者に
よる調整具合の差等も排除することができるものであ
る。しかしながら、下記の問題を擁している。

【００２３】すなわち、前述した各規制部材１９３及び
２０３並びに両ガイドレール１５７、１５８の移動量を
デジタル制御する上で、該各規制部材及びガイドレール
に関しその作動の基準となる位置が必要であり、設定さ
れるのであるが、この基準位置の設定自体が調整者によ
り誤差を生じるものであり、複数台のボンディング装置
を設置する場合、各々の装置において該基準位置は異な
ってしまう。従って、これら規制部材及びガイドレール
について、各々幅寸法が異なる種々のマガジンＭ及びリ
ードフレームＬ＼Ｆに対応する停止位置各々を該基準位
置からの距離データとして求めて該距離データを作動管
理データとして記憶手段に記憶させておき、時をおいて
同種のマガジン及びリードフレームが取り扱われる際に
この作動管理データを読み出して直ちに位置設定を行う
ことを考えた場合、これらの作動管理データは上記基準
位置に基づくものであるから夫々のワイヤボンディング
装置に固有のものとなる。故に、各ボンディング装置間
において該作動管理データをそのまま流用することは困
難であり、作業者がデータに修正を加えるなどの作業が
介在し、作業効率の向上は望めないという欠点がある。

【００２４】本発明は上記従来技術の欠点に鑑みてなさ
れたものであって、複数のボンディング装置間におい
て、夫々のボンディング装置が具備する可動体の作動管
理データにつき、これに作業者が修正等を加えずとも流
用可能とすることを目的としている。

【００２５】

【課題を解決するための手段】本発明によるボンディン
グ装置は、ボンディングステージの略中心を通る軸線と
して設定された第１基準位置に対して設定可変な第２基
準位置と所定の作用をなすべき作用位置との間で移動自
在な可動体と、該可動体を移動させる駆動手段とを備
え、前記第１基準位置と第２基準位置間の距離データを
求め、該距離データを記憶手段に記憶させるようにした
ものである。また、本発明による治具は、ボンディング
ステージの略中心を通る軸線として設定された第１基準
位置と設定可変な第２基準位置間の距離データを算出す
るために、可動体が当接し得べく前記第１基準位置に対
して装着できるようにしたものである。また、本発明に
よるボンディング装置における可動体の作動基準位置設
定方法は、ボンディングステージの略中心を通る軸線と
して設定された第１基準位置に対して治具を位置決め装
着し、該第１基準位置に対して設定可変な第２基準位置
から所定の作用をなすべき作用位置に向けて可動体を移
動させ、該可動体が前記治具に当接するまでの移動量に
基づいて前記第１基準位置に対する第２基準位置の距離
データを求め、該距離データを記憶手段に記憶させるよ
うにしたものである。

【００２６】

【実施例】次に、本発明の実施例としてのワイヤボンデ
ィング装置を添付図面を参照しつつ説明する。なお、当
該ワイヤボンディング装置は以下に説明する部分以外は
図１２乃至図１３に示した従来のワイヤボンディング装
置と同様に構成されている故、ワイヤボンディング装置
全体としての説明は省略し、要部のみの説明に留める。
また、以下の説明において、該従来のワイヤボンディン
グ装置の構成部材と同一の構成部材に関しては同じ参照
符号を付している。

【００２７】図１乃至図４において参照符号１にて示す
のはアンローダであり、該アンローダ１は可動体として
の各ガイドレール１５７、１５８及びボンディング手段
１６０の左側、すなわちリードフレーム搬送方向下流側
に配置される。該アンローダ１にはリードフレームＬ＼
Ｆを多数配列収容し得る空のマガジンＭが装填され、該
ボンディング手段１６０によりボンディングを施されて
搬送されてくるリードフレームＬ＼Ｆを該マガジンＭ内
に順次取入れて配列収納することを行う。なお、図１に
おいて、各ガイドレール１５７、１５８の右側には、未
ボンディング状態のリードフレームを収容した状態で装
填されたマガジンＭから該リードフレームを１枚ずつ取
出してボンディング手段１６０に向けて供給するローダ
２が配設されるが、該ローダ２は上記アンローダ１とほ
ぼ対称の構成である故、その説明は省略し、アンローダ
１についてのみ説明する。

【００２８】アンローダ１は、図３乃至図５において参
照符号５にて示す位置決め手段を有している。この位置
決め手段５には空のマガジンＭが装着され、該マガジン
Ｍをその収容すべきリードフレームＬ＼Ｆの配列ピッチ
ずつ間欠的に下降させて位置決めすることを行う。この
間欠的な位置決め動作に合わせ、上記ボンディング手段
１６０によりボンディングを施されたリードフレームＬ
＼Ｆが図示しないフレーム移送手段により順次持ち来さ
れ、該マガジンＭ内に収容される。

【００２９】上記位置決め手段５は下記のように構成さ
れている。

【００３０】図５から特に明らかなように、この位置決
め手段５は装置架台１７０に固定されたベース８上に設
けられており、矢印Ｚにて示す上下方向において延在し
て設けられて軸受１０を介して該ベース８に取付けられ
たねじ軸１２と、該ねじ軸１２を回転駆動するパルスモ
ータ１３と、該ねじ軸１２に螺合した昇降部材１４と、
該昇降部材１４に結合し、マガジンＭを受けるマガジン
受部１５とを有している。ねじ軸１２の上端部及びパル
スモータ１３の出力軸１３ａには夫々歯付ベルト車１２
ｂ、１３ｂが嵌着され、該両歯付ベルト車に歯付ベルト
１７が掛回されており、これによって動力の伝達がなさ
れる。なお、これらパルスモータ１３等は図２にも示し
ている。また、パルスモータ１３はブラケット１９を介
して上記ベース８に取付けられている。

【００３１】ローダ１は、上述の位置決め手段５により
移動せられるマガジンＭをその移動方向に対して垂直な
水平面内において規制してずれを防止する規制手段を有
しており、以下、この規制手段について説明する。

【００３２】図２乃至図４に示すように、当該規制手段
は、上記ベース８上に固設された固定フレーム２１と、
各々固定フレーム２１上に矢印Ｇにて示す方向において
往復動自在に設けられた一対の可動フレーム２３及び２
４と、該各可動フレーム２３、２４を夫々移動させる駆
動手段２６及び２７とを有している。両可動フレーム２
３、２４と固定フレーム２１との間には、トラックレー
ル２９ａ、３０ａ及びスライダ２９ｂ、３０ｂからなる
直動案内ユニットが介装され、これによって該両可動フ
レーム２３、２４が矢印Ｇ方向において可動となってい
る。

【００３３】上記各駆動手段２６及び２７については次
のように構成されている。

【００３４】まず、駆動手段２６は、図２及び図３に示
すようにこれが駆動すべき可動フレーム２３の移動方向
Ｇにおいて延在して設けられて軸受３３を介して固定フ
レーム２１に取付けられたねじ軸３４と、該ねじ軸３４
を回転駆動するパルスモータ３５と、該ねじ軸３４に螺
合すると共に可動フレーム２３に固着されたナット３６
とを有している。ねじ軸３４の一端部及びパルスモータ
３５の出力軸３５ａには各々歯付ベルト車３４ｂ、３５
ｂが嵌着され、該両歯付ベルト車に歯付ベルト３７が掛
回されており、これによってパルスモータ３５よりの動
力がねじ軸３４に伝達される。また、ねじ軸３４の一端
部にはカップリング３９を介して信号発生手段としての
エンコーダ４０が連結されている。このエンコーダ４０
は、上記パルスモータ３５の回転量に応じたパルス信号
を発する。

【００３５】一方、可動フレーム２４を駆動する駆動手
段２７に関しても同様であり、図２及び図４に示すよう
に、可動フレーム２４の移動方向Ｇにおいて延在して設
けられて軸受４３を介して固定フレーム２１に取付けら
れたねじ軸４４と、該ねじ軸４４を回転駆動するパルス
モータ４５と、該ねじ軸４４に螺合すると共に可動フレ
ーム２４に固着されたナット４６とを有している。ねじ
軸４４の一端部及びパルスモータ４５の出力軸４５ａに
は各々歯付ベルト車４４ｂ、４５ｂが嵌着され、該両歯
付ベルト車に歯付ベルト４７が掛回されており、これに
よって動力伝達が行われる。また、ねじ軸４４の一端部
にはカップリング４９を介して信号発生手段としてのエ
ンコーダ５０が連結されている。このエンコーダ５０
は、上記パルスモータ４５の回転量に応じたパルス信号
を発する。

【００３６】図２及び図４に示すように、上記した可動
フレーム２４上には、可動ブラケット５３が矢印Ｈ（図
２参照）にて示す方向において往復動自在に設けられて
いる。詳しくは、この可動ブラケット５３と可動フレー
ム２４との間にはトラックレール５４ａ及びスライダ５
４ｂからなる直動案内ユニットが介装され、これによっ
て該可動ブラケット５３が可動となっている。

【００３７】なお、上記矢印Ｈ方向は前述した矢印Ｇ方
向に対して垂直であり、マガジンＭの長さ方向及び幅方
向がこれら矢印Ｈ及びＧ方向に夫々一致するようになさ
れている。

【００３８】上記可動ブラケット５３を移動させる駆動
手段５６が設けられており、該駆動手段５６は次のよう
に構成されている。

【００３９】図２乃至図４に示すように、この駆動手段
５６は、可動ブラケット５３が移動すべき矢印Ｈ方向
（図２参照）において延在して設けられて軸受６３を介
して可動フレーム２４に取付けられたねじ軸６４と、該
ねじ軸６４を回転駆動するパルスモータ６５と、該ねじ
軸６４に螺合すると共に可動ブラケット５３に固着され
たナット６６とを有している。ねじ軸６４の一端部及び
パルスモータ６５の出力軸６５ａには各々歯付ベルト車
６４ｂ、６５ｂが嵌着され、該両歯付ベルト車に歯付ベ
ルト６７が掛回されており、これによってパルスモータ
６５よりの動力がねじ軸６４に伝達される。また、ねじ
軸６４の一端部にはカップリング６９を介して信号発生
手段としてのエンコーダ７０が連結されている。このエ
ンコーダ７０は、上記パルスモータ６５の回転量に応じ
たパルス信号を発する。

【００４０】図２乃至図４に示すように、前述した各可
動フレーム２３及び２４並びに可動ブラケット５３に
は、マガジンＭを規制するための長尺の規制部材７３、
７４及び７５すなわち可動体が上下方向（矢印Ｚ方向）
において延在した状態にて取付けられている。これら規
制部材７３乃至７５は、これらを夫々搭載した可動フレ
ーム２３、２４並びに可動ブラケット５３の作動によ
り、互いに相対的に近接及び離間する。

【００４１】図から明らかなように、規制部材７３は全
体として矩形板状に形成され、一対設けられている。ま
た、他の規制部材７４及び７５は１本ずつ設けられ、図
２から明らかなように各々断面形状はＬ字状となってい
る。マガジンＭは、該両規制部材７４及び７５の各一辺
に形成された規制面７４ａ、７５ａと、上記の矩形板状
の規制部材７３とによってその幅方向において規制され
る。また、両規制部材７４及び７５の各他辺に形成され
た規制面７４ｂ７５ｂにより、マガジンＭの長さ方向の
規制が行われる。なお、図３に示すように、規制部材７
４には、ボンディングが施された後のリードフレームＬ
＼ＦをマガジンＭ内に収納させる際に該リードフレーム
Ｌ＼Ｆを通過させるためのスリット７４ｄが形成されて
いる。

【００４２】ところで、図２及び図３に示すように、マ
ガジンＭの幅方向における片側に配置された各規制部材
７３には、リードフレーム搬送レベル８０に対応する位
置を始めとして、その長手方向に沿って複数の回転部材
としてのローラ８１が回転自在に設けられている。これ
らのローラ８１のうち、特に、リードフレーム搬送レベ
ル８０に対応するものは、マガジンＭをその他側に設け
られた規制部材７４、７５に向けて付勢するためのもの
である。

【００４３】なお、ローラ８１の回転軸はマガジンＭの
移動方向Ｚに対して垂直に設定されている。

【００４４】図６に示すように、前述した各エンコーダ
４０、５０及び７０より発せられるパルス信号は当該ワ
イヤボンディング装置の作動制御を司る制御部（以下、
ＣＰＵと称する）９５に送られ、該ＣＰＵはこれらの信
号や、キーボード９６及び撮像装置９７（図１に示すン
ボンディング手段１６０の近傍に配置されている）等よ
り送信される信号を受けて、各パルスモータ３５、４
５、６５及び１３並びにフレーム移送手段（図６のみに
示すだけであり、具体的には図示してはいない）９９及
びボンディング手段１６０（図１参照）を後述のタイミ
ングを以て作動させる。

【００４５】次に、上記構成のワイヤボンディング装置
において、取り扱われるリードフレームＬ＼Ｆの種類が
変更される場合の調整動作について、図７乃至図１０を
も参照しつつ説明する。この場合、上記ＣＰＵ９５（図
６参照）はＲＯＭ（ＲｅａｄＯｎｌｙＭｅｍｏｒｙ）
１０１に予め入力されている作業手順情報を読み出して
これに基づき作動制御を行う。また、後述のように、Ｒ
ＡＭ（ＲａｎｄｏｍＡｃｃｅｓｓＭｅｍｏｒｙ）１０
２に情報を入力し、記憶させる。

【００４６】まず、キーボード９６（図６参照）が操作
されることなどによって指令信号が発せられると、ＣＰ
Ｕ９５は、図２に示す各パルスモータ３５、４５及び６
５を夫々逆回転させて各ねじ軸３４、４４及び６４を回
転駆動し、以て各可動フレーム２３、２４及び可動ブラ
ケット５３を移動させ、各規制部材７３、７４及び７５
を図７に示すように外側、すなわち互いに離間する方向
に移動させ、夫々の基準位置に位置決めする。この各規
制部材７３、７４、７５の相互離間方向における基準位
置を第２基準位置と称する。この第２基準位置は、上記
各規制部材７３、７４、７５の作動の基準となる位置で
あり、ボンディングステージの中心１０４（図１参照）
若しくはその近傍を通る軸線として設定された第１基準
位置１０５に対して設定され、可変である。なお、該第
２基準位置の設定方法について後に後述する。また、上
記ボンディングステージとは、リードフレームＬ＼Ｆの
全長のうち、ボンディングを行おうとするＩＣチップ及
びその前後の複数のＩＣチップが装着されている部分を
担持するヒータプレート１５５（図１２に図示）上のス
テージ部分を指称するものである。また、図１には該ヒ
ータプレート１５５は示してはおらず、該ヒータプレー
ト１５５を加熱すべくこれを担持するヒータブロック１
０６が示されている。図示のように、このヒータブロッ
ク１０６には上記ヒータプレート１５５を装着するため
の２本の位置決めピン１０６ａ、１０６ｂが突設されて
いる。上記第１基準位置１０５は、これらピン１０６
ａ、１０６ｂの各中心を通過するものである。但し、該
各ピン１０６ａ、１０６ｂを通る軸線がボンディングス
テージの中心１０４を必ず通るとは限らず、そうでない
設定の場合もある。

【００４７】また、上記第１及び第２基準位置と共に、
各規制部材７３、７４、７５の相互近接方向における基
準位置も第３基準位置として設定している。各規制部材
７３、７４及び７５がこの第３基準位置にあるとき、当
該ワイヤボンディング装置にて取扱われるべき最小寸法
のマガジンでも、これら規制部材間に挿入することはで
きない。すなわち、該第３基準位置とは、各規制部材７
３、７４、７５の相互の間隔が、この最小のマガジンの
外径寸法よりも小となるように設定されているのであ
る。

【００４８】従って、ＣＰＵ９５は、各規制部材７３、
７４、７５が上記第２基準位置から互いに近接する方向
への移動を開始した後、該第３基準位置に至ると、これ
を以てマガジンが装填されていない状態の検知と判定す
る。また、各規制部材７３、７４、７５が上記第２基準
位置より発進して第３基準位置に向う間に各エンコーダ
４０、５０及び７０よりのパルス信号が得られなくなる
と、これを以て、マガジンＭの規制完了及びその存在の
検知とする。

【００４９】すなわち、マガジンＭが存在する場合にお
いては、各規制部材７３、７４、７５がマガジンＭに係
合した状態となればそれ以上移動し得ないことから、上
記各エンコーダ４０、５０、７０よりのパルス信号が断
たれる。この状態を以て検知として該各パルスモータを
停止する訳である。

【００５０】さて、前述のように、各規制部材７３、７
４、７５が相互に離間して第２基準位置に達すると、こ
の状態で該各規制部材の間に新たに取り扱うべきリード
フレームを収容すべき空のマガジンＭを例えば２つ、上
下に重ねた状態で上方から挿入し、位置決め手段５が具
備するマガジン受部１５上に載置する。

【００５１】この状態で作動指令信号が発せられ、例え
ば、マガジンＭの幅方向における片側に位置する規制部
材７３を駆動するためのパルスモータ３５が正回転せら
れ、図８に示すように該規制部材７３が他側の規制部材
７４、７５に向けて移動する。これにより、マガジンＭ
は該規制部材７３により押圧されて該両規制部材７４、
７５に押し付けられ、各規制部材７３、７４、７５によ
り幅方向において挾持された状態となる。但し、規制部
材７３に関してはそれ自体がマガジンＭに当接するので
はなく、図２及び図３に示すローラ８１が当接する。こ
の挾持状態になると、移動して来た規制部材７３はそれ
以上移動し得ないことからパルスモータ３５が停止し、
エンコーダ４０からのパルス信号が得られなくなる。Ｃ
ＰＵ９５（図６参照）はこの状態を以てマガジン幅方向
の規制完了と共にマガジンの存在を確認してパルスモー
タ３５への給電を停止する。なお、この際、パルスモー
タ３５がその慣性によって数パルス分は余分に回転して
しまうことを考慮し、パルスモータ停止後にこの数パル
ス分だけ逆回転させることが好ましい。

【００５２】この後、上記パルスモータ３５が僅かに逆
回転せられる。これにより、上記各規制部材７３、７
４、７５とマガジンＭの側面との間に適当な隙間（図示
せず）が設けられる。

【００５３】次に、パルスモータ６５が正回転せられ
て、マガジンＭの長さ方向における片側に位置する規制
部材７５が図９に示すように他側に位置する規制部材７
４に向けて移動する。これにより、マガジンＭは該規制
部材７５により押圧されて規制部材７４に押し付けら
れ、該両規制部材７４、７５により長さ方向において挾
持された状態となる。上記規制部材７３の近接動作時と
同様に、このように挾持状になると、規制部材７５はそ
れ以上移動し得ないことからパルスモータ６５が停止
し、エンコーダ７０からのパルス信号が得られなくな
る。上記ＣＰＵ９５はこの状態を以てマガジン長さ方向
の規制完了を確認してパルスモータ６５への給電を停止
する。この後、パルスモータ６５が僅かに逆回転せられ
る。これにより、上記両規制部材７４、７５とマガジン
Ｍの端面との間に適当な隙間（図示せず）が設けられ
る。

【００５４】かくして、マガジンＭは、各規制部材７
３、７４、７５により囲まれた状態にて上下方向におい
て移動自在となり、位置決め手段５によるマガジンＭの
昇降動作が可能となる。

【００５５】次いで、パルスモータ３５が逆回転せられ
ると共にパルスモータ４５が正回転せられ、図１０に示
すように、各規制部材７３、７４、７５がマガジン幅方
向に同じ分解能及び同じ速度にて同期して移動せられ、
リードフレームＬ＼Ｆを案内すべき経路の中心、すなわ
ち第１基準位置１０５に対して、マガジンＭの幅方向に
おける中心が一致した時点で停止せられる。

【００５６】上記のようにマガジンＭの幅方向中心をリ
ードフレーム搬送経路の中心に一致させるべく各規制部
材７３、７４、７５を同じ方向に移動させる際（図１０
に図示の状態）、これら各規制部材の移動量について
は、その前工程として行われる一方の規制部材７３のみ
の第２基準位置から停止位置までの移動量をＷ₁ とする
ならば、Ｗ₁ ／２に設定される。

【００５７】なお、上記のマガジンＭの位置出し動作と
並行して図１に示す各ガイドレール１５７、１５８が、
該マガジンＭに収容されるべきリードフレームＬ＼Ｆを
搬送し得るようにそのレール間隔を調整される。このレ
ール間隔の調整は上記各規制部材７３、７４及び７５の
調整と同様に行われる。

【００５８】上述のようにして、新たに取り扱うべきリ
ードフレームＬ＼Ｆ及びマガジンＭに応じた調整が完了
する。ＣＰＵ９５（図６参照）は、上記のようにして調
整を完了すると、各規制部材７３、７４及び７５並びに
各ガイドレール１５７、１５８（図１参照）の設定位置
をＲＡＭ１０１（図６参照）に入力して記憶させる。そ
して、再び同種のリードフレームＬ＼Ｆ及びマガジンＭ
が取り扱われる際にこの記憶した情報を読み出して直ち
に位置設定を行う。このように、各規制部材７３、７
４、７５並びに各ガイドレール１５７、１５８の位置設
定を自動的にデジタル制御にて行い、品種毎のデータを
記憶し、必要に応じて該データを読み出すので品種交換
時の設定が容易に行え、時間の短縮、作業の簡素化が図
られる。なお、上記設定位置については、これを作用位
置と称する。すなわち、各規制部材７３、７４及び７５
はこの作用位置にあるときにマガジンＭを規制する作用
をなし、両ガイドレール１５７、１５８に関しては該作
用位置においてリードフレームＬ＼Ｆを案内する作用を
なす。

【００５９】上述のように調整が完了すると、当該ワイ
ヤボンディング装置がボンディングのための作動を開始
し、ローダ２（図１参照）に装填されているマガジンＭ
内に収容されているリードフレームＬ＼Ｆが１枚ずつ順
に取り出されてボンディングが施され、ボンディング後
のリードフレームは前述のアンローダ１上のマガジンＭ
内に収容される。そして、アンローダ１において、所定
数のリードフレームを収容したマガジンＭは、図３に示
すプッシャ１１０により前方に押し出され、ストッカ１
１１（図２にも示す）上にストックされる。

【００６０】続いて、前述したアンローダ１が具備する
各規制部材７３、７４、７５についてその作動の基準と
すべく相互離間方向において設定される第２基準位置の
設定方法について図１及び図１１に基づいて説明する。

【００６１】まず、図１に示すように、略平板状にして
長尺の治具１１５を用意し、該治具１１５を第１基準位
置１０５に対して位置決め装着する。具体的には、図１
において、ヒータブロック１０６上には２本の位置決め
ピン１０６ａ及び１０６ｂが植設されており、治具１１
５に該各位置決めピンに嵌合し得る孔（図示せず）を形
成し、両者を密接に嵌合させることを行う。但し、この
治具１１５の装着時、図２に示す各パルスモータ３５、
４５及び６５を作動させ、各規制部材７３、７４、７５
を相互離間方向における移動限界位置若しくはその近傍
に位置させる。図１に示すように、この治具１１５の一
端部及びその近傍には上記各規制部材７３、７４、７５
が夫々当接するための当接面１１５ａ、１１５ｂ及び１
１５ｃが形成されており、他端部及びその近傍にはこれ
らの当接面と同様にしてローダ２が具備する各規制部材
（参照符号は付していない）が夫々当接するための当接
面１１５ｄ、１１５ｅ及び１１５ｆが形成されている。
また、治具１１５の中央部分には、両ガイドレール１５
７及び１５８が当接するための当接面１１５ｇ及び１１
５ｈが形成されている。

【００６２】これらの当接面１１５ａ乃至１１５ｈのう
ち両端の２面１１５ｃ及び１１５ｆを除く各当接面につ
いては上記第１基準位置１０５と平行となされている。
また、図１から明らかなように、該両当接面１１５ｃ、
１１５ｆについては、該第１基準位置１０５に対して垂
直にしてボンディングステージの中心１０４を通る軸線
として設定された他の第１基準位置１１７と平行となさ
れている。

【００６３】上記のようにして治具１１５が装着された
ら、図２に示す各パルスモータ３５、４５及び６５を作
動させ、各規制部材７３、７４、７５を前述の作用位
置、すなわちマガジン規制作用をなすべき位置に向けて
移動させる。すると、図１１において実線にて示すよう
に、該各規制部材は該作用位置に至る前にその各々の規
制面が治具１１５の当接面１１５ａ、１１５ｂ及び１１
５ｃに当接する。このように当接状態になると、各規制
部材７３、７４、７５はそれ以上移動し得ないことか
ら、各パルスモータ３５、４５、６５が停止し、図２に
示すエンコーダ４０、５０及び７０からのパルス信号が
得られなくなる。ＣＰＵ９５（図６参照）はこの状態を
以て当接完了を確認して各パルスモータ３５、４５、６
５への給電を停止する。

【００６４】図１１において、各規制部材７３、７４、
７５につき、その作動開始から停止までの移動距離を夫
々ｃ、ｄ及びｅにて示す。但し、規制部材７５について
は、規制すべきマガジンＭ（図１参照）の幅方向におい
て規制部材７４と共に距離ｄを移動する一方、自体は該
マガジンＭの長さ方向においてｅだけ移動し、平面的な
移動を行う。

【００６５】上記した各距離ｃ、ｄ及びｅは、図２に示
す各エンコーダ４０、５０、７０より各パルスモータ３
５、４５、６５の回転量に応じて発せられるパルス信号
を、ＣＰＵ９５（図６に図示）がその具備したカウンタ
（図示せず）によって計数することにより得られる。

【００６６】ここで、図１１において、治具１１５の幅
寸法ｇに関してはその製作寸法が定められることによっ
て既知であり、従って、第１基準位置１０５を振分け位
置とする該治具１１５の振分寸法ｈ及びｉ（ｈ＝ｉとし
てもよい）についても既知である。よって、各規制部材
７３、７４、７５に関し、その作動開始位置（二点鎖線
で示す状態の位置）とこの第１基準位置１０５との距離
ｐ及びｑは、ｐ＝ｃ＋ｈ、ｑ＝ｄ＋ｉとして求めること
が出来る。また、規制部材７５については、規制部材７
３、７４の移動方向に対して垂直な方向への移動もなす
ものであるが、この方向における規制部材７５の作動開
始位置（二点鎖線で示す状態の位置）と他の第１基準位
置１１７との距離ｖは、ｖ＝ｅ＋ｔとして求めることが
できる。このｔは、該第１基準位置１１７を振分け位置
とする治具１１５の振分寸法であり、既知である。

【００６７】図６に示すように、ＣＰＵ９５は、上記の
各式に基づき演算を行う演算回路９５ａを備えており、
上記各距離ｐ、ｑ及びｖを算出する。そして、図１１に
おいて夫々二点鎖線にて示した各規制部材７３、７４、
７５の位置を前述した第２基準位置として設定し、この
得られた各距離ｐ、ｑ、ｖのデータを図６に示すＲＡＭ
１０２に記憶させる。この記憶は、例えば磁気ディスク
若しくは光ディスク等からなる記憶媒体に記憶させる。

【００６８】なお、上記した第２基準位置の設定は、図
１に示したローダ２が具備する各規制部材に関しても同
様に行われると共に、リードフレームＬ＼Ｆの案内をな
すガイドレール１５７、１５８に関しても同様に行われ
るものである。但し、該両ガイドレール１５７、１５８
ついての第２基準位置の設定は、図１に示した治具１１
５の中央部の当接面１１５ｇ及び１１５ｈを用いて行わ
れる。

【００６９】また、図１に示すように、ローダ２側に
は、該ローダ２に装填されているマガジンＭよりリード
フレームＬ＼Ｆを一枚ずつ押し出すためのプッシュ機構
１２０が設けられているが、該プッシュ機構１２０が具
備するリードフレーム押出し用のプッシャ１２０ａに関
してもこれを可動体としてその作動基準位置としての第
２基準位置の設定が上記と同様にして行われ、ＲＡＭ１
０２（図６参照）に記憶される。但し、このプッシュ機
構については、例えば特開平４−２８６３４２号公報に
おいて詳しく開示されているから、ここでは全体として
の構成は説明しない。具体的には、このプッシャ１２０
ａについて、これがマガジンＭ外にリードフレームＬ＼
Ｆを押し出し切る状態の位置を作用位置とし、プッシャ
１２０ａをこの作用位置に向けて作動させて治具１１５
の端面に当接するまでの移動距離をｕとする。すると、
図１において、プッシャ１２０ａの作動開始位置と第１
基準位置１１７との距離ｘは、ｘ＝ｕ＋ｗとして求める
ことができる。図１から明らかなように、このｗは該第
１基準位置１１７を振分け位置とする治具１１５の振分
寸法であり、既知である。また、上記の移動距離ｕは、
プッシャ１２０ａを移動させるべく設けられたモータの
回転量をエンコーダ等を用いて計測することにより判明
する。

【００７０】ＣＰＵ９５（図６参照）は、上記の式ｘ＝
ｕ＋ｗに基づいて上記距離ｘを算出する。そしてプッシ
ャ１２０ａの作動開始位置を上記第２基準位置として設
定し、この得られた距離ｘのデータを図６に示すＲＡＭ
１０２に記憶させる。

【００７１】なお、上記プッシュ機構１２０において、
プッシャ１２０ａが治具１１５の端面に当接したことの
検知は、前述したアンローダ１及びローダ２並びに両ガ
イドレール１５７、１５８と同様に、可動体としての各
規制部材７３、７４、７５及びガイドレール１５７、１
５８が治具１１５に当接することによるエンコーダより
のパルス信号の断を以て行ってもよいし、該プッシュ機
構１２０において、プッシャ１２０ａが何等かの障害物
によってその作動を阻まれた際にこれを検知すべく設け
られているセンサを用いて行ってもよい。また、これら
の検知手段の他、図１３に示した従来の装置が具備する
検知手段２１２、２１３のような手段を用いてもよい。

【００７２】上記したように、ボンディング装置が具備
する規制部材７３、７４、７５、ガイドレール１５７、
１５８、プッシャ１２０ａ等の各種可動体について、そ
の作動の基準となる位置を第２基準位置とし、ボンディ
ングステージの中心１０４を通る軸線として設定された
第１基準位置１０５、１１７と該第２基準位置との距離
データを記憶手段に記憶させるものであるから、複数の
ボンディング装置間において、該各ボンディング装置が
具備する可動体の作動管理データについて、作業者が該
データに修正等を加えずとも相互の流用が可能となる。

【００７３】すなわち、ある１台のボンディング装置に
おいて、幅寸法が夫々異なる種々のマガジン及びリード
フレームに対応する各可動体の停止位置を設定し記憶さ
せること、すなわちティーチングを行えば、この記憶し
たデータをティーチングを全く行っていない他のボンデ
ィング装置に流用し、この後者のボンディング装置を前
者のボンディング装置と全く同様に作動させることがで
きる訳である。但し、この場合、これら各ボンディング
装置において、前述の治具１１５を使用して可動体の作
動基準位置となる第２基準位置を夫々求め且つ記憶させ
ておく。そして、他のボンディング装置にてティーチン
グされたデータを流用する際、流用される側と流用する
側の各ボンディング装置で設定された夫々の第２基準位
置同士の差を求め、上記のティーチングデータについて
この差分を補正すればよい。

【００７４】また、上記のように全くティーチングを行
っていないボンディング装置にデータを流用して可動体
の作動管理データを新規に設定するに限らず、既にティ
ーチングがなされているボンディング装置にデータを流
用してその作動管理データを設定しなおす場合もある。

【００７５】ところで、図１及び図１１に示すように、
当該ボンディング装置においては、両ガイドレール１５
７及び１５８に沿って各種のセンサ１２１、１２２、１
２３、１２４及び１２５が配置されている。これらのセ
ンサとしては、例えば、発光素子及び受光素子を備えた
フォトセンサが選定され、その発輝すべき機能の適否に
応じて透過型及び反射型のいずれかが用いられる。

【００７６】ガイドレール１５７、１５８の前端部近傍
に設けられたセンサ１２１は、プッシュ機構１２０の作
動によってローダ２上のマガジンＭからボンディングに
供されるべきリードフレームＬ＼Ｆが突出されたかどう
か、すなわち、そのリードフレームＬ＼Ｆの有無を検知
するためのものである。また、ガイドイレール１５７、
１５８の後端部近傍に配置されたセンサ１２２は、ボン
ディングを終了したリードフレームＬ＼Ｆが他の図示し
ないプッシュ機構によってアンローダ１上のマガジンＭ
内に収納されたことを確認するために設けられている。

【００７７】一方、上記したセンサ１２１の後方におい
て、各ガイドレール１５７、１５８のフレーム案内面１
５７ａ、１５８ａ（図１１参照）に近接して配置された
２つのセンサ１２３及び１２４は、これらガイドレール
１５７、１５８により案内されるべきリードフレームＬ
＼Ｆの幅寸法を検出するためのものである。また、ボン
ディングステージの近傍に設けられたセンサ１２５は、
ローダ２上のマガジンＭから送り出されたリードフレー
ムＬ＼Ｆの先端がこの位置に到来したことを検知して信
号を発するものである。

【００７８】ここで上記した２つのセンサ１２３、１２
４を用いたリードフレームＬ＼Ｆの幅寸法検出について
説明する。

【００７９】まず、図１１において、相互近接動作を行
う前の両ガイドレール１５７、１５８は予め設定された
前述の第２基準位置にあることから、相互のフレーム案
内面１５７ａ、１５８ａ同士の距離Ｔは既知である。こ
の静止状態から、一方のガイドレール、例えば、ガイド
レール１５８のみを作動させて他方のガイドレール１５
７に向けて移動させる。すると、リードフレームＬ＼Ｆ
はこのガイドレール１５８により押され、結果として両
ガイドレール１５７、１５８により挾まれることとな
る。このときのガイドレール１５８の移動量をＷ₂ とす
れば、リードフレームＬ＼Ｆの幅寸法Ｕは上記距離Ｔか
らこのＷ₂ を減じた値として得ることができる。なお、
このガイドレール１５８の作動は図示しないパルスモー
タの回転により行われ、該パルスモータはその回転量に
応じたパルス信号を発するエンコーダを備えており、上
記の移動距離Ｗ₂ は、ＣＰＵ９５（図６参照）がその具
備したカウンタによってこのパルス信号を計数すること
により得られる。

【００８０】続いて、センサ１２５の用法につき説明す
る。

【００８１】まず、ローダ２よりプッシュ機構１２０
（図１参照）によって押し出されたリードフレームＬ＼
Ｆが、図示しないフレーム移送手段により搬送され、そ
の先端がこのセンサ１２５により検出される。すると、
該センサ１２５より発せられた信号に基づいて該フレー
ム移動手段はその作動を停止せられ、リードフレームＬ
＼Ｆは停止する。このリードフレームＬ＼Ｆの停止位置
が、ボンディング作業を行うに際しての基準位置として
設定される。

【００８２】この後、上記フレーム移送手段を更に作動
させて、リードフレームＬ＼Ｆを後方に向けて所定距離
だけ送り、該リードフレームＬ＼Ｆ上に並設された複数
のＩＣチップ（図１２において参照符号１５３にて示
す）のうち最初にボンディングを施すべき１つ目のＩＣ
チップをボンディングステージ上のボンディング位置に
位置決めする。なお、上記所定距離とは、種々あるリー
ドフレームについて、その端縁から１つ目のＩＣチップ
の中心までの距離を予め測定しておき、この測定値をＲ
ＯＭ１０１（図６参照）に記憶させておき、これを読み
出すことにより設定する。

【００８３】この後、この１つ目のＩＣチップについて
ボンディングを行い、それが完了したらリードフレーム
Ｌ＼Ｆを各ＩＣチップの配列ピッチの１ピッチ分ずつ送
り、同様に他のＩＣチップについて順次ボンディングを
続ける。

【００８４】以上が、センサ１２３、１２４及び１２５
の用法である。

【００８５】上記センサ１２３及び１２４は、夫々ガイ
ドレール１５７、１５８に対して取り付けられている。
この取付位置は、取り付ける作業者により誤差が生ず
る。この誤差を補正するため、下記の動作が行われる。

【００８６】すなわち、図１１において、各ガイドレー
ル１５７、１５８のフレーム案内面１５７ａ、１５８ａ
に対するこれらセンサ１２３、１２４の光軸の離間距離
を夫々α及びβで示す。このα、βの値が作業者の取付
状況により誤差を生ずる訳である。よって、このα、β
の値を記憶させ、複数台のボンディング装置間において
作動管理データの流用を行う際の機差補正を行う。

【００８７】具体的には、まず、図１１に示すように取
り付けた治具１１５に対して、両ガイドレール１５７、
１５８をその設定された第２基準位置より発進させて近
接させてゆく。そして、両センサ１２３、１２４が治具
１１５の側端縁を検知して信号を発した時点までの両ガ
イドレール１５７、１５８の移動量を前述と同様にして
計測し、これを夫々Ｗ₃ 、Ｗ₄ とする。この後、両ガイ
ドレール１５７、１５８をそのフレーム案内面１５７
ａ、１５８ａが治具１１５の当接面１１５ｇ、１１５ｈ
に当接するまで移動させ、上記第２基準位置からこのと
きまでの移動量を計測し、これをＷ₅ 、Ｗ₆ とする。す
ると、上記α、βは、夫々、α＝Ｗ₅ −Ｗ₃ 、β＝Ｗ₆
−Ｗ₄ にて求まることとなる。この値をＲＡＭ１０２
（図６参照）に記憶させる。

【００８８】次に、センサ１２５についてであるが、こ
のセンサ１２５は、上記ガイドレール１５７、１５８上
ではなく、固定側に取り付けられており、その位置が、
二軸方向、すなわち平面的に調整可能となっており、適
宜作業者により位置調整される。ところが、この調整に
ついても勿論誤差を生ずるのである。よって、下記の動
作が行われる。

【００８９】すなわち、このセンサ１２５については、
図１１において、γにて示す距離、すなわち、ボンディ
ング中心１０４からのセンサ１２５の光軸中心までの距
離の設定が重要である。よって、この距離γを治具１１
５を利用して厳密に調整することを行う。

【００９０】具体的には、図１１に示すように、治具１
１５には予め、ボンディング中心１０４からこの距離γ
を隔てた位置にスリット１１５ｊを形成しておく。そし
て、作業者がセンサ１２５の位置調整を行い、該センサ
１２５がこのスリット１１５ｊを検知したところで位置
を固定することを行う。

【００９１】なお、センサ１２５は、リードフレームＬ
＼Ｆの幅方向においても位置の調整が可能となっている
が、これは、各種あるリードフレームは、その端部の形
状についても凹凸を有するものなどまちまちであり、こ
れに対処するためである。すなわち、該各リードフレー
ムの端部の最突端に合致すべくセンサ１２５をリードフ
レーム幅方向において位置調整するのである。この位置
調整についても、リードフレームの種類が判明すればそ
の固有の形状に基づき、自動的に行うことができる。図
１１に示すように、このリードフレーム幅方向の調整を
行うため、センサ１２５により検知されるべく治具１１
５に形成されたスリット１１５ｊは、このリードフレー
ム幅方向において伸長している。

【００９２】なお、本実施例においてはワイヤボンディ
ング装置を例として示しているが、他に、テープボンデ
ィング装置及びダイボンディング装置においては勿論の
こと、可動体を有する種々の装置に本発明が利用し得る
ことは言及するまでもない。

【００９３】また、本実施例においては、可動体の位置
検知をなす検知手段として、各パルスモータ３５、４
５、６５の回転量に応じたパルス信号を発するエンコー
ダが設けられているが、この他、種々の検知手段が適用
可能である。

【００９４】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ボ
ンディング装置が具備する可動体の作動基準位置を第２
基準位置とし、ボンディングステージの略中心を通る軸
線として設定された第１基準位置と該第２基準位置との
距離データを記憶手段に記憶させることにより、複数の
ボンディング装置間において各装置の可動体の作動管理
データにつき、作業者がこれに手を加えることなく相互
の流用を可能とするものである。従って、複数のボンデ
ィング装置各々において、種々のマガジンあるいはリー
ドフレームに対応する可動体の停止位置は、熟練した作
業者の技術を必要とすることなく、また、バラつきを伴
う作業者自身による調整作業も介在しないことから、全
て同一となり、機差がなくなるという効果がある。ま
た、かかる構成によれば、複数のボンディング装置にお
いて、種々のマガジンあるいはリードフレームに対応す
る可動体の停止位置を設定して記憶させること、すなわ
ちいわゆるティーチングを行うべきは１台のボンディン
グ装置のみで済み、他の装置についてはティーチングを
行わずにデータを流用するだけでよいため、作業性の向
上が図れるという効果が得られる。また、これと同じ理
由から、これら他のボンディング装置においてはマガジ
ンあるいはリードフレームの品種毎のデータを記憶させ
なくともよいから、管理が容易になるという効果もあ
る。更に、上記した第１基準位置と第２基準位置との距
離データについて、これを所定のエンコーダ等からの信
号等に基づいて自動的に算出する機能を備えれば、作業
性の更なる向上が達成されるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明に係るワイヤボンディング装置
の平面図である。

【図２】図２は、図１に示したワイヤボンディング装置
の要部の、一部断面を含む平面図である。

【図３】図３は、図２に関する、一部断面を含むＡ−Ａ
矢視図である。

【図４】図４は、図２に関するＢ−Ｂ矢視図である。

【図５】図５は、図２に関する、一部断面を含むＣ−Ｃ
矢視図である。

【図６】図６は、図１乃至図５に示したワイヤボンディ
ング装置の動作制御系を示すブロック図である。

【図７】図７は、図１乃至図６に示したワイヤボンディ
ング装置の動作説明図である。

【図８】図８は、図１乃至図６に示したワイヤボンディ
ング装置の動作説明図である。

【図９】図９は、図１乃至図６に示したワイヤボンディ
ング装置の動作説明図である。

【図１０】図１０は、図１乃至図６に示したワイヤボン
ディング装置の動作説明図である。

【図１１】図１１は、図１に示したワイヤボンディング
装置の要部の動作説明図である。

【図１２】図１２は、従来のワイヤボンディング装置の
平面図である。

【図１３】図１３は、図１２に示したワイヤボンディン
グ装置が具備するローダの平面図である。

【符号の説明】

ＭマガジンＬ＼Ｆリードフレーム１アンローダ２ローダ１３、３５、４５、６５パルスモータ２６、２７、５６駆動手段４０、５０、７０エンコーダ７３、７４、７５規制部材（可動体）９５制御部（ＣＰＵ）１０１ＲＯＭ１０２ＲＡＭ（記憶手段）１０４ボンディングステージの中
心１０５、１１７第１基準位置１０６ヒータブロック１１５治具１５５ヒータプレート１５７、１５８ガイドレール（可動体）１２０ａプッシャ（可動体）

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】ボンディングステージの略中心を通る軸
線として設定された第１基準位置に対して設定可変な第
２基準位置と所要の作用をなすべき作用位置との間で移
動自在な可動体と、該可動体を移動させる駆動手段とを
備え、前記第１基準位置と第２基準位置間の距離データ
を求め、該距離データを記憶手段に記憶させるようにし
たことを特徴とするボンディング装置。
【請求項２】前記第１基準位置に対して治具を装着
し、前記可動体を前記第２基準位置から移動させること
によって該治具までの距離データを求めることを特徴と
する請求項１記載のボンディング装置。
【請求項３】前記記憶手段は記憶媒体であることを特
徴とする請求項１または請求項２記載のボンディング装
置。
【請求項４】装置間において前記記憶手段を流用する
際、前記記憶手段に記憶された距離データに基づいて前
記第２基準位置を自動的に設定するようにしたことを特
徴とする請求項１乃至請求項３のうちいずれか１記載の
ボンディング装置。
【請求項５】ボンディングステージの略中心を通る軸
線として設定された第１基準位置と設定可変な第２基準
位置間の距離データを算出するために、可動体が当接し
得べく前記第１基準位置に対して装着できるようにした
治具。
【請求項６】ボンディングステージの略中心を通る軸
線として設定された第１基準位置に対して治具を位置決
め装着し、該第１基準位置に対して設定可変な第２基準
位置から所定の作用をなすべき作用位置に向けて可動体
を移動させ、該可動体が前記治具に当接するまでの移動
量に基づいて前記第１基準位置に対する第２基準位置の
距離データを求め、該距離データを記憶手段に記憶させ
るようにしたことを特徴とするボンディング装置におけ
る可動体の作動基準位置設定方法。