JPH08136615A - 半導体試験装置のタイミング位相調整回路 - Google Patents
半導体試験装置のタイミング位相調整回路Info
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- JPH08136615A JPH08136615A JP6303196A JP30319694A JPH08136615A JP H08136615 A JPH08136615 A JP H08136615A JP 6303196 A JP6303196 A JP 6303196A JP 30319694 A JP30319694 A JP 30319694A JP H08136615 A JPH08136615 A JP H08136615A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
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- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3181—Functional testing
- G01R31/319—Tester hardware, i.e. output processing circuits
- G01R31/31903—Tester hardware, i.e. output processing circuits tester configuration
- G01R31/31908—Tester set-up, e.g. configuring the tester to the device under test [DUT], down loading test patterns
- G01R31/3191—Calibration
-
- G—PHYSICS
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2882—Testing timing characteristics
Abstract
(57)【要約】
【目的】 短時間で、小さい回路規模で、自動的に位相
調整できるタイミング位相調整回路を実現する。 【構成】 可変遅延回路を制御できるビット数のカウン
タ10と、位相調整値をラッチ回路で保持する遅延量保
持回路16と、システムクロックに同期して波形生成信
号を出力する波形制御部11と、各ステーションに共通
した調整値で遅延する可変遅延回路I12と、各ステー
ション間のばらつきを調整するステーション毎に用意さ
れた可変遅延回路II13a及び13bと、カウンタ1
0の下位ビットが全て論理“1”であることを検出する
下位ビット論理積回路14と、Hレベルへの変化点とL
レベルへの変化点のどちらに位相調整するかを制御する
比較回路15と、比較回路15の出力信号により信号を
保持するレジスタ及びそのレジスタを初期化するゲート
から成る遅延量保持制御回路17とで構成する。
調整できるタイミング位相調整回路を実現する。 【構成】 可変遅延回路を制御できるビット数のカウン
タ10と、位相調整値をラッチ回路で保持する遅延量保
持回路16と、システムクロックに同期して波形生成信
号を出力する波形制御部11と、各ステーションに共通
した調整値で遅延する可変遅延回路I12と、各ステー
ション間のばらつきを調整するステーション毎に用意さ
れた可変遅延回路II13a及び13bと、カウンタ1
0の下位ビットが全て論理“1”であることを検出する
下位ビット論理積回路14と、Hレベルへの変化点とL
レベルへの変化点のどちらに位相調整するかを制御する
比較回路15と、比較回路15の出力信号により信号を
保持するレジスタ及びそのレジスタを初期化するゲート
から成る遅延量保持制御回路17とで構成する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、複数のステーションで
同時測定する場合のタイミング位相調整で、調整値を高
速に処理する半導体試験装置のタイミング位相調整回路
に関するものである。
同時測定する場合のタイミング位相調整で、調整値を高
速に処理する半導体試験装置のタイミング位相調整回路
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図3に複数のテストステーションにおい
て同時試験する場合の従来の位相調整のブロック図を示
す。位相調整のための可変遅延回路は、ステーション毎
にあり、それぞれ独立して位相調整している。位相調整
は、テストステーション毎に行うため、テストステーシ
ョンの数に比例した時間を必要としている。また、各可
変遅延回路は、各テストステーションに共通に存在する
遅延時間を位相調整できる遅延時間幅を持っているた
め、回路規模が大きくなる欠点があった。
て同時試験する場合の従来の位相調整のブロック図を示
す。位相調整のための可変遅延回路は、ステーション毎
にあり、それぞれ独立して位相調整している。位相調整
は、テストステーション毎に行うため、テストステーシ
ョンの数に比例した時間を必要としている。また、各可
変遅延回路は、各テストステーションに共通に存在する
遅延時間を位相調整できる遅延時間幅を持っているた
め、回路規模が大きくなる欠点があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
従来のタイミング位相調整回路は、その位相調整値を得
るための時間が長く、その回路規模が大きくなる欠点が
あった。本発明は、短時間で、小さい回路規模で、自動
的に位相調整できるタイミング位相調整回路を実現する
ことを目的としている。
従来のタイミング位相調整回路は、その位相調整値を得
るための時間が長く、その回路規模が大きくなる欠点が
あった。本発明は、短時間で、小さい回路規模で、自動
的に位相調整できるタイミング位相調整回路を実現する
ことを目的としている。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のタイミング位相調整回路においては、次の
ような構成としている。可変遅延回路を制御する為に必
要とするビット数をもったカウンタ10を設ける。位相
調整値を保持するラッチ回路を含む遅延量保持回路16
を設ける。システムクロック毎に波形生成のためのタイ
ミング信号を出力する波形制御部11を設ける。波形制
御部11から出力した信号の各ピン毎に持つシステムば
らつきを調整できる可変量をもつ可変遅延回路I12を
設ける。各ステーション毎にある遅延ばらつき量と可変
遅延回路I12の最大飛び量を含んだ遅延量を調整でき
る可変量をもつステーション毎に用意された可変遅延回
路II13a及び13bを設ける。可変遅延回路II1
3a及び13bを制御するビットでカウンタ10の下位
ビットが全て論理“1”になったことを検出する下位ビ
ット論理積回路14を設ける。各ステーションから与え
られるレベル比較結果からHレベルへの変化点とLレベ
ルへの変化点でどちらの変化点に位相調整するかを制御
する比較回路15を設ける。比較回路15の出力信号に
より信号を保持するレジスタ及びそのレジスタを初期化
するゲートから成る遅延量保持制御回路17を設ける。
に、本発明のタイミング位相調整回路においては、次の
ような構成としている。可変遅延回路を制御する為に必
要とするビット数をもったカウンタ10を設ける。位相
調整値を保持するラッチ回路を含む遅延量保持回路16
を設ける。システムクロック毎に波形生成のためのタイ
ミング信号を出力する波形制御部11を設ける。波形制
御部11から出力した信号の各ピン毎に持つシステムば
らつきを調整できる可変量をもつ可変遅延回路I12を
設ける。各ステーション毎にある遅延ばらつき量と可変
遅延回路I12の最大飛び量を含んだ遅延量を調整でき
る可変量をもつステーション毎に用意された可変遅延回
路II13a及び13bを設ける。可変遅延回路II1
3a及び13bを制御するビットでカウンタ10の下位
ビットが全て論理“1”になったことを検出する下位ビ
ット論理積回路14を設ける。各ステーションから与え
られるレベル比較結果からHレベルへの変化点とLレベ
ルへの変化点でどちらの変化点に位相調整するかを制御
する比較回路15を設ける。比較回路15の出力信号に
より信号を保持するレジスタ及びそのレジスタを初期化
するゲートから成る遅延量保持制御回路17を設ける。
【0005】
【作用】上記のように構成されたタイミング位相調整回
路においては、カウンタのカウントを進めることで、各
ステーションのタイミング位相調整が、共通遅延時間と
ステーション毎の遅延時間に分けて、自動的に設定され
る。
路においては、カウンタのカウントを進めることで、各
ステーションのタイミング位相調整が、共通遅延時間と
ステーション毎の遅延時間に分けて、自動的に設定され
る。
【0006】
【実施例】図1に本発明の一実施例を示す。この位相調
整回路は、可変遅延回路を制御する為に必要とするビッ
ト数をもったカウンタ10と、位相調整値を保持するラ
ッチ回路を含む遅延量保持回路16と、システムクロッ
ク毎に波形生成のためのタイミング信号を出力する波形
制御部11と、波形制御部11から出力した信号の各ピ
ン毎に持つシステムばらつきを調整できる可変量をもつ
可変遅延回路I12と、各ステーション毎にある遅延ば
らつき量と可変遅延回路I12の最大飛び量を含んだ遅
延量を調整できる可変量をもつステーション毎に用意さ
れた可変遅延回路II13a及び13bと、可変遅延回
路II13a及び13bを制御するビットでカウンタ1
0の下位ビットが全て論理“1”になったことを検出す
る下位ビット論理積回路14と、各ステーションから与
えられるレベル比較結果からHレベルへの変化点とLレ
ベルへの変化点でどちらの変化点に位相調整するかを制
御する比較回路15と、比較回路15の出力信号により
信号を保持するレジスタ及びそのレジスタを初期化する
ゲートから成る遅延量保持制御回路17とで構成され
る。
整回路は、可変遅延回路を制御する為に必要とするビッ
ト数をもったカウンタ10と、位相調整値を保持するラ
ッチ回路を含む遅延量保持回路16と、システムクロッ
ク毎に波形生成のためのタイミング信号を出力する波形
制御部11と、波形制御部11から出力した信号の各ピ
ン毎に持つシステムばらつきを調整できる可変量をもつ
可変遅延回路I12と、各ステーション毎にある遅延ば
らつき量と可変遅延回路I12の最大飛び量を含んだ遅
延量を調整できる可変量をもつステーション毎に用意さ
れた可変遅延回路II13a及び13bと、可変遅延回
路II13a及び13bを制御するビットでカウンタ1
0の下位ビットが全て論理“1”になったことを検出す
る下位ビット論理積回路14と、各ステーションから与
えられるレベル比較結果からHレベルへの変化点とLレ
ベルへの変化点でどちらの変化点に位相調整するかを制
御する比較回路15と、比較回路15の出力信号により
信号を保持するレジスタ及びそのレジスタを初期化する
ゲートから成る遅延量保持制御回路17とで構成され
る。
【0007】図2に図1で示した実施例のタイミング図
を示す。位相調整を始める前に回路を初期化するためリ
セット信号を発生し、カウンタ、レジスタG及びHを初
期化し、カウンタのデータがラッチ回路I、J、Kを通
り可変遅延回路I及び可変遅延回路IIに出力するよう
にする。下位ビット論理積回路14はカウンタ10の下
位ビットが全て論理“1”になったことを検出する回路
で、このビット数と遅延量保持回路16のラッチ回路J
及びK各々のビット数は一致させておく。本実施例で
は、このビット数を8ビットとして説明する。
を示す。位相調整を始める前に回路を初期化するためリ
セット信号を発生し、カウンタ、レジスタG及びHを初
期化し、カウンタのデータがラッチ回路I、J、Kを通
り可変遅延回路I及び可変遅延回路IIに出力するよう
にする。下位ビット論理積回路14はカウンタ10の下
位ビットが全て論理“1”になったことを検出する回路
で、このビット数と遅延量保持回路16のラッチ回路J
及びK各々のビット数は一致させておく。本実施例で
は、このビット数を8ビットとして説明する。
【0008】位相調整が始まるとシステムクロック1及
びシステムクロック2が位相調整を行う周期で入力され
る。ステーション1及びステーション2のレベル比較結
果は、可変遅延回路II13a及び13bから出力した
波形を元に生成される。レベル比較結果は、比較回路1
5に入力し、Hレベルへの変化点で位相調整するか、L
レベルへの変化点で位相調整するかの情報を元にして、
遅延量保持制御回路17のゲートB及びゲートCに信号
を出力する。遅延量保持制御回路17のレジスタG及び
レジスタHは、システムクロック2のタイミングで比較
回路15の信号を取り込み、一度でもHレベルを取り込
むと、それを保持する回路になっている。カウンタ10
の下位8ビットが#00〜#FFと変化する間に、ステ
ーション1及びステーション2のレベル比較結果がHレ
ベルとなった時、それぞれカウンタの情報を遅延量保持
回路16のラッチJ及びラッチKに保持する。遅延量保
持回路16のラッチIは、ラッチJ及びラッチKの両方
が保持された時、同時にカウンタ10の出力信号の上位
ビットを保持する。#00〜#FFの間で、ラッチJ及
びラッチKの両方共にラッチしない場合、又は、片方の
みラッチした場合は、#FF→#00となる時にレジス
タG及びレジスタHを初期化し、遅延量保持回路16内
のラッチIに入力するカウンタ10の上位ビットを+1
して、再びカウンタ10の下位8ビットが#00〜#F
Fと変化しながらステーション1及びステーション2の
レベル比較結果が両方共Hレベルになるまで繰り返す。
びシステムクロック2が位相調整を行う周期で入力され
る。ステーション1及びステーション2のレベル比較結
果は、可変遅延回路II13a及び13bから出力した
波形を元に生成される。レベル比較結果は、比較回路1
5に入力し、Hレベルへの変化点で位相調整するか、L
レベルへの変化点で位相調整するかの情報を元にして、
遅延量保持制御回路17のゲートB及びゲートCに信号
を出力する。遅延量保持制御回路17のレジスタG及び
レジスタHは、システムクロック2のタイミングで比較
回路15の信号を取り込み、一度でもHレベルを取り込
むと、それを保持する回路になっている。カウンタ10
の下位8ビットが#00〜#FFと変化する間に、ステ
ーション1及びステーション2のレベル比較結果がHレ
ベルとなった時、それぞれカウンタの情報を遅延量保持
回路16のラッチJ及びラッチKに保持する。遅延量保
持回路16のラッチIは、ラッチJ及びラッチKの両方
が保持された時、同時にカウンタ10の出力信号の上位
ビットを保持する。#00〜#FFの間で、ラッチJ及
びラッチKの両方共にラッチしない場合、又は、片方の
みラッチした場合は、#FF→#00となる時にレジス
タG及びレジスタHを初期化し、遅延量保持回路16内
のラッチIに入力するカウンタ10の上位ビットを+1
して、再びカウンタ10の下位8ビットが#00〜#F
Fと変化しながらステーション1及びステーション2の
レベル比較結果が両方共Hレベルになるまで繰り返す。
【0009】図2においては、リセット信号によってカ
ウンタ10を含むレジスタを初期化した後、システムク
ロック1でカウンタ10を#1→#2→とカウントす
る。カウンタ10の#が可変遅延回路II13a及び1
3bを制御し、波形制御部11からの出力を遅延させ
る。その結果としてカウンタ10の出力が#1のときS
T2レベル比較結果がHレベルとなり、レジスタHが論
理“1”に保持され、ラッチKに#1を保持する。その
後、カウンタ10が加算される毎に可変遅延回路II1
3aのステーション1側の遅延量が大きくなるが、ST
1レベル比較結果はHレベルにならないままカウンタ1
0の出力が#FFとなる。このとき、下位ビット論理積
回路14の出力がHレベルとなり、システムクロック2
でレジスタG及びレジスタHが初期化される。カウンタ
10は#FF→#100となり、ラッチIに#1が入出
力し、ラッチJ及びラッチKは#00→#01と変化す
る信号が入出力する。同じことを繰り返し、カウンタ1
0の出力が#310のときST2レベル比較結果がHレ
ベルとなり、レジスタHが論理“1”に保持され、ラッ
チKに#10を保持する。続いて、カウンタ10の出力
が#311のときST1レベル比較結果がHレベルとな
り、レジスタGが論理“1”に保持され、ラッチJに#
11を保持する。また、同時にラッチIが#3を保持す
る。これにより可変遅延回路I12が#3に、可変遅延
回路II13aが#11に、可変遅延回路II13bが
#10に保持されて、位相調整が完了する。
ウンタ10を含むレジスタを初期化した後、システムク
ロック1でカウンタ10を#1→#2→とカウントす
る。カウンタ10の#が可変遅延回路II13a及び1
3bを制御し、波形制御部11からの出力を遅延させ
る。その結果としてカウンタ10の出力が#1のときS
T2レベル比較結果がHレベルとなり、レジスタHが論
理“1”に保持され、ラッチKに#1を保持する。その
後、カウンタ10が加算される毎に可変遅延回路II1
3aのステーション1側の遅延量が大きくなるが、ST
1レベル比較結果はHレベルにならないままカウンタ1
0の出力が#FFとなる。このとき、下位ビット論理積
回路14の出力がHレベルとなり、システムクロック2
でレジスタG及びレジスタHが初期化される。カウンタ
10は#FF→#100となり、ラッチIに#1が入出
力し、ラッチJ及びラッチKは#00→#01と変化す
る信号が入出力する。同じことを繰り返し、カウンタ1
0の出力が#310のときST2レベル比較結果がHレ
ベルとなり、レジスタHが論理“1”に保持され、ラッ
チKに#10を保持する。続いて、カウンタ10の出力
が#311のときST1レベル比較結果がHレベルとな
り、レジスタGが論理“1”に保持され、ラッチJに#
11を保持する。また、同時にラッチIが#3を保持す
る。これにより可変遅延回路I12が#3に、可変遅延
回路II13aが#11に、可変遅延回路II13bが
#10に保持されて、位相調整が完了する。
【0010】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、1回のタイミング位相調整の実行で複数の
ステーションの位相調整がステーション間共通の遅延と
ステーション毎に違った遅延に分離して回路に自動的に
設定される。このため、従来に比べ短時間で、小さい回
路規模で、自動的に位相調整でき有効な回路構成となっ
ている。
ているので、1回のタイミング位相調整の実行で複数の
ステーションの位相調整がステーション間共通の遅延と
ステーション毎に違った遅延に分離して回路に自動的に
設定される。このため、従来に比べ短時間で、小さい回
路規模で、自動的に位相調整でき有効な回路構成となっ
ている。
【図1】本発明の回路ブロック図である。
【図2】本発明のタイミング図である。
【図3】従来の概略回路ブロック図である。
10 カウンタ 11 波形制御部 12 可変遅延回路I 13a、13b 可変遅延回路II 14 下位ビット論理積回路 15 比較回路 16 遅延量保持回路 17 遅延量保持制御回路
Claims (1)
- 【請求項1】 可変遅延回路を制御する為に必要とする
ビット数をもったカウンタ(10)を設け、 位相調整値を保持するラッチ回路を含む遅延量保持回路
(16)を設け、 システムクロック毎に波形生成のためのタイミング信号
を出力する波形制御部(11)を設け、 波形制御部(11)から出力した信号の各ピン毎に持つ
システムばらつきを調整できる可変量をもつ可変遅延回
路I(12)を設け、 各ステーション毎にある遅延ばらつき量と可変遅延回路
I(12)の最大飛び量を含んだ遅延量を調整できる可
変量をもつステーション毎に用意された可変遅延回路I
I(13a及び13b)を設け、 可変遅延回路II(13a及び13b)を制御するビッ
トでカウンタ(10)の下位ビットが全て論理“1”に
なったことを検出する下位ビット論理積回路(14)を
設け、 各ステーションから与えられるレベル比較結果からHレ
ベルへの変化点とLレベルへの変化点でどちらの変化点
に位相調整するかを制御する比較回路(15)を設け、 比較回路(15)の出力信号により信号を保持するレジ
スタ及びそのレジスタを初期化するゲートから成る遅延
量保持制御回路(17)を設け、 たことを特徴とする半導体試験装置のタイミング位相調
整回路。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6303196A JPH08136615A (ja) | 1994-11-11 | 1994-11-11 | 半導体試験装置のタイミング位相調整回路 |
PCT/US1996/006582 WO1997043813A1 (en) | 1994-11-11 | 1996-05-10 | Timing adjustment circuit for semiconductor test system |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6303196A JPH08136615A (ja) | 1994-11-11 | 1994-11-11 | 半導体試験装置のタイミング位相調整回路 |
PCT/US1996/006582 WO1997043813A1 (en) | 1994-11-11 | 1996-05-10 | Timing adjustment circuit for semiconductor test system |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08136615A true JPH08136615A (ja) | 1996-05-31 |
Family
ID=26563435
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6303196A Pending JPH08136615A (ja) | 1994-11-11 | 1994-11-11 | 半導体試験装置のタイミング位相調整回路 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08136615A (ja) |
WO (1) | WO1997043813A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012007986A1 (ja) * | 2010-07-12 | 2012-01-19 | 株式会社アドバンテスト | 測定回路および試験装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4807147A (en) * | 1983-10-20 | 1989-02-21 | Burr-Brown Corporation | Sampling wave-form digitizer for dynamic testing of high speed data conversion components |
JPH02246151A (ja) * | 1989-03-20 | 1990-10-01 | Hitachi Ltd | 抵抗手段と論理回路、入力回路、ヒューズ切断回路、駆動回路、電源回路、静電保護回路及びこれらを含む半導体記憶装置ならびにそのレイアウト方式及びテスト方式 |
JPH0682326B2 (ja) * | 1989-09-29 | 1994-10-19 | 三菱電機株式会社 | スキャンレジスタおよびそれを用いたテスト回路 |
US5212443A (en) * | 1990-09-05 | 1993-05-18 | Schlumberger Technologies, Inc. | Event sequencer for automatic test equipment |
US5194818A (en) * | 1991-02-27 | 1993-03-16 | National Semiconductor Corporation | Risetime and falltime test system and method |
US5530677A (en) * | 1994-08-31 | 1996-06-25 | International Business Machines Corporation | Semiconductor memory system having a write control circuit responsive to a system clock and/or a test clock for enabling and disabling a read/write latch |
-
1994
- 1994-11-11 JP JP6303196A patent/JPH08136615A/ja active Pending
-
1996
- 1996-05-10 WO PCT/US1996/006582 patent/WO1997043813A1/en active Application Filing
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012007986A1 (ja) * | 2010-07-12 | 2012-01-19 | 株式会社アドバンテスト | 測定回路および試験装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO1997043813A1 (en) | 1997-11-20 |
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Date | Code | Title | Description |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20031224 |