JPH08136143A - 連続式熱処理炉 - Google Patents

連続式熱処理炉

Info

Publication number
JPH08136143A
JPH08136143A JP27368594A JP27368594A JPH08136143A JP H08136143 A JPH08136143 A JP H08136143A JP 27368594 A JP27368594 A JP 27368594A JP 27368594 A JP27368594 A JP 27368594A JP H08136143 A JPH08136143 A JP H08136143A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
furnace
heat treatment
furnace body
ceramic
base plates
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP27368594A
Other languages
English (en)
Inventor
Hideji Hosomi
秀次 細見
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP27368594A priority Critical patent/JPH08136143A/ja
Publication of JPH08136143A publication Critical patent/JPH08136143A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【目的】 全体構造の小型化及び熱エネルギーの有効利
用を図ることが可能であり、処理物の品質向上を図るこ
とができる構造とされた連続式熱処理炉を提供する。 【構成】 本発明にかかる連続式熱処理炉1は、処理物
Sの搬送経路を取り囲んで設けられた炉体2と、炉長方
向に沿って並列配置され、かつ、処理物Sそのものが載
置される複数枚の台板3と、炉幅方向に沿って並列配置
されたうえで炉長方向の前後に位置する台板3の側部同
士を連結し、かつ、これらの台板3を炉長方向に沿って
搬送する一対の無端伝動体4と、炉体2内の上部位置に
配設されて台板3上に載置された処理物Sを取り囲む天
井壁6とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はセラミック板などの処理
物に対する熱処理を行う際に用いられる連続式熱処理炉
にかかり、特には、その構造に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、サーミスタなどのような小型
電子部品を製造する際には角形や円形のセラミック板を
構成要素として使用することが行われており、これらの
セラミック板に対する脱脂や焼成などのような熱処理に
際しては、図4で示すように、上面のみが開放されたセ
ラミック製の熱処理用匣20を用意し、かつ、これらの
熱処理用匣20内に処理物であるセラミック板Sを厚み
方向に沿って積み上げたうえでの熱処理、つまり予め設
定された温度プロファイルに従ってセラミック板Sを加
熱した後に冷却するという一連の熱的な操作を実行する
のが一般的となっている。そして、このような熱処理作
業の実行にあたっては大量生産に適した連続式熱処理炉
(以下、熱処理炉という)が用いられており、この種の
熱処理炉の一例としては図5で示すような構造を有する
プッシャー炉21が知られている。
【0003】すなわち、このプッシャー炉21は所定厚
みの断熱材を用いて構成された炉体22を備え、かつ、
炉体22内にはセラミック板Sを収納したうえで炉長方
向に沿って搬送される熱処理用匣20の搬送通路23が
配設されたものであり、この搬送通路23を取り囲んで
設けられた炉体22内には加熱用ヒータや雰囲気ガスの
供給管など(いずれも図示していない)が配設されてい
る。そして、このプッシャー炉21を用いての熱処理作
業にあたっては、熱処理用匣20を搬送用の台板24上
に多段積み状態で載置し、かつ、最上部に載置された熱
処理用匣20の開放面をセラミック製の蓋体20aでも
って塞いだ後、炉体22の搬入側開口の外部位置に設置
されたプッシャーシリンダ(図示していない)で台板2
4を順次押し込みながら搬送通路23上を搬送すること
が行われる。
【0004】なお、この際における熱処理用匣20それ
ぞれの開放面を塞いでおくのは、セラミック板Sからの
発生ガスが炉体22及び加熱用ヒータや炉内雰囲気に対
して悪影響を及ぼすことを避けるとともに、炉内上方よ
りの異物の侵入を防止するためである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記従来構
造とされたプッシャー炉21を用いての熱処理作業にお
いては、つぎのような不都合が生じていた。すなわち、
まず、セラミック板Sの熱処理を実行するための道具材
であるに過ぎない熱処理用匣20及び蓋体20aが必須
となる結果、これらの昇温に要する余分な熱エネルギー
が必要となってしまう。そして、台板24上に多段積み
された熱処理用匣20が炉内を搬送されていくのである
から、通過面積の大きな炉内空間を確保しておく必要が
あることになり、炉体22の大型化を招くばかりか、大
型化した分だけ炉体22からの放熱に伴う熱エネルギー
損失が増えることになる。
【0006】また、多段積みされた上側の熱処理用匣2
0と下側の熱処理用匣20とでは高さ位置が相違してお
り、高さ位置によって炉内温度の不均一が生じることも
あるため、高さ位置の異なる熱処理用匣20それぞれに
収納されたうえで熱処理されたセラミック板S相互の特
性が相違することになり、品質のばらつきを生じること
も起こっていた。
【0007】本発明は、これらの不都合に鑑みて創案さ
れたものであって、全体構造の小型化及び熱エネルギー
の有効利用を図ることが可能であり、処理物の品質向上
を図ることができる構造とされた熱処理炉の提供を目的
としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明にかかる第1の熱
処理炉は、このような目的を達成するために、処理物の
搬送経路を取り囲んで設けられた炉体と、炉長方向に沿
って並列配置され、かつ、処理物そのものが載置される
複数枚の台板と、炉幅方向に沿って並列配置されたうえ
で炉長方向の前後に位置する台板の側部同士を連結し、
かつ、これらの台板を炉長方向に沿って搬送する一対の
無端伝動体と、炉体内の上部位置に配設されて台板上に
載置された処理物を取り囲む天井壁とを備えている。そ
して、本発明にかかる第2の熱処理炉においては、炉体
内の側部位置に側壁が立設されており、無端伝動体は各
側壁と炉体との間に配置されたものとなっている。ま
た、第3の熱処理炉における処理物は円形のセラミック
板であり、台板の表面上には垂直姿勢とされたセラミッ
ク板の側面を2点支持するV形溝が形成されている。
【0009】
【作用】上記構成によれば、無端伝動体によって搬送さ
れる台板上に処理物そのものを直接的に載置したうえで
の熱処理作業が行われることになり、熱処理用匣などの
道具材が不要となる結果、熱エネルギーの無駄がなくな
る。また、天井壁を設けているので、従来例通りの雰囲
気条件下での熱処理が実現されることにもなる。
【0010】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
【0011】図1は本実施例にかかる熱処理炉の全体構
造を示す縦断側面図、図2はその要部を上側から見た状
態を拡大して示す一部破断斜視図、図3は本実施例にか
かる熱処理炉の全体構造を拡大して示す横断面図であ
り、図1及び図3における符号1は熱処理炉である。
【0012】本実施例にかかる熱処理炉1は角形や円形
のセラミック板に対する脱脂や焼成などの熱処理を実行
する際に用いられるものであり、処理物であるセラミッ
ク板Sの搬送経路を取り囲んで設けられた所定厚みの断
熱材からなる炉体2を備えている。そして、この炉体2
内にはセラミック板Sが通過しながら加熱されることに
なる炉内空間が炉長方向に沿って貫通した状態で設けら
れており、炉内空間内には炉長方向に沿って並列配置さ
れ、かつ、セラミック板Sそのものが直接的に載置され
る所定厚みのセラミックからなる複数枚の台板3と、炉
幅方向に沿う平行状として並列配置された一対の無端伝
動体であるセラミックチェーン4とが互いに連結された
状態で配置されている。なお、ここでの無端伝動体がセ
ラミックチェーン4に限られることはなく、耐熱合金か
らなるワイヤーなどであってもよいことは勿論である。
【0013】すなわち、これらセラミックチェーン4の
それぞれは、炉体2における搬入側開口及び搬出側開口
それぞれの外部位置に設置されたスプロケットホイール
5を介したうえで回転駆動されるものであり、各セラミ
ックチェーン4によっては炉長方向の前後に位置する台
板3の側部同士が連結されている。そして、この際、各
台板3の側部は2点でもって各セラミックチェーン4と
連結されており、図示していないが、スプロケットホイ
ール5に対するセラミックチェーン4の巻き付きを考慮
したうえ、搬送方向の後側に位置する連結点は台板3の
厚み方向に沿って移動しうるように構成されている。そ
こで、これらの台板3それぞれはセラミックチェーン4
の回転駆動に伴って炉内空間内を炉体2の搬入側開口か
ら搬出側開口へと向かって搬送された後、炉体2の外部
において炉長方向に沿う反対向きへと搬送されたうえで
炉体2の搬入側開口に戻されることになる。
【0014】そして、各台板3の表面上には、炉幅方向
に沿って形成されたV形溝3aが炉長方向に沿う複数列
(図では、3列)分だけ設けられており、これらのV形
溝3aによっては垂直姿勢で載置された円形のセラミッ
ク板Sそれぞれの側面が2点支持されている。また、こ
の際、セラミック板Sは各々の厚み方向に沿って複数枚
だけ積み重ねた状態で載置されるようになっており、各
V形溝3aの両端部位置には一群として載置されたセラ
ミック板Sの倒れを防止するためのストッパー部材(図
示していない)がそれぞれ取り付けられている。なお、
処理物が角形のセラミック板である場合などには、各台
板3の表面上にV形溝3aを必ずしも形成しておく必要
がないことになる。
【0015】また、この熱処理炉1を構成する炉体2内
には所定厚みのセラミックを用いて構成された断面視コ
字形の天井壁6が下向きに開口した状態で配設されてお
り、吊り下げ支持などによって炉内空間の上部位置に配
設された天井壁6は台板3上に載置されたセラミック板
Sを取り囲んでいる。すなわち、この天井壁6は従来例
における熱処理用匣20の開放面を塞いでいた蓋体20
aに代わるものとして固定的に設けられたものであり、
天井壁6と炉体2との間には加熱用ヒータや雰囲気ガス
の供給管など(図示していない)が配設されている。な
お、ここでの天井壁6はセラミック板Sからの発生ガス
が炉体2や加熱用ヒータ、炉内雰囲気などに対して悪影
響を及ぼすことを回避するとともに、炉内上方よりの異
物の侵入を防止すべく設けられたものであり、この天井
壁6を設けたことによってセラミック板Sは熱処理用匣
20内と同様の雰囲気条件下で熱処理されることにな
る。
【0016】ところで、台板3や天井壁6の構成素材で
あるセラミックの材質は、ムライト質,アルミナ質,炭
化硅素質,窒化硅素質などであり、必要に応じて選択さ
れることになる。また、これらの台板3や天井壁6に対
しては、セラミック板Sとの反応が生じることを防止す
る必要上、ジルコニアやマグネシアのコーテイングを施
しておくことも行われる。
【0017】さらに、この熱処理炉1の炉体2内、つま
り炉内空間における側部位置には所定厚みの断熱材から
なる側壁7がそれぞれ立設されており、台板3の各々を
介したうえで互いに並列配置された各セラミックチェー
ン4は炉体2と各側壁7との間に配置されている。すな
わち、これらの側壁7は加熱用ヒータからの直接的な熱
影響がセラミックチェーン4に及ぶのを軽減すべく設け
られているのであり、必ずしも必須のものではない。
【0018】さらにまた、この熱処理炉1を構成する炉
体2の搬入側開口及び搬出側開口それぞれの外部には、
これらの開口から露出するスプロケットホイール5を全
体として覆う所定厚みの断熱材カバー8,9が取り付け
られている。そして、搬入側に配置された断熱材カバー
8には処理すべきセラミック板Sを台板3上に積み込む
ための開口8aが形成される一方、搬出側に配置された
断熱材カバー9の下側には処理済みとなったセラミック
板Sが重力の作用に基づいて落下する構成とされた傾斜
状の排出シュート10が配設されている。
【0019】そこで、この排出シュート10から落下し
たセラミック板Sのそれぞれは、回収箱11内に投入さ
れたうえで収納されることになる。なお、積み込み時に
おけるセラミック板Sは厚み方向に沿って積み重ねら
れ、かつ、チャックハンドなどによって掴まれた状態で
供給されることになる。また、このとき、炉体2の搬出
側に排出シュート10を設けておくことなく、処理済み
となったセラミック板Sをもチャックハンドなどによっ
て掴んだうえで排出するようにしてもよい。
【0020】ところで、この際、炉体2の搬出側開口か
ら出たうえで搬入側開口へと向かって戻る台板3及びセ
ラミックチェーン4を所定厚みの断熱材カバー(図示し
ていない)で覆ってもよく、このような構成を採用した
場合には台板3及びセラミックチェーン4が外気によっ
て冷却されるのを防ぐことが可能となる。なお、本実施
例においては処理物がセラミック板Sであるとしている
が、セラミック板に限定されないことは勿論である。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように、本発明にかかる熱
処理炉によれば、無端伝動体によって搬送される台板上
に処理物そのものを直接的に載置したうえでの熱処理作
業が行われることになる。そこで、従来例では必須であ
った熱処理用匣などの道具材が不要となり、これらの道
具材までをも昇温する必要がなくなる結果、これらの昇
温に要していた熱エネルギーの無駄をなくすことが可能
となる。そして、本発明においては処理物を取り囲んで
配置された天井壁を設けているので、従来例通りの雰囲
気条件下における熱処理を実現することが可能になる。
なお、この天井壁は炉体内に固定して設けられたもので
あるから、昇温後における熱エネルギーの外部持ち出し
には寄与しないことになっている。
【0022】また、本発明構造によれば、従来例のよう
な多段積みされた熱処理匣ではなくて台板上に載置され
た処理物のみが搬送されるのであるから、熱処理用匣を
使用した場合に比べると、炉内空間における通過面積が
少なくて済むことになる。その結果、炉体をはじめとす
る全体構造の小型化を図ることが可能となり、かつ、熱
エネルギー損失の低減によって熱エネルギーの有効利用
を図ることができるという効果が得られる。さらにま
た、熱処理時における処理物の高さ位置が相違している
ことがなくなるため、処理済みとなった処理物の有する
特性が相違していることは起こらなくなり、処理物の品
質向上を図ることもできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施例にかかる熱処理炉の全体構造を示す縦
断側面図である。
【図2】本実施例にかかる熱処理炉の要部を上側から見
た状態を拡大して示す一部破断斜視図である。
【図3】本実施例にかかる熱処理炉の全体構造を拡大し
て示す横断面図である。
【図4】従来例にかかる熱処理用匣の構造を示す一部破
断斜視図である。
【図5】従来例にかかる熱処理炉の全体構造を示す縦断
側面図である。
【符号の説明】
1 熱処理炉(連続式熱処理炉) 2 炉体 3 台板 3a V形溝 4 セラミックチェーン(無端伝動体) 6 天井壁 7 側壁 S セラミック板(処理物)

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 処理物(S)の搬送経路を取り囲んで設
    けられた炉体(2)と、炉長方向に沿って並列配置さ
    れ、かつ、処理物(S)そのものが載置される複数枚の
    台板(3)と、炉幅方向に沿って並列配置されたうえで
    炉長方向の前後に位置する台板(3)の側部同士を連結
    し、かつ、これらの台板(3)を炉長方向に沿って搬送
    する一対の無端伝動体(4)と、炉体(2)内の上部位
    置に配設されて台板(3)上に載置された処理物(S)
    を取り囲む天井壁(6)とを備えていることを特徴とす
    る連続式熱処理炉。
  2. 【請求項2】 炉体(2)内の側部位置には側壁(7)
    が立設されており、これらの側壁(7)と炉体(2)と
    の間に無端伝動体(4)が配置されていることを特徴と
    する請求項1に記載の連続式熱処理炉。
  3. 【請求項3】 処理物(S)は円形のセラミック板であ
    り、台板(3)の表面には垂直姿勢で載置されたセラミ
    ック板それぞれの側面を2点支持するV形溝(3a)が
    炉幅方向に沿って形成されていることを特徴とする請求
    項1または請求項2に記載の連続式熱処理炉。
JP27368594A 1994-11-08 1994-11-08 連続式熱処理炉 Pending JPH08136143A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27368594A JPH08136143A (ja) 1994-11-08 1994-11-08 連続式熱処理炉

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27368594A JPH08136143A (ja) 1994-11-08 1994-11-08 連続式熱処理炉

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08136143A true JPH08136143A (ja) 1996-05-31

Family

ID=17531130

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP27368594A Pending JPH08136143A (ja) 1994-11-08 1994-11-08 連続式熱処理炉

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH08136143A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001133161A (ja) * 1999-11-08 2001-05-18 Kanto Yakin Kogyo Kk 炉内で移動可能な炉床
US8313192B2 (en) 2006-12-14 2012-11-20 Oakley, Inc. Wearable high resolution audio visual interface

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001133161A (ja) * 1999-11-08 2001-05-18 Kanto Yakin Kogyo Kk 炉内で移動可能な炉床
US8313192B2 (en) 2006-12-14 2012-11-20 Oakley, Inc. Wearable high resolution audio visual interface

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5618351A (en) Thermal processing apparatus and process
KR20080091423A (ko) 단열 구조체, 가열 장치, 가열 시스템, 기판 처리 장치 및반도체 장치의 제조 방법
JP2014034689A (ja) 鋼板焼入用加熱装置
US20130062035A1 (en) Substrate cooling device, substrate cooling method and heat treatment apparatus
JPH08136143A (ja) 連続式熱処理炉
JP2005502023A (ja) 移動ガス障害物を有する連続炉
JP2007187398A (ja) 連続式熱処理炉
JP2004286425A (ja) 線材を用いた搬送機構並びにそれを使用した熱処理炉及び熱処理方法
JP2003037107A (ja) 処理装置及び処理方法
JP7180020B1 (ja) 連続加熱炉
JP7180019B1 (ja) 連続加熱炉
JP7081037B1 (ja) 連続加熱炉
JP6913804B1 (ja) 熱処理容器の連結具
JP7361169B2 (ja) 連続加熱炉
JP2008062296A (ja) ろう接炉
CN115874033A (zh) 热处理装置
JP3218884B2 (ja) 熱処理用匣
KR100195971B1 (ko) 수직이동연속열처리로
JP2006250365A (ja) ローラハースキルンとこれを用いたセラミック粉末の仮焼方法
JPH04309786A (ja) 真空連続熱処理炉
JPH0878443A (ja) キュア装置
JPH0741396U (ja) 多段マッフル炉
JP2004011934A (ja) 連続熱処理炉
JP2001116463A (ja) 加熱炉
JP3830757B2 (ja) 連続熱処理装置