JPH0810968A - 電子ビーム溶接における局部真空室形成方法及びストリップ連続処理用電子ビーム溶接設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 板厚・板幅の異なる２つのストリップと真空
溶接室間のシールを可能にし、かつストリップを溶接線
直近で確実にクランプできる電子ビーム溶接における局
部真空室形成方法及びストリップ連続処理用電子ビーム
溶接設備を提供すること。 【構成】 電子ビーム溶接を行なう真空溶接室５はスト
リップ１、２の溶接部の周辺を囲むように溶接線に沿っ
て延びその周囲の板幅及び長手方向に少なくても一つの
予備排気室（６〜９）とその間に弾性シール材（１０、
１０’）を設け下方を開放した上真空容器３と、これと
対称に上方を開放した下真空容器４の２つで構成し、ス
トリップ１、２を突き合わせ溶接するに際し、ストリッ
プ１、２を上真空容器３と下真空容器４で挟持した際に
形成される板端部空隙部から流入する気体を少なくても
一つの予備排気室により吸引し、前記溶接部の周辺に真
空域を形成せしめるようにして溶接する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は溶接板の継手溶接部を局
部的に真空室に収納し、溶接する電子ビーム溶接におけ
る局部真空形成方法及びストリップ連続処理用電子ビー
ム溶接設備に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の電子ビーム溶接は被溶接材全体を
剛体の真空室内に入れて溶接を行う全体真空方式であ
り、従って小物の被溶接材の溶接には適するが、大型の
被溶接材の場合は膨大な真空室を必要とするため、設備
費、維持費が必要となり、また短時間の溶接が求められ
る場合には、大容量の排気設備が必要となり、その実用
化には問題がある。

【０００３】電子ビーム溶接法では溶接線部分を如何に
して真空に保持するかが問題である。この問題を分析す
れば次の様になる。

【０００４】(１) 板厚の異なる２つの被溶接材と真空
チャンバ間のシールと、溶接による被溶接材の熱変形を
拘束するためのクランプの配置を適切化すること。

【０００５】(２) 板幅の異なる２つの被溶接材と真空
チャンバ間のシールを確実に行なうこと。

【０００６】(１)の問題に対しては特開昭５０−１３６
２４６号あるいは特開昭５０−１４３７４３号の様な対
応策が知られている。

【０００７】(２)の問題に対しては、同じ板幅について
特開昭５０−１１７６５４号に示される対応策がある。

【０００８】(１)(２)の２つの問題に対しては、特開昭
５２ー２３５４３号や特開平０３−０１３２７９号に示
される対応策がある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】電子ビーム溶接を被溶
接材の連続処理ラインに適用する場合には、前述した２
項の問題があり、これらの問題に対してそれぞれ上述し
た対応策がある。(１)の問題に対しては、特開昭５０−
１３６２４６号では下部チャンバを傾け、特開昭５０−
１４３７４３号ではベローズでシール材を被溶接材に押
し付けるようにしている。これにより、板厚の異なる被
溶接材と真空チャンバとの間のシールが可能となる。し
かしながら、これらの構成では、溶接による被溶接材の
熱変形防止の為のクランプを配置した場合、溶接線から
離れた位置に配置されることになり、このため被溶接材
の熱変形をある程度許容することになり、精密な溶接を
行うことができない。

【００１０】第２の問題は板幅の異なる被溶接材と真空
チャンバ間のシールである。特開昭５０−１１７６５４
号では、同じ板幅の被溶接材に対して、Ｕ字形のシール
タブを被溶接材の幅端部に押圧するものであり、これで
は板幅の異なる被溶接材と真空チャンバ間のシールは行
えない。

【００１１】（１）、（２）の問題を同時に解決する方
法として特開昭５２ー２３５４３では、被溶接材を弾性
シール材パッキンではさみ、板端部にくさび状のパッキ
ンを押し付けるものであるが、この方式の場合くさび状
のパッキンは厚さの異なるものを数種類揃えておき被溶
接材の板厚にあったものを使用する必要がある。また、
特開平０３−０１３２７９号では、被溶接材を弾性シー
ル材パッキンではさみ、板端部に板状のパッキンを押し
付けるものであるが、この方式の場合も板状のパッキン
は厚さの異なるものを数種類揃えておき被溶接材の板厚
にあったものを使用する必要がある。これらの方式は、
いずれも被溶接材の板厚に合ったシール材を板端部に押
し付けなければならない為、真空操作が複雑になり実用
的ではない。

【００１２】本発明の第１の目的は、板厚・板幅の異な
る２つの被溶接材と真空溶接室間のシールを可能とする
電子ビーム溶接における局部真空室形成方法及びストリ
ップ連続処理用電子ビーム溶接設備を提供することにあ
る。

【００１３】また本発明の第２の目的は、板厚の異なる
２つの被溶接材のシールに際して、被溶接材を溶接線直
近で確実にクランプできる電子ビーム溶接における局部
真空室形成方法及びストリップ連続処理用電子ビーム溶
接設備を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記の第１の目的を達成
するため、本発明の電子ビーム溶接における局部真空室
形成方法は、圧延設備のストリップ連続処理ラインで、
先行するストリップの後端と後行するストリップの先端
の突合せ部を電子ビームにより溶接して接続する電子ビ
ーム溶接における局部真空室形成方法において、電子ビ
ーム溶接を行なう真空溶接室は前記二つのストリップの
溶接部の周辺を囲むように溶接線に沿って延びその周囲
の板幅及び長手方向に少なくても一つの予備排気室とそ
の間に弾性シール材を設け下方を開放した上真空容器
と、これと対称に前記溶接線周囲の板幅及び長手方向に
少なくとも一つの予備排気室とその間に弾性シール材を
設け上方を開放した下真空容器の２つにて構成し、前記
二つのストリップを突き合わせ溶接するに際し、該二つ
のストリップを前記上真空容器と下真空容器で挟持した
際に形成される板端部空隙部から流入する気体を少なく
ても一つの予備排気室により吸引し、前記溶接部の周辺
に真空域を形成せしめるようにして溶接することを特徴
とする。

【００１５】また本発明のストリップ連続処理用電子ビ
ーム溶接設備は、圧延設備のストリップ連続処理ライン
で、先行するストリップの後端と後行するストリップの
先端の突合せ部を電子ビームにより溶接して接続するス
トリップ連続処理用電子ビーム溶接設備において、前記
二つのストリップの溶接部の周辺を囲むように溶接線に
沿って延びその周囲の板幅及び長手方向に少なくとも一
つの予備排気室とその間に弾性シール材を設け下方を開
放するように構成された上真空容器と、これと対称に前
記溶接線周囲の板幅及び長手方向に少なくても一つの予
備排気室とその間に弾性シール材を設け上方を開放した
下真空容器とからなる真空溶接室と、溶接時に上真空容
器を前記二つのストリップの一方の面に向けて押圧する
第１のアクチュエータ手段と、溶接時に下真空容器を前
記二つのストリップの他方の面に向けて押圧する第２の
アクチュエータ手段と、突き合わせ溶接するに際し前記
第１のアクチュエータ手段及び第２のアクチュエータ手
段により前記二つのストリップを上真空容器と下真空容
器で挟持した際に形成される板端部空隙部から流入する
気体を少なくても一つの予備排気室より吸引し、溶接部
の周辺に真空域を形成せしめる真空排気手段とを有する
ことを特徴とする。

【００１６】上記の第２の目的を達成するため、本発明
の電子ビーム溶接における局部真空室形成方法は、板厚
の異なる二つのストリップのうちの一方のストリップ
を、上真空容器と、下真空容器で挟持すると共に、他方
のストリップを上真空容器、下真空容器で形成される真
空室内で挟持することを特徴とするものである。

【００１７】また本発明のストリップ連続処理用電子ビ
ーム溶接設備は、溶接時に上真空容器を二つのストリッ
プの一方の面に向けて押圧する第１のアクチュエータ手
段と、溶接時に下真空容器を前記二つのストリップの他
方の面に向けて押圧する第２のアクチュエータ手段と、
前記二つのストリップの溶接部の周辺を囲むように溶接
線に沿って伸びる真空溶接室の一部に溶接線を境として
ストリップに押圧するクランプとベローズを介して真空
溶接室の外部に設置した位置検出機能を持った第３のア
クチュエータ手段と、前記下真空容器には前記上真空容
器と対称に前記ストリップを他方の面に向けて押圧する
クランプとベローズを介して真空溶接室の外部に設置し
た第４のアクチュエータ手段とを有することを特徴とす
る。

【００１８】

【作用】上記構成の本発明によれば、板厚・板幅の異な
る２つのストリップと真空溶接室間のシールをする為、
上下真空溶接室とその周囲に板幅方向よりも長手方向に
多く少なくても一つの予備排気室とその間の下面に弾性
シール材を設け、突き合わせ溶接するに際しストリップ
を上真空容器と下真空容器で挟持した時に形成される板
端部空隙部から流入する気体をいくつかの予備排気室に
より吸引することにより、真空溶接室の真空度を維持す
ることができる。

【００１９】また板厚の異なる２つのストリップのシー
ルに際して、ストリップを溶接線直近で確実にクランプ
する為、２つのストリップのうち一方を第３、第４のア
クチュエータにより上真空室、下真空室内で狭持し、前
記ストリップのもう一方を第１、第２のアクチュエータ
によりクランプすることにより、溶接線の直近で材料を
確実にクランプすることができる。また、第３のアクチ
ュエータを位置検出機能を使い制御して、ストリップを
クランプする前にあらかじめ突き合わせ位置に応じた位
置にクランプを固定し、第４のアクチュエータにより前
記ストリップを前記クランプに押圧することにより、ス
トリップの突き合わせ位置を任意に設定することができ
る。

【００２０】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。本発明の一実施例を図１乃至４に従って説明す
る。これらの図において先行するストリップの後端と後
行するストリップの先端の突合せ部を電子ビームで溶接
して接続するストリップ電子ビーム溶接において、スト
リップ１、２の上面側に配置された上真空容器３には、
ストリップ１、２の突き合わせ溶接部の周辺を囲むよう
に溶接線に沿って延びた真空溶接室５とストリップ１、
２の板幅方向の両側に予備排気室６及び長手方向の両側
に予備排気室７、８、９をそれぞれある間隔をもって設
置され、その下面に各真空室を塞がないように一部をく
り貫いたシート状の弾性シール材１０を設け下方を開放
する上真空容器３と、これと対称に上方を開放する下真
空容器４の２つにて各真空室を構成し、上真空容器３の
上部には、溶接線に沿うように電子銃室３４と溶接線と
同一方向に移動する電子銃３５が設置されている。

【００２１】真空溶接室５と予備排気室６，７，８，９
は、それぞれ、その直近にパイプを介して真空バルブ１
５、１６、１７、１８、１９、２０、２１、２２に接続
し更にパイプを介して真空ポンプ２３、２４、２５、２
６に接続し、真空排気される。 また、前述した上真空
容器の弾性シール材１０と下真空容器の弾性シール材１
０’は、いずれも前記真空バルブと前記真空ポンプの間
から引かれたバイパス配管２７を弾性シール材１０、１
０’の設置箇所に配置する事により、真空吸着し、固定
される。

【００２２】次に下真空容器４をストリップ１、２に押
圧する位置検出機能を持ったアクチュエータ１２と下真
空容器４とストリップ１との接触部を弾性シール材１０
の非圧縮時の上面よりも圧縮限度を考慮してその高さを
低くした接触面を基準面３０とし、この基準面３０と対
称に上真空容器３に設けたクランプ面２９ととの間に、
上真空容器３を前記ストリップ１、２の他方の面に向け
てアクチュエータ１２よりも小さな力で押圧する一端が
フレーム４０に固定されたアクチュエータ１１によりス
トリップ１を固定し、上真空容器３の真空溶接室５にス
トリップ２の基準面となる基準面３１を基準面３０と対
称位置に設け、ベローズ３３を介して上真空容器３の上
面に設置した位置検出機能を持ったアクチュエータ１３
により位置決めを行い、下真空容器４にクランプ５１を
上真空容器３のクランプ５０と対称位置に設け、ベロー
ズ３４を介して上真空容器３の上面に設置したアクチュ
エータ１３よりも小さな力で押圧するアクチュエータ１
４によりストリップ２を基準面３１を基準として固定す
る。

【００２３】また、ベローズ３３とベローズ３４の内部
は、バイパス配管３７によって、真空溶接室５と接続さ
れている。

【００２４】次に真空操作について説明する。まず、溶
接作業を行なうにあたって、始めに２つのストリップ
１、２の先後端が図示していない剪断機で剪断される。
この剪断の際に図１に示すように一方のストリップ、例
えば後行するストリップ２は、ストリップ支持クランプ
３９でクランプされ、他方のストリップ、例えば先行す
るストリップ１もストリップ支持クランプ３８でクラン
プされる。ここでストリップ２側のストリップ支持クラ
ンプ３９はストリップの剪断後、ストリップ２の後端を
押し込み、２つのストリップ１、２の先後端が図示のよ
うに密着状態に突き合うように移動する。しかる後、真
空バルブ１５、１６、１７、１８、１９、２０、２１、
２２、２３を閉じて真空ポンプ２４、２５、２６、２７
を駆動し、上真空容器３と下真空容器４に設置した弾性
シール１０、１０’を吸着固定し、上真空容器３と下真
空容器４を上下に開いた状態のもとで、本溶接設備１０
０を図１に図示の待機位置から溶接位置に移動させる。

【００２５】次に位置検出機能を持ったアクチュエータ
１２により基準面３０が図示していない付帯設備の基準
と同一になるよう制御しながらアクチュエータ１１と共
に駆動して上真空容器３、下真空容器４を閉じストリッ
プ１を基準面３０を基準としてクランプ面２９間でクラ
ンプし、同時に弾性シール材１０、１０’により、スト
リップ１、２と真空溶接室５、予備排気室６、７、８、
９との間をシールする。 そして、ストリップ２を位置
検出機能を持ったアクチュエータ１３により基準面３１
が任意の突き合わせ位置になるように制御しながらアク
チュエータ１４と共に駆動して基準面３１を基準として
クランプ面３２の間でクランプする。

【００２６】このようにして、段取りを行った後、真空
バルブ１５、１６、１７、１８、１９、２０、２１、２
２、２３を開き、予備排気室６、７、８、９及び真空溶
接室５に前述のストリップ１、２の端部と弾性シール材
１０、１０’の間に形成される三角形の空隙やストリッ
プのスケール等が弾性シール１０、１０’に付着するこ
とにより発生する隙間から流入する気体を連続的に吸引
する事により真空溶接室５の真空度を維持すると共に、
真空溶接室５を約１０秒程度で０．１〜０．０１[Torr]
程度の真空になるように排気し、電子銃２１から電子ビ
ームをストリップ１、２の突き合わせ部に放射し、溶接
を行う。

【００２７】溶接終了後は、真空バルブ１５、１６、１
７、１８、１９、２０、２１、２２、２３を再び閉じ、
予備排気室６、７、８、９及び真空溶接室５に外気圧と
等しくなるように空気を入れ、アクチュエータ１１、１
２により上真空室３と下真空室２を開放し、ストリップ
１、２を搬出する。

【００２８】なお、以上の実施例では、ストリップ１、
２のクランプ手段の基準面３０を下真空容器４のストリ
ップ１の側に設けたが、これは上真空容器３やストリッ
プ２の方に設けても良い。

【００２９】また、アクチュエータ１１，１２，１３，
１４は油圧シリンダーや空圧シリンダーや電動モーター
によるスクリュー駆動方式であっても良く、アクチュエ
ータ１２、１３に設けた位置検出機能も基準面３０、３
１の位置が検出できれば独立させて、別々に配置しても
良い。予備排気室の段数は、弾性シール材１０、１０’
の性能と真空溶接室５の真空度に応じて図５に示すよう
にストリップの長手方向の段数を増やすことにより大き
なリークに対して真空溶接室の真空度を真空ポンプの総
排気容量を過大にする事無く維持する事ができるように
なる。

【００３０】また弾性シール材１０、１０’の性能が十
分なものであれば、図６に示すように予備排気室の段数
を減らして総ポンプ容量を小さく設備をよりコンパクト
にすることができる。

【００３１】更に弾性シール材１０、１０’の真空吸着
はバイパス配管２８を用いず、別体の真空ポンプで行っ
ても良い。真空バルブ１５、１６、１７、１８、１９、
２０、２１、２２、２３は、真空状態を切り替え出来る
他の手段でも良く、真空室の直近に配置できるならばど
こに配置しても良い。

【００３２】

【発明の効果】本発明によれば下記の効果を得る事が出
来る。

【００３３】（１） 板厚・板幅の異なる２つのストリ
ップと真空溶接室間のシールにおいて、タブ板やくさび
状シール等の補助シール手段を用いずに真空溶接室の真
空度を維持する事ができるため、真空操作やメンテナン
スが容易になる。

【００３４】（２） 真空溶接室の手前に複数の予備排
気室を設けた事により、排気設備を最小にしストリップ
の板厚増大や真空シールの劣化によるリーク量の増加に
対し真空溶接室の真空度を安定して維持する事が出来
る。

【００３５】（３） べローズ内部の気体を真空溶接室
にバイパスし真空シール材を真空吸着する事により、真
空室内の微小な隙間を無くし、真空排気時間を短縮し排
気設備を小さくする事が出来る。

【００３６】（４） 弾性シール材の形状をシート状に
している事により、交換作業が容易になる。

【００３７】（５） 溶接線の直近にクランプ手段を配
置した為、ストリップ自体の歪みを無くし溶接熱による
ストリップの変形を効果的に防止する事ができる。

【００３８】（６） 本設備をストリップ連続処理設備
に用いることにより、低炭素鋼はもちろんのこと、ステ
ンレス材や珪素鋼板などの特殊鋼材の接合が、本設備１
台で可能となり、高精度、高信頼性の溶接を行なうこと
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るストリップ連続処理用電子ビーム
溶接設備の構成を示す平面図である。

【図２】図１におけるストリップ連続処理用電子ビーム
溶接設備のＡ−Ａ線による断面図である。

【図３】図１におけるストリップ連続処理用電子ビーム
溶接設備のＢ−Ｂ線による断面図である。

【図４】本発明に係るストリップ連続処理用電子ビーム
溶接設備に用いられる弾性シール材の平面図（図２にお
けるＣ−Ｃ線矢視）である。

【図５】本発明に係るストリップ連続処理用電子ビーム
溶接設備に用いられる弾性シール材の他の実施例を示す
平面図である。

【図６】

【符号の説明】

１ ストリップ ２ ストリップ ３ 上真空容器 ４ 下真空容器 ５ 真空溶接室 ６ 予備排気室 ７ 予備排気室 ８ 予備排気室 ９ 予備排気室 ４１ 予備排気室 １０ 弾性シール材 １０’ 弾性シール材 １１ アクチュエータ（第１のアクチュエータ手段） １２ 位置検出機能付きアクチュエータ（第２のアクチ
ュエータ手段） １３ 位置検出機能付きアクチュエータ（第３のアクチ
ュエータ手段） １４ アクチュエータ（第４のアクチュエータ手段） １５ 真空バルブ １６ 真空バルブ １７ 真空バルブ １８ 真空バルブ １９ 真空バルブ ２０ 真空バルブ ２１ 真空バルブ ２２ 真空バルブ ２３ 真空ポンプ ２４ 真空ポンプ ２５ 真空ポンプ ２６ 真空ポンプ ２７ 弾性シール材吸着用バイパス配管 ２９ クランプ面 ３０ 基準面 ３１ 基準面 ３２ クランプ面 ３３ べローズ ３４ べローズ ３５ 電子銃室 ３６ 電子銃 ３７ バイパス配管 ３８ ストリップ支持クランプ ３９ ストリップ支持クランプ

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【手続補正書】

【提出日】平成６年１１月２２日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図６

【補正方法】追加

【補正内容】

【図６】本発明に係るストリップ連続処理用電子ビーム
溶接設備に用いられる弾性シール材の更に他の実施例を
示す平面図である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西野 忠 茨城県日立市幸町三丁目１番１号 株式会 社日立製作所日立工場内 (72)発明者 佐藤 有 茨城県日立市幸町三丁目１番１号 株式会 社日立製作所日立工場内

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧延設備のストリップ連続処理ライン
   で、先行するストリップの後端と後行するストリップの
   先端の突合せ部を電子ビームにより溶接して接続する電
   子ビーム溶接における局部真空室形成方法において、 電子ビーム溶接を行なう真空溶接室は前記二つのストリ
   ップの溶接部の周辺を囲むように溶接線に沿って延びそ
   の周囲の板幅及び長手方向に少なくても一つの予備排気
   室とその間に弾性シール材を設け下方を開放した上真空
   容器と、これと対称に前記溶接線周囲の板幅及び長手方
   向に少なくても一つの予備排気室とその間に弾性シール
   材を設け上方を開放した下真空容器の２つにて構成し、
   前記二つのストリップを突き合わせ溶接するに際し、該
   二つのストリップを前記上真空容器と下真空容器で挟持
   した際に形成される板端部空隙部から流入する気体を少
   なくとも一つの予備排気室により吸引し、前記溶接部の
   周辺に真空域を形成せしめるようにして溶接することを
   特徴とする電子ビーム溶接における局部真空室形成方
   法。
2. 【請求項２】 前記予備真空室を前記ストリップの板幅
   方向よりも長手方向に多く配置したことを特徴とする請
   求項１に記載の電子ビーム溶接における局部真空室形成
   方法。
3. 【請求項３】 前記真空溶接室と予備真空室との間に形
   成される微小間隙部を真空排気することを特徴とする請
   求項１または２のいずれかに記載の電子ビーム溶接にお
   ける局部真空室形成方法。
4. 【請求項４】 前記弾性シール材を真空排気することに
   より各真空容器の設置箇所に吸着させ固定することを特
   徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の電子ビーム
   溶接における局部真空室形成方法。
5. 【請求項５】 前記弾性シール材はシート状に形成され
   たことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の
   電子ビーム溶接における局部真空室形成方法。
6. 【請求項６】 溶接時に前記真空溶接室の内部で前記二
   つのストリップのうちどちらか一方のストリップを固定
   することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載
   の電子ビーム溶接における局部真空室形成方法。
7. 【請求項７】 圧延設備のストリップ連続処理ライン
   で、先行するストリップの後端と後行するストリップの
   先端の突合せ部を電子ビームにより溶接して接続するス
   トリップ連続処理用電子ビーム溶接設備において、 前記二つのストリップの溶接部の周辺を囲むように溶接
   線に沿って延びその周囲の板幅及び長手方向に少なくて
   も一つの予備排気室とその間に弾性シール材を設け下方
   を開放するように構成された上真空容器と、これと対称
   に前記溶接線周囲の板幅及び長手方向に少なくとも一つ
   の予備排気室とその間に弾性シール材を設け上方を開放
   した下真空容器とからなる真空溶接室と、 溶接時に上真空容器を前記二つのストリップの一方の面
   に向けて押圧する第１のアクチュエータ手段と、 溶接時に下真空容器を前記二つのストリップの他方の面
   に向けて押圧する第２のアクチュエータ手段と、 突き合わせ溶接するに際し前記第１のアクチュエータ手
   段及び第２のアクチュエータ手段により前記二つのスト
   リップを上真空容器と下真空容器で挟持した際に形成さ
   れる板端部空隙部から流入する気体を少なくても一つの
   予備排気室より吸引し、溶接部の周辺に真空域を形成せ
   しめる真空排気手段とを有することを特徴とするストリ
   ップ連続処理用電子ビーム溶接設備。
8. 【請求項８】 前記予備真空室を前記ストリップの板幅
   方向よりも長手方向に多く配置したことを特徴とする請
   求項７に記載のストリップ連続処理用電子ビーム溶接設
   備。
9. 【請求項９】 前記真空排気手段は、前記真空溶接室と
   予備真空室との間に形成される微小間隙部を真空排気す
   ることを特徴とする請求項７または８のいずれかに記載
   のストリップ連続処理用電子ビーム溶接設備。
10. 【請求項１０】 前記真空排気手段は、前記弾性シール
    材を真空排気することにより各真空容器の設置箇所に吸
    着させ固定することを特徴とする請求項７乃至９のいず
    れかに記載のストリップ連続処理用電子ビーム溶接設
    備。
11. 【請求項１１】 前記真空排気手段は、真空溶接室と予
    備真空室の排気系統において、真空溶接室及び予備真空
    室の直近に真空バルブを有することを特徴とする請求項
    ７乃至１０のいずれかに記載のストリップ連続処理用電
    子ビーム溶接設備。
12. 【請求項１２】 前記弾性シール材はシート状に形成し
    たことを特徴とする請求項７乃至１１のいずれかに記載
    のストリップ連続処理用電子ビーム溶接設備。
13. 【請求項１３】 前記真空溶接室の内部に設けられ、前
    記二つのストリップのうちどちらか一方のストリップを
    固定するクランプ装置を有することを特徴とする請求項
    ７乃至１２のいずれかに記載のストリップ連続処理用電
    子ビーム溶接設備。
14. 【請求項１４】 前記クランプ装置のアクチュエータ及
    び位置検出装置をベローズを介して前記真空溶接室の外
    部に設けたことを特徴とする請求項１３に記載のストリ
    ップ連続処理用電子ビーム溶接設備。